KR101021744B1 - 기판검사용 지그 및 이 지그에 있어서의 접속전극부의 전극구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 접촉자와 접속전극부와의 접촉저항값을 저감시킬 수 있음과 동시에 사용 횟수에 관계없이 안정된 접촉저항값을 가지는 기판검사용 지그를 제공한다.

피검사기판의 전기적 특성을 검사하기 위해서, 기판검사장치 본체와 피검사기판의 배선 패턴에 형성되는 복수의 기판 피검사점과의 사이의 전기적 도통을 얻기 위한 기판검사용 지그로서, 양단에 전기적 도통을 도모하는 단부를 가지며, 한쪽의 단부가 기판 피검사점의 하나에 압접되는 전기전도성을 가지는 접촉자군과, 접촉자군을 지지하는 접촉자 지지체와, 접촉자군의 각각의 접촉자의 다른쪽의 단부와 대향해서 배치된 접속전극부를 포함하는, 기판검사장치 본체에 접속되는 접속전극체를 가지며, 접촉자군의 다른쪽의 단부와 접속전극체를 접속할 때에, 각각의 다른쪽 단부의 근방의 측둘레면의 적어도 일부가 이것에 대향하는 접속전극부의 일부와 접촉함으로써 전기적으로 도통상태로 된다.

지그, 기판검사, 접촉자, 지지체, 접속전극

Description

기판검사용 지그 및 이 지그에 있어서의 접속전극부의 전극구조{SUBSTRATE INSPECTING JIG, AND ELECTRODE STRUCTURE OF CONNECTING ELECTRODE UNIT IN THE JIG}

본 발명은, 피검사기판을 검사하는 경우에 사용되는 기판검사용 지그 및 기판검사용 지그에 있어서의 접속전극부의 전극구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판검사용 지그의 접촉자와 기판검사용 지그의 전극부의 접촉 저항을 저감시키는 기판검사용 지그의 전극구조와 이 전극구조를 가지는 검사 지그에 관한 것이다.

또한 이 발명은 프린트 배선기판에 한정되지 않고, 예를 들면 플렉시블 기판, 다층 배선기판, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이용의 전극판, 및 반도체 패키지용의 패키지 기판, 필름 캐리어나 반도체 웨이퍼 등 여러 가지 기판에 있어서의 전기적 배선의 검사에 적용할 수 있으며, 이 명세서에서는 그러한 여러 가지 배선기판들을 총칭해서 '기판'이라고 칭한다.

종래 회로 기판상에 형성되는 배선 패턴은, 그 회로 기판에 탑재되는 IC 등의 반도체나 저항기 등의 전기·전자부품에 전기신호를 정확하게 전달할 필요가 있기 때문에, 전기·전자부품을 실장하기 전의 프린트 배선기판, 액정 패널이나 플라즈마 디스플레이 패널에 배선 패턴이 형성된 회로 배선기판, 혹은, 반도체 웨이퍼 등의 기판에 형성된 배선 패턴에 대하여, 검사 대상이 되는 배선 패턴에 형성된 검사점(檢査点) 간의 저항값을 측정하여 그 좋고 나쁨이 판정되고 있었다.

이러한 판정 검사에는 배선 패턴의 단선 및 단락을 검사하는 검사 방법이 실시되고 있다. 이러한 도통이나 단락의 검사에서는, 검사 대상이 되는 배선 패턴의 2군데에 형성되는 검사점에 각각 하나씩 측정 단자를 접촉시켜, 그 측정 단자간에 소정 레벨의 측정용 전류를 흘림으로써 그 측정 단자간의 전압값을 측정하고, 이 전압값과 미리 정해진 임계값을 비교함으로써 좋고 나쁨의 판정이 행하여지고 있었다

그러나, 이러한 방법에서 사용되는 기판검사용 지그에서는, 배선 패턴의 2군데의 검사점 각각에 하나씩 접촉시킨 측정 단자를 측정용 전류의 공급과 전압의 측정에 공용하는 경우에는, 측정 단자와 검사점 사이의 접촉 저항이 측정 전압에 영향을 주어 저항값의 측정 정밀도가 저하하고, 검사 결과의 신뢰성이 저하한다고 하는 문제가 있었다.

특히, 최근 회로 기판상에 형성되는 배선 패턴의 미세화가 진행되어 배선 패턴의 저항값이 작아지고 있어, 상기의 접촉 저항이 이 측정값에 미치는 영향이 큰 문제가 되고 있었다.

이러한 접촉 저항의 문제를 해결하기 위해서 특허문헌 2에 개시되는 바와 같은 접촉자가 제안되어 있다. 이 접촉자는 측정 대상의 전극에 대하여 대략 수직으로 접촉 가능한 대략 직선 형상의 접촉부를 가지고 있으며, 이 접촉부의 길이 방향을 따라서 연장하는 일부가 당해 접촉부의 다른 부분과 다른 열팽창률을 가지는 재 료로 구성되어 있다. 이와 같이 구성됨으로써, 접촉부가 바이메탈(bimetal)로 되어 있으므로, 소정의 환경 온도하에서 접촉부를 측정 대상의 전극에 대략 수직으로 접촉시키고 그 상태로 오버드라이브를 행하면, 당해 측정 대상의 전극으로부터 전해지는 환경 온도의 열에 의해 당해 접촉부가 작은 열팽창률의 소재로 구성된 부분을 향해서 만곡하게 된다.

그러나, 이러한 접촉자를 이용해도 전극부에 대하여 수직으로 접촉시키는 것을 가능하게 할 뿐, 접촉 안정성이라는 견지에서 감안하면, 충분한 접촉 안정성을 가지고 접촉 저항값이 낮은 접속을 가지고 있다고는 말할 수 없었다.

특허문헌 1: 일본공개특허 평6-66832호 공보

특허문헌 2: 일본공개특허 2005-345129호 공보

본 발명은 이러한 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 기판검사용 지그의 접촉자와 기판검사용 지그의 전극부의 접촉 저항을 저감시키는 기판검사용 지그의 전극구조와 이 전극구조를 가지는 검사 지그를 제공한다.

청구항 1에 기재된 발명은, 피검사기판의 전기적 특성을 검사하기 위해서, 기판검사장치 본체와 상기 피검사기판의 배선 패턴에 형성되는 복수의 기판 피검사점과의 사이의 전기적 도통을 얻기 위한 기판검사용 지그로서, 상기 기판검사용 지그는, 양단에 전기적 도통을 도모하는 단부를 가지며, 한쪽의 단부가 상기 기판 피검사점의 하나에 압접되는 전기전도성을 가지는 막대형상의 접촉자로 이루어지는 접촉자군과, 상기 접촉자군을 지지하는 접촉자 지지체와, 상기 접촉자군의 각각의 접촉자의 다른쪽의 단부와 대향해서 배치된 접속전극부를 포함하는, 상기 기판검사장치 본체에 접속되는 접속전극체를 가지며, 상기 접촉자군의 상기 다른쪽의 단부와 상기 접속전극체를 접속할 때에, 각각의 상기 다른쪽 단부의 근방의 측둘레면의 적어도 일부가 이것에 대향하는 상기 접속전극부의 일부와 접촉함으로써 전기적으로 도통상태로 되는 것을 특징으로 하는 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 2에 기재된 발명은, 상기 접속전극부는 이것에 대향하는 상기 접촉자의 상기 다른쪽의 단부를 수용하는 구조를 가지며, 또한, 상기 접촉자와 상기 접속전극부의 도통상태는 적어도 상기 접촉자의 다른쪽의 단부와 상기 접속전극부의 내부측 표면의 접촉에 의한 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 3에 기재된 발명은, 상기 접속전극부는 이들에 대향하는 상기 접촉자의 상기 다른쪽 단부의 적어도 일부를 유동가능하게 끼울 수 있는 형상인 것을 특징으로 하는 청구항 1 또는 2에 기재된 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 4에 기재된 발명은, 상기 접속전극부는 통형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 5에 기재된 발명은, 상기 접속전극부가 상기 접촉자의 장축에 대하여 경사 또는 만곡해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 6에 기재된 발명은, 상기 접속전극부는 상기 접촉자의 출입방향과 직각방향으로 슬라이딩하는 활주부를 가지는 것을 특징으로 하는 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 기재된 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 7에 기재된 발명은, 상기 접촉자의 다른쪽의 단부는 상기 접촉자의 장축에 대하여 굴곡하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 8에 기재된 발명은, 상기 접촉자 지지체는 상기 접촉자의 한쪽 단부의 근방을 지지하는 제1지지구멍을 가지는 제1지지부와, 상기 접촉자의 다른쪽 단부의 근방을 지지하는 제2지지구멍을 가지는 제2지지부를 가지며, 상기 제2지지부는 상기 전극체와 맞닿아 배치되는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 9에 기재된 발명은, 상기 접촉자 지지체는 상기 접촉자의 한쪽 단부의 근방을 지지하는 제1지지구멍을 가지는 제1지지부와, 상기 접촉자의 다른쪽 단부의 근방을 지지하는 제2지지구멍을 가지는 제2지지부를 가지며, 상기 제2지지부는 상기 전극체와 소정 간격을 가지고 배치되는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 10에 기재된 발명은, 상기 접촉자 지지체는 상기 접촉자의 다른쪽이 상기 접속전극부에 접촉시키는 사용시에 있어서 상기 접촉자가 돌출하도록 상기 접촉자의 장축방향으로 슬라이딩 이동하는 보호부를 포함해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 11에 기재된 발명은, 상기 다른쪽 단부의 근방의 범위는 상기 접속시에 상기 다른쪽 단부의 측둘레면이 적어도 상기 접속전극부에 접촉할 수 있는 범위인 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 12에 기재된 발명은, 피검사기판의 전기적 특성을 검사하기 위해서, 기판검사장치 본체와 상기 피검사기판의 배선 패턴에 형성되는 복수의 기판 피검사점과의 사이의 전기적 도통을 얻기 위해서, 일단이 상기 피검사점에 도통 접촉을 도모하기 위해서 압접되는 접촉자와, 상기 접촉자와 도통 접촉해서 상기 기판검사장치 본체와 접속되는 접속전극체가 가지는, 상기 접촉자의 타단과 도통 접촉하는 접속전극부의 전극구조로서, 상기 접속전극부는, 상기 접촉자의 다른쪽의 단부와 상기 접속전극체를 접속할 때에, 상기 접촉자의 상기 다른쪽 단부의 근방의 측둘레면의 적어도 일부가 이것에 대향하는 상기 접속전극부의 일부와 접촉하는 것을 특징으로 하는 접속전극부의 전극구조를 제공한다.

이러한 발명들을 제공함으로써 상기 과제를 모두 해결한다.

<발명의 효과>

청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 접촉자군의 다른쪽의 단부와 접속전극체를 접속할 때에 접촉자의 다른쪽 단부의 근방의 측둘레면의 적어도 일부가 이것에 대향하는 접속전극부의 일부와 접촉함으로써 전기적으로 도통상태가 되므로, 접촉자와 접속전극부와의 접촉 저항값을 저감시킬 수 있는 동시에 사용 횟수에 관계없이 안정된 접촉 저항값을 가지는 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 접촉자와 접속전극부의 도통상태가 적어도 접촉자의 다른쪽의 단부와 접속전극부의 내부측 표면의 접촉에 따르므로, 접촉자와 접속전극부의 접촉 면적을 크게 하는 것이 가능해져, 접촉 저항값을 보다 저감시킬 수 있는 동시에 사용 횟수에 관계없이 안정된 접촉 저항값을 가지는 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 3에 기재된 발명에 의하면, 접속전극부가 접촉자를 유동가능하게 끼울 수 있는 형상이므로, 접촉자를 접속전극부에 출입시킬 때에 과잉 부담이 걸리는 것을 방지할 수 있는 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 접속전극부는 통형상으로 형성되어 있으므로 접촉자가 접촉하는 접촉면을 균일하게 작성할 수 있어, 어느 통부에 접촉해도 안정된 접촉 저항값의 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 5에 기재된 발명에 의하면, 접속전극부가 상기 접촉자의 장축에 대하여 경사 또는 만곡해서 형성되어 있으므로, 접촉자를 접속전극부에 출입시킬 때에 접속전극부의 내부측 표면을 접촉자가 스치면서 접촉하게 되어, 접촉자와 접속전극부와의 접촉 저항값을 저감시킬 수 있는 동시에 사용 횟수에 관계없이 안정된 접촉 저항값을 가지는 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 6에 기재된 발명에 의하면, 접속전극부가 접촉자의 출입방향과 직각방향으로 슬라이딩하는 활주부를 가지고 있으므로, 접촉자가 접속전극부에 수용되었을 때에 확실하게 접촉자와 접속전극부를 접촉시키는 것이 가능해져, 접촉자와 접속전극부와의 접촉 저항값을 저감시킬 수 있는 동시에 사용 횟수에 관계없이 안정된 접촉 저항값을 가지는 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 7에 기재된 발명에 의하면, 접촉자의 다른쪽이 상기 접촉자의 장축에 대하여 굴곡하여 형성되어 있으므로, 접촉자를 접속전극부에 출입시킬 때에 접속전극부의 내측 표면을 접촉자가 스치면서 접촉하게 되어, 접촉자와 접속전극부와의 접촉 저항값을 저감시킬 수 있는 동시에 사용 횟수에 관계없이 안정된 접촉 저항값을 가지는 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 8에 기재된 발명에 의하면, 접촉자 지지체가 두 개의 부재로 형성되고, 한쪽의 지지부가 접속전극체와 맞닿아 배치되므로, 확실하게 접속전극부에 접촉자를 안내할 수 있는 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 9에 기재된 발명에 의하면, 접촉자 지지체가 두 개의 부재로 구성되고, 한쪽의 지지부가 접속전극체와 소정 간격을 가지고 배치되므로, 이 소정 간격에 의해 형성되는 공간에서 접촉자가 휘는 것이 가능해져, 접촉자를 접속전극부에 출입시킬 때에 접속전극부의 내측 표면을 접촉자가 스치면서 접촉하게 되어, 접촉자와 접속전극부와의 접촉 저항값을 저감시킬 수 있는 동시에 사용 횟수에 관계없이 안정된 접촉 저항값을 가지는 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 10에 기재된 발명에 의하면, 접촉자 지지체가 접촉자를 보호하는 보호부를 가지므로, 접촉자를 사용시 미사용시에 있어서 효과적으로 접촉자를 보호할 수 있고, 접촉자의 사용 수명을 연장할 수 있는 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 11에 기재된 발명에 의하면, 다른쪽 단부의 근방의 범위는 상기 접속시에 상기 다른쪽 단부의 측둘레면이 적어도 상기 접속전극부에 접촉할 수 있는 범위이므로, 접촉자와 접속전극부와 접촉하는 접촉 면적을 크게 할 수 있어, 접촉자와 접속전극부와의 접촉 저항값을 저감시킬 수 있는 동시에 사용 횟수에 관계없이 안정된 접촉 저항값을 가지는 기판검사용 지그를 제공한다.

청구항 12에 기재된 발명에 의하면, 접촉자의 다른쪽의 단부와 접속전극체를 접속할 때에 접촉자의 다른쪽 단부의 근방의 측둘레면의 적어도 일부가 이것에 대향하는 접속전극부의 일부와 접촉하므로, 접촉자와 접속전극부와의 접촉 저항값을 저감시킬 수 있는 동시에 사용 횟수에 관계없이 안정된 접촉 저항값을 가지는 기판검사용 지그의 접속전극부를 제공한다.

도 1은 본 발명에 따른 기판검사용 지그를 사용하는 경우의 구성의 개략을 나타내고 있다.

도 2는 본 발명에 따른 기판검사용 지그의 개략 구성을 나타내며, 접촉자, 접촉자 지지체와 접속전극체의 위치 구조를 나타내고 있다.

도 3은 접촉자의 일실시형태를 나타낸다. (a)는 막대형상 부재, (b)는 막대형상 부재와 통형상 부재, (c)는 막대형상 부재, 통형상 부재와 절연부를 나타내고 있다.

도 4는 이 보호부의 동작을 나타내고 있으며, (a)는 기판검사용 지그의 미사용시의 상태를 나타내고 있고, (b)는 기판검사용 지그의 사용시의 상태를 나타내고 있다.

도 5의 (a)~(d)는 접속전극부의 일실시형태를 각각 나타낸다.

도 6은 접촉자의 다른 실시형태를 나타낸다.

도 7은 본 발명에 따른 기판검사용 지그를 사용하고 있는 상태를 나타낸다.

도 8은 접속전극체가 가지는 활주부의 일실시형태를 나타낸다.

도 9는 본 발명에 따른 접촉자와 접촉자 지지체의 다른 실시형태를 나타내고 있다.

도 10은 본 발명에 따른 접촉자와 접촉자 지지체의 또 다른 실시형태를 나타내고 있다.

도 11은 본 발명에서 실시되는 기판검사용 지그의 일실시예를 나타내고 있다.

도 12는 본 발명에 따른 기판검사용 지그와 종래의 전극구조를 가지는 기판검사 지그와의 접촉 저항을 포함시킨 접촉자의 저항을 측정한 결과를 나타내고 있다.

<부호의 설명>

1 기판검사용 지그

1' 기판검사용 지그(다른 실시형태)

2 접촉자

2A 수용부

3 접촉자 지지체

31 제1지지부

32 제2지지부

4 접속전극체

41 접속전극부

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 기판검사용 지그를 사용하는 경우의 구성의 개략을 나타내고 있다. 이 도 1에서는, 복수의 접촉자(101), 이들 접촉자(101)를 다침(多針) 형상으로 지지하는 지지체(102), 이 지지체(102)들을 지지하는 동시에 접촉자(101)와 접촉해서 도통이 되는 접속전극부를 가지는 접속전극체(103), 검출되는 전기신호를 처리하는 검사신호처리부인 검사신호처리부(104), 및 검사용 접촉자(101)와 검사신호처리부(104)를 접속하는 와이어 케이블(105)을 나타내고 있다. 접촉자(101)는 피검사기판에 형성되는 배선 패턴의 각 검사점에 접촉하는 단자로서, 접속전극체(103)는 접촉자(101)와 검사신호처리부(104)의 피치 변환을 행하여 전기적으로 접속한다.

접속전극체(103)는 지지체(102)의 배치측에 접촉자(101)와 전기적으로 접속하는 접속전극부(106)를 가지고 있다. 본 발명은, 이 접속전극부(106)를 창의적으로 연구함으로써, 접촉자(101)와의 접속 저항값을 저감시킬 수 있는 동시에 안정성을 가진 접속 저항값을 제공한다.

본 발명에 따른 일실시형태의 기판검사용 지그(1)는 접촉자(2), 접촉자 지지체(3)와 접속전극체(4)를 가지고 이루어진다(도 2 참조). 또한, 접속전극체(4)는 상기와 같은 검사신호처리부(104)와 접속되어 있지만, 이 도 2에서는 생략하고 있다.

접촉자(2)는 가요성 및 전기전도성을 가지며, 바늘 형상이나 장척(長尺) 형 상 등의 막대형상으로 형성되어 있다. 이 접촉자(2)는 한쪽이 피검사기판의 검사점에 압접되며, 다른쪽이 후술하는 접속전극부와 접촉된다. 이 때문에, 접촉자(2)는 검사신호처리부(104)로부터의 전기신호를 검사점에 송신하는 동시에, 검사점으로부터의 전기신호를 검사신호처리부(104)로 송신할 수 있다.

이 접촉자(2)는 가요성을 가지고 있기 때문에, 후술하는 접촉자 지지체(3)의 내부에 형성되는 공간에서 접촉자(2)의 장축방향으로 대하여 직각방향으로 휘게(버클링되게) 된다. 이 때문에, 이 접촉자(2)가 사용되는 경우에는, 피검사기판의 검사점이나 접속전극부로부터의 하중을 받아 휘어, 이 휨에 의해 각 접촉부에 대하여 압압력을 발생시키게 된다.

접촉자(2)는 상기와 같은 형상으로 형성되면 특별히 한정되지 않지만, 도 3에서 나타내는 바와 같은 일실시형태와 같이 형성할 수도 있다.

이 도 3에서 나타나는 접촉자(2)는 도 3 (a)에서 나타나는 바와 같이 양 선단을 앞이 가는 형상으로 하는 가늘고 긴 막대형상 부재(21)로 형성된다. 앞이 가는 형상은 도 3 (a)에서 나타나는 바와 같은 첨예 형상으로 해도 상관없고, 구(球) 형상으로 해도 상관없다.

이 막대형상 부재(21)는 스테인리스강, 베릴륨구리(BeCu)나 텅스텐(W)을 들 수 있는데, 특별히 한정되는 것이 아니고 도전 물질이면 상관없다.

이 막대형상 부재(21)는 후술하는 접속전극부에 접촉하는 접촉 면적에 균일한 하중이 걸리도록 원통이나 원기둥 형상으로 형성되는 것이 바람직하지만, 특별히 한정되는 것은 아니다.

막대형상 부재(21)의 길이나 굵기는 특별히 한정되는 것은 아니고, 피검사기판에 형성되는 배선 패턴의 피치나 피검사기판의 크기에 맞춰서 적당히 설정된다.

도 3의 (b)에서는 막대형상 부재(21)를 통형상 부재(22)에 수용한 상태를 나타내고 있다. 이 통형상 부재(22)는 가요성 및 전기전도성을 가지고 있다. 막대형상 부재(21)가 이 통형상 부재(22)에 삽입된다. 도 3의 (b)에서는, 통형상 부재(22)의 한쪽의 선단인 일단(22a)과 다른쪽의 선단인 타단(22b)을 비교했을 경우, 일단(22a)으로부터 돌출하는 막대형상 부재(21)의 길이가 타단(22b)으로부터 돌출하는 막대형상 부재(21)의 길이보다도 길어지도록 설정되어 있다.

상기와 같은 경우, 일단(22a)은 접속전극부에 접촉하고, 타단(22b)은 피검사기판의 검사점에 접촉하게 된다. 이와 같이 배치의 길이를 변화시킴으로써, 막대형상 부재(21)가 접속전극부와 접촉하는 접촉 면적을 크게 할 수 있고, 또 타단(22b)으로부터 막대형상 부재(21)가 돌출하는 길이가 짧게 설정되기 때문에, 범프 등의 검사점에 접촉자가 접촉할 때에 통형상 부재(22)가 막대형상 부재(21)가 필요 이상으로 검사점에 관입하는 것을 방지하는 스토퍼적인 역할을 완수할 수 있는 동시에, 구 형상의 범프 등의 검사점에 대해 안정되게 접촉할 수 있다. 또 나아가, 막대형상 부재(21)의 선단형상의 가공성에 의존하지 않고, 막대형상 부재(21)와 통형상 부재(22)에 의한 검사점에의 접촉을 가능하게 할 수 있다.

또한, 이 타단(22b) 측의 막대형상 부재(21)의 돌출량은 상기와 같이 일단(22a)보다도 짧게 설정할 수도 있음과 동시에, 상기 설명과 같은 검사점에 관입되는 양(길이)으로서 설정할 수도 있다.

이 통형상 부재(22)는 막대형상 부재(21)를 내부에 수용할 수 있으며, 또한 막대형상 부재(21)와 도통상태로 될 수 있는 크기이면 특별히 한정되지 않는다.

통형상 부재(22)와 막대형상 부재(21)는 서로 전기적으로 접속되어 있다. 이 때문에, 막대형상 부재(21)를 통형상 부재(22)에 삽입한 상태(도 3의 (b)에서 나타나는 상태)로, 전체적으로 전해 도금 또는 무전해 도금을 실시함으로써 형성한다.

다른 방법으로서, 통형상 부재(22) 내부에 돌기형상부(도시하지 않음)를 복수 형성함으로써, 통형상 부재(22)가 막대형상 부재(21)를 압압하는 코킹(caulking) 구조를 가짐으로 인해 접촉해서 전기적으로 도통시킬 수 있다.

도 3의 (c)는 막대형상 부재(21)와 통형상 부재(22)가 일체화되고, 통형상 부재(22)의 표면둘레면에 절연부(23)가 형성되어 있다. 이 절연부(23)가 형성되는 장소는 도 3의 (c)에서 나타나는 바와 같이 접촉자(2)의 한쪽끝과 다른쪽끝 이외의 장소에 형성된다. 또, 이 절연부(23)와 통형상 부재(22)에 의해 형성되는 단차(24)는, 후술하는 접촉자 지지체(3)에 접촉자(2)가 배치되었을 때의 걸림부로서 이용되게 된다.

이 절연부(23)는 접촉자(2)가 휘었을 때에, 인접하는 접촉자(2)와 접촉해도 단락하는 것을 방지하고 있다.

이 절연부(23)는 폴리우레탄을 사용할 수 있지만, 특별히 한정되는 것이 아니다.

상기 설명에서는 막대형상 부재(21)와 통형상 부재(22)와 절연부(23)를 이용해서 접촉자(2)를 구성한 경우를 설명했지만, 막대형상 부재(21)와 절연부(23)로 이루어지는 접촉자를 이용해도 되며, 접촉자의 구조는 이들에 한정되는 것이 아니다.

또한 본 명세서에서는, 접속전극부(41)에 수용되는 접촉자(2)의 일부를 부호 2A로서 설명하는데, 이 접촉자(2)의 수용부(2A)는 절연부(23)가 형성되어 있지 않은 접촉자(2)의 일단이 된다. 예를 들면, 접촉자(2)의 선단에서 단차(24)까지의 접촉자(2)의 부분(길이(L)의 부분)이다. 이 부분(L)은 모두가 접속전극부에 수용될 필요는 없지만, 될 수 있는 한 많은 부분이 수용되는 것이 바람직하다.

이 부분의 길이(L)는 접속전극부에 수용되는 길이에 의해 적당히 설정되는데, 충분한 안정성이 있는 접촉 상태(도통상태)가 되기 위해서라도 2~5mm 정도인 것이 바람직하다.

접촉자(2)의 이 부분이 다른쪽의 단부에 상당하며, 이 부분의 측둘레면의 적어도 일부가 접속전극부(41)와 접촉하게 된다.

접촉자 지지체(3)는 복수의 접촉자(2)로 이루어지는 접촉자군을 지지한다. 이 접촉자 지지체(3)는 도 2에서 나타나는 바와 같이, 복수의 접촉자(2)를 지지하기 위해서 제1지지부(31)와 제2지지부(32)를 가지고 이루어진다.

도 2에서 나타나는 접촉자 지지체(3)는 지면 상측에 제1지지부(31)가 배치되고, 지면 하측에 제2지지부(32)가 배치되며, 제1지지부(31)는 접촉자(2)의 선단을 검사점으로 안내하고, 제2지지부(32)는 접촉자(2)의 타단을 접속전극부로 안내한다.

제1지지부(31)는 소정의 접촉자(2)를 소정 검사점으로 안내하기 위한 제1지 지구멍(33)을 가지고 있다. 이 제1지지구멍(33)은 접촉자(2)의 막대형상 부재(21)나 통형상 부재(22)의 외부지름보다도 크고, 절연부(23)의 지름보다도 작아지도록 형성되어 있다. 이와 같이 형성됨으로써 접촉자(2)가 제1지지부(31)의 제1지지구멍(33)에서 빠져 나오는 것을 방지한다

제2지지부(32)는 소정의 접촉자(2)를 소정 접속전극부로 안내하기 위한 제2지지구멍(34)을 가지고 있다. 이 제2지지구멍(34)은 접촉자(2)의 막대형상 부재(21)나 통형상 부재(22)의 외부지름보다도 크고, 절연부(23)의 지름보다도 작아지도록 형성되어 있다. 이와 같이 형성됨으로써 접촉자(2)가 제2지지부(32)의 제2지지구멍(34)에서 빠져 나오는 것을 방지한다.

이와 같이 제1 및 제2지지구멍(33, 34)을 형성함으로써, 접촉자(2)가 이 접촉자 지지체(3)로부터 빠지는 것을 방지한다.

제1지지부(31)와 제2지지부(32)는 지주(支柱; 35)를 사이에 두고 소정 간격을 가지고 배치된다. 이 때문에, 지주(35)에 의해 제1지지부(31)와 제2지지부(32)의 사이에 공간이 형성되어, 이 공간내를 접촉자(2)가 휠 수 있다.

이 지주(35)에 의한 공간의 길이는 사용자에 의해 적당히 설정된다.

도 2에서는 제1지지부(31)가 2매의 판부재에 의해 형성되어 있다. 이들 판부재들은 제1지지구멍(33)을 형성하기 위한 판부재와, 지주(35)에 고착하기 위한 나사구멍을 형성하는 판부재로서 형성되어 있다. 이들 판부재들의 수는 특별히 한정되는 것이 아니고, 적어도 상기의 기능을 가지는 것이라면 1매이어도 2매 이상이어도 상관없다.

또, 도 2에서는 제2지지부(32)는 3매의 판부재에 의해 형성되어 있다. 이들 판부재들은 제2지지구멍(34)을 형성하기 위한 판부재와, 지주(35)를 고착하기 위한 나사구멍을 형성하기 위한 판부재로서 형성되어 있다. 이들 판부재들의 수는 특별히 한정되는 것이 아니고, 적어도 상기의 기능을 가지는 것이라면 1매이어도 2매 이상이어도 상관없다.

제2지지부(32)는 복수의 판부재로 형성되는 동시에, 이들 판부재가 접촉자(2)에 대하여 직각방향(도 2에서는 좌우 방향)으로 각각 소정 길이분 만큼 옮겨 배치되는 것이 바람직하다.

이와 같이 복수의 판부재를 조금씩 옮겨 배치함으로써, 제2지지구멍(34)이 경사져 형성되게 된다. 이 때문에 접촉자(2)가 접촉자 지지체(3)에 지지되었을 때에 접촉자(2)가 가볍게 휘게 되어, 판부재와 접촉 저항이 생기게 되어 접촉자(2)가 안정성을 가지고 지지되게 된다.

제2지지부(32)는 접촉자(2)의 접속전극부측에 접촉자(2)를 접속전극부에 접촉시키는 사용시에 있어서 접촉자(2)가 돌출하도록, 접촉자(2)의 장축방향으로 슬라이딩 이동하는 보호부(36)를 구비하고 있다.

이 보호부(36)는 도 2에서 나타나는 바와 같이, 제2지지부(32)의 접속전극부측에 배치되는 동시에, 접촉자(2)의 장축방향으로 슬라이딩 이동하도록 스프링 기구(37)가 형성되어 있다

이 보호부(36)는 소정 두께의 판부재로 형성되며, 기판검사 지그의 미사용시에 있어서 접촉자(2)의 선단부(접속전극부에 접촉하는 부분)를 보호한다.

예를 들면 도 4에서는 이 보호부의 동작을 나타내고 있으며, 도 4의 (a)는 기판검사용 지그의 미사용시의 상태를 나타내고 있고, 도 4의 (b)는 기판검사용 지그의 사용시의 상태를 나타내고 있다.

도 4의 (a)에서는 기판검사용 지그의 접촉자(2)와 접촉자 지지체(3)가 접속전극체(4)에 접속되어 있지 않은 상태를 나타내고 있으며, 이 상태에서는, 접촉자(2)의 접속전극부에 접촉하는 단부는 보호부(36)에 의해 보호되어 있다. 또한, 도면에서는 접촉자(2)의 선단이 약간 돌출하고 있는 상태를 나타내고 있는데, 보호부(36)의 내부에 수용되어 있어도 된다.

도 4의 (b)는 기판검사용 지그의 접촉자(2)와 접촉자 지지체(3)가 접속전극체(4)에 접속되어 있는 상태를 나타내고 있다. 또한, 이 도 4의 (b)에서는 접속전극체(4)는 생략하고 있다. 이 상태에서는 보호부(36)가 슬라이딩 이동하여, 접촉자(2)가 돌출한 상태가 되어 이 돌출한 접촉자(2)가 접속전극부에 접촉하게 된다.

이 경우, 보호부(36)는 제2지지부(32)의 하단에 맞닿는 동시에, 스프링 기구(37)의 스프링에 의해 탄성지지 상태가 된다. 또, 보호부(36)가 도 4의 (a)에서 나타나는 위치로 되돌아가고자 하지만, 도 4의 (b)의 상태에서는 접속전극체(4)와 보호부(36), 보호부(36)와 제2지지부(32)가 각각 맞닿는 상태가 된다.

또한, 도 2에서는 접촉자 지지체(3)와 후술하는 접속전극체(4)와의 위치 맞춤을 행하는 돌기형상부(38)가 두 개 형성되어 있다.

접속전극체(4)는 접촉자 지지체(3)를 지지하는 동시에, 접촉자(2)의 일부를 내부에 수용하는 접속전극부(41)를 구비한다.

이 접속전극부(41)는 접촉자(2)를 내부에 수용하기 위해서, 접속전극체(4)의 표면에서 접속전극체(4) 내부로 연장하는 구멍형상으로 형성된다. 접속전극부(41)가 이와 같이 접속전극체(4)의 내부로 연장하는 구멍형상으로 형성됨으로써, 확실하게 접촉자(2)의 일부를 접속전극부(41) 내부에 수용할 수 있다. 이 경우, 접촉자(2)의 일부는 접속전극부(41)의 내부측 표면에 전극부를 형성함으로써 접촉자(2)의 일부가 내부측 표면과 접촉시킬 수 있다.

접속전극부(41)는 도선(42)에 접속되어 있다. 이 도선(42)은 상기와 같이 검사신호처리부에 접속된다.

접속전극부(41)는 접촉자(2)를 유동가능하게 끼울 수 있는 형상인 것이 바람직하다. 접속전극부(41)가 접촉자(2)를 유동가능하게 끼울 수 있는 것에 의해, 접촉자(2)를 접속전극부(41) 내부에 수용하거나 접촉자(2)를 접속전극부(41)로부터 제거하거나 하는 경우에, 접촉자(2)와 접속전극부(41)와의 마찰 저항을 저감시킬 수 있어 간단히 빼낼 수 있기 때문이다.

접속전극부(41)는 그 내부에 접촉자(2)의 일부를 수용하고, 접속전극부(41)의 내부측 표면을 전극부로 하고 있다. 이 때문에, 접속전극부(41)를 전기전도성의 통형상으로 형성할 수 있다. 이 경우, 통형상의 접속전극부(41)는 접촉자(2)를 내부에 수용하는 동시에 통형상의 내부측 표면이 전극부로서 기능한다.

또한, 이 접속전극부(41)는 접속전극체(4)의 표면과 면이 일치하도록 통(파이프)을 배치한다. 이와 같이 배치함으로써, 접속전극체(4)의 표면이 같은 높이가 되어, 제2지지부(32)나 보호부(36)가 접속전극체(4)에 맞닿을 경우에, 접속전극 체(4) 표면에 대하여 직각이 되도록 배치할 수 있어, 접촉자(2)가 사용시에 있어서 압접되어 휘었을 때에 어느 접촉자(2)에 대해서도 균일한 하중을 부하할 수 있다.

접속전극부(41)는 사용시나 미사용시에 따라 접촉자(2)가 접속전극부(41) 내를 출입하게 되므로, 접속전극부(41)에 확실하게 접촉시키기 위해서 접촉자(2)의 길이 방향과 접속전극부(41)의 길이 방향이 교차(상대적으로 교차)하도록 배치 또는 형성하는 것이 바람직하다.

이 구체적인 예로서, 예를 들면 접속전극부(41)를 접촉자(2)의 장축에 대해 경사 또는 만곡하여 형성한다.

이와 같이 접속전극부(41)가 형성됨으로써, 접촉자(2)가 접속전극부(41) 내부에 수용될 때에 접속전극부(41)의 내측 표면을 스치면서 수용되게 되어, 접촉자(2)가 접속전극부(41)와 확실하게 접촉 상태를 확립할 수 있다. 특히, 이와 같이 구성함으로써, 내측 표면의 전극부나 접촉자(2)의 표면에 형성되는 산화막을 부술 수 있다.

도 5는 접속전극부의 일실시형태를 나타낸다. 도 5의 (a)에서 나타내는 접속전극부(41)는 접속전극체(4)의 두께방향으로 평행하게 형성되어 있다. 이러한 경우여도, 상기와 같이 접촉자(2)가 경사져 배치되어 있을 때에는, 접속전극부(41)의 내부측 표면에 접촉자(2)가 스치면서 접촉하게 된다.

도 5의 (b)는 접속전극부(41)가 접속전극체(4)의 표면에 대하여 일정 각도로 경사져 형성된 경우를 나타낸다. 이 경우는, 접촉자(2)가 접속전극체(4)의 표면에 대략 직각방향으로 수용되어도, 접속전극부(41)의 내부측 표면을 스치면서 접촉하 게 된다.

도 5의 (c)는 접속전극부(41)가 역 'く'형상으로 형성된 경우를 나타낸다. 이 경우는, 접촉자(2)가 도 5의 (b)와 마찬가지로 스치면서 접촉해서 내부에 수용되는 동시에, 'く' 형상의 정점부에서 역방향의 경사를 접속전극부(41)가 형성하고 있으므로, 이 정점부에서는 확실하게 접촉자(2)가 내부측 표면과 접촉하게 된다.

도 5의 (d)는 접속전극부(41)가 만곡되어 형성된 경우를 나타낸다. 이 경우는, 접촉자(2)가 수용될 때에, 이 접속전극부(41)의 내부측 표면을 따라서 만곡하면서 표면을 스치면서 접촉하게 된다. 또한 이 경우에는, 도 5의 (c)보다도 접촉자(2)에 걸리는 하중이 낮기 때문에, 접촉자(2)를 꽂고 빼는 것을 용이하게 행할 수 있다.

도 5에서 나타난 접속전극부(41)의 형상들은 이들에 한정되는 것이 아니고, 접촉자(2)의 출입방향에 대하여 접속전극부(41)의 수용방향이 교차하도록 형성되게 설정할 수 있다. 이와 같이 접속전극부(41)를 형성함으로써, 접촉자(2)가 확실하게 접속전극부(41)의 내측 표면에 접촉하게 되는 동시에, 수용될 때에 내부측 표면을 스치면서 수용되게 되므로, 접촉 저항값이 낮은 동시에 접촉 저항값의 안정성이 높은 접촉자(2)와 접속전극부(41)의 접속을 가능하게 한다.

또, 다른 구체적인 예로서 도 6에 나타내는 바와 같이, 접속전극부(41) 내부에 수용되는 접촉자(2)의 선단(2A)을 접촉자(2)의 장축에 대하여 굴곡시켜 형성한다.

이와 같이 접촉자(2)의 선단(2A)을 굴곡시켜 형성시킴으로써, 접촉자(2)의 선단(2A)이 접속전극부(41)에 수용될 때에 접속전극부(41)의 내측 표면을 스치면서 접촉하게 된다.

이 도 6에서 나타나는 접촉자(2)는 접촉자(2)의 중심축으로부터 접촉자(2)의 선단(2A)이 폭(W)을 가지도록 굴곡하고 있다. 이 폭(W)은 접속전극부(41)의 내부지름과 대략 같은 정도로 형성되는 것이 바람직하다. 이 폭(W)이 접속전극부(1)의 내부지름과 대략 같게 형성됨으로써, 확실하게 내측 표면에 접촉할 수 있는 동시에, 굴곡시키는 양(폭)을 작게 할 수 있기 때문이다.

도 7은 본 발명에 따른 기판검사용 지그를 사용하고 있는 상태를 나타낸다.

이 도 7(a)에서는 복수의 접촉자(2)의 수용부(2A)가 접속전극부(41) 내부에 수용되어 있다. 도 7(a)에서는 나타내고 있지 않지만, 접촉자(2)의 수용부(2A)가 굴곡 형상이거나 접촉자(2)가 경사져 배치되어 있거나 한 경우에는, 접속전극부(41) 내에 접촉자(2)가 수용될 때에는 내부측 표면을 스치면서 접촉해서 수용된다. 또한, 도 7에서는 편의적으로 접촉자(2)가 접속전극부(41)의 대략 중앙에 위치하고 있다.

접촉자(2)가 접속전극부(41)에 수용되면, 접촉자 지지체(3)나 접속전극체(4)를 상대적으로 이동시킴으로써 접촉자(2)의 수용부(2A)를 확실하게 접속전극부(41)의 내부측 표면에 압접시키는 것이 바람직하다.

도 7(b)에서는 접촉자 지지체(3)와 접속전극체(4)를 접촉자(2)의 장축에 대하여 직각방향으로 이동시킴으로써 확실하게 접속전극부(41)의 내부측 표면에 접촉시키는 것을 나타내고 있다. 예를 들면 도 7(b)에서 나타나는 바와 같이, 접속전극 체(4)를 지면(紙面) 왼쪽(도 7 (b)의 검은 화살표방향)으로 이동시킴으로써, 접촉자(2)의 수용부(2A)를 접속전극부(41)의 내부측 표면에 압접한다. 또는, 접촉자 지지체(3)를 지면 오른쪽(도 7 (b)의 흰색 화살표방향)으로 이동시킴으로써, 접촉자(2)의 수용부(2A)를 접속전극부(41)의 내부측 표면에 압접한다. 이와 같이, 접촉자 지지체(3) 및/또는 접속전극체(4)를 접촉자(2)의 출입방향과 직각방향으로 슬라이딩하는 활주부를 형성함으로써, 접촉자(2)의 수용부(2A)를 접속전극부(41)의 내부측 표면에 보다 안정적으로 접촉시키는 것이 가능해진다.

도 8은 접속전극체가 가지는 활주부의 일실시예를 나타낸다. 이 도 8에서 나타나는 활주부는 접속전극체(4)를 3매의 제1판부재(43), 제2판부재(44)와 제3판부재(45)를 가지고 이루어진다. 이들의 3매의 판부재를 관통하도록 접속전극부(41)가 형성되어 있다. 제1판부재(43)와 제3판부재(45)는 고정부재이며, 제2판부재(44)가 슬라이딩하는 기구로 되어 있다. 이 때문에, 도 8의 (b)에서 나타나는 바와 같이, 제2판부재(44)가 슬라이딩해서 접속전극부(41)를 측면측에서 압압하게 되어, 그렇게 해서, 접속전극부(41)가 만곡 형상으로 되어 접촉자(2)의 수용부(2A)를 측면에서 압압해서 접촉하게 된다.

또한, 이 도 8에서 나타나는 접속전극체(4)에서는 3매의 판부재를 이용해서 설명했지만, 3매에 한정되지 않고, 복수의 판부재를 더 이용해서 활주부를 형성해도 상관없다.

다음으로 접촉자(2)와 접촉자 지지체(3)의 다른 실시형태를 설명한다.

도 9는 접촉자(2)와 접촉자 지지체(3)의 다른 실시형태를 나타내고 있다. 이 실시형태에서는 이용되는 접촉자(2)의 수용부(2A)가 접촉자(2)의 장축에 대하여 굴곡하고 있다(도 6 참조). 이 접촉자(2)는 수용부(2A)가 굴곡하고 있지만, 미사용시에 있어서 보호부(36)(의 관통 구멍)가 접촉자(2)의 수용부(2A)를 지지하게 되어, 접촉자(2)가 일직선 형상을 가지도록 지지하고 있다. 이 실시형태의 기판검사용 지그를 사용하는 경우에는, 보호부(36)가 밀어 올려져 접촉자(2)가 보호부(36)보다 돌출하게 되는데, 이 때, 접촉자(2)의 수용부(2A)는 굴곡하도록 형성되어 있으므로 소정 방향으로 굴곡하게 된다.

또한, 접속전극체(4)에 이 기판검사용 지그를 부착하는 경우에는, 보호부(36)를 접속전극체(4)의 접속전극부(41)에 위치맞춤하여 접속전극체(4)와 접촉한 상태로 보호부(36)을 밀어 올리게 되므로, 접촉자(2)가 접속전극부(41)에 수용되는 동시에, 접촉자(2)의 수용부(2A)가 접속전극부(41)의 내측 표면을 스치면서 접촉하게 된다.

또 다른 실시형태를 설명한다.

도 10은 접촉자(2)와 접촉자 지지체(3)의 또 다른 실시형태를 나타내고 있다. 이 실시형태에서는, 제2지지부(32) 또는 보호부(36)와 접속전극체(4)의 사이에 공간(S)을 형성하는 경우이다.

도 10에서는 접촉자 지지체(3)와 접속전극체(4)의 사이에 공간(S)이 형성되어, 이 공간(S)에 있어서 접촉자(2)의 수용부(2A)가 접속전극부(41)에 수용되었을 때에 휘게 된다. 이와 같이 수용부(2A)가 공간(S)에서 휠 수 있으로, 접속전극부(41)에 수용되고 또한 접속전극부(41)의 내측 표면에 접촉하는 개소의 수용 부(2A)에 수용부(2A)의 휨분 만큼의 압압이 걸리게 된다. 이 때문에, 수용부(2A)가 접속전극부(41)의 내측 표면에 안정적으로 접촉하게 된다.

또, 이 실시형태에서는 접속전극체(4)를 활주(화살표방향으로 이동)시켜 접촉자(2)가 접속전극부(41)에 안정되게 접촉하도록 하고 있다.

본 발명에 따른 기판검사용 지그의 구성의 설명이다.

다음으로 본 발명에 따른 기판검사용 지그의 일실시예를 설명한다.

도 11은 본 발명에서 실시되는 기판검사용 지그의 일실시예를 나타내고 있다.

이 일실시예에서 나타나는 접촉자(2)는 텅스텐을 소재로 하여, 길이 30mm, 직경 90㎛의 막대형상 부재(21)를 형성하고, 수용부(2A)의 길이가 2mm가 되도록 절연부(23)를 형성한다.

또, 접속전극부(41)는 내부지름 95㎛, 외부지름 125㎛가 되는 전기전도성의 파이프로서, 이 파이프의 내측 표면에 금도금 처리한다.

이 도 11에서 나타나는 일실시예에서는, 접속전극체(4)가 제1판형상부(43), 제2판형상부(44), 제3판형상부(45)와 제4판형상부(46)로 형성되는 동시에, 제2판형상부(44)를 가로방향으로 이동시키는 활주부(47)를 가지고 있다. 이 제1판형상부(43)와 제3판형상부(45)는 고정 부재이며, 제4판형상부(46)는 기판검사용 지그(1')의 대좌로서 이용하고 있다.

접속전극부(41)는 제1 내지 제3판형상부를 관통하도록 형성되어 있다.

활주부(47)는 제2판형상부(44)를 좌우로 이동시킬 수 있다. 이 활주부(47)는 좌우 한 쌍의 나사기구를 가지고 이루어지며, 좌우의 나사를 조정함으로써 제2판형상부(44)의 위치를 조정할 수 있다.

또한, 이 도 11의 (a)에서는 제2지지부(32)와 보호부(36)의 사이에 공간이 형성되어 있으며, 미사용시의 상태이다.

도 11의 (b)는 기판검사용 지그(1')를 사용하고 있는 상태를 나타내고 있다. 이 때, 제2지지부(32)와 보호부(36)가 맞닿는 동시에, 접촉자(2)의 수용부(2A)가 접속전극부(41)에 수용된다. 그리고, 이 접촉자(2)의 수용부(2A)가 접속전극부(41)의 내측 표면을 스치면서 접촉한 상태가 되어, 도통상태를 확립할 수 있다.

또, 이 기판검사용 지그(1')에서는 활주부(47)를 좌우에 가지고 있어, 접촉자(2)의 수용부(2A)가 접속전극부(41)에 수용된 후, 나사를 조정함으로써 접속전극체(4)의 제2판형상부(44)를 가로방향으로 이동시킨다. 이 때, 접속전극부(41)의 제2판형상부(44) 부분은 제2판형상부(44)의 이동에 맞추어 만곡 상태가 되어 접속전극부(41)의 내측 표면과 접촉자(2)가 압접되게 된다.

이 일실시예에서는, 접촉자(2)도 경사져 접촉자 지지체(3)에 지지되고, 또한 접속전극체(4)가 활주부(47)를 가지고 있으므로, 접촉자(2)가 접속전극부(41)의 내측 표면을 스치면서 수용되는 동시에 안정되게 접촉해서 도통상태를 확립할 수 있다.

도 12는 본 발명에 따른 기판검사용 지그와 종래의 전극구조를 가지는 기판검사 지그와의 접촉 저항을 포함한 접촉자의 저항을 측정한 결과를 나타내고 있다. 이 실험에서는, 기판검사용 지그를 사용시가 되도록 세트하고, 피검사기판으로서 일면에 금도금이 실시된 판을 접촉자(2)의 피검사기판측(수용부(2A)의 다른쪽측)에 얹어 놓고, 이 피검사기판을 꽉 누른다. 이 때, 접촉 전극부(41)의 도선(42)과 피검사기판의 사이의 저항값을 측정한다. 이 때문에, 이 저항값은 접속전극부(41)와 접촉자(2)의 접촉 저항과 접촉자(2) 자체의 저항, 접촉자(2)와 피검사기판의 접촉 저항을 포함하게 된다.

또한, 도 12에 나타나는 '횟수'는 몇 번 꽉 눌려졌는지를 나타내는 쇼트 횟수를 나타내고 있다.

이 도 12로부터, 본 발명의 기판검사용 지그는 그 저항값이 420~570m옴의 범위(폭으로 해서 0.15옴)에 존재하고 있는 데 반해, 종래의 접속 전극을 가지는 기판검사용 지그는 1.5~5.5옴 범위(폭으로 해서 4옴)에 존재하고 있다. 본 발명이 종래 지그에 비해 지극히 낮은 접촉 저항값인 것이 이해되는 동시에, 쇼트 횟수의 증가에 수반하는 접촉 저항값의 어긋남도 지극히 작은 것이 이해된다.

이 때문에, 본 발명의 지그를 이용함으로써 접촉 저항값을 작게 할 수 있는 동시에, 접촉 저항값을 보정값으로서 처리하는 경우라도, 쇼트 횟수의 증가에 수반하는 어긋남이 생기는 일이 없으므로 보정값을 수정할 필요가 없어, 대단히 안정적으로 사용하는 것이 가능해진다.

Claims (12)

1. 피검사기판의 전기적 특성을 검사하기 위해서, 기판검사장치 본체와 상기 피검사기판의 배선 패턴에 형성되는 복수의 기판 피검사점과의 사이의 전기적 도통을 얻기 위한 기판검사용 지그로서,

   상기 기판검사용 지그는,

   양단에 전기적 도통을 도모하는 단부를 가지며, 한쪽의 단부가 상기 기판 피검사점의 하나에 압접되는 전기전도성을 가지는 막대형상의 접촉자로 이루어지는 접촉자군과,

   상기 접촉자군을 지지하는 접촉자 지지체와,

   상기 접촉자군의 각각의 접촉자의 다른쪽의 단부와 대향해서 배치된 접속전극부를 포함하는, 상기 기판검사장치 본체에 접속되는 접속전극체를 가지며,

   상기 접촉자군의 상기 다른쪽의 단부와 상기 접속전극체를 접속할 때에, 각각의 상기 다른쪽 단부의 근방의 측둘레면의 적어도 일부가 이것에 대향하는 상기 접속전극부의 일부와 접촉함으로써 전기적으로 도통상태로 되는 것을 특징으로 하는 기판검사용 지그.
2. 제1항에 있어서,

   상기 접속전극부는 이것에 대향하는 상기 접촉자의 상기 다른쪽의 단부를 수용하는 구조를 가지며, 또한, 상기 접촉자와 상기 접속전극부의 도통상태는 적어도 상기 접촉자의 다른쪽의 단부와 상기 접속전극부의 내부측 표면의 접촉에 의한 것임을 특징으로 하는 기판검사용 지그.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 접속전극부는 이들에 대향하는 상기 접촉자의 상기 다른쪽 단부의 적어도 일부를 유동가능하게 끼울 수 있는 형상인 것을 특징으로 하는 기판검사용 지그.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 접속전극부는 통형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판검사용 지그.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 접속전극부가 상기 접촉자의 장축에 대하여 경사 또는 만곡해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판검사용 지그.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 접속전극부는 상기 접촉자의 출입방향과 직각방향으로 슬라이딩하는 활주부를 가지는 것을 특징으로 하는 기판검사용 지그.
7. 제1항에 있어서,

   상기 접촉자의 다른쪽의 단부는 상기 접촉자의 장축에 대하여 굴곡하여 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판검사용 지그.
8. 제1항에 있어서,

   상기 접촉자 지지체는, 상기 접촉자의 한쪽 단부의 근방을 지지하는 제1지지구멍을 가지는 제1지지부와, 상기 접촉자의 다른쪽 단부의 근방을 지지하는 제2지지구멍을 가지는 제2지지부를 가지며,

   상기 제2지지부는 상기 전극체와 맞닿아 배치되는 것을 특징으로 하는 기판검사용 지그.
9. 제1항에 있어서,

   상기 접촉자 지지체는, 상기 접촉자의 한쪽 단부의 근방을 지지하는 제1지지구멍을 가지는 제1지지부와, 상기 접촉자의 다른쪽 단부의 근방을 지지하는 제2지지구멍을 가지는 제2지지부를 가지며,

   상기 제2지지부는 상기 전극체와 소정 간격을 가지고 배치되는 것을 특징으로 하는 기판검사용 지그.
10. 제1항에 있어서,

    상기 접촉자 지지체는, 상기 접촉자의 다른쪽이 상기 접속전극부에 접촉시키 는 사용시에 있어서 상기 접촉자가 돌출하도록 상기 접촉자의 장축방향으로 슬라이딩 이동하는 보호부를 포함해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판검사용 지그.
11. 제1항에 있어서,

    상기 다른쪽 단부의 근방의 범위는, 상기 접속시에, 상기 다른쪽 단부의 측둘레면이 적어도 상기 접속전극부에 접촉할 수 있는 범위인 것을 특징으로 하는 기판검사용 지그.
12. 피검사기판의 전기적 특성을 검사하기 위해서, 기판검사장치 본체와 상기 피검사기판의 배선 패턴에 형성되는 복수의 기판 피검사점과의 사이의 전기적 도통을 얻기 위해서, 일단이 상기 피검사점에 도통 접촉을 도모하기 위해서 압접되는 접촉자의 타단에 도통 접촉시키고, 상기 기판검사장치 본체와 접속되는 접속전극체가 포함하는 접속전극부로서,

    상기 접속전극부는,

    상기 접촉자의 다른쪽의 단부와 상기 접속전극체를 접속할 때에, 상기 접촉자의 상기 다른쪽 단부의 근방의 측둘레면의 적어도 일부가 이것에 대향하는 상기 접속전극부의 일부와 접촉하는 것을 특징으로 하는 접속전극부.

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