WO2012108066A1 - 検査治具 - Google Patents

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WO2012108066A1
WO2012108066A1 PCT/JP2011/061792 JP2011061792W WO2012108066A1 WO 2012108066 A1 WO2012108066 A1 WO 2012108066A1 JP 2011061792 W JP2011061792 W JP 2011061792W WO 2012108066 A1 WO2012108066 A1 WO 2012108066A1
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inspection
electrode
contact
side support
jig
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PCT/JP2011/061792
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忠数 宮武
藤野　真
圭弘 岡本
胎根 朴
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日本電産リード株式会社
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Priority to TW103119874A priority patent/TWI521211B/zh
Priority to TW100147380A priority patent/TWI449916B/zh
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    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01R31/2808—Holding, conveying or contacting devices, e.g. test adapters, edge connectors, extender boards
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    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks

Definitions

  • the present invention relates to an inspection jig for electrically connecting an inspection point set in advance on an inspection target portion of an inspection object such as a substrate on which a plurality of wirings are formed and an inspection apparatus.
  • the inspection jig supplies electric power (electric signal, etc.) from the inspection device to a predetermined inspection position to the inspection target part of the inspection object via the contact, and detects an electric signal from the inspection target part. Is used to detect the electrical characteristics of the inspection target part, perform an operation test, and the like.
  • Examples of inspected objects include various substrates such as printed wiring boards, flexible boards, ceramic multilayer wiring boards, electrode plates for liquid crystal displays and plasma displays, package boards for semiconductor packages, and film carriers, semiconductor wafers and semiconductors. This corresponds to a semiconductor device such as a chip or CSP (Chip size package).
  • substrates such as printed wiring boards, flexible boards, ceramic multilayer wiring boards, electrode plates for liquid crystal displays and plasma displays, package boards for semiconductor packages, and film carriers, semiconductor wafers and semiconductors.
  • This corresponds to a semiconductor device such as a chip or CSP (Chip size package).
  • inspection object an inspection target portion set in the inspection object is referred to as “inspection point”.
  • the object to be inspected is a substrate and is an electric / electronic component such as a semiconductor circuit such as an IC or a resistor mounted thereon
  • a target portion formed on the substrate is a wiring or an electrode.
  • the wiring on the printed wiring board, liquid crystal panel or plasma display panel before mounting the electrical / electronic component is used.
  • An electrical characteristic such as a resistance value between predetermined inspection points is measured to judge whether the wiring is good or bad.
  • the determination of the quality of the wiring is performed by bringing the current supply terminal and / or the tip of the voltage measurement contact into contact with each inspection point, and checking the inspection point from the current supply terminal of the contact. Measure the voltage generated in the wiring between the tips of the contacts that are in contact with the inspection point and supply the measurement current to the inspection point, and the resistance value of the wiring between the predetermined inspection points from those supply current and the measured voltage Is done by calculating
  • the jig moving means When inspecting the inspection substrate using the substrate inspection apparatus, the jig moving means is moved so that the contact (contact pin) for inspecting the substrate inspection jig contacts the contact portion of the inspection substrate. Control is performed such that a predetermined inspection is performed, and when the inspection is completed, the inspection jig is moved by the jig moving means to move away from the inspection substrate.
  • an inspection jig disclosed in Patent Document 1 includes a front end side support body, a rear end side support body arranged with a predetermined gap from the front end side support body, a front end side support body, and a rear side.
  • a connecting body for connecting the end side support body, the front end side support body is formed with a front end side insertion hole in a direction orthogonal to the facing surface facing the object to be inspected, and the rear end side support body is provided with a front end side insertion hole;
  • a rear end side insertion hole is formed in a direction inclined with respect to the forming direction. Further, the rear end side insertion hole is inclined with respect to the front end side insertion hole so that the distal end side of the probe inserted through the rear end side insertion hole faces the front end side insertion hole.
  • an electrode support body on which an electrode that contacts the rear end of the probe is formed is disposed with a predetermined gap between the electrode support body and the rear end side support body that holds the probe, and biases the rear end side support body.
  • An urging mechanism is provided. This urging mechanism has a conical tip, and is inserted into an insertion hole provided in a portion where the urging mechanism of the rear end support comes into contact with the probe, which is supported by the electrode support. The edge and electrode are also positioned.
  • the tip of the probe in order to suppress dents generated on the surface of the inspection point by rubbing while the tip of the probe is in contact with the surface of the inspection point, the tip of the probe is used only at the time of inspection.
  • An urging mechanism is provided so as to protrude.
  • the length of the rear end portion of the probe is formed to be longer than the axial length of the rearmost small diameter hole of the rear end side support. Since it is formed in this way, the probe rear end is swayed in a plane direction parallel to the rear surface of the rear end side support on the probe rear end.
  • the urging mechanism since the urging mechanism has a role of positioning, the urging mechanism wears when the tip of the urging mechanism and the insertion hole come into contact with each other. In this case, the distal end may enter the insertion hole deeper than in the initial state, so that the urging force changes when the distal end or the insertion hole is worn. Since a plurality of urging mechanisms and insertion holes are provided, the urging mechanism and the insertion hole are not constant depending on the progress of wear, and therefore the force that the rear end side support urges the electrode support varies depending on the location. It will be. For this reason, when the opposing surface approaches the contact surface, the opposing surface and the contact surface approach each other against the biasing force that varies depending on the location, and the tip of the probe comes into contact with the inspection point.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and provides an inspection jig that facilitates positioning between the rear end of the contact and the electrode and enables accurate inspection.
  • the present invention provides an inspection jig that is easy to maintain such as replacement of a contact.
  • the invention according to claim 1 is an inspection jig for electrically connecting an inspection point provided on the inspection substrate and an inspection device for inspecting the inspection substrate in order to inspect the wiring provided on the inspection substrate.
  • a flexible and conductive contact having one end electrically connected to the inspection point and the other end electrically connected to an electrode portion electrically connected to the inspection device; and one end of the contact
  • An inspection side support having an inspection guide hole for guiding to the inspection point, an electrode side support having an electrode guide hole for guiding the other end of the contact to the electrode, the inspection side support, and the electrode side support
  • a pole having a body arranged and held at a predetermined interval, and an electrode having a plurality of the electrodes, and an urging means for holding the electrode side support at a predetermined distance when not inspected
  • the contact has the inspection point
  • a conductive rod-like conductive conductor portion having a first end portion in contact with the electrode portion and a second end portion in contact with the electrode portion; and the conductor portion excluding the first end portion and the second
  • the electrode-side support body has a shaft portion extending toward the electrode body, and the electrode body has a bearing portion for inserting and holding the shaft portion so as to be slidable.
  • An inspection jig according to claim 1 is provided.
  • the biasing means includes a contact member having a contact surface that contacts the surface of the electrode-side support, and a bias that biases the contact member to the electrode-side support.
  • the invention according to claim 4 is characterized in that the pressing force of the urging means provided in the inspection jig is larger than the pressing force of the contact provided in the inspection jig. Provide inspection jigs.
  • the invention according to claim 5 further includes a movable plate between the electrode side support and the electrode body, and the urging means supports the electrode side support together with the movable plate on the inspection side.
  • the invention according to claim 6 further includes a movable plate around the electrode body, and the biasing means biases the electrode side support body together with the movable plate toward the inspection side support body.
  • the length of the second end portion of the contact is formed shorter than the depth of the electrode guide hole contacting the electrode body, the other end of the contact is inside the electrode guide hole. Therefore, the rear end of the contact can be stably brought into contact with the electrode, and the contact and the electrode can be stably brought into contact with each other.
  • the electrode-side support and the electrode body can be brought into contact with each other accurately. There is no waking.
  • the biasing means includes a contact member having a contact surface that contacts the surface of the electrode-side support, and a biasing portion that biases the contact member to the electrode-side support.
  • the invention according to claim 5 further includes a movable plate between the electrode side support and the electrode body, and the biasing means biases the electrode side support together with the movable plate toward the inspection side support. Since the biasing portion is provided, the maintenance of the inspection jig from the electrode side support side can be easily performed.
  • the invention described in claim 6 further includes a movable plate around the electrode body, and the biasing means has a biasing portion that biases the electrode side support body together with the movable plate toward the inspection side support body. Maintenance of the inspection jig from the electrode side support side can be easily performed, and contact between the rear end portion of the contact and the electrode can be ensured.
  • FIG. 1 is a schematic side view of an inspection jig 1 according to an embodiment of the present invention. It is a top view of the inspection jig 1 shown in FIG.
  • FIG. 2 is a schematic partial cross-sectional view showing a cross-sectional structure of an inspection-side support 2 shown in FIG. It is a schematic fragmentary sectional view which shows the cross-section of the electrode side support body 3 shown in FIG. 1, (a) has shown the state at the time of a non-inspection, (b) has shown the state at the time of an inspection.
  • FIG. 4 is a bottom view of the electrode side support 3.
  • 3 is a plan view of an electrode body 6.
  • FIG. FIG. 6 is a partial view of the inspection jig taken along line AA in FIG.
  • FIG. 6 for explaining the state of the inspection jig when the inspection jig including the electrode body according to the embodiment shown in FIG. 6 is not inspected.
  • FIG. 6 is an expanded sectional view. 6 is a partially enlarged cross-sectional view of the inspection jig taken along the line AA in FIG. 6 for explaining the state of the inspection jig when inspecting the inspection jig having the electrode body according to the embodiment shown in FIG.
  • FIG. It is a schematic block diagram of the inspection apparatus carrying the inspection jig shown in FIG. It is a top view of the electrode body which concerns on other embodiment. It is a front view which shows the outline of the state of the electrode body shown to FIG. 10A at the time of a non-inspection.
  • FIG. 10B is a partially enlarged cross-sectional view of the inspection jig taken along line BB in FIG. 10A for explaining a non-inspection state of the inspection jig including the electrode body according to the embodiment shown in FIG. 10A.
  • FIG. 10B is a partially enlarged cross-sectional view of the inspection jig taken along line BB in FIG. 10A for explaining a state at the time of inspection of the inspection jig including the electrode body according to the embodiment shown in FIG. 10A.
  • FIG. 1 is a schematic side view of an inspection jig 1 according to an embodiment of the present invention. However, in order to understand the structure of the present invention, a part is shown in a sectional view.
  • FIG. 2 is a plan view of the inspection jig 1 shown in FIG.
  • FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view showing a cross-sectional structure of the inspection-side support 2 shown in FIG. 4A and 4B are schematic partial cross-sectional views showing the cross-sectional structure of the electrode-side support 3 shown in FIG. 1, wherein FIG. 4A shows a state during non-inspection, and FIG. 4B shows a state during inspection.
  • FIG. 5 is a bottom view of the electrode side support 3.
  • FIG. 6 is a plan view of the electrode body 6.
  • FIG. 7 shows the state of the inspection jig 1 during non-inspection as viewed in the direction of the line AA in FIG. 6, and shows a schematic cross-sectional view enlarging a part of FIG.
  • FIG. 8 shows the state of the inspection jig at the time of inspection with respect to the state shown in FIG. Also in this figure, the cross section is the direction seen along the line AA in FIG.
  • FIG. 9 is a schematic configuration diagram of an inspection apparatus equipped with the inspection jig shown in FIG. Note that one end of the contact is shown in FIG. 3, and the rear end of the contact is shown in FIG. 7 and 8 show the non-inspection itself and the time of inspection, and these states change each time an inspection is performed.
  • FIG. 1, FIG. 3, FIG. 4, and FIG. 7 to FIG. 9, the top and bottom of the drawings are described as “front, front or front” and “rear or rear”, respectively.
  • the inspection jig 1 of this embodiment is mounted and used in an inspection apparatus 30 that performs an electrical inspection of an object to be inspected 50 such as a printed wiring board or a semiconductor integrated circuit (see FIG. 9).
  • the inspection jig 1 regulates the jig body 40, the base plate 41 on which the jig body 40 is placed, and the movement of the jig body 40 forward. And a regulating member 42 to be used.
  • the jig body 40 includes an inspection-side support 2 and an electrode-side support 3 disposed behind the inspection-side support 2 with a predetermined interval.
  • the inspection-side support 2 has an inspection guide hole 13 for guiding one end (tip 5e) of a contact 5 described later to an inspection point (see FIG. 3).
  • the electrode side support 3 has an electrode guide hole 20 for guiding the other end (rear end 5f) of the contact 5 to the electrode 7 (see FIGS. 4A and 4B).
  • the inspection side support body 2 and the electrode side support body 3 are each formed in a flat rectangular parallelepiped shape (rectangular plate shape).
  • the inspection-side support 2 and the electrode-side support 3 are arranged so that their surfaces are parallel to each other.
  • the inspection side support body 2 and the electrode side support body 3 are connected and fixed by four support columns 4 arranged at the four corners of the inspection side support body 2 (see FIGS. 1 and 2). .
  • the support column 4 connects the inspection side support body 2 and the electrode side support body 3.
  • a plurality of contacts 5 as contacts that come into contact with the inspection point of the inspection object 50 are inserted through the inspection-side support 2 and the electrode-side support 3.
  • the electrode body 6 is attached to the back of the electrode side support body 3 (refer FIG. 1). As shown in FIG. 1, the electrode body 6 is fixed with a plurality of electrodes 7 that are in conductive contact with the contact 5 (specifically, the rear end 5 f of the contact 5). The electrode body 6 is provided with a biasing means 14 for biasing the electrode side support 3 toward the front and a slide mechanism 8 for restricting the movement of the electrode side support 3 when the inspection object 50 is inspected. ing.
  • the contactor 5 is formed of a metal such as tungsten, high-speed steel (SKH), beryllium copper (Be-Cu), or other conductor, and is formed in a rod shape having bendable elasticity (flexibility). .
  • the contact 5 of this embodiment includes a conductor portion 5 a made of the conductor as described above and an insulating portion 5 b that covers the outer peripheral surface of the conductor portion 5 a. .
  • the insulating part 5b is formed of an insulator such as a synthetic resin.
  • the insulating part 5b can use an insulating film formed by applying an insulating coating to the surface of the conductor part 5a.
  • Insulating portions 5 b are not formed at both ends of the contact 5, a first end 5 c is formed at one end (front end) of the contact 5, and a first end 5 c is formed at the other end (rear end) of the contact 5.
  • Two opposing portions 5d are formed.
  • a portion that contacts the inspection point of the first end portion 5c is referred to as a front end 5f
  • a portion that contacts the electrode of the second end portion 5d is referred to as a rear end 5f.
  • the front end 5f of the first end 5c and the rear end 5f of the second end 5d can be formed in a hemispherical shape as shown in the figure.
  • the first end portion 5c of the contact 5 is inserted and supported in the inspection guide hole 13 of the inspection-side support body 2 during inspection (see FIG. 3).
  • the tip 5e of the first end portion 5c is in conductive contact with an inspection point formed on the inspection object 50.
  • the length of the first end 5c is formed longer than the length of the inspection guide hole 13. This is because the contact 5 is sandwiched and curved by the inspection point and the electrode during the inspection.
  • FIG. 3 shows an inspection jig for non-inspection.
  • the first end 5c of the contact 5 is accommodated in the inspection guide hole 13, and the tip 5e of the first end 5c is also in the inspection guide hole 13. Will be placed.
  • the second end portion 5d of the contactor 5 is guided to the electrode 7 (contact surface 7a) through an electrode guide hole 20 of the electrode side support 3 described later (see FIG. 4).
  • the rear end 5f of the second end portion 5d is in conductive contact with the electrode 7.
  • the second end portion 5d is formed to be shorter than the axial length of the small diameter hole 17b constituting the electrode guide hole 20.
  • the inspection-side support 2 is configured by laminating a plurality (three in this embodiment) of support plates 10, 11, and 12 in order from the side (front side) on which the inspection object 50 is arranged. These support plates 10 to 12 are fixed to each other by fixing means such as bolts.
  • through holes 10a, 11a, and 12a are formed in the support plates 10, 11, and 12, respectively.
  • inspection guide hole 13 in which the 1st end part 5c of the contactor 5 is penetrated is comprised.
  • the front surface of the support plate 10 is a facing surface 2 a that faces the object to be inspected 50.
  • the inspection guide hole 13 has a guide direction of the contact 5 facing toward the inspection object 50. Specifically, the inspection guide hole 13 has the guide direction of the contact 5 orthogonal to the facing surface 2a. Therefore, the tip 5e of the contact 5 can be brought into contact with the inspection point of the inspection object 50 from a substantially perpendicular direction.
  • inspection guide holes 13 are formed as many as the number of contacts 5 included in the inspection jig 1.
  • the three through holes 10a, 11a, and 12a are formed concentrically.
  • the through hole 10a is composed of a small diameter hole 10b and a large diameter hole 10c having a larger diameter than the small diameter hole 10b
  • the through hole 12a is composed of a large diameter hole 12c having a larger diameter than the small diameter hole 12b and the small diameter hole 12b. It is composed of
  • the small diameter hole 10b and the small diameter hole 12b are formed to have an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the conductor portion 5a and slightly smaller than the outer diameter of the contact 5 in the insulating portion 5b.
  • the inner diameter of the through hole 11a is larger than the inner diameter of the small diameter hole 10b and the inner diameter of the small diameter hole 12b.
  • a tip edge 5g which is a boundary between the conductor portion 5a and the insulating portion 5b, formed at the first end portion 5c of the contact 5 is arranged behind the small diameter hole 12b of the inspection guide hole 13 as shown in FIG. Yes.
  • the small diameter hole 12b is formed with an inner diameter slightly smaller than the outer diameter of the contact 5 in the insulating portion 5b. Therefore, the leading edge 5g of the insulating portion 5b comes into contact with the open edge 12d of the small diameter hole 12b. That is, the tip edge 5g and the opening edge 12d serve as a retaining portion for preventing the contact 5 from falling off to the inspection object side.
  • the electrode-side support 3 is configured by laminating a plurality (three in this embodiment) of support plates 15, 16, and 17 in order from the front side of the inspection-side support 2. These support plates 15 to 17 are fixed to each other by fixing means such as bolts.
  • through holes 15a, 16a, and 17a are formed in the support plates 15 to 17, respectively.
  • one electrode guide hole 20 through which the second end portion 5d of the contact 5 is inserted is formed.
  • the electrode guide holes 20 are formed as many as the number of contacts 5 included in the inspection jig 1.
  • the electrode guide hole 20 is formed in a guide direction that is inclined with respect to the guide direction formed in the inspection guide hole 13 (that is, the direction orthogonal to the facing surface 2a). That is, the three through holes 15a to 17a are formed with their centers slightly shifted from each other, and the entire electrode guide hole 20 is formed in a direction inclined with respect to the orthogonal direction of the opposing surface 2a. .
  • three through holes 15a to 17a are formed in a state where the centers of the through holes 15a to 17a are slightly shifted in the right direction in the drawing. That is, the guide direction for guiding the rear end side of the contact 5 is guided in a direction inclined with respect to a normal line orthogonal to the surface of the electrode side support 3.
  • the through-hole 15a includes a small-diameter hole 15b and a large-diameter hole 15c having a larger diameter than the small-diameter hole 15b.
  • the through hole 16a includes a small diameter hole 16b and a large diameter hole 16c
  • the through hole 17a includes a small diameter hole 17b and a large diameter hole 17c.
  • the small-diameter holes 15b, 16b, and 17b are formed with an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the contact 5 in the portion where the insulating portion 5b is formed.
  • the small diameter hole 17b is formed with an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the contact 5 of the insulating portion 5b, and the rear end edge 5h of the insulating portion 5b is formed inside the small diameter hole 17b. Can be inserted.
  • the contact 5 is disposed so as to be inclined with respect to a normal line orthogonal to the surface of the electrode side support 3. For this reason, as shown in FIG.4 (b), the contactor 5 is also inclined and arrange
  • the small diameter hole 17 b is formed so that the axial direction is orthogonal to the surface of the electrode side support 3.
  • the rear end edge 5h which is the boundary between the conductor portion 5a and the insulating portion 5b formed at the second end portion 5d of the contact 5
  • the electrode guide hole 20 is disposed behind the large-diameter hole 17c.
  • the amount of movement in the direction parallel to the rear surface of the electrode side support 3 at the rear end 5f is restricted to the range in which the contact 5 moves inside the small diameter hole 17b. For this reason, when the contactor 5 is inserted at an angle (when shifting from non-inspection to inspection or when shifting from inspection to non-inspection), the rear end 5f of the second end 5d moves. The possible amount can be very small and will be in stable contact with the electrode.
  • the contact surface 7a of the electrode 7 described later and the rear end 5f can be precisely positioned.
  • the easy positioning of the contact surface 7a and the rear end 5f greatly contributes to shortening the working time.
  • a circular insertion hole 3a is formed on the bottom surface (rear surface) of the electrode side support 3. Specifically, insertion holes 3 a are formed in the vicinity of the four corners of the support plate 17 so as to penetrate the support plate 17. As shown in FIG. 7, a shaft portion 8 a described later constituting the slide mechanism 8 is inserted and fixed in the insertion hole 3 a.
  • the first end portion 5 c inserted through the inspection guide hole 13 is displaced from the second end portion 5 d inserted through the electrode guide hole 20 in the inclined direction of the guide direction of the electrode guide hole 20.
  • the opening position on the rear end side of the inspection guide hole 13 through which the first end portion 5c of the contact 5 is inserted (that is, the opening position of the through hole 12a of the support plate 12) is as shown in FIG.
  • the electrode guide hole 20 is disposed on the inclined side in the guide direction.
  • the electrode body 6 includes rectangular support plates 22 and 23 in which a plurality of electrodes 7 are embedded, and a substantially block-shaped support member 25 that holds wirings 24 that are conductively connected to the electrodes 7. It is configured by stacking.
  • the electrode body 6 of this embodiment is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape as a whole, and the rear end surface is fixed to the front surface of the base plate 41 via the fixing plate 48. Note that the wiring 24 is connected to a control unit 31 of the inspection apparatus 30 described later.
  • the front surface of the electrode 7 is a contact surface 7a with which the rear end 5f of the contact 5 contacts, as shown in FIG. Note that the rear end 5f of the contact 5 is formed in a spherical shape as described above. Therefore, even if the second end portion 5d of the contact 5 is inclined along the electrode guide hole 20 having the inclined guide direction, the rear end 5f and the contact surface 7a are in a suitable conductive contact state.
  • an urging means 14 is also attached. Specifically, as shown in FIG. 6, the slide mechanism 8 and the urging means 14 are attached in the vicinity of each of the four corners of the electrode body 6. In this embodiment, the biasing means 14 is attached at a position farther from the four corners of the electrode body 6 than the slide mechanism 8.
  • the slide mechanism 8 includes a rod-shaped shaft portion 8a that protrudes from the rear surface of the electrode-side support 3 and a cylindrical bearing portion 8b that is fixed to the electrode body 6 and into which the shaft portion 8a is inserted (see FIG. 1). ).
  • One end of the shaft portion 8a is fixed rearward to the support plate 17 of the electrode side support 3, and the other end is inserted into a bearing portion 8b described later. At this time, the shaft portion 8 a is fixed so that the axial direction is perpendicular to the rear surface of the support plate 17.
  • the bearing portion 8 b is fixed by being fitted into a through hole (not shown) provided in the electrode body 6.
  • the bearing portion 8b is a linear motion bearing such as a linear bush having, for example, a plurality of ball bearings arranged in the axial direction, and the cross-sectional shape and diameter are suitably adjusted according to the inner shape of the bearing.
  • the shaft portion 8a is inserted.
  • the shaft portion 8a By inserting the shaft portion 8a through the bearing portion 8b, the shaft portion 8a can be linearly moved (slid) in the axial direction with high accuracy (less movement in a direction perpendicular to the axial direction).
  • the slide mechanism 8 is provided in order to move the electrode-side support 3 in the front-rear direction with respect to the electrode body 6 with high accuracy, and when the rear surface of the electrode support 3 and the front surface of the electrode body 6 abut.
  • the rear end 5f of the contact 5 inserted into the electrode guide hole 20 and the contact surface 7a of the electrode 7 formed on the electrode body 6 can be brought into contact with each other with high accuracy.
  • the slide mechanism 8 when the slide mechanism 8 is attached, the slide mechanism 8 is attached so that the rear end 5d and the contact surface 7a are preferably in contact with each other.
  • the slide mechanism 8 is attached to the electrode body 6, and the electrode side support body 3 and the electrode body 6 can be moved in the front-rear direction with high accuracy. For this reason, when the electrode side support body 3 moves ahead by external force, the contact surface 7a of the electrode 7 and the rear end 5f of the contact 5 inserted through the electrode side support body 3 can be brought into contact with each other with high accuracy.
  • the urging means 14 protrudes from the front surface of the electrode body 6 and comes into contact with the electrode side support 3, the cylinder member 44 in which the rear end side of the contact member 43 is accommodated, and the cylinder member 44 And an urging portion (compression coil spring 45) for urging the abutting member 43 first, and a retaining ring 46 such as an E-type retaining ring for attaching the abutting member 43 to the cylindrical member 44 (FIG. 1). reference).
  • the cylindrical member 44 is formed in a bottomed cylindrical shape having an opening on the front end side, and is fixed to the electrode body 6.
  • the abutting member 43 has a cylindrical shape, and includes a cylindrical portion 43a disposed on the front side and a small-diameter portion 43b disposed on the rear side and having a smaller diameter than the cylindrical portion 43a.
  • the cylindrical portion 43a is formed in a cylindrical shape having a plane perpendicular to the long axis direction on the end surface. Therefore, the tip end side of the contact member 43 comes into contact with the rear surface of the support plate 17.
  • a compression coil spring 45 is inserted on the outer peripheral side of the small diameter portion 43b. Specifically, the compression coil spring 45 is inserted into the outer peripheral side of the small diameter portion 43b in a state where the end portion of the compression coil spring 45 is in contact with the rear end surface of the cylindrical portion 43a and the bottom surface of the cylindrical member 44.
  • the rear end side of the small diameter portion 43 b is inserted through a through hole formed in the bottom surface of the cylindrical member 44 and protrudes rearward from the bottom surface of the cylindrical member 44.
  • a retaining ring 46 is fixed to the rear end of the small diameter portion 43b.
  • the urging means 14 is attached to the electrode body 6 and urges the electrode side support body 3 in the forward direction. That is, the urging means 14 includes the contact surface 7a of the electrode 7 fixed to the electrode body 6 and the front surface (that is, the opposing surface) of the inspection-side support 2 fixed to the electrode-side support 3 via the support column 4. The inspection-side support body 2, the electrode-side support body 3, and the support column 4 are urged in the direction away from 2a).
  • the regulating member 42 includes a regulating plate 47 that contacts the front surface of the electrode-side support 3 and a fixed plate 48 to which the regulating plate 47 is fixed.
  • the fixing plate 48 is arranged behind the jig body 40 and is fixed to the base plate 41.
  • the regulating plate 47 is fixed to the front end of the fixed plate 48.
  • the contact member 43 contacts the rear surface of the electrode side support 3 (the rear surface of the support plate 17) with the compression coil spring 45 slightly bent during non-inspection.
  • the front surface of the support 3 is in contact with the regulation plate 47. That is, the electrode-side support 3 is in contact with the regulation plate 47 while being urged by the urging means 14 (see FIG. 7).
  • the inspection-side support body 2, the electrode-side support body 3, and the support column 4 are biased forward, and the tip 5e of the contactor 5 does not protrude from the facing surface 2a (see FIG. 7). That is, in this state, the tip 5 e of the contact 5 is accommodated in the inspection guide hole 13.
  • FIG. 9 is a schematic configuration diagram of an inspection apparatus 30 on which the inspection jig 1 shown in FIG. 1 is mounted.
  • the inspection jig 1 of this embodiment is used by being mounted on an inspection device 30 that performs an electrical inspection (specifically, inspection of disconnection, short circuit, etc.) of the inspection object 50.
  • the inspection object 50 is formed with an inspection point where the tip 5e of the contact 5 comes into contact.
  • an electronic component such as an IC is placed on the inspection object 50 after the inspection. Further, the placed electronic component is bonded to an inspection point used in the inspection by, for example, wire bonding.
  • the inspection device 30 is driven by a control unit 31 as an electrical inspection unit including an inspection circuit for determining the conduction state of the inspection object 50, a drive unit (not shown) connected to the control unit 31, and a drive unit.
  • the inspection mechanism 33 is provided.
  • the electrode 7 of the inspection jig 1 is conductively connected to the control unit 31 via the wiring 24.
  • the inspection mechanism 33 includes a first support plate 34 to which the inspection jig 1 is fixed, a second support plate 35 that is disposed opposite to the first support plate 34 and to which the inspection object 50 is fixed, and the first support plate 34. And a moving mechanism 36 for moving in the front-rear direction.
  • the moving mechanism 36 is constituted by, for example, a ball screw mechanism or a hydraulic mechanism, and is driven by a drive unit.
  • the second support plate 35 is a fixing means for fixing the inspection object 50
  • the moving mechanism 36 moves the inspection jig 1 in a direction in which the inspection object 50 and the facing surface 2a of the inspection jig 1 approach each other. It has become a moving means.
  • the moving mechanism 36 may move the second support plate 35 in the front-rear direction.
  • first support plate 34 is configured to be movable in the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 9 by a moving mechanism (not shown), and the second support plate 35 is movable in the left-right direction of FIG. 9 by a moving mechanism (not shown). It may be configured.
  • FIG. 7 is a view showing the state of the inspection jig during non-inspection
  • FIG. 8 is a view showing the state of the inspection jig during inspection.
  • the inspection apparatus 30 according to this embodiment performs an electrical inspection of the inspection object 50 while bringing the opposing surface 2 a of the inspection jig 1 into contact with the inspection object 50. Specifically, the inspection apparatus 30 performs the inspection as follows.
  • the inspection jig 1 is fixed to the first support plate 34, and the inspection object 50 is fixed to the second support plate 35.
  • the abutting member 43 abuts on the rear surface of the electrode side support 3 with the compression coil spring 45 slightly bent, and the electrode side support 3 on the regulating plate 47. The front surface of the abuts.
  • the rear end 5 f of the contact 5 is in contact with the contact surface 7 a of the electrode 7.
  • the rear end 5f of the contact 5 may be slightly separated from the contact surface 7a.
  • the drive unit drives the moving mechanism 36 with a control signal from the control unit 31
  • the first support plate 34 approaches the second support plate 35, and the facing surface 2 a eventually comes into contact with the object 50 to be inspected.
  • the inspection side support 2, the electrode side support 3, and the support column 4 are moved against the urging force of the urging means 14 as shown in FIG. Move relative to. That is, the inspection-side support body 2, the electrode-side support body 3, and the support column 4 move relative to the electrode body 6 in the direction in which the contact surface 7 a and the facing surface 2 a approach each other. At this time, the front surface of the electrode-side support 3 is in a state separated from the regulating plate 47.
  • the inspection side support 2 and the like move relative to the electrode body 6, and the deflection amount of the intermediate portion of the contact 5 is a predetermined amount. Then, the tip 5e of the contact 5 housed in the inspection guide hole 13 comes into contact with the inspection point with a predetermined contact pressure.
  • the tip 5e does not protrude from the facing surface when the facing surface and the surface on which the inspection point is formed contact with no gap, but if there is a slight gap, the tip 5e is the facing surface by the amount of the gap. Will protrude from.
  • the bending direction of the intermediate part of the contact 5 to be bent is a direction corresponding to the inclination direction of the contact 5.
  • the length protruding rearward from the bearing portion 3b is the amount of movement of the electrode side support 3. It will be long.
  • the control unit 31 supplies a predetermined signal to the inspection jig 1 or receives a potential detected by the inspection jig 1 to perform an electrical test on the inspection object 50.
  • the second end portion 5d of the contact 5 is formed shorter than the axial length of the small diameter hole 17b formed in the support plate 17 on the rearmost side of the electrode side support 3. Yes.
  • each member (the electrode side support 3, the electrode body 6, the slide) is assembled when assembling the inspection jig. Positioning of the mechanism 8 or the like) is facilitated, and the rear end 5f can be brought into contact with the contact surface 7a of the electrode 7 with high accuracy.
  • the rear end 5d of the contact 5 is in contact with and pressed against the contact surface 7a of the electrode 7.
  • the contact resistance value of the contact 5 can be kept constant. For this reason, an accurate test result can be obtained.
  • the operation of the inspection jig 1 and the inspection apparatus 30 during inspection is as described above.
  • an apparatus for automatically supplying and unloading the inspection object 50 (both not shown). May be continuously inspected by the inspection apparatus 30.
  • the inspection jig 1 continuously performs the above-described inspection operation.
  • the rear end side of the contact 5 is stably held by the electrode-side support 3 as described above, the rear end 5f and the contact surface 7a can be used even when the inspection is continuously performed. Therefore, the wear of the contact surface 7a due to the rear end 5f rubbing the contact surface 7a can be prevented.
  • the biasing mechanism 14 causes the inspection-side support 2, the electrode-side support 3, and the column 4 to move away from the contact surface 7 a formed on the electrode 7 and the facing surface 2 a formed on the inspection-side support 2. Is energized.
  • the urging force of the urging means 14 causes the inspection side support 2, the electrode side support 3 and The support 4 can be urged so that the tip 5e of the contact 5 does not protrude from the facing surface 2a (that is, the tip 5e of the contact 5 is disposed in the inspection guide hole 13).
  • the contact surface 7a and the opposing surface 2a can be brought close to each other against the urging force of the urging means 14 by bringing the opposing surface 2a and the inspection object 50 into contact with each other. .
  • the tip 5e of the contact 5 inserted into the inspection guide hole 13 can be slightly protruded from the facing surface 2a and brought into contact with the inspection object 50 with a predetermined contact pressure.
  • the tip 5e of the contact 5 is in contact with the inspection point of the inspection object 50 in a state where the opposing surface 2a is in contact with the inspection object 50. Can be contacted with pressure.
  • the amount of displacement of the tip 5e of the contact 5 in a state where the tip 5e is in contact with the inspection point of the inspection object 50 is suppressed to about the gap between the first end 5c of the contact 5 and the inspection guide hole 13. Can do.
  • the amount of displacement of the tip 5e of the contact 5 in contact with the inspection point can be reduced, and as a result, the occurrence of scratches on the surface of the inspection point of the inspection object 50 can be suppressed.
  • the inspection guide hole 13 has a guide direction toward the inspection object 50
  • the electrode guide hole 20 has a guide direction inclined with respect to the probe guide direction of the distal end side insertion hole 20, and the contact
  • the first end portion 5 c of 5 is arranged at a position shifted to the side inclined to the guide direction of the electrode guide hole 20 with respect to the second end portion 5 d of the contact 5.
  • the intermediate portion of the contact 5 disposed in the gap between the inspection side support 2 and the electrode side support 3 is bent, and thus the state in contact with the inspection point of the inspection object 50
  • the amount of displacement of the tip 5e of the contact 5 when in contact with the inspection point can be made minute.
  • the urging means 14 is attached to the electrode body 6 and urges the electrode side support 3. Therefore, when the opposing surface 2a comes into contact with the inspection object 50 (that is, at the time of inspection), the inspection-side support body 2, the electrode-side support body 3, and the connection body 4 that are fixed to each other are integrated into the electrode body 6. Accordingly, the tips 5e of the plurality of contacts 5 can be reliably brought into contact with the inspection point of the inspection object 50.
  • the inspection-side support body 2, the electrode-side support body 3 and the connection body 4 fixed to each other have relatively high rigidity and are not easily deformed even if they move relative to the electrode body 6. It is possible to make the protruding amount of the tip 5e of the contact 5 almost equal, and the tips 5e of the plurality of contacts 5 can be reliably brought into contact with the inspection point of the inspection object 50.
  • the urging means 14 has a contact member 43 whose tip abuts on the rear surface of the electrode-side support 3, and the tip of the cylindrical portion 43 a of the contact member 43 is connected to the rear surface of the electrode-side support 3. It is formed to have parallel planes. Therefore, the portion of the rear surface of the electrode side support 3 with which the abutting member 43 abuts does not wear and there is no change in the urging force by the urging means 14, so that the plurality of urging means 14 have a uniform urging force. Inspection can be carried out while keeping
  • the inspection jig 1 includes a regulating member 42 that abuts the front surface of the electrode side support 3 and regulates the movement of the electrode side support 3 toward the front.
  • the inspection-side support body 2, the electrode-side support body 3, and the connection body 4 can be positioned when no external force is applied to the inspection jig 1.
  • the contact surface 7a of the electrode 7 with which the rear end 5f of the contact 5 contacts is formed in a flat shape, but is not limited to this shape.
  • the contact surface 7a may be formed into a flat shape after the contact surface 7a is formed by plating or the like on the contact surface 7a.
  • the contact 5 has a front end 5e and a rear end 5f formed in a spherical shape as shown in the drawing.
  • front end 5e and the rear end 5f may be formed in a conical shape having an inclined surface toward the front end, and are formed in a planar shape perpendicular to the major axis direction of the contactor 5. May be.
  • the contact 5 is inserted through the inspection-side support 2 and the electrode-side support 3 so that the intermediate portion between the inspection-side support 2 and the electrode-side support 3 is inclined.
  • the contact 5 may be inserted into the inspection side support 2 and the electrode side support 3 so that the intermediate portion does not tilt.
  • the urging means 14 is formed so that the tip of the contact member 43a has a plane parallel to the rear surface of the electrode side support 3.
  • the tip shape of the contact member 43a may be formed to be slightly rounder than the flat surface.
  • the urging means 14 generates the urging force by the compression coil spring 45 as the urging member.
  • the urging means 14 may generate an urging force using another spring member such as a tension coil spring or a leaf spring, or an elastic member such as rubber as an urging member.
  • the inspection jig 1 includes the regulating member 42 that abuts the front surface of the electrode side support 3 and regulates the forward movement of the electrode side support 3 and the like.
  • the inspection jig 1 may be provided with a regulating member that abuts against the opposing surface 2a of the inspection side support 2 to restrict the movement of the inspection side support 2 toward the tip.
  • the inspection jig 1 may not include a regulating member that regulates the forward movement of the electrode side support 3 or the like. In this case, it is preferable that a retaining member for preventing the electrode-side support 3 or the like from coming off is provided.
  • the inspection-side support 2 is constituted by the three support plates 10 to 12.
  • the inspection-side support 2 may be composed of two or less or four or more support plates.
  • the electrode-side support 3 is configured by the three support plates 15 to 17, but the electrode-side support 3 may be configured by two or less or four or more support plates. good.
  • the shaft portion 8a of the guide mechanism extending backward from the support plate 17 of the electrode side support 3 is fixed to the support plate 17, but the shaft portion 8a can be detached from the support plate 17. You may comprise.
  • the front end portion of the shaft portion 8 a of the slide mechanism 8 is fixed to the support plate 17 of the electrode side support 3, and the cylindrical portion 43 a of the biasing means 14 is the electrode.
  • the rear surface of the support plate 17 of the electrode side support 3 is urged toward the inspection side support 2 through the through hole of the body 6.
  • 10A, 10B, 10C, 11 and 12 as will be described in detail later, the distal end of the shaft portion 8a of the slide mechanism 8 is a part of the movable plate 22b of the support plate 22 of the electrode body 6.
  • the cylindrical portion 43a of the urging means 14 urges the rear surface of the movable plate 22b of the support plate 22 of the electrode body 6 toward the inspection-side support 2.
  • FIG. 10A is a plan view of the electrode body 6 according to the second embodiment
  • FIGS. 10B and 10C are front views of the electrode body 6 shown in FIG. 10A
  • the electrode body 6 includes support plates 22 and 23 and a support member 25.
  • the one corresponding to the support plate 22 is constituted by a central electrode plate 22a to which the contact surface 7a of the electrode 7 is fixed and a movable plate 22b disposed around the center electrode plate 22a.
  • the electrode plate 22 a is fixed to the support plate 23, but the movable plate 22 b is urged away from the support plate 23. That is, as shown in FIGS. 10B and 10C, the movable plate 22b can move in the front-rear direction of the inspection jig.
  • small protrusions 52a are provided near the four corners on the front surface of the movable plate 22b, and two small protrusions in the right vertical direction toward FIG. 10A. Large protrusions 52b are provided therebetween. These protrusions enter a recess (not shown) formed in the support plate 17 with the movable plate 22b in contact with the support plate 17 to position the movable plate 22b and the support plate 17.
  • urging means 26 are provided near the four corners on the electrode plate 22a.
  • these urging means are provided with a cylindrical portion and a columnar portion, like the urging means 14, and the cylindrical portion is fixed in the support member 25, and the columnar portion is the support plate 17. Abuts against the rear surface. Since the urging means 43a applies an urging force to the support plate 17 together with the movable plate 22b, the urging force thereby does not act on the support plate 17 facing the region of the electrode plate 22a. As a result, the support plate may be warped only by the urging force of the urging means 43a. For this reason, the urging means 26 applies an urging force to the support plate 17 facing the region of the electrode plate 22a where the electrodes are provided, whereby a uniform urging force is distributed relatively to the support plate. I was able to add it.
  • FIG. 11 is a partially enlarged cross-sectional view of an inspection jig including the electrode body according to the second embodiment, and shows a state of the inspection jig during non-inspection. As shown in this figure, the movable plate 22 b is held at a position away from the support plate 23.
  • the bearing portion 8 b of the slide mechanism 8 is fixed by being fitted into through holes provided in the support plate 23 and the support member 25 of the electrode body 6, and the distal end portion of the shaft portion 8 a of the slide mechanism 8 is fixed.
  • the through hole 22bh formed in the movable plate 22b is fitted and fixed. Thereby, the movable plate 22b can be translated along the axial direction of the shaft portion 8a.
  • the cylindrical member 44 of the urging means 14 is fixed by being fitted into a through hole provided in the support member 25, and the tip end of the cylindrical portion 43 a of the urging means 14 is fixed to the support plate 23.
  • the front end surface of the through hole penetrates the through hole and abuts against the rear surface of the movable plate 22b to urge the movable plate 22b forward.
  • the shaft portion 8a of the slide mechanism 8 is fixed to the through hole 22bh of the movable plate 22b, and the cylindrical portion 43a of the urging means 14 is positioned at a position indicated by reference numeral 43a on the rear surface of the movable plate 22b.
  • the tip part abuts. That is, the slide mechanism 8 and the biasing means 14 are arranged so as to act on the movable plate 22b. These positions are the same as the positions of the shaft portion 8a of the slide mechanism 8 penetrating the support plate 22 of the electrode body 6 and the cylindrical portion 43a of the urging means 14 in the first embodiment.
  • the surface of the support plate 17 of the electrode side support 3 has the same shape as the combined surface of the movable plate 22 b and the electrode plate 22 a, so the movable plate 22 b and the electrode are supported by the support plate 17.
  • the entire surface of the plate 22a is pushed. That is, when the movable plate 22b stops, the front surface of the movable plate 22b and the front surface of the electrode plate 22a are arranged on the same plane. This can also ensure that the contact between the rear end of the contact and the electrode is reliable. In this case, a gap is formed between the rear surface of the regulating plate 47 and the front surface of the support plate 15 of the electrode side support 3.
  • the action of the probe during the inspection is the same as in the first embodiment.
  • the jig body 40 When exchanging the contact, the jig body 40 is removed from the inspection jig 1 and the contact is removed and attached from the rear surface of the support plate 17 of the electrode side support 3.
  • the shaft portions 8a of the four slide mechanisms 8 are fixed to the rear surface of the support plate 17 of the electrode-side support 3, and the four shaft portions 8a are It surrounds the four corners of the portion where the electrode guide hole 20 to which the second end 5d of the contact is attached.
  • the jig main body 40 of the inspection jig is downsized, and as a result, the interval between the four shaft portions 8a fixed on the support plate 17 is reduced. In some cases, it becomes difficult to access the contacts.
  • a thin support plate used for the jig body 40 is used. For this reason, if it is such a thin support plate, it has the problem that a process becomes difficult or the intensity
  • the shaft portion 8a of the slide mechanism 8 is fixed to the movable plate 22b and is not fixed to the support plate 17 of the electrode side support 3, so that the shaft portion 8a hinders work.
  • the strength of the support 17 itself does not decrease and bend, the maintenance such as replacement of the contacts can be easily performed even with the downsized jig body 40. Can do.
  • the electrode body 6 is composed of the electrode plate 22a and the movable plate 22b.
  • the electrode body 6 is an integral one as in the case of the first embodiment, and is separately moved between the support plate 17 of the electrode side support body 3 and the support plate 22 of the electrode body 6.
  • An arbitrary rectangular plate is interposed, and the tip of the shaft portion 8a of the slide mechanism 8 is fixed to the plate, and the tip surface of the cylindrical portion 43a of the urging means 14 is brought into contact with the rear surface of the plate to attach the plate. You may comprise so that it may bias to the support plate 17 of the electrode side support body 3.
  • the plate needs to have a configuration in which the end of the contact protruding from the electrode-side support 3 can come into contact with the electrode of the electrode body 6.
  • a notch may be formed in the portion of the plate corresponding to such a contact position, or a conductive structure may be provided in that portion.
  • the shaft portion 8a of the slide mechanism 8 is fixed to the movable plate 22b and not fixed to the support plate 17 of the electrode side support 3, so that the electrode side Maintenance such as replacement of the contacts in the region of the support 3 where the contacts are provided can be easily performed.
  • the movable plate can urge the electrode-side support 3 toward the inspection-side support 2 at the time of non-inspection, and can move backward while holding the electrode-side support 3 and the inspection-side support 2 in parallel at the time of inspection. Any member may be used, but a member for moving the electrode side support 3 is not fixed around a region where the rear end portion of the contact of the electrode side support 3 is arranged.

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Abstract

　検査基板に設けられる配線の検査を行うため、該検査基板に設けられる検査点と該検査基板を検査する検査装置を電気的に接続するための検査治具であって、一端が前記検査点と導通接触するとともに、他端が前記検査装置と電気的に接続される電極部と導通接触する可撓性且つ導電性の接触子と、前記接触子の一端を前記検査点に案内する検査案内孔を有する検査側支持体と、前記接触子の他端を前記電極に案内する電極案内孔を有する電極側支持体とを有し、前記接触子は、前記検査点と接触する第一端部と前記電極部と接触する第二端部を有するとともに可撓性を有する棒状の導電性の導体部と、前記第一端部と第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被膜される絶縁部を有し、前記第二端部の長さは、前記電極体に当接する前記電極案内孔の深さよりも短く形成されていることを特徴とする、接触子の後端と電極との位置決めを容易にし、正確な検査を可能にする検査治具。

Description

検査治具
　本発明は、複数の配線が形成される基板等の被検査物の検査対象部上に予め設定される検査点と検査装置とを電気的に接続する検査治具に関する。
　検査治具は、接触子を経由して、被検査物が有する検査対象部に、検査装置から電力（電気信号など）を所定検査位置に供給するとともに、検査対象部から電気信号を検出することによって、検査対象部の電気的特性の検出、動作試験の実施等をするために用いられる。
　被検査物としては、例えば、プリント配線基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や、半導体ウェハや半導体チップやCSP(Chip size package)などの半導体装置が該当する。
　本明細書では、これらの上記の被検査物を総称して「被検査物」とし、被検査物に設定される検査対象部を「検査点」と称する。
　例えば、被検査物が基板であり、それに搭載されるＩＣ等の半導体回路や抵抗器などの電気・電子部品である場合には、基板に形成された対象部が、配線や電極となる。その場合には、対象部の配線が、それらに電気信号を正確に伝達できることを保証するため、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに形成された配線上の所定の検査点間の抵抗値等の電気的特性を測定して、その配線の良否を判断している。
　具体的には、その配線の良否の判定は、各検査点に、電流供給用端子及び／又は電圧測定用の接触子の先端を当接させて、その接触子の電流供給用端子から検査点に測定用電流を供給するとともに検査点に当接させた接触子の先端間の配線に生じた電圧を測定し、それらの供給電流と測定した電圧とから所定の検査点間における配線の抵抗値を算出することによって行われている。
　また、基板検査装置を用いて検査用基板の検査を行う際には、治具移動手段を移動させて基板検査治具の検査用の接触子（接触ピン）を検査用基板の接触部分に当接させ、それにより所定の検査を行い、検査が終了すると、治具移動手段により検査治具を移動させて検査用基板から遠ざける、という制御が行われている。
　ここで、例えば特許文献１に開示される検査治具は、先端側支持体と、その先端側支持体と所定の隙間を介して配置される後端側支持体と、先端側支持体と後端側支持体を連結する連結体を備え、先端側支持体には検査対象と対向する対向面に直交する方向に先端側挿通孔が形成され、後端側支持体には先端側挿通孔の形成方向に対して傾斜する方向に後端側挿通孔が形成されている。また、後端側挿通孔は、この後端側挿通孔に挿通されたプローブの先端側が先端側挿通孔に向かうように先端側挿通孔に対して傾斜している。
　更に、プローブの後端が接触する電極が形成されている電極支持体が、プローブを保持する後端側支持体との間に所定の隙間を介して配置され、後端側支持体を付勢する付勢機構を備えている。この付勢機構は先端が円錐状に形成されており、後端側支持体の付勢機構が当接する部分に設けられた挿入孔に挿入することにより、電極支持体に支持されるプローブの後端と電極の位置決めも行っている。
　特許文献１に開示される検査治具では、プローブの先端が検査点の表面に接触した状態で擦りずれることにより検査点表面に発生する打痕を抑制するために、検査時にのみプローブの先端が突出するように付勢機構が設けられている。
　しかしながら、特許文献１に示される検査治具では、プローブの後端部分の長さが、後端側支持体の最も後側の小径孔の軸方向の長さより長く形成されている。このように形成されているため、プローブ後端は、プローブ後端の後端側支持体の後方表面と平行な面方向へぶれることになる。
　このため、被検査物の検査点にプローブの先端が当接する毎（検査が行われる毎）に、プローブの後端と電極が接触する状態が安定せず、検査が行われる毎にプローブと電極の接触抵抗が大きく変化する問題を有していた。このような問題を有しているため、検査毎に接触抵抗値が変化することになり、正確な検査を実施することができなかった。
　また更に、検査を繰り返すとプローブの後端が電極表面を擦ることになり、電極表面が摩耗して、正確な検査結果を得ることが困難になるという耐久性の問題を有していた。
　また、特許文献１の開示技術では、付勢機構に位置決めの役割を持たせているため、付勢機構の先端や挿入孔が当接することによって磨耗することになる。この場合、先端が初期の状態よりも深く挿入孔に入ってしまう場合が生じるため、先端や挿入孔が摩耗すると付勢力が変化することになる。付勢機構と挿入孔は複数設けられているため、摩耗の進み具合に応じてこれらの間で一定ではないため、場所によって後端側支持体が電極支持体を付勢する力に相違が生じることになる。このため、対向面が接触面に近づく際に、場所によって異なる付勢力に抗して、対向面と接触面が近づいてプローブの先端が検査点に接触することになる。
特開２００９－０４７５１２号公報
　本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、接触子の後端と電極との位置決めを容易にし、正確な検査の実施を可能にする検査治具を提供する。
　また、本発明は、接触子の交換等のメンテナンスが容易な検査治具を提供する。
　請求項１に記載の発明は、検査基板に設けられる配線の検査を行うため、該検査基板に設けられる検査点と該検査基板を検査する検査装置を電気的に接続するための検査治具であって、一端が前記検査点と導通接触するとともに、他端が前記検査装置と電気的に接続される電極部と導通接触する可撓性且つ導電性の接触子と、前記接触子の一端を前記検査点に案内する検査案内孔を有する検査側支持体と、前記接触子の他端を前記電極に案内する電極案内孔を有する電極側支持体と、前記検査側支持体と前記電極側支持体を、所定間隔を有して配置して保持する支柱と、前記電極が複数配置されるとともに、非検査時において、前記電極側支持体を所定距離離間させて保持する付勢手段を有する電極体とを有し、前記接触子は、前記検査点と接触する第一端部と前記電極部と接触する第二端部を有するとともに可撓性を有する棒状の導電性の導体部と、前記第一端部と第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被膜される絶縁部を有し、前記第二端部の長さは、前記電極体に当接する前記電極案内孔の深さよりも短く形成されていることを特徴とする検査治具を提供する。
　請求項２に記載の発明は、前記電極側支持体は、前記電極体へ向かって延出される軸部を有し、前記電極体は、前記軸部を摺動可能に挿入保持する軸受部を有することを特徴とする請求項１記載の検査治具を提供する。
　請求項３に記載の発明は、前記付勢手段は、前記電極側支持体の表面に当接する当接面を有する当接部材と、前記当接部材を前記電極側支持体に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の検査治具を提供する。
　請求項４に記載の発明は、前記検査治具に設けられる前記付勢手段の押圧力は、該検査治具に設けられる前記接触子の押圧力よりも大きいことを特徴とする請求項１記載の検査治具を提供する。
　請求項５に記載の発明は、さらに、前記電極側支持体と前記電極体との間に可動プレートを有し、前記付勢手段が、該可動プレートとともに前記電極側支持体を前記検査側支持体側に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項１に記載の検査治具を提供する。
　請求項６に記載の発明は、さらに、前記電極体の周囲に可動プレートを有し、前記付勢手段が、該可動プレートとともに前記電極側支持体を前記検査側支持体側に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項１に記載の検査治具を提供する。
　請求項１記載の発明は、接触子の第二端部の長さが、電極体に当接する電極案内孔の深さよりも短く形成されているので、接触子の他端が電極案内孔の内部に位置決めされることになり、接触子の後端を電極に安定して当接させることができ、接触子と電極を安定的に接触させることができる。
　請求項２記載の発明は、電極側支持体に軸部を設け、電極体に軸受部を設けることによって、電極側支持体と電極体を正確に接触させることができ、検査毎による位置ずれを起こすことがない。
　請求項３記載の発明は、付勢手段が、電極側支持体の表面に当接する当接面を有する当接部材と、当接部材を電極側支持体に付勢する付勢部を有して形成されることにより、付勢手段と電極側支持体が磨耗することなく、耐久性の高い検査治具を提供することができる。
　請求項４記載の発明は、検査治具に設けられる付勢手段の押圧力が、検査治具に設けられる接触子の押圧力よりも大きいため、接触子が検査点と電極の両方に確実に接触することができる。
　請求項５に記載の発明は、さらに、電極側支持体と電極体との間に可動プレートを有し、付勢手段が、可動プレートとともに電極側支持体を検査側支持体側に付勢する付勢部を有するため、電極側支持体側からの検査治具のメンテナンスを容易に行うことができる。
　請求項６に記載の発明は、さらに、電極体の周囲に可動プレートを有し、付勢手段が、可動プレートとともに電極側支持体を検査側支持体側に付勢する付勢部を有するため、電極側支持体側からの検査治具のメンテナンスを容易に行うことができるとともに、接触子の後端部と電極との接触を確実なものとすることができる。
本発明の実施の形態にかかる検査冶具１の概略側面図である。 図１に示す検査冶具１の平面図である。 図１に示す検査側支持体２の断面構造を示す概略部分断面図である。 図１に示す電極側支持体３の断面構造を示す概略部分断面図であり、（ａ）は非検査時の状態を示し、（ｂ）は検査時の状態を示している。 電極側支持体３の底面図である。 電極体６の平面図である。 図６に示す一実施形態に係る電極体を備える検査治具の非検査時の検査治具の状態を説明するための図６のＡ－Ａ線に沿って検査治具を見た、一部拡大断面図である。 図６に示す実施形態に係る電極体を備える検査治具の検査時の検査治具の状態を説明するための図６のＡ－Ａ線に沿って検査治具を見た、一部拡大断面図である。 図１に示す検査冶具を搭載した検査装置の概略構成図である。 他の実施形態に係る電極体の平面図である。 非検査時における図１０Ａに示す電極体の状態の概略を示す正面図である。 検査時における図１０Ａに示す電極体の状態の概略を示す正面図である。 図１０Ａに示す実施形態に係る電極体を備える検査治具の非検査時の状態を説明するための図１０ＡのＢ－Ｂ線に沿って検査治具を見た、一部拡大断面図である。 図１０Ａに示す実施形態に係る電極体を備える検査治具の検査時の状態を説明するための図１０ＡのＢ－Ｂ線に沿って検査治具を見た、一部拡大断面図である。
　本発明を実施するための最良の形態を説明する。
　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
　図１は、本発明の実施の形態にかかる検査冶具１の概略側面図である。ただし、本発明の構造理解のために一部を断面図にしている。図２は、図１に示す検査冶具１の平面図である。図３は、図１に示す検査側支持体２の断面構造を示す概略部分断面図である。図４は、図１に示す電極側支持体３の断面構造を示す概略部分断面図であり、（ａ）は非検査時の状態を示し、（ｂ）は検査時の状態を示している。図５は、電極側支持体３の底面図である。図６は、電極体６の平面図である。図７は、図６のＡ－Ａ線方向に見た、非検査時の検査治具１の状態を示しており、図１の一部を拡大した概略断面図を示す。図８は、図７に示す状態に対して、検査時の検査治具の状態を示しており、一部を拡大した概略断面図である。この図においても、断面は図６のＡ－Ａ線に沿って見た方向である。図９は、図１に示す検査冶具を搭載した検査装置の概略構成図である。なお、接触子の一端が図３で示されており、接触子の後端が図４で示されている。図７と図８は、非検査自と検査時を示しており、検査が行われる毎にこれらの状態が変移することになる。
　以下の説明では、図１、図３、図４、図７乃至図９において、図面の上及び下をそれぞれ「先、先方又は前方」及び「後又は後方」として説明する。
　［検査冶具の概要］
　本実施形態の検査冶具１は、プリント配線基板や半導体集積回路等の被検査物５０の電気的検査を行う検査装置３０に搭載されて使用される（図９参照）。
　この検査冶具１は、図１又は図２に示すように、治具本体部４０と、治具本体部４０が載置されるベース板４１と、治具本体部４０の先方への動きを規制する規制部材４２とを備えている。
　治具本体部４０は、図１に示すように、検査側支持体２と、検査側支持体２の後方に所定の間隔を介して配置される電極側支持体３とを備えている。
　検査側支持体２は、後述する接触子５の一端（先端５ｅ）を検査点に案内する検査案内孔１３を有している（図３参照）。電極側支持体３は、接触子５の他端（後端５ｆ）を電極７に案内する電極案内孔２０を有している（図４（ａ）、（ｂ）参照）。
　検査側支持体２及び電極側支持体３は、それぞれ扁平な直方体状（矩形の板状）に形成されている。また、検査側支持体２と電極側支持体３とは、それらの表面が相互に平行になるように配置されている。
　具体的には、検査側支持体２の４隅に配置される４本の支柱４によって、検査側支持体２と電極側支持体３とは連結固定されている（図１、図２参照）。本実施形態では、支柱４が、検査側支持体２と電極側支持体３とを連結している。
　また、検査側支持体２及び電極側支持体３には、被検査物５０の検査点に接触する接触子としての複数の接触子５が挿通されている。
　電極体６は、電極側支持体３の後方に取り付けられている（図１参照）。電極体６は、図１に示すように、接触子５（具体的には、接触子５の後端５ｆ）に導電接触する複数の電極７が固定されている。また、電極体６には、電極側支持体３を先方に向かって付勢する付勢手段１４と、被検査物５０の検査時に電極側支持体３の移動を規制するスライド機構８が取り付けられている。
　接触子５は、タングステン、ハイス鋼（ＳＫＨ）、ベリリウム銅（Ｂｅ－Ｃｕ）等の金属その他の導電体で形成されるとともに、屈曲可能な弾性（可撓性）を有する棒状に形成されている。
　本形態の接触子５は、図３及び図４に示すように、上記のような導電体で構成される導体部５ａと、この導体部５ａの外周面を覆う絶縁部５ｂとを備えている。絶縁部５ｂは、合成樹脂等の絶縁体で形成されている。絶縁部５ｂは、導体部５ａの表面に絶縁塗装を施すことによって形成される絶縁被膜を用いることができる。接触子５の両端には、絶縁部５ｂが形成されておらず、接触子５の一端（先端）には第一端部５ｃが形成され、接触子５の他端（後端）には第二反部５ｄが形成されている。なお、説明の都合上、第一端部５ｃの検査点に当接する部位を先端５ｆと、第二端部５ｄの電極に当接する部位を後端５ｆとする。
　第一端部５ｃの先端５ｆや第二端部５ｄの後端５ｆは、図示のように半球面状に形成することもできる。
　接触子５の第一端部５ｃは、検査時において、検査側支持体２の検査案内孔１３内を挿入支持される（図３参照）。第一端部５ｃの先端５ｅは、被検査物５０上に形成される検査点に導通接触することになる。
　この第一端部５ｃの長さは、この検査案内孔１３の長さよりも長く形成される。これは、検査時に検査点と電極とにより接触子５が挟持されて湾曲するためである。図３では、非検査時の検査治具が示されており、接触子５の第一端部５ｃは検査案内孔１３内に収容され、第一端部５ｃの先端５ｅも検査案内孔１３内に配置されることになる。
　接触子５の第二端部５ｄは、後述する電極側支持体３の電極案内孔２０により電極７（接触面７ａ）へ案内される（図４参照）。第二端部５ｄの後端５ｆは、電極７に導通接触することになる。
　第二端部５ｄの長さは、詳細は後述するが、この電極案内孔２０を構成する小径孔１７ｂの軸方向の長さより短く形成される。
　検査側支持体２は、被検査物５０が配置される側（先方）から順に複数（本形態では３枚）の支持板１０、１１、１２が積層されて構成されている。これらの支持板１０～１２はボルト等の固定手段によって互いに固定されている。
　また、図３に示すように、各支持板１０、１１、１２にはそれぞれ貫通孔１０ａ、１１ａ、１２ａが形成されている。これらの貫通孔１０ａ、１１ａ、１２ａが相互に連結されるように配置されることによって、接触子５の第一端部５ｃが挿通される１つの検査案内孔１３が構成されている。
　更に、支持板１０の先側の表面が、被検査物５０に対向する対向面２ａとなっている。
　検査案内孔１３は、被検査物５０への先方に向く接触子５の案内方向を有している。具体的には、検査案内孔１３は、対向面２ａに直交する接触子５の案内方向を有していることになる。そのため、被検査物５０の検査点に対してほぼ直角方向から接触子５の先端５ｅを接触させることができる。
　また、検査案内孔１３は、検査冶具１が有する接触子５の数だけ形成されている。
　３つの貫通孔１０ａ、１１ａ、１２ａは同心状に形成されている。図３では、貫通孔１０ａは、小径孔１０ｂと小径孔１０ｂより大径の大径孔１０ｃとから構成され、貫通孔１２ａは、小径孔１２ｂと小径孔１２ｂより大径の大径孔１２ｃとから構成されている。
　また、小径孔１０ｂと小径孔１２ｂとは、導体部５ａの外径よりも若干大きく、かつ、絶縁部５ｂの部分の接触子５の外径よりも若干小さな内径で形成されている。
　また、貫通孔１１ａの内径は、小径孔１０ｂの内径及び小径孔１２ｂの内径よりも大きくなっている。
　接触子５の第一端部５ｃに形成される導体部５ａと絶縁部５ｂの境界である先端縁５ｇは、図３で示す如く、検査案内孔１３の小径孔１２ｂよりも後方に配置されている。
　また、上述のように、小径孔１２ｂは、絶縁部５ｂの部分の接触子５の外径よりも若干小さな内径で形成されている。そのため、絶縁部５ｂの先端縁５ｇは、小径孔１２ｂの開ロ縁１２ｄに当接することになる。すなわち、先端縁５ｇと開ロ縁１２ｄとは、接触子５が検査対象側に抜け落ちることを防止するための抜け止め部となっている。
　電極側支持体３は、検査側支持体２の先方から順に複数（本形態では３枚）の支持板１５、１６、１７が積層されて構成されている。これらの支持板１５～１７はボルト等の固定手段によって互いに固定されている。
　図４（ａ）又は図４（ｂ）に示されるように、各支持板１５～１７にはそれぞれ貫通孔１５ａ、１６ａ、１７ａが形成されている。これらの貫通孔１５ａ～１７ａが相互に連結されるように配置されることによって、接触子５の第二端部５ｄが挿通される１つの電極案内孔２０が構成されている。この電極案内孔２０は、検査冶具１が有する接触子５の数だけ形成される。
　電極案内孔２０は、検査案内孔１３に形成される案内方向（すなわち、対向面２ａの直交方向）に対して傾斜する案内方向に形成されている。すなわち、３つの貫通孔１５ａ～１７ａは、それぞれの中心が少しずつずれた状態で形成されており、電極案内孔２０の全体が対向面２ａの直交方向に対して傾斜する方向に形成されている。
　たとえば、図４（ａ）に示すように、貫通孔１５ａ～１７ａの順でその中心が図示右方向に少しずつずれた状態で、３つの貫通孔１５ａ～１７ａが形成されている。すなわち、接触子５の後端側を案内する案内方向は、電極側支持体３の表面と直交する法線に対して傾斜する方向に案内することになる。
　貫通孔１５ａは、小径孔１５ｂと小径孔１５ｂより大径の大径孔１５ｃとから構成されている。同様に、貫通孔１６ａは、小径孔１６ｂと大径孔１６ｃとから構成され、貫通孔１７ａは、小径孔１７ｂと大径孔１７ｃとから構成されている。
　小径孔１５ｂ、１６ｂ、１７ｂは、絶縁部５ｂが形成された部分の接触子５の外径よりも若干大きな内径で形成されている。
　また、上述のように、小径孔１７ｂは、絶縁部５ｂの部分の接触子５の外径よりも若干大きな内径で形成されており、絶縁部５ｂの後端縁５ｈは、小径孔１７ｂの内部に挿入可能となっている。接触子５は電極側支持体３の表面と直交する法線に対して傾斜して配置される。このため、接触子５は図４（ｂ）に示すように、小径孔１７ｂに対しても傾斜して配置されることになる。なお、この小径孔１７ｂは軸方向が電極側支持体３の表面に対して直交するように形成されている。
　接触子５の第二端部５ｄに形成される導体部５ａと絶縁部５ｂの境界である後端縁５ｈは、図４（ｂ）の検査時の検査治具の状態に示されるように、電極案内孔２０の大径孔１７ｃよりも後方に配置されている。
　このとき、後端５ｆの電極側支持体３の後方表面に平行な方向へ移動可能な量は、接触子５が小径孔１７ｂの内部で移動する範囲に規制されることになる。このため、接触子５が傾斜して挿入される場合（非検査時から検査時へ移行する場合又は検査時から非検査時へ移行する場合）に、第二端部５ｄの後端５ｆの移動可能な量を極めて少なくすることができ、安定して電極と接触することになる。
　これにより、後述する電極７の接触面７ａと後端５ｆを接触させる場合に、接触面７ａと後端５ｆの精密な位置決めを行うことが可能となる。特に実際の検査においては、接触子５及び電極７は通常数千本設けられるため、接触面７ａと後端５ｆの位置決めが容易であることは、作業時間の短縮に大きく貢献することになる。
　電極側支持体３の底面（後方表面）には、図５に示すように、円形状の挿入孔３ａが形成されている。具体的には、支持板１７を貫通するように、かつ、支持板１７の四隅のそれぞれの近傍に挿入孔３ａが形成されている。なお、図７に示すように、挿入孔３ａには、スライド機構８を構成する後述の軸部８ａが挿入されて固定されている。
　各接触子５では、検査案内孔１３に挿通された第一端部５ｃが電極案内孔２０に挿通された第二端部５ｄよりも電極案内孔２０の案内方向の傾斜方向にずれた位置に配置されている。すなわち、接触子５の第一端部５ｃが挿通される検査案内孔１３の後端側の開口位置（すなわち、支持板１２の貫通孔１２ａの開口位置）は、図５に示すように、その接触子５の第二端部５ｄが挿通される電極案内孔２０から見て、電極案内孔２０の案内方向の傾斜側に配置されている。
　電極体６は、図１に示すように、複数の電極７が埋設された矩形の支持板２２、２３と、電極７に導電接続される配線２４を保持する略ブロック状の支持部材２５とが積層されて構成されている。本形態の電極体６は全体として略直方体状に形成されており、後端面が固定板４８を介してベース板４１の前方表面に固定されている。なお、配線２４は後述する検査装置３０の制御部３１に接続される。
　電極７の先方の表面は、図４に示すように、接触子５の後端５ｆが接触する接触面７ａとなっている。なお、接触子５の後端５ｆは、上述のように球面状に形成されている。そのため、傾斜する案内方向を有する電極案内孔２０に沿って接触子５の第二端部５ｄが傾斜しても、後端５ｆと接触面７ａは好適な導電接触状態になる。
　電極体６には、スライド機構８が取り付けられることに加え、付勢手段１４も取り付けられている。具体的には、図６に示すように、電極体６の四隅のそれぞれの近傍にスライド機構８及び付勢手段１４が取り付けられている。本形態では、付勢手段１４がスライド機構８よりも電極体６の四隅から遠い位置に取り付けられている。
　スライド機構８は、電極側支持体３の後方表面から突出する棒状の軸部８ａと、電極体６に固定され軸部８ａが挿入される円筒形状の軸受部８ｂを備えている（図１参照）。
　軸部８ａは一端が電極側支持体３の支持板１７に後ろ方向に固定され、他端は後述する軸受部８ｂに挿通される。このとき、軸部８ａは軸方向が支持板１７の後方表面に対して直角となるように固定される。
　軸受部８ｂは、電極体６に設けられた貫通孔（図示せず）に嵌めこまれて固定される。この軸受部８ｂは、例えば軸方向に並べた複数のボールベアリングを複数条内部に備えるリニアブッシュなどの直動軸受であり、軸受の内側の形状に応じて断面の形状や直径が好適に調整された軸部８ａが挿入されることになる。
　軸受部８ｂに軸部８ａが挿通されることにより、軸部８ａは精度良く（軸方向に直角な方向への移動量が少なく）軸方向に直線運動（摺動）することができることになる。
　スライド機構８は、電極側支持体３の電極体６に対する先後方向の移動を高精度に行うために設けられており、電極支持体３の後方表面と電極体６の前方表面が当接する際に、電極案内孔２０内に挿通された接触子５の後端５ｆと、電極体６に形成される電極７の接触面７ａを精度良く当接することを可能としている。
　このため、スライド機構８を取り付ける際には、後端５ｄと接触面７ａが好適に接触するようにスライド機構８を取り付けることになる。
　上述のように本形態では、スライド機構８が電極体６に取り付けられ、電極側支持体３と電極体６が前後方向に精度良く移動することを可能にしている。このため、電極側支持体３が外力によって前方に移動したとき、電極７の接触面７ａと電極側支持体３に挿通されている接触子５の後端５ｆを精度良く接触させることができる。
　付勢手段１４は、電極体６の前方表面から突出して電極側支持体３に当接する当接部材４３と、当接部材４３の後端側が収納される筒部材４４と、筒部材４４に対して当接部材４３を先へ付勢する付勢部（圧縮コイルバネ４５）と、筒部材４４に当接部材４３を取り付けるためのＥ型止め輪等の止め輪４６とを備えている（図１参照）。
　筒部材４４は、前端側が開口する有底の円筒状に形成されており、電極体６に固定されている。また、当接部材４３は、円筒形状を有しており、前側に配置される円筒部４３ａ、後側に配置され円筒部４３ａよりも径の小さな小径部４３ｂとから構成されている。
　円柱部４３ａは、長軸方向に直角な平面を端面に有する円柱状に形成されている。そのため、当接部材４３の先端側は支持板１７の後方表面に当接することになる。
　小径部４３ｂの外周側には、圧縮コイルバネ４５が挿通されている。具体的には、円筒部４３ａの後端面及び筒部材４４の底面に圧縮コイルバネ４５の端部のそれぞれが当接した状態で小径部４３ｂの外周側に圧縮コイルバネ４５が挿通されている。
　また、小径部４３ｂの後端側は、筒部材４４の底面に形成された貫通孔に挿通され、筒部材４４の底面よりも後側に突出している。小径部４３ｂの後端には、止め輪４６が固定されている。
　上述のように本形態では、付勢手段１４は、電極体６に取り付けられ、電極側支持体３を先方向に向かって付勢している。すなわち、付勢手段１４は、電極体６に固定された電極７の接触面７ａと、支柱４を介して電極側支持体３に固定された検査側支持体２の前方表面（すなわち、対向面２ａ）とが離れる方向に、検査側支持体２、電極側支持体３及び支柱４を付勢している。
　規制部材４２は、図１に示すように、電極側支持体３の前方表面に当接する規制板４７と、規制板４７が固定される固定板４８とを備えている。
　固定板４８は、治具本体部４０の後方に配置され、ベース板４１に固定されている。
　規制板４７は、固定板４８の前端に固定されている。
　本形態では、非検査時において、圧縮コイルバネ４５がわずかに撓んだ状態で、当接部材４３が電極側支持体３の後方表面（支持板１７の後方表面）に当接し、また、電極側支持体３の前方表面が規制板４７に当接している。すなわち、電極側支持体３は、付勢手段１４に付勢された状態で、規制板４７に当接している（図７参照）。
　また、この状態では、電極側支持体３と電極保持体６との間にはわずかな隙間が形成されている。
　なお、この状態では、検査側支持体２、電極側支持体３及び支柱４は前方に付勢されており、接触子５の先端５ｅは、対向面２ａから突出していない（図７参照）。すなわち、この状態では、接触子５の先端５ｅは検査案内孔１３の中に収納されていることになる。
　［検査装置の概要］
　図９は、図１に示す検査冶具１を搭載した検査装置３０の概略構成図である。
　本形態の検査冶具１は、図９に示すように、被検査物５０の電気的検査（具体的には、断線や短絡等の検査）を行う検査装置３０に搭載されて使用される。
　被検査物５０には、接触子５の先端５ｅが接触する検査点が形成されている。なお、被検査物５０には、たとえば、検査後にＩＣ等の電子部品が載置される。また、載置された電子部品は、たとえば、ワイヤボンディングによって検査で利用された検査点に接合される。
　検査装置３０は、被検査物５０の導通状態を判定する検査回路を含む電気的検査手段としての制御部３１と、制御部３１に接続される駆動部（図示省略）と、駆動部によって駆動される検査機構３３とを備えている。
　制御部３１には、検査冶具１の電極７が配線２４を介して導電接続されている。
　検査機構３３は、検査冶具１が固定される第１支持盤３４と、第１支持盤３４に対向配置され、被検査物５０が固定される第２支持盤３５と、第１支持盤３４を先後方向に移動させる移動機構３６とを備えている。
　移動機構３６は、たとえば、ボールネジ機構や油圧機構等によって構成され、駆動部によって駆動される。
　本形態では、第２支持盤３５は、被検査物５０を固定する固定手段であり、移動機構３６は、被検査物５０と検査冶具１の対向面２ａとが近づく方向に検査冶具１を移動させる移動手段となっている。
　なお、移動機構３６は、第２支持盤３５を先後方向に移動させても良い。
　また、第１支持盤３４は図示を省略する移動機構によって図９の紙面垂直方向に移動可能に構成され、第２支持盤３５は、図示を省略する移動機構によって図９の左右方向に移動可能に構成されても良い。
　［検査対象の検査手順及び検査時の検査冶具の動き］
　図７は非検査時の検査治具の状態を示す図であり、図８は検査時の検査治具の状態を示す図である。本形態の検査装置３０は、検査冶具１の対向面２ａと被検査物５０と当接させながら、被検査物５０の電気的検査を行う。具体的には、検査装置３０は、以下のように検査を行う。
　まず、第１支持盤３４に検査冶具１を固定し、第２支持盤３５に被検査物５０を固定する。この状態では、図７に示すように、圧縮コイルバネ４５がわずかに撓んだ状態で、当接部材４３が電極側支持体３の後方表面に当接するとともに、規制板４７に電極側支持体３の前方表面が当接している。
　また、電極側支持体３の後方表面と電極体６の前方表面との間にはわずかな隙間が形成されている。さらに、この状態では、接触子５の先端５ｅは、対向面２ａから突出しておらず、検査案内孔１３の中に収納されている。
　また、この状態では、接触子５の後端５ｆは、電極７の接触面７ａに接触している。なお、この状態で、接触子５の後端５ｆが接触面７ａから僅かに離れていても良い。
　その後、制御部３１の制御信号で駆動部が移動機構３６を駆動すると、第１支持盤３４が第２支持盤３５に向けて接近し、やがて、対向面２ａが被検査物５０に当接する。
　対向面２ａが被検査物５０に当接すると、図８に示すように、付勢手段１４の付勢力に抗して、検査側支持体２、電極側支持体３及び支柱４が電極体６に向かって相対移動する。すなわち、接触面７ａと対向面２ａとが近づく方向に、検査側支持体２、電極側支持体３及び支柱４が電極体６に対して相対移動する。なお、このときには、電極側支持体３の前方表面は規制板４７から離れた状態となる。
　すると、接触子５の後端５ｆは、電極７によって前方に向かって押される。このとき接触子５の先端５ｅは被検査物５０の検査点に当接しているので、検査側支持体２と電極側支持体３との間で傾斜姿勢にあった接触子５の中間部分は撓む（屈曲する）。
　電極側支持体３の後方表面が電極体６の前方表面に当接するまで、検査側支持体２等が電極体６に対して相対移動して、接触子５の中間部分の撓み量が所定量になると、検査案内孔１３の中に収納されていた接触子５の先端５ｅは検査点に対して所定の接触圧で接触することになる。
　このとき、対向面と検査点が形成される面が隙間なく当接する場合には、先端５ｅは対向面から突出しないが、わずかに隙間がある場合には、隙間の分だけ先端５ｅが対向面から突出することになる。
　なお、屈曲する接触子５の中間部分の撓み方向は、接触子５の傾斜方向に応じた方向となっている。
　なおこのとき、スライド機構８の軸部８ａは一端に取り付けられた電極側支持体３が後方に移動するので、軸受部３ｂから後方に突出する長さが、電極側支持体３の移動量だけ長くなることになる。
　すると、接触子５の先端５ｅが被検査物５０の検査点に所定の接触圧で接触したとき、接触子５は検査点に導通する。この状態で、制御部３１が検査冶具１に対して所定の信号を供給したり、検査冶具１で検出した電位等を受け取ったりすることで、被検査物５０の電気的試験を行う。
　なお、図８に示す状態から、第１支持盤３４が第２支持盤３５から離れる方向へ移動していくと（すなわち、被検査物５０から離れる方向へ対向面２ａが移動していくと）、接触子５の中間部分の撓みが次第に解消され、検査冶具１は、図７に示す状態に戻る。
　すなわち、圧縮コイルバネ４５がわずかに撓んだ状態で、規制板４７に電極側支持体３の前方表面が当接し、接触子５の先端５ｅは検査案内孔１３の中に収納される。また、このときには、接触子５の後端５ｆは、電極７の接触面７ａに接触している。
　［本形態の効果］
　以上説明したように、本形態では、接触子５の第二端部５ｄが電極側支持体３の最も後側の支持板１７に形成される小径孔１７ｂの軸方向長さよりも短く形成されている。
　このため、電極側支持体３で接触子５の後端側を安定して保持することができるので、検査治具を組み立てる際には、各部材（電極側支持体３、電極体６、スライド機構８等）の位置決めが容易になり、後端５ｆが精度良く電極７の接触面７ａに接触するようにすることができる。
　また、電極側支持体３の後方表面と電極体６の前方表面が近接している検査時には、接触子５の後端５ｄは電極７の接触面７ａに当接するとともに押圧されている。このとき、上述のように接触子５の後端側は電極側支持体３により安定して保持されているので、検査を行う度ごとに後端５ｄと接触面７ａの接触する位置が変化しないため、接触子５の接触抵抗値を一定に保つことができる。このため、正確な検査結果を得ることができる。
　また更に、検査治具１及び検査装置３０の検査時の動作は上述のとおりであるが、実際の使用時には、例えば、被検査物５０を自動的に供給・搬出する装置（ともに図示せず）を検査装置３０に備えることで、連続して被検査物の検査を行うことがある。この場合、検査治具１は連続して上記の検査時の動作を行うことになる。このとき、上述のように接触子５の後端側は電極側支持体３により安定して保持されているので、連続して検査が行われる場合であっても、後端５ｆと接触面７ａの位置が検査動作の度に相対的に変化しないため、後端５ｆが接触面７ａを擦ることによる接触面７ａの摩耗を防止することができる。
　また、付勢機構１４によって、電極７に形成される接触面７ａと検査側支持体２に形成される対向面２ａとが離れる方向に、検査側支持体２、電極側支持体３及び支柱４が付勢されている。
　そのため、被検査物５０と当接面２ａとが当接しておらず、検査冶具１に外力が働かないときには、付勢手段１４の付勢力で、検査側支持体２、電極側支持体３及び支柱４を付勢して、対向面２ａから接触子５の先端５ｅが突出しない状態（すなわち、接触子５の先端５ｅが検査案内孔１３内に配置される状態）にすることができる。
　一方、被検査物５０の検査時には、対向面２ａと被検査物５０とを当接させることで、付勢手段１４の付勢力に抗して接触面７ａと対向面２ａとを近づけることができる。
　そのため、検査時には、検査案内孔１３に挿通された接触子５の先端５ｅを対向面２ａからわずかに突出させて被検査物５０に所定の接触圧で接触させることができる。
　このように、本形態では、被検査物５０の検査時に、対向面２ａを被検査物５０に当接させた状態で、接触子５の先端５ｅを被検査物５０の検査点に所定の接触圧で接触させることができる。
　そのため、被検査物５０の検査点に先端５ｅが接触した状態における接触子５の先端５ｅのずれ量を接触子５の第一端部５ｃと検査案内孔１３との間の隙間程度に抑えることができる。すなわち、検査点に接触した状態での接触子５の先端５ｅのずれ量を微小にすることができ、その結果、被検査物５０の検査点の表面の傷の発生を抑制することができる。
　特に、本形態では、検査案内孔１３は被検査物５０に向く案内方向を有し、電極案内孔２０は先端側挿通孔２０のプローブ案内方向に対して傾斜する案内方向を有し、接触子５の第一端部５ｃは、接触子５の第二端部５ｄに対して電極案内孔２０の案内方向に傾斜する側にずれた位置に配置されている。
　したがって、被検査物５０の検査時に、検査側支持体２と電極側支持体３との隙間に配置される接触子５の中間部分が屈曲するため、被検査物５０の検査点に接触した状態で接触子５の先端５ｅがずれやすくなるが、本形態の構成を採用することで、検査点に接触した状態での接触子５の先端５ｅのずれ量を微小にすることができる。
　本形態では、付勢手段１４は、電極体６に取り付けられて電極側支持体３を付勢している。そのため、対向面２ａが被検査物５０に当接したとき（すなわち、検査時）には、互いに固定された検査側支持体２、電極側支持体３及び連結体４を一体で電極体６に対して相対移動させることができ、複数の接触子５の先端５ｅを確実に被検査物５０の検査点に接触させることが可能になる。
　すなわち、互いに固定された検査側支持体２、電極側支持体３及び連結体４は比較的剛性が高く、電極体６に対して相対移動しても変形しにくいため、対向面２ａからの複数の接触子５の先端５ｅの突出量をほぼ均等にすることが可能になり、複数の接触子５の先端５ｅを確実に被検査物５０の検査点に接触させることが可能になる。
　本形態では、付勢手段１４は、電極側支持体３の後方表面に先端が当接する当接部材４３を有し、当接部材４３の円柱部４３ａ先端は電極側支持体３の後方表面と平行な平面を有するように形成されている。そのため、当接部材４３が当接する電極側支持体３の後方表面の箇所は摩耗することがなく、付勢手段１４による付勢力の変化もないため、複数ある付勢手段１４は均一な付勢力を保ったまま、検査を実施することができる。
　本形態では、検査冶具１は、電極側支持体３の前方表面に当接して、前方へ向かう電極側支持体３の動きを規制する規制部材４２を備えている。
　そのため、前後方向において、検査冶具１に外力が働いていないときの検査側支持体２、電極側支持体３及び連結体４の位置決めを行うことができる。
　［他の実施の形態］
　上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々に変形可能である。
　上述した形態では、接触子５の後端５ｆが接触する電極７の接触面７ａは平面状に形成されているが、この形状に限られない。例えば接触面７ａを平面状に形成した後接触面７ａ上にめっきなどを施して盛り上げたような形状に形成しても良い。
　上述した形態では、接触子５は、図示のように球面状に形成されている先端５ｅや後端５ｆを有している。
　この他にもたとえば、先端５ｅや後端５ｆは先端に向かって斜面を有するように円錐状に形成されていても良く、接触子５の長軸方向に対して直角な平面状に形成されていても良い。
　上述した形態では、接触子５は、検査側支持体２と電極側支持体３との間の中間部分が傾斜するように、検査側支持体２及び電極側支持体３に挿通されているが、接触子５は、中間部分が傾斜しないように検査側支持体２及び電極側支持体３に挿通されても良い。
　上述した形態では、付勢手段１４は、当接部材４３ａの先端が、電極側支持体３後方表面と平行な平面を有するように形成されている。
　この他にもたとえば、当接部材４３ａの先端形状は、平面よりもやや丸みを帯びた形状に形成しても良い。
　上述した形態では、付勢手段１４は、付勢部材としての圧縮コイルバネ４５によって付勢力を発生させている。
　この他にもたとえば、付勢手段１４は、引張りコイルバネあるいは板バネ等の他のバネ部材や、ゴム等の弾性部材等を付勢部材として付勢力を発生させても良い。
　上述した形態では、検査治具１は、電極側支持体３の前方表面に当接して電極側支持体３等の先への動きを規制する規制部材４２を備えている。
　この他にもたとえば、検査治具１は、検査側支持体２の対向面２ａに当接して検査側支持体２の先への動きを規制する規制部材を備えていても良い。
　また、検査治具１は、電極側支持体３等の先への動きを規制する規制部材を備えていなくても良い。この場合には、電極側支持体３等の先への抜けを防止する抜け止め部材が設けられていることが好ましい。
　上述した形態では、３枚の支持板１０～１２によって検査側支持体２が構成されている。
　この他にもたとえば、２枚以下あるいは４枚以上の支持板で検査側支持体２が構成されても良い。
　同様に、上述した形態では、３枚の支持板１５～１７によって電極側支持体３が構成されているが、２枚以下あるいは４枚以上の支持板で電極側支持体３が構成されても良い。
　また、上述した形態では、電極側支持体３の支持板１７から後方に延出するガイド機構の軸部８ａが支持板１７に固定されているが、軸部８ａを支持板１７から取り外し自在であるように構成してもよい。
　次に、図１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１１及び１２に基づいて、他の実施形態に係る検査治具について説明する。
　図１から図９に示す実施形態では、スライド機構８の軸部８ａの先方の端部が、電極側支持体３の支持板１７に固定され、また、付勢手段１４の円筒部４３ａが電極体６の貫通孔を貫通して電極側支持体３の支持板１７の後方の面を検査側支持体２に向けて付勢していた。図１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１１及び１２に示す実施形態では、詳しくは後述する通り、スライド機構８の軸部８ａの先方の端部は、電極体６の支持板２２の一部の可動プレート２２ｂに固定され、付勢手段１４の円筒部４３ａは、電極体６の支持板２２の一部の可動プレート２２ｂの後方の面を検査側支持体２に向けて付勢する。
　図１０Ａは、第二実施形態に係る電極体６の平面図であり、図１０Ｂ及び図１０Ｃは、図１０Ａに示す電極体６の正面図である。第一実施形態と同様に、第二実施形態でも、電極体６は、支持板２２，２３と支持部材２５とからなる。ただし、第二実施形態では、支持板２２に相当するものを、電極７の接触面７ａが固定された中央の電極プレート２２ａとその周囲に配置された可動プレート２２ｂとから構成する。電極プレート２２ａは支持板２３に固定されているが、可動プレート２２ｂは、支持板２３から離れるように付勢される。つまり、図１０Ｂ及び図１０Ｃに示すように、可動プレート２２ｂは、検査治具の先後方向に移動することができる。
　また、図１０Ａに示すように、可動プレート２２ｂの先方の面上の四隅の近くには、小突起部５２ａが設けられており、また、図１０Ａに向かって右側縦方向の２つの小突起の間に大突起５２ｂが設けられている。これらの突起は可動プレート２２ｂが支持板１７に当接した状態で支持板１７に形成された凹部（図示せず）に入り込んでいて、可動プレート２２ｂと支持板１７の位置決めを行う。
　また、図１０Ａに示すように、電極プレート２２ａ上の四隅の近くには、４つの付勢手段２６が設けられている。これらの付勢手段は、図示していないが、付勢手段１４と同様に、円筒部と円柱部とを備えており、円筒部が支持部材２５内に固定されていて円柱部が支持板１７の後方の面に当接する。付勢手段４３ａは可動プレート２２ｂとともに支持板１７に付勢力を与えるため、それによる付勢力は電極プレート２２ａの領域に面する支持板１７には作用しない。この結果、付勢手段４３ａの付勢力だけでは支持板が反り返る可能性がある。このため、付勢手段２６によって、電極の設けられている電極プレート２２ａの領域に面する支持板１７に付勢力を与えるようにし、これにより、支持板に比較的分散して均一な付勢力を加えることができるようにした。
　図１１は、第二実施形態に係る電極体を備える検査治具の一部拡大断面図で、非検査時の検査治具の状態を示す。この図に示すように、可動プレート２２ｂは支持板２３から離れた位置に保持されている。
　図１１に示すように、スライド機構８の軸受部８ｂが、電極体６の支持板２３及び支持部材２５に設けた貫通孔に嵌め込まれて固定され、スライド機構８の軸部８ａの先端部が、可動プレート２２ｂに形成された貫通孔２２ｂｈに嵌め込まれて固定されている。これにより、可動プレート２２ｂが、軸部８ａの軸線方向に沿って平行移動をすることができる。
　また、付勢手段１４の筒部材４４が、支持部材２５に設けた貫通孔に嵌め込まれて固定されており、また、付勢手段１４の円筒部４３ａの先方の端部が、支持板２３の貫通孔を貫通し、その先端面が可動プレート２２ｂの後方面に当接して可動プレート２２ｂを先方に付勢している。
　図１０Ａに示すように、可動プレート２２ｂの貫通孔２２ｂｈにスライド機構８の軸部８ａが固定され、また、可動プレート２２ｂの後方面の符号４３ａで示す位置に付勢手段１４の円柱部４３ａの先端部が当接する。すなわち、スライド機構８及び付勢手段１４が可動プレート２２ｂに作用するように配置されている。これらの位置は、第一実施例において電極体６の支持板２２を貫通しているスライド機構８の軸部８ａ及び付勢手段１４の円柱部４３ａの位置と同じである。
　再度図１１を参照すると、この図に示す状態では、電極体６の支持板２２ｂの後方面に付勢手段１４の円柱部４３ａの先端面が当接して、可動プレート２２ｂ及び電極側支持体３が規制板４７に向けて付勢されている。可動プレート２２ｂと支持板２３との間にはわずかな隙間が形成されている。
　次に、検査時に、検査治具１（図１）が被検査物５０に向けて動かされて、検査側支持体２の対向面２ａが被検査物５０に当接すると、電極側支持体３が後方に押し戻されて規制板４７から離れる。それに伴い、可動プレート２２ｂが、付勢手段１４の圧縮コイルばね４５の付勢力に抗して円柱部４３ａを支持部材２５の円筒部４４内に押し下げ、それとともに、スライド機構８の軸部８ａの軸線方向に沿って可動プレート２２ｂが下降する。図１２に示すように、可動プレート２２ｂが停止した際には、可動プレート２２ｂと支持板２３との間には隙間がある。これにより、接触子の後端部と電極との接触が確実になる前に可動プレート２２ｂが支持板２３に当接して下降が停止することを防止することができる。また、図１に示すように、電極側支持体３の支持板１７の表面は、可動プレート２２ｂ及び電極プレート２２ａを合わせた面と同一の形状となるので、支持板１７によって可動プレート２２ｂ及び電極プレート２２ａの全面を押すことになる。つまり、可動プレート２２ｂが停止した際には、可動プレート２２ｂの先方の面と電極プレート２２ａの先方の面とは、同一平面に配置されていることになる。これによっても、接触子の後端部と電極との接触が確実になることを保証することができる。なお、この場合には、規制板４７の後方面と電極側支持体３の支持板１５の先方面との間に隙間が形成されている。
　検査の際のプローブの作用は第一実施形態と同じである。
　接触子を交換する際には、検査治具１から治具本体部４０を取り外し、電極側支持体３の支持板１７の後方面から接触子の抜き取り及び取り付けを行う。その際、第一実施形態では、４本のスライド機構８の軸部８ａが電極側支持体３の支持板１７の後方面に固定されており、また、それらの４本の軸部８ａが、接触子の第二端部５ｄが取り付けられた電極案内孔２０の形成されている部分の四隅を囲んでいる。特に、近年の検査対象の微細化に伴い検査治具の治具本体部４０が小型化し、その結果、支持板１７上に固定された４本の軸部８ａの間隔が狭小化しているような場合には、接触子にアクセスするのが困難になる。また、微細化が進むことにより、治具本体部４０に用いられる支持板も薄いものが用いられることになる。このため、このような薄い支持板であれば、加工が難しくなったり、複数の孔を設けることにより、支持板自体の強度が低下したりする問題を有している。
　しかしながら、第二実施形態では、スライド機構８の軸部８ａは、可動プレート２２ｂに固定されていて電極側支持体３の支持板１７に固定されていないため、軸部８ａが作業を阻害することがなく、また、支持体１７自体の強度が低下して湾曲したりすることがないため、小型化された治具本体部４０であっても、接触子の交換等のメンテナンスを容易に行うことができる。
　上記の第二実施形態では、電極体６を電極プレート２２ａ及び可動プレート２２ｂで構成した。それに代えて、電極体６は、第一実施形態の場合と同様に一体のものを使用し、電極側支持体３の支持板１７と電極体６の支持板２２との間に、別途、移動自在な矩形のプレートを介装し、そのプレートにスライド機構８の軸部８ａの先端を固定するとともに、付勢手段１４の円柱部４３ａの先端面をそのプレートの後方面に当接してプレートを電極側支持体３の支持板１７に付勢するように構成してもよい。ただし、プレートには、電極側支持体３から突出する接触子の端部が電極体６の電極と接触できるような構成が形成されている必要がある。例えば、そのような接触位置に対応するプレートの部分に切欠きを形成したり、その部分に導電可能な構成を設けたりすることがある。この実施形態の場合も、第二実施形態と同様に、スライド機構８の軸部８ａは、可動プレート２２ｂに固定されていて電極側支持体３の支持板１７に固定されていないため、電極側支持体３の接触子の設けられている領域における接触子の交換等のメンテナンスが容易に行える。
　可動プレートは、非検査時に電極側支持体３を検査側支持体２側に向けて付勢でき、検査時に電極側支持体３及び検査側支持体２を平行に保持した状態で後退できるものであればどのようなものでもよいが、電極側支持体３の接触子の後端部が配置されている領域の辺りには、電極側支持体３を移動させるための部材は固定させない。
　以上、本発明に係るいくつかの実施形態に係る検査治具について説明したが、本発明はそれらの実施形態に拘束されるものではなく、当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれるものであり、また、本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められることを承知されたい。
　１ 検査冶具
　２ 検査側支持体
　２ａ 対向面
　３ 電極側支持体
　３ａ 挿入孔
　４ 支柱
　５ 接触子
　５ａ 導体部
　５ｂ 絶縁部
　５ｃ 第一端部
　５ｄ 第二端部
　５ｅ 先端
　５ｆ 後端
　５ｇ 先端縁
　５ｈ 後端縁
　７ 電極
　７ａ 接触面
　８ スライド機構
　８ａ 軸部
　１３ 検査案内孔
　１４ 付勢手段
　２０ 電極案内孔
　２２ａ 電極プレート
　２２ｂ 可動プレート
　３０ 検査装置
　３１ 制御部（電気的検査手段）
　３５ 第２支持盤（固定手段）
　３６ 移動機構（移動手段）
　４２ 規制部材
　４３ 当接部材
　４３ａ 円柱部
　４５ 圧縮コイルバネ（付勢部材）
　５０ 検査対象

Claims (6)

  1. 　検査基板に設けられる配線の検査を行うため、該検査基板に設けられる検査点と該検査基板を検査する検査装置を電気的に接続するための検査治具であって、
    　一端が前記検査点と導通接触するとともに、他端が前記検査装置と電気的に接続される電極部と導通接触する可撓性且つ導電性の接触子と、
    　前記接触子の一端を前記検査点に案内する検査案内孔を有する検査側支持体と、
    　前記接触子の他端を前記電極に案内する電極案内孔を有する電極側支持体と、
    　前記検査側支持体と前記電極側支持体を、所定間隔を有して配置して保持する支柱と、
    　前記電極が複数配置されるとともに、非検査時において、前記電極側支持体を所定距離離間させて保持する付勢手段を有する電極体とを有し、
    　前記接触子は、
    　　前記検査点と接触する第一端部と前記電極部と接触する第二端部を有するとともに可撓性を有する棒状の導電性の導体部と、
    　　前記第一端部と第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被膜される絶縁部を有し、
    　前記第二端部の長さは、前記電極体に当接する前記電極案内孔の深さよりも短く形成されていることを特徴とする検査治具。
  2. 　前記電極側支持体は、前記電極体へ向かって延出される軸部を有し、
    　前記電極体は、前記軸部を摺動可能に挿入保持する軸受部を有することを特徴とする請求項１記載の検査治具。
  3. 　前記付勢手段は、
    　　前記電極側支持体の表面に当接する当接面を有する当接部材と、
    　　前記当接部材を前記電極側支持体に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の検査治具。
  4. 　前記検査治具に設けられる前記付勢手段の押圧力は、該検査治具に設けられる前記接触子の押圧力よりも大きいことを特徴とする請求項１記載の検査治具。
  5. 　さらに、前記電極側支持体と前記電極体との間に可動プレートを有し、前記付勢手段が、該可動プレートとともに前記電極側支持体を前記検査側支持体側に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項１に記載の検査治具。
  6. 　さらに、前記電極体の周囲に可動プレートを有し、前記付勢手段が、該可動プレートとともに前記電極側支持体を前記検査側支持体側に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項１に記載の検査治具。
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