JP5821642B2 - 検査治具 - Google Patents
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Description
本実施形態の検査治具1は、プリント配線基板や半導体集積回路等の被検査物50の電気的検査を行う検査装置30に搭載されて使用される(図9参照)。
図9は、図1に示す検査治具1を搭載した検査装置30の概略構成図である。
図7は非検査時の検査治具の状態を示す図であり、図8は検査時の検査治具の状態を示す図である。本形態の検査装置30は、検査治具1の対向面2aと被検査物50と当接させながら、被検査物50の電気的検査を行う。具体的には、検査装置30は、以下のように検査を行う。
以上説明したように、本形態では、接触子5の第二端部5dが電極側支持体3の最も後側の支持板17に形成される小径孔17bの軸方向長さよりも短く形成されている。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々に変形可能である。
2 検査側支持体
2a 対向面
3 電極側支持体
3a 挿入孔
4 支柱
5 接触子
5a 導体部
5b 絶縁部
5c 第一端部
5d 第二端部
5e 先端
5f 後端
5g 先端縁
5h 後端縁
7 電極
7a 接触面
8 スライド機構
8a 軸部
13 検査案内孔
14 付勢手段
20 電極案内孔
22a 電極プレート
22b 可動プレート
30 検査装置
31 制御部(電気的検査手段)
35 第2支持盤(固定手段)
36 移動機構(移動手段)
42 規制部材
43 当接部材
43a 円柱部
45 圧縮コイルバネ(付勢部材)
50 検査対象
Claims (5)
- 検査基板に設けられる配線の検査を行うため、該検査基板に設けられる検査点と該検査基板を検査する検査装置を電気的に接続するための検査治具であって、
前記検査装置と電気的に接続される複数の電極を備える電極体であって、前記電極が設けられた支持板と該電極に接続される配線を保持する支持部材とを備える電極体と、
一端が前記検査点と導通接触するとともに、他端が前記電極と導通接触する可撓性且つ導電性の接触子と、
前記接触子の一端を前記検査点に案内する検査案内孔を有する検査側支持体と、
前記接触子の他端を前記電極に案内する電極案内孔を有する電極側支持体と、
前記検査側支持体と前記電極側支持体を、所定間隔を有して配置して保持する支柱とを有し、
前記電極体の前記支持部材は、非検査時において、前記電極側支持体を前記電極体の前記支持部材から所定距離離間させて保持する付勢手段を有し、
前記接触子は、
前記検査点と接触する第一端部と前記電極と接触する第二端部を有するとともに可撓性を有する棒状の導電性の導体部と、
前記第一端部と第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被膜される絶縁部を有しており、
さらに、前記電極体の前記支持板が、前記電極が固定された電極プレートと可動プレートとからなり、前記付勢手段が、該可動プレートとともに前記電極側支持体を前記検査側支持体側に付勢する付勢部を有することを特徴とする検査治具。 - 前記電極側支持体は、前記電極体へ向かって延出される軸部が固定され、
前記電極体の前記支持部材は、前記軸部を摺動可能に挿入保持する軸受部を有することを特徴とする請求項1記載の検査治具。 - 前記付勢手段は、
前記可動プレートの表面に当接する当接面を有する当接部材と、
前記当接部材を前記電極側支持体に付勢する付勢部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の検査治具。 - 前記検査治具に設けられる前記付勢手段の押圧力は、該検査治具に設けられる前記接触子の押圧力よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の検査治具。
- さらに、前記可動プレートが前記電極プレートの周囲に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の検査治具。
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