JP5776687B2 - 検査用接触子及び検査用治具 - Google Patents

Description

本発明は、被検査物の検査対象部上に予め設定される検査点とこの検査を実施する検査装置とを電気的に接続する検査用治具及び検査用治具に使用される検査用接触子に関する。

検査用接触子が取り付けられる検査用治具は、この検査用接触子を経由して、被検査物が有する検査対象部に、検査装置から電流或いは電気信号を所定検査位置に供給するとともに、検査対象部から電気信号を検出することによって、検査対象部の電気的特性の検出、動作試験の実施等をする。

被検査物としては、例えば、プリント配線基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や、半導体ウェハや半導体チップやCSP(Chip size package)などの半導体装置が該当する。

本明細書では、これらの上記の被検査物を総称して「被検査物」とし、被検査物に形成される検査対象部を「検査部」と称する。尚、検査部には、この検査部の電気的特性を実際に検査するための検査点が設定され、この検査点に接触子を圧接させることにより、検査部と導通状態となる。

被検査物が例えば基板であり、それに搭載されるものがＩＣ等の半導体回路や抵抗器やコンデンサなどの電気・電子部品の場合には、基板に形成された検査対象部が配線や電極になる。その場合には、検査対象部の配線が、それらに電気信号を正確に伝達できることを保証するために、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルの配線が形成された回路基板に設けられた検査点間の抵抗値やリーク電流等の電気的特性を測定し、その測定結果に基づいて、その配線の良否を判断している。

被検査物が、LSIである場合には、LSIに形成される電子回路が検査対象部となり、この電子回路の表面パッドが夫々検査点となる。この場合には、LSIに形成される電子回路が所望の電気的特性を有していることを保証するために、検査点間の電気的特性を測定して、この電子回路の良否が判断される。

従来、被検査物の一実施形態である回路基板には、複数の配線が形成されている。この配線は、回路基板上に搭載される電気・電子部品が所望の機能を有するように、電力を供給したり、電気信号を流したりするために形成されている。このため、配線の不良は、回路基板の動作不良につながることが知られている。

このような問題を解決するために、回路基板などの被検査物に形成される配線のような対象部の良否を判定する検査装置の発明が多数提案されている。

このような検査装置は、例えば、被検査物となる基板上に形成される配線の良否を判断するために、配線上に予め設定される複数の検査点と、夫々に接続される複数の接触子（プローブ）を備える検査用治具を用いて検査が実施される。

このような検査用治具は、接触子の一端が配線（検査部）上の検査点に圧接され、その他端が基板検査装置と電気的に接続される電極部に圧接される。そして、この検査用治具を介して、基板検査装置から配線の電気的特性を測定するための電流や電圧を供給するとともに、配線から検出される電気的信号を基板検査装置へ送信することになる。

近年、技術の進歩により、半導体装置の小形化や、基板の小形化などに伴い、基板上の配線もより微細かつ複雑に形成されるようになっている。このような基板の配線の微細化及び複雑化が進むにつれて、検査用治具が備える接触子も接触子自体の細線化や小型化、接触子間の狭ピッチ化や多ピン化や簡素化が求められている。

ここで、例えば特許文献1に開示されるマイクロコンタクタプローブは、コイルばねにより逆方向に付勢された一対のプランジャが、密巻螺旋部を介して電気的に連結されることにより、インダクタンス及び抵抗の低減を提案している。
この特許文献１には、第二実施形態として、この一対のプランジャより大きい径を有するコイルばねにこの一対のプランジャを挿入して形成されるコンタクトプローブが開示されている。このようにコンタクトプローブを形成することにより、検査点に接触する側のプランジャはより大きな接触圧で接触し、配線プレートに接触する側のプランジャはより小さな接触圧で接触することが可能となる。また、二重構造であるので小スペースで取り付け可能である。

しかしながら、特許文献１に示されるマイクロコンタクタプローブは、巻線を用いたコイルばねにより形成されるため、コイルの直径の４倍程度より小さい径を有するコイルの形成が困難であり、外径が100μｍ以下の巻線コイルばねを形成し、検査用接触子として組み立てることは極めて困難であった。仮に形成することができたとしても、製造コストの問題から２〜４千本の検査用接触子を用いる検査用治具に利用することは高価に成り過ぎるので、実用的ではないという問題点を有していた。また、多数の部品を高精度に組み立てる必要があり、組立に時間を要していた。
更に、狭ピッチ化に対応するために直径を小さくした接触子を製作すると、十分な接触圧が得られないので、検査点表面に形成された酸化膜を十分に破ることができず、検査を行う際に接触抵抗値が安定しないという問題を有していた。

ＷＯ２００１／０９６８３号公報

本発明は、基板の微細化及び複雑化に対応することができるとともに、部品点数を低減して簡素化し、十分な接触圧やストロークを有する微細な接触子及びこの接触子を用いた検査用治具を提供する。

請求項１記載の発明は、被検査対象となる複数の検査点を有する被検査物と、該検査点間の電気的特性を検査する検査装置とを電気的に接続する検査用治具であって、前記検査装置と電気的に接続される電極部を複数備える電極体と、前記電極部と前記検査点を電気的に接続する検査用接触子と、前記検査用接触子の一端を前記電極部へ案内する第一板状部材と、前記検査用接触子の他端を前記検査点へ案内する第二板状部材を有して、該検査用接触子を保持する保持体を備え、前記検査用接触子は、一端開口が前記第二板状部材に当接される外側筒体と、前記外側筒体の内部に且つ同軸に配置されるとともに、該外側筒体の一端開口から延出して配置される内側筒体とを有し、前記外側筒体は、前記第二板状部材と当接する一方開口部を有する外側下筒部と、前記外側下筒部の他方開口部と連通連結されるとともに該外側下筒部と同一径の筒形状に形成されるとともに、該筒形状の壁面に長軸方向の螺旋状の切欠を備える第一切欠部と、前記第一切欠部と同一径の筒形状に形成されるとともに、該第一切欠部と連通連結される外側上筒部を有し、前記内側筒体は、前記検査点と電気的に接続される一端開口部を有する内側下筒部と、前記内側下筒部の他方開口部と連通連結されるとともに該内側下筒部と同一径の筒形状に形成されるとともに、該筒形状の壁面に長軸方向の螺旋状の切欠を備える第二切欠部と、前記第二切欠部と同一径の筒形状に形成されるとともに、該第二切欠部と連通連結される内側上筒部を有し、前記外側筒体と前記内側筒体は、前記外側下筒部と前記内側下筒部で固定される固定部を有してなり、前記内側筒体の内側下筒部が前記検査点に圧接されて検査が実施される場合に、該検査点と前記電極体により前記内側筒体と前記外側筒体が挟持され、前記第一切欠部と前記第二切欠部が収縮されていることを特徴とする検査用治具を提供する。
請求項２記載の発明は、前記内側筒体の内側下筒部が前記検査点と当接していない場合に、前記第二板状部材と前記電極体により、前記外側筒体と前記内側筒体が挟持され、前記第一切欠部及び前記第二切欠部が収縮されていることを特徴とする請求項１記載の検査用治具を提供する。
請求項３記載の発明は、前記内側筒体の内側下筒部が前記検査点と当接していない場合に、前記第一切欠部が、自然長で保持され、前記第二切欠部が、前記内側筒体が前記第二板状部材と前記電極体に挟持されることにより収縮されていることを特徴とする請求項１記載の検査用治具を提供する。
請求項４記載の発明は、前記内側筒体の内側下筒部が前記検査点と当接していない場合に、前記第一切欠部が、前記外側筒体が前記第二板状部材と前記電極体に挟持されることにより収縮され、前記第二切欠部が、自然長で保持されていることを特徴とする請求項１記載の検査用治具を提供する。
請求項５記載の発明は、前記内側筒体は、該内側筒体の前記固定部と前記検査点の間の該内側筒体の周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備えることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の検査用治具を提供する。
請求項６記載の発明は、前記第一切欠部が収縮する長さは、前記電極体表面から前記第二板状部材の表面までの距離と前記外側筒体の長さにより調整されていることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の検査用治具を提供する。
請求項７記載の発明は、被検査対象となる複数の検査点を有する被検査物と、該検査点間の電気的特性を検査する検査装置とを電気的に接続する検査用治具であって、前記検査装置と電気的に接続される電極部を複数備える電極体と、前記電極部と前記検査点を電気的に接続する検査用接触子と、前記検査用接触子を保持する保持体を備え、前記検査用接触子は、先端開口部が前記電極部と当接する電極端となる外側筒体と、前記外側筒体の後端開口部から突出されるとともに該外側筒体内部に電気的に接続されて同軸に配置され、先端開口部が前記検査点に圧接される検査端となる導電性の内側筒体とを備え、前記外側筒体は、前記電極端となる先端開口部を有する外側上筒部と、前記外側上筒部と同一径で、先端開口部が該外側上筒部の後端開口部と連通連結されるとともに、周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備える筒状の第一切欠部と、前記第一切欠部と同一径で、該第一切欠部の後端開口部と連通連結される外側下筒部を有し、前記内側筒体は、前記検査端となる先端開口部を有する内側下筒部と、前記内側下筒部と同一径で、先端開口部が該内側下筒部の後端開口部と連通連結されるとともに、周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備える筒状の第二切欠部と、前記第二切欠部と同一径で、該第二切欠部の後端開口部と連通連結されるとともに、前記外側筒体の内部に配置される内側上筒部とを有し、前記外側筒体と前記内側筒体は、前記外側下筒部と前記内側上筒部を電気的に接続するとともに固定する固定部を有し、前記保持体は、前記外側筒体の電極端を前記電極部へ案内する第一案内孔を有する第一板状部材と、前記第一板状部材と所定間隔を有して配置されるとともに前記内側筒体の検査端を前記検査点へ案内する第二案内孔を有する第二板状部材を備えることを特徴とする検査用治具を提供する。
請求項８記載の発明は、前記外側筒体は、前記検査端と前記検査点が非接触状態である場合において、該外側筒体の先端開口部が電極部に圧接され、後端開口部が前記第二板状部材に圧接されることを特徴とする請求項７記載の検査用治具を提供する。
請求項９記載の発明は、前記内側筒体の後端開口部は、常に前記外側上筒部内に収容されていることを特徴とする請求項７又は８記載の検査用治具を提供する。
請求項１０記載の発明は、前記外側筒体の先端開口部は、該外側筒体の長軸方向に対して直角な端面を有することを特徴とする請求項７乃至９いずれかに記載の検査用治具を提供する。
請求項１１記載の発明は、被検査対象となる被検査物の複数の検査点と、該検査点間の電気的特性を検査する検査装置と電気的に接続される検査用治具の電極体に複数備えられた電極部とを電気的に接続する検査用接触子であって、前記検査用接触子は、先端開口部が前記電極体の表面と当接する電極端となる外側筒体と、前記外側筒体の後端開口部から突出されるとともに該外側筒体内部に電気的に接続されて同軸に配置され、先端開口部が前記検査点に圧接される検査端となる導電性の内側筒体とを備え、前記外側筒体は、前記電極端となる先端開口部を有する外側上筒部と、前記外側上筒部と同一径で、先端開口部が該外側上筒部の後端開口部と連通連結されるとともに、周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備える筒状の第一切欠部と、前記第一切欠部と同一径で、該第一切欠部の後端開口部と連通連結される外側下筒部を有し、前記内側筒体は、前記検査端となる先端開口部を有する内側下筒部と、前記内側下筒部と同一径で、先端開口部が該内側下筒部の後端開口部と連通連結されるとともに、周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備える筒状の第二切欠部と、前記第二切欠部と同一径で、該第二切欠部の後端開口部と連通連結されるとともに、前記内側下筒部が検査点に当接した場合に前記電極部へ圧接される内側上筒部とを有し、前記外側筒体と前記内側筒体は、前記外側下筒部と前記内側下筒部を電気的に接続するとともに固定する固定部を有することを特徴とする検査用接触子を提供する。
請求項１２記載の発明は、前記外側筒体の前記第一切欠部と前記内側筒体の前記第二切欠部のいずれか若しくは両方が収縮した場合に、前記外側筒体の前記先端開口部と前記内側筒体の前記後端開口部が同一平面上に存在することを特徴とする請求項１１記載の検査用接触子を提供する。
請求項１３記載の発明は、前記内側筒体は、該内側筒体の前記固定部と前記検査端の間の該内側筒体の周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備えることを特徴とする請求項１１又は１２記載の検査用接触子を提供する。
請求項１４記載の発明は、前記外側筒体の先端開口部は、該外側筒体の長軸方向に対して直角な端面を有し、前記内側筒体の後端開口部は、該内側筒体の長軸方向に対して直角な端面を有することを特徴とする請求項１１乃至１３いずれかに記載の検査用接触子を提供する。
請求項１５記載の発明は、被検査対象となる被検査物の複数の検査点と、該検査点間の電気的特性を検査する検査装置と電気的に接続される検査用治具の電極体に複数備えられた電極部とを電気的に接続する検査用接触子であって、前記検査用接触子は、先端開口部が前記電極部と当接する電極端となる外側筒体と、前記外側筒体の後端開口部から突出されるとともに該外側筒体内部に電気的に接続されて同軸に配置され、先端開口部が前記検査点に圧接される検査端となる導電性の内側筒体とを備え、前記外側筒体は、前記電極端となる先端開口部を有する外側上筒部と、前記外側上筒部と同一径で、先端開口部が該外側上筒部の後端開口部と連通連結されるとともに、周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備える筒状の第一切欠部と、前記第一切欠部と同一径で、該第一切欠部の後端開口部と連通連結される外側下筒部を有し、前記内側筒体は、前記検査端となる先端開口部を有する内側下筒部と、前記内側下筒部と同一径で、先端開口部が該内側下筒部の後端開口部と連通連結されるとともに、周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備える筒状の第二切欠部と、前記第二切欠部と同一径で、該第二切欠部の後端開口部と連通連結されるとともに、前記外側筒体の内部に配置される内側上筒部とを有し、前記外側筒体と前記内側筒体は、前記外側下筒部と前記内側上筒部を電気的に接続するとともに固定する固定部を有することを特徴とする検査用接触子を提供する。
請求項１６記載の発明は、前記内側筒体の前記後端開口部は、常に前記外側上筒部内に収容されていることを特徴とする請求項１５記載の検査用接触子を提供する。
請求項１７記載の発明は、前記外側筒体の前記先端開口部は、該外側筒体の長軸方向に対して直角な端面を有することを特徴とする請求項１５又は１６記載の検査用接触子を提供する。
請求項１８記載の発明は、前記検査用接触子は、前記内側筒体内に配置された導電性の棒状部材を備え、前記棒状部材は、前記内側上筒部又は前記内側下筒部に固定されるとともに、前記内側筒体の先端開口部から延設されていることを特徴とする請求項１１乃至１７いずれかに記載の検査用接触子を提供する。

請求項１記載の発明によれば、夫々に螺旋状の切欠部を備えた外側筒体と内側筒体が同軸上に配置されて固定されているので、これらの外側筒体と内側筒体は一つの検査用接触子として機能することになる。外側筒体と内側筒体に設けられた切欠部は、外側筒体と内側筒体に一体的に夫々形成されており、長軸方向に収縮する弾性部として機能する。すなわち、この検査用接触子は、外側筒体と内側筒体と固定部のみから形成されていることになる。このため、コイルスプリングを用いる検査用接触子よりも部品点数を低減し、検査用接触子を簡素に形成することができる。
また、この検査用接触子は、外側筒体と内側筒体に夫々弾性部として収縮機能する切欠部が、検査点から電極部間において並列配置される構成を有しているので、検査のために十分な接触圧を生じさせることができる。したがって、十分な接触圧を有する検査用接触子を、この検査用治具に用いるので、従来の検査用治具に比して検査用治具を容易に製作することができる。
さらに、２つの切欠部が並列に配置されて負荷荷重を大きくすることができるため、検査点に押圧された際に収縮する長さを有効に確保することができる。このため、検査点の高さや、検査用接触子の長さにバラツキがあっても、検査用接触子を長く設けることなく、安定して接触することができる。
またさらに、検査用接触子が検査点に接触して検査端が圧接される場合には、外側筒体の先端開口部と内側筒体の後端開口部の両方が電極体表面に圧接されることになるので、検査用接触子が安定して接続されることになり、検査点に対して安定した接触を提供することができる。
請求項２記載の発明によれば、内側筒体が検査点と当接していない場合に、第二板状部材と電極体により、外側筒体及び内側筒体が挟持されて第一及び第二切欠部が収縮している状態になるので、検査前後において、電極体と内側筒体と外側筒体が常に当接していることになる。このため、内側筒体と外側筒体が電極体と離間することなく当接することになり、電極体の耐久性を向上させることができる。
請求項３記載の発明によれば、内側筒体が検査点と当接していない場合に、第一切欠部が自然長に保持され、第二切欠部が第二板状部材と電極体により内側筒体を挟持することで収縮されるため、非検査時には第二切欠部のみの収縮力を利用することにより検査用接触子が保持され、検査時には第一及び第二切欠部の両切欠部の収縮力を利用することで検査点を押圧することができる。このため、検査前後において、検査用接触子の生み出す圧力を調整することができる。
請求項４記載の発明によれば、内側筒体が検査点と当接していない場合に、第二切欠部が自然長に保持され、第一切欠部が第二板状部材と電極体により外側筒体を挟持することで収縮されるため、非検査時には第一切欠部のみの収縮力を利用することにより検査用接触子が保持され、検査時には第一及び第二切欠部の両切欠部の収縮力を利用することで検査点を押圧することができる。このため、検査前後において、検査用接触子の生み出す圧力を調整することができる。
請求項５記載の発明によれば、検査用接触子の内側筒体の内側下筒部に切欠部を設けることにより、検査用接触子は、検査点に押圧された際に収縮する量（長さ）を長くすることができる。このように検査用接触子が、より長い収縮量を有することになるので、検査点の高さにバラツキがある場合、あるいは検査用接触子の長さにバラツキがある場合でも、十分に検査用接触子が収縮し、安定して接触することができる。
請求項６記載の発明によれば、第一切欠部の収縮する長さが、電極体表面と第二板状部材の表面までの距離に応じて、外側筒体の長さにより調整されるため、容易に第一切欠部が有する収縮力を適宜に調整することができる。
請求項７記載の発明によれば、夫々に螺旋状の切欠部を備えた外側筒体と内側筒体が同軸上に配置され、かつ電気的に接続されて固定されているので、これらの外側筒体と内側筒体は一つの検査用接触子として機能することになる。外側筒体と内側筒体に設けられた切欠部は、外側筒体と内側筒体に一体的に夫々形成されており、長軸方向に収縮する弾性部として機能する。すなわち、この検査用接触子は、外側筒体と内側筒体と固定部のみから形成されていることになる。このため、コイルスプリングを用いる検査用接触子よりも部品点数を低減し、検査用接触子を簡素に形成することができる。
また、この検査用接触子は、内側筒体の直径より外側筒体の直径が大きくなるため、略同じ長さや形状を有する切欠部が形成されていても、外側筒体の方が内側筒体に比してより大きな接触圧を有することになる。このため、内側筒体と外側筒体を組み合わせることにより、検査のために十分な接触圧を生じさせることができる。したがって、十分な接触圧を有する検査用接触子をこの検査用治具に用いるので、従来の検査用治具に比して検査用治具を容易に製作することができる。
さらに、この検査用接触子は、外側筒体と内側筒体に夫々弾性部として機能する切欠部が、検査点から電極部間において直列配置される構成を有しているので、これらの切欠部が並列配置された場合より、検査点に押圧された際に収縮する長さをより十分に確保することができ、検査用接触子の長さにバラツキがある場合でも、検査点に過度の打痕を付けることがない。
請求項８記載の発明によれば、外側筒体は、非接触状態において、その両端開口部が電極体表面及び第二板状部材と夫々圧接しているので、検査用接触子を安定して検査用治具内に保持することができる。
請求項９記載の発明によれば、内側筒体の後端開口部が常に電極部に接触していないので、被検査物に検査端が接触する際に内側筒体の後端開口部が電極部に離接動作を行うことがないため、検査用治具の耐久性を向上させることができる。
また、内側上筒部が外側筒体の第一切欠部のガイドとして機能するので、検査用接触子を略直動に収縮させることができる。
請求項１０記載の発明によれば、外側筒体の先端開口部の端面は平面であるため、検査用治具の電極部と安定して接触することができる。
請求項１１記載の発明によれば、夫々に螺旋状の切欠部を備えた外側筒体と内側筒体が同軸上に配置され、かつ電気的に接続されて固定されているので、これらの外側筒体と内側筒体は一つの検査用接触子として機能することになる。外側筒体と内側筒体に設けられた切欠部は、外側筒体と内側筒体に一体的に夫々形成されており、長軸方向に収縮する弾性部として機能する。すなわち、この検査用接触子は、外側筒体と内側筒体と固定部のみから形成されていることになる。このため、コイルスプリングを用いる検査用接触子よりも部品点数を低減し、検査用接触子を簡素に形成することができる。
また、この検査用接触子は、外側筒体と内側筒体に夫々弾性部として機能する切欠部が、検査端から電極端間において並列配置される構成を有しているので、検査のために十分な接触圧を生じさせることができる。
また、検査点に押圧された際に収縮する長さを十分に確保することができるので、検査点の高さにバラツキがある場合、あるいは検査用接触子の長さにバラツキがある場合にも、検査点に安定して接触することができる。
請求項１２記載の発明によれば、検査用接触子が検査用治具内に保持されるときに、外側筒体の先端開口部と内側筒体の後端開口部が電極体表面に接触することになるので、電極体表面に接触する面積が増加し、より安定して検査用治具内に保持されることができる。
請求項１３記載の発明によれば、検査用接触子の内側筒体の内側下筒部にも切欠部を設けることにより、検査用接触子は、検査点に押圧された際に収縮する量（長さ）をより長くすることができる。このように検査用接触子が、より長い収縮量を有することになるので、検査点の高さにバラツキがある場合、あるいは検査用接触子の長さにバラツキがある場合にも、より十分に検査用接触子が収縮し、検査点に安定して接触することができる。
請求項１４記載の発明によれば、外側筒体の先端開口部と内側筒体の他端開口部の端面は平面であるため、検査用治具の電極体表面と安定して接触することができる。このため、コイルスプリングの端面が電極部に当接する検査用接触子を形成する場合に、コイルスプリングの端面を電極部に安定して接触させるために必要な、コイルスプリングの端面を平面化する処理が不要となるので、コイルスプリングを用いる検査用接触子よりも容易に形成することができる。
請求項１５記載の発明によれば、夫々に螺旋状の切欠部を備えた外側筒体と内側筒体が同軸上に配置され、かつ電気的に接続されて固定されているので、これらの外側筒体と内側筒体は一つの検査用接触子として機能することになる。外側筒体と内側筒体に設けられた切欠部は、外側筒体と内側筒体に一体的に夫々形成されており、長軸方向に収縮する弾性部として機能する。すなわち、この検査用接触子は、外側筒体と内側筒体と固定部のみから形成されていることになる。このため、コイルスプリングを用いる検査用接触子よりも部品点数を低減し、検査用接触子を簡素に形成することができる。
また、この検査用接触子は、内側筒体の直径より外側筒体の直径が大きくなるため、略同じ長さや形状を有する切欠部が形成されていても、外側筒体の方が内側筒体に比してより大きな接触圧を有することになる。このため、内側筒体と外側筒体を組み合わせることにより、検査のために十分な接触圧を生じさせることができる。
さらに、この検査用接触子は、外側筒体と内側筒体に夫々弾性部として機能する切欠部が、検査端から電極端間において直列配置される構成を有しているので、これらの切欠部が並列に配置される場合よりも検査点に押圧された際に収縮する長さをより十分に確保することができ、検査点の高さにバラツキがある場合、あるいは検査用接触子の長さにバラツキがある場合にも、検査点に過度な打痕を付けることがない。
請求項１６記載の発明によれば、内側筒体の後端開口部が常に電極部に接触していないので、被検査物に検査端が接触する際に内側筒体の後端開口部が電極部に離接動作を行うことがないため、検査用治具の耐久性を向上させることができる。
また、内側上筒部が外側筒体の第一切欠部のガイドとして機能するので、検査用接触子を略垂直に収縮させることができる。
請求項１７記載の発明によれば、外側筒体の先端開口部の端面は平面であるため、検査用治具の電極部と安定して接触することができる。このため、コイルスプリングの端面が電極部に当接する検査用接触子を形成する場合に、コイルスプリングの端面を電極部に安定して接触させるために必要な、コイルスプリングの端面を平面化する処理が不要となるので、コイルスプリングを用いる検査用接触子よりも容易に形成することができる。
請求項１８記載の発明によれば、内側筒体の内部に導電性の棒状部材が配置され、棒状部材の先端が内側筒体の先端開口部から延設されている。このため、棒状部材は検査用接触子の一部として機能し、延設されている側の棒状部材の先端が確実に検査点に当接することができるので、検査点と検査用接触子を確実に電気的に接続することができる。

本発明にかかる検査用治具の第一実施形態を示す概略構成図である。 本発明の第一実施形態の接触子（第一接触子）の概略断面図である。 第一接触子の分解断面図であり、（ａ）は外側筒体を示し、（ｂ）は内側筒体を示している。尚、Ａ−Ａ点線で外側筒体と内側筒体が固定される位置を示しており、Ｂ−Ｂ一点鎖線は、第一接触子の中心軸を示している。 第一接触子を用いた検査用治具の概略断面図である。説明の便宜上、第一接触子の各部位と保持体の各部位の長さを示す符号を記している。外側筒体２１の外側上筒部２１１の長さをｘ１、第一切欠部２１２の長さをｘ２、外側下筒部２１３の長さをｘ３、内側筒体２２の内側上筒部２２１の長さをｙ１、第二切欠部２２２の長さをｙ２、内側下筒部２２３の長さをｙ３、保持体３の第一板状部材３１の厚さをｚ１、第二板状部材３２の厚さをｚ２、第一板状部材３１と第二板状部材３２の対向する面同士の間隔をＬとしている。 第一接触子を用いた検査用治具の検査時の状態を示す概略断面図である。 本発明の第二実施形態の接触子（第二接触子）の概略断面図である。 第二接触子を用いた検査用治具の概略断面図である。説明の便宜上、第二接触子の各部位と保持体の各部位の長さを示す符号を記している。外側筒体２１の外側上筒部２１１の長さをｘ１、第一切欠部２１２の長さをｘ２、外側下筒部２１３の長さをｘ３、内側筒体２２の内側上筒部２２１の長さをｙ１、第二切欠部２２２の長さをｙ２、内側下筒部２２３の長さをｙ３、保持体３の第一板状部材３１の厚さをｚ１、第二板状部材３２の厚さをｚ２、第一板状部材３１と第二板状部材３２の対向する面同士の間隔をＬとしている。 本発明の第三実施形態の接触子（第三接触子）の概略断面図である。 第三接触子を用いた検査用治具の概略断面図である。 第四接触子を用いた検査用治具の概略断面図である。（ａ）は第四接触子を保持体に装着した状態を示し、（ｂ）は実際に検査が行われている状態を示す。 第五接触子を用いた検査用治具の概略断面図である。（ａ）は第五接触子を保持体に装着した状態を示し、（ｂ）は実際に検査が行われている状態を示す。

本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は、本発明に係る検査用治具の第一実施形態を示す概略構成図である。本発明に係る検査用治具１は、複数の接触子２、これら接触子２を多針状に保持する保持体３、この保持体３を支持するとともに各接触子２と接触して導通状態となる電極部４１（図５参照）を有する電極体４、電極部４１から電気的に接続されて延設される導線部５を備える。
尚、図１では、複数の接触子２として三本の接触子が示されるとともに夫々に対応する三本の導線部５が示されているが、これらは三本に限定されるものではなく、検査対象に設定される検査点に応じて決められる。

本発明の主要な特徴は、異なる外径と内径を有する二本の導電性の筒状部材に夫々形成された切欠部が夫々弾性部として機能することを利用し、これらの弾性部が並列配置又は直列配置されるように二本の筒状部材を組み合わせることで、検査に必要な接触圧や収縮量を有する一つの検査用接触子とすることである。
このように構成することで、基板の微細化及び複雑化に対応することができるとともに、部品点数を低減して簡素化し、十分な接触圧や収縮量を有する接触子及びこの接触子を用いた検査用治具を提供する。

本発明に係る第一実施形態の検査用接触子２（以下、第一接触子２という）について説明する。図２は、本発明の第一接触子２の概略断面図であり、図３は、第一接触子２の分解断面図を示し、（ａ）は外側筒体２１を示し、（ｂ）は内側筒体２２を示している。
この第一接触子２は、電極体４が有する電極部４１に圧接する電極端２ａと、被検査物８が有する検査点８１に圧接する検査端２ｂとを備え、電極部４１と検査点８１を電気的に接続する。

この第一接触子２は、図２で示される如く、外径及び内径が夫々相違する外側筒体２１と内側筒体２２、及び固定部２３を有している。内側筒体２２は、外側筒体２１の内部に外側筒体２１と同軸に配置され、外側筒体２１と導通状態となるように固定部２３により固定されている。

外側筒体２１は、図３（ａ）で示す如く、内側筒体２２の外径よりもわずかに大きい内径を有する筒状部材である。この外側筒体２１は、所定の長さを有するとともに全長に亘って同一の外径及び内径を有する導電性の中空状の円柱形状（筒形状）に形成される。また、この外側筒体２１は、両端に開口部２１ａ、２１ｂを有しており、その一端開口部２１ａが、後述する電極部４１と当接することにより、電極部４１と外側筒体２１の電気的接続を可能とする。この一端開口部２１ａが、第一接触子２の電極端２ａに相当することになる（図２参照）。
尚、外側筒体２１の一端開口部２１ａ及び他端開口部２１ｂ、並びに、内側筒体２２の一端開口部２２ａ及び他端開口部２２ｂは、夫々、[発明の効果]における、外側筒体の先端開口部及び後端開口部、並びに、内側筒体の後端開口部及び先端開口部に相当する。
また、外側上筒部２１１及び第一切欠部２１２及び外側下筒部２１３の夫々の一端開口部と他端開口部は、[発明の効果]における、外側上筒部及び第一切欠部及び外側下筒部の先端開口部と後端開口部に夫々相当する。
また更に、内側上筒部２２１及び第二切欠部２２２及び内側下筒部２２３の夫々の一端開口部と他端開口部は、[発明の効果]における、外側上筒部及び第二切欠部及び外側下筒部の後端開口部と先端開口部に夫々相当する。

外側筒体２１は、後述する内側筒体２２が他端開口部２１ｂから突出するように配置されている。尚、この他端開口部２１ｂは、保持体３に第一接触子２が装着される際に、保持体３の第二板状部材３２に当接して、第一接触子２を保持体３に係止することができる。

外側筒体２１は、一本の導電性の筒状部材により形成されており、外側上筒部２１１、第一切欠部２１２、外側下筒部２１３を有している（図３（ａ）参照）。夫々の部位は、一端開口部２１ａから他端開口部２１ｂに向かって、外側上筒部２１１、第一切欠部２１２、外側下筒部２１３の順で配置される。

外側筒体２１は、上述の如く、一本の導電性の筒状部材により形成することができるが、例えば、外径40〜250μｍ、内径30〜240μｍ、肉厚5〜50μｍに形成される。
外側筒体２１は導電性の材料で形成されるが、この材料としては、導電性を有する材料であれば特に限定されない。外側筒体２１の材料としては、例えば、ニッケルやニッケル合金やパラジウム合金を例示することができる。

本発明の外側筒体は、上記の如き条件下において製造することができるが、上記の条件に加えて特に、外径を100μｍ未満、内径を90μｍ未満に製造した筒体を外側筒体２１とすることで、第一接触子２を配線や電子回路の検査に用いる検査用治具に備えられる検査用接触子として好適に使用することができる。

外側筒体２１の長軸方向の長さは、後述する内側筒体２２の長さより短く形成されることが好ましい。これは、外側筒体２１と内側筒体２２と組み合わせる際に、詳細は後述するが、組立てを容易にすることができるからである。

図４は、第一接触子２が保持体３に保持され、この保持体３が検査用治具１に取付けられた状態を示す概略断面図である。
尚、図４で示される第一切欠部２１２の長さｘ２と第二切欠部２２２の長さｙ２は、検査用治具１に取付けられた状態であるので、自然長よりも収縮した状態の長さであり、無負荷状態の長さとは異なる。

外側上筒部２１１は、一端開口部２１１ａと他端開口部２１１ｂを備える筒状部材である（図３（ａ）参照）。この一端開口部２１１ａは、外側筒体２１の一端開口部２１ａに相当し、電極部４１に当接する。一端開口部２１１ａは、外側上筒部２１１の長軸方向に対して垂直な端面を有するように形成されているので、一端開口部２１１ａが電極部４１に当接するときは、この端面が電極部４１に当接し、外側筒体２１が、電極部４１と安定して当接することができる。
外側上筒部２１１の他端開口部２１１ｂは、後述する第一切欠部２１２の一端開口部２１２ａと連通連結される。

外側上筒部２１１は、保持体３に保持される際に第一板状部材３１に設けられた第一案内孔３１ｈ（後述する）内部に貫通支持されて、所定の電極部４１へ案内される。この外側上筒部２１１の長軸方向の長さｘ１は、特に限定されないが、例えば図４に示される如く、保持体３に第一接触子２が装着された際に、第一板状部材３１の厚さｚ１（第一案内孔３１ｈの深さ）より長く、かつ、後述する第一切欠部２１２の長さｘ２と合算した値が後述する内側上筒部２２１の長さｙ１より短くなるように形成されることができる。このような条件として、例えば、「ｘ１＞ｚ１,and,ｘ１＋ｘ２＜ｙ１」となる条件を設定することができる。
このように形成することで、後述する第一切欠部２１２が収縮した際に、第一切欠部２１２と第一板状部材３１に形成される第一案内孔３１ｈの開口端周縁が接触することを防止し、また、第一切欠部２１２と第二切欠部２２２同士が接触することを防止することができる。

第一切欠部２１２は、外側筒体２１を形成する筒状部材の長軸方向にその壁面に沿って螺旋状の切欠を設けることにより形成されている。このように外側筒体２１に螺旋状の切欠を形成することにより、この第一切欠部２１２は外側筒体２１の長軸方向に収縮する弾性部として機能することになる。第一切欠部２１２は、一端開口部２１２ａと他端開口部２１２ｂを備える。
この一端開口部２１２ａは、外側上筒部２１１の他端開口部２１１ｂと連通連結され、他端開口部２１２ｂは、外側下筒部２１３の一端開口部２１３ａと連通連結されている。このため、第一切欠部２１２は、外側上筒部２１１と外側下筒部２１３の間に配置されることになる。
尚、この第一切欠部２１２が有する弾性伸縮の特性は、切欠部の幅やピッチや長さや筒状部材の厚さの調整、筒状部材の材料の種類、筒状部材に加える各種処理（熱的処理や化学的処理等）等により適宜調整可能であり、使用者により適宜調整される。尚、図３で示される第一切欠部２１２には、一つの切欠部が形成されているが、所定間隔を有して二つの切欠部を対称的に形成することもできるし、三つ以上の切欠部を形成することもできる。

この第一切欠部２１２の長さｘ２は、所望の収縮長又は接触圧を有するように長さを調整して形成されると同時に、上述の如く、第一接触子２が保持体３に装着された際に、第一切欠部２１２が第一板状部材３１や第二切欠部２２２と接触することが無い位置に配置されるよう設定されることが望ましい。図４では、第一切欠部２１２は、第一板状部材３１の検査点側表面と第二切欠部２２２の一端開口部の間の長さ（内側上筒部２２１の長さｙ１と第一板状部材の厚さｚ１の差分）より短く形成されて配置されることができる。このような条件として、例えば、「ｘ２＜ｙ１−ｚ１」となる条件を設定することができる。

外側下筒部２１３は、一端開口部２１３ａと他端開口部２１３ｂを備える。一端開口部２１３ａは、上記第一切欠部２１２の他端開口部２１２ｂと連通連結され、他端開口部２１３ｂは、外側筒体２１の他端開口部２１ｂに相当する。外側下筒部２１３の他端開口部２１３ｂは、外側下筒部２１３の長軸方向に対して垂直な端面を有しているので、第一接触子２が保持体３に装着される際には、この外側下筒部２１３の他端開口部２１３ｂの端面は、第二板状部材３２と平面にて安定して当接することができる。

また、外側下筒部２１３には、後述する固定部２３が形成される。この固定部２３により、外側筒体２１と内側筒体２２が電気的に接続されて固定されることになる。
外側下筒部２１３の長軸方向の長さｘ３は、第二板状部材３２に外側筒体２１の他端開口部２１ｂが当接することができる長さに形成される。

この外側筒体２１が有する外側上筒部２１１、第一切欠部２１２と外側下筒部２１３は、第一切欠部２１２を中心とする対称な形状を有するように、外側上筒部２１１と外側下筒部２１３の長さを同じに形成することもできる。このように外側筒体２１を形成することにより、外側筒体２１が対称形状を有することになり、上下方向の相違がなくなり、第一接触子２の組立てが容易となる。

内側筒体２２は、第一接触子２の一部を形成するとともに検査点８１に当接するための部材である（図３（ｂ）参照）。この内側筒体２２は、外側筒体２１の内径より僅かに小さい外径を有している。この内側筒体２２は、所定の長さを有するとともに全長に亘って同一の径を有する導電性の中空状の円柱形状（筒形状）に形成される。また、この内側筒体２２は、両端に開口部を有しており、その他端開口部２２ｂが、検査点８１と接触して導通状態となり、検査点８１と内側筒体２２の電気的接続を可能とする。なお、この内側筒体２２の他端開口部２２ｂが、第一接触子２の検査端２ｂに相当することになる。
また、内側筒体２２の一端開口部２２ａは、電極部４１と接触して導通状態となり、電極部４１と内側筒体２２の電気的接続を可能とする。なお、この内側筒体２２の一端開口部２２ａが、第一接触子２の電極端２ａに相当することになる（図２参照）。

この内側筒体２２は、他端開口部２２ｂ側の一部が外側筒体２１の他端開口部２１ｂから突出して、外側筒体２１の内部に外側筒体２１と同軸上に配置される。

内側筒体２２は、一本の導電性の筒状部材により形成されており、内側上筒部２２１、第二切欠部２２２、内側下筒部２２３を有している（図３（ｂ）参照）。夫々の部位は、一端開口部２２ａから他端開口部２２ｂに向かって、内側上筒部２２１、第二切欠部２２２、内側下筒部２２３の順で配置される。

内側筒体２２は、上述の如く、一本の導電性の筒状部材により形成することができるが、例えば、外径30〜250μｍ、内径20〜240μｍ、肉厚5〜50μｍに形成される。

本発明の内側筒体は、上記の如き条件下において製造することができるが、上記の条件の中でも特に、外径を80μｍ未満、内径を70μｍ未満に製造した筒体を内側筒体２２とすることで、第一接触子２を配線や電子回路の検査に用いる検査用治具に備えられる検査用接触子として好適に使用することができる。

内側筒体２２は導電性の材料で形成されるが、この材料としては、導電性を有する材料であれば特に限定されない。内側筒体２２の材料としては、例えば、ニッケルやニッケル合金やパラジウム合金を例示することができる。
内側筒体２２の長軸方向の長さは、外側筒体２１の長さより長く形成されることが好ましい。これは、第一接触子２が保持体３に装着される際に、外側筒体２１の他端開口部２１ｂの端面が第二板状部材３２と当接し、内側筒体２１が電極部４１と検査点８１を電気的に接続するので、内側筒体２２の他端開口部２２ｂは、後述する保持体３の第二板状部材３２に設けられた第二案内孔３２ｈから検査点８１側に突出する必要があるためである。また、外側筒体２１と内側筒体２２を組み合わせて第一接触子２を形成する場合に、外側筒体２１の一端開口部２１ａと内側筒体２２の一端開口部２２ａを揃えて固定部で固定することにより、容易に第一接触子２を組み立てることもできる。

内側上筒部２２１は、一端開口部２２１ａと他端開口部２２１ｂを備える筒状部材である。この一端開口部２２１ａは、内側筒体２２の一端開口部２２ａに相当し、電極部４１に当接する。一端開口部２２１ａは、内側上筒部２２１の長軸方向に対して垂直な端面を有するように形成されているので、一端開口部２２１ａが後述する電極部４１に当接するときは、この端面が電極部４１に当接し、内側筒体２２は、電極部４１と安定して当接することができる。
内側上筒部２２１の他端開口部２２１ｂは、後述する第二切欠部２２２の一端開口部２２２ａと連通連結される。

内側上筒部２２１は、保持体３に保持される際に第一板状部材３１に設けられた第一案内孔３１ｈ内部に貫通支持される外側筒体２２の内側に同軸上に配置されるので、外側上筒部２１１と同様に所定の電極部４１へ案内されることになる。この内側上筒部２２１の長軸方向の長さｙ１は、特に限定されないが、図４に示される如く、保持体３に第一接触子２が装着された際に、外側筒体２１の外側上筒部２１１の長さｘ１に第一切欠部２１２の長さｘ２を合算した値より長く形成されることができる。このような条件として、例えば、「ｙ１＞ｘ１＋ｘ２」となる条件を設定することができる。
このように形成することで、第一切欠部２１２と後述する第二切欠部２２２が収縮運動を行う場合に、外側筒体２１の第一切欠部２１２と内側筒体２２の第二切欠部２２２が、夫々の切欠部同士が接触することを防止することが望ましい。

第二切欠部２２２は、内側筒体２２を形成する筒状部材の長軸方向にその壁面に沿って螺旋状の切欠を設けることにより形成されている。このように内側筒体２２に螺旋状の切欠を形成することにより、この第二切欠部２２２は内側筒体２２の長軸方向に収縮する弾性部として機能することになる。第二切欠部２２２は、一端開口部２２２ａと他端開口部２２２ｂを備える。
この一端開口部２２２ａは、内側上筒部２２１の他端開口部２２１ｂと連通連結され、他端開口部２２２ｂは、内側下筒部２２３の一端開口部２２３ａと連通連結されている。このため、第二切欠部２２２は、内側上筒部２２１と内側下筒部２２３の間に配置されることになる。
尚、この第二切欠部２２２が有する弾性伸縮の特性は、切欠部の幅やピッチや長さや筒状部材の厚さの調整、筒状部材の材料の種類、筒状部材に加える各種処理（熱的処理や化学的処理等）等により適宜調整可能であり、使用者により適宜調整される。尚、図３（ｂ）で示される第二切欠部２２２には、一つの切欠部が形成されているが、所定間隔を有して二つの切欠部を対称的に形成することもできるし、三つ以上の切欠部を形成することもできる。

この第二切欠部２２２の長さｙ２は、所望の収縮長又は接触圧を有するように長さを調整して形成されると同時に、上述の如く、第一接触子２が保持体３に装着された際に、第二切欠部２２２が第二板状部材３２や第一切欠部２１２と接触しないように設定されることが望ましい。例えば、図４では、第二切欠部２２２は、外側下筒部２１３の長さｘ３より短く形成されて配置されており、このような条件として、例えば「ｙ２＜ｘ３」となる条件に設定される。

内側下筒部２２３は、一端開口部２２３ａと他端開口部２２３ｂを備える筒状部材である。内側下筒部２２３の一端開口部２２３ａは、第二切欠部２２２の他端開口部２２２ｂと連通連結され、内側下筒部２２３の他端開口部２２３ｂは、内側筒体２２の他端開口部２２ｂに相当する。内側下筒部２２３の他端開口部２２３ｂは、内側下筒部２２３の長軸方向に対して垂直な端面を有しているので、第一接触子２が保持体３に装着される際には、この内側下筒部２２３の他端開口部２２３ｂの端面は、検査点８１が平面状に形成されていても球状や凸状に形成されていても検査点８１と確実に圧接することができる。

また、内側下筒部２２３には、後述する固定部２３が形成される。この固定部２３により、外側筒体２１と内側筒体２２が電気的に接続されて固定されることになる。
内側下筒部２２３の長軸方向の長さｙ３は、外側上筒部２１１と同様に、第二切欠部２２２が第二板状部材３２や第一切欠部２１２と接触しないように設定されることが望ましい。また、検査点８１に内側下筒部２２３の他端開口部２２３ｂが当接して内側筒体２２の第二切欠部２２２が収縮しても、内側筒体２２の他端開口部２２ｂが第二板状部材３２から突出することができる長さを有するように形成される（図５参照）。

この内側筒体２２が有する内側上筒部２２１、第二切欠部２２２と内側下筒部２２３は、第二切欠部２２２を中心とする対称な形状を有するように、内側上筒部２２１と内側下筒部２２３の長さを同じに形成することもできる。このように内側筒体２２を形成することにより、内側筒体２２が対称形状を有することになり、上下方向の相違がなくなり、第一接触子２の組立てが容易となる。

この内側筒体２２は、図２で示される如く、他端開口部２２ｂが外側筒体２１の他端開口部２１ｂから突出されるように配置される。また、内側筒体２２の一端開口部２２ａが外側筒体２１の一端開口部２１ａから突出しないように配置される。内側筒体２２の一端開口部２２ａが、外側筒体２１の一端開口部２１ａから突出するか、同一面となるように配置された場合には、保持体３に第一接触子２が装着された際に、第一切欠部２１２と第二切欠部２２２が収縮することにより、外側筒体２１の一端開口部２１ａと内側筒体２２の一端開口部２２ａが電極部４１に同時に圧接することができるようになる。

また、内側筒体２２の一端開口部２２ａが外側筒体２１の一端開口部２１ａから突出するように配置することもできる。この場合も、第一接触子２が保持体３に装着された場合に、まず第二切欠部２２２が収縮し、必要に応じて第一切欠部２１２が収縮することにより、外側筒体２１の一端開口部２１ａと内側筒体２２の一端開口部２２ａが電極部４１に同時に圧接することになる。なお、内側筒体２２の一端開口部２２ａが外側筒体２１の一端開口部２１ａから突出する突出量（長さ）は、特に限定されないが、保持体３に装着された場合に、外側筒体２１の第一切欠部２１２が収縮する量と同等の長さに形成することができる。この場合、第一接触子２が保持体３に装着された際に、内側筒体２２の第二切欠部２２２のみが収縮して圧接する力が生じるため、保持体３に大きな力が係ることを軽減することができ、また、検査時に外側筒体２１の第一切欠部２１２が初めて収縮することになり、検査前後と検査時で適宜な押圧力を調整することができる。

内側筒体２２の一端開口部２２ａと外側筒体２１の一端開口部２１ａとの配置を上記のように調整することにより、外側筒体２１の一端開口部２１ａと内側筒体２２の一端開口部２２ａが常に電極部４１に接触している状態となる。このため、検査点８１に検査端２ｂが接触するたびに外側筒体２１の一端開口部２１ａと内側筒体２２の一端開口部２２ａが電極部４１に離接動作を行うことがないため、検査用治具１の耐久性の向上を図ることができる。

固定部２３は、外側筒体２１の外側下筒部２１３と内側筒体２２の内側下筒部２２３に形成されて外側筒体２１と内側筒体２２を固定する。この固定方法として、例えば、かしめによって固定を行う場合には、図２で示されるように、外側筒体２１（外側下筒部２１３）側から内側筒体２２側へ押圧を行うことにより、外側筒体２１と内側筒体２２を固定する。この固定部２３は、外側下筒部２１３に内側に湾曲する凹形状に形成される（図３（ａ）参照）。この固定部２３は、内側筒体２２を外側筒体２１内に配置した後に、外側筒体２１と内側筒体２２を固定するために形成されるが、外側筒体２１に予め形成されていても良い。また、この凹形状の固定部２３は、外側筒体２１と内側筒体２２を固定するために、外側（外側筒体２１）から内側（内側筒体２２）へ押圧（かしめ）を行うことで固定した場合に形成されたものを示した例である。

固定部２３による外側筒体２１及び内側筒体２２の固定方法は、このかしめの方法に限定されず、レーザ溶接、アーク溶接や接着剤などの他の固定方法を用いても良い。なお、外側筒体２１と内側筒体２２の固定方法として溶接等外側筒体２１と内側筒体２２が電気的に接続される固定方法を用いた場合には不要であるが、外側筒体２１と内側筒体２２が電気的に接続されない固定方法を用いた場合には、例えば外側筒体２１と内側筒体２２をはんだ或いは導線等で電気的に接続するようにすることもできる。

第一接触子２は、上記のような条件で好適に実施することができるが、また、以下のような条件も設定することができる。
外側筒体２１の第一切欠部２１２は、第一案内孔３１ｈの内部に配置されず、且つ、内側筒体２２の外側上筒部２２１の外側周囲に配置される。また、内側筒体２２の第二切欠部２２２は、第二案内孔３２ｈの内部に配置されず、且つ、外側筒体２１の外側下筒部２１３の内部に配置される。
これらの条件に設定して各部材を形成することにより、各切欠部の動作をより確実にして第一接触子２を好適に実施することができる。

図４は、第一接触子２が保持体３に取り付けられた状態を示す断面図である。検査用治具１は、第一接触子２を保持するための保持体３を有している。この保持体３は、第一板状部材３１と第二板状部材３２を備える。

第一板状部材３１は、第一接触子２の一端開口部２ａを電極部４１へ案内するための第一案内孔３１ｈを有する。第一案内孔３１ｈは、第一板状部材３１の厚み方向に亘り同一の直径を有して形成された貫通孔として形成され、この貫通孔の外径は外側筒体２１の外径よりも僅かに大きな径を有するように形成される。この第一案内孔３１ｈは、第一接触子２１の一端開口部２ａを電極部４１へ案内するが、より具体的には、外側筒体２１の一端開口部２１ａを電極部４１へ案内することになる。尚、この場合、内側筒体２２の一端開口部２２ａも、外側筒体２１と同軸で配置されていることから、電極部４１へ案内されることになる。

第一板状部材３１の厚さｚ１は、外側上筒部２１１の長さｘ１よりも短く形成される。これは、上述の如く、第一接触子２が保持体４に保持されて電極部４１に取付けられた状態において、外側上筒部２１１は第一案内孔３１ｈに貫通支持されており、第一切欠部２１２が収縮動作をする場合に、第一切欠部２１２が第一板状部材３１に接触しないようにすることが望ましいためである。

第二板状部材３２は、第一板状部材３１と所定間隔を有して配置されるとともに、第一接触子２の他端開口部２ｂを検査点８１へ案内するための第二案内孔３２ｈを有する。第二案内孔３２ｈは、第二板状部材３２の厚み方向に亘り同一の直径を有して形成された貫通孔であり、外側筒体２１の外径より小さく且つ内側筒体２２の外径より僅かに大きい外径を有して形成される。
このように第二案内孔３２ｈを形成することにより、第一接触子２が保持体３に挿入されたときに、第一接触子２の外側筒体２１の他端開口部２１ｂを、第二板状部材３２表面の第二案内孔３２ｈ周縁に係止させることになる。これは、第二案内孔３２ｈの直径と外側筒体２２の外径に差があるためである。尚、このとき、内側筒体２２の他端開口部２２ｂは、第二板状部材３２の第二案内孔３２ｈから突出して配置されることになる。
この第二案内孔３２ｈは、第一接触子２の検査端２ｂを検査点８１へ案内するが、より具体的には、第一接触子２の内側筒体２２の他端開口部２２ｂを検査点８１へ案内することになる。

この第二板状部材３２の厚さｚ２は、内側下筒部２２３の長さｙ３よりも短く形成される。
これは、第一接触子２が保持体４に保持されて電極部４１に取付けられた状
態において、内側下筒部２２３が第二案内孔３２ｈから貫通支持されることができるためである。

第二板状部材３２は、第一板状部材３１から所定間隔Ｌを有して配置されることになる。この所定間隔Ｌは、電極部４１の表面と第二板状部材３２の電極側の表面との距離（第一板状部材３１の厚さｚ１と所定間隔Ｌの合算値）が無負荷状態の外側筒体２１の長軸方向の長さよりも僅かに短くなるように設定されている。

このように形成することで、第一接触子２を保持体３に装着する際に、外側筒体２１の第一切欠部２１２が収縮して付勢状態となり、外側筒体２１が電極部４１と第二板状部材３２を夫々押圧した状態で装着されることになる。このため、外側筒体２１が、電極部４１と圧接した状態で保持体３に装着することができるとともに、第一接触子２を安定して保持体３に保持させることが可能となる。
尚、このとき、内側筒体２２の一端開口部２２ａも電極部４１に圧接されているので、内側筒体２２と電極部４１の確実な接続が可能となる。

図４では、第二案内孔３２ｈは、同一の直径を有する貫通孔として示されているが、同軸上に配置される異なる二つの外径を有した二つの孔（上孔と下孔、図示せず）による貫通孔とすることもできる。この場合、上孔は、外側筒体２１の外径より僅かに大きい直径を有して第二板状部材３２の電極部側に配置され、下孔は、外側筒体２１の外径よりも小さく内側筒体２２の外径よりも僅かに大きい直径を有する下孔を有して第二板状部材３２の検査点側に配置される。
このように上孔と下孔を形成することにより、第一接触子２を第一案内孔３１ｈから挿入し、保持体３に装着させたときに、外側筒体２１の他端開口部２１ｂの外径と下孔の径の相違により、外側筒体２１を係止し、内側筒体２２のみを第二案内孔３２ｈから突出するように配置することもできる。

また、図４では、第一板状部材３１と第二板状部材３２は所定間隔を有して配置されているが、第一板状部材３１と第二板状部材３２の間に第三板状部材３３（図示せず）を設けることもできる。この第三板状部材は、一又は二以上の板状部材を積層して、この間隔による空間に配置することができる。この場合、例えば、第三板状部材は、第一板状部材３１と同じ板状部材を複数積層することにより形成することもできる。尚、第三板状部材に形成される貫通孔は、第一接触子２の外側筒体２１が貫通する大きさを有していれば、その断面形状は特に限定されない。

電極体４には、各第一接触子２に対応する電極部４１が形成されている。この電極部４１は、外側筒体２１の一端開口部２１ａ及び内側筒体２２の一端開口部２２ａと圧接されて導通状態となる。

図４では、電極部４１は、外側筒体２１の一端開口部２１ａと内側筒体２２の一端開口部２２ａと圧接するように形成されているが、これは第一実施形態の一例であって、電極部４１の形状はこの形状に限定されない。
例えば、検査点８１が図４に示されるピッチより更に狭ピッチで配置されている場合には、電極部４１は外側筒体２１の外径より小さく形成され、内側筒体２２の一端開口部２２ａのみが電極部４１に当接するように配置されることが望ましい。尚、このとき外側筒体２１の一端開口部２１ａは、電極部４１周辺の電極体４表面に当接することになる。
以上が、本発明の第一実施形態の検査用治具１の構成の説明である。

本第一接触子２の外側筒体２１と内側筒体２２は、切欠部を有した筒状部材を組み合わせることにより形成されているが、このような筒状部材を形成する方法の一つとして下記の如き製造方法を採用することもできる。

（１）まず、筒状部材の中空部を形成する芯線（図示せず）を用意する。なお、この芯線には筒状部材の内径を規定する所望の太さの導電性を有する芯線（例えば、直径30μｍ，ステンレス鋼（SUS））を用いる。

（２）次いで、芯線（ステンレス線）にフォトレジスト被膜を塗布し、この芯線の周面を覆う。該フォトレジストの所望の部分を露光・現像・加熱処理して螺旋状のマスクを形成する。このとき、例えば、芯線を中心軸に沿って回転させ、レーザにより露光して螺旋状のマスクを形成されるようにすることができる。本発明の筒状部材を形成するためには、切欠部を形成するためのマスクが所定の位置に形成されることになる。

（３）次いで、この芯線にニッケルめっきを実施する。このとき、芯線が導電性であるため、フォトレジストマスクが形成されていない箇所は、ニッケルめっきされる。

（４）次いで、フォトレジストマスクを除去して、芯線を引き抜き、所望の長さの筒状部材を形成する。芯線を完全に引き抜いた後に筒体を切断してもよいことは、言うまでもない。

保持体３を検査用治具１に取付ける際には、まず、保持体３に第一接触子２を挿入する。第一接触子２を保持体３に挿入する場合には、第一接触子２の他端開口部２ｂを第一案内孔３１ｈに通し、次に、第二案内孔３２ｈにこの他端開口部２ｂを通して挿入する。保持体３に挿入された第一接触子２は、外側筒体２１の他端開口部２１ｂにより保持体３に係止されることになる。この際に、第一接触子２の両端開口部（２ａ、２ｂ）は、第一案内孔３１ｈと第二案内孔３２ｈから夫々外側に突出するように配置されることになる。

保持体３に第一接触子２が挿入されると、外側筒体２１の一端開口部２１ａと内側筒体２２の一端開口部２２ａが電極部４１へ押し当たるように、第一板状部材３１を電極体４と当接させる。このとき、外側筒体２１と内側筒体２２は電極部４１に圧接されるため、夫々の第一切欠部２１２と第二切欠部２２２が収縮して付勢状態となる。このため、内側筒体の他端開口部２２ｂ（検査端側）が検査点８１に当接するかしないかに関わらず、外側筒体２１の一端開口部２１ａと内側筒体２２の一端開口部２２ａは、電極部４１に常に接触している状態となる。このようにして、第一接触子２を有する検査用治具１が完成することになる。

次に、検査用治具１を検査に用いる場合を説明する。
図５は、第一接触子を用いた検査用治具の検査時の状態を示す概略断面図である。
検査を行う際には、検査用治具１を検査装置（図示せず）に装着し、導線５が検査装置の制御手段と電気的に接続されることになる。
検査装置は、被検査物８を載置する載置台をｘｙｚ軸方向に夫々移動させる移動手段を備えており、被検査物８の複数の検査点８１に、所定の第一接触子２の検査端２ｂが圧接されるように、載置台をｘｙｚ軸方向に移動させて検査を行う。

検査装置が、所定の検査点８１に所望の第一接触子２を当接することができるように、載置台の位置決めが行われると、各検査点８１に各第一接触子２が導通接触することが可能なように移動される。
このとき、所定の検査点８１に所望の検査端２ｂが当接すると、まず、検査端２ｂとなる内側筒体２２の他端開口部２２ｂが圧接されることになるので、内側筒体２２の第二切欠部２２２が収縮することになる。この場合、外側筒体２１は内側筒体２２と固定部２３により固定されているので、外側筒体２１の第一切欠部２１２も同時に収縮することになる。そして、これらの切欠部２１２、２２２が収縮することにより、検査点８１と電極部４１は、第一接触子２を介して、第一及び第二切欠部２１２、２２２の復元力を合算した値の接触圧で電気的に接続されることになる。
以上が第一実施形態の検査用治具の説明である。

次に、本発明の第二実施形態の検査用治具１０について説明する。
図７に示した検査用治具１０と第一実施形態の検査用治具１との主要な相違点は、保持体に保持される検査用接触子の構成が相違することである。以下の説明では、主に相違する検査用接触子の構成部分について説明し、同一の部分についてはできるだけ説明を省略する。

第二実施形態の検査用治具１０に用いる検査用接触子２０（以下は、第二接触子２０と呼ぶ）について説明する。尚、第二接触子２０は、第一接触子２と類似する構成を有しているので、同一の構成については同一の符号を付して説明する。

図６は、第二接触子２０の概略断面図である。図７は、第二接触子２０が保持体３に保持され、この保持体３が検査用治具１０に取り付けられた状態を示している。尚、図７で示される第一切欠部２１２の長さｘ２は、自然長よりも収縮した状態の長さである。一方、第二切欠部２２２の長さｙ２は、無負荷状態の長さである。

第二接触子２０と第一接触子２との主要な相違点は、固定部２３であり、より具体的には、固定部２３が形成される位置が相違している。第一接触子２の固定部２３は、外側筒体２１の外側下筒部２１３と内側筒体２２の内側下筒部２２３を接続固定するのに対し、第二接触子２０の固定部２３は、外側筒体２１の外側下筒部２１３と内側筒体２２の外側上筒部２２１を接続固定する。

第二接触子２０は、検査用治具１０の備える電極体４の電極部４１と被検査物８の検査点８１とを電気的に接続する。より具体的には、第二接触子２０は、両端に開口部を有しており、この一端開口部２０ａが電極部４１に、この他端開口部２０ｂが検査点８１に圧接されることにより、電極部４１と検査点８１を電気的に接続する。
第二接触子２０は、図６で示される如く、外側筒体２１と内側筒体２２と固定部２３を有している。

第二接触子２０の外側筒体２１の構成は、第一接触子２の外側筒体２１の基本構成と略同じであるが、各部位の長さは、第一接触子２の外側筒体２１の各部位の長さとは相違する条件によって調整されることが好ましい。これは、固定部２３の位置が第二接触子２０と第一接触子２で相違することに起因しており、その詳細は後述する。

外側上筒部２１１の長さｘ１は、特に限定されないが、例えば図７に示される如く、第一板状部材３１の厚さｚ１（第一案内孔３１ｈの深さ）より長くなるように形成されることができる。
このように形成することで、保持体３に第二接触子２０が保持される際に、第一切欠部２１２が収縮した際に、第一切欠部２１２が第一板状部材３１の第一案内孔３１ｈの開口部周縁に接触することを防止することができる。

第一切欠部２１２の長さｘ２は、所望の収縮長又は接触圧を有するように長さを調整して形成されると同時に、上述の如く、第二接触子２０が保持体３に装着された際に、第一切欠部２１２が第一板状部材３１と接触することがない位置に配置されるように設定されることが望ましい。図７では、第一切欠部２１２は、後述する外側下筒部２１３の長さｘ３との合算値が、第一板状部材３１と第二板状部材３２の間隔Ｌより短く形成されて配置されることができる。このような条件として、例えば、「ｘ２＋ｘ３＜Ｌ」となる条件を設定することができる。

第一切欠部２１２の長さｘ２は、内側筒体２２の内側上筒部２２１の長さｙ１より短くなるように形成されることができる。このような条件にて形成することで、第二接触子２０が保持体３に装着されて、第二接触子２０が収縮したときに、第一切欠部２１２と内側筒体２２の一端開口部２２ａが接触することを防止することができる。
このような具体的な条件として、例えば、「ｘ２＜ｙ１」となる条件を設定することができる。ただし、この内側上筒部２２１の長さｙ１は、第二接触子２０の検査端２０ａが検査点８１に圧接したときに外側筒体２１の第一切欠部２１２が収縮しても、内側上筒部２２１の一端開口部２２１ａが第一切欠部２１２と接触しないように調整して配置されることが望ましい。

外側下筒部２１３の長軸方向の長さｘ３は、特に限定されないが、例えば上述の如く、第二板状部材３２に外側筒体２１の他端開口部２１３ｂが当接することができる長さを有するように形成される。

第二接触子２０の内側筒体２２の構成は、第一接触子２の内側筒体２２の構成と略同じであるが、各部位の長さは、第一接触子２の内側筒体２２の各部位の長さとは異なる条件によって調整されることが好ましい。これは、固定部２３の位置が第二接触子２０と第一接触子２で相違することに起因しており、その詳細は後述する。

内側筒体２２の長軸方向の長さは、第二接触子２０が後述する保持体３に保持される場合に、少なくとも、外側筒体２１の第一切欠部２１２の長さｘ２と外側下筒部２１３の長さｘ３と保持体３の第二板状部材３２の厚さｚ２を合算した値より長く形成される。このように形成することにより、第二接触子２０が保持体３に保持される場合に、内側筒体２２の一端開口部２２ａが検査点８１に当接可能な状態とすることができる。

内側上筒部２２１には、後述する固定部２３が形成される。この固定部２３により、外側筒体２１と内側筒体２２が電気的に接続されて固定されることになる。

内側上筒部２２１の長さｙ１は、後述する第二切欠部２２２の長さｙ２と合算した値が、外側筒体２１の第一切欠部２１２の長さｘ２と外側下筒部２１３の長さｘ３の合算値より長くなるように形成される。このような条件として、例えば、「ｘ２＋ｘ３＜ｙ１＋ｙ２」となる条件を設定することができる。ただし、この内側上筒部２２１の長さｙ１は、第二接触子２０の検査端２０ａが検査点８１に圧接したときに外側筒体２１の第一切欠部２１２が収縮しても、内側上筒部２２１の一端開口部２２１ａが第一切欠部２１２と接触しないように調整され、且つ、第二接触子２０が保持体３に装着されて、第二接触子２０が収縮したときに、内側上筒部２２１の一端開口部２２１ａが電極部４１に接触することのないように調整することが望ましい。
これは、一端開口部２２１ａが外側上筒部２１１の内部に収容されるように配置することにより一端開口部２２１ａが第一切欠部２１２と接触することを防止し、一端開口部２２１ａが電極部４１と離接動作を繰り返すことを防止するためである。また、内側上筒部が外側筒体の第一切欠部の収縮時のガイドとして機能することになるので、第二接触子２０を略垂直に収縮させることができるためである。

尚、内側上筒部２２１の長さｙ１は、上記に示す長さに限られず、例えば、内側上筒部２２１の長さｙ１に後述する第二切欠部２２２の長さｙ２を合算した値が、外側筒体２１の外側下筒部の長さｘ３より短くなるように形成されることもできる。

第二切欠部２２２の長さｙ２は、所望の収縮長又は接触圧を有するように長さを調整すると同時に、第二接触子２０が保持体３に装着された際に、上述の如く第二切欠部２２２が第二板状部材３２と接触することがないように設定されることが望ましい。図７では、第二切欠部２２２は、第二切欠部２２２の長さｙ２が、外側下筒部２１３の長さｘ３より短く形成されて配置されている。このような条件として、例えば、「ｘ３＞ｙ２」となる条件を設定することができる。

内側下筒部２２３の長さｙ３は、第二切欠部２２２が第二板状部材３２に形成される第二案内孔３２ｈの周縁と接触することがないように設定されることが望ましい。また、検査点８１に内側下筒部２２３の他端開口部２２３ｂが当接して内側筒体２２の第二切欠部２２２及び外側筒体２１の第一切欠部２１２が収縮しても、内側下筒部２２３の他端開口部２２３ｂが第二板状部材３２の検査点側表面から突出することができる長さを有するように形成される（図７参照）。

固定部２３は、外側筒体２１の外側下筒部２１３と内側筒体２２の内側上筒部２２１に形成されて外側筒体２１と内側筒体２２を固定する。固定部２３の形状や固定方法は、第一実施形態の固定部２３の形状や固定方法と同様であるため、説明を省略する。

第二接触子２０は、上記のような条件で好適に実施することができるが、以下のような条件も設定することができる。
外側筒体２１の第一切欠部２１２は、第一案内孔３１ｈの内部に配置されず、且つ、内側筒体２２の内側上筒部２２１を内部に収容する。また、外側筒体２１の外側上筒部２２１は、内側筒体２２内側上筒部２２１を収容し、内側上筒部２２１は、内側筒体２２が収縮した場合でも一端開口部２２ａが電極部４１に接触しないように配置される。また、内側筒体２２の第二切欠部２２２は、第二案内孔３２ｈの内部に配置されず、且つ、外側筒体２１の外側下筒部２１３の内部に配置される。
これらの条件に設定して各部材を形成することにより、各切欠部が接触することを防止して第二接触子２０を好適に実施することができる。
以上が第二実施形態の検査用接触子２０（第二接触子２０）の説明である。

以下に、第二接触子２０を用いる場合の検査用治具１０を説明する。
保持体３は、第二接触子２０を保持する部材でありその他の構成や形状等は第一実施例の保持体３と同様である。

この保持体３は、第一板状部材３１及び第二板状部材３２を有している。第一板状部材３１は、第一案内孔３１ｈを有しており、この第一案内孔３１ｈが外側筒体２１の外側上筒部２１１のみを電極部４１へ案内する。第二板状部材３２は、第二案内孔３２ｈを有しており、この第二案内孔３２ｈが内側筒体２２の内側下筒部２２３のみを検査点へ案内する。この第二実施形態の治具では、第一板状部材３１と第二板状部材３２の間の空間に、外側筒体２１の第一切欠部２１２及び外側下筒部２１３と、内側筒体２２の第二切欠部２２２及び内側上筒部２２１と第二切欠部２２２が配置されることになる。

この第一板状部材３１及び第二板状部材３２の厚さは、保持する第二接触子２０を保持できるように調整される。下記の説明では、第二接触子２０を保持するための各板状部材の厚さについて例示する。

第一板状部材３１の厚さｚ１は、特に限定されないが、例えば外側筒体２１の外側上筒部２２１の長さｘ１よりも短く形成される（図７参照）。
これは、第二接触子２０が保持体３に保持されて電極部４１に取付けられた状態において、第二接触子２０の外側筒体２１は第一案内孔３１ｈに貫通支持されており、外側筒体２１の第一切欠部２１２が収縮動作をする場合に、第一切欠部２１２が第一案内孔３１ｈ周縁の第一板状部材３１に接触しないようにすることが望ましいためである。

第二板状部材３２の厚さｚ２は、特に限定されないが、例えば内側筒体２２の内側下筒部２２３の長さｙ３よりも短く形成されて、第二案内孔３２ｈの全長を内側下筒部２２３が貫通するように配置される。
これは、上述の如く、第二接触子２０が保持体３に保持されて電極部４１に取付けられた状態において、第二接触子２０の内側筒体２２は第二案内孔３２ｈに貫通支持されており、内側筒体２２の第二切欠部２２２が収縮する場合に、第二切欠部２２２が第二案内孔３２ｈ周縁の第二板状部材３２に接触すること防止するためである。
尚、本第二接触子２０を形成している筒状部材の製造方法には、第一実施形態の第一接触子２を形成している筒状部材の製造方法と同様の製造方法を用いることができる。
以上が、本発明に係る第二実施形態の検査用治具１０の構成の説明である。

次に、検査用治具１０を検査に用いる場合を説明する。
保持体３に第二接触子２０を挿入し、保持体３を検査用治具１０に取付ける方法については、第一実施形態の検査用治具１と同様であるため、説明を省略する。

次いで、検査用治具１０の検査時の動作について説明する。
検査を実施するために、所定の検査点８１に所望の検査端２０ｂが当接すると、まず、検査端２０ｂとなる内側筒体２２の他端開口部２２ｂが圧接されることになるので、内側筒体２２の第二切欠部２２２が収縮することになる。このとき、外側筒体２１は内側筒体２２と固定部２３により固定されているので、第二切欠部２２２が収縮するのと略同時に外側筒体２１の第一切欠部２１２も収縮することになる。これらの切欠部が収縮して、検査点８１を圧接することにより、検査点８１と電極部４１は、第二接触子２０を介して、第一及び第二切欠部２１２、２２２の復元力を合成した値の接触圧によって電気的に接続されることになる。
尚、外側筒体２１の一端開口部２１ａは常に電極部４１に接触しており、内側筒体２２の一端開口部２２ａは他端開口部２２ｂが検査点８１に圧接されても電極部４１には当接しないので、検査点８１に検査端２０ｂが接触するたびに外側筒体２１の一端開口部２１ａや内側筒体２２の一端開口部２２ａが電極部４１に離接動作を繰り返すことがない。このため、検査用治具１０の耐久性の向上を図ることができる。
以上が第二実施形態の検査用治具１０の説明である。

次に、本発明の第三実施形態の検査用治具１００について説明する。検査用治具１００と第一実施形態の検査用治具１との主要な相違点は、検査用治具の保持体に保持される検査用接触子の構成が相違する点である。以下の説明では、主に相違する部分について説明し、同一の部分についてはできるだけ説明を省略する。

以下に、第三実施形態の検査用治具１００に用いる検査用接触子２００（第三接触子２００と呼ぶ）について説明する。
また、第三接触子２００は、第一接触子２と類似する構成を有しているので、同一の構成については同一の符号を付して説明している。

図８は、第三接触子２００の概略断面図である。図９は、第三接触子２００が保持体３に保持され、この保持体３が検査用治具１００に取付けられた状態を示している。尚、図９で示される第一切欠部２１２と第二切欠部２２２の長さは、自然長よりも収縮した状態の長さである。一方、後述する第三切欠部２２５は収縮しておらず、第三切欠部２２５の長さは無負荷時の長さである。

第三接触子２００と第一接触子２との主要な相違点は、第三接触子２００の内側筒体２２０に第三切欠部２２５が形成される点である。第一接触子２では、内側筒体２２に形成される切欠部は第二切欠部２２２のみであるのに対し、第三接触子２００の内側筒体２２０に形成される切欠部は、第二切欠部２２２と第三切欠部２２５である。

第三接触子２００の機能は、第一接触子２と同様の電極部４１と検査点８１を電気的に接続することであるため説明を省略する。第三接触子２００は、図８で示される如く、外側筒体２１と内側筒体２２０と固定部２３を有している。

第三接触子２００の外側筒体２１の構成は、第一接触子２の外側筒体２１の構成と略同じであるが、各部位の長さは、第一接触子２の外側筒体２１の各部位の長さとは相違する条件によって調整されることが好ましい。これは、内側筒体２２０を用いて第三接触子２００を構成していることに起因しており、その詳細は後述する。

外側筒体２１の外側下筒部２１３の長さは、後述する第三切欠部２２５が外側下筒部２１３内部に配置されるように調整されることが望ましい。これは、後述する内側筒体２２０が収縮した際に、第三切欠部２２５と保持体３の第二板状部材３２表面の第二案内孔３２ｈ周縁が接触することを防止するためである。

内側筒体２２０は、一本の導電性の筒状部材により形成されており、内側上筒部２２１、第二切欠部２２２、内側下筒部２２３、中筒部２２４と第三切欠部２２５を有している（図８参照）。夫々の部位は、内側筒体２２０の一端開口部２２０ａから内側筒体２２０の他端開口部２２０ｂに向かって、内側上筒部２２１、第二切欠部２２２、中筒部２２４、第三切欠部２２５、内側下筒部２２３の順で配置される。

内側筒体２２０の内側上筒部２２１、第二切欠部２２２については、第一接触子２の内側筒体２２の内側上筒部２２１、第二切欠部２２２と同様であるため、説明を省略する。

中筒部２２４は、一端開口部２２４ａと他端開口部２２４ｂを備える筒状部材である（図８参照）。この中筒部２２４の一端開口部２２４ａは、上述の第二切欠部２２２の他端開口部２２２ｂと連通連結され、この中筒部２２４の他端開口部２２４ｂは、後述する第三切欠部２２５の一端開口部２２５ａと連通連結されている。このため、中筒部２２４は、第二切欠部２２２と第三切欠部２２５の間に形成されることになる。

また、中筒部２２４には、後述する固定部２３が形成される。この固定部２３により、外側筒体２１と内側筒体２２０が電気的に接続されて固定されることになる（詳細は後述する）。
中筒部２２４の長軸方向の長さは、内側上筒部２２１と同様に、第二切欠部２２２が第一切欠部２１２と接触することがないように設定されることが望ましい。また、後述する第三切欠部２２５が第二板状部材３２表面の第二案内孔３２ｈ周縁と接触することがないように設定されることが望ましい。

第三切欠部２２５は、一端開口部２２５ａと他端開口部２２５ｂを備える筒状部材である。この第三切欠部２２５の一端開口部２２５ａは、上述の中筒部２２４の他端開口部２２４ｂと連通連結され、この第三切欠部２２５の他端開口部２２５ｂは、後述する内側下筒部２２３の一端開口部２２３ａと連通連結されている。このため、第三切欠部２２５は、中筒部２２４と内側下筒部２２３の間に形成されることになる。この第三切欠部２２５は、内側筒体２２０を形成する筒状部材の長軸方向にその壁面に沿って螺旋状の切欠を設けることにより形成されている。このように内側筒体２２０に螺旋状の切欠を形成することにより、この第三切欠部２２５は内側筒体２２０の長軸方向に伸縮する弾性部として機能することになる。
尚、この第三切欠部２２５が有する弾性伸縮の特性は、切欠部の幅や長さや筒状部材の厚さの調整、筒状部材の材料の種類、筒状部材に加える各種処理（熱的処理や化学的処理等）等により適宜調整可能であり、使用者により適宜調整される。尚、第三切欠部２２５の切欠形状は、図中では一つであるが、複数設けても構わない。

この第三切欠部２２５の長さは、所望の収縮長又は接触圧を有するように長さを調整すると同時に、第三接触子２００が保持体３に装着された際に、上述の如く第三切欠部２２５が第二板状部材３２と接触することがないように設定されることが望ましい。図９では、第三切欠部２２５は、外側下筒部２１３の他端開口部２１３ｂから外側下筒部２１３の固定部２３が設けられる位置までの長さより短く形成されて配置されている。

内側下筒部２２３の機能や構成、形状は、第一実施例の内側下筒部２２３と同様であるため、説明を省略する。

内側下筒部２２３の長さは、上記の如き第三切欠部２２５が第二板状部材３２に形成される第二案内孔３２ｈ（後述する）の周縁と接触することがないように設定されることが望ましい。また、検査点８１に内側下筒部２２３の他端開口部２２３ｂが当接して内側筒体２２０の第二切欠部２２２及び第三切欠部２２５及び外側筒体の第一切欠部２１２が収縮しても、内側下筒部２２３の他端開口部２２３ｂが第二板状部材３２の検査点側表面から突出することができる長さを有するように形成される（図９参照）。

固定部２３は、外側筒体２１の外側下筒部２１３と内側筒体２２０の中筒部２２４に形成されて外側筒体２１と内側筒体２２０を固定する。固定部２３の形状や固定方法は、第一実施形態の固定部２３の形状や固定方法と同様であるため、説明を省略する。

第三接触子２００は、上記のような条件で好適に実施することができるが、また、以下のような条件も設定することができる。
外側筒体２１の第一切欠部２１２は、第一案内孔３１ｈの内部に配置されず、且つ、内側筒体２２０の外側上筒部２２１の外側周囲に配置され、且つ、内側筒体２２０の第二切欠部２２２の外側周囲に配置されない。また、内側筒体２２０の第二切欠部２２２は、外側筒体２１の第一切欠部２１２の内部に配置されず、且つ、外側筒体２１の外側下筒部２１３の内部に配置される。また、内側筒体２２０の第三切欠部２２５は、第二案内孔３２ｈの内部に配置されず、且つ、外側筒体２１の外側下筒部２１３の内部に配置される。
これらの条件に設定して各部材を形成することにより、各切欠部が他の切欠部や各板状部材と接触することを防止して第三接触子２００を好適に実施することができる。
尚、この第三接触子２００の内側筒体２２０は、固定部２３を挟んで、二つの切欠部が形成されており、この固定部２３を中心として配置されていることになる。本第三接触子２００を形成している筒状部材の製造方法には、第一実施形態の第一接触子２を形成している筒状部材の製造方法と同様の製造方法を用いることができる。
以上が第三実施形態の検査用接触子２００（第三接触子２００）の説明である。

次に、第三接触子２００を用いる場合の検査用治具１００を説明する。
第三実施形態の検査用治具１００の保持体３の機能や構成は、第一実施形態の保持体３と同様であるので説明を省略する。
ただし、保持体３を構成する第一板状部材３１や第二板状部材３２の厚さ、及び両板状部材間の距離は、第三接触子２００の第一切欠部２１２と第一板状部材３１の接触、及び、第一切欠部２１２と第二切欠部２２２の接触、及び第三切欠部２２５と第二板状部材３２の接触を防止できるように夫々調整されることが望ましい。

図９では、電極部４１は、第一実施例の図４と同様に、外側筒体２１の一端開口部２１ａと内側筒体２２０の一端開口部２２０ａと圧接するように形成されているが、これは第三実施形態の一例であって、電極部４１はこの形状に限定されない。
例えば、検査点８１が図９に示されるピッチより更に狭ピッチで配置されている場合には、電極部４１は外側筒体２１の外径より小さく形成され、内側筒体２２０の一端開口部２２０ａのみが電極部４１に当接するように配置されることが望ましい。尚、このとき外側筒体２１の一端開口部２１ａは、電極部４１周辺の電極体４表面に当接することになる。

保持体３を検査用治具１００に取付ける際の説明は、第一実施形態と同様であるため省略する。

次に、検査用治具１００を検査に用いる場合を説明する。
検査を実施する際に、所定の検査点８１に所望の検査端２００ｂが当接すると、まず、検査点８１に当接する内側筒体２２０の他端開口部２２０ｂが圧接されることになるので、内側筒体２２０の第三切欠部２２５が収縮することになる。
このとき、外側筒体２１と内側筒体２２０は固定部２３により固定されているので、第三切欠部２２５が収縮するのと略同時に外側筒体２１の第一切欠部２１２と内側筒体２２０の第二切欠部２２２も収縮することになる。これらの切欠部が収縮して、検査点８１を圧接することにより、検査点８１と電極部４１は、第三接触子２００を介して電気的に接続されることになる。
尚、外側筒体２１の一端開口部２１ａと内側筒体２２０の一端開口部２２０ａは常に電極部４１に接触しているので、検査点８１に検査端２００ｂが接触するたびに外側筒体２１の一端開口部２１ａと内側筒体２２０の一端開口部２２０ａが電極部４１に離接動作を繰り返すことがない。このため、電極部４１の劣化を防止して検査用治具１００の耐久性の向上を図ることができる。
以上が第三実施形態の検査用治具１００の説明である。

次に、第四実施形態の検査用治具１Ａについて説明する。図１０は、第四実施形態の検査用治具１Ａの動作を示した図であり、（ａ）は第四接触子２Ａを保持体３に装着した状態（装着時）を示し、（ｂ）は検査が行われている状態（検査時）を示す概略断面図である。尚、この第四実施形態の検査用治具１Ａで使用される接触子を第四接触子２Ａと称する。この第四接触子２Ａは、基本的には第一接触子１と同様であるが、第四接触子２Ａの内側筒体２２Ａの両端開口部が、外側筒体２１よりも延出して配置されている。また、この第四接触子２Ａが保持体３に装着時に、外側筒体２１の一端開口部２１ａが電極体４と当接しないように配置され、且つ、検査時において（図１０（ｂ）参照）、外側筒体２１の一端開口部２１ａが電極体４に当接するように形成されている。なお、この外側筒体２１の一端開口部２１ａが電極体４と当接するタイミングは、内側筒体２２Ａの一端開口部２２Ａｂが検査点８１に当接し、内側筒体２２Ａの第一切欠部２２２Ａが収縮し始めた以降で、実際に電気信号が第四接触子２Ａを介して供給されて検査が行われる前までになる。

第四接触子２Ａの外側筒体２１は、少なくとも内側筒体２２Ａが検査点８１に当接しない限りにおいて、電極体４とは当接しないことになる。このため、検査時以外の保持体３に装着されている状態では、第四接触子２Ａが、保持体３を内側筒体２２Ａの第一切欠部２２２Ａの収縮による押圧力により保持されることになる、また、検査時には、第四接触子２Ａが検査点８１と電極体４に夫々挟持されることになり、第四接触子２Ａの外側筒体２１が電極体４と当接することになるため、検査点８１には外側筒体２１の第一切欠部２１２と内側筒体２２Ａの第一切欠部２２２Ａとの収縮による押圧力が生じることになる。このため、第四接触子２Ａは、検査時と検査時以外（装着時）の場合において、接触子自体の加重（切欠部の収縮による押圧力）に変化を設定することができる。例えば、第四接触子２Ａの保持体３にかかる押圧力を小さくしたり、検査点に係る押圧力を大きくしたりして調整することができ、保持体３の第二板状部材３２にかかる力を低減しながら、検査点８１にかかる力を増加させることができるようになる。

上記の如き外側筒体２１の動作を可能とするために、例えば、第四接触子２Ａは、内側筒体２２Ａの一端開口部２２Ａａが、外側筒体２１の一端開口部２１ａから所定長さ突出して形成されている。この内側筒体２２Ａの突出長さは、図１０（ａ）で示される装着時に電極体４と外側筒体２１が空間長さｖを有して配置され、図１０（ｂ）に示される検査時に電極体４と外側筒体２１が圧接される長さに調整される。この場合、外側筒体２１の長さは、第二板状部材３２の表面から電極体４の表面までの距離よりも短く形成されるとともに、外側筒体２１の一端開口２１ａが第一板状部材３１の案内孔内部に配置され、検査時に外側筒体２１の第一切欠部２１２が十分に収縮することができる長さに設定される。
なお、この空間長さｖは、第四接触子２Ａを保持体３に装着した場合に空間ができる長さであれば特に限定されない。

電極体４の電極部４１は、図１０で示される如く、外側筒体２１と直径と略同じ又はより大きい径を有するように形成することもできるし、内側筒体２２Ａとのみ導通接触する大きさ（内側筒体２２Ａよりも僅かに大きい径）を有するように形成することもできる。

次に、第五実施形態の検査用治具１Ｂについて説明する。図１１は、第五実施形態の検査用治具１Ｂの動作を示した図であり、（ａ）は第五接触子２Ｂを保持体３に装着した状態（装着時）を示し、（ｂ）は検査が行われている状態（検査時）を示す概略断面図である。尚、この第五実施形態の検査用治具１Ｂで使用される接触子を第五接触子２Ｂとする。この第五接触子２Ｂは、基本的には第一接触子１と同様であるが、第五接触子２Ｂの内側筒体２２Ｂの一端開口部２２Ｂａが、外側筒体２１よりも内部に配置されている（外側筒体２１の一端開口部２１ａが内側筒体２２Ｂａから突出して配置されている）。この第五接触子２Ｂが保持体３に装着時（図１１（ａ）参照）には、内側筒体２２Ｂの一端開口部２２Ｂａが電極体４と当接しないように配置され、且つ、検査時（図１１（ｂ）参照）においては、内側筒体２２Ｂの一端開口部２２Ｂａが電極体４に当接するように形成されている。

この内側筒体２２Ｂの一端開口部２２Ｂａが電極体４と当接するタイミングは、内側筒体２２Ｂの他端開口部２２Ｂｂが検査点８１に当接し、外側筒体２１の第一切欠部２１２が収縮し始めた以降で、実際に電気信号が第五接触子２Ｂを介して供給されて検査が行われる前までになる。

第五接触子２Ｂの内側筒体２２Ｂは、少なくとも内側筒体２２Ｂが検査点８１に当接しない限りにおいて、電極体４とは当接しないことになる。このため、装着時（検査時以外の保持体３に装着されている状態）には、第五接触子２Ｂが、保持体３を外側筒体２１の第一切欠部２１２の収縮による押圧力により保持されることになる、また、検査時には、第五接触子２Ｂが検査点８１と電極体４に夫々挟持されることになり、第五接触子２Ｂの内側筒体２２Ｂが電極体４と当接することなるため、検査点８１には外側筒体２１の第一切欠部２１２と内側筒体２２Ｂの第一切欠部２２２Ｂとの収縮による押圧力が生じることになる。このため、第五接触子２Ｂは、検査時と検査時以外（装着時）の場合に、接触子自体の加重（切欠部の収縮による押圧力）に変化を設定することができる。例えば、第五接触子２Ｂの保持体３にかかる押圧力を小さくしたり、検査点に係る押圧力を大きくしたりして調整することができ、保持体３の第二板状部材３２にかかる力を低減しながら、検査点８１にかかる力を増加させることができるようになる。

上記の如き内側筒体２２Ｂの動作を可能とするために、例えば、第五接触子２Ｂは、外側筒体２１の一端開口部２１ａが、内側筒体２２Ｂの一端開口部２２Ｂａから所定長さ突出して形成されている。この外側筒体２１の突出長さは、図１１（ａ）で示される装着時に電極体４と内側筒体２２Ｂが空間長さｗを有して配置され、図１１（ｂ）に示される検査時に電極体４と内側筒体２２Ｂが圧接される長さに調整される。この場合、外側筒体２１の長さは、第二板状部材３２の表面から電極体４の表面までの距離よりも所定長を有して長く形成される。この所定長の長さ分だけ外側筒体２１の第一切欠部２１２が収縮することになる。外側筒体２１の一端開口２１ａが第一板状部材３１の案内孔内部に配置され、検査時に外側筒体２１の第一切欠部２１２が十分に収縮することができる長さに設定される。

電極体４の電極部４１は、図１１で示される如く、外側筒体２１と直径と略同じ又はより大きい径を有するように形成することもできるし、内側筒体２２Ａとのみ導通接触する大きさ（内側筒体２２Ａよりも僅かに大きい径）を有するように形成することもできる。

本発明による接触子を提供することによって、接触子の直径が100μｍ未満であっても、少なくとも20ｍＮ以上、好ましくは50ｍＮ前後の荷重を有する接触子を提供することが可能となる。このため、はんだやアルミニウムで形成される検査対象部の表面の酸化膜を確実に破って、検査対象部の酸化していない部分と確実に接触することができる十分な接触圧を提供することができる。
また、これら第一乃至第五接触子の上端部及び下端部の先端は、夫々端面となるように形成されているが、この形状に限られず、例えばこれらの先端に先鋭形状となるようなテーパ部を形成したり、複数の凸部を有するクラウン形状に形成したりすることもできる。

第一乃至第五接触子は、二本の筒状部材を組み合わせることにより形成されているが、例えば三本の径（直径及び内径）が相違する筒状部材を用いて、最内に最も径の小さい筒状部材を配置し、その外側に二番目に径の小さい筒状部材を配置し、更にその外側に最も径の大きい筒状部材を配置して一本の接触子とするように、徐々に径の大きくなる複数の筒状部材を組み合わせて検査用接触子とすることもできる。

第一乃至第五接触子が有する各部位の長さは、その好適な状態の場合における各長さの関係を用いることによって説明したが、隣接する部材同士（例えば、第一切欠部と第一板状部材、第一切欠部と第二切欠部、第二切欠部と第二板状部材第三切欠部と第二板状部材）の間隙が十分に確保されており、その切欠部が収縮運動を行った場合に、相手方となる部材に接触しても、その収縮運動が阻害されなければ、上記する関係に限定されず、適宜に調整することもできる。

第一乃至第五接触子は、内側筒体の他端開口部が検査端として検査点８１と接触するように形成されているが、例えば内側筒体の内部に導電性の棒状部材（図示せず）を備えるように形成することもできる。この棒状部材は先端が内側筒体の内部に配置され、後端が内側筒体の他端開口部から突出するように内側下筒部と電気的に接続されて固定される。先端が配置される内側筒体内での位置は特に限定されないが、例えば内側上筒部内に配置することができる。このように棒状部材を備えることで、後端が検査点８１と接触することになるので、検査用接触子と検査点８１の電気的接続を確実にすることができる。また、内側筒体に設けられた切欠部が伸縮する際のガイドとして機能することができる。

また、第一乃至第五接触子の外側筒体の外周表面上に絶縁被膜を形成することもできる。このように絶縁被膜を設けることにより、保持体３に第一乃至第五接触子が複数本取り付けられた際に、隣同士の接触子が接触して互いに導通することを防止することができる。

第四及び第五接触子の実施形態において、夫々の内側下筒部に切欠部を形成しても構わない。このように内側下筒部の切欠部を形成しても、第四及び第五接触子の機構の阻害要因にはならず、好適に実施することができる。

１・・・第一実施形態における検査用治具
１０・・第二実施形態における検査用治具
１００・第三実施形態における検査用治具
１Ａ・・第四実施形態における検査用治具
１Ｂ・・第五実施形態における検査用治具
２・・・第一実施形態における検査用接触子（第一接触子）
２０・・第二実施形態における検査用接触子（第二接触子）
２００・第三実施形態における検査用接触子（第三接触子）
２Ａ・・第四実施形態における検査用接触子（第四接触子）
２Ｂ・・第五実施形態における検査用接触子（第五接触子）
２１・・外側筒体
２２・・内側筒体（第一実施形態及び第二実施形態）
２２０・内側筒体（第三実施形態）
２２Ａ・内側筒体（第四実施形態）
２２Ｂ・内側筒体（第五実施形態）
２３・・固定部
３・・・保持体
３１・・第一板状部材
３１ｈ・第一案内孔
３２・・第二板状部材
３２ｈ・第二案内孔
４・・・電極体
４１・・電極部
５・・・導線
８・・・被検査物
８１・・検査点

Claims (18)

1. 被検査対象となる複数の検査点を有する被検査物と、該検査点間の電気的特性を検査する検査装置とを電気的に接続する検査用治具であって、
   前記検査装置と電気的に接続される電極部を複数備える電極体と、
   前記電極部と前記検査点を電気的に接続する検査用接触子と、
   前記検査用接触子の一端を前記電極部へ案内する第一板状部材と、前記検査用接触子の他端を前記検査点へ案内する第二板状部材を有して、該検査用接触子を保持する保持体を備え、
   前記検査用接触子は、
   一端開口が前記第二板状部材に当接される外側筒体と、
   前記外側筒体の内部に且つ同軸に配置されるとともに、該外側筒体の一端開口から延出して配置される内側筒体とを有し、
   前記外側筒体は、
   前記第二板状部材と当接する一方開口部を有する外側下筒部と、
   前記外側下筒部の他方開口部と連通連結されるとともに該外側下筒部と同一径の筒形状に形成されるとともに、該筒形状の壁面に長軸方向の螺旋状の切欠を備える第一切欠部と、
   前記第一切欠部と同一径の筒形状に形成されるとともに、該第一切欠部と連通連結される外側上筒部を有し、
   前記内側筒体は、
   前記検査点と電気的に接続される一方開口部を有する内側下筒部と、
   前記内側下筒部の他方開口部と連通連結されるとともに該内側下筒部と同一径の筒形状に形成されるとともに、該筒形状の壁面に長軸方向の螺旋状の切欠を備える第二切欠部と、
   前記第二切欠部と同一径の筒形状に形成されるとともに、該第二切欠部と連通連結される内側上筒部を有し、
   前記外側筒体と前記内側筒体は、前記外側下筒部と前記内側下筒部で固定される固定部を有してなり、
   前記内側筒体の内側下筒部が前記検査点に圧接されて検査が実施される場合に、該検査点と前記電極体により前記内側筒体と前記外側筒体が挟持され、前記第一切欠部と前記第二切欠部が収縮されていることを特徴とする検査用治具。
2. 前記内側筒体の内側下筒部が前記検査点と当接していない場合に、
   前記第二板状部材と前記電極体により、前記外側筒体と前記内側筒体が挟持され、前記第一切欠部及び前記第二切欠部が収縮されていることを特徴とする請求項１記載の検査用治具。
3. 前記内側筒体の内側下筒部が前記検査点と当接していない場合に、
   前記第一切欠部が、自然長で保持され、
   前記第二切欠部が、前記内側筒体が前記第二板状部材と前記電極体に挟持されることにより収縮されていることを特徴とする請求項１記載の検査用治具。
4. 前記内側筒体の内側下筒部が前記検査点と当接していない場合に、
   前記第一切欠部が、前記外側筒体が前記第二板状部材と前記電極体に挟持されることにより収縮され、
   前記第二切欠部が、自然長で保持されていることを特徴とする請求項１記載の検査用治具。
5. 前記内側筒体は、該内側筒体の前記固定部と前記検査点の間の該内側筒体の周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備えることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の検査用治具。
   
6. 前記第一切欠部が収縮する長さは、前記電極体表面から前記第二板状部材の表面までの距離と前記外側筒体の長さにより調整されていることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の検査用治具。
7. 被検査対象となる複数の検査点を有する被検査物と、該検査点間の電気的特性を検査する検査装置とを電気的に接続する検査用治具であって、
   前記検査装置と電気的に接続される電極部を複数備える電極体と、
   前記電極部と前記検査点を電気的に接続する検査用接触子と、
   前記検査用接触子を保持する保持体を備え、
   前記検査用接触子は、
   先端開口部が前記電極部と当接する電極端となる外側筒体と、
   前記外側筒体の後端開口部から突出されるとともに該外側筒体内部に電気的に接続されて同軸に配置され、先端開口部が前記検査点に圧接される検査端となる導電性の内側筒体とを備え、
   前記外側筒体は、
   前記電極端となる先端開口部を有する外側上筒部と、
   前記外側上筒部と同一径で、先端開口部が該外側上筒部の後端開口部と連通連結されるとともに、周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備える筒状の第一切欠部と、
   前記第一切欠部と同一径で、該第一切欠部の後端開口部と連通連結される外側下筒部を有し、
   前記内側筒体は、
   前記検査端となる先端開口部を有する内側下筒部と、
   前記内側下筒部と同一径で、先端開口部が該内側下筒部の後端開口部と連通連結されるとともに、周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備える筒状の第二切欠部と、
   前記第二切欠部と同一径で、該第二切欠部の後端開口部と連通連結されるとともに、前記外側筒体の内部に配置される内側上筒部とを有し、
   前記外側筒体と前記内側筒体は、前記外側下筒部と前記内側上筒部を電気的に接続するとともに固定する固定部を有し、
   前記保持体は、
   前記外側筒体の電極端を前記電極部へ案内する第一案内孔を有する第一板状部材と、
   前記第一板状部材と所定間隔を有して配置されるとともに前記内側筒体の検査端を前記検査点へ案内する第二案内孔を有する第二板状部材を備えることを特徴とする検査用治具。
8. 前記外側筒体は、前記検査端と前記検査点が非接触状態である場合において、該外側筒体の先端開口部が電極部に圧接され、後端開口部が前記第二板状部材に圧接されることを特徴とする請求項７記載の検査用治具。
9. 前記内側筒体の後端開口部は、常に前記外側上筒部内に収容されていることを特徴とする請求項７又は８記載の検査用治具。
10. 前記外側筒体の先端開口部は、該外側筒体の長軸方向に対して直角な端面を有することを特徴とする請求項７乃至９いずれかに記載の検査用治具。
11. 被検査対象となる被検査物の複数の検査点と、該検査点間の電気的特性を検査する検査装置と電気的に接続される検査用治具の電極体に複数備えられた電極部とを電気的に接続する検査用接触子であって、
    前記検査用接触子は、
    先端開口部が前記電極体の表面と当接する電極端となる外側筒体と、
    前記外側筒体の後端開口部から突出されるとともに該外側筒体内部に電気的に接続されて同軸に配置され、先端開口部が前記検査点に圧接される検査端となる導電性の内側筒体とを備え、
    前記外側筒体は、
    前記電極端となる先端開口部を有する外側上筒部と、
    前記外側上筒部と同一径で、先端開口部が該外側上筒部の後端開口部と連通連結されるとともに、周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備える筒状の第一切欠部と、
    前記第一切欠部と同一径で、該第一切欠部の後端開口部と連通連結される外側下筒部を有し、
    前記内側筒体は、
    前記検査端となる先端開口部を有する内側下筒部と、
    前記内側下筒部と同一径で、先端開口部が該内側下筒部の後端開口部と連通連結されるとともに、周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備える筒状の第二切欠部と、
    前記第二切欠部と同一径で、該第二切欠部の後端開口部と連通連結されるとともに、前記内側下筒部が検査点に当接した場合に前記電極部へ圧接される内側上筒部とを有し、
    前記外側筒体と前記内側筒体は、前記外側下筒部と前記内側下筒部を電気的に接続するとともに固定する固定部を有することを特徴とする検査用接触子。
12. 前記外側筒体の前記第一切欠部と前記内側筒体の前記第二切欠部のいずれか若しくは両方が収縮した場合に、前記外側筒体の前記先端開口部と前記内側筒体の前記後端開口部が同一平面上に存在することを特徴とする請求項１１記載の検査用接触子。
13. 前記内側筒体は、該内側筒体の前記固定部と前記検査端の間の該内側筒体の周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備えることを特徴とする請求項１１又は１２記載の検査用接触子。
14. 前記外側筒体の先端開口部は、該外側筒体の長軸方向に対して直角な端面を有し、
    前記内側筒体の後端開口部は、該内側筒体の長軸方向に対して直角な端面を有することを特徴とする請求項１１乃至１３いずれかに記載の検査用接触子。
15. 被検査対象となる被検査物の複数の検査点と、該検査点間の電気的特性を検査する検査装置と電気的に接続される検査用治具の電極体に複数備えられた電極部とを電気的に接続する検査用接触子であって、
    前記検査用接触子は、
    先端開口部が前記電極部と当接する電極端となる外側筒体と、
    前記外側筒体の後端開口部から突出されるとともに該外側筒体内部に電気的に接続されて同軸に配置され、先端開口部が前記検査点に圧接される検査端となる導電性の内側筒体とを備え、
    前記外側筒体は、
    前記電極端となる先端開口部を有する外側上筒部と、
    前記外側上筒部と同一径で、先端開口部が該外側上筒部の後端開口部と連通連結されるとともに、周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備える筒状の第一切欠部と、
    前記第一切欠部と同一径で、該第一切欠部の後端開口部と連通連結される外側下筒部を有し、
    前記内側筒体は、
    前記検査端となる先端開口部を有する内側下筒部と、
    前記内側下筒部と同一径で、先端開口部が該内側下筒部の後端開口部と連通連結されるとともに、周縁に長軸方向に形成される螺旋状の切欠を備える筒状の第二切欠部と、
    前記第二切欠部と同一径で、該第二切欠部の後端開口部と連通連結されるとともに、前記外側筒体の内部に配置される内側上筒部とを有し、
    前記外側筒体と前記内側筒体は、前記外側下筒部と前記内側上筒部を電気的に接続するとともに固定する固定部を有することを特徴とする検査用接触子。
16. 前記内側筒体の前記後端開口部は、常に前記外側上筒部内に収容されていることを特徴とする請求項１５記載の検査用接触子。
17. 前記外側筒体の前記先端開口部は、該外側筒体の長軸方向に対して直角な端面を有することを特徴とする請求項１５又は１６記載の検査用接触子。
18. 前記検査用接触子は、前記内側筒体内に配置された導電性の棒状部材を備え、
    前記棒状部材は、前記内側上筒部又は前記内側下筒部に固定されるとともに、前記内側筒体の先端開口部から延設されていることを特徴とする請求項１１乃至１７いずれかに記載の検査用接触子。

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