JP2005338065A - 検査冶具および検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 屈曲可能で弾性を有するプローブの撓みを利用して検査を行うための検査冶具において、プローブ交換を容易に行うことができるにも拘らず、簡単な構造とすることができる検査治具の新規な構成を実現すること。
【解決手段】 検査冶具１０は、検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔を備えた先端側支持体１１と、先端側支持体１１の後方に間隔を介して配置され、先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して傾斜したプローブ案内方向を有する後端側挿通孔を備えた後端側支持体１２と、その先端が検査対象側において出没可能となるように先端側挿通孔に挿通された先端側部分および後端側挿通孔に挿通された後端側部分を有する屈曲可能で弾性を備えたプローブ１４と、後端側支持体１２の後方に配置され、後端側部分に当接する電極１６とを具備し、プローブ１４の先端側部分は、後端側部分に対して後端側挿通孔のプローブ案内方向の傾斜した側にずれた位置に配置されている。
【選択図】 図２

Description

本発明は検査冶具および検査装置にかかり、特に、回路基板や電子部品などの電気試験を行う場合に好適な検査冶具の構造に関する。

一般に、回路基板の配線パターンやＩＣなどの集積回路の短絡や断線などの異常を発見するための電気的検査には、検査対象に導電接触する複数のプローブを備えた検査冶具を搭載した検査装置が用いられている。この場合、複数のプローブの先端部は検査対象に対して当接したときに弾性的に変形可能に構成することで、検査対象に対して全てのプローブが適度なコンタクト圧で同時に電気的に導通するようになっている。

近年、回路基板の配線パターンの複雑化や集積回路の高集積化などに伴って、検査冶具のプローブの配列ピッチが小さくなってきており、これによって個々のプローブ径も小さくする必要がある。そのため、旧来のばねを内蔵したプローブピンに代えて、屈曲可能な弾性を備えたワイヤ状のプローブを用いる検査冶具が多くなってきている。このような検査冶具においては、検査対象側に配置される先端側支持板と、この先端側支持板の後方に間隔を介して配置される後端側支持板とを設け、先端側支持板にはプローブの先端部を出没自在に挿通させるプローブ挿通孔を形成し、後端側支持板にはプローブの後端部を固定し、先端側支持板と後端側支持板との間にあるプローブの中間部分を適宜に屈曲させてなる構造が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

また、上記と同様の先端側支持板および屈曲可能で弾性を有するプローブを備え、先端側支持板の後方に間隔を介して配置された後端側支持板にもプローブ挿通孔を形成し、このプローブ挿通孔にプローブを挿通し、このプローブの後端部を後端側支持板のさらに背後に配置された電極に係止させることで、プローブと電極との間の導電接続の信頼性を向上させるとともに、プローブを容易に交換可能とした検査冶具も知られている（たとえば、特許文献２参照）。この検査冶具では、先端側支持板のプローブ挿通孔と、後端側支持板のプローブ挿通孔とが平面的に重なる位置に配置されるように両支持板を構成した状態でプローブを両支持板のプローブ挿通孔に挿通し、その後、先端側支持板と後端側支持板とを平面方向に相互にシフトさせることによって、先端側支持板と後端側支持板との間にてプローブの中間部分が屈曲するようにしている。
特開平９−２７４０５４号公報 特開２００２−９０４１９号公報

しかしながら、上述の屈曲可能で弾性を有するプローブを用いた検査冶具のうち、後端側支持板にプローブの後端部を固定した検査冶具では、一部のプローブに不具合があった場合にプローブを交換することが難しいため、メンテナンスに手間がかかり、あるいは、検査冶具全体を交換しなければならないという問題点がある。

また、プローブの後端部を後端側支持板の背後に配置された電極に係止する構造では、電極を取り外すことにより、不具合のあるプローブを後端側支持板の背面側から容易に交換できるという利点がある。しかしながら、プローブの交換を容易にするには、先端側支持板と後端側支持板とを平面方向にシフトさせる構造が必要となるため、検査冶具の構造が複雑になるという問題点がある。

そこで、本発明の課題は、屈曲可能で弾性を有するプローブの撓みを利用して検査を行うための検査冶具において、プローブ交換を容易に行うことができるにも拘らず、簡単な構造とすることができる検査治具の新規な構成を実現することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の検査冶具は、検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔を備えた先端側支持体と、先端側支持体の後方に間隔を介して配置され、先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して傾斜したプローブ案内方向を有する後端側挿通孔を備えた後端側支持体と、その先端が検査対象側において出没可能となるように先端側挿通孔に挿通された先端側部分および後端側挿通孔に挿通された後端側部分を有する屈曲可能で弾性を備えたプローブと、後端側支持体の後方に配置され、後端側部分に当接する電極と、を具備し、プローブの先端側部分は、後端側部分に対して後端側挿通孔のプローブ案内方向の傾斜した側にずれた位置に配置されていることを特徴とする。

この発明によれば、後端側支持孔のプローブ案内方向が先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して傾斜していることにより、先端側支持体と後端側支持体の間においてプローブの中間部分を傾斜させることができるので、プローブの先端が検査対象に当接したときにスムーズにプローブを撓ませることができる。このとき、プローブの先端側部分が後端側部分に対して後端側挿通孔のプローブ案内方向の傾斜した側にずれた位置に配置されていることにより、後端側挿通孔のプローブ案内方向の傾斜の向きと、装着されているプローブあるいは装着すべきプローブの傾斜姿勢の向きとが一致するため、プローブを後端側支持体の後方から容易に抜き差しすることができる。したがって、従来のように先端側支持体と後端側支持体を平面方向にシフトするための機構などの複雑な構造を設けなくても、プローブの交換を容易に行うことが可能になる。

本発明において、先端側挿通孔の後端側の開口位置は、後端側挿通孔から見て後端側挿通孔のプローブ案内方向に配置されていることが好ましい。これによれば、先端側挿通孔の後端側の開口位置が後端側挿通孔から見てそのプローブ案内方向に配置されていることにより、後端側支持体の後方から後端側挿通孔に直線状のプローブを挿入したとき、後端側支持体を貫通して伸びるプローブの先端部が先端側支持体の先端側挿通孔の後端側の開口位置にそのまま到達するので、プローブの装着作業をさらに容易に行うことが可能になる。

本発明において、先端側挿通孔、後端側挿通孔およびプローブは複数設けられ、複数の後端側挿通孔のプローブ案内方向は、先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して同じ方向に傾斜するように構成することができる。これによれば、複数の後端側挿通孔のプローブ案内方向が先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して同じ方向に傾斜していることによって、先端側支持体と後端側支持体の間にある複数のプローブの中間部分も相互に同じ方向に傾斜することになるため、プローブの配列ピッチを小さく構成しても、検査時においてプローブが撓んだときにプローブの中間部分同士が相互に接触しにくくなるので、プローブのコンタクト圧の安定性や均一性を確保することができる。

本発明において、先端側挿通孔、後端側挿通孔およびプローブは複数設けられ、隣接する複数の後端側挿通孔のプローブ案内方向は、先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して異なる方向に傾斜するように構成することができる。これによれば、プローブの先端側部分の配列ピッチを小さく構成しても、複数のプローブの後端側部分の相互間の距離を大きくとることができる。そのため、プローブの後端側部分が当接する電極の配置が容易になる。また、複数のプローブの後端側部分の相互間の距離を大きくとることができるため、電極を大きく形成することができる。したがって、プローブ径を小さく構成しても、プローブの後端側部分と電極とを確実に当接させることができる。

本発明において、隣接する複数の後端側挿通孔のプローブ案内方向は交互に、先端側挿通孔の配列方向に直交する一方向と、この一方向の反対方向である他方向との異なる方向に傾斜していることが好ましい。これによれば、後端側挿通孔に挿通されたプローブの後端側部分を規則正しく配列できる。そのため、プローブの後端側部分に当接する電極を効率よく配置することができる。

本発明において、複数の後端側挿通孔のプローブ案内方向が傾斜する角度として、複数の異なる傾斜角度が設定されていることが好ましい。これによれば、プローブの先端側部分の配列ピッチを小さく構成しても、複数のプローブの後端側部分の相互間の距離をより大きくとることができる。そのため、プローブの後端側部分が当接する電極の配置がより容易になる。また、電極を大きく形成することができため、プローブ径を小さく構成しても、プローブの後端側部分と電極とをより確実に当接させることができる。

本発明において、電極を支持する電極支持体を有し、後端側支持体と電極支持体とが着脱可能に構成されていることが好ましい。これによれば、電極を支持する電極支持体を設けることにより組立やメンテナンスが容易になるとともに、後端側支持体と電極支持体とが着脱可能に構成されていることにより、電極支持体を後端側支持体から取り外すだけでプローブを交換可能な状態とすることができる。特に複数のプローブおよび電極が設けられている場合には、電極支持体により複数の電極が一体に支持される構造とすることが効果的である。

本発明において、後端側支持体と電極との間には位置決め板が着脱可能に配置され、位置決め板には、後端側挿通孔に連通し、後端側挿通孔よりも小径に構成された位置決め孔が設けられていることが好ましい。これによれば、位置決め板において後端側挿通孔よりも小径に（小さな開口範囲を有するように）構成された位置決め孔によって後端側挿通孔に挿通されたプローブの後端側部分を位置決めすることができるので、電極に対する導電接触状態をより確実に得ることができる。また、位置決め板を設けることで、後端側挿通孔の孔径を、プローブを容易に抜き差しできる程度まで拡大することが可能になるため、プローブの交換をさらに容易に行うことができるように構成できる。ここで、上記の位置決め孔は、プローブの後端部位と電極との間の導電接触を阻害しない孔径（開口範囲）を備えていればよい。

また、上記の課題を解決するため、本発明の検査冶具は、所定のプローブ案内方向を有する先端側挿通孔と、検査対象に対向する対向面とを備えた先端側支持体と、先端側支持体の後方に間隔を介して配置され、所定のプローブ案内方向を有する後端側挿通孔を備えた後端側支持体と、その先端が検査対象側において出没可能となるように先端側挿通孔に挿通された先端側部分および後端側挿通孔に挿通された後端側部分を有する屈曲可能で弾性を備えたプローブと、後端側支持体の後方に配置され、後端側部分に当接する電極と、を具備し、先端側挿通孔および後端側挿通孔の少なくともいずれか一方は、そのプローブ案内方向が対向面の直交方向に対して傾斜する傾斜部を備え、プローブの先端側部分および後端側部分のいずれか一方は、先端側部分および後端側部分のいずれか他方に対して、傾斜部の傾斜した側にずれた位置に配置されていることを特徴とする。

この発明によれば、先端側挿通孔および後端側挿通孔の少なくともいずれか一方は、そのプローブ案内方向が対向面の直交方向に対して傾斜する傾斜部を備え、プローブの先端側部分および後端側部分のいずれか一方は、先端側部分および後端側部分のいずれか他方に対して、傾斜部の傾斜した側にずれた位置に配置されているため、先端側支持体と後端側支持体の間においてプローブの中間部分を傾斜させることができるので、プローブの先端が検査対象に当接したときにスムーズにプローブを撓ませることができる。また、プローブの先端側部分および後端側部分のいずれか一方は、先端側部分および後端側部分のいずれか他方に対して、傾斜部の傾斜した側にずれた位置に配置されているため、傾斜部の傾斜の方向と、装着されているプローブあるいは装着すべきプローブの傾斜姿勢の向きとが一致する。したがって、プローブを先端側支持体の前方または後端側支持体の後方から容易に抜き差しすることができる。その結果、従来のように先端側支持体と後端側支持体を平面方向にシフトするための機構などの複雑な構造を設けなくても、プローブの交換を容易に行うことが可能になる。

また、本発明の検査装置は、上記のいずれかに記載の検査冶具と、この検査冶具の複数の電極に導電接続された電気的検査手段とを有することを特徴とする。電気的検査手段としては、配線パターンや回路の短絡や断線を発見するオープンテストまたはショートテストを行うものが挙げられる。また、電気的検査の対象物としては、プリント配線基板や半導体集積回路などが挙げられる。

なお、上記各発明において、プローブは、少なくとも先端側支持体から検査対象に向けて突出する先端部位および電極に当接する後端部位以外の部分に電気絶縁被覆が施されていることが好ましい。これによれば、電気絶縁被覆によってプローブ間の短絡事故が生ずる危険性をなくすことができる。この場合に、プローブの先端側の電気絶縁被覆の端縁は、先端側挿通孔に対して検査対象側へ向けて係合可能に構成され、プローブの検査対象側への抜け止め部となっていることが好ましい。これによれば、プローブの電気絶縁被覆の端縁が先端側挿通孔に対して検査対象側に係合する抜け止め部となっているため、プローブが検査対象側へ抜け出ることが防止される。

また、先端側支持体のプローブ案内方向は、先端側支持体における検査対象側の表面と直交する方向であることが好ましい。この場合には、検査対象の表面に対して垂直にプローブを接触させることができるので、検査対象に損傷を与えにくく、また、安定したコンタクト抵抗を得ることができる。

本発明によれば、簡易な構造にも拘らず、プローブ交換を容易に行うことのできる検査冶具を提供できるという優れた効果を奏し得る。

以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。

［実施の形態１］
図１は、本発明の実施の形態１にかかる検査冶具１０の構造を示す概略斜視図である。図２は、図１に示す検査冶具１０の縦断面図である。図３は、図１に示す先端側支持体１１の断面構造を示す拡大部分断面図である。図４は、図１に示す後端側支持体１２の断面構造を示す拡大部分断面図である。図５は、本発明の実施の形態１にかかるプローブ１４の後端部位１４ｖと電極１６との導電接触状態を示す拡大部分斜視図である。図６は、図１に示す検査冶具１０を搭載してなる検査装置１００の概略構成を示す概略構成図である。図７は、図１に示す検査冶具１０を所定の検査対象Ｗに適用した場合におけるコンタクト抵抗値とプローブ１４の押し込み量との関係を示すグラフである。

本形態の検査冶具１０は、先端側支持体１１と、この先端側支持体１１の後方に間隔を介して配置された後端側支持体１２と、先端側支持体１１と後端側支持体１２とを連結固定するための支持柱１３とを備えている。先端側支持体１１および後端側支持体１２はそれぞれ板状に構成され、それらの表面が相互に平行になるように配置されている。先端側支持体１１と後端側支持体１２にはプローブ１４が挿通され、このプローブ１４の先端は先端側支持体１１の表面上において僅かに突出している。

後端側支持体１２の後方には電極支持体１５が取り付けられている。この電極支持体１５は、図２に示すように、プローブ１４に導電接触してなる複数の電極１６を支持固定している。なお、図２において、プローブ１４および電極１６は一つのみ描いてあるが、実際には複数のプローブ１４および電極１６が平面方向（すなわち、先端側支持体１１、後端側支持体１２の表面に沿った方向）に配列されている。また、図２においては、先端側支持体１１および後端側支持体１２に形成される後述する先端側挿通孔１１Ｘおよび後端側挿通孔１２Ｘの図示も省略してある。

プローブ１４は、タングステン、ハイス鋼（ＳＫＨ）、ベリリウム銅（Ｂｅ−Ｃｕ）などの金属その他の導電体で構成され、屈曲可能な弾性を有するワイヤ状に構成されている。本形態では、プローブ１４は、上記のような導電体で構成される導電ワイヤ１４ａと、この導電ワイヤ１４ａの外面を覆う電気絶縁被覆１４ｂとを備えている。電気絶縁被覆１４ｂは合成樹脂などの絶縁体で構成され、特に絶縁塗装を施すことによって導電ワイヤ１４ａの表面にコーティングされたものであることが好ましい。図３および図４に示すように、プローブ１４の先端側部分１４ｓと後端側部分１４ｕにおいては、電気絶縁被覆１４ｂが形成されず、導電ワイヤ１４ａが露出した状態となっている。このプローブ１４の先端部位１４ｔや後端部位１４ｖは図示例のように球面状に構成されていることが好ましく、また、これらの先端部位１４ｔや後端部位１４ｖの表面に導電接触特性（コンタクト性）を高めたり維持したりするための表面層をメッキなどによって形成することが好ましい。このような表面層としては、ニッケル層上に金、パラジウム、ロジウムなどの層を積層したメッキ層等が挙げられる。

先端側支持体１１は、検査対象が配置される側（図示上側）から順に複数の支持板１１１、１１２、１１３が積層されることによって構成されている。図３に示すように、各支持板１１１、１１２、１１３にはそれぞれ貫通孔１１１ａ、１１２ａ、１１３ａが形成されている。これらの貫通孔１１１ａ、１１２ａ、１１３ａによって、プローブ１４の先端側部分１４ｓが挿通される１つの先端側挿通孔１１Ｘが構成されている。この先端側挿通孔１１Ｘは、先端側支持体１１の検査対象に対向する対向面（図示上側の表面）１１ａと直交するプローブ１４の案内方向（図示上下方向）を有している。また、この先端側挿通孔１１Ｘは、検査冶具１０に設けられたプローブ１４の数だけ設けられている。

３つの貫通孔１１１ａ、１１２ａ、１１３ａは同心状に形成されている。より具体的には、貫通孔１１１ａは、小径孔１１１ａ１と小径孔１１１ａ１より大径の大径孔１１１ａ２とから構成され、貫通孔１１３ａは、小径孔１１３ａ１と小径孔１１３ａ１より大径の大径孔１１３ａ２とから構成されている。また、小径孔１１１ａ１と小径孔１１３ａ１とはほぼ同じ径で、かつ、導電ワイヤ１４ａの外径よりも若干大きく、かつ、電気絶縁被覆１４ｂの部分のプローブ１４の外径よりも若干小さな内径で形成されている。なお、貫通孔１１２ａは、小径孔１１１ａ１、１１３ａ１よりも大径でかつ大径孔１１１ａ２、１１３ａ２よりも小径に形成されている。

後端側支持体１２は、先端側支持体１１側から順に複数の支持板１２１、１２２、１２３が積層されることによって構成されている。図４に示すように、各支持板１２１、１２２、１２３にはそれぞれ貫通孔１２１ａ、１２２ａ、１２３ａが形成されている。これらの貫通孔１２１ａ、１２２ａ、１２３ａによって、プローブ１４の後端側部分１４ｕが挿通される１つの後端側挿通孔１２Ｘが構成されている。この後端側挿通孔１２Ｘは、先端側挿通孔１１Ｘのプローブ案内方向（すなわち、対向面１１ａの直交方向）に対して傾斜したプローブ案内方向Ｖ１を有している。すなわち、３つの貫通孔１２１ａ、１２２ａ、１２３ａは、それぞれの中心が少しずつずれた状態で形成されており、後端側挿通孔１２Ｘの全体が対向面１１ａの直交方向に対して傾斜する傾斜部となっている。より具体的には、図４に示すように、貫通孔１２１ａ、１２２ａ、１２３ａの順でその中心が図示右方向に少しずつずれた状態で、３つの貫通孔１２１ａ、１２２ａ、１２３ａが形成されている。そのため、プローブ案内方向Ｖ１は、後端側支持体１２の表面と直交する法線ｎ１に対して図４で反時計方向に角度θ１だけ傾斜している。また、この後端側挿通孔１２Ｘは、検査冶具１０に設けられたプローブ１４の数だけ設けられている。

また、貫通孔１２１ａは、小径孔１２１ａ１と小径孔１２１ａ１より大径の大径孔１２１ａ２とから構成され、貫通孔１２２ａは、小径孔１２２ａ１と小径孔１２２ａ１より大径の大径孔１２２ａ２とから構成され、貫通孔１２３ａは、小径孔１２３ａ１と小径孔１２３ａ１より大径の大径孔１２３ａ２とから構成されている。小径孔１２３ａ１は、導電ワイヤ１４ａの外径よりも若干大きく、かつ、電気絶縁被覆１４ｂの部分のプローブ１４の外径よりも若干小さな内径で形成され、小径孔１２１ａ１と小径孔１２２ａ１とはほぼ同じ径で、かつ、絶縁被膜１４ｂが形成された部分のプローブ１４の外径よりも若干大きな内径で形成されている。

また、各プローブ１４においては、先端側挿通孔１１Ｘに挿通された先端側部分１４ｓが後端側挿通孔１２Ｘに挿通された後端側部分１４ｕよりも後端側挿通孔１２Ｘのプローブ案内方向Ｖ１の傾斜方向にずれた位置に配置されている。すなわち、あるプローブ１４の先端側部分１４ｓが導入される先端側挿通孔１１Ｘの後端側の開口位置（すなわち、支持板１１３の貫通孔１１３ａの開ロ位置）は、図４に示すように、そのプローブ１４の後端側部分１４ｕが導入される後端側挿通孔１２Ｘから見て、その後端側挿通孔１２Ｘのプローブ案内方向Ｖ１の傾斜側に配置されている。より詳細に述べると、本形態においては、あるプローブ１４の先端側部分１４ｓが導入される先端側挿通孔１１Ｘの後端側の開口位置（すなわち、貫通孔１１３ａの開口位置）は、そのプローブ１４の後端側部分１４ｕが導入される後端側挿通孔１２Ｘから見て、その後端側挿通孔１２Ｘのプローブ案内方向Ｖ１に配置されている。

プローブ１４の先端側の電気絶縁被覆１４ｂの端縁１４ｂｓは、図３に示すように、先端側挿通孔１１Ｘの貫通孔１１３ａの小径孔１１３ａ１よりも後方に配置されている。また、上述のように、貫通孔１１３ａの小径孔１１３ａ１は、導電ワイヤ１４ａの外径よりも若干大きく、かつ、電気絶縁被覆１４ｂの部分のプローブ１４の外径よりも若干小さな内径で形成されている。そのため、電気絶縁被覆１４ｂの端縁１４ｂｓは、先端側挿通孔１１Ｘの貫通孔１１３ａの小径孔１１３ａ１の開ロ縁１１３ｂに対して検査対象側（図示上方）に向けて係合可能に構成されている。このように、電気絶縁被覆１４ｂの端縁１４ｂｓが先端側挿通孔１１Ｘに係合する抜け止め部となっているため、プローブ１４が検査対象側に抜け落ちることが防止されている。

図５は、プローブ１４の後端部位１４ｖと、電極１６の表面１６ａとの当接状態を示す拡大斜視図である。後端部位１４ｖは上述のように球面状に構成されているので、上述のように傾斜したプローブ案内方向Ｖ１を備えた後端側挿通孔１２Ｘの内部に沿ってプローブ１４の後端側部分１４ｕが傾斜しても、後端部位１４ｖと電極１６の表面１６ａの導電接触状態には影響を及ぼさない。

電極支持体１５は、図２に示すように、複数の電極１６を埋設した支持板１５１、１５２と、電極１６に導電接続される配線１７を保持する支持板１５３とが積層された構造を有している。配線１７は後述する検査装置１００の制御部１１０に接続される。電極支持体１５は後端側支持体１２に対してボルトなどの固定手段によって着脱可能に固定されている。

図６は、検査冶具１０を搭載した検査装置１００の全体構成を模式的に示す概略構成図である。この検査装置１００は、電気的な判定を行う検査回路を含む制御部１１０と、この制御部１１０に接続された駆動部１２０と、この駆動部１２０によって駆動される検査機構１３０とを備えている。検査機構１３０には、検査冶具１０が取り付けられる第１支持盤１３１と、この第１支持盤１３１に対向配置される第２支持盤１３２と、第１支持盤１３１と第２支持盤１３２を相対的に接離可能に移動させる移動機構１３３とを有する。この移動機構１３３は、ボールネジ機構や油圧機構などによって構成され、駆動部１２０によって駆動される。

第１支持盤１３１に取付固定された検査冶具１０の電極１６は配線１７を介して配線１１１に接続され、この配線１１１を介して制御部１１０に導電接続されている。また、第２支持盤１３２上には検査対象Ｗ（回路基板など）が位置決めされた状態で載置される。そして、制御部１１０の制御信号によって駆動部１２０が移動機構１３３を駆動し、第１支持盤１３１が第２支持盤１３２に向けて接近し、所定圧力で検査冶具１０を検査対象Ｗに押し付ける。検査冶具１０の各プローブ１４が検査対象Ｗに導通すると、制御部１１０は配線１１１を介して検査冶具１０に対して所定の信号を供給したり、検査冶具１０で検出した電位などを受け取ったりすることにより、検査対象Ｗの電気的試験を行う。

次に、以上説明した実施の形態１の検査冶具１０の作用効果について説明する。本形態の検査冶具１０を組み立てる場合には、まず、複数のプローブ１４を先端側支持体１１と後端側支持体１２とに挿通させた後に、支持柱１３によって先端側支持体１１と後端側支持体１２を連結固定し、その後、電極支持体１５を後端側支持体１２に対して取付固定する。

また、プローブ１４を交換する場合には、まず、電極支持体１５を後端側支持体１２から取り外し、その後、さらに支持板１２３を取り外して後端側支持体１２（支持板１２１、１２２）の後端側挿通孔１２Ｘからプローブ１４を抜き取る。このとき、プローブ１４の先端側部分１４ｓは、後端側挿通孔１２Ｘの傾斜方向にずれた位置（すなわち、傾斜部の傾斜した側にずれた位置）に配置されているので、傾斜したプローブ案内方向Ｖ１を有する後端側挿通孔１２Ｘに沿ってプローブ１４を容易に抜き取ることができる。また、新たなプローブ１４を後端側支持体１２（支持板１２１、１２２）の後端側挿通孔１２Ｘに挿入し、そのまま先端側部分１４ｓを、先端側支持体１１の先端側挿通孔１１Ｘに挿通する。このとき、先端側挿通孔１１Ｘは、後端側挿通孔１２Ｘに対してそのプローブ案内方向Ｖ１の傾斜側にずれた位置（すなわち、傾斜部の傾斜した側にずれた位置）にあるので、プローブ１４を容易に先端側支持体１１に挿通させることができる。その後、支持板１２３を固定し、完成した後端側支持体１２とする。これによって、プローブ１４は先端部位１４ｔ側からも後端部位１４ｖ側からも抜け出ることがなくなる。

特に、本形態において、あるプローブ１４の先端側部分１４ｓが導入される先端側挿通孔１１Ｘの後端側の開口位置は、そのプローブ１４の後端側部分１４ｕが導入される後端側挿通孔１２Ｘから見て、その後端側挿通孔１２Ｘのプローブ案内方向Ｖ１に配置されている。そのため、後端側支持体１２の後方からプローブ１４を後端側挿通孔１２Ｘに挿通したとき、プローブ１４が直線状に構成されていれば、そのままプローブ１４は後端側挿通孔１２Ｘのプローブ案内方向Ｖ１に伸び、プローブ１４の先端側部分１４ｓは先端側支持体１１の先端側挿通孔１１Ｘの後端側の開口位置に到達するから、プローブ１４の挿入作業をきわめて容易に行うことができる。

本形態では、先端側支持体１１と後端側支持体１２の間にあるプローブ１４の中間部分は、後端側挿通孔１２Ｘ内において後端側部分１４ｕが傾斜した方向に傾斜して伸び、そのまま先端側挿通孔１１Ｘに導入された状態となる。これによって、プローブ１４の先端部位１４ｔが検査対象に当接して押し込まれると、上記のように傾斜姿勢にあったプローブ１４の中間部分は容易に撓み（屈曲し）、また、その中間部分の撓み方向（屈曲姿勢）がその傾斜方向に規制される。

後端側挿通孔１２Ｘのプローブ案内方向Ｖ１の傾斜の向きは、複数の後端側挿通孔１２Ｘにおいて相互に同一であることが好ましく、本形態では、そのように構成されている。そのため、複数のプローブ１４の配列ピッチが小さくても、検査時においてプローブ１４が撓んだときに、プローブ１４の中間部分が相互に接触しにくくなるため、プローブ１４と検査対象との間に生ずるコンタクト圧がプローブ１４の撓み量に対して安定し、また、複数のプローブ１４のコンタクト圧も均一化される。

図７は、本形態の構成を用いたときの、プローブ１４と検査対象との間のコンタクト抵抗値と、プローブの押し込み量との関係を示すグラフである。ここで、プローブの抵抗値は３００ｍΩ、配線の抵抗値は５００ｍΩであった。このグラフに示すように、プローブの押し込み量がきわめて小さい領域（押し込み量が０．０４ｍｍ以上０．１ｍｍ以下の領域）においても安定したコンタクト状態が得られている。また、プローブ間のコンタクト抵抗の特性差もきわめて小さいことがわかる。

［実施の形態２］
図８は、本発明の実施の形態２にかかる後端側支持体１２の図４に示す断面とは異なる断面の構造を示す拡大部分断面図である。図９は、本発明の実施の形態２にかかる検査治具の一部の断面構造を示す縦断面図である。図１０は、本発明の実施の形態２にかかるプローブ１４の先端部位１４ｔと後端部位１４ｖとの配置関係を図９のＺ方向から示す図である。

上述した実施の形態１では、後端側挿通孔１２Ｘのプローブ案内方向Ｖ１の傾斜の方向は、複数の後端側挿通孔１２Ｘにおいて先端側挿通孔１１Ｘのプローブ案内方向に対して相互に同一であるように構成されている。一方、実施の形態２では、後端側挿通孔のプローブ案内方向の傾斜の方向は、隣接する複数の後端側挿通孔において先端側挿通孔１１Ｘのプローブ案内方向に対して交互に異なるように構成されており、この点が実施の形態１の構成と実施の形態２の構成との主要な相違点となっている。したがって、以下では、この相違点を中心に本形態の構成を説明する。なお、本形態では、上記の構成を除く他の構成は実施の形態１の構成と共通するため、同一の構成に対しては同一の符号を付するとともに、共通する部分についての詳細な説明は省略する。あるいは、実施の形態１と共通する部分についての図示および説明は省略する。

実施の形態２では、後端側支持体１２を構成する各支持板１２１、１２２、１２３の所定部位には、実施の形態１と同様、図４に示すように、それぞれ貫通孔１２１ａ、１２２ａ、１２３ａが形成されている。これらの貫通孔１２１ａ、１２２ａ、１２３ａによって、所定部位において、プローブ１４の後端側部分１４ｕが挿通される１つの後端側挿通孔１２Ｘが構成されている。

また、各支持板１２１、１２２、１２３の図４に示す部位と異なる他の部位には、図８に示すように、それぞれ貫通孔１２１ｂ、１２２ｂ、１２３ｂが形成されている。これらの貫通孔１２１ｂ、１２２ｂ、１２３ｂによって、他の部位においてプローブ１４の後端側部分１４ｕが挿通される１つの後端側挿通孔１２Ｙが構成されている。この後端側挿通孔１２Ｙは、先端側挿通孔１１Ｘのプローブ案内方向に対して傾斜したプローブ案内方向Ｖ２を有している。すなわち、３つの貫通孔１２１ｂ、１２２ｂ、１２３ｂは、それぞれの中心が少しずつずれた状態で形成されている。より具体的には、図８に示すように、貫通孔１２１ｂ、１２２ｂ、１２３ｂの順でその中心が図示左方向に少しずつずれた状態で、３つの貫通孔１２１ｂ、１２２ｂ、１２３ｂが形成されている。そのため、プローブ案内方向Ｖ２は、後端側支持体１２の表面と直交する法線ｎ１に対して図８で時計方向に角度θ１だけ傾斜している。

また、貫通孔１２１ｂは、貫通孔１２１ａの小径孔１２１ａ１および大径孔１２１ａ２と同様の小径孔１２１ｂ１および大径孔１２１ｂ２とから構成され、貫通孔１２２ｂは、貫通孔１２２ａの小径孔１２２ａ１および大径孔１２２ａ２と同様の小径孔１２２ｂ１と大径孔１２２ｂ２とから構成され、貫通孔１２３ｂは、貫通孔１２３ａの小径孔１２３ａ１および大径孔１２３ａ２と同様の小径孔１２３ｂ１と大径孔１２３ｂ２とから構成されている。

後端側支持体１２には、図９および図１０に示すように、その表面と直交する法線ｎ１に対してプローブ案内方向Ｖ１が反時計方向に角度θ１だけ傾斜した後端側挿通孔１２Ｘ、法線ｎ１に対してプローブ案内方向Ｖ２が時計方向に角度θ１だけ傾斜した後端側挿通孔１２Ｙ、法線ｎ１に対してプローブ案内方向が反時計方向に角度θ１よりも大きい角度θ２だけ傾斜した後端側挿通孔１２Ｘ１、および、法線ｎ１に対してプローブ案内方向が時計方向に角度θ２だけ傾斜した後端側挿通孔１２Ｙ１がこの順番で、かつ、この順番を繰り返しながら、隣接するようにプローブ１４の数に対応する数だけ形成されている。

すなわち、図９および図１０に示すように、上述した４種類の隣接する後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙ、１２Ｘ１、１２Ｙ１のプローブ案内方向は交互に、先端側挿通孔１１Ｘの配列方向（図示上下方向）Ａに直交する一方向（図示右方向）Ｂと、一方向Ｂと反対方向である他方向（図示左方向）Ｃとの互いに異なる方向に傾斜するようになっている。

このように、隣接する後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙ、１２Ｘ１、１２Ｙ１は、後端側支持体１２の表面と直交する法線ｎ１に対して、プローブ案内方向が交互に異なる方向へ傾斜するように形成されている。また、後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙの傾斜の角度θ１と、後端側挿通孔１２Ｘ１、１２Ｙ１の傾斜の角度θ２とが異なるように、後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙ、１２Ｘ１、１２Ｙ１が形成されている。すなわち、後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙ、１２Ｘ１、１２Ｙ１のプローブ案内方向が傾斜する角度として、２つの異なる傾斜角度θ１、θ２が設定されている。

換言すると、本形態では、プローブ１４の先端部位１４ｔに対して後端部位１４ｖが、図１０の一方向Ｂおよび他方向Ｃ（左右方向）にオフセットされるとともに、先端側挿通孔１１Ｘの配列方向Ａ（上下方向）で隣接する後端部位１４ｖのオフセット量が異なるようになっている。たとえば、本形態では、図１０に示すように、後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙに挿通される後端部位１４ｖの先端部位１４ｔに対するオフセット量Ｌ１は０．３５ｍｍ、後端側挿通孔１２Ｘ１、１２Ｙ１に挿通される後端部位１４ｖの先端部位１４ｔに対するオフセット量Ｌ２は０．７５ｍｍとなっている。

なお、本形態では、後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙ、１２Ｘ１、１２Ｙ１に挿通される後端部位１４ｖのオフセット量として２つのオフセット量が設定されているが、設定されるオフセット量は１つであっても良いし、３つ以上のオフセット量を設定しても良い。すなわち、本形態では、後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙ、１２Ｘ１、１２Ｙ１のプローブ案内方向が傾斜する角度として２つの異なる傾斜角度θ１、θ２が設定されているが、設定されるプローブ案内方向の傾斜角度は１つであっても良いし、３つ以上の傾斜角度を設定しても良い。

以上説明したように、本形態では、隣接する複数の後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙ、１２Ｘ１、１２Ｙ１のプローブ案内方向は、先端側挿通孔１１Ｘのプローブ案内方向に対して異なる方向に傾斜するように構成されている。そのため、プローブ１４の先端部位１４ｔの配列ピッチを小さく構成しても、複数のプローブ１４の後端部位１４ｖの相互間の距離を大きくとることができる。たとえば、先端部位１４ｔの配列ピッチを８０μｍとしても、後端部位１４ｖの相互間の距離を大きくとることができる。したがって、プローブ１４の後端部位１４ｖが当接する電極の配置が容易になる。

また、複数のプローブ１４の後端部位１４ｖの相互間の距離を大きくとることができるため、電極１６を大きく形成することができる。たとえば、５０μｍの径を有するプローブ１４に対して３００μｍ（０．３ｍｍ）径を有する電極部１６を形成することができる。したがって、先端側挿通孔１１Ｘや後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙ、１２Ｘ１、１２Ｙ１の加工精度、あるいは、電極１６の位置精度が低い場合であっても、プローブ１４の後端部位１４ｖと電極１６とを確実に当接させることができる。

本形態では、隣接する複数の後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙ、１２Ｘ１、１２Ｙ１のプローブ案内方向は交互に、先端側挿通孔１１Ｘの配列方向Ａに直交する一方向Ｂと、一方向Ｂの反対方向である他方向Ｃとの異なる方向に傾斜している。そのため、後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙ、１２Ｘ１、１２Ｙ１に挿通されたプローブ１４の後端部位１４ｖを規則正しく配列できる。したがって、プローブ１４の後端部位１４ｖが当接する電極１６を効率よく配置することができる。

本形態では、複数の後端側挿通孔１２Ｘ、１２Ｙ、１２Ｘ１、１２Ｙ１のプローブ案内方向が傾斜する角度として、２つの異なる傾斜角度θ１、θ２が設定されている。そのため、プローブ案内方向が傾斜する角度として１つの傾斜角度（たとえば、角度θ１）のみを設定する場合と比較して、複数のプローブ１４の後端部位１４ｖの相互間の距離をより大きくとることができる。したがって、プローブ１４の後端部位１４ｖが当接する電極１６の配置がより容易になる。また、電極１６を大きく形成することができため、プローブ１４の径を小さく構成しても、プローブ１４の後端部位１４ｖと電極１６とをより確実に当接させることができる。

［他の実施の形態］
上述した各形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形可能である。たとえば、上述した各形態の先端側支持体１１に代え、図１１に示すような先端側支持体１１´を用いても良い。この先端側支持体１１´は２枚の支持板１１１´および１１２´が積層されて構成されている。また、支持板１１１´に設けられた貫通孔１１１ａ´と、支持板１１２に設けられた貫通孔１１２ａ´とによって先端側挿通孔１１Ｘ´が構成されている。

より具体的には、小径孔１１１ａ１´と小径孔１１１ａ１´より大径の大径孔１１１ａ２´とから構成される貫通孔１１１ａ´と、小径孔１１２ａ１´と小径孔１１２ａ１´より大径の大径孔１１２ａ２´とから構成される貫通孔１１２ａ´とが同心状に形成されている。この先端側挿通孔１１Ｘ´には、プローブ１４の電気絶縁被覆１４ｂの端縁１４ｂｓが後方から係合するように構成されている。すなわち、プローブ１４が先端側に移動しようとすると、電気絶縁被覆１４ｂの端縁１４ｂｓが支持板１１２´における貫通孔１１２ａ´の開口縁１１２ｂに係止されるので、プローブ１４が検査対象側に抜け落ちることが防止される。

この先端側支持体１１´は、２枚の支持板１１１´および１１２´だけで構成されるが、先端側挿通孔１１Ｘ´の最も先端側と後端側には、それぞれ小径の小径孔１１１ａ１´と小径孔１１２ａ１´とが設けられているので、充分な先端側挿通孔１１Ｘ´の長さ、すなわち、プローブ案内長さを確保できる。

また、上述した各形態の後端側支持体１２に代え、図１２に示すような後端側支持体１２´を用いるとともに、位置決め板１８を用いても良い。これらの後端側支持体１２´と位置決め板１８とは積層状態で固定されるが、位置決め板１８は後端側支持体１２´から簡単に取り外しができるように構成されている。また、位置決め板１８は、後端側支持体１２´と電極支持体１５の間に配置されている。

この後端側支持体１２´は支持板１２１、１２２および１２３´が積層されることにより構成され、各支持板１２１、１２２、１２３´の貫通孔１２１ａ、１２２ａおよび１２３ａ´によって後端側挿通孔１２Ｘ´が構成される。なお、貫通孔１２３ａ´は、小径孔１２３ａ１´と小径孔１２３ａ１´より大径の大径孔１２３ａ２´とから構成されている。

また、位置決め板１８にはプローブ１４の後端部位１４ｖを位置決めするための位置決め孔１８ａが形成されている。この位置決め孔１８ａは、後端側挿通孔１２Ｘ´の内径、特に、後端側挿通孔１２Ｘ´の最も後端側の貫通孔１２３ａ´の小径孔１２３ａ１´の内径よりも小さく構成されている。したがって、後端側挿通孔１２Ｘ´に挿通されたプローブ１４の後端側部分１４ｕの位置にある程度余裕があっても、位置決め板１８の位置決め孔１８ａによってプローブ１４の後端部位１４ｖはより正確に位置決めできるので、電極１６に対する導電接触状態の信頼性を高めることができる。また、電極１６に対する導電接触状態が位置決め板１８によって保障されるので、後端側挿通孔１２Ｘ´の内径をある程度大きくすることが可能になる。

ここで、プローブ１４を交換する場合には、位置決め板１８を取り外すことにより、プローブ１４の後端部位１４ｖが後端側支持体１２´の後方に突出した状態となり、しかも、後端側挿通孔１２Ｘ´は上述のように大きな内径に構成できるので、プローブ１４を後方へ抜き取ったり、あるいは、新たなプローブ１４を装着したりすることがきわめて容易になる。

さらに、隣接する後端側挿通孔のプローブ案内方向を、図１３または図１４に示すような方向としても良い。ここで、図１３および図１４では、図１０と同様に、プローブ１４の先端部位１４ｔと後端部位１４ｖとの配置関係を図９のＺ方向から示している。すなわち、図１３に示すように、隣接する後端側挿通孔のプローブ案内方向を、一方向Ｂから図示反時計方向に角度α１だけ傾いた方向で、かつ、一方向Ｂに向かって傾斜する方向と、他方向Ｃから図示時計方向に角度α２だけ傾いた方向で、かつ、他方向Ｃに向かって傾斜する方向との２つの方向としても良い。このとき、角度α１と角度α２とは同一であっても良いし、異なっていても良い。また、図１４に示すように、隣接する後端側挿通孔のプローブ案内方向を、一方向Ｂから図示時計方向に角度β１だけ傾いた方向で、かつ、一方向Ｂに向かって傾斜する方向と、他方向Ｃから図示時計方向に角度β２だけ傾いた方向で、かつ、他方向Ｃに向かって傾斜する方向との２つの方向としても良い。このとき、角度β１と角度β２とは同一であっても良いし、異なっていても良い。

さらにまた、上述した各形態では、先端側支持体１１、１１´および後端側支持体１２、１２´をそれぞれ複数の支持板１１１等が積層された構造としているが、それぞれを単一の部材により構成しても構わない。また、上述した各形態の支持板１１１等には、小径孔１１１ａ１等と大径孔１１１ａ２等とから構成される貫通孔１１１ａ等が形成されているが、貫通孔は軸線方向に同じ開口断面を有する形状に構成されていてもよい。

また、上述した各形態では、先端側挿通孔１１Ｘが、先端側支持体１１の対向面１１ａに直交するとともに、後端側挿通孔１２Ｘが、先端側支持体１１の対向面１１ａの直交方向に対して傾斜する傾斜部となっている。また、プローブ１４の先端側部分１４ｓは、後端側挿通孔１２Ｘの傾斜方向にずれた位置、すなわち、傾斜部の傾斜した側にずれた位置に配置されている。しかし、図１５に示すように、後端側挿通孔５２Ｘを先端側支持体５１の対向面５１ａに対して直交するように形成するとともに、先端側挿通孔５１Ｘが、対向面５１ａの直交方向に対して傾斜する傾斜部を備えるように構成し、プローブ１４の後端側部分１４ｕが、傾斜部の傾斜した側（傾斜方向）にずれた位置に配置されるようにしても良い。

より具体的には、以下のように構成しても良い。たとえば、先端側支持体５１の検査対象に対向する対向面５１ａに直交する貫通孔２１１ａを有する支持板２１１と、対向面５１ａの直交方向に対して傾斜する貫通孔２１２ａを有する支持板２１２とを積層して先端側支持体５１を構成する。先端側挿通孔５１Ｘは、貫通孔２１１ａと貫通孔２１２ａとから構成され、貫通孔２１２ａが形成された部分が、先端側挿通孔５１Ｘの傾斜部となっている。また、後端側支持体５２には、対向面５１ａに直交する方向に後端側挿通孔５２Ｘが形成されている。さらに、プローブ１４の後端側部分１４ｕが、先端側部分１４ｓに対して、先端側挿通孔５１Ｘの傾斜部の傾斜した側（傾斜方向）にずれた位置に配置されている。

このように構成した場合には、先端側挿通孔５１Ｘから図示上側へプローブ１４を抜き取ったり、図示上側から先端側挿通孔５１Ｘにプローブ１４を挿通する。このように構成した場合であっても、上述した実施の形態１に記載した効果と同様の効果を得ることができる。たとえば、傾斜部の傾斜方向とプローブ１４の傾斜姿勢の向きとがほぼ一致するため、容易にプローブ１４を抜き取ることができる。また、後端側挿通孔５２Ｘが、先端側挿通孔５１Ｘの傾斜部の傾斜方向にずれた位置に配置されているので、プローブ１４を容易に後端側支持体５２に挿通させることができる。

また、図１６に示すように、先端側挿通孔５１Ｘの傾斜部に加え、後端側挿通孔６２Ｘが対向面５１ａの直交方向に対して傾斜する傾斜部を備えるように構成するとともに、先端側挿通孔５１Ｘの傾斜部の傾斜方向と、後端側挿通孔６２Ｘの傾斜部の傾斜方向とが略一致するように、先端側挿通孔５１Ｘと後端側挿通孔６２Ｘとを配置しても良い。すなわち、プローブ１４の先端側部分１４ｓおよび後端側部分１４ｕのいずれか一方は、先端側部分１４ｓおよび後端側部分１４ｕのいずれか他方に対して、傾斜部の傾斜した側にずれた位置に配置されるようにしても良い。

より具体的には、以下のように構成しても良い。たとえば、上述のように、対向面５１ａに直交する貫通孔２１１ａを有する支持板２１１と、対向面５１ａの直交方向に対して傾斜する貫通孔２１２ａを有する支持板２１２とを積層して先端側支持体５１を構成する。また、対向面５１ａに直交する貫通孔２２２ａを有する支持板２２２と、対向面５１ａの直交方向に対して傾斜する貫通孔２２１ａを有する支持板２２１とを積層して後端側支持体６２を構成する。先端側挿通孔５１Ｘは、貫通孔２１１ａと貫通孔２１２ａとから構成され、貫通孔２１２ａが形成された部分が、先端側挿通孔５１Ｘの傾斜部となっている。また、後端側挿通孔６２Ｘは、貫通孔２２１ａと貫通孔２２２ａとから構成され、貫通孔２２１ａが形成された部分が、後端側挿通孔６２Ｘの傾斜部となっている。さらに、先端側挿通孔５１Ｘの傾斜部の傾斜方向と、後端側挿通孔６２Ｘの傾斜部の傾斜方向とが略一致するように、先端側挿通孔５１Ｘと後端側挿通孔６２Ｘとが配置されるとともに、プローブ１４の先端側部分１４ｓおよび後端側部分１４ｕのいずれか一方は、先端側部分１４ｓおよび後端側部分ｕのいずれか他方に対して、傾斜部の傾斜した側にずれた位置に配置されている。

このように構成した場合には、先端側挿通孔５１Ｘの上側へ、または後端側挿通孔６２Ｘから下側へプローブ１４を抜き取ったり、上側から先端側挿通孔５１Ｘに、または下側から後端側挿通孔６２Ｘにプローブ１４を挿通する。このように構成した場合であっても、上述した実施の形態１に記載した効果と同様の効果を得ることができる。たとえば、傾斜部の傾斜方向とプローブ１４の傾斜姿勢の向きとがほぼ一致するため、容易にプローブ１４を抜き取ることができる。また、上側から先端側挿通孔５１Ｘにプローブ１４を挿通する場合には、後端側挿通孔６２Ｘが、先端側挿通孔５１Ｘの傾斜部の傾斜方向にずれた位置に配置されているので、プローブ１４を容易に後端側支持体６２に挿通させることができ、下側から後端側挿通孔６２Ｘにプローブ１４を挿通する場合には、先端側挿通孔５１Ｘが、後端側挿通孔６２Ｘの傾斜部の傾斜方向にずれた位置に配置されているので、プローブ１４を容易に先端側支持体５１に挿通させることができる。なお、先端側支持体や後端側支持体での支持板の積層数に２枚には限定されない。

本発明の実施の形態１にかかる検査冶具の構造を示す概略斜視図である。 図１に示す検査冶具の断面構造を示す縦断面図である。 図１に示す先端側支持体の断面構造を示す拡大部分断面図である。 図１に示す後端側支持体の断面構造を示す拡大部分断面図である。 本発明の実施の形態１にかかるプローブの後端部位と電極との導電接触状態を示す拡大部分斜視図である。 図１に示す検査冶具を搭載してなる検査装置の概略構成を示す概略構成図である。 図１に示す検査冶具を所定の検査対象に適用した場合におけるコンタクト抵抗値とプローブの押し込み量との関係を示すグラフである。 本発明の実施の形態２にかかる後端側支持体の図４に示す断面とは異なる断面の構造を示す拡大部分断面図である。 本発明の実施の形態２にかかる検査治具の一部の断面構造を示す縦断面図である。 本発明の実施の形態２にかかるプローブの先端部位と後端部位との配置関係を図９のＺ方向から示す図である。 本発明の他の形態にかかる先端側支持体の断面構造を示す拡大部分断面図である。 本発明の他の形態にかかる後端側支持体の断面構造を示す拡大部分断面図である。 本発明の他の形態にかかるプローブの先端部位と後端部位との配置関係を図９のＺ方向から示す図である。 本発明の他の形態にかかるプローブの先端部位と後端部位との配置関係を図９のＺ方向から示す図である。 本発明の他の形態かかる先端側支持体および後端側支持体の断面構造を示す拡大部分断面図である。 本発明の他の形態かかる先端側支持体および後端側支持体の断面構造を示す拡大部分断面図である。

符号の説明

１０ 検査冶具
１１、１１´、５１ 先端側支持体
１１ａ、５１ａ 対向面
１１Ｘ、１１Ｘ´５１Ｘ 先端側挿通孔
１２、１２´５２、６２ 後端側支持体
１２Ｘ、１２Ｘ´、１２Ｘ１、１２Ｙ、１２Ｙ１、５２Ｘ、６２Ｘ 後端側挿通孔
１４ プローブ
１４ｓ 先端側部分
１４ｕ 後端側部分
１５ 電極支持体
１６ 電極
１８ 位置決め板
１８ａ 位置決め孔
１００ 検査装置
１１０ 制御部（電気的検査手段）
Ａ 先端側挿通孔の配列方向
Ｂ 一方向
Ｃ 他方向
Ｖ１ プローブ案内方向
Ｖ２ プローブ案内方向
Ｗ 検査対象
θ１、θ２ 角度（傾斜角度）

Claims (10)

1. 検査対象に向くプローブ案内方向を有する先端側挿通孔を備えた先端側支持体と、
   上記先端側支持体の後方に間隔を介して配置され、上記先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して傾斜したプローブ案内方向を有する後端側挿通孔を備えた後端側支持体と、
   その先端が上記検査対象側において出没可能となるように上記先端側挿通孔に挿通された先端側部分および上記後端側挿通孔に挿通された後端側部分を有する屈曲可能で弾性を備えたプローブと、
   上記後端側支持体の後方に配置され、上記後端側部分に当接する電極と、
   を具備し、
   上記プローブの上記先端側部分は、上記後端側部分に対して上記後端側挿通孔のプローブ案内方向の傾斜した側にずれた位置に配置されていることを特徴とする検査冶具。
2. 前記先端側挿通孔の後端側の開口位置は、前記後端側挿通孔から見て前記後端側挿通孔のプローブ案内方向に配置されていることを特徴とする請求項１記載の検査冶具。
3. 前記先端側挿通孔、前記後端側挿通孔および前記プローブは複数設けられ、上記複数の後端側挿通孔のプローブ案内方向は、前記先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して同じ方向に傾斜していることを特徴とする請求項１または２記載の検査冶具。
4. 前記先端側挿通孔、前記後端側挿通孔および前記プローブは複数設けられ、隣接する上記複数の後端側挿通孔のプローブ案内方向は、前記先端側挿通孔のプローブ案内方向に対して異なる方向に傾斜していることを特徴とする請求項１または２記載の検査冶具。
5. 前記隣接する複数の後端側挿通孔のプローブ案内方向は交互に、前記先端側挿通孔の配列方向に直交する一方向と、該一方向の反対方向である他方向との異なる方向に傾斜していることを特徴とする請求項４記載の検査冶具。
6. 前記複数の後端側挿通孔のプローブ案内方向が傾斜する角度として、複数の異なる傾斜角度が設定されていることを特徴とする請求項４または５記載の検査治具。
7. 前記電極を支持する電極支持体を有し、前記後端側支持体と上記電極支持体とが着脱可能に構成されていることを特徴とする請求項１から６いずれかに記載の検査冶具。
8. 前記後端側支持体と前記電極との間には位置決め板が着脱可能に配置され、上記位置決め板には、前記後端側挿通孔に連通し、前記後端側挿通孔よりも小径に構成された位置決め孔が設けられていることを特徴とする請求項１から７いずれかに記載の検査冶具。
9. 所定のプローブ案内方向を有する先端側挿通孔と、検査対象に対向する対向面とを備えた先端側支持体と、
   上記先端側支持体の後方に間隔を介して配置され、所定のプローブ案内方向を有する後端側挿通孔を備えた後端側支持体と、
   その先端が上記検査対象側において出没可能となるように上記先端側挿通孔に挿通された先端側部分および上記後端側挿通孔に挿通された後端側部分を有する屈曲可能で弾性を備えたプローブと、
   上記後端側支持体の後方に配置され、上記後端側部分に当接する電極と、
   を具備し、
   上記先端側挿通孔および上記後端側挿通孔の少なくともいずれか一方は、そのプローブ案内方向が上記対向面の直交方向に対して傾斜する傾斜部を備え、
   上記プローブの上記先端側部分および上記後端側部分のいずれか一方は、上記先端側部分および上記後端側部分のいずれか他方に対して、上記傾斜部の傾斜した側にずれた位置に配置されていることを特徴とする検査冶具。
10. 請求項１から９のいずれかに記載の検査冶具と、該検査冶具の前記複数の電極に導電接続された電気的検査手段とを有することを特徴とする検査装置。

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