JP2007178404A - コンタクトプローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査物に接触するプランジャー1と検査装置側の接続端子31に接触するプランジャー2と各プランジャー1,2間に設けられるワイヤー3とを有し、前記被検査物に応じて選択された所望の特性をもつ各プランジャー1,2と前記被検査物に応じて選択された所望の特性をもつワイヤー3とを組み合わせ、密巻ばね継手4,5を用いて機械的に接続する。
【選択図】 図2
Description
図1は、この発明の実施の形態1であるコンタクトプローブの実装状態を示す断面図である。また、図2は、図1に示したコンタクトプローブが所望のストロークで被検査物に接触している状態を示す断面図である。図1および図2において、このコンタクトプローブ10は、被検査物に接触する先端側が錘状に形成された円柱状のプランジャー1と、検査装置側の接続端子31に接触する先端が錘状に形成された円柱状のプランジャー2と、各プランジャー1,2間を結合して所望のばね係数をもつ円柱状のワイヤー3とを有する。プランジャー1の後端とワイヤー3の一端とは、密巻ばね継手4によって機械的に接続される。密巻ばね継手4は、密巻ばね部4a,4cとこれらの間に挟まれるピッチ巻ばね部4bとからなり、ピッチ巻きばね部4bが半田やロウ付けされることによってプランジャー1とワイヤー3とが接続される。また、プランジャー2の後端とワイヤー3とは、密巻ばね継手5によって機械的に接続され、密巻ばね継手5は、密巻ばね継手4と同様に、密巻ばね部の間にピッチばね部を有し、このピッチばね部が半田やロウ付けされることによってプランジャー2とワイヤー3とが接続される。このような密巻ばね部4a,4cを設けることによって、ピッチばね部4bにのった半田が広がるのを防止することができる。
つぎに、この発明の実施の形態2について説明する。上述した実施の形態1では、開口部21a,22aの中心軸が一致するように形成していたが、この実施の形態2では、開口部21a、22aの中心軸をずらすようにしている。
つぎに、この発明の実施の形態3について説明する。この実施の形態3では、実施の形態1で示したコンタクトプローブ10のワイヤー3に密巻ばね40をさらに設けている。
つぎに、この発明の実施の形態4について説明する。上述した実施の形態1〜3では、いずれも、コンタクトプローブの両端にプランジャーを接続するようにしていたが、この実施の形態4では、被検査物側のプランジャーのみをワイヤーに接続し、検査装置側のプランジャーを設けない構造としている。
つぎに、この発明の実施の形態5について説明する。上述した実施の形態4では、プランジャー1とワイヤー53とを密巻ばね継手4および半田接合などによって接続するようにしていたが、この実施の形態5では、密巻ばね継手4を用いずにプランジャーとワイヤーとを接続するようにしている。
3,53,63 ワイヤー
4,5 密巻ばね継手
4a,4c 密巻ばね部
4b ピッチばね部
6 抜け止め部
10,11,40,50,60 コンタクトブロック
14 パイプ継手
20 プローブブロック
21 上側絶縁部
21a,22a 開口部
22 下側絶縁部
23 側壁絶縁部
30 接続ブロック
31 接続端子
41 密巻ばね
C1,C2 中心軸
Claims (9)
- 被検査物に接触するプランジャーと検査装置側の接続端子に接触するプランジャーと各プランジャー間に設けられるワイヤーとを有し、前記被検査物に応じて選択された所望の特性をもつ各プランジャーと前記被検査物に応じて選択された所望の特性をもつワイヤーとを組み合わせて機械的に接続したことを特徴とするコンタクトプローブ。
- 被検査物に接触するプランジャーと一端を該プランジャーに接続するとともに他端を検査装置側の接続端子に接触するワイヤーとを有し、前記被検査物に応じて選択された所望の特性をもつ前記プランジャーと前記検査物に応じて選択された所望の特性をもつワイヤーとを組み合わせて機械的に接続したことを特徴とするコンタクトプローブ。
- 前記ワイヤーの他端はバレル研磨処理されることを特徴とする請求項2に記載のコンタクトプローブ。
- 前記プランジャーと前記ワイヤーとは、パイプ継手を用いて機械的に接続されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のコンタクトプローブ。
- 前記プランジャーと前記ワイヤーとは、密巻コイルばねを用いて機械的に接続されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のコンタクトプローブ。
- 前記ワイヤーは、所望ピッチ巻きのコイルばねによって被われることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のコンタクトプローブ。
- 前記プランジャーの摺動方向に対して、各プランジャーの位置、あるいは前記プランジャーと前記ワイヤーの他端との位置にオフセットをもたせ、前記ワイヤー全体をS字状に撓ませることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載のコンタクトプローブ。
- 前記プランジャーは、切削加工時あるいは電鋳加工時に前記ワイヤーを結合する溝が形成されることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載のコンタクトプローブ。
- 前記ワイヤーは、低抵抗材料のめっきが施されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載のコンタクトプローブ。
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