TWI521211B

TWI521211B - Substrate inspection fixture

Info

Publication number: TWI521211B
Application number: TW103119874A
Authority: TW
Inventors: Tadakazu Miyatake; Makoto Fujino; Yoshihiro Okamoto; Taekn PARK
Original assignee: Nidec Read Corp
Priority date: 2011-02-10
Filing date: 2011-12-20
Publication date: 2016-02-11
Also published as: KR101795836B1; JP5821642B2; WO2012108066A1; CN103348255B; TW201506407A; JP4974311B1; JP2012181186A; KR20140043057A; TW201245726A; CN103348255A; TWI449916B; JPWO2012108066A1

Description

基板檢查治具

本發明是關於一種檢查治具，可使電連接事先被設定於複數配線所形成的基板等之被檢查物的檢查對象部上的檢查點與檢查裝置。

檢查治具，是經由接點，於具有被檢查物的檢查對象部，將電力(電信號等)從檢查裝置供應於預定檢查位置，而且藉由從檢查對象部檢測出電信號，被使用於為了實施檢查對象部的電特性之檢測，動作試驗等。

做為被檢查物，例如，相當於印刷配線基板、可撓性基板、陶瓷多層配線基板、液晶顯示器或電漿顯示器用的電極板、及半導體封裝用的封裝基板或是薄膜托架等各種的基板、或半導體晶圓或半導體晶片或CSP(Chip size package)等的半導體裝置。

在本發明專利說明書中，總稱此些上述的被檢查物為「被檢查物」，而被設定於被檢查物的檢查對象部稱為「檢查點」。

例如，被檢查物為基板，在被裝載於基板的IC等的半導體電路或是電阻器等之電氣、電子零件時，被形成於基板的對象部，成為配線或電極。在這時候，對象部之配線，是為了保證可將電信號正確地傳輸至此些，測定被形成於安裝電氣、電子零件之前的印刷配線基板、液晶面板或電漿顯示器面板的配線上之預定檢查點間的電阻值等的電性特性，來判斷其配線的良否。

具體而言，判斷其配線的良否，是於各檢查點，抵接電流供應用端子及/或電壓測定用的接點前端，並將測定用電流由其接點之電流供應用端子供應至檢查點，而且測定抵接於檢查點之接點的前端間之配線的電壓，且進行藉由由此些之供應電流與所測定的電壓來算出預定之檢查點間的配線之電阻值。

還有，在使用基板檢查裝置進行檢查用基板的檢查之際，來移動治具移動手段而使得基板檢查治具的檢查用接點(接觸銷)抵接於檢查用基板的接觸部分，藉此進行預定之檢查，當檢查終了時，則進行著利用治具移動手段來移動檢查治具而由檢查用基板遠離的控制。

在此，例如揭示於專利文獻1的檢查治具，是具備：前端側支承體，及與其前端側支承體經由預定間隔所配置的後端側支承體，及連結前端支承體與後段側支承體的連結體，在前端支承體有前端側插通孔形成於正交於與檢查對象對向的對向面之方向，在後端支承體有後端側插通孔形成於對於前端側插通孔的形成方向呈傾斜的方向。還有，後端側插通孔，是被插通於該後端側插通孔的探針之前端側朝向前端側插通孔的方式對於前端側插通孔形成傾斜。

更且，形成有探針之後端所接觸之電極的電極側支承體，具備經由預定間隙配置於與保持探針的後端側支承體之間，且彈推後端側支承體的彈推機構。該彈推機構，是前端被形成圓錐狀，且藉由插入於設在後端側支承體的彈推機構所抵接之部分的插入孔，也進行被支承於電極側支承體的探針之後端與電極的定位。

在被揭示於專利文獻1的檢查治具中，為了抑制探針之前端以接觸於檢查點之表面的狀態下藉由進行摩擦移動發生於檢查點表面的打痕，設有僅在檢查時能突出探針之前端的彈推機構。

然而，在表示於專利文獻1的檢查治具中，探針之後端部分的長度，是形成比後端側支承體的最後側之小徑孔的軸方向的長度還要長。因如此地所形成，因此，探針之後端，是朝向與探針之後端的後端側支承體之後方表面平行之面方向偏離。

所以，每當探針之前端抵接於被檢查物的檢查點(每當進行檢查)時，則探針之後端與電極所接觸之狀態不穩定，而在每當進行檢查時，有探針與電極之接觸電阻產生大變化的問題。因具此種問題，因此，每當檢查時，則成為接觸電阻值會變化，而無法實施正確的檢查。

更且，若重複檢查時，則探針之後端成為摩擦電極表面，使得電極表面會摩耗，而有無法得到正確之檢查結果的耐久性的問題。

又，在專利文獻1之揭示技術中，在彈推機構具有定位之作用之故，因而藉由使彈推機構之前端或插入孔抵接而成為摩擦。這時候，會產生前端比初期狀態還要深地進入插入孔之情形之故，因而若前端或插入孔有摩耗，則成為彈推力有變化。因彈推機構與插入孔是設置複數，且因應於摩耗之進行程度而在此些之間並不一定之故，因而視部位使得後端側支承體彈推電極支承體的力量上會產生不相同。所以，當對向面接近於接觸面之際，抗拒藉由部位有不相同的彈推力，成為對向面與接觸面相接近而把探針之前端接觸於檢查點之情形。

專利文獻1：日本特開2009-047512號公報

本發明，是鑑於此些事項而創作者，提供一種檢查治具，可使接點之後端與電極之定位成為容易地進行，並可進行正確的檢查。

又，本發明是提供一種檢查治具，可使更換接點等之維修成為容易。

如申請專利範圍第1項所述的發明，提供一種檢查治具，是為了進行設於檢查基板的配線之檢查，用來電連接設於該檢查基板的檢查點與檢查該檢查基板的檢查裝置的檢查治具，其特徵為：具有：接點、及檢查側支承體、及電極側支承體、及支柱、以及電極體；該接點，是一端與上述檢查點導通接觸，而且另一端與上述檢查裝置電連接的電極部導通接觸之具可撓性且導電性者；該檢查側支承體，是具有將上述接點之一端引導至上述檢查點的檢查引導孔；該電極側支承體，是具有將上述接點之另一端引導至上述電極的電極引導孔；該支柱，是隔著預定間隔來配置上述檢查側支承體與上述電極側支承體並予以保持；該電極體，是具有：配置複數上述電極，而且在非檢查時，使上述電極側支承體隔開預定距離並予以保持的彈推手段，上述接點是具有：具備與上述檢查點接觸的第一端部，及與上述電極部接觸的第二端部，而且具有可撓性之棒狀的導電性的導體部，及絕緣被膜於除了上述第一端部與第二端部的上述導體部之外周的絕緣部，又，上述第二端部之長度，是形成比抵接於上述電極體的上述電極引導孔之深度還要短。

如申請專利範圍第2項所述的發明，是提供如申請專利範圍第1項所述的檢查治具，其中，上述電極側支承體，是具有朝向上述電極體延伸的軸部，上述電極體，是具有可滑動地插入保持上述軸部的軸承部。

如申請專利範圍第3項所述的發明，是提供如申請專利範圍第1項或第2項所述的檢查治具，其中，上述彈推手段是具有：具備抵接於上述電極側支承體之表面的抵接面的抵接構件，及將上述抵接構件彈推於上述電極側支承體的彈推部。

如申請專利範圍第4項所述的發明，是提供如申請專利範圍第1項所述的檢查治具，其中，設於上述檢查治具的上述彈推手段之推壓力，是比設於該檢查治具的上述接點之推壓力還要大。

如申請專利範圍第5項所述的發明，是提供如申請專利範圍第1項所述的檢查治具，其中，更且，上述可動板配置於上述電極板之周圍。

如申請專利範圍第1項所述的發明，是接點之第二端部之長度，為形成比抵接於電極體的電極引導孔之深度還要短之故，因而使得接點之另一端成為定位於電極引導孔之內部，可將接點之後端穩定地抵接於電極，並可穩定地接觸接點與電極。

如申請專利範圍第2項所述的發明，是藉由於電極側支承體設置軸部，並於電極體設置軸承部，可正確地接觸電極側支承體與電極體，而不會發生每當檢查所導致的偏位。

如申請專利範圍第3項所述的發明，是彈推手段是具有：具備抵接於電極側支承體之表面的抵接面的抵接構件，及將抵接構件彈推於電極側支承體的彈推部所形成，藉此，可提供一種不會使得彈推手段與電極側支承體摩耗，且高耐久性的檢查治具。

如申請專利範圍第4項所述的發明，是設於檢查治具的彈推手段之推壓力，比設於該檢查治具的接點之推壓力還要大之故，因而可使接點確實地接觸於檢查點與電極之雙方。

如申請專利範圍第5項所述的發明，更且，於電極側支承體與電極體之間具有可動板，而彈推手段具有：將電極側支承體與可動板一起朝向檢查側支承體側彈推的彈推部之故，因而可容易地進行維修來自電極側支承體的檢查治具。

如申請專利範圍第6項所述的發明，更且，於電極體之周圍具有可動板，彈推手段具有：將電極側支承體與可動板一起朝向檢查側支承體側彈推的彈推部之故，因而可容易地進行維修來自電極側支承體的檢查治具，而且成為可將接點之後端部與電極之接觸做成確實者。

1‧‧‧檢查治具

2‧‧‧檢查側支承體

2a‧‧‧對向面

3‧‧‧電極側支承體

3a‧‧‧插入孔

3b‧‧‧軸承部

4‧‧‧支柱

5‧‧‧接點

5a‧‧‧導體部

5b‧‧‧絕緣部

5c‧‧‧第一端部

5d‧‧‧第二端部

5e‧‧‧前端

5f‧‧‧後端

5g‧‧‧前端緣

5h‧‧‧後端緣

6‧‧‧電極體

7‧‧‧電極

7a‧‧‧接觸面

8‧‧‧滑動機構

8a‧‧‧軸部

8b‧‧‧軸承部

10‧‧‧支承板

11‧‧‧支承板

12‧‧‧支承板

13‧‧‧檢查引導孔

14‧‧‧彈推手段

15‧‧‧支承板

16‧‧‧支承板

17‧‧‧支承板

20‧‧‧電極引導孔

22‧‧‧支承板

22a‧‧‧電極板

22b‧‧‧可動板

22bh‧‧‧貫通孔

23‧‧‧支承板

24‧‧‧配線

25‧‧‧支承構件

26‧‧‧彈推手段

30‧‧‧檢查裝置

31‧‧‧控制部(電性檢查手段)

33‧‧‧檢查機構

34‧‧‧第1支承盤(固定手段)

35‧‧‧第2支承盤(固定手段)

36‧‧‧移動機構(移動手段)

40‧‧‧治具本體部

41‧‧‧底板

42‧‧‧限制構件

43‧‧‧抵接構件

43a‧‧‧圓柱部

43b‧‧‧小徑部

44‧‧‧筒構件

45‧‧‧壓縮螺旋彈簧(彈推構件)

46‧‧‧止動輪

48‧‧‧固定板

50‧‧‧被檢查物

第1圖是本發明的實施形態的檢查治具1的概略側面圖。

第2圖是表示於第1圖的檢查治具1的俯視圖。

第3圖是表示於第1圖的檢查側支承體2的斷面構造的概略部分斷面圖。

第4圖是表示於第1圖的電極側支承體3的斷面構造的概略部分斷面圖，第4(a)圖是表示非檢查時之狀態，第4(b)圖是表示檢查時之狀態。

第5圖是電極側支承體3的仰視圖。

第6圖是電極體6的俯視圖。

第7圖是說明具備表示於第6圖的一實施形態的電極體的檢查治具之非檢查時的檢查治具之狀態所用的沿著第 6圖之A-A線來觀看檢查治具的局部擴大斷面圖。

第8圖是說明具備表示於第6圖的實施形態的電極體的檢查治具之檢查時的檢查治具之狀態所用的沿著第6圖之A-A線來觀看檢查治具的局部擴大斷面圖。

第9圖是裝載著表示於第1圖之檢查治具的檢查裝置的概略側面圖。

第10A圖是其他之實施形態的電極體的俯視圖。

第10B圖是表示圖示於非檢查時的第10A圖的電極體之狀態的概略的前視圖。

第10C圖是表示圖示於檢查時的第10A圖的電極體之狀態的概略的前視圖。

第11圖是說明具備表示於第10A圖的實施形態的電極體的檢查治具之非檢查時的狀態所用的沿著第10A圖之B-B線來觀看檢查治具的局部擴大斷面圖。

第12圖是說明具備表示於第10A圖的實施形態的電極體的檢查治具之檢查時的狀態所用的沿著第10A圖之B-B線來觀看檢查治具的局部擴大斷面圖。

說明實施本發明所用的最好形態。

以下，依據圖式來說明本發明的實施形態。

第1圖是本發明的實施形態的檢查治具1的概略側面圖。但是，為了瞭解本發明的構造，將局部做成斷面圖。第2圖是表示於第1圖的檢查治具1的俯視圖。第3圖是表示於第1圖的檢查側支承體2的斷面構造的概略部分斷面圖。第4圖是表示於第1圖的電極側支承體3的斷面構造的概略部分斷面俯視圖，第4(a)圖是表示非檢查時之狀態，第4(b)圖是表示檢查時之狀態。第5圖是電極側支承體3的仰視圖。第6圖是電極體6的俯視圖。第7圖是表示朝著第6圖之A-A線方向所觀看的表示非檢查時的檢查治具1之狀態，表示擴大第1圖的一部分的概略斷面圖。第8圖是對於表示於第7圖之狀態，表示檢查時的檢查治具之狀態，並擴大局部的概略斷面圖。在該圖中，斷面是也沿著第6圖之A-A線所觀看的方向。第9圖是裝載表示於第1圖之檢查治具的檢查裝置的概略構造圖。還有，接點之一端在第3圖被表示，而接點之後端在第4圖被表示。第7圖與第8圖，是表示非檢查時與檢查時，每當進行檢查時，使得此些狀態有所變移。

在以下的說明中，在第1圖、第3圖、第4圖、第7圖至第9圖中，將圖式之上及下分別說明做為「前面、先方或前方」及「後面或後方」。

[檢查治具之概要]

本實施形態的檢查治具1，是被裝載於進行印刷配線基板或半導體積體電路等的被檢查物50之電檢查的檢查裝置30所使用(參照第9圖)。

如第1圖或是第2圖所示地，該檢查治具1，是具備：治具本體部40、及底板41、以及限制構件42；該底板41，是載置有治具本體部40，該限制構件42，是限制治具本體部40對前方之動作。

如第1圖所示地，該治具本體部40，是具備：檢查側支承體2，及電極側支承體3；該電極側支承體3，是經由預定間隔來配置於檢查側支承體2之後方。

檢查側支承體2，是具有將下述的接點5之一端(前端5e)引導至檢查點的檢查引導孔13(參照第3圖)。電極側支承體3，是具有將接點5之另一端(後端5f)引導至電極7的電極引導孔20[參照第4(a)圖、第4(b)圖]。

檢查側支承體2及電極側支承體3，是分別形成扁平之長方體狀(矩形之板狀)。檢查側支承體2及電極側支承體3，是配置成此些之表面互相地平行。

具體而言，被配置於檢查側支承體2之四角落的4支支柱4，檢查側支承體2及電極側支承體3，是被連結固定(參照第1圖、第2圖)。在本實施形態中，支柱4為連結檢查側支承體2及電極側支承體3。

還有，在檢查側支承體2及電極側支承體3，插通有做為接觸於被檢查物50的檢查點之接點的複數接點5。

電極體6，是被安裝於電極側支承體3之後方(參照第1圖)。如第1圖所示地，電極體6，是固定有導電接觸於接點5(具體而言，接點5之後端5f)的複數電極7。還有，在電極體6是安裝有：將電極側支承體3朝向前方彈推的彈推手段14，及在檢查被檢查物50時限制電極側支承體3之移動的滑動機構8。

接點5是以鎢、高速鋼(SKH)、鈹鋼(Be-Cu)等之金屬的其他導電體所形成，而且形成具有可屈曲的彈性(可撓性)的棒狀。

如第3圖及第4圖所示地，本形態的接點5，是具備：以如上所述的導電體所構成的導體部5a，及覆蓋該導體部5a之外周面的絕緣部5b。絕緣部5b，是由合成樹脂等的絕緣體所形成。絕緣部5b，是可使用於導體部5a之表面藉由施以絕緣塗裝所形成的絕緣保護膜。在接點5之兩端，未形成有絕緣部5b，而在接點5之一端(前端)形成有第一端部5c，且在接點5之另一端(後端)形成有第二端部5d。還有，為了說明之方便上，將抵接於第一端部5c的檢查點之部位做為前端5e，而將抵接於第二端部5d的電極之部位做為後端5f。

第一端部5c的前端5e或是第二端部5d的後端5f，是如圖所示地也可形成半球面狀。

接點5之第一端部5c，是在檢查時，被插入支承在檢查側支承體2的檢查引導孔13內(參照第3圖)。第一端部5c的前端5e，是成為導通接觸於被形成於被檢查物50上的檢查點。

該第一端部5c的長度，是形成比該檢查引導孔13之長度還要長。此乃為了在檢查時利用檢查點與電極使得接點5被夾持而做成彎曲。在第3圖中，表示著非檢查時的檢查治具，接點5之第一端部5c是被收容於檢查引導孔 13內，而第一端部5c的前端5e也成為配置於檢查引導孔13內。

接點5之第二端部5d，是利用下述的電極側支承體3的電極引導孔20被引導至電極7(接觸面7a)(參照第4圖)。第二端部5d之後端5f，是成為導通接觸於電極7。

第二端部5d的長度，是詳細如下所述，惟形成比構成該電極引導孔20的小徑孔17b的軸方向長度還要短。

檢查側支承體2，是從被檢查物50所配置的一方(前方)依次地積層有複數(在本形態為3片)的支承板10、11、12所構成。此些之支承板10~12是藉由螺栓等的固定手段被互相地固定。

還有，如第3圖所示地，在各支承板10、11、12各別形成有貫通孔10a、11a、12a。藉由此些之貫通孔10a、11a、12a配置成互相地連結，構成有接點5之第一端部5c被插通的一個檢查引導孔13。

更且，支承板10的前方表面，成為對向於被檢查物50的對向面2a。

檢查引導孔13，是具有朝向對於被檢查物50之前方的接點5之引導方向。具體而言，檢查引導孔13，是成為具有正交於對向面2a的接點5之引導方向。因此，由對於被檢查物50的檢查點大約直角方向可接觸接點5之前端5e。

還有，檢查引導孔13，是僅形成檢查治具1所具有的接點5之數量。

三個貫通孔10a、11a、12a，是形成同心狀。在第3圖中，貫通孔10a，是由小徑孔10b與比小徑孔10b還要大直徑的大徑孔10c所構成，而貫通孔12a，是由小徑孔12b與比小徑孔12b還要大直徑的大徑孔12c所構成。

還有，小徑孔10b與小徑孔12b，是以比導體部5a之外直徑還要稍大，且比絕緣部5b之部分的接點5之外直徑還要稍小的內直徑所形成。

還有，貫通孔11a之內直徑，是成為比小徑孔10b之內直徑及小徑孔12b之內直徑還要大。

如第3圖所示地，被形成於接點5之第一端部5c的導體部5a與絕緣部5b之境界的前端緣5g，是配置於比檢查引導孔13之小徑孔12b還要後方。

還有，如上所述地，小徑孔12b，是以比絕緣部5b之部分的接點5之外直徑還要稍小的內直徑所形成。所以，絕緣部5b的前端緣5g，是成為抵接於小徑孔12b的開口緣12d。亦即，前端緣5g與開口緣12d，是成為防止接點5脫落至檢查對象側所用的防脫部。

電極側支承體3，是從檢查側支承體2的前方依次地積層有複數(在本形態為3片)的支承板15、16、17所構成。此些之支承板15~17是藉由螺栓等的固定手段互相地被固定。

如第4(a)圖或是第4(b)圖所示地，在各支承板15~17各別形成有貫通孔15a、16a、17a。藉由此些之貫通孔15a~17a配置成互相地連結，構成有接點5之第二端部5d被插通的一個電極引導孔20。該電極引導孔20，是僅形成檢查治具1所具有的接點5之數量。

電極引導孔20，是被形成於對於被形成於檢查引導孔13之引導方向(亦即，對向面2a的正交方向)的傾斜之引導方向。亦即，三個貫通孔15a~17a，是以各該中心稍微偏離的狀態下所形成，全體電極引導孔20被形成於對於對向面2a之正交方向傾斜的方向。

例如，如4(a)圖所示地，以貫通孔15a~17a之順序在其中心朝向圖示右方向稍微偏離的狀態下，形成有三個貫通孔15a~17a。亦即，引導接點5之後端側的引導方向，是成為引導至對於與電極側支承體3之表面正交的法線傾斜之方向。

貫通孔15a，是由小徑孔15b與比小徑孔15b還要大直徑的大徑孔15c所構成。同樣地，貫通孔16a，是由小徑孔16b與大徑孔16b所構成，貫通孔17a，是由小徑孔17b與大徑孔17c所構成。

小徑孔15b、16b、17b，是以比絕緣部5b所形成之部分的接點5之外直徑還要稍大的內直徑所形成。

還有，如上所述地，小徑孔17b，是以比絕緣部5b之部分的接點5之外直徑還要稍大的內直徑所形成，絕緣部5b之後端緣5h，是成為可插入至小徑孔17b之內部。接點5是對於與電極側支承體3之表面正交的法線傾斜之方向所配置。所以，接點5是如第4(b)圖所示地，成為對於小徑孔17b也傾斜地配置。又，該小徑孔17b，是形成軸方向對於電極側支承體3之表面正交。

形成於接點5之第二端部5d的導體部5a與絕緣部5b的境界的後端緣5h，是如第4(b)圖的檢查時的檢查治具之狀態所示地，比電極引導孔20的大徑孔17c還位於後方。

這時候，可移動至平行於後端5f的電極側支承體3的後方表面之方向的移動量，是接點5成為被限制在小徑孔17b之內部移動的範圍。因此，若在接點5傾斜地被插入的情形(由非檢查時移行至檢查時的情形或是由檢查時移行至非檢查時的情形)，則可將第二端部5d的後端5f的可移動量成為極少，且穩定地與電極成為接觸。

藉此，在接觸下述的電極7的接觸面7a與後端5f時，成為可進行接觸面7a與後端5f的精密定位。特別是，在實際之檢查中，因接點5及電極7是通常設置數千支，因此可使接觸面7a與後端5f之定位成為容易地進行，成為對於縮短作業時間上有很大貢獻。

如第5圖所示地，在電極側支承體3的底面(後方表面)，形成有圓形狀之插入孔3a。具體而言，貫通支承板17的方式，且支承板17的四角落之各個近旁形成有插入孔3a。還有，如第7圖所示地，在插入孔3a，插入有構成滑動機構8的下述之軸部8a並加以固定。

在各接點5中，被插通於檢查引導孔13的第一端部5c比被插通於電極引導孔20的第二端部5d被配置於偏離電極引導孔20的引導方向之傾斜方向的位置。亦即，如第5圖所示地，插通有接點5之第一端部5c的檢查引導孔13之後端側的開口位置(亦即，支承板12之貫通孔12a的開口位置)，是由插通有其接點5之第二端部5d的電極引導孔20來觀看，被配置於電極引導孔20之引導方向的傾斜側。

如第1圖所示地，電極體6是積層有：複數電極7所埋設之矩形的支承板22、23，及保持被導電連接於電極7的配線24之大約塊狀的支承構件25所構成。本形態的電極體6是做為全體被形成大約長方體狀，後端面為經由固定板48被固定於底板41之前方表面。還有，配線24是被連接於下述的檢查裝置30的控制部31。

如第4圖所示地，電極7之前方表面，是成為接點5之後端5f所接觸的接觸面7a。還有，接點5之後端5f，是如上所述地形成球面狀。因此，即使沿著具有傾斜之引導方向的電極引導孔20使得接點5的第二端部5d傾斜，後端5f與接觸面7a是也成為合適的導電連接狀態。

在電極體6，安裝有滑動機構8，也安裝有彈推手段14。具體而言，如第6圖所示地，於電極體6之四角落的各該近旁安裝有滑動機構8及彈推手段14。在本形態中，彈推手段14被安裝於比滑動機構8位於電極體6之四角落還位於遠的位置。

滑動機構8是具備：由電極側支承體3之後方表面所突出的棒狀軸部8a，與被固定於電極體6且軸部8a被插入之圓筒形狀的軸承部8b(參照第1圖)。

軸部8a，是一端被固定於電極側支承體3的支承板17之後方方向，且另一端是被插通於下述的軸承部8b。這時候，軸部8a是軸方向對於支承板17的後方表面成為直角。

軸承部8b，是被嵌合固定於設在電極體6的貫通孔(未予圖示)。該軸承部8b，是例如將排列於軸方向的複數滾珠軸承具備於內部複數條的線性襯套等的直動軸承，成為被插入有因應於軸承之內側形狀使得斷面之形狀或直徑被合適地調整的軸部8a。

藉由軸部8a被插通於軸承部8b，軸部8a是成為精度優異地(對於朝向軸方向直角的方向的移動量少)朝向軸方向可進行直線運動(滑動)。

滑動機構8，是設置成為了高精度地進行電極側支承體3對於電極體6的前後方向之移動，在電極側支承體3之後方表面與電極體6之前方表面相抵接之際，做成可精度優異地抵接被插通於電極引導孔20內的接點5之後端5f，與被形成於電極體6的電極7之接觸面7a。

因此，當安裝滑動機構8之際，使得後端的第二端部5d與接觸面7a合適地接觸的方式進行安裝滑動機構8。

如上所述地在本形態中，滑動機構8安裝於電極體6，做成可使電極側支承體3與電極體6朝向前後方向精度優異地移動。因此，藉由外力朝向前方移動電極側支承體3時，則可精度優異地接觸電極7之接觸面7a與被插通於電極側支承體3的接點5之後端5f。

彈推手段14是具備：抵接構件43、及筒構件44、及彈推部(壓縮螺旋彈簧45)、以及止動輪46；該抵接構件43，是由電極體6之前方表面突出並抵接於電極側支承體3；該筒構件44，是收納有抵接構件43之後端側；該彈推部(壓縮螺旋彈簧45)，是對於筒構件44朝向前方彈推抵接構件43；該止動輪46，是將抵接構件43安裝於筒構件44所用的E型止動輪(參照第1圖)。

筒構件44，是形成前端側有開口的有底圓筒狀，且被固定於電極體6。還有，抵接構件43，是具有圓筒形狀，且比配置於前側的圓柱部43a、配置於後側的圓柱部43a還要小直徑的小徑部43b所構成。

圓柱部43a，是將朝向長軸方向呈直角的平面具有於端面的圓柱狀地所形成。因此，抵接構件43的前端側是成為抵接於支承板17的後方表面。

在小徑部43b的外周側，插通有壓縮螺旋彈簧45。具體而言，壓縮螺旋彈簧45之各該端部抵接於圓柱部43a的後端面及筒構件44之底面的狀態下，有壓縮螺旋彈簧45被插通於小徑部43b的外面側。

還有，在小徑部43b的後端側，是被插通於被形成在筒構件44的底面，且突出於比筒構件44的底面還要後側。在小徑部43b的後端，固定有止動輪46。

如上所述地在本形態中，彈推手段14，是被安裝於電極體6，朝向前方向彈推著電極側支承體3。亦即，彈推手段14，是朝向被固定於電極體6的電極7之接觸面7a，及經由支柱4被固定於電極側支承體3的檢查側支承體2之前方表面(亦即，對向面2a)遠離的方向，彈推著檢查側支承體2、電極側支承體3及支柱4。

如第1圖所示地，限制構件42是具備：抵接於電極側支承體3的前方表面的限制板47，及限制板47被固定的固定板48。

固定板48，是被配置於治具本體部40之後方，並被固定於底板41。

限制板47，是被固定於固定板48之前端。

在本形態中，在非檢查時，使得壓縮螺旋彈簧45稍微撓曲的狀態下，抵接構件43抵接於電極側支承體3的後方表面(支承板17的後方表面)，還有，使得電極側支承體3的前方表面抵接於限制板47。亦即，電極側支承體3，是以彈推手段14被彈推的狀態下，抵接於限制板47(參照第7圖)。

還有，在該狀態下，在電極側支承體3與電極體6之間形成有些微間隙。

又，在該狀態下，檢查側支承體2、電極側支承體3及支柱4是朝向前方彈推，而接點5之前端5e，是未由對向面2a(參照第7圖)。亦即，在該狀態下，接點5之前端5e是成為被收納於檢查引導孔13中。

[檢查裝置的概要]

第9圖是裝載表示於第1圖之檢查治具1的檢查裝置30的概略構成圖。

如第9圖所示地，本形態的檢查治具1，是被裝載於進行被檢查物50的電性檢查(具體而言，斷線或短路等的檢查)的檢查裝置30而被使用。

在被檢查物50，形成有接點5之前端5e所接觸的檢查點。還有，在被檢查物50，例如在檢查後載置有IC等的電子零組件。又，例如被載置的電子零組件，是藉由打線接合被接合於在檢查所利用的檢查點。

檢查裝置30是具備：控制部31、及驅動部、以及檢查機構33；該控制部31，是做為包括來判定被檢查物50的導通狀態的檢查電路的電性檢查手段；該驅動部(未予圖示)，是被連接於控制部31；該檢查機構33，是藉由驅動部被驅動。

在控制部31，經由配線24被導電連接有檢查治具1的電極7。

檢查機構33是具備：第1支承盤34、及第2支承盤35、以及移動機構36。該第1支承盤34，是固定有檢查治具1；該第2支承盤35，是被對向配置於第1支承盤34，且被固定有被檢查物50；該移動機構36，是朝向前後方向移動第1支承盤34。

移動機構36，是例如藉由滾珠螺旋機構或油壓機構所構成，並藉由驅動部被驅動。

在本形態中，第2支承盤35，是固定被檢查物50的固定手段，移動機構36，是成為朝向被檢查物50與檢查治具1之對向面2a接近的方向來移動檢查治具1的移動手段。

又，移動機構36，是朝向前後方向來移動第2支承盤35也可以。

還有，第1支承盤34是藉由省略圖示的移動機構朝向第9圖的紙面垂直方向可移動地構成，第2支承盤35是藉由省略圖示的移動機構朝向第9圖的左右方向可移動地構成也可以。

[檢查對象的檢查次序及檢查時的檢查治具之動作]

第7圖是表示非檢查時的檢查治具之狀態的圖式，第8圖是表示檢查時的檢查治具之狀態的圖式。本形態的檢查裝置30是一面抵接檢查治具1的對向面2a與被檢查物50，一面進行被檢查物50的電性檢查。具體而言，檢查裝置30，是如以下地進行檢查。

首先，於第1支承盤34固定檢查治具1，而於第2支承盤35固定被檢查物50。如第7圖所示地，在該狀態下，壓縮螺旋彈簧45為以些微地撓曲的狀態，使得抵接構件43抵接於電極側支承體3的後方表面，而且於限制板47抵接有電極側支承體3的前方表面。

還有，在電極側支承體3的後方表面與電極體6的前方表面之間形成有些微間隙。更且，在該狀態下，接點5之前端5e，是未由對向面2a突出，而被收納於檢查引導孔13中。

還有，在該狀態下，接點5之後端5f，是接觸於電極7之接觸面7a。又，在該狀態下，接點5之後端5f由接觸面7a稍些離開也可以。

然後，當驅動部以控制部31之控制信號來驅動移動機構36時，則第1支承盤34朝向第2支承盤35接近，不久，對向面2a會抵接於被檢查物50。

如第8圖所示地，當對向面2a抵接於被檢查物50時，則抗拒彈推手段14之彈推力，使得檢查側支承體2、電極側支承體3及支柱4朝向電極體6相對移動。亦即，朝向接觸面7a與對向面2a接近的方向，使得檢查側支承體2、電極側支承體3及支柱4對於電極體6相對移動。還有，在這時候，電極側支承體3之前方表面是成為由限制板47離開之狀態。

那麼說，接點5之後端5f，是藉由電極7朝向前方推壓。這時候，接點5之前端5e，是抵接於被檢查物50之檢查點之故，因而在檢查側支承體2與電極側支承體3之間位於傾斜姿勢的接點5之中間部分是呈撓曲(屈曲)。

直到電極側支承體3之後方表面抵接於電極體6之前方表面為止，吏檢查側支承體2等對於電極體6相對移動，當接點5之中間部分的撓曲量成為預定量時，則被收納於檢查引導孔13中的接點5之前端5e，是成為以預定接觸壓接觸於檢查點。

這時候，在無間隙地抵接對向面與檢查點所形成之一面時，則前端5e是未由對向面突出，惟有些微間隙時，則成為使前端5e由對向面僅突出間隙的分量。

還有，屈曲的接點5之中間部分的撓曲方向，是成為因應於接點5之傾斜方向的方向。

又這時候，滑動機構8的軸部8a是被安裝於一端的電極側支承體3朝向後方移動之故，因而由軸承部3b突出於後方的長度，成為僅電極側支承體3的移動量會變長。

那麼說，當接點5之前端5e以預定接觸壓接觸於被檢查物50的檢查點時，則接點5是被導通至檢查點。在該狀態下，控制部31是將預定信號供應於檢查治具1，或是接受以檢查治具1所檢測出的電位等，就可進行被檢查物50的電性試驗。

又，由表示於第8圖的狀態，當第1支承盤34朝向由第2支承盤35離開之方向移動時(亦即，當對向面2a朝向由被檢查物50離開的方向移動)，則接點5之中間部分的撓曲會逐漸地被解決，檢查治具1，是回到表示於第7圖之狀態。

亦即，在壓縮螺旋彈簧45為稍微地撓曲的狀態下，電極側支承體3的前方表面抵接於限制板47，而接點5之前端5e是被收納於檢查引導孔13中。還有，在這時候，接點5之後端5f，是接觸於電極7之接觸面7a。

[本形態之效果]

如上所述地，在本形態中，接點5之第二端部5d形成有比形成於電極側支承體3之最後側的支承板17的小徑孔17b的軸方向長度還要短。

因此，以電極側支承體3穩定地可保持接點5之後端側之故，因而欲組裝檢查治具之際，各構件(電極側支承體3、電極體6、滑動機構8等)的定位成為容易，做成後端5f精度優異地可接觸於電極7的接觸面7a。

還有，在電極側支承體3的後方表面與電極體6的前方表面近接的檢查時，接點5之後端的第二端部5d是抵接於電極7的接觸面7a之同時被推壓。這時候，如上所述地接點5之後端側是利用電極側支承體3穩定地保持之故，因而每當進行檢查因後端的第二端部5d與接觸面7a之接觸的位置不會變化，因此可將接點5之接觸電阻值保持在一定。因此，可得到正確的檢查結果。

更且，檢查治具1及檢查裝置30之檢查時的動作是如上所述，惟在實際使用時，例如，將自動地供應或搬出被檢查物50的裝置(都未予圖示)具備於檢查裝置30，成為可連續地進行被檢查物之檢查。這時候，檢查治具1是成為連續地進行上述檢查時的動作。此時，如上所述地接點5之後端側是利用電極側支承體3穩定地保持之故，因而即使連續地進行檢查時，後端5f與接觸面7a之位置因在每當檢查動作也不會相對地變化，因此可防止後端5f摩擦接觸面7a所導致的接觸面7a之摩耗。

還有，藉由彈推手段14，朝向被形成於電極7的接觸面7a與被形成於檢查側支承體2的對向面2a離開之方向，使檢查側支承體2、電極側支承體3及支柱4被彈推。

因此，被檢查物50與對向面2a並未抵接，而在外力末動作於檢查治具1時，以彈推手段14的彈推力，進行彈推檢查側支承體2、電極側支承體3及支柱4，可做成由對向面2a未突出有接點5之前端5e的狀態(亦即，接點5之前端5e被配置於被檢查引導孔13內的狀態)。

一方面，在檢查被檢查物50時，若抵接對向面2a與被檢查物50，則抗拒彈推手段14的彈推力就可接近接觸面7a與對向面2a。

因此，在檢查時，由對向面2a稍微地突出被插通於檢查引導孔13的接點5之前端5e，並以預定之接觸壓可接觸於被檢查物50。

如此地，在本形態中，在檢查被檢查物50時，將對向面2a抵接於被檢查物50的狀態下，可將接點5之前端5e以預定之接觸壓接觸於被檢查物50的檢查點。

因此，可將前端5e接觸於被檢查物50的檢查點之狀態的接點5之前端5e的偏離量抑制在接點5之第一端部5c與檢查引導孔13之間的間隙程度。亦即，可將接觸於檢查點的狀態下的接點5之前端5e的偏離量做成微小，結果，可抑制被檢查物50的檢查點之表面發生傷痕。

特別是，在本形態中，檢查引導孔13是具有朝向被檢查物50的引導方向，而電極引導孔20是對於檢查引導孔13的探針引導方向具有傾斜的引導方向，又接點5之第一端部5c，是被配置於對於接點5之第二端部5d偏離朝向電極引導孔20之引導方向傾斜之一邊的位置。

因此，在檢查被檢查物50時，因被配置於檢查側支承體2與電極側支承體3之間隙的接點5之中間部分會屈曲，因此在接觸於被檢查物50的檢查點之狀態下使接點5之前端5e容易偏離，惟採用本形態的構造，就可將接觸於檢查點之狀態的接點5之前端5e的偏離量做成微小。

在本形態中，彈推手段14，是被安裝於電極體6並彈推著電極側支承體3。所以，在當對向面2a抵接於被檢查物50時(亦即，檢查時)，則可將互相地被固定的檢查側支承體2、電極側支承體3及支柱4以一體對於電極體6進行相對移動，並成為可將複數接點5之前端5e確實地做成接觸於被檢查物50之檢查點。

亦即，互相地被固定的檢查側支承體2、電極側支承體3及支柱4是剛性較高，即使對於電極體6相對移動也不容易變形之故，因而成為可將來自對向面2a的複數接點5之前端5e的突出量做成大約均等，並成為可將複數接點5之前端5e確實地做成接觸於被檢查物50之檢查點。

在本形態中，彈推手段14，是具有使前端抵接於電極側支承體3的後方表面的抵接構件43，而抵接構件43的圓柱部43a前端是形成具有與電極側支承體3之後方表面平行之平面。所以，抵接構件43所抵接的電極側支承體3之後方表面的部位是不會摩耗，也不會有彈推手段14所導致的彈推力的變化之故，因而具有複數的彈推手段14是仍保持均勻的彈推力，可實施檢查。

在本形態中，檢查治具1是具備抵接於電極側支承體3的前方表面，並限制朝向前方的電極側支承體3之動作的限制構件42。

所以，在前後方向，可進行外力未動作於檢查治具1時的檢查側支承體2、電極側支承體3及支柱4的定位。

[其他的實施形態]

上述的形態，是本發明的合適形態的一例子，惟並不被限定於此者，在未變更本發明的要旨的範圍內可變形成各種。

在上述的形態中，接點5之後端5f所接觸之電極7的接觸面7a是形成平面狀，惟並未限定於此形狀。例如，在將接觸面7a形成平面狀的後接觸面7a上施以電鍍等形成如隆起的形狀也可以。

在上述的形態中，接點5是如圖所示地具有形成球面狀的前端5e或是後端5f。

其他例如，前端5e或是後端5f是朝向前端具有斜面的方式形成圓錐形也可以，或是對於接點5之長軸方向形成直角的平面狀也可以。

在上述的形態中，接點5是檢查側支承體2與電極側支承體3之間的中間部分成為傾斜的方式，被插通於檢查側支承體2與電極側支承體3，惟接點5是中間部分不會成為傾斜的方式，被插通於檢查側支承體2與電極側支承體3也可以。

在上述的形態中，彈推手段14，是圓柱部43a的前端，形成具有與電極側支承體3之後方表面平行之平面。

其他例如，圓柱部43a的前端形狀，是形成比平面還帶有稍圓味的形狀也可以。

在上述的形態中，彈推手段14是藉由做為彈推構件的壓縮螺旋彈簧45來發生彈推力。

其他例如，彈推手段14是將抗拉螺旋彈簧或板簧等的其他彈簧構件，或是橡膠等的彈性構件等做為彈推構件來發生彈推力。

在上述的形態中，檢查治具1，是具備抵接於電極側支承體3之前方表面並限制電極側支承體3等朝向前方之動作的限制構件42。

其他例如，檢查治具1，是具備抵接於檢查側支承體2之對向面2a並限制檢查側支承體2朝向前方的動作限制構件也可以。

還有，檢查治具1是未具備限制電極側支承體3等朝向前方的動作的限制構件也可以。在這時候，設有防止電極側支承體3等朝向前方脫落的防脫構件較佳。

在上述的形態中，藉由3片支承板10~12構成有檢查側支承體2。

其他例如，以2片以下或是4片以上的支承板構成有檢查側支承體2也可以。

同樣地，在上述的形態中，藉由3片支承板15~17構成有電極側支承體3，惟以2片以下或是4片以上的支承板構成有電極側支承體3也可以。

還有，在上述的形態中，由電極側支承體3的支承板17朝向後方延伸的引導機構之軸部8a被固定於支承板17，惟構成如由支承板17可裝卸自如軸部8a也可以。

以下，依據第10A圖、第10B圖、第10C圖、第11圖及第12圖，針對於其他的實施形態的檢查治具進行說明。

在表示於第1圖至第9圖的實施形態中，滑動機構8的軸部8a之前方的端部，被固定於電極側支承體3之支承板17，又，彈推手段14的圓柱部43a貫通電極體6的貫通孔，並將電極側支承體3的支承板17的後方之一面朝向檢查側支承體2進行彈推。在表示於第10A圖、第10B圖、第10C圖、第11圖及第12圖的實施形態中，詳細是如下述地，滑動機構8的軸部8a之前方的端部，是被固定於電極體6之支承板22之一部分的可動板22b，彈推手段14的圓柱部43a，是電極體6的支承板22之一部分的可動板22b的後方之一面朝向檢查側支承體2進行彈推。

第10A圖是第二實施形態的電極體6的俯視圖，第10B圖及第10C圖是表示於第10A圖的電極體6的前視圖。與第一實施形態同樣地，在第二實施形態中，電極體6，也是由支承板22、23與支承構件25所構成。但是，在第二實施形態中，將相當於支承板22者，由電極7之接觸面7a所固定的中央之電極板22a與配置於其周圍的可動板22b所構成。電極板22a是被固定於支承板23，惟可動板22b，是被彈推成為由支承板23離開。亦即，如第10B圖及第10C圖所示地，可動板22b是可朝向檢查治具的前後方向移動。

還有，如第10A圖所示地，在可動板22b前方的面上之四角落的附近，設有小突起部52a，還有，在朝向第10A圖位於右邊縱方向的兩個小突起之間設有大突起52b。此些突起是在可動板22b抵接於支承板17的狀態下進入被形成於支承板17的凹部(未予圖示)，進行可動板22b與支承板17的定位。

又，如第10A圖所示地，在電極板22a上之四角落的附近，設有4個彈推手段26。此些彈推手段是未予圖示，惟與彈推手段14同樣地，具備圓筒部與圓柱部，圓筒部被固定於支承構件25內而圓柱部抵接於支承板17的後面之一面。彈推手段26是與可動板22b一起將彈推力給予支承板17之故，因而其所導致的彈推力，是在面臨於電極板22a之領域的支承板17未作用。結果，僅以彈推手段26之彈推力有支承板彎曲恢復的可能性。所以，藉由彈推手段26，做成將彈推力給予面臨於設置電極的電極板22a之領域的支承板17，藉此，做成比較性分散於支承板並可施加均勻的彈推力。

第11圖是具備第二實施形態之電極體的檢查治具的局部擴大斷面圖，表示非檢查時之檢查治具的狀態。如該圖所示地，可動板22b是被保持於由支承板23離開之位置。

如第11圖所示地，滑動機構8之軸承部8b，是被嵌入在設於電極體6之支承板23及支承構件25的貫通孔並被固定，滑動機構8之軸部8a的前端部，是被嵌入在被形成於可動板22b的貫通孔22bh並被固定。藉此，可動板22b，是可做成沿著軸部8a之軸線方向平行移動。

還有，彈推手段14的筒構件44，是被嵌入在設於支承構件25的貫通孔並被固定，還有，彈推手段14的圓柱部43a之前方的端部，是貫通支承板23的貫通孔，而其前端面是抵接於可動板22b之後方面並朝向前方彈推可動板22b。

如第10A圖所示地，於可動板22b的貫通孔22bh固定著滑動機構8的軸部8a，還有，於可動板22b之後方面的以符號43a所示的位置抵接著彈推手段14的圓柱部43a之前端部。亦即，滑動機構8及彈推手段14是被配置成作用於可動板22b。此些位置，是與在第一實施例中貫通電極體6的支承板22的滑動機構8之軸部8a及彈推手段14之圓柱部43a之位置相同。

再次參照第11圖，在表示於該圖的狀態下，於電極體6的支承板22之後方面抵接著彈推手段14的圓柱部 43a之前端面，使可動板22b及電極側支承體3朝向限制板47被彈推。在可動板22b與支承板23之間形成有些微的間隙。

然後，在檢查時，檢查治具1(第1圖)朝向被檢查物50移動，當檢查側支承體2之對向面2a抵接於被檢查物50時，則電極側支承體3朝向後方被推回而由限制板47離開。隨著其移動，可動板22b抗拒彈推手段14的壓縮螺旋彈簧45之彈推力並將圓柱部43a推下至支承構件25的筒構件44內，同時沿著滑動機構8的軸部8a之軸線方向使可動板22b下降。如第12圖所示地，在停止可動板22b之際，在可動板22b與支承板23之間有間隙。藉此，在接點之後端部與電極之接觸成為確實之前可防止可動板22b抵接於支承板23並停止下降的情形。還有，如第1圖所示地，電極側支承體3之支承板17的表面，是與合併可動板22b及電極板22a之一面成為相同形狀之故，因而成為藉由支承板17推壓可動板22b及電極板22a之全面。亦即，在停止可動板22b之際，在可動板22b的前方之一面與電極板22a的前方之一面，是配置成為相同平面。藉此，也可確實地保證接點之後端部與電極之接觸。又，在這時候，於限制板47之後方面與電極側支承體3的支承板15之前方表面之間形成有間隙。

檢查之際的探針之作用是與第一實施形態相同。

在更換接點之際，由檢查治具1拆下治具本體部40，就可由電極側支承體3的支承板17之後方表面進行接點之抽出及安裝。這時候，在第一實施形態中，4支滑動機構8的軸部8a被固定於電極側支承體3的支承板17之後方表面，還有，此些之4支軸部8a，包圍著安裝有接點之第二端部5d的電極引導孔20所形成的部分之四角落。特別是，隨著近年來之檢查對象的微細化，使檢查治具之治具本體部40小型化，結果，在被固定於支承板17上的4支軸部8a之間隔做成狹窄化時，存取於接點成為困難。還有，利用微細化之進行，被使用於治具本體部40的支承板成為也可使用薄者。所以，若是此種薄支承板，就有很難加工，或是因設置複數孔，就有降低支承板本體的強度的問題。

然而，在第二實施形態中，滑動機構8之軸部8a，是被固定於可動板22b並被固定於電極側支承體3的支承板17之故，因而軸部8a不會妨礙作業，又，不會使支承板17本體之強度降低而彎曲的情形之故，因而即使被小型化的治具本體部40，也可容易地進行接點之更換等的維修。

在上述的第二實施形態中，以電極板22a及可動板22b來構成電極體6。代替此些，電極體6是與第一實施形態之情形同樣地使用一體者，於電極側支承體3之支承板17與電極體6之支承板22之間，另一方面，介設於移動自如的矩形之板，而於該板固定滑動機構8之軸部8a的前端，而且將彈推手段14之圓柱部43a的前端面抵接於該板的後方表面，並構成將板彈推至電極側支承體3之支承板17也可以。但是，在板，必須做成形成有使得由電極側支承體3所突出之接點的端部可與電極體6之電極接觸的構造。例如，於對應於此些接觸位置的板之部分形成缺口，或是在該部分設置可導電的構造。在該實施形態之情形，也與第二實施形態同樣地，滑動機構8之軸部8a，是被固定於可動板22b而未被固定於電極側支承體3的支承板17之故，因而使得設於電極側支承體3的接點之區域的接點之更換等的維修容易地進行。

可動板是若在非檢查時可將電極側支承體3朝向檢查側支承體2側彈推，而在檢查時在平行地保持電極側支承體3及檢查側支承體2的狀態下可進行後退者，則任何者都可以，惟在配置有電極側支承體3的接點之後端部的區域附近，用來移動電極側支承體3的構件是未被固定。

以上，針對於本發明的幾個實施形態的檢查治具加以說明，惟本發明是並未被拘束於此些實施形態者，而熟習該項技術者容易地進行追加、刪除、改變等，是被包括於本發明者，還有，本發明的技術性範圍是當然藉由所附之申請專利範圍所述者來決定。