JP4611822B2 - 絶縁被膜付きプローブ針及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の絶縁被膜付きプローブ針の一例を示す模式断面図である。また、図2及び図3は、本発明の絶縁被膜付きプローブ針を備えたプローブユニットを用いて被測定体の電気的特性を検査する方法を説明するための模式断面図である。なお、図2と図3の違いは、図2の形態では検査前の初期状態でプローブ針1の後端2bとリード線50とが接触しておらず、絶縁被膜3の段差部3aに負荷が加わっていない場合であるのに対し、図3の形態では検査前の初期状態でプローブ針1の後端2bをリード線50が押しており、絶縁被膜3の段差部3aに負荷が加わっている点で相違している。
次に、本発明のプローブ針の製造方法について説明する。本発明のプローブ針の製造方法は、上述した本発明のプローブ針を製造する方法であって、金属導体2の外周に所定の厚さの絶縁被膜3を形成する工程と、絶縁被膜3のうち被測定体側の厚さを薄くして段差部3aを形成する工程と、を少なくとも有する方法である。
次に、上述した本発明のプローブ針を用いた電気的特性の検査方法について説明する。
金属導体として、予め真直度が曲率半径Rで1500mmに直線矯正された長尺の真直ベリリウム銅線(外径0.09mm)を用いた。また、絶縁被膜用の塗料として、ポリウレタン樹脂系のエナメル塗料(東特塗料株式会社製、商品名;TPU5100)を用いた。先ず、ボビン等の線材供線装置から繰出された金属導体上に、上記エナメル塗料を焼き付けて、平均膜厚10μmの絶縁被膜を形成した。次に、絶縁被膜が形成された長尺の金属導体を切断して長さ30mmの絶縁被膜付き金属導体を切り出し、その絶縁被膜付き金属導体の両端部を研削加工することにより半球状に加工した。次に、アルミニウムからなるマスクを絶縁被膜に接した状態で配置し、炭酸ガスレーザー(キーエンス社製、型番;ML−9110)を照射して、プローブ針の先端から3mmまでの絶縁被膜の厚さを厚さ1.5μmとなるように薄くした。そうした減厚化は、絶縁被膜付き金属導体を回転させながら、レーザー照射強度:10mJ/cm2、レーザー照射時間:1秒の条件で行った。こうして実施例1のプローブ針(長さ30mm)を作製した。なお、得られたプローブ針の段差部3aの傾斜角度θを顕微鏡写真から測定したところ、約40°であった。
金属導体として、予め真直度が曲率半径Rで1500mmに直線矯正された長尺の真直ベリリウム銅線(外径0.09mm)を用い、その金属導体を切断して長さ30mmに切り出した。こうして得られた金属導体に、絶縁被膜用のフッ素樹脂系のエナメル塗料(デュポン社製、商品名:954−100)を噴霧塗布し、平均膜厚10μmの絶縁被膜を形成し、さらにその後、金属導体の両端部を研削加工することにより半球状に加工した。次に、実施例1と同じ炭酸ガスレーザーと条件で減厚化加工を行い、プローブ針の先端から3mmまでの絶縁被膜の厚さを厚さ1.5μmとなるように薄くした。こうして実施例2のプローブ針(長さ30mm)を作製した。なお、得られたプローブ針の段差部3aの傾斜角度θを顕微鏡写真から測定したところ、約40°であった。
実施例2において、炭酸ガスレーザーでマスクで遮蔽した以外の先端側領域の絶縁被膜を全て除去した以外は、実施例2と同様にして、比較例1のプローブ針(長さ30mm)を作製した。
実施例1,2及び比較例1のプローブ針を用いて絶縁被膜ピール試験を行った。絶縁被膜ピール試験は、図6に示した測定装置を用い、図7に示した評価方法により評価した。具体的には、荷重検出装置として引張試験機を用い、試験治具として直径0.095mmの案内穴を有した治具を用いた。試験治具の案内穴に絶縁被膜を剥離した側の金属導体を挿入し、突き出た金属導体を掴持治具でくわえ、10mm/分の速度で引っ張ることにより測定した。荷重−歪み曲線のピーク強度から、表1の結果が得られた。
金属導体の直径、厚い部分の厚さ、及び薄い部分の厚さを表2のようにした他は、実施例1と同様にして、実施例3〜10及び比較例2〜10のプローブ針を作製した。各プローブ針を用いて絶縁被膜ピール試験を行った。ピール試験は、実施例1等と同じ方法で行い、その結果を表2に示した。この結果より、2段構造の絶縁被膜を有するプローブ針は、2段構造を持たないプローブ針に比べて約0.5N程度高いピーク強度を示していた。
金属導体の直径、厚い部分の厚さ、及び薄い部分の厚さを表2のようにした他は、実施例1と同様にして、実施例11〜20のプローブ針を作製した。各プローブ針を用いて絶縁被膜ピール試験を行った。ピール試験は、実施例1等と同じ方法で行い、その結果を表2に示した。この結果より、先端側に設けられた薄い部分の厚さが0.1μm以上4μm以下の範囲内であり、薄い部分と厚い部分との厚さの差が3μm以上25μm以下の範囲内である場合には、いずれも2.3N以上の高いピーク強度を示していた。
2 金属導体
2a 先端
2b 後端
3 絶縁被膜
3a 段差部
3b 薄い部分
3c 厚い部分
10 プローブユニット
11 被測定体
12 電極
20 被測定体側のガイド板
30 検査装置側のガイド板
40 リード線用の保持板
50 リード線
61 固定治具
62 荷重検出装置
63 試験治具
64 掴持治具
71 ピーク強度
81 レーザー光
82 マスク
θ 傾斜角度
A 絶縁被膜と金属導体とがプローブ針の先端側で接する点
B 段差部の厚さが段差部以外の絶縁被膜の厚さと同じ又は実質的に同じになる点
L 点Aと点Bを結んだ直線
Claims (8)
- 金属導体と、該金属導体の少なくとも両端以外の領域に設けられた絶縁被膜とを有し、前記金属導体の被測定体側の先端を被測定体の電極に接触させて該被測定体の電気的特性を測定する絶縁被膜付きプローブ針において、
前記絶縁被膜のうち被測定体側の絶縁被膜は、先端側が薄く中央側が厚い2段構造になっており、該2段構造の段差部が、前記電気的特性の測定時に用いられるガイド板の案内穴に当接する位置に形成されていることを特徴とする絶縁被膜付きプローブ針。 - 前記2段構造の絶縁被膜は、先端側に設けられた絶縁被膜の厚さが0.1μm以上4μm以下の範囲内であり、前記先端側の絶縁被膜の厚さと前記中央側の絶縁被膜の厚さの差が3μm以上25μm以下の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の絶縁被膜付きプローブ針。
- 前記絶縁被膜が、焼付けによるエナメル被膜であることを特徴とする請求項1又は2に記載の絶縁被膜付きプローブ針。
- 被測定体側に露出する金属導体を、所定の試験用治具の案内穴から引き抜いて行う絶縁被膜ピール試験におけるピール強度が、1.2N以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の絶縁被膜付きプローブ針。
- 金属導体と、該金属導体の少なくとも両端以外の領域に設けられた絶縁被膜とを有し、前記金属導体の被測定体側の先端を被測定体の電極に接触させて該被測定体の電気的特性を測定する絶縁被膜付きプローブ針の製造方法であって、
金属導体の外周に所定厚さの絶縁被膜を形成する工程と、前記絶縁被膜のうち被測定体側の厚さを薄くして段差部を形成する工程と、を有することを特徴とする絶縁被膜付きプローブ針の製造方法。 - 前記段差部を形成する工程が、厚さを薄くする絶縁被膜領域にレーザー光を照射する工程であることを特徴とする請求項5に記載の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法。
- 前記絶縁被膜を形成する工程が、長尺の金属導体の外周に絶縁被膜を焼付けにより連続して形成する工程、又は、予め所定長さに切断された金属導体に絶縁被膜を形成する工程であることを特徴とする請求項5又は6に記載の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法。
- 前記絶縁被膜を形成する工程が長尺の金属導体の外周に絶縁被膜を連続して形成する工程である場合において、前記絶縁被膜を連続して形成した後で前記段差部を形成する工程前に、長尺の金属導体を所定の長さに切断する工程を有することを特徴とする請求項7に記載の絶縁被膜付きプローブ針の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005197280A JP4611822B2 (ja) | 2005-07-06 | 2005-07-06 | 絶縁被膜付きプローブ針及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005197280A JP4611822B2 (ja) | 2005-07-06 | 2005-07-06 | 絶縁被膜付きプローブ針及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007017219A JP2007017219A (ja) | 2007-01-25 |
JP4611822B2 true JP4611822B2 (ja) | 2011-01-12 |
Family
ID=37754515
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005197280A Active JP4611822B2 (ja) | 2005-07-06 | 2005-07-06 | 絶縁被膜付きプローブ針及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4611822B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5027522B2 (ja) * | 2007-02-09 | 2012-09-19 | 東京特殊電線株式会社 | プローブユニット及びそのプローブユニットを用いたコンタクトプローブの使用方法 |
JP2009210443A (ja) * | 2008-03-05 | 2009-09-17 | Totoku Electric Co Ltd | コンタクトプローブ及びその製造方法 |
TWI542889B (zh) * | 2011-06-03 | 2016-07-21 | Hioki Electric Works | A detection unit, a circuit board detection device, and a detection unit manufacturing method |
JP2018028494A (ja) * | 2016-08-19 | 2018-02-22 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置及びプローブ支持体 |
JP7094726B2 (ja) * | 2018-03-02 | 2022-07-04 | 東京特殊電線株式会社 | プローブ針 |
JP7008541B2 (ja) * | 2018-03-02 | 2022-01-25 | 東京特殊電線株式会社 | プローブ針 |
JP2020165888A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 東京特殊電線株式会社 | プローブ針及びプローブユニット |
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JP7390115B2 (ja) * | 2019-05-09 | 2023-12-01 | 株式会社Totoku | プローブユニット |
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Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2005
- 2005-07-06 JP JP2005197280A patent/JP4611822B2/ja active Active
Patent Citations (2)
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007017219A (ja) | 2007-01-25 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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