KR100992522B1

KR100992522B1 - 프로브 유닛 및 검사장치

Info

Publication number: KR100992522B1
Application number: KR1020080122848A
Authority: KR
Inventors: 슈지 나라오카; 카즈히로 야마우찌
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2008-02-15
Filing date: 2008-12-05
Publication date: 2010-11-05
Also published as: CN101509937B; JP2009192419A; TW200937028A; CN101509937A; TWI385402B; KR20090088784A

Abstract

본 발명은, 최적의 임피던스 특성에 정합하여 검사 정밀도를 높게 유지하기 위한 것이다. 검사대상판에 접촉하여 검사신호를 전달하는 프로브를 갖는 프로브 조립체와, 상기 프로브 쪽과 외부장치 쪽을 전기적으로 접속하는 접속 케이블부를 갖추고, 상기 접속 케이블부가 검사에 따른 전기신호를 전달하는 FPC 케이블을 갖고, 상기 FPC 케이블이 검사신호를 전달하는 복수의 신호선과, 한쪽 면에 상기 신호선을 형성하는 FPC 기판과, 상기 FPC 기판의 다른쪽 면에 형성된 그랜드 층과, 상기 그랜드 층의 일부를 이루어 상기 FPC 기판의 한쪽 면의 복수의 상기 신호선 사이에 삽입된 선상의 그랜드 선을 갖추었다.

임피던스 정합, 검사 정밀도, 프로브 유닛, 검사신호, 접속 케이블, FPC 케이블, 신호선, 그랜드 층, 그랜드 선

Description

프로브 유닛 및 검사장치{Probe Unit and Inspection Apparatus}

도1은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 이면(裏面)을 나타낸 분해 사시도이다.

도2는 종래의 프로브 유닛을 나타낸 평면도이다.

도3은 종래의 프로브 유닛을 나타낸 측면도이다.

도4는 검사장치의 한 예를 나타낸 정면도이다.

도5는 본 발명의 프로브 유닛을 나타낸 사시도이다.

도6은 본 발명의 프로브 유닛을 나타낸 측면도이다.

도7은 본 발명의 프로브 유닛을 나타낸 이면도이다.

도8은 본 발명의 프로브 유닛을 나타낸 이면 사시도이다.

도9는 본 발명의 프로브 유닛을 나타낸 이면도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

21: 프로브 유닛 22: 프로브 베이스

23: 지지부 24: 프로브 조립체

25: 접속 케이블부 28: 서스펜션 블록

29: 슬라이드 블록 30: 프로브 플레이트

32: 프로브 블록 33: 프로브

33A, 33B: 침(針)부 35: 신호기판

37: FPC 플레이트 38: 구동용 집적회로

39: FPC 케이블 41: 배선

43: FPC 기판 44: 신호선

45: 베타그랜드 층 46: 그랜드 선

47: 접속 고정부 50: 지지판

51: 단락판 52: 도전(導電) 나사

53: 지지 나사 55: 단자부

56: 케이블 지지부 57: 고정부

58: 나사구멍 59: 나사구멍

60: 나사구멍 61: 나사구멍

발명의 분야

본 발명은, 액정패널 등의 검사대상판의 검사에 이용하는 프로브 유닛 및 검 사장치에 관한 것이다.

발명의 배경

프로브에 있어서, 베타그랜드 면을 형성하여 전기적 특성을 제어하는 것은 일반적으로 행해지고 있다. 그 예로서 특허문헌 1이 있다. 특허문헌 1의 프로브를 도2, 3에 기초하여 대략 설명한다.

피검사 디바이스(1)는 5개의 전극이 일렬로 늘어서 있고, 그 중 4개가 전원 전극(2)이고, 1개가 그랜드 전극(3)이다. 피검사 디바이스(1)의 복수의 전극에는, 배선 시트(4)의 아래쪽인 피검사 디바이스(1) 쪽에 배치된 전원 배선(5)과 그랜드 배선(6)이 접촉한다. 전원 배선(5)과 그랜드 배선(6)은 전원 전극(2)과 그랜드 전극(3)의 위치에 맞추어 배치된다.

배선 시트(4)에는 그랜드 배선(6)의 반대면에 절연체(7)를 통하여 제1 베타그랜드 면(8)이 설치되어 있고, 스루 홀(9)을 통하여 그랜드 배선(6)과 제1 베타그랜드 면(8)이 전기적으로 접속하고 있다. 상기 제1 베타그랜드 면(8)은 배선 시트(4)에 있는 절연체(7)의 전체 면에 형성되어 있다.

이와 같이, 그랜드 전극(3)과 같은 전위가 되는 제1 베타그랜드 면(8)이 전원 배선(5)의 위쪽에 있음으로써, 전원 배선(5)과 그랜드 배선(6) 사이에 콘덴서를 삽입하지 않고, 프로브의 선단인 전원 배선(5)의 선단부분의 인덕턴스 성분을 저감할 수 있다. 이에 의해, 전원 배선(5) 끼리의 간격 및 전원 배선(5)과 그랜드 배선(6)의 간격을 작게 할 수 있고, 좁은 피치(예를 들어 200㎛ 이하)의 전극 배치를 갖는 피검사 디바이스에의 전원 공급이 가능해진다.

이와 같은 프로브에서는, 베타그랜드 면(8)이 갖는 기능에 의해, 전기적 특성으로서 인덕턴스뿐만 아니라, 임피던스 제어도 가능하다.

[특허문헌 1] 일본 특개2003-152036호 공보

그러나 최근 검사대상판은 고정밀화되어 있고, 그에 따라 검사신호도 고주파화해 갈 것으로 예상된다. 예를 들어, 고정밀 TV 등에 있어서는 가까운 장래에 검사신호가 180Hz가 될 것으로 예상된다. 그리고 검사신호의 고주파화가 진행되면, 신호선의 임피던스를 고도로 정합시키지 않으면, TCP의 구동용 집적회로가 구동 불량을 일으키는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 검사신호가 고주파화 되어도 안정한 검사를 행할 수 있는 프로브 유닛 및 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.

발명의 요약

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 프로브 유닛은, 검사대상판에 접촉하여 검사신호를 전달하는 프로브를 갖는 프로브 조립체와, 상기 프로브 쪽과 외부장치 쪽을 전기적으로 접속하는 접속 케이블부를 갖추고, 상기 접속 케이블부가 검사에 따른 전기신호를 전달하는 FPC 케이블을 갖고, 상기 FPC 케이블이, 검사신호를 전달하는 복수의 신호선과, 한쪽 면에 상기 신호선을 형성하는 FPC 기판과, 상기 FPC 기판의 다른쪽 면에 형성된 그랜드 층과, 상기 그랜드 층의 일부를 이루어 상기 FPC 기판의 한쪽 면의 복수의 상기 신호선의 사이에 삽입된 선상의 그랜드 선을 갖춘 것을 특징으로 한다.

상기 프로브 유닛을, 외부로부터 삽입된 검사대상판을 검사종료 후에 외부로 반출하는 패널 세트부와, 상기 패널 세트부로부터 건네진 검사대상판을 지지하여 시험하는 측정부를 갖춘 검사장치에 이용하는 것이 바람직하다.

발명의 상세한 설명

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛에 대해서 첨부도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 실시형태의 프로브 유닛이 조립되는 검사장치로는, 각종의 것을 이용할 수 있다. 예를 들어 검사대상이 액정패널인 경우에는, 그 제조공정에서 액정이 봉입된 액정패널에 대해서 시방서대로 성능을 갖는지 아닌지 검사(시험)가 행해진다. 이 검사에는 일반적으로 복수의 프로브를 갖는 프로브 유닛을 갖춘 검사장치가 이용된다. 이 경우, 검사장치의 각 프로브를 액정패널의 전극에 누른 상태로, 소정의 전극에 소정의 전기신호를 공급함으로써 검사가 행해진다. 이와 같은 검사장치 모두에 실시형태의 프로브 유닛을 조립해 넣을 수 있다.

이와 같은 검사장치의 한 예를 도4에 나타낸다. 도시하는 검사장치(11)는 주로 패널 세트부(12)와, 측정부(13)로 구성되어 있다.

패널 세트부(12)는, 외부로부터 삽입된 액정패널 등의 검사대상판(15)을 측정부(13)로 운반하고, 검사종료 후의 검사대상판(15)을 외부로 운반하기 위한 장치이다. 패널 세트부(12)는 개구부(16)의 안쪽에 패널 세트 스테이지(17)를 갖고, 상기 패널 세트 스테이지(17)에서 검사대상판(15)을 지지하여, 측정부(13)로 운반한다. 또, 패널 세트 스테이지(17)는 측정부(13)에서 검사종료 후의 검사대상판(15)을 받아 외부로 운반한다.

측정부(13)는 패널 세트부(12)로부터 건네진 검사대상판(15)을 지지하여 시험하기 위한 장치이다. 측정부(13)는 척 톱(18)이나 프로브 유닛(21) 등을 갖추어 구성되어 있다.

척 톱(18)은, 검사대상판(15)을 지지하기 위한 부재이다. 상기 척 톱(18)은 XYZθ 스테이지(도시하지 않음)에 지지되고, XYZ축 방향으로의 이동 및 회전이 제어되어, 검사대상판(15)의 위치가 조정된다.

본 발명의 프로브 유닛(21)은 상술한 바와 같은 검사장치(11)에 조립된다. 구체적으로는, 프로브 유닛(21)은 베이스 플레이트(20)의 개구(20A)에 면한 상태로 베이스 플레이트(20)에 지지되어 있다. 또한, 상기 검사장치(11)는, 본 발명의 프로브 유닛(21)을 조립하는 검사장치의 한 예이다. 본 발명의 프로브 유닛(21)을 조립할 수 있는 모든 검사장치에 본 발명을 적용할 수 있다.

프로브 유닛(21)은 도5에 나타낸 바와 같이, 프로브 베이스(22)와, 지지부(23)와, 프로브 조립체(24)와, 접속 케이블부(25)를 갖추어 구성되어 있다.

상기 프로브 베이스(22)는, 프로브 조립체(24)를 지지한 복수의 지지부(23)를 일체로 지지하는 판재이다. 상기 프로브 베이스(22)에서 복수의 프로브 조립체(24)가 지지부(23)를 통하여, 워크 테이블(26) 위의 액정패널 등의 검사대상판(15)에 면한 상태로 지지되어 있다.

상기 지지부(23)는, 그 기단쪽(基端側)이 상기 프로브 베이스(22)에 지지된 상태로, 그 선단쪽에서 상기 프로브 조립체(24)를 지지하기 위한 부재이다. 상기 지지부(23)는, 도5, 6에 나타낸 바와 같이, 상기 프로브 베이스(22)에 직접 설치되어 전체를 지지하는 서스펜션 블록(28)과, 상기 서스펜션 블록(28)의 선단부에 지지되는 슬라이드 블록(29)과, 상기 슬라이드 블록(29)의 안쪽 면(도6 중의 아래쪽 면)에 일체로 설치된 프로브 플레이트(30)를 갖추어 구성되어 있다.

프로브 조립체(24)는, 검사대상판(15)의 회로의 전극에 접촉하여, 검사신호를 전달하기 위한 부재이다. 프로브 조립체(24)는 프로브 플레이트(30)의 아래쪽 면에 설치되어 있다. 상기 프로브 조립체(24)는 프로브 블록(32)과, 프로브(33)를 갖추어 구성되어 있다.

프로브 블록(32)은 프로브 플레이트(30)의 아래쪽 면에 직접 설치되어 있다. 상기 프로브 블록(32)의 아래쪽에 프로브(33)가 설치되어 있다. 프로브(33)는 검사대상판(15)의 회로의 전극에 직접 접촉하는 부재이다. 프로브(33)는 그 선단부와 기단부에 각각 침부(33A, 33B)를 갖추고, 선단부의 침부(33A)가 검사대상판(15)의 회로의 전극에 접촉되고, 기단부의 침부(33B)가 접속 케이블부(25)의 단자에 접촉된다.

접속 케이블부(25)는, 상기 프로브(33) 쪽과 외부장치 쪽(도시하지 않음)을 전기적으로 접속하기 위한 부재이다. 상기 접속 케이블부(25)는 구체적으로는, 상기 프로브(33)의 침부(33B)와 프로브 베이스(22) 쪽의 신호기판(35)에 직접적으로 접속되고, 상기 프로브 베이스(22) 쪽의 회로를 통하여 외부장치와 전기적으로 접속되어 있다. 즉, 상기 접속 케이블부(25)는 상기 프로브 조립체(24)의 프로브(33)와 외부장치를, 프로브 베이스(22)의 신호기판(35)을 통하여 전기적으로 접속하고 있다. 상기 접속 케이블부(25)는 도6∼8에 나타낸 바와 같이, FPC 플레이트(37)와, 구동용 집적회로(38)와, FPC 케이블(39)로 구성되어 있다.

상기 FPC 플레이트(37)는, 상기 접속 케이블부(25)를 상기 프로브 조립체(24) 쪽에 고정하기 위한 부재이다. FPC 플레이트(37)는 프로브 플레이트(30)의 아래쪽에 설치되어 있다.

구동용 집적회로(38)는 검사에 따른 처리를 행하는 회로이다. 구동용 집적회로(38)는 FPC 플레이트(37)의 아래쪽에 설치되어 있다. 구동용 집적회로(38)의 한쪽은 FPC 케이블(39)에 접속되어 있다. 구동용 집적회로(38)의 다른 쪽은 각 배선(41)을 통하여 프로브(33)의 기단쪽 침부(33B)에 전기적으로 접속되어 있다.

FPC 케이블(39)은, 검사에 따른 전기신호를 전달하기 위한 케이블이다. FPC 케이블(39)은, 그 한쪽이 FPC 플레이트(37)에 고정되고 구동용 집적회로(38)에 전기적으로 접속된 상태로, 다른 쪽이 프로브 베이스(22)의 아래쪽에 설치된 신호기 판(35)에 전기적으로 접속되어 있다. 이에 의해, FPC 케이블(39)은 상기 신호기판(35)을 통하여 외부장치와 전기적으로 접속되어, 외부장치로부터의 검사신호를 구동용 집적회로(38)에 전송한다.

FPC 케이블(39)은, 도1, 7∼9에 나타낸 바와 같이, FPC 기판(43)과, 신호선(44)과, 베타그랜드 층(45)과, 그랜드 선(46)과, 접속 고정부(47)로 구성되어 있다.

FPC 기판(43)은, 그 한쪽 면에 신호선(44)을, 다른쪽 면에 베타그랜드 층(45)을 형성하기 위한 기판이다. FPC 기판(43)은, 접속 고정부(47)에서 U자상으로 구부릴 수 있을 정도의 유연성을 갖는 공지의 재료로 구성되어 있다.

신호선(44)은, 구동용 집적회로(38)와 신호기판(35)을 전기적으로 접속하여 검사신호를 전달하기 위한 선(線)이다. 신호선(44)은 FPC 기판(43)의 한쪽 면(도1의 아래쪽 면)에 설치되어 있다. 신호선(44)의 수는 프로브(33)의 개수에 맞추어 설정된다.

베타그랜드 층(45)은, FPC 기판(43)의 다른쪽 면(도1의 위쪽 면)의 전체 면에 설치된 층이다. 상기 베타그랜드 층(45)은 FPC 기판(43)을 사이에 두고 신호선(44)에 대향하여 설치되고, 임피던스 정합(整合)을 도모하는 기능을 갖고 있다. 정확한 임피던스 정합을 도모하기 위해, 신호선(44)과 베타그랜드 층(45)과의 간격(FPC 기판(43)의 두께)이나, 신호선(44) 및 베타그랜드 층(45)과 FPC 기판(43)과의 사이의 접착층의 두께 등의 조건을, 그랜드 선(46)과의 균형으로 설정한다.

그랜드 선(46)은, 베타그랜드 층(45)의 일부를 이루고, 직접 신호선(44)의 사이에 삽입시킨 선상의 그랜드 층이다. 그랜드 선(46)은 복수의 신호선(44)의 사이에 설치되어 있다. 여기에서는, 10개에 1개의 비율로 일정 간격을 두고 그랜드 선(46)이 설치되어 있다. 신호선(44)과 그랜드 선(46)과의 개수의 비율은, 10개에 1개의 비율로 한정되지 않고, 임피던스 정합을 도모하는데 최적의 값으로 조정된다. 이 비율에 대해서는 후술한다. 그랜드 선(46)은, 신호선(44)보다도 길게 설치되어 있다. 구체적으로는, FPC 기판(43)의 길이방향의 한쪽 끝(도1의 오른쪽 끝)의 가장자리에서 다른쪽 끝의 가장자리의 바로 앞까지 연장하여 형성되어 있다. 즉, FPC 기판(43)의 길이방향의 다른쪽 끝의 가장자리에서 일정 치수(후술하는 단락판(51)의 폭보다 약간 큰 정도의 치수)만큼 바로 앞까지 연장하여 형성되어 있다. 이것은 단락판(51)이 신호선(44)에 접촉하지 않고, 그랜드 선(46)에만 접촉하도록 하기 위함이다.

그랜드 선(46)은, 베타그랜드 층(45)과 전기적으로 접속되고, 상기 베타그랜드 층(45)과 함께, 임피던스 정합을 도모하기 위해 기능한다. 그랜드 선(46)의 개수, 간격, 두께, 재질, 폭, 길이를 조정하여, 베타그랜드 층(45)과 함께 임피던스 정합을 도모한다. 그랜드 선(46)의 개수 등의 조정은 베타그랜드 층(45)과의 균형도 문제가 되기 때문에, 베타그랜드 층(45)의 두께, 재질, 폭, 넓이, 면적 등과의 조합도 고려하여, 최적의 조건을 실험적으로 특정한다.

그랜드 선(46)은, 통상 베타그랜드 층(45)과 함께, 임피던스 정합을 도모하기 위해서만 이용된다. 또한, 지장이 없는 신호 등을 전달하는 선으로서라면, 신호선(44)과 동일하게 사용하고, 신호 등의 전달과 함께 임피던스 정합의 기능을 갖도 록 해도 좋다.

접속 고정부(47)는, FPC 기판(43)을 지지하여 신호선(44)을 신호기판(35) 쪽의 단자부(55)에 전기적으로 접속하기 위한 부재이다. 상기 접속 고정부(47)는 지지판(50)과, 단락판(51)과, 도전 나사(52)와, 지지 나사(53)로 구성되어 있다.

지지판(50)은, FPC 기판(43)을 지지하고, 직접적으로는 상기 FPC 기판(43)을 프로브(33) 쪽에 전기적으로 접속하고, 간접적으로는 프로브(33) 쪽과 신호기판(35) 쪽을 전기적으로 접속하기 위한 부재이다. 지지판(50)은 FPC 기판(43)을 직접적으로 지지함과 동시에, FPC 케이블(39)의 신호선(44)과 신호기판(35) 쪽의 단자부(55)를 전기적으로 접속한다. 지지판(50)은 케이블 지지부(56)와, 고정부(57)로 구성되어 있다.

케이블 지지부(56)는, U자상으로 구부러지는 FPC 케이블(39)을 휘감아 지지하기 위한 부분이다. 케이블 지지부(56)는 신호기판(35) 쪽의 단자부(55) 쪽으로 튀어 나와 형성되어 있다. 상기 케이블 지지부(56)가 FPC 케이블(39)의 신호선(44)을 신호기판(35) 쪽의 단자부(55)로 넓은 범위에서 내리누르도록 되어 있다.

고정부(57)는, 지지판(50)을 신호기판(35) 쪽에 고정하기 위한 부분이다. 고정부(57)에는 그 양단부에 나사구멍(58)이 설치되어 있다. 신호기판(35) 쪽에는 상기 나사구멍(58)에 정합하는 위치에 나사구멍(59)이 설치되어 있다. 고정부(57)의 중간부에는 6개의 그랜드 선(46) 사이의 위치에 3개의 나사구멍(60)이 설치되어 있다.

게다가, 지지판(50)은 도전재료로 구성되고, 베타그랜드 층(45)에 접촉하여, 베타그랜드 층(45)과 전기적으로 접속되어 있다.

단락판(51)은, 6개의 그랜드 선(46)을 단락시키기 위한 도전판재이다. 단락판(51)은 6개의 그랜드 선(46)에 접촉한 상태로, 도전 나사(52)에 의해 지지판(50)에 고정된다.

도전 나사(52)는, 단락판(51)과 지지판(50)을 전기적으로 접속하여 도통(導通)시키기 위한 나사이다. 3개의 도전 나사(52)가 단락판(51)의 나사구멍(61)을 통하여 지지판(50)의 나사구멍(60)에 삽입됨으로써, 단락판(51)과 지지판(50)이 전기적으로 접속되어 있다. 게다가, 지지판(50)과 베타그랜드 층(45)이 전기적으로 접속되어 있기 때문에, 베타그랜드 층(45)과 그랜드 선(46)이 전기적으로 접속되어 있다.

지지 나사(53)는, 지지판(50)을 신호기판(35) 쪽에 고정하기 위한 나사이다. 지지 나사(53)는 지지판(50)의 나사구멍(58)과, 신호기판(35) 쪽의 나사구멍(59)을 통과하여 삽입되어, 지지판(50)을 신호기판(35) 쪽에 고정한다.

이상과 같이 구성된 프로브 유닛(21)은 다음과 같이 작용한다. 또한, 상기 프로브 유닛(21)이 조립된 검사장치 전체의 작용은 종래의 검사장치와 동일하므로, 여기에서는 프로브 유닛(21)의 임피던스 정합을 중심으로 설명한다.

검사장치의 신호선(44)에 고주파의 검사신호가 전달되면, 신호선(44)의 임피던스를 고도로 정합시켜 두지 않으면, 구동용 집적회로(38)가 구동 불량을 일으키기 때문에, 임피던스 정합을 행한다. 이 경우, 임피던스 특성은, 검사장치의 종류에 따라 다르기 때문에, 검사장치의 종류마다 설정한다.

구체적으로는, 베타그랜드 층(45)과, 상기 베타그랜드 층(45)의 일부를 이루는 그랜드 선(46)의 두께, 재질 등을 설정한다. 특히, 그랜드 선(46)은 그 개수, 신호선(44)과 그랜드 선(46)과의 개수의 비율, 간격, 두께, 재질, 폭, 길이를 조정하고, 베타그랜드 층(45)과 협동하여, 임피던스 특성을 최적 상태로 조정한다.

상기 임피던스 특성은, 검사신호의 주파수 등의 각종 조건에 따라 다르다. 이 때문에, 검사장치마다, 또는 사용하는 다른 검사신호의 주파수마다 등 각종 조건을 가정하여, 실험적으로 베타그랜드 층(45) 및 그랜드 선(46)의 두께, 재질 등을 설정한다.

이에 의해, FPC 기판(43)을 사이에 두고 그 한쪽으로부터 베타그랜드 층(45)에서, 다른 쪽으로부터 그랜드 선(46)에서, 검사신호가 전해지는 신호선(44)에 전기적, 자기적으로 영향을 주어, 그 임피던스 특성을 조정한다.

베타그랜드 층(45) 및 그랜드 선(46)의 두께, 재질 등을 다양하게 바꾸고 실험을 행하여 최적 패턴을 특정한다.

이에 의해, 고주파의 검사신호가 신호선(44)에 전달되면, 베타그랜드 층(45) 및 그랜드 선(46)이 신호선(44)에 전기적, 자기적으로 영향을 주어, 그 임피던스 특성이 변화한다. 그리고 각 검사장치 및 프로브 유닛(21)에 따른 최적의 임피던스 특성에 정합하도록 조정한다.

이에 의해, 고주파의 검사신호가 신호선(44)에 전달된 경우에도, 구동용 집적회로(38)가 구동 불량을 일으키는 일이 없어지고, 안정한 양호한 검사를 행할 수 있다. 그 결과, 검사 정밀도를 높게 유지할 수 있다.

[변형예]

상기 실시형태에서는, FPC 기판(43)의 다른쪽 면에 베타그랜드 층(45)을 설치하였지만, 베타층에 한정되지 않고 다른 구성의 층이어도 좋다. 예를 들어, 메쉬층이나 격자상의 층 등과 같이 간격을 넓힌 층으로 구성해도 좋고, 임피던스 정합에 최적의 패턴으로 층을 형성한다.

검사신호가 고주파화해도 안정한 검사를 행할 수 있고, 검사 정밀도를 높게 유지할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.

Claims

검사대상판에 접촉하여 검사신호를 전달하는 프로브를 갖는 프로브 조립체와, 상기 프로브 쪽과 외부장치 쪽을 전기적으로 접속하는 접속 케이블부를 갖추고,

상기 접속 케이블부가 검사에 따른 전기신호를 전달하는 FPC 케이블을 갖고,

상기 FPC 케이블이, 검사신호를 전달하는 복수의 신호선과, 한쪽 면에 상기 신호선을 형성하는 FPC 기판과, 상기 FPC 기판의 다른쪽 면에 형성된 그랜드 층과, 상기 그랜드 층의 일부를 이루고 상기 FPC 기판의 한쪽 면의 복수의 상기 신호선 사이에 삽입된 선상의 그랜드 선을 갖춘 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제1항에 있어서, 상기 그랜드 층이 상기 FPC 기판의 다른쪽 면의 전체 면에 베타층으로서 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제1항에 있어서, 상기 그랜드 선이 상기 신호선 사이에 일정 간격을 두고 삽입된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제1항에 있어서, 상기 그랜드 선이 그 개수, 간격, 두께, 재질, 폭, 길이를 조정하여, 임피던스 정합을 도모하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
제4항에 있어서, 상기 그랜드 선과 함께 그랜드 층의 두께, 재질, 폭, 넓이를 조정하여, 임피던스 정합을 도모하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
검사대상판의 검사에 이용하는 검사장치로서,

외부로부터 삽입된 검사대상판을 검사종료 후에 외부로 반출하는 패널 세트부와, 상기 패널 세트부로부터 건네진 검사대상판을 지지하여 시험하는 측정부를 갖추고,

상기 측정부의 프로브 유닛으로서, 청구항 1 내지 5의 어느 한 항에 기재된 프로브 유닛을 이용한 것을 특징으로 하는 검사장치.