WO2007132739A1

WO2007132739A1 - 基板検査用治具及びこの治具における接続電極部の電極構造

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Publication number: WO2007132739A1
Application number: PCT/JP2007/059685
Authority: WO
Inventors: Masami Yamamoto; Kiyoshi Numata; Minoru Kato
Original assignee: Nidec-Read Corporation
Priority date: 2006-05-15
Filing date: 2007-05-10
Publication date: 2007-11-22
Also published as: KR101021744B1; CN101443669B; JP2007309648A; TWI442070B; CN101443669A; JP4041831B2; KR20080112365A; TW200815776A

Abstract

【課題】　接触子と接続電極部との接触抵抗値を低減させることができるとともに使用回数に関係なく安定した接触抵抗値を有する基板検査用治具の提供。【解決手段】　被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と被検査基板の配線パターンに設けられる複数の基板被検査点との間の電気的導通を得るための基板検査用治具であって、両端に電気的導通を図る端部を有し、一方の端部が基板被検査点の一つに圧接される導電性を有する接触子群と、接触子群を保持する接触子保持体と、接触子群の夫々の接触子の他方の端部と対向して配置された接続電極部を備える、基板検査装置本体に接続される接続電極体を有し、接触子群の他方の端部と接続電極体とを接続するに際して、夫々の他方の端部の近傍の側周面の少なくとも一部が、これに対向する接続電極部の一部と接触することにより電気的に導通状態となる。

Description

基板検査用治具及びこの治具における接続電極部の電極構造技術分野

[0001] 本発明は、被検査基板を検査する場合に使用される基板検査用治具及び基板検查用治具における接続電極部の電極構造に関し、より詳しくは、基板検査用治具の接触子と基板検査用治具の電極部の接触抵抗を低減させる基板検査用治具の電極構造とこの電極構造を有する検査治具に関する。

尚、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板、フィルムキャリアや半導体ウェハなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。

背景技術

[0002] 従来、回路基板上に設けられる配線パターンは、その回路基板に搭載される IC等の半導体や抵抗器などの電気 ·電子部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、電気'電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回路配線基板、或いは、半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに対して、検査対象となる配線パターンに設けられた検査点間の抵抗値を測定して、その良否が判定されて、た。

[0003] このような判定検査には、配線パターンの断線及び短絡を検査する検査方法が実施されている。このような導通や短絡の検査では、検査対象となる配線パターンの 2 箇所に設けられる検査点に、夫々一つずつ測定端子を当接させ、その測定端子間に所定レベルの測定用電流を流すことによって、その測定端子間の電圧値を測定し、この電圧値と予め定められた閾値を比較することにより良否の判定が行われていた

[0004] し力しながら、このような方法で使用される基板検査用治具では、配線パターンの 2 箇所の検査点それぞれに、一つずつ当接させた測定端子を測定用電流の供給と電圧の測定とに共用する場合には、測定端子と検査点との間の接触抵抗が測定電圧に影響を与え、抵抗値の測定精度が低下し、検査結果の信頼性が低下するといぅ不都合があった。

特に、近年になって、回路基板上に設けられる配線パターンの微細化が進み、配線パターンの抵抗値が小さくなつており、上記の接触抵抗がこの測定値に及ぼす影響が大きな問題となっていた。

[0005] このような接触抵抗の問題を解決するために、特許文献 2に開示されるような接触子が提案されている。この接触子は、測定対象の電極に対して略垂直に接触可能な略直線状の接触部を有しており、この接触部の長さ方向に沿って延びる一部が当該接触部の他の部分と異なる熱膨張率を有する材料で構成されて!、る。このように構成されること〖こよって、接触部がバイメタルとなっているので、所定の環境温度下で接触部を測定対象の電極に略垂直に接触させ、その状態でオーバードライブを行うと、当該測定対象の電極力伝わる環境温度の熱により当該接触部が小さい熱膨張率の素材で構成された部分に向けて湾曲することになる。

[0006] し力しながら、このような接触子を用いても、電極部に対して垂直に接触させることを可能とするのみであり、接触安定性という見地から勘案すると、十分な接触安定性を有して、接触抵抗値の低、接続を有して、るとは言えな力た。

[0007] 特許文献 1 :特開平 6— 66832号公報

特許文献 2：特開 2005— 345129号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0008] 本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、基板検査用治具の接触子と基板検査用治具の電極部の接触抵抗を低減させる基板検査用治具の電極構造とこの電極構造を有する検査治具を提供する。

課題を解決するための手段

[0009] 請求項 1記載の発明は、被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と該被検査基板の配線パターンに設けられる複数の基板被検査点との間の電気的導通を得るための基板検査用治具であって、前記基板検査用治具は、両端に電気的導通を図る端部を有し、一方の端部が前記基板被検査点の一つに圧接される導電性を有する棒状の接触子よりなる接触子群と、前記接触子群を保持する接触子保持体と、前記接触子群の夫々の接触子の他方の端部と対向して配置された接続電極部を備える、前記基板検査装置本体に接続される接続電極体を有し、前記接触子群の前記他方の端部と前記接続電極体とを接続するに際して、夫々の前記他方の端部の近傍の側周面の少なくとも一部が、これに対向する前記接続電極部の一部と接触することにより電気的に導通状態となることを特徴とする基板検査用治具を提供する。

[0010] 請求項 2記載の発明は、前記接続電極部は、これに対向する前記接触子の前記他方の端部を収容する構造を有し、且つ、前記接触子と前記接続電極部の導通状態は、少なくとも該接触子の他方の端部と該接続電極部の内部側表面の接触によることを特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具を提供する。

[0011] 請求項 3記載の発明は、前記接続電極部は、これらに対向する前記接触子の前記他方の端部の少なくとも一部を遊嵌することのできる形状であることを特徴とする請求項 1又は 2記載の基板検査用治具を提供する。

[0012] 請求項 4記載の発明は、前記接続電極部は、筒状に形成されていることを特徴とする請求項 1乃至 3いずれかに記載の基板検査用治具を提供する。

[0013] 請求項 5記載の発明は、前記接続電極部が、前記接触子の長軸に対して傾斜又は湾曲して形成されていることを特徴とする請求項 1乃至 4いずれかに記載の基板検查用治具を提供する。

[0014] 請求項 6記載の発明は、前記接続電極部は、前記接触子の入出方向と直角方向にスライドする滑走部を有することを特徴とする請求項 1乃至 5いずれかに記載の基板検査用治具を提供する。

[0015] 請求項 7記載の発明は、前記接触子の他方の端部は、該接触子の長軸に対して屈曲して形成されていることを特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具を提供する。

[0016] 請求項 8記載の発明は、前記接触子保持体は、前記接触子の一方の端部の近傍を保持する第一保持孔を有する第一保持部と、前記接触子の他方の端部の近傍を保持する第二保持孔を有する第二保持部を有し、前記第二保持部は、前記電極体と当接して配置されることを特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具を提供する。

[0017] 請求項 9記載の発明は、前記接触子保持体は、前記接触子の一方の端部の近傍を保持する第一保持孔を有する第一保持部と、前記接触子の他方の端部の近傍を保持する第二保持孔を有する第二保持部を有し、前記第二保持部は、前記電極体と所定間隔を有して配置されることを特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具を提供する。

[0018] 請求項 10記載の発明は、前記接触子保持体は、前記接触子の他方が前記接続電極部に接触させる使用時において、該接触子が突出するように、該接触子の長軸方向に摺動する保護部を備えてなることを特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具を提供する。

[0019] 請求項 11記載の発明は、前記他方の端部の近傍の範囲は、前記接続に際して、前記他方の端部の側周面力少なくとも前記接続電極部に接触しうる範囲であることを特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具を提供する。

[0020] 請求項 12記載の発明は、被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と該被検査基板の配線パターンに設けられる複数の基板被検査点との間の電気的導通を得るために、一端が前記被検査点に導通接触を図るために圧接される接触子と、該接触子と導通接触して該基板検査装置本体と接続される接続電極体が有する、該接触子の他端と導通接触する接続電極部の電極構造であって、前記接続電極部は、前記接触子の他方の端部と該接続電極体とを接続するに際して、前記接触子の前記他方の端部の近傍の側周面の少なくとも一部が、これに対向する前記接続電極部の一部と接触することを特徴とする接続電極部の電極構造を提供する。

これらの発明を提供することによって、上記課題を悉く解決する。

発明の効果

[0021] 請求項 1記載の発明によれば、接触子群の他方の端部と接続電極体とを接続するに際して、接触子の他方の端部の近傍の側周面の少なくとも一部が、これに対向する接続電極部の一部と接触することにより電気的に導通状態となるので、接触子と接続電極部との接触抵抗値を低減させることができるとともに使用回数に関係なく安定した接触抵抗値を有する基板検査用治具を提供する。

[0022] 請求項 2記載の発明によれば、接触子と接続電極部の導通状態が、少なくとも接触子の他方の端部と接続電極部の内部側表面の接触によるので、接触子と接続電極部の接触面積を大きくすることが可能となり、接触抵抗値をより低減させることができるとともに使用回数に関係なく安定した接触抵抗値を有する基板検査用治具を提供する。

[0023] 請求項 3記載の発明によれば、接続電極部が接触子を遊嵌することのできる形状であるので、接触子を接続電極部に入出する際に、過剰な負担力かかることを防止することができる基板検査用治具を提供する。

[0024] 請求項 4記載の発明によれば、接続電極部は筒状に形成されて!ヽるので、接触子が接触する接触面を均一に作成することができ、どの筒部に接触しても、安定した接触抵抗値の基板検査用治具を提供する。

[0025] 請求項 5記載の発明によれば、接続電極部が前記接触子の長軸に対して傾斜又は湾曲して形成されているので、接触子を接続電極部に入出する際に、接続電極部の内部側表面を接触子が擦りながら接触することになり、接触子と接続電極部との接触抵抗値を低減させることができるとともに使用回数に関係なく安定した接触抵抗値を有する基板検査用治具を提供する。

[0026] 請求項 6記載の発明によれば、接続電極部が接触子の入出方向と直角方向にスライドする滑走部を有しているので、接触子が接続電極部に収容された際に確実に接触子と接続電極部を接触させることが可能となり、接触子と接続電極部との接触抵抗値を低減させることができるとともに使用回数に関係なく安定した接触抵抗値を有する基板検査用治具を提供する。

[0027] 請求項 7記載の発明によれば、接触子の他方が該接触子の長軸に対して屈曲して形成されているので、接触子を接続電極部に入出する際に、接続電極部の内側表面を接触子が擦りながら接触することになり、接触子と接続電極部との接触抵抗値を低減させることができるとともに使用回数に関係なく安定した接触抵抗値を有する基板検査用治具を提供する。 [0028] 請求項 8記載の発明によれば、接触子保持体が二つの部材から形成され、一方の保持部が接続電極体と当接して配置されるので、確実に接続電極部に接触子を案内することができる基板検査用治具を提供する。

[0029] 請求項 9記載の発明によれば、接触子保持体が二つの部材から構成され、一方の保持部が接続電極体と所定間隔を有して配置されるので、この所定間隔により形成される空間で接触子が橈むことが可能となり、接触子を接続電極部に入出する際に、接続電極部の内側表面を接触子が擦りながら接触することになり、接触子と接続電極部との接触抵抗値を低減させることができるとともに使用回数に関係なく安定した接触抵抗値を有する基板検査用治具を提供する。

[0030] 請求項 10記載の発明によれば、接触子保持体が接触子を保護する保護部を有するので、接触子を使用時未使用時において効果的に接触子を保護することができ、接触子の使用寿命を延ばすことができる基板検査用治具を提供する。

[0031] 請求項 11記載の発明によれば、他方の端部の近傍の範囲は、前記接続に際して、前記他方の端部の側周面が、少なくとも前記接続電極部に接触しうる範囲であるので、接触子と接続電極部と接触する接触面積を大きくすることができ、接触子と接続電極部との接触抵抗値を低減させることができるとともに使用回数に関係なく安定した接触抵抗値を有する基板検査用治具を提供する。

[0032] 請求項 12記載の発明によれば、接触子の他方の端部と接続電極体とを接続するに際して、接触子の他方の端部の近傍の側周面の少なくとも一部が、これに対向する接続電極部の一部と接触するので、接触子と接続電極部との接触抵抗値を低減させることができるとともに使用回数に関係なく安定した接触抵抗値を有する基板検査用治具の接続電極部を提供する。

発明を実施するための最良の形態

[0033] 本発明を実施するための最良の形態を説明する。

図 1は、本発明に係る基板検査用治具を使用する場合の構成の概略を示して!/ヽる。この図 1では、複数の接触子 101、これら接触子 101を多針状に保持する保持体 1 02、この保持体 102を支持するとともに接触子 101と接触して導通となる接続電極部を有する接続電極体 103、検出される電気信号を処理する検査信号処理部である検査信号処理部 104、及び検査用接触子 101と検査信号処理部 104を接続するヮィヤーケーブル 105を示している。接触子 101は、被検査基板に形成される配線パターンの各検査点に接触する端子であり、接続電極体 103は接触子 101と検査信号処理部 104のピッチ変換を行って電気的に接続する。

接続電極体 103は、保持体 102の配置側に接触子 101と電気的に接続する接続電極部 106を有している。本発明は、この接続電極部 106を創意工夫することにより、接触子 101との接続抵抗値を低減させることができるとともに安定性を有した接続抵抗値を提供する。

[0034] 本発明に係る一実施形態の基板検査用治具 1は、接触子 2、接触子保持体 3と接続電極体 4を有してなる（図 2参照)。尚、接続電極体 4は、上記の如き検査信号処理部 104と接続されているがこの図 2では省略している。

接触子 2は、可撓性及び導電性を有し、針状や長尺状などの棒状に形成されている。この接触子 2は、一方が被検査基板の検査点に圧接され、他方が後述する接続電極部と接触される。このため、接触子 2は検査信号処理部 104からの電気信号を検査点に送信するとともに、検査点からの電気信号を検査信号処理部 104へ送信することがでさる。

この接触子 2は、可撓性を有しているため、後述する接触子保持体 3の内部に形成される空間で、接触子 2の長軸方向に対して直角方向に橈む (バックリングする）ことになる。このため、この接触子 2が使用される場合には、被検査基板の検査点や接続電極部からの荷重を受けて橈み、この橈みにより各接触部に対して押圧力を生じることになる。

[0035] 接触子 2は、上記の如き形状に形成されれば特に限定されないが、図 3で示す如き一実施形態のよう〖こ形成することもできる。

この図 3で示される接触子 2は、図 3 (a)で示される如ぐ両先端を先細り形状とする細長い棒状部材 21に形成される。先細り形状は、図 3 (a)で示される如き尖鋭形状としても構わないし、球状形状としても構わない。

この棒状部材 21は、ステンレス鋼、ベリリウム銅（BeCu)やタングステン (W)を挙げることができる力特に限定されるものではなく導電物質であれば構わない。この棒状部材 21は、後述する接続電極部に接触する接触面積に均一な荷重がかかるように、円筒や円柱状に形成されることが好ましいが、特に限定されるものではない。

棒状部材 21の長さや太さは特に限定されるものではなぐ被検査基板に形成される配線パターンのピッチや被検査基板の大きさに合わせて適宜設定される。

[0036] 図 3 (b)では、棒状部材 21を筒状部材 22に収容した状態を示している。この筒状部材 22は、可撓性及び導電性を有している。棒状部材 21が、この筒状部材 22に挿入される。図 3 (b)では、筒状部材 22の一方の先端である一端 22aと他方の先端である他端 22bを比べた場合、一端 22aから突出する棒状部材 21の長さが他端 22bから突出する棒状部材 21の長さよりも長くなるように設定されている。

上記のような場合、一端 22aは接続電極部に接触し、他端 22bは被検査基板の検查点に接触することになる。このように配置の長さを変化させることにより、棒状部材 2 1が接続電極部と接触する接触面積を大きくすることができ、また、他端 22bから棒状部材 21が突出する長さが短く設定されるため、バンプなどの検査点に接触子が接触する際に、筒状部材 22が棒状部材 21が必要以上に検査点に貫入することを防止するストッパー的な役割を果たすことができるとともに、球状のバンプなどの検査点に対して安定して接触することができる。またさらに、棒状部材 21の先端形状の加工性に依存することなぐ棒状部材 21と筒状部材 22による検査点への接触を可能とすることができる。

尚、この他端 22b側の棒状部材 21の突出量は、上記の如ぐ一端 22aよりも短く設定することもできると同時に、上記説明の如き検査点に貫入される量 (長さ）として設定することちでさる。

この筒状部材 22は、棒状部材 21を内部に収容することができ、且つ棒状部材 21と導通状態となることのできる大きさであれば特に限定されない。

[0037] 筒状部材 22と棒状部材 21は、互いに電気的に接続されている。このため、棒状部材 21を筒状部材 22へ挿入した状態（図 3 (b)で示される状態)で、全体に電解鍍金又は無電解鍍金を施すことにより形成する。

他の方法として、筒状部材 22内部に突状部（図示せず)を複数設けることにより、筒状部材 22が棒状部材 21を押圧するかしめ構造を有することにより接触して電気的に導通させることができる。

[0038] 図 3 (c)は、棒状部材 21と筒状部材 22が一体化され、筒状部材 22の表周面に絶縁部 23が設けられている。この絶縁部 23が形成される場所は、図 3 (c)で示される如ぐ接触子 2の一方端と他方端以外の場所に形成される。また、この絶縁部 23と筒状部材 22とにより形成される段差 24は、後述する接触子保持体 3に接触子 2が配置された際の係止部として用いられることになる。

この絶縁部 23は、接触子 2が橈んだ際に、隣接する接触子 2と接触しても短絡することを防止している。

この絶縁部 23は、ポリウレタンを用いることができる力特に限定されるものではない。

上記説明では、棒状部材 21と筒状部材 22と絶縁部 23を用いて接触子 2を構成した場合を説明したが、棒状部材 21と絶縁部 23からなる接触子を用いてもよぐ接触子の構造はこれらに限定されるものではない。

尚、本明細書では、接続電極部 41に収容される接触子 2の一部を符号 2Aとして説明するが、この接触子 2の収容部 2Aは、絶縁部 23が形成されていない接触子 2の一端となる。例えば、接触子 2の先端力段差 24までの接触子 2の部分 (長さ Lの部分）である。この部分 Lは、全てが接続電極部に収容される必要はないが、できるだけ多くの部分が収容されることが好ま、。

この部分の長さ Lは、接続電極部に収容される長さにより適宜設定されるが、十分な安定性のある接触状態 (導通状態）になるためにも、 2〜5mm程度であることが好ましい。

接触子 2のこの部分が他方の端部に相当し、この部分の側周面の少なくとも一部が、接続電極部 41と接触することになる。

[0039] 接触子保持体 3は、複数の接触子 2からなる接触子群を保持する。この接触子保持体 3は、図 2で示される如ぐ複数の接触子 2を保持するために、第一保持部 31と第二保持部 32を有してなる。

図 2で示される接触子保持体 3は、紙面奥手側に第一保持部 31が配置され、紙面手前側に第二保持部 32が配置され、第一保持部 31は接触子 2の先端を検査点へ案内し、第二保持体 32は接触子 2の他端を接続電極部へ案内する。

第一保持部 31は、所定の接触子 2を所定検査点へ案内するための第一保持孔 33 を有している。この第一保持孔 33は、接触子 2の棒状部材 21や筒状部材 22の外径よりも大きぐ絶縁部 23の径よりも小さくなるように形成されている。このように形成されることにより、接触子 2が第一保持部 31の第一保持孔 33より抜け出ることを防止する第二保持孔 32は、所定の接触子 2を所定接続電極部へ案内するための第二保持孔 34を有している。この第二保持孔 32は、接触子 2の棒状部材 21や筒状部材 22の外径よりも大きぐ絶縁部 23の径よりも小さくなるように形成されている。このように形成されることにより、接触子 2が第二保持部 32の第二保持孔 34より抜け出ることを防止する。

このように第一及び第二保持孔 33, 34を形成することにより、接触子 2がこの接触子保持体 3から外れることを防止する。

[0040] 第一保持部 31と第二保持部 32は、支柱 35を介して、所定間隔を有して配置される。このため、支柱 35により第一保持部 31と第二保持部 32の間に空間が形成され、この空間内を接触子 2が橈むことができる。

この支柱 35による空間の長さは、使用者により適宜設定される。

[0041] 図 2では、第一保持部 31が 2枚の板部材により形成されている。これらの板部材は、第一保持孔 33を形成するための板部材と、支柱 35に固着するための螺子穴を形成する板部材として設けられている。これら板部材の数は、特に限定されるものではなぐ少なくとも上記の機能を有するのであれば 1枚であっても 2枚以上でも構わな、また、図 2では、第二保持部 32は 3枚の板部材により形成されている。これらの板部材は、第二保持孔 34を形成するための板部材と、支柱 35を固着するための螺子穴を形成するための板部材として設けられている。これら板部材の数は、特に限定されるものではなぐ少なくとも上記の機能を有するのであれば 1枚であっても 2枚以上でも構わない。第二保持部 32は、複数の板部材カゝら形成されるとともに、これら板部材が接触子 2 に対して直角方向（図 2では左右方向）に夫々所定長さ分だけずらして配置されることが好ましい。

このように複数の板部材を徐々にずらして配置することにより、第二保持孔 34が傾斜して形成されることになる。このため、接触子 2が接触子保持体 3に保持された際に、接触子 2が軽く橈むことになり、板部材と接触抵抗が生じることになり接触子 2が安定性を有して保持されることになる。

[0042] 第二保持部 32は、接触子 2の接続電極部側に、接触子 2を接続電極部に接触させる使用時にぉ、て接触子 2が突出するように、接触子 2の長軸方向に摺動する保護部 36を備えている。

この保護部 36は、図 2で示される如ぐ第二保持部 32の接続電極部側に配置されるとともに、接触子 2の長軸方向に摺動するようにスプリング機構 37が設けられて、るこの保護部 36は、所定厚みの板部材から形成され、基板検査治具の未使用時において、接触子 2の先端部 (接続電極部に接触する部分)を保護する。

例えば、図 4では、この保護部の動作を示しており、図 4 (a)は基板検査用治具の未使用時の状態を示しており、図 4 (b)は基板検査用治具の使用時の状態を示している。

図 4 (a)では、基板検査用治具の接触子 2と接触子保持体 3が接続電極体 4に接続されていない状態を示しており、この状態では、接触子 2の接続電極部へ接触する端部は、保護部 36により保護されている。尚、図面では、接触子 2の先端が僅かに突出して、る状態を示して、るが、保護部 36の内部に収容されて、てもよ、。

[0043] 図 4 (b)は、基板検査用治具の接触子 2と接触子保持体 3が接続電極体 4に接続されている状態を示している。尚、この図 4 (b)では接続電極体 4は省略している。この状態では、保護部 36が摺動して、接触子 2が突出した状態となり、この突出した接触子 2が接続電極部へ接触することになる。

この場合、保護部 36は、第二保持部 32の下端に当接するとともに、スプリング機構 37のスプリングにより付勢状態となる。また、保護部 36が図 4 (a)で示される位置へ戻ろうとするが、図 4 (b)の状態では接続電極体 4と保護部 36、保護部 36と第二保持部 32が夫々当接する状態となる。

尚、図 2では、接触子保持体 3と後述する接続電極体 4との位置合わせを行う突状部 38が二つ設けられて!/、る。

[0044] 接続電極体 4は、接触子保持体 3を支持するとともに、接触子 2の一部を内部に収容する接続電極部 41を備える。

この接続電極部 41は、接触子 2を内部に収容するために、接続電極体 4の表面から接続電極体 4内部へ延びる穴形状に形成される。接続電極部 41が、このように接続電極体 4の内部に延びる穴形状に形成されることにより、確実に接触子 2の一部を接続電極部 41内部に収容することができる。この場合、接触子 2の一部は、接続電極部 41の内部側表面に電極部を形成することによって、接触子 2の一部が内部側表面と接虫させることができる。

接続電極部 41は導線 42に接続されている。この導線 42は、上記の如き検査信号処理部に接続される。

[0045] 接続電極部 41は、接触子 2を遊嵌することができる形状であることが好ましい。接続電極部 41が接触子 2を遊嵌できることにより、接触子 2を接続電極部 41内部に収容したり、接触子 2を接続電極部 41から取り除いたりする場合に、接触子 2と接続電極部 41との摩擦抵抗を低減させることができ、簡単に抜き取りすることができるからである。

[0046] 接続電極部 41は、その内部に接触子 2の一部を収容し、接続電極部 41の内部側表面を電極部としている。このため、接続電極 41を導電性の筒状に形成することができる。この場合、筒状の接続電極部 41は、接触子 2を内部に収容するとともに筒状の内部側表面が電極部として機能する。

尚、この接続電極部 41は、接続電極体 4の表面と面一となるように筒（パイプ)を配置する。このように配置することによって、接続電極体 4の表面が面一となり、第二保持部 32や保護部 36が接続電極体 4に当接する場合に、接続電極体 4表面に対して直角となるように配置することができ、接触子 2が使用時において圧接され、橈んだ際に、どの接触子 2に対しても均一な荷重を負荷することができる。 [0047] 接続電極部 41は、使用時や未使用時に応じて接触子 2が接続電極部 41内を入出することになるので、接続電極部 41に確実に接触させるために、接触子 2の長さ方向と接続電極部 41の長さ方向が交差する（相対的に交わる）ように配置又は形成することが好ましい。

この具体的な例として、例えば、接続電極部 41を接触子 2の長軸に対して傾斜又は湾曲して形成する。

このように接続電極部 41が形成されることによって、接触子 2が接続電極部 41内部に収容される際に、接続電極部 41の内側表面を擦りながら収容されることになり、接触子 2が接続電極部 41と確実に接触状態を確立することができる。特に、このように構成することにより、内側表面の電極部や接触子 2の表面に形成される酸化膜を破ることができる。

[0048] 図 5は、接続電極部の一実施形態を示す。図 5 (a)で示す接続電極部 41は、接続電極体 4の厚み方向に平行に沿って形成されている。このような場合であっても、上記の如き接触子 2が傾斜して配置されている際には、接続電極部 41の内部側表面に接触子 2が擦りながら接触することになる。

図 5 (b)は、接続電極部 41が接続電極体 4の表面に対して一定角度で傾斜して形成された場合を示す。この場合は、接触子 2が接続電極体 4の表面に略直角方向に収容されても、接続電極部 41の内部側表面を擦りながら接触すること〖こなる。

図 5 (c)は、接続電極部 41が逆く字状に形成された場合を示す。この場合は、接触子 2が図 5 (b)と同様に擦りながら接触して内部に収容されるとともに、く字状の頂点部で逆方向の傾斜を接続電極部 41が形成して、るので、この頂点部では確実に接触子 2が内部側表面と接触することになる。

図 5 (d)は、接続電極部 41が湾曲して形成された場合を示す。この場合は、接触子 2が収容される際に、この接続電極部 41の内部側表面に沿って湾曲しながら表面を擦りながら接触することになる。さらに、この場合には、図 5 (c)よりも接触子 2に係る荷重が低いため、接触子 2を抜き差しすることを容易に行うことができる。

これら図 5で示された接続電極部 41の形状は、これらに限定されるものではなぐ接触子 2の入出方向に対して、接続電極部 41の収容方向が交差するように形成されるように設定することができる。このように接続電極部 41を形成することによって、接触子 2が確実に接続電極部 41の内側表面に接触することになるとともに、収容される際に内部側表面を擦りながら収容されることになるので、接触抵抗値が低いとともに接触抵抗値の安定性が高い接触子 2と接続電極部 41の接続を可能にする。

[0049] また、他の具体的な例として、図 6に示される如ぐ接続電極部 41内部に収容される接触子 2の先端 2Aを、接触子 2の長軸に対して屈曲させて形成する。

このように接触子 2の先端 2Aを屈曲させて形成させることにより、接触子 2の先端 2 Aが接続電極部 41に収容される際に、接続電極部 41の内側表面を擦りながら接触すること〖こなる。

この図 6で示される接触子 2は、接触子 2の中心軸カゝら接触子 2の先端 2Aが幅 Wを有するように屈曲している。この幅 Wは、接続電極部 41の内径と略同じ程度に形成されることが好ましい。この幅 Wが接続電極部 41の内径と略同じに形成されることにより、確実に内側表面に接触することができるとともに、屈曲させる量 (幅）を小さくすることができるカゝらである。

[0050] 図 7は、本発明に係る基板検査用治具を使用している状態を示す。

この図 7 (a)では、複数の接触子 2の収容部 2Aが接続電極部 41内部に収容されている。図 7 (a)では示されていないが、接触子 2の収容部 2Aが屈曲形状であったり、接触子 2が傾斜して配置されたりしている場合には、接続電極部 41内に接触子 2が収容される際には、内部側表面を擦りながら接触して収容される。尚、図 7では便宜的に接触子 2が接続電極部 41の略中央に位置している。

[0051] 接触子 2が接続電極部 41に収容されると、接触子保持体 3や接続電極体 4を相対的に移動させることにより、接触子 2の収容部 2Aを確実に接続電極部 41の内部側表面に圧接させることが好ま、。

図 7 (b)では、接触子保持体 3と接続電極体 4を、接触子 2の長軸に対して直角方向に移動させることによって、確実に接続電極部 41の内部側表面に接触させることを示している。例えば、図 7 (b)で示される如ぐ接続電極体 4を紙面左（図 7 (b)の黒塗り矢印方向）に移動させることにより、接触子 2の収容部 2Aを接続電極部 41の内部側表面に圧接する。又は、接触子保持体 3を紙面右（図 7 (b)の白抜き矢印方向）に移動させることにより、接触子 2の収容部 2Aを接続電極部 41の内部側表面に圧接する。このように、接触子保持体 3及び Z又は接続電極体 4を接触子 2の入出方向と直角方向にスライドする滑走部を設けることによって、接触子 2の収容部 2Aを接続電極部 41の内部側表面へより安定的に接触させることが可能となる。

[0052] 図 8は、接続電極体が有する滑走部の一実施例を示す。この図 8で示される滑走部は、接続電極体 4を 3枚の第一板部材 43、第二板部材 44と第四板部材 45を有してなる。これらの 3枚の板部材を貫通するように接続電極部 41が形成されている。第一板部材 43と第三板部材 45は固定部材であり、第二板部材 44がスライドする機構となつている。このため、図 8 (b)で示される如ぐ第二板部材 44が、スライドして接続電極部 41を側面側から押圧することになり、そして、接続電極部 41が湾曲形状となり接触子 2の収容部 2Aを側面力押圧して接触することになる。

尚、この図 8で示される接続電極体 4では、 3枚の板部材を用いて説明したが、 3枚に限定されず、更に複数の板部材を用いて滑走部を形成しても構わな、。

[0053] 次に、接触子 2と接触子保持体 3の他の実施形態を説明する。

図 9は、接触子 2と接触子保持体 3の他の実施形態を示している。この実施形態では、用いられる接触子 2の収容部 2A力接触子 2の長軸に対して屈曲している（図 6 参照)。この接触子 2は収容部 2Aが屈曲している力未使用時において保護部 36 ( の貫通孔）が接触子 2の収容部 2Aを保持することになり、接触子 2がー直線形状を有するように保持している。この実施形態の基板検査用治具を使用する場合には、保護部 36が押し上げられて、接触子 2が保護部 36より突出することになるが、このとき、接触子 2の収容部 2Aは屈曲するよう形成されているので、所定方向へ屈曲することになる。

尚、接続電極体 4にこの基板検査用治具を取り付ける場合には、保護部 36を接続電極体 4の接続電極部 41に位置合わせして、接続電極体 4と接触した状態で、保護部 36を押し上げることになるので、接触子 2が接続電極部 41に収容されるとともに、接触子 2の収容部 2Aが接続電極部 41の内側表面を擦りながら接触することになる。

[0054] さらに他の実施形態を説明する。

図 10は、接触子 2と接触子保持体 3のさらに他の実施形態を示している。この実施形態では、第二保持部 32若しくは保護部 36と、接続電極体 4の間に空間 Sを形成する場合である。

図 10では、接触子保持体 3と接続電極体 4との間に空間 Sが形成され、この空間 S にお、て接触子 2の収容部 2Aが接続電極部 41に収容された際に橈むようになる。このように収容部 2Aが空間 Sで橈むことができるので、接続電極部 41に収容され且つ接続電極部 41の内側表面に接触する箇所の収容部 2Aへ収容部 2Aの橈み分だけの押圧が力かるようになる。このため、収容部 2Aが接続電極部 41の内側表面に安定的に接触することになる。

また、この実施形態では、接続電極体 4を滑走 (矢印方向に移動）させて、接触子 2 が接続電極部 41に安定して接触するようにしてヽる。

本発明に係る基板検査用治具の構成の説明である。

次に、本発明にかかる基板検査用治具の一実施例を説明する。

図 11は、本発明で実施される基板検査用治具の一実施例を示して！/ヽる。

この一実施例で示される接触子 2は、タングステンを素材として、長さ 30mm、直径 9 0 mの棒状部材 21を形成し、収容部 2Aの長さが 2mmになるように絶縁部 23を形成する。

また、接続電極部 41は内径 95 μ m、外径 125 μ mとなる導電性のパイプで、このパイブの内側表面に金メッキ処理する。

この図 11で示される一実施例では、接続電極体 4が第一板状部 43、第二板状部 4 4、第三板状部 45と第四板状部 46から形成されるとともに、第二板状部 44を横方向に移動させる滑走部 47を有している。この第一板状部 43と第三板状部 45は、固定の部材であり、第四板状部 46は、基板検査用治具 1 'の台座として用いている。接続電極部 41は、第一乃至第三板状部を貫通するように形成されて!ヽる。

滑走部 47は、第二板状部 44を左右に移動させることができる。この滑走部 47は、左右一対の螺子機構を有してなり、左右の螺子を調整することによって第二板状部 4 4の位置を調整することができる。

尚、この図 11 (a)では、第二保持部 32と保護部 36の間に空間が形成されており、未使用時の状態である。 [0056] 図 11 (b)は、基板検査用治具 1 'を使用している状態を示している。このとき、第二保持部 32と保護部 36が当接するとともに、接触子 2の収容部 2Aが接続電極部 41に収容される。そして、この接触子 2の収容部 2Aが接続電極部 41の内側表面を擦りな力接触した状態となり、導通状態を確立することができる。

また、この基板検査用治具 1 'では、滑走部 47を左右に有しており、接触子 2の収容部 2Aが接続電極部 41に収容された後、螺子を調整することによって、接続電極体 4の第二板状部 44を横方向に移動させる。このとき、接続電極部 41の第二板状部 44部分は、第二板状部 44の移動に合わせて、湾曲状態となり接続電極部 41の内側表面と接触子 2が圧接されることになる。

この一実施例では、接触子 2も傾斜して接触子保持体 3に保持され、更に、接続電極体 4が滑走部 47を有しているので、接触子 2が接続電極部 41の内側表面を擦りな力収容されるとともに安定して接触し導通状態を確立することができる。

[0057] 図 12は、本発明にかかる基板検査用治具と従来の電極構造を有する基板検査治具との接触抵抗を含めた接触子の抵抗を測定した結果を示してヽる。この実験では、基板検査用治具を使用時となるようにセットし、被検査基板として一面に金メッキが施された板を接触子 2の被検査基板側 (収容部 2Aの他方側）に載置し、この被検査基板を押し付ける。このとき、接触電極部 41の導線 42と被検査基板の間の抵抗値を測定する。このため、この抵抗値は、接続電極部 41と接触子 2の接触抵抗と接触子 2 自体の抵抗、接触子 2と被検査基板の接触抵抗を含むことになる。

尚、図 12に示される「回数」は、何回押し付けられたかを示すショット回数を表している。

[0058] この図 12より、本発明の基板検査用治具は、その抵抗値が 420〜570mオームの範囲（幅にして 0.15オーム）に存在しているのに対して、従来の接続電極を有する基板検査用治具は、 1.5〜5.5オーム範囲（幅にして 4オーム）に存在している。本発明が従来治具に比して、極めて低い接触抵抗値であるかが理解されるとともに、ショット回数の増加に伴う接触抵抗値のズレも極めて小さいことが理解される。

このため、本発明の治具を用いることにより、接触抵抗値を小さくすることができるとともに、接触抵抗値を補正値として処理する場合であっても、ショット回数の増加に伴うズレが生じることがないので、補正値を修正する必要が無ぐ極めて安定的に使用することが可能となる。

図面の簡単な説明

[0059] [図 1]本発明に係る基板検査用治具を使用する場合の構成の概略を示している。

[図 2]本発明に係る基板検査用治具の概略構成を示し、接触子、接触子保持体と接続電極体の位置構造を示して、る。

[図 3]接触子の一実施形態を示す。（a)は棒状部材、（b)は棒状部材と筒状部材、 (c )は棒状部材、筒状部材と絶縁部を示している。

[図 4]この保護部の動作を示しており、図 4 (a)は基板検査用治具の未使用時の状態を示しており、図 4 (b)は基板検査用治具の使用時の状態を示している。

[図 5] (a)〜 (d)は接続電極部の一実施形態を夫々示す。

[図 6]接触子の他の実施形態を示す。

[図 7]本発明に係る基板検査用治具を使用して!/ヽる状態を示す。

[図 8]接続電極体が有する滑走部の一実施形態を示す。

[図 9]本発明に係る接触子と接触子保持体の他の実施形態を示して!/ヽる。

[図 10]本発明に係る接触子と接触子保持体のさらに他の実施形態を示している。

[図 11]本発明で実施される基板検査用治具の一実施例を示している。

[図 12]本発明にかかる基板検査用治具と従来の電極構造を有する基板検査治具との接触抵抗を含めた接触子の抵抗を測定した結果を示している。

符号の説明

[0060] 1 基板検査用治具

1 ' · · · · ·基板検査用治具 (他の実施形態）

2 接触子

2Α· · · ·収容部

3 接触子保持体

31 · · · ·第一保持部

32 · · · ·第二保持部

4 接続電極体 ·…接続電極部

Claims

請求の範囲

[1] 被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と該被検査基板の配線パターンに設けられる複数の基板被検査点との間の電気的導通を得るための基板検査用治具であって、

前記基板検査用治具は、

両端に電気的導通を図る端部を有し、一方の端部が前記基板被検査点の一つに圧接される導電性を有する棒状の接触子よりなる接触子群と、

前記接触子群を保持する接触子保持体と、

前記接触子群の夫々の接触子の他方の端部と対向して配置された接続電極部を備える、前記基板検査装置本体に接続される接続電極体を有し、

前記接触子群の前記他方の端部と前記接続電極体とを接続するに際して、夫々の前記他方の端部の近傍の側周面の少なくとも一部が、これに対向する前記接続電極部の一部と接触することにより電気的に導通状態となることを特徴とする基板検査用治具。

[2] 前記接続電極部は、これに対向する前記接触子の前記他方の端部を収容する構造を有し、且つ、前記接触子と前記接続電極部の導通状態は、少なくとも該接触子の他方の端部と該接続電極部の内部側表面の接触によることを特徴とする請求項 1 記載の基板検査用治具。

[3] 前記接続電極部は、これらに対向する前記接触子の前記他方の端部の少なくとも一部を遊嵌することのできる形状であることを特徴とする請求項 1又は 2記載の基板検査用治具。

[4] 前記接続電極部は、筒状に形成されていることを特徴とする請求項 1乃至 3いずれかに記載の基板検査用治具。

[5] 前記接続電極部が、前記接触子の長軸に対して傾斜又は湾曲して形成されていることを特徴とする請求項 1乃至 4いずれかに記載の基板検査用治具。

[6] 前記接続電極部は、前記接触子の入出方向と直角方向にスライドする滑走部を有することを特徴とする請求項 1乃至 5いずれかに記載の基板検査用治具。

[7] 前記接触子の他方の端部は、該接触子の長軸に対して屈曲して形成されていることを特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具。

[8] 前記接触子保持体は、前記接触子の一方の端部の近傍を保持する第一保持孔を有する第一保持部と、前記接触子の他方の端部の近傍を保持する第二保持孔を有する第二保持部を有し、

前記第二保持部は、前記電極体と当接して配置されることを特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具。

[9] 前記接触子保持体は、前記接触子の一方の端部の近傍を保持する第一保持孔を有する第一保持部と、前記接触子の他方の端部の近傍を保持する第二保持孔を有する第二保持部を有し、

前記第二保持部は、前記電極体と所定間隔を有して配置されることを特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具。

[10] 前記接触子保持体は、前記接触子の他方が前記接続電極部に接触させる使用時において、該接触子が突出するように、該接触子の長軸方向に摺動する保護部を備えてなることを特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具。

[11] 前記他方の端部の近傍の範囲は、前記接続に際して、前記他方の端部の側周面力少なくとも前記接続電極部に接触しうる範囲であることを特徴とする請求項 1記載の基板検査用治具。

[12] 被検査基板の電気的特性を検査するために、基板検査装置本体と該被検査基板の配線パターンに設けられる複数の基板被検査点との間の電気的導通を得るために、一端が前記被検査点に導通接触を図るために圧接される接触子と、該接触子と導通接触して該基板検査装置本体と接続される接続電極体が有する、該接触子の他端と導通接触する接続電極部の電極構造であって、

前記接続電極部は、

前記接触子の他方の端部と該接続電極体とを接続するに際して、前記接触子の前記他方の端部の近傍の側周面の少なくとも一部が、これに対向する前記接続電極部の一部と接触することを特徴とする接続電極部の電極構造。