JP2008164351A - 大電流容量対応型プローブ - Google Patents
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Abstract
【課題】 ファインピッチ化に対応し、簡単な構成で比較的大きな電流を流すことができるプローブを提供する。
【解決手段】 本発明に係るプローブPは、プローブホルダー110の貫通孔112内に保持されるものであって、金属の線材200から構成される。線材200には、その軸方向に第1の接圧部212、第1の接圧部212に接続されたバネ部242、バネ部242に接続された第2の接圧部244を一体に形成されている。バネ部242には、ドリル加工によって形成された螺旋状の溝240が形成されている。好ましくは、線材は、タングステンである。
【選択図】 図4
【解決手段】 本発明に係るプローブPは、プローブホルダー110の貫通孔112内に保持されるものであって、金属の線材200から構成される。線材200には、その軸方向に第1の接圧部212、第1の接圧部212に接続されたバネ部242、バネ部242に接続された第2の接圧部244を一体に形成されている。バネ部242には、ドリル加工によって形成された螺旋状の溝240が形成されている。好ましくは、線材は、タングステンである。
【選択図】 図4
Description
本発明は、半導体基板または半導体ウエハ等に形成された電極やパッド等に電気的に接続されるプローブに関し、特に、プローブの形成方法に関する。
集積回路等の試験をウエハ上で行うために、マルチプローブを備えたプローブカードが利用されている。プローブカードには、プローブを片持ち梁に保持し、電極等への接触時にその先端を変位させるカンチレバー型と、プローブを垂直方向に保持し、電極等への接触時にプローブを垂直方向または軸方向に弾性変形させる垂直型がある。特許文献1のプローブカードは、垂直型のマルチプローブピンとMLC/MLO等の多層配線中継用基板とを備えた構造を開示している。
垂直型のプローブカードに用いられるプローブは、それ自身が垂直方向に変位できるようにバネ性またはスプリング機能を内蔵している。そのようなプローブの一例の構成を図7に示す。プローブ10は、円柱状の金属から成り、ウエハ上の電極等に接触される第1の接圧部12と、円柱状の金属から成り、プローブカード側の基板の導電領域に接触される第2の接圧部14と、軸方向に弾性変形が可能であり、第1の接圧部12に一定の接圧を与える金属製のスプリング16と、中空円筒状の金属から成り、両端に第1および第2の接圧部12、14を取り付け、内部にスプリング16を保持するバレル18とを有している。
図8は、プローブを保持するプローブホルダーの概略断面図である。プローブホルダー20は、樹脂またはセラミック等の電気的絶縁性の材料から構成され、プローブ10を挿入し、保持するための複数の貫通孔22が形成されている。貫通孔22には、段差が形成され、プローブ10が挿入されたとき、プローブ10のバレル18の端部が段差に接触し、プローブホルダー20の一面24からプローブ10の第1の接圧部12が突出するようになっている。また、プローブ10の第2の接圧部14は、基板26の対応する導電領域に接続されている。
試験を実施するとき、第1の接圧部12がウエハ上の電極に一定の荷重で押圧されると、スプリング16が弾性変形し、そのバネ力により第1の接圧部12とウエハ上の電極間に一定の接圧が与えられる。ウエハ上の電極の高さのバラツキは、スプリング16によって解消され、許容される範囲内の圧力で全てのプローブがウエハ上の電極に接触する。
しかしながら、上記のようなスプリングを内蔵するプローブには、構造上の欠点がある。ウエハ上の電極のピッチが微細になると、それに従いプローブのピッチおよびプローブ径を小さくしなければならない。プローブピッチが200ミクロンになると、バレル18の径は約150ミクロンとなり、バレル18内に収納されるスプリング16もさらに小さくしなければならない。通常、スプリング16は、線材を巻き、それを熱処理しているが、その線材の径は約25ミクロン程度になる。このようなプローブにおいては、集積回路等の試験時にバレル18とスプリング16の双方に電流が流れる。一般的に、スプリング16に流れる電流よりもバレル18に流れる電流の方が大きいが、大きな電流がプローブに流れる場合、スプリング16側に流れる電流も大きくなり、スプリング16に流れる電流による発熱でスプリング16が高温となり、スプリング16が焼き戻しされ、スプリング16のバネ性が喪失してしまうことがある。また、バレル18と第2の接圧部14の接触部分において、両者の間の電気抵抗による焼損も発生し得る。このようなプローブについては、プローブホルダー20から取り外し、新たなプローブに交換しなければならない。
さらに、バレル18に対して第2の接圧部14がどの程度の面積で接触するのかを特定することができないので、接触部での電気抵抗が不確実となる。従って、使用回数(測定回数)が一万回をはるかに超えるプローブにおいては、プローブそのものの特性変動を考慮した測定が要求され、プローブの許容電流量も不確実となる。例えば、許容電流量に200mA〜500mAの幅が生じてしまった場合、下限である200mAが仕様上の許容電流量となり、プローブに大きな電流を流すことができず、安定した試験を行うことができないという問題があった。
さらに図7に示すプローブは、第1の接圧部12、第2の接圧部14、スプリング16およびバレル18の4つの部品から構成されるため、部品点数が多く、プローブの低コスト化を図ることが難しかった。
本発明は、上記のような従来の課題を解決するものであり、ファインピッチ化に対応し、簡単な構成で比較的大きな電流を流すことができるプローブ、プローブの形成方法、プローブカードを提供することを目的とする。
本発明に係るプローブは、プローブホルダーの貫通孔内に保持されるものであって、金属の線材から構成され、線材の軸方向に、第1の接圧部、第1の接圧部に接続されたバネ部、バネ部に接続された第2の接圧部が一体に形成され、バネ部には、線材をドリル加工することによって形成された螺旋状の溝が形成されている。
さらに本発明に係るプローブカードは、上記構成のプローブと、プローブを挿入するための貫通孔が複数形成されたプローブホルダーと、プローブホルダーに固定される基板とを有するものであって、プローブホルダーは、その一面からプローブの第1の接圧部の少なくとも一部を突出させ、第2の接圧部を基板の導電領域に接触させ、かつ貫通孔内のプローブのバネ部にプリロードを与える。
好ましくは第1の接圧部が被接触領域に接触したとき、バネ部はプローブの軸方向に弾性変形する。また、第1の接圧部、バネ部および第2の接圧部は、電流経路を形成する。
本発明に係る、プローブホルダーの貫通孔内に保持されるプローブの形成方法は、金属の線材を用意し、前記線材の一定の深さ以上にドリルの加工深度を設定し、線材を回転させながら線材を軸方向に送り、線材に一定ピッチの螺旋状の溝を形成する。好ましくは、ドリルの加工深度は、線材の中心以上である。
本発明によれば、プローブの第1の接圧部、バネ部および第2の接圧部を一つの線材または一つの部品から構成するようにしたので、従来と比較して、バネ部に流れる許容電流量を高くすることができ、かつ、その許容電流量を一定にすることができ、安定した試験を行うことができる。さらに、プローブを構成する部品点数を減らすことで、プローブの低コスト化を図り、ひいてはプローブカードのコストを抑えることができる。
以下、本発明の最良の実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の実施例に係るプローブカードの概略構成を示す図である。本実施例に係るプローブカード100は、複数のプローブPと、複数のプローブPを保持するプローブホルダー110と、プローブホルダー110を取り付ける配線基板120とを有する。配線基板120の表面には、金属配線パターンに接続された複数の半田付け用パッド130が形成され、半田付け用パッド130は、被覆配線140によりカード基板150の電極パッドに電気的に接続されている。
次に、本実施例に係るプローブPの形成方法について説明する。初めに、図2(a)に示すような段差のある中実の線材200を用意する。線材200は、好ましくはタングステンからなり、全体の長さLは、約7mm、段差の付いた先端部210の径D1は、100μm、先端部210に接続される主部220の径D2は、150μmである。
次に、図2(b)に示すように、加工深度Fが主部220の径の1/2以上となるように、ドリル230を主部220の中心以上に深さに入れる。ドリル230は、例えば、タングステンカーバイトのような超硬度鋼を用いることができ、ドリル径Wを有している。回転されたドリル230を、主部220の端部において中心以上の深さに入れた後、線材200を回転させながら線材200を軸方向Hに一定速度で送る。これにより、図2(c)に示すように、主部220には、螺旋状の溝240(図中、ハッチングで表示)が形成される。溝240の幅は、ドリル230の径Wに等しく、溝240は、主部220の端部から軸方向に加工長さLで形成される。
こうして形成された線材は、プローブPとして用いられる。線材200の先端部210は、プローブPの第1の接圧部212として機能し、主部220に形成された螺旋状の溝240は、軸方向に弾性変形するバネ部242として機能し、主部220に溝240が形成されなかった領域が第2の接圧部244として機能する。
図3に、溝が形成された主部を軸方向と直交する面で切断したときの加工断面を示す。ドリルの加工深度Fを一定以上の大きさにし、線材200を回転させながら軸方向Hに送ることで、線材200には、図3に示すように、金属部材が残る有効な導電面250と、ドリル230によって切断された加工部分260が形成される。導電面250の大きさは、ドリル径W、加工深度F、線材の回転速度、線材の送り速度および加工長さLにより選択することができる。この導電面250の大きさは、プローブPの許容電流量を決定する。
図4は、プローブホルダーの概略断面図である。プローブホルダー110は、樹脂またはセラミック等の電気的絶縁材料から構成される。プローブホルダー110には、プローブPを挿入し、保持するための複数の円筒状の貫通孔112が形成されている。貫通孔112の径は、プローブPの径よりも幾分大きいが、貫通孔112の下部には、その径を細くした段差114が形成されている。段差114は、プローブPが挿入されたとき、プローブPのストッパーとして機能し、プローブPの第1の接圧部212とバネ部242の境界が段差114と接触する。段差114の位置は、プローブホルダー110の下面116からプローブPの第1の接圧部212が一定の距離だけ突出するように選択される。
また、貫通孔112内にプローブPが挿入されたとき、プローブホルダー110の上面118からプローブPの第2の接圧部244が一定の距離だけ突出される。プローブPの挿入後、図5に示すように、プローブホルダー110の上面118には配線基板120が固定される。このため、上面118から突出していた第2の接圧部244は、貫通孔112内に圧縮され、すなわち、プローブPのバネ部242が軸方向に撓み、バネ部242にプリロードが与えられる。これにより、プローブカード100をウエハに対向させ、第1の接圧部212をウエハ上の電極等に押圧させたとき、当該電極には一定の接圧が加わり、プローブPとウエハ上の電極間の確実な電気的な接続を得ることができる。この接圧は、例えば、5〜10グラムである。
次に、本実施例によるドリル加工されたプローブの効果について説明する。比較例として、従来例で用いたスプリングプローブ(図7を参照)を次のように構成した。
バレル径:150μm、バレル肉厚:20μm、スプリング径:25μm、
導電断面積R1=バレル断面積(8,168μm2)+スプリング断面積(491μm2)=8,659μm2
導電断面積R1=バレル断面積(8,168μm2)+スプリング断面積(491μm2)=8,659μm2
但し、スプリングプローブは、上記したようにバレルに対してどれくらいの電流が流れるか特定できないため、有効な導電断面積は、上記の計算値よりも小さいと考えられる。
一方、本実施例のプローブPを次のように構成した。
線材径D2:150μm、ドリル径W:30μm、螺旋角度θ:26度(このときの螺旋ピッチ=230μm)、加工面の内径:50μmのとき、導電断面積R2=A×B=8,980μm2である。ここで、AおよびBは、図6に示すように、溝240間の主部220の距離であり、Bは、主部の有効な導電面250の半径方向の距離である。Aは、A=(π×線材径×tanθ−ドリル径)×cosθで表される。
線材径D2:150μm、ドリル径W:30μm、螺旋角度θ:26度(このときの螺旋ピッチ=230μm)、加工面の内径:50μmのとき、導電断面積R2=A×B=8,980μm2である。ここで、AおよびBは、図6に示すように、溝240間の主部220の距離であり、Bは、主部の有効な導電面250の半径方向の距離である。Aは、A=(π×線材径×tanθ−ドリル径)×cosθで表される。
以上の結果から、本実施例によるプローブPの導電断面積R2は、従来のスプリングプローブの導電断面積R1よりも大きくなる。仮に、他のパラメータを同じにし、螺旋角度θのみを30度にした場合の導電断面積R2は、10,482μm2となり、さらに大きくなる。
このように、本実施例のプローブPは、加工仕様により従来のスプリングプローブよりも大きな導電断面積をもつことができ、その結果、許容電流量を大きくすることができ、電流量の大きなテストを行うことができる。例えば、従来のスプリングプローブであれば、許容電流量は、おおよそ500mAであったが、本実施例のプローブであれば、約1A程度の電流を流すことができる。また、バネ部242の縮み量は、プローブの長さ5〜10mmに対して100μm程度であるため、バネ部の縮みによる線径の増大はほぼ無視することができる。
さらに、市販のスプリングプローブを用いる場合、スプリングの強度を確保するために、スプリングに使用する材料が限られてしまうが、本実施例では、硬度、弾性、導電性がある範囲内であれば、広い材料の中から選択が可能である。上記の例では、タングステン(硬度=650[Hv]、ヤング率=395[GPa]、抵抗率=5.7[μΩcm])を用いたが、これ以外にも、ステンレスやその他の金属、あるいはこれらの金属に防錆性のあるメッキを施した金属を用いることができる。
また、上記実施例では、ドリルの加工深度Fを線材の中心を越える位置としたが、必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、ドリルの加工深度Fを線材の径を超えるように、すなわちドリルが線材を貫通するようにして線材を回転させながら軸方向に送ることで、線材に2重螺旋構造の溝を形成するようにしてもよい。さらに、上記実施例は、線材をドリル加工することで線材に螺旋状の溝(バネ部)を形成する例を示したが、ドリル加工以外にも、放電加工やレーザ加工により螺旋状の溝を形成するようにしてもよい。
本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明に係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
本発明に係るプローブは、垂直型のプローブカードに搭載される大電流容量対応型のマルチプローブとして利用することができる。
100:プローブカード
110:プローブホルダー
112:貫通孔
114:段差
116:下面
118:上面
120:配線基板
130:半田付けパッド
140:被覆配線
150:カード基板
200:線材
210:先端部
212:第1の接圧部
220:主部
230:ドリル
240:溝
242:バネ部
244:第2の接圧部
250:有効な導電面
260:加工部分
110:プローブホルダー
112:貫通孔
114:段差
116:下面
118:上面
120:配線基板
130:半田付けパッド
140:被覆配線
150:カード基板
200:線材
210:先端部
212:第1の接圧部
220:主部
230:ドリル
240:溝
242:バネ部
244:第2の接圧部
250:有効な導電面
260:加工部分
Claims (10)
- プローブホルダーの貫通孔内に保持されるプローブであって、
金属の線材から構成され、線材の軸方向に、第1の接圧部、第1の接圧部に接続されたバネ部、バネ部に接続された第2の接圧部が一体に形成され、
バネ部には、線材をドリル加工することによって形成された螺旋状の溝が形成されている、プローブ。 - 前記線材は、タングステンである、請求項1に記載のプローブ。
- 請求項1または2に記載のプローブと、プローブを挿入するための貫通孔が複数形成されたプローブホルダーと、プローブホルダーに固定される基板とを有するプローブカードであって、
前記プローブホルダーは、その一面からプローブの第1の接圧部の少なくとも一部を突出させ、第2の接圧部を基板の導電領域に接触させ、かつ貫通孔内のプローブのバネ部にプリロードを与える、プローブカード。 - 前記第1の接圧部が被接触領域に接触したとき、バネ部は軸方向に弾性変形する、請求項3に記載のプローブカード。
- 第1の接圧部、バネ部および第2の接圧部は、電流経路を形成する、請求項3または4に記載のプローブカード。
- プローブホルダーの貫通孔内には段差が形成され、第1の接圧部の径はバネ部の径よりも小さく、プローブが貫通孔内に挿入されたとき、第1の接圧部とバネ部の境界が前記段差に接触する、請求項3に記載のプローブカード。
- プローブホルダーは、複数のプローブを垂直方向に保持し、プローブホルダーが被接触部材に対して垂直方向に移動される、請求項3ないし6いずれか1つに記載のプローブカード。
- プローブホルダーの貫通孔内に保持されるプローブの形成方法であって、
金属の線材を用意し、
前記線材の一定の深さ以上にドリルの加工深度を設定し、前記線材を回転させながら前記線材を軸方向に送り、
前記線材に一定ピッチの螺旋状の溝を形成する、
プローブの形成方法。 - 前記ドリルの加工深度は、前記線材の中心以上である、請求項8に記載の形成方法。
- 前記螺旋状の溝は、線材の中間部分に形成される、請求項8に記載の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006352153A JP2008164351A (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | 大電流容量対応型プローブ |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008164351A true JP2008164351A (ja) | 2008-07-17 |
Family
ID=39694064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006352153A Pending JP2008164351A (ja) | 2006-12-27 | 2006-12-27 | 大電流容量対応型プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008164351A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010281592A (ja) * | 2009-06-02 | 2010-12-16 | Nidec-Read Corp | プローブ及び検査用治具 |
EP2690447A2 (en) | 2012-07-25 | 2014-01-29 | Nidec-Read Corporation | Inspection jig and contact |
CN111579831A (zh) * | 2020-05-18 | 2020-08-25 | 武汉精毅通电子技术有限公司 | 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器 |
-
2006
- 2006-12-27 JP JP2006352153A patent/JP2008164351A/ja active Pending
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