JP2015025697A - プローブユニット - Google Patents
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Abstract
Description
本発明に係るプローブユニット10は、図1に示すように、複数のプローブ1と、プローブ1の両端部2a,2bの側をガイドし且つ中間に空間Sを空けて配置された二組のガイド板20,30と、検査装置側のガイド板30でガイドされたプローブ1の第2端部2bに接触する検査装置接続用金属50と、を有している。そして、そのプローブ1の第1端部2aを被測定体11に接触させ且つ検査装置側の第2端部2bを検査装置接続用金属50の端面51に接触させて、被測定体11の電気的特性を検査装置で測定するためのものである。
プローブ1は、被測定体側の第1端部2aを該被測定体11に接触させ、且つ、検査装置側の第2端部2bを、検査装置接続用金属50にプローブ1を構成する金属導体2の仮想軸線a1と検査装置接続用金属50の法線a2との角度θで0.5°以上、5°以下の範囲で接触させて被測定体の電気的特性を測定するために用いられるものである。
金属導体2としては、高い導電性と高いばね性を有する金属線(「金属ばね線」ともいう。)が用いられる。金属導体2に用いられる金属としては、広い弾性域を持つ金属を挙げることができ、例えばベリリウム銅、りん青銅、銅銀合金等の銅合金、タングステン、レニウムタングステン、鋼(例えば高速度鋼:SKH)等を好ましく用いることができる。こうした金属導体2は、通常、上記の金属が所定の径の線状導体となるまで冷間又は熱間伸線等の塑性加工が施される。
絶縁被膜3は、所定の長さA,Bで露出する端部以外の金属導体2に設けられて、被測定体11の電気特性を検査する際のプローブ同士の接触を防いで短絡を防止するように作用する。絶縁被膜3は、金属導体2の外周上に長手方向に亘って設けられていればよく、直接設けられていてもよいし、他の層を介して設けられていてもよい。
本発明の特徴は、図6及び図8に示すように、プローブ1の第2端部2bが、検査装置接続用金属に接触する平坦部2dを有し、検査装置接続用金属50に、金属導体2の仮想軸線a1と検査装置接続用金属の法線a2との角度θで0.5°以上、5°以下の範囲で接触されることにある。
ガイド板(先端側案内穴21付きのガイド板)20及びガイド板(第2端部側案内穴31付きのガイド板)30は、図1に示すように、空間Sを開けて配置されている。
プローブユニット10では、図6及び図8に示すように、プローブ1の第2端部2bと検査装置接続用金属50の端面51とを、プローブ1を構成する金属導体2の仮想軸線a1と、検査装置接続用金属50の法線a2との角度θで0.5°以上5°以下の範囲で接触させるように構成する。
金属導体2として、予め真直度が曲率半径Rで1500mmに直線矯正された長尺の真直タングステン線(直径D:0.070mm)を用いた。この金属導体2上に、厚さ10μmのポリウレタン絶縁被膜3を連続的に焼付け、絶縁被膜付き真直タングステン線(以下、絶縁真直タングステン線と略記する)を作製した。次に、定尺切断装置で前記絶縁真直タングステン線を30mm長さに切断し、その後、その後端を研削加工装置により台形状に研磨してd=50μmの平坦部2dを持つ台形状(テーパー角30°)の第2端部2bを形成し、第1端部2aも半球状に研磨した。なお、研磨加工は、エメリー紙を貼った回転円盤上に定尺切断した絶縁真直タングステン線の後端を押し当てて行った。次に、レーザー装置にて、B=2mm、A=3mmとなるように第2端部2bと第1端部2aの絶縁被膜3を剥離した。最後に、金属導体2が露出した第1端部2aと第2端部2bにニッケルめっき層(膜厚1μm)及び金めっき層(膜厚0.1μm)からなる2層めっきを施し、実施例1のプローブ1(図3参照)を5本作製した。このプローブ全体の直径Doは0.090mmであった。
実施例1において、直径Dが0.015mm、0.030mm、0.050mm、0.070mm、0.090mm、0.110mm、0.150mmの各タングステン線を金属導体2とし、平坦部2dの直径を種々変えた第2端部2bを形成した。それ以外は、実施例1と同様にして、それぞれのプローブ1を作製した。
実施例1において、第2端部2bの形状を半球状にした他は、実施例1と同様にして、比較例1のプローブ1を5本作製した。
図9は、角度θが2°、接触後の押し込み長さ0.2mmで座屈荷重3gfの条件の下、実施例1のプローブ1の5つのサンプルでを用い、20万回の繰り返し接触を行った後の検査装置接続用金属50の端面51の顕微鏡写真である。いずれの場合であっても、変色部分はあるものの、端面51には塑性変形等のダメージは見られなかった。
図10は、角度θが2°、接触後の押し込み長さ0.2mmで座屈荷重3gfの条件の下、比較例1のプローブで20万回の繰り返し接触を行った後の検査装置接続用金属50の端面51の顕微鏡写真である。いずれの端面51にも塑性変形等のダメージが見られた。
図5は、金属導体2の導体径Dと金属導体2の第2端部2bの平坦部2dの直径dとが異なる実施例2の種々のプローブを用いたときの、その平坦部2dと検査装置接続用金属との接触圧力を示すグラフである。この結果を基に、接触圧力が25MPa以上100MPa以下の範囲になる金属導体の導体径Dと金属導体の第2端部の平坦部2dの直径dとの関係を図4に示した。この図4では、平坦部2dの直径dと金属導体2の導体径Dとの比(d/D)が、Dが150μmのとき0.6〜1、Dが110μmのとき0.5〜0.9、Dが90μmのとき0.4〜0.8、Dが70μmのとき0.3〜0.6、Dが50μmのとき0.3〜0.6、Dが30μm〜15μmのとき0.7〜1の範囲であった。
2 金属導体
2a 第1端部
2b 第2端部
2c 斜面
2d 平坦面
3 絶縁被膜
3a 絶縁被膜端部
10 プローブユニット
11 被測定体
12 電極
20 被測定体側のガイド板
30 検査装置側のガイド板
40 検査装置接続用金属用の保持板
50 検査装置接続用金属(リード線)
51 検査装置接続用金属(リード線)の端面
52 本発明に係るプローブの第2端部の接触部
52’ 従来のプローブの第2端部の接触部
53 本発明に係るプローブの第2端部の平坦部の接触箇所
53’ 従来のプローブの第2端部の接触箇所
B 第2端部側で露出する金属導体領域の長さ
b 第2端部の先端から金属導体の外径面までの軸線方向距離
d 第2端部の平坦部の直径
d’ 第2端部の平坦部が検査装置接続用金属に接触する部分の直径
Do プローブ全体の直径
D 金属導体の直径
L プローブの長さ
a1 プローブを構成する金属導体の仮想軸線
a2 検査装置接続用金属の法線
θ 金属導体の仮想軸線と検査装置接続用金属の法線との角度
S ガイド板間の空間
Δ1,Δ2 検査装置接続用金属に当たるまでの長さの変化分
R 範囲
Claims (3)
- 被測定体側の第1端部を該被測定体に接触させ且つ検査装置側の第2端部を検査装置接続用金属に接触させて、前記被測定体の電気的特性を前記検査装置で測定するための複数のプローブと、前記プローブの両端の側をガイドし且つ中間に空間を空けて配置された二組のガイド板と、前記検査装置側のガイド板でガイドされた前記プローブの第2端部に接触する検査装置接続用金属と、を有するプローブユニットにおいて、
前記プローブが、金属導体と、該金属導体の少なくとも両端部以外の領域に設けられた絶縁被膜とを有し、前記プローブの前記第2端部の形状が、前記検査装置接続用金属に接触する平坦部を有し、
前記第2端部と前記検査装置接続用金属とを、前記プローブを構成する前記金属導体の仮想軸線と前記検査装置接続用金属の法線との角度で0.5°以上5°以下の範囲で接触させることを特徴とするプローブユニット。 - 前記第2端部の前記平坦部の直径dと前記金属導体の導体径Dとの比(d/D)は、Dが150μmで0.6〜1、Dが110μmで0.5〜0.9、Dが90μmで0.4〜0.8、Dが70μmで0.3〜0.6、Dが50μmで0.3〜0.6、Dが30μm〜15μmで0.7〜1の範囲であり、前記直径dと前記導体径Dとの関係は、前記導体径Dを横軸とし、前記d/Dを縦軸としたグラフで、前記各d/Dの下限値を結んだ線と前記各d/Dの上限値を結んだ線とで囲まれた範囲内を満たす、請求項1に記載のプローブユニット。
- 前記第2端部の平坦部と前記検査装置接続用金属との接触圧力が25MPa以上100MPa以下になるように、前記検査装置側の第2端部を前記検査装置接続用金属に接触させる、請求項1又は2に記載のプローブユニット。
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