JP2006351474A - 電気的接続装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 被検査体2と信号配線8との電気的接続を確実にかつ安定させる。
【解決手段】 被検査体2の電極3に、配線基板4に形成された信信号配線8を電気的に接続する電気的接続装置1である。複数のスロット9が一定間隔を空けて並列に設けられたハウジング5と、このハウジング5の各スロット9にそれぞれ回動可能に挿入された複数の接触子6と、この接触子6の基端部を弾性的に支持する弾性体19と、上記各接触子6の基端部が電気的に接触される信号配線8とを備えた。ハウジング5は電性材料で構成した。グランド用接触子6Bは、被検査体2の電極3に接触して検査を行うときに、傾斜してスロット9の側面に接触するようにした。グランド用接触子6Bの上下の接触面14、16を傾斜させた。
【選択図】 図1
【解決手段】 被検査体2の電極3に、配線基板4に形成された信信号配線8を電気的に接続する電気的接続装置1である。複数のスロット9が一定間隔を空けて並列に設けられたハウジング5と、このハウジング5の各スロット9にそれぞれ回動可能に挿入された複数の接触子6と、この接触子6の基端部を弾性的に支持する弾性体19と、上記各接触子6の基端部が電気的に接触される信号配線8とを備えた。ハウジング5は電性材料で構成した。グランド用接触子6Bは、被検査体2の電極3に接触して検査を行うときに、傾斜してスロット9の側面に接触するようにした。グランド用接触子6Bの上下の接触面14、16を傾斜させた。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ICデバイス、集積回路、液晶表示パネル等の被検査体の試験に用いる電気的接続装置に関する。
パッケージ又はモールドされた半導体デバイス、特に集積回路(IC)の電気的特性の検査すなわち試験は、一般に、半導体デバイスを着脱可能に装着する検査ソケットすなわち試験ソケットのような電気的接続装置を検査用補助装置として利用して行われる。
この種の接続装置の1つとして、特許文献1に、半導体デバイスのリード(電極部)に接触される針先部と基板の信号配線に接続される針後部とを逆方向に曲げたクランク状の接触子すなわちプローブを用いるものがある。しかし、この従来の接続装置では、プローブを針押えに装着する作業、針後部を基板の信号配線に半田付けする作業等、組み立てに熟練を必要とし、また、プローブの有効範囲(針先から信号配線への接触点まで)の長さ寸法が大きいから、試験に用いる電気信号の周波数を高めることに限度がある。
接続装置の他の1つとして、特許文献2,3に記載の、Z字状又は環状に形成された板状のプローブを用いるものがある。しかし、この従来の補助装置では、各プローブがその弧状の変形面部において被検査体の電極部に押圧されるから、変形面部を被検査体の電極部に押圧しても、電極部に対する変形面部の変位に起因する擦り作用が生じないから、電極部に存在する酸化膜のような膜が効果的に削除されず、その結果プローブと電極部との間に良好な電気的接触が得られない。
パッケージ又はモールドされない半導体デバイス、特にICチップの電気的特性の試験用の接続装置の1つとして、特許文献4に記載の、C字状に曲げられたプローブを用いるものがある。しかし、この従来の接続装置では、各プローブをそのばね力によりソケットに維持させるにすぎないから、プローブのC状の両端をさらに湾曲させなければならないから、プローブの形状が複雑であり、高価である。
このため、被検査体試験用の電気的接続装置においては、本出願人が、特許文献5に記載のように、プローブの先端が被検査体の電極部に押圧されたとき、プローブが後退することなく確実に弾性変形して被検査体の電極部に効果的な擦り作用を与えるにもかかわらず、プローブの形状が単純であり、プローブが安定であり、高周波試験に適合し、製作が容易な電気的接続装置を提案した。
特開平7−229949号公報
米国特許5336094号
米国特許第5388996号
特開平5−299483号公報
特開平11−162605号公報
上記特許文献5に記載の発明の場合、被検査体の電極部に効果的な擦り作用を与えて確実に電気的接続を行うことができるが、技術の進歩に伴い、さらに精度の高い高周波帯の測定が可能な電気的接続装置が望まれている。
また、上述したプローブでは、グランドピンの線路長さが長くて測定できないものもある。
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたもので、グランド用接触子の部分を改良して、さらに精度の高い高周波帯の測定を可能にしたものである。
具体的には、被検査体の電極部に、配線基板に形成された信号配線を電気的に接続する電気的接続装置であって、上記被検査体の電極部と上記配線基板の信号配線とを電気的に接続する接触子が回動可能に挿入されたスロットを有するハウジングを備え、当該ハウジングが導電性材料で構成され、上記被検査体の電極部に接触した上記各接触子と上記スロットとが、互いに電気的に接触する接点として機能することを特徴とする。
また、被検査体の電極部に、配線基板に形成された信号配線を電気的に接続する電気的接続装置であって、複数のスロットが一定間隔を空けて並列に設けられたハウジングと、当該ハウジングの各スロットにそれぞれ回動可能に挿入された複数の接触子と、当該各接触子の基端部を弾性的に支持する弾性体と、上記各接触子の基端部が電気的に接触される信号配線とを備え、上記ハウジングが導電性材料で構成され、上記各接触子のうちのグランド用接触子が、上記被検査体の電極部に接触して検査を行うときに、傾斜して上記スロットの側面に電気的に接触することを特徴とする。上記グランド用接触子は、上記被検査体の電極部との接触面又は上記信号配線との接触面の一方又は両方を傾斜させることが望ましい。上記グランド用接触子が挿入されるスロットを傾斜して設けてもよい。上記グランド用接触子が挿入されるスロットを、上記接触子よりも広く形成して、当該接触子を傾斜して支持するようにしてもよい。
以上のように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
上記スロット及び接触子が接点として機能して互いに電気的に接触するため、電気的接続状態を安定させることができる。
また、上記各接触子が上記被検査体の電極部に接触して検査を行うときに、上記グランド用接触子が傾斜して上記スロットの側面に接触し、電気的接続状態を安定させることができる。
以下、本発明の実施形態に係る電気的接続装置について、添付図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施形態に係る電気的接続装置を示す正面断面図、図2はハウジングを示す平面図、図3はハウジングを示す底面図、図4はガイド板を被せたハウジングを示す平面図、図5は信号用接触子を示す側面図、図6は信号用接触子を示す正面図、図7はグランド用接触子を示す側面図、図8はグランド用接触子を示す正面図、図9は被検査体の電極が各接触子に接触された状態を示す正面断面図、図10は変形例を示す正面断面図である。
図1に示す電気的接続装置1は、被検査体2の検査すなわち試験のための補助装置として用いられる。被検査体2は、CIデバイスや液晶表示パネル等の、検査信号を通電させる必要のあるものである。被検査体2は、長方体状、平板状等の本体部に、信号の出入力のための電極3を備えている。電極3は並列に複数配置されている。
電気的接続装置1は図1に示すように主に、配線基板4と、ハウジング5と、接触子6と、ガイド板7とから構成されている。
配線基板4は、接触子6を介して被検査体2に試験用の電気信号を伝送するための導電部である。配線基板4は電気絶縁材料で形成されている。この配線基板4の一方の面に、印刷配線技術により信号配線8が形成されている。信号配線8は、接触子6の配設位置に合わせたパターンに形成されている。この信号配線8に接触子6の基端部が電気的に接触される。なお、ここで言う信号配線8には、信号線8Aとグランドパターン8B(図9参照)が含まれる。
ハウジング5は、図1〜3に示すように、接触子6を回動可能に支持するための部材である。ハウジング5は導電性材料で形成されている。具体的には、真鍮等の金属や、合成樹脂の表面に金メッキを施したもの等の、ハウジング5の表面が導電性を有する材料で形成されている。このハウジング5は配線基板4の一方の面に一体的に取り付けられている。このとき、ハウジング5と、配線基板4の信号線8Aとは電気的に接触しないように絶縁されている。グランドパターン8Bはハウジング5と電気的に接続されている。これは、後述するグランド用接触子6Bとハウジング5とを電気的に接触させることで、ハウジング5を介してグランド用接触子6Bとグランドパターン8Bとを電気的に接続させるためである。これについての具体的内容は後述する。
ハウジング5は、肉厚の四角形状に形成され、内部に複数のスロット9が一定間隔を空けて並列に設けられている。スロット9は、被検査体2の電極3に合わせて配設されている。即ち、被検査体2の電極3に接触する接触子6の配設位置に合わせて配設されている。図示した例では、四角形の被検査体2の各辺に合わせて5つずつのスロット9がそれぞれの辺に設けられている。
スロット9は、縦溝部10と基端収納部11とから構成されている。縦溝部10は、接触子6の先端側を支持するための溝である。縦溝部10の幅は、接触子6の厚さよりも僅かに広く設定され、接触子6が自由に回動できるようになっている。接触子6は、この縦溝部10に支持されて回動し、接触子6の先端部がハウジング5の上側表面から出没する。この縦溝部10が、四角形の被検査体2の各辺に合わせた位置に設けられ、接触子6の先端部が被検査体2の電極3の位置に整合するようになっている。隣り合う縦溝部10は隔壁10Aで仕切られている。縦溝部10は、グランド用接触子6Bの側面が電気的に接触して電気信号の流れを形成する接点として機能するようになっている。この機能について具体的には後述する。
基端収納部11は、接触子6の基端部を弾性的に支持するための空間である。基端収納部11は、各縦溝部10の奥部に位置して設けられている。基端収納部11は、隣接する5つのスロット9の縦溝部10の幅と同じ幅に形成され、全ての縦溝部10と連続して設けられている。これにより、基端収納部11は、接触子6の先端部が縦溝部10に位置した状態で、その基端部を収納するようになっている。基端収納部11には、その上側(信号配線8に対向する側)から後述する弾性体19を支持する第1の弾性体受け部12が設けられている。弾性体受け部12は、円筒状の弾性体19をその上側から抱え込むように円弧状に湾曲させて形成されている。この弾性体受け部12が弾性体19をその上側から支持している。基端収納部11の両側には、弾性体19を収納する弾性体支持部11Aが設けられている。弾性体19は、基端収納部11に通した状態で、その両端部が弾性体支持部11Aに取り付けられている。これにより、各縦溝部10に先端部が収納された接触子6の基端部の後述する第2の弾性体受け部15と、基端収納部11の第1の弾性体受け部12とで弾性体19を抱え込むようにして、各接触子6が弾性的に支持される。
基端収納部11の奥部には絶縁板13が取り付けられている。この絶縁板13は、接触子6をハウジング5から絶縁するための部材である。絶縁板13は接触子6をその基端部に当接して支持している。
ハウジング5の四隅には、配線基板4及びガイド板7と一体的に固定するためのネジ穴18が設けられている。
接触子6は、図1、5〜9に示すように、被検査体2の電極3と配線基板4の信号配線8とを電気的に接続するための部材である。接触子6には、信号用接触子6Aと、グランド用接触子6Bとがある。これらの接触子6は共に導体板で構成されている。具体的には、平板状の導体板を弓なり又は円弧状にして(切り抜いて)接触子6を形成し、スロット9に回動可能に収納されている。接触子6は、円弧板状に形成することで、その先端部(接触面14)がスロット9から上側に出没する際に被検査体2の電極3の面にほぼ垂直に接触するようになっている。接触子6の先端部の接触面14は円弧状に湾曲して形成されている。このように、接触子6の先端部の接触面14を円弧状に湾曲して形成するのは、被検査体2の電極3と接触する際に接触子6が多少回動するため、接触子6が回動しても接触子6の先端部と被検査体2の電極3との接触状態を良好に保つためである。接触子6の基端部には、スロット9の基端収納部11の弾性体受け部12で支持された弾性体19をその下側(配線基板4の信号配線8側)から支持する第2の弾性体受け部15が設けられている。弾性体受け部15は、接触子6の基端部を、円筒状の弾性体19を抱え込むように円弧状に湾曲させて形成されている。この弾性体受け部15が弾性体19の下側を支持している。この弾性体受け部15とスロット9側の弾性体受け部12とで、円筒状の弾性体19を上下から抱え込むように支持している。これにより、接触子6は、スロット9内に挿入された状態で、その基端上側部の弾性体受け部15が弾性体19に当接し、基端下側部(接触面16)が配線基板4の信号配線8に当接し、先端部が縦溝部10から上方へ延出している。そして、接触子6の先端部が、被検査体2の電極3に接触して押し下げられると、接触子6の基端部が絶縁板13と信号配線8とに支持されて弾性体受け部15が弾性体19を押し潰しながら、図1の破線で示すように回動し、接触子6の先端部の接触面14と被検査体2の電極3との間、及び接触子6の基端下側部の接触面16と信号配線8との間で摩擦しながら圧接して良好な電気的接続ができるようになっている。
さらに、接触子6のうち信号用接触子6Aの場合は、図5及び図6に示すように、円弧板状の本体の両側面に絶縁皮膜17が設けられ、スロット9に挿入された状態で、導電性のハウジング5に電気的に接触しないようになっている。
また、接触子6のうちグランド用接触子6Bは、図7及び図8に示すように、導体の円弧板状の本体が肉厚に形成されて、信号用接触子6Aに絶縁皮膜17を施した肉厚と同じ厚さになっている。これにより、スロット9に挿入された状態で、導電性のハウジング5に電気的に接触するようになっている。さらに、グランド用接触子6Bの先端部の接触面14と、基端下側部の接触面16は、水平に対して角度θだけ傾斜させて形成されている。これにより、グランド用接触子6Bは図9に示すように、被検査体2の電極3と、配線基板4のグランドパターン8Bとで上下から押されて図中の実線で示すように傾斜してスロット9の側壁に圧接されるようになっている。これにより、グランド用接触子6Bとスロット9の側壁とが、互いに圧接されることでハウジング5を介して電気信号を短絡させる接点として機能するようになっている。なお、角度θの具体的な数値は、グランド用接触子6Bを傾斜させる程度に応じて設定される。グランド用接触子6Bを大きく傾斜させたい場合は角度θを大きくし、グランド用接触子6Bを小さく傾斜させたい場合は角度θを小さくする。
弾性体19は、接触子6をスロット9内に回動可能に支持するための部材である。弾性体19は円柱状に形成されて、弾性体支持部11Aに装着されている。弾性体19は弾性体支持部11Aに装着された状態で、5つの接触子6を同時に支持するようになっている。弾性体19の材料としては、シリコンゴム等の弾性を有する合成樹脂が用いられる。
ガイド板7は、図1、4に示すように、被検査体2を案内して電極3と各接触子6の接触面14とを整合させるための部材である。ガイド板7は、ハウジング5と同じ寸法の肉厚の四角形状に形成されている。ガイド板7の中央部に案内開口21が設けられている。案内開口21は、ほぼ四角錐状の穴である。案内開口21の下部は被検査体2よりも僅かに大きな寸法に形成されている。案内開口21の上部は外方に開いた四角錐状に形成されている。これにより、被検査体2は、案内開口21の傾斜面22に案内されて位置決めされ、被検査体2の各電極3が各接触子6に整合して互いに当接されるようになっている。ガイド板7の四隅には、配線基板4及びハウジング5と一体的に固定するためのネジ穴23が設けられている。
[動作]
以上のように構成された電気的接続装置1は、次のように動作する。
以上のように構成された電気的接続装置1は、次のように動作する。
電気的接続装置1の信号配線8が検査装置本体(図示せず)に接続される。そして、被検査体2が手動又は自動で電気的接続装置1のガイド板7の案内開口21に挿入される。これにより、被検査体2は案内開口21の傾斜面22に案内されて位置決めされ、各電極3と各接触子6の接触面14とが互いに当接される。この状態で被検査体2が下方へ押し下げられる。
これにより、弾性体19で支持されている各接触子6が、弾性体19を押し潰しながら下方へ回動する。各電極3と接触子6の上端部の接触面14とが互いに摩擦しながら圧接される。また、接触子6の基端部の接触面16が信号配線8に摩擦しながら圧接される。さらに、グランド用接触子6Bは、先端部の接触面14及び基端部の接触面16の傾斜によって、スロット9内で傾斜しながら回動し、グランド用接触子6Bの側面とスロット9の側面とが互いに摩擦しながら圧接される(図9参照)。
これにより、各電極3と信号線8Aとが信号用接触子6Aで電気的に接続されると共に、電極3とグランドパターン8Bとがグランド用接触子6Bによって電気的に接続される上に、グランド用接触子6Bとハウジング5とが接点として電気的に接続される。そして、ハウジング5はグランドパターン8Bに電気的に接続されているため、グランド側は、グランド用接触子6Bで電極3とグランドパターン8Bとが直接的に接続されると共に、ハウジング5を介しても接続される。
これにより、被検査体2の各電極3と各信号配線8とが電気的に確実に接続される。
次いで、検査装置本体側から電気信号が送信されて、検査が行われる。
以上により、被検査体2の各電極3と各信号配線8とを、容易にかつ、電気的に安定して確実に接続することができるようになる。これにより、検査装置に対する信頼性を向上させることができる。
[変形例]
上記実施形態においては、スロット9を垂直に設けてグランド用接触子6Bのみを傾斜させるようにしたが、図10に示すように、グランド用接触子6Bが挿入されるスロット9も角度θだけ傾斜して設けてもよい。この場合、グランド用接触子6Bが最初から傾斜しているので、より確実にグランド用接触子6Bをスロット9の側面に圧接させることができる。
上記実施形態においては、スロット9を垂直に設けてグランド用接触子6Bのみを傾斜させるようにしたが、図10に示すように、グランド用接触子6Bが挿入されるスロット9も角度θだけ傾斜して設けてもよい。この場合、グランド用接触子6Bが最初から傾斜しているので、より確実にグランド用接触子6Bをスロット9の側面に圧接させることができる。
上記実施形態においては、グランド用接触子6Bの上端部の接触面14と下端部の接触面16とを角度θだけ傾斜させたが、いずれか一方のみを傾斜させてもよい。また、グランド用接触子6Bが挿入されるスロット9を傾斜させる場合は、グランド用接触子6Bの上下の接触面14、16は傾斜させても、傾斜させなくてもよい。傾斜させない場合は、グランド用接触子6Bが垂直になる方向に押されることになる。また、グランド用接触子6Bが挿入されるスロット9を、グランド用接触子6Bよりもより広く形成して、グランド用接触子6Bを傾斜させるようにしてもよい。
これらの場合も、グランド用接触子6Bをスロット9の側面に圧接させることができ、上記実施形態と同様に作用。効果を奏することができる。
1:電気的接続装置、2:被検査体、3:電極、4:配線基板、5:ハウジング、6:接触子、7:ガイド板、8:信号配線、9:スロット、10:縦溝部、11:横溝部、12:弾性体受け部、13:絶縁板、14:接触面、15:弾性体受け部、16:接触面、17:絶縁皮膜、19:弾性体、21:案内開口、22:傾斜面、23:ネジ穴。
Claims (6)
- 被検査体の電極部に、配線基板に形成された信号配線を電気的に接続する電気的接続装置であって、
上記被検査体の電極部と上記配線基板の信号配線とを電気的に接続する接触子が回動可能に挿入されたスロットを有するハウジングを備え、
当該ハウジングが導電性材料で構成され、上記被検査体の電極部に接触した上記各接触子と上記スロットとが、互いに電気的に接触する接点として機能することを特徴とする電気的接続装置。 - 被検査体の電極部に、配線基板に形成された信号配線を電気的に接続する電気的接続装置であって、
複数のスロットが一定間隔を空けて並列に設けられたハウジングと、当該ハウジングの各スロットにそれぞれ回動可能に挿入された複数の接触子と、当該各接触子の基端部を弾性的に支持する弾性体とを備え、
上記ハウジングが導電性材料で構成され、
上記各接触子のうちのグランド用接触子が、上記被検査体の電極部に接触して検査を行うときに、傾斜して上記スロットの側面に電気的に接触することを特徴とする電気的接続装置。 - 請求項2に記載の電気的接続装置において、
上記グランド用接触子のうち、上記被検査体の電極部との接触面又は上記信号配線との接触面の一方又は両方を傾斜させたことを特徴とする電気的接続装置。 - 請求項2又は3に記載の電気的接続装置において、
上記グランド用接触子が挿入されるスロットが、傾斜して設けられたことを特徴とする電気的接続装置。 - 請求項2又は3に記載の電気的接続装置において、
上記グランド用接触子が挿入されるスロットの幅が、上記接触子の幅よりも広く形成されて、当該接触子を傾斜して支持することを特徴とする電気的接続装置。 - 請求項2ないし5のいずれか1項に記載の電気的接続装置において、
上記ハウジングの各スロットの奥部に、上記信号配線に対向する側から上記弾性体を支持する第1の弾性体受け部が設けられると共に、上記接触子の基端部に、上記スロットの奥部の第1の弾性体受け部で支持された上記弾性体を上記信号配線側から支持する第2の弾性体受け部が設けられ、
上記スロットに上記接触子が挿入されてその基端部が上記信号配線に接触し上記第1及び第2の弾性体受け部で上記弾性体を支持して上記接触子の先端部が上記被検査体の電極部側へ延出された状態で、上記接触子の先端部に上記被検査体の電極部が接触することで当該各接触子が上記各弾性体を押しつぶしながら回動してその基端部が上記信号配線に圧接されると共に、上記グランド用接触子の側面が上記スロットに圧接されることを特徴とする電気的接続装置。
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-
2005
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