JP2010281592A - プローブ及び検査用治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被検査物の対象部の電気的特性を検査するための検査装置用の検査用治具に取り付けられるプローブは、円筒形状部と、円筒形状部内に配置された1又は2の棒状部とを備え、円筒形状部が、一方にある円筒形状の先端部と、他方にある円筒形状の後端部と、先端部と後端部との間に形成されたばね部とを備える。そのプローブにおいては、棒状部の一方が、円筒形状部の先端部に接合されるとともに先端部から突出しており、棒状部の他方が存在するときには、その他方が、円筒形状部の後端部に接合されるとともに後端部から突出している。
【選択図】 図3
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る検査用治具10の概略の構成を示す一部断面正面図である。検査用治具10は、ヘッド部12、ベース部14及び電極部16を備える。ヘッド部12及びベース部14は、樹脂あるいはセラミックス等の絶縁性の板状部材からなる。ヘッド部12及びベース部14は、棒状の支持部材11及びその周囲に環装されたスペーサ11sによって所定の距離だけ離隔されて保持されている。
図2(A)から図2(D)は、図1の検査用治具に用いることができる一実施形態に係るプローブを説明するための概略構成図である。
(1)まず、円筒形状部22の中空部を形成するための芯線(図示せず)を用意する。なお、この芯線は、円筒形状部22の内径φ2を規定する所望の太さ(上記の実施形態では、直径が約125μm)のSUS線を用いる。
(2)次いで、芯線(SUS線)にフォトレジスト被膜を塗布し、この芯線の周面を覆う。そのフォトレジスト被膜の所望の部分を露光・現像・加熱処理して螺旋状のマスクを形成する。例えば、芯線を中心軸の周りに回転させながらレーザにより所定の部分を露光して螺旋状のマスクを形成する。円筒形状部22においては、円筒形状の先端部22fと円筒形状の後端部22rとの間の長さL3のばね部22sに対応する位置にマスクを形成する。
(3)次いで、その芯線にニッケルめっきを実施する。このとき、芯線は導電性であるため、フォトレジストマスクが形成されていない箇所にニッケルめっきが付着する。
(4)次いで、フォトレジストマスクを除去して、芯線を引き抜き、所望の長さで筒体を切断して、円筒形状部22を形成する。芯線を完全に引き抜く前に筒体を切断してもよいことは、いうまでもない。
(1)まず、製法例1と同様に、円筒形状部22の中空部を形成するための芯線(図示せず)を用意し、その芯線にニッケルを所望の厚さめっきして、芯線の周面にニッケルめっき層を形成する。
(2)次に、そのニッケルめっき層の表面にフォトレジストを塗布する。そのフォトレジストの所望の部分を露光・現像・加熱処理して螺旋状のマスクを形成する。例えば、芯線を中心軸の周りに回転させながら、レーザにより露光して螺旋状のマスクを形成する。円筒形状部22においては、円筒形状の先端部22fと円筒形状の後端部22rとの間の長さL3のばね部22sに対応する位置にマスクを形成する。
(3)次いで、ニッケルめっきをエッチング除去する。このとき、フォトレジストマスクが形成されていない箇所のニッケルめっきが除去される。
(4)次いで、フォトレジストマスクを除去して、芯線を引き抜き、所望の長さで筒体を切断して、円筒形状部22を形成する。芯線を完全に引き抜く前に筒体を切断してもよいことは、いうまでもない。
図3は、検査用治具の一部の拡大断面図である。図3に示すように、ヘッド部12の下面には板厚の薄いプレート12uが取り付けられていて、ヘッド部12には大径部12h1が形成され、プレート12uには小径部12h2が形成されている。ただし、プレート12uを用いることなく、ヘッド部12自体に大径部12h1と小径部12h2とを形成してもよい。
図5は他の実施形態に係るプローブ20vを示す。プローブ20vは、プローブ20と同様の円筒形状部22及び棒状部24を備え、さらに、短い棒状部26を備える。棒状部26は後端部22rに代わって電極部16と接触するように機能する。
11・・・支持部材
11s・・・スペーサ
12・・・ヘッド部
12h、14h・・・貫通孔
12h1・・・大径部
12h2・・・小径部
14・・・ベース部
16・・・電極部
20,20v・・・プローブ
22f,24e・・・先端部
24,26・・・棒状部
22r,26e・・・後端部
22s・・・ばね部
Claims (7)
- 被検査物の対象部の電気的特性を検査するための検査装置用の検査用治具に取り付けられるプローブであって、
円筒形状部と、該円筒形状部内に配置された1又は2の棒状部とを備え、
前記円筒形状部が、一方にある円筒形状の先端部と、他方にある円筒形状の後端部と、前記先端部と前記後端部との間に形成されたばね部とを備え、
前記棒状部の一方が、前記円筒形状部の前記先端部に接合されるとともに該先端部から突出しており、前記棒状部の他方が存在するときには、該他方が、前記円筒形状部の前記後端部に接合されるとともに該後端部から突出している、プローブ。 - 請求項1のプローブにおいて、前記円筒形状部はニッケル合金のチューブから構成されている、プローブ。
- 請求項1のプローブにおいて、前記棒状部はタングステン又は工具用炭素鋼又はベリリウム銅の円柱部材から形成されている、プローブ。
- 請求項1のプローブにおいて、前記円筒形状部の前記ばね部は、螺旋形状に形成されている、プローブ。
- 請求項1のプローブにおいて、前記棒状部は抵抗溶接又はレーザ溶接又はかしめによって前記円筒形状部の先端部又は後端部に固定されている、プローブ。
- 被検査物の対象部の電気的特性を検査するための検査装置用の検査用治具であって、
請求項1のプローブと、
該プローブを前記検査装置に電気的に接続するための電極部と、
前記プローブの前記先端部を前記被検査物の前記対象部上の所定の検査点へ案内するためのヘッド部と、
前記プローブの前記後端部を前記電極部へ案内するためのベース部とを備え、
前記ヘッド部が、前記プローブの前記先端部を係止する係止部と、該先端部から突出する前記棒状部を前記所定の検査点へ案内するための貫通孔とを備える、検査用治具。 - 請求項6の検査用治具において、前記ヘッド部に大径部と小径部とからなる貫通孔が形成されており、前記係止部が、小径部を形成する面によって構成されている、検査用治具。
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