JP7154835B2 - プローブ組立体 - Google Patents
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Description
以下では、本発明に係るプローブ組立体の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
[検査装置及びプローブユニット]
まず、図9~図11を参照して、実施形態に係る検査装置及びプローブユニットの構成を説明する。
次に、図1~図8を参照して、実施形態に係るプローブ組立体1の構成を、詳細に説明する。
支持部材10は、複数のプローブ11及び21を支持する部材である。図4に示すように、支持部材10の下面の長手方向に伸びる端部には、複数のスリットを有するプローブ支持部101及び102が設けられている。プローブ支持部101及び102に設けられている各スリットは、プローブ支持部101とプローブ支持部102との間で対応する位置関係にあり、各プローブ11及び21の両端部が各スリットに嵌め込まれることで、各プローブ11及び21を支持することができる。
各プローブ11及び21は、検査用テストパッド80の各電極と、接続ケーブル部6側の各端子との間で電気信号を伝える部材である。検査用テストパッド80は、液晶パネルの回路の各電極と接続しているので、各プローブ11及び21は、検査用テストパッド80の各電極を介して液晶パネルの各電極と電気的に接続する。以下、検査用テストパッド80の各電極と電気的に接触する複数のプローブをプローブ群とも呼ぶ。
位置決め部材14(14-1、14-2)は、支持部材10のプローブ支持部101及び102の各スリットに各プローブ11及び21が嵌合された状態で、各プローブ11及び21の各固定用ガイド穴111及び位置調整用ガイド穴112(位置調整用ガイド穴211及び固定用ガイド穴212)を貫通させて、複数のプローブ11及び21の位置決めをするものである。各位置決め部材14-1及び14-2は、絶縁部材で形成したり、又は絶縁層を被膜することにより形成したりすることができる。
以下、図2、図3を例に挙げて、検査用テストパッド80の配列の状態に合わせて、検査用テストパッド80に接触する各プローブ11及び21の第1の先端部113の位置調整の説明を行なう。図2では、プローブ11の固定用ガイド穴111及びプローブ21の位置調整用ガイド穴211に位置決め部材14-2が差し込まれ、プローブ11の位置調整用ガイド穴112及びプローブ21の固定用ガイド穴212に位置決め部材14-1が差し込まれている例が示されている。なお、図2では、説明を簡易にするために、1組のプローブ(1個のプローブ11と1個のプローブ21)しか示していないが、実際には図4に示すように複数(例えば、数100)のプローブ11及び21が存在する。また、この実施形態では、図3に示すように位置決め部材14-1が移動し、位置決め部材14-2が固定される例を示すが、変形例として、位置決め部材14-2が移動し、位置決め部材14-1が固定される構成としてもよい。
サイドカバー12及び13は、複数のプローブ11及び21の固定用ガイド穴111及び位置調整用ガイド穴112(位置調整用ガイド穴211及び固定用ガイド穴212)に位置決め部材14-1及び14-2が挿通された状態で、位置決め部材14-1及び14-2の抜けを防止するため、各位置決め部材14-1及び14-2の両端部を固定するものである。
以上のように、上記実施形態によれば以下の効果を奏する。
上述した実施形態では、プローブ組立体1に位置決め部材14を2つ使用する例(位置決め部材14-1、位置決め部材14-2)を示したが、2以上の位置決め部材14を使用しても良い。例えば、3つの位置決め部材14を使用する場合には、図2に示したような位置決め部材14-2と同様の機能を備える(常に固定される)位置決め部材14-3を用いる。また、プローブ11及びプローブ21には固定用ガイド穴111及び位置調整用ガイド穴211の左側に同様の形状のガイド穴を設ける。新たに設けたガイド穴に位置決め部材14-3を差し込むことにより、プローブ11及び21の安定性が向上する。
Claims (4)
- 支持部材と、
第1の接触対象と接触する第1の接触部と、第2の接触対象と接触する第2の接触部とを有する複数のプローブを、上記支持部材の長手方向に沿って配列させたプローブ群と
上記プローブ群の上記各プローブの中央領域を貫通して上記各プローブを支持する複数の位置決め部材と
を備え、
上記プローブ群が、
上記中央領域から上記第1の接触部側に配置される固定孔と、上記中央領域から上記第2の接触部側に配置される位置調整孔とを有する複数の第1のプローブと、
上記中央領域から上記第1の接触部側に配置される位置調整孔と、上記中央領域から上記第2の接触部側に配置される固定孔とを有する複数の第2のプローブとを有し、
上記各第1のプローブと上記各第2のプローブとを交互に配列させ、
上記各第1のプローブ及び上記各第2のプローブの上記位置調整孔は、長穴形状である
ことを特徴とするプローブ組立体。 - 上記複数の位置決め部材のうち第1の位置決め部材が、交互配列する、上記各第1のプローブの上記固定孔と、上記各第2のプローブの上記位置調整孔とを貫通し、
上記複数の位置決め部材のうち第2の位置決め部材が、交互配列する、上記各第1のプローブの上記位置調整孔と、上記各第1のプローブの上記固定孔とを貫通する
ことを特徴とする請求項1に記載のプローブ組立体。 - 上記各第1のプローブ及び上記各第2のプローブの上記位置調整孔が、上記各位置決め部材の移動を許容する可動領域を有しており、
上記複数の位置決め部材を相対移動させて、上記各第1のプローブの上記第1の接触部及び上記第2の接触部の位置と、上記各第2のプローブの上記第1の接触部及び上記第2の接触部の位置とが可変する
ことを特徴とする請求項2に記載のプローブ組立体。 - 上記複数の位置決め部材を相対移動は、上記第1の位置決め部材を固定した状態で、上記第2の位置決め部材を移動させるものであり、上記各第2のプローブの上記第1の接触部及び上記第2の接触部の位置が可変する
ことを特徴とする請求項2又は3に記載のプローブ組立体。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018118685A JP7154835B2 (ja) | 2018-06-22 | 2018-06-22 | プローブ組立体 |
TW108115317A TWI698645B (zh) | 2018-06-22 | 2019-05-03 | 探針組裝體 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018118685A JP7154835B2 (ja) | 2018-06-22 | 2018-06-22 | プローブ組立体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019219341A JP2019219341A (ja) | 2019-12-26 |
JP7154835B2 true JP7154835B2 (ja) | 2022-10-18 |
Family
ID=69096334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018118685A Active JP7154835B2 (ja) | 2018-06-22 | 2018-06-22 | プローブ組立体 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7154835B2 (ja) |
TW (1) | TWI698645B (ja) |
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2018
- 2018-06-22 JP JP2018118685A patent/JP7154835B2/ja active Active
-
2019
- 2019-05-03 TW TW108115317A patent/TWI698645B/zh active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202001256A (zh) | 2020-01-01 |
JP2019219341A (ja) | 2019-12-26 |
TWI698645B (zh) | 2020-07-11 |
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