JP2016011925A - コンタクトプローブ及びコンタクトプローブユニット - Google Patents

Abstract

【課題】ガイドプレートの孔開け加工にかかる時間及びコストを削減すること可能であり、コンタクトプローブの検査ユニットへの組み付け作業を簡易にすることができるコンタクトプローブ及びコンタクトプローブユニットを提供する。【解決手段】被測定体５１に先端２ａを接触させて電気特性を測定するコンタクトプローブ１Ａであって、胴体部Ａと両端部とを有するピン形状のプローブ本体４と、プローブ本体４の両端部のうち後端部４ｂの外周に設けられた外装部材５とを有するコンタクトプローブ１Ａにより上記課題を解決した。外装部材５の後端側の端面５ｂに、プローブ本体４に電気的に接続した電極端子６が設けられていてもよいし、プローブ本体４の後端側の端面２ｂに電線が電気的に接続されていてもよい。また、外装部材５の横断面形状が多角形状であることが好ましい。【選択図】図１

Description

本発明は、主に電子部品や基板等の導通検査に用いる検査用のコンタクトプローブ及びそれを用いたコンタクトプローブユニットに関する。更に詳しくは、先端を被測定体に接触させて電気特性を測定する方式の検査ユニットに用いられ、コンタクトプローブを装着するガイドプレートの加工コストを大幅に削減することができ、コンタクトプローブの検査ユニットへの組み付け作業が簡易なコンタクトプローブ等に関する。

近年、携帯電話等に使用される高密度実装基板、又は、パソコン等に組み込まれるＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）やＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｉｚｅ Ｐａｃｋａｇｅ）等のＩＣパッケージ基板等、様々な回路基板が多く用いられている。このような回路基板は、実装の前後の工程において、例えば直流抵抗値の測定や導通検査等が行われ、その電気特性の良否が検査されている。電気特性の良否の検査は、電気特性を測定する検査装置に接続された検査装置用治具（以下、「プローブユニット」という。）を用いて行われている。例えば、プローブユニットに装着されたピン形状のプローブ（本願では「コンタクトプローブ」という。）の先端を、その回路基板の電極（以下「被測定体」ともいう。）に接触させることにより行われている（例えば特許文献１を参照。）。

図８に、従来のプローブユニットの一例を示す。従来のプローブユニット１１０は、複数本から数千本の直線状のプローブ１０１と、プローブ１０１のリード線側（後端側）を案内するガイド穴付き後端側ガイド板１３０と、プローブ１０１の先端が被測定体１１１の電極１１２に接するようにプローブ１０１の電極側（先端側）を案内するガイド穴付き先端側ガイド板１２０とを少なくとも備えている。ここで、プローブ１０１は、ばね性を有した直線状の金属導体と、該金属導体の外周面に両端部を除いて被覆された絶縁被膜とから構成されている。

このプローブユニット１１０による電気特性の検査は、プローブユニット１１０又は被測定体１１１を相対的に上下させ、プローブ１０１の弾性力を利用して被測定体１１１の電極１１２にプローブ１０１を所定の圧力で押し当てることにより行われる。このとき、電極１１２に押し当てられた力によってたわんだプローブ１０１の後端１０２ｂはリード線１５０に強く接触し、電極１１２からの電気信号がそのリード線１５０を通って検査装置（図示しない。）に送られる。

特開２００２−１３１３３４号公報

こうしたプローブユニット１１０では、一般に、プローブ１０１の外径は０．０２ｍｍ〜０．３ｍｍであり、各ガイド板１２０、１３０のガイド穴の内径は、プローブ１０１の外径よりも僅かに大径の０．０３ｍｍ〜０．３１ｍｍとされている。従来の構成では、このように微小なガイド穴を有するガイド板１２０，１３０を少なくとも２枚用いるため、ガイド板１２０、１３０の孔開け加工に時間とコストが掛かっている。また、プローブ１０１を検査ユニットに組み付ける際、プローブ１０１の先端１０２ａと後端１０２ｂの双方を微小なガイド穴に挿入するため、この組み付け作業に時間がかかり、また、ガイド穴から外れたプローブ１０１が折れ曲がるといった不具合が生じるおそれがある。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、その先端を被測定体に接触させて電気特性を測定する方式のコンタクトプローブにおいて、ガイドプレートの孔開け加工にかかる時間とコストを削減することが可能であり、また、コンタクトプローブの検査ユニットへの組み付け作業を簡易にすることができるコンタクトプローブ、及び、そのようなコンタクトプローブを備えるコンタクトプローブユニットを提供することにある。

上記課題を解決するための本発明に係るコンタクトプローブは、被測定体に先端を接触させて電気特性を測定するコンタクトプローブであって、胴体部と両端部とを有するピン形状のプローブ本体と、前記プローブ本体の両端部のうち後端部の外周に設けられた外装部材と、を有することを特徴とする。

この発明によれば、プローブ本体とプローブ本体の後端部の外周に設けられた外装部材とを有するので、隣り合うコンタクトプローブは、それぞれの外装部材の側面が互いに接する。外装部材が接することにより、プローブ本体の後端部同士の間に、外装部材の長さ及び幅を反映した間隔が空き、後端部同士の相対位置が定まる。そのため、コンタクトプローブを用いる検査ユニットは、各コンタクトプローブの先端部の側にのみ、位置決め用のガイド穴が設けられたガイドプレートがあれば足り、後端部の側には、ガイドプレートは不要となる。その結果、ガイドプレートの加工にかかる時間及びコストを大幅に削減することができる。また、コンタクトプローブの先端部のみを、ガイド穴に挿入すればよいので、コンタクトプローブの両端部をガイド穴に挿入する従来の構成に比べて、コンタクトプローブの検査ユニットへの組み付け作業が簡易になる。

本発明に係るコンタクトプローブにおいて、前記外装部材の後端側の端面に、前記プローブ本体に電気的に接続した電極端子が設けられているように構成してもよい。

この発明によれば、外装部材の後端側の端面に、プローブ本体に電気的に接続した電極端子が設けられているので、検査装置に接続されたリード電極をその電極端子に接触させることにより検査装置とプローブ本体とを電気的に接続することができる。電極端子は外装部材の後端側の端面に設けられているので、プローブ本体の後端側の端面よりも広い面積にすることができ、リード電極を確実に接触させることができる。その結果、リード電極をプローブ本体に直接接触させる従来の構成に比べて、高い接続信頼性を得ることができる。

本発明に係るコンタクトプローブにおいて、前記外装部材の後端側の端面と、前記電極端子の表面とが実質的に同一面になるように構成してもよい。

この発明によれば、外装部材の後端側の端面と電極端子の表面とが実質的に同一面をなしているので、コンタクトプローブの外装部材及び電極端子の上方に、板状の部材を安定に配置することができる。

本発明に係るコンタクトプローブにおいて、前記プローブ本体の後端側の端面に、電線が電気的に接続されているように構成してもよい。

この発明によれば、プローブ本体の後端側の端面に電線が接続されているので、電線を検査装置の電極端子側にも接続することにより、検査装置に電気的に接続されたリード電極をプローブ本体に押し当てる過程を経ることなく、プローブ本体と検査装置とを電気的に接続することができる。その結果、リード電極がプローブ本体に繰返し接触することによる両者の摩耗が回避され、これらの摩耗に起因した接続不良を抑制することができる。

本発明に係るコンタクトプローブにおいて、前記電線が、前記プローブ本体と一体的に設けられたものであるように構成してもよい。

この発明によれば、電線がプローブ本体と一体的に設けられているので、検査装置とコンタクトプローブとを接続するための電線を別途設ける必要がなく、部品点数を減らすことができる。

本発明に係るコンタクトプローブにおいて、前記外装部材の横断面形状が、多角形状であるように構成してもよい。

この発明によれば、外装部材の横断面形状が多角形状であるので、外装部材は、その側面に３面以上の平坦面を有する。その結果、コンタクトプローブを外装部材の平坦な側面同士が接するように配列することができ、各コンタクトプローブを所定位置に安定に配置することができる。

上記課題を解決するために本発明に係るコンタクトプローブユニットは、胴体部と両端部とを有するピン形状のプローブ本体と、前記プローブ本体の両端部のうち後端部の外周に設けられた外装部材とを有するコンタクトプローブを複数有し、前記各コンタクトプローブが隣り合うコンタクトプローブ同士で外装部材の側面が互いに接するように配列されたプローブ群と、前記プローブ群の前記外装部材全体を囲むように設けられ、前記各コンタクトプローブの外装部材の位置を規制する枠部材と、前記各コンタクトプローブの前記外装部材の先端部の側の面が接触する接触面を有するとともに、前記各コンタクトプローブの中間部が挿入された孔部を複数有し、前記外装部材を前記接触面上に保持する保持部材と、前記各コンタクトプローブの先端部が挿入され、該先端部を測定位置にガイドするガイド穴を複数有するガイドプレートと、を有することを特徴とする。

この発明によれば、上記した本発明に係るコンタクトプローブを用いているので、後端部の側にガイドプレートがなくても、コンタクトプローブの後端部同士の相対位置が定まる。また、このコンタクトプローブユニットでは、先端部の側にのみガイドプレートが設けられ、後端部に側にはガイドプレートが設けられていないので、ユニット毎に１枚のガイドプレートを作製すればよい。そのため、ガイドプレートの加工にかかる時間及びコストを大幅に削減することができる。また、コンタクトプローブの先端部のみをガイド穴に挿入すればよいので、コンタクトプローブの両端部をガイド穴に挿入する従来の構成に比べて、コンタクトプローブの検査ユニットへの組み付け作業が簡易であり、組み付け作業に際する不良品の発生を抑えることができる。

本発明に係るコンタクトプローブユニットにおいて、前記各コンタクトプローブの少なくとも一部は、前記被測定体の表面に対して平行に位置決めされる基準面との直交方向から見た平面視において、後端部の位置が先端部の位置に対してずれており、その軸方向が前記直交方向に対して傾斜しているように構成してもよい。

この発明によれば、コンタクトプローブは、直交方向に対して傾斜しているので、その先端が被測定体に接触した状態で両端に荷重が与えられると、その傾斜の方向に湾曲して撓む。そして、コンタクトプローブの先端部に対する後端部のずれの方向やずれの長さを変化させることにより、コンタクトプローブの湾曲の方向や撓み量を調整することができる。これにより、撓んだ際のコンタクトプローブ同士の接触を回避することができ、コンタクトプローブの先端を被測定体に対して良好な接触状態で接触させることができる。

本発明に係るコンタクトプローブユニットにおいて、前記プローブ群は、複数のコンタクトプローブが、隣り合うコンタクトプローブ同士で外装部材の側面が互いに接するように配列されたプローブ列を複数有し、前記各プローブ列の少なくとも一部は、前記平面視において、後端部の位置が、先端部の位置に対してプローブ列全体で列方向にずれているように構成してもよい。

この発明によれば、コンタクトプローブを、プローブ列毎に任意の傾斜角度で傾斜させることができる。

本発明に係るコンタクトプローブユニットにおいて、前記各コンタクトプローブの少なくとも一部は、前記外装部材の形状、寸法及び外装部材におけるプローブ本体の位置によって規制される後端部間のピッチが先端部間のピッチと異なるように構成してもよい。

この発明によれば、コンタクトプローブを、プローブ毎に任意の傾斜角度で傾斜させることができる。

本発明に係るコンタクトプローブによれば、後端部の側にガイドプレートがなくても、コンタクトプローブの後端部同士の相対位置が定まるので、検査ユニットを構成するとき、各コンタクトプローブの先端部の側にのみ、位置決め用のガイド穴が設けられたガイドプレートがあれば足り、後端部の側には、このようなガイドプレートが不要となる。したがって、ガイドプレートの加工にかかる時間及びコストを大幅に削減することができる。また、コンタクトプローブの先端部のみをガイド穴に挿入すればよいので、コンタクトプローブの両端部をガイド穴に挿入する従来の構成に比べて、コンタクトプローブの検査ユニットへの組み付け作業を簡易にでき、組み付け作業に際する不良品の発生を抑えることができる。

本発明に係るコンタクトプローブユニットは、このような効果を奏するコンタクトプローブを用いるので、不良品の発生を抑えて効率よく製造することができる。

本発明に係るコンタクトプローブユニットの一例を示す構成図である。 図１中のＡ−Ａ線で切ったコンタクトプローブの断面図であり、（ａ）は、異なる幅のスリーブ部材を組み合わせてプローブ本体の位置を列方向に微小距離ずらした例であり、（ｂ）は、同じ幅のスリーブ部材とスペーサとを組み合わせてプローブ本体の位置を列方向に微小距離ずらした例である。 図１に示すコンタクトプローブユニットが備えるコンタクトプローブを示す縦断面図である。 本発明に係るコンタクトプローブユニットの変形例の一例を示す構成図である。 本発明に係るコンタクトプローブユニットの変形例の他の一例を示す構成図である。 本発明に係るコンタクトプローブの他の一例を示す構成図である。 本発明に係るコンタクトプローブユニットの変形例の他の一例を示す構成図である。 従来のコンタクトプローブユニットの一例を示す構成図である。

以下、本発明に係るコンタクトプローブ及びコンタクトプローブユニットについて、図面を参照しつつ説明する。なお、本発明は下記の実施形態に限定されるものではない。

［コンタクトプローブユニット］
本発明に係るコンタクトプローブユニット（以下、「プローブユニット１０Ａ」と略す。）は、図１及び図２に示すように、複数のコンタクトプローブ（以下、「プローブ１Ａ」と略す。）を有するプローブ群１０と、プローブ群１０の後端部の側を囲むように設けられた枠部材１１と、各プローブ１Ａの後端部４ｂを所定の高さ位置に保持する保持部材１２と、各プローブ１Ａの先端部４ａが挿入されたガイド穴２１を有するガイドプレート２０と、を少なくとも備えている。このプローブユニット１０Ａは、リード線５０の先端に設けられたリード電極１４を電極端子６に接触させて電気的に検査装置（図示しない）に接続するとともに、各プローブ１Ａの先端２ａを被測定体５１に接触させて電気特性を測定する。なお、リード電極１４は、押さえ板１３に埋め込まれている。

プローブユニット１０Ａは、図３に示すように、プローブ群１０を構成する各プローブ１Ａが、それぞれ、プローブ本体４と、プローブ本体４の後端部４ｂの外周に設けられた外装部材５（以下、「スリーブ部材５」という。）とを有し、隣り合うプローブ１Ａ同士で、スリーブ部材５の側面が互いに接するように配列されている。

以下、本発明の構成について詳しく説明する。なお、本実施形態及び後述する変形例１〜３では、被測定体５１が、プリント基板５２の電極５１である場合を例にする。また、プローブユニット１０Ａ〜１０Ｅについて、被測定体５１に向かい合う側を先端部の側又は下側といい、リード電極１４又はリード線１６側を後端部の側又は上側という。

１．プローブ群；
プローブ群１０は、複数のプローブ１Ａが配列されて構成されている。本実施形態では、プローブ群１０は、図２に示すように、１２本のプローブ１Ａで構成されており、これらプローブ１Ａは、横方向に３本、縦方向に４本並んで配列されている。

＜コンタクトプローブ＞
プローブ１Ａは、図３に示すように、プローブ本体４と、プローブ本体４の後端部４ｂの外周に設けられたスリーブ部材５と、スリーブ部材５の後端側の端面５ｂに設けられ、プローブ本体４の金属導体２の後端側の端面２ｂに薄膜形成技術とフォトリソグラフィ技術等により形成された電極端子６とを有している。

（プローブ本体）
プローブ本体４は、胴体部Ａと両端部とを有する。胴体部Ａは、ピン形状の金属導体２と、金属導体２の外周に設けられた絶縁被膜３を有している。両端部は、金属導体２の両端の絶縁被膜を有しない先端２ａと、切断面に絶縁被膜を有しない後端側の端面２ｂであり、その後端側の端面２ｂには電極端子６が形成されている。このうち金属導体２の先端２ａは、プリント基板５２に形成された電極５１に接触し、金属導体２の後端側の端面２ｂは、電極端子６を介してリード電極１４に接触する。そして、このプローブ１Ａの両端に荷重を与えて撓ませることにより、電極５１に対する接触圧力を得て電気特性を測定することができる。

金属導体２は、高い導電性と高い弾性率を有する金属線（「金属ばね線」ともいう。）である。金属導体２に用いられる金属としては、広い弾性域を持つ金属を挙げることができ、例えばベリリウム銅等の銅合金、タングステン、レニウムタングステン、鋼（例えば高速度鋼：ＳＫＨ）等を好ましく用いることができる。こうした金属導体２は、通常、上記の金属が所定の径の線状導体となるまで冷間又は熱間伸線等の塑性加工を施して得ることができる。

金属導体２の外径は、電極５１の大きさや印加電流を考慮して選択され、２０μｍ以上、４００μｍ以下、好ましくは２５μｍ以上、２００μｍ以下の範囲内から選択することができる。

金属導体２の電極５１側の先端２ａの形状としては、平坦形状、半球形状、円錐形状、釣鐘形状、台形形状等、種々の形態を挙げることができる。本実施形態では、この先端２ａは、円錐形状に形成されている。こうした先端２ａの形状は、例えばエメリー紙を用いた研削加工や、ダイヤモンドホイールを用いた研削加工等によって形成される。なお、ここでいう半球形状とは、正確な半球や略半球を含むとともに、いわゆるアール端面（所定の曲率半径で形成された端面のこと。）を含む。

また、プローブ１Ａがガイドプレート２０のガイド穴２１に引っかかることなく挿入し易くするという観点からは、金属導体２の真直度が高いことが好ましく、具体的には真直度が曲率半径で１０００ｍｍ以上であることが好ましい。真直度の高い金属導体２は、絶縁被膜３が設けられる前に予め直線矯正処理してもよいし、後述のように絶縁被膜３が設けられた長尺の金属導体２を直線矯正処理してもよい。直線矯正処理は、例えば回転ダイス式直線矯正装置等によって行われる。

プローブ本体４の金属導体２が露出した先端２ａには、その金属導体２と、電極５１との接触抵抗の上昇を抑制するために、めっき層が設けられていてもよい。めっき層を形成する金属としては、ニッケル、金、ロジウム等の金属や金合金等の合金を挙げることができる。めっき層は、単層であってもよいし複層であってもよい。複層のめっき層としては、ニッケルめっき層上に金めっき層が形成されたものを好ましく挙げることができる。また、めっき層は、露出した金属導体２のみに設けられていてもよいし、絶縁被膜３の下を含む金属導体２の全体に形成されていてもよい。

絶縁被膜３は、金属導体２上に設けられて、電極５１の電気特性を検査する際のプローブ１Ａ同士の接触を防いで短絡を防止するように作用する。この絶縁被膜３は、金属導体２上、すなわち金属導体２の外周上に長手方向に亘って設けられていればよく、直接設けられていてもよいし、他の層を介して設けられていてもよい。

絶縁被膜３は、絶縁性を有する被膜であれば特に限定されないが、ポリウレタン樹脂、ナイロン樹脂、ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステルイミド樹脂、ポリアミド樹脂及びポリアミドイミド樹脂から選ばれるいずれか１種又は２種以上であることが好ましい。なお、通常は１種の樹脂により形成される。これらの樹脂からなる絶縁被膜は耐熱性が異なるので、検査の際に発生する熱を考慮して任意に選択することができる。例えば、より耐熱性が要求される場合には、絶縁被膜３がポリエステルイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂等で形成されることが好ましい。

絶縁被膜３の厚さは、電気絶縁性を確保できる程度の厚さであることを条件として設定される。なお、後述の連続塗布法で絶縁被膜３を形成する場合には、金属導体２の直径にも関係する。そうした厚さとしては、例えば５μｍ以上、３０μｍ以下の範囲内で適宜設定され、一例として金属導体２の直径が４０μｍ以上、１００μｍ以下の範囲にある場合、その厚さは５μｍ以上、２０μｍ以下の範囲であることが好ましい。

こうした絶縁被膜３が形成されたプローブ本体４の胴体部Ａは、上記直径の金属導体２の外周に上記厚さの絶縁被膜３を形成した後の外径となるが、特にプリント基板１２の電極５１を被測定体として測定する場合には、その外径が２０μｍ以上、３００μｍ以下であることが好ましい。

絶縁被膜３の形成手段は特に限定されないが、連続塗布法により焼付けエナメル被膜として形成されることが好ましい。焼付けエナメル被膜は、塗料の塗布と焼付けの繰り返しによる連続工程で形成されるので、生産性がよく、金属導体２との間の密着性が高く且つ被膜強度をより高いものとすることができる。

プローブ本体４は、所定の直径に加工した長尺の金属導体２上に、連続焼付法等によって絶縁被膜３を形成した後、所定の長さに切断し、その後、金属導体２の先端２ａの絶縁被膜３を剥離処理して得ることができる。先端２ａの剥離処理としては、レーザー照射による剥離処理やストリッパー等を用いた機械的な剥離処理を挙げることができる。その後、先端２ａを上記端面形状に研削加工することにより、プローブ本体４を作製する。なお、研削加工は、切断工程と剥離工程との間で行ってもよい。また、絶縁被膜３の除去は、先端２ａを研削加工する前に行ってもよいし後に行ってもよい。また、絶縁被膜３の除去を端面の研削加工後に行う場合には、その絶縁被膜３の除去はめっき工程の前に行ってもよいし後に行ってもよい。

プローブ本体４の長さは特に限定されないが、通常、１０ｍｍ以上、４０ｍｍ以下の範囲である。また、プローブ本体４の先端２ａとして露出する金属導体２の長さは、例えば１ｍｍ以上、４ｍｍ以下程度であることが好ましい。

（スリーブ部材）
スリーブ部材５は、プローブ本体４の後端部４ｂの外周に設けられている。このスリーブ部材５は、複数のプローブ１Ａを、隣り合うプローブ１Ａ同士でスリーブ部材５の側面が互いに接するように配列したとき、プローブ本体４の後端部４ｂ同士の間隔を規制するギャップ材として機能する。すなわち、このように配列されたプローブ１Ａは、プローブ本体４の後端部４ｂ同士の間に、スリーブ部材５の長さ（図２における縦方向の長さ）及び幅（図２における横方向の長さ）を反映した間隔ｇ_１，ｇ_２が空き、後端部４ｂ同士の相対位置が定まる。

プローブ１Ａを用いるプローブユニット１０Ａは、各プローブ１Ａの先端部の側にのみ、位置決め用のガイド穴２１が設けられたガイドプレート２０があれば足り、後端部の側には、このようなガイドプレートは不要となる。したがって、ガイドプレートの加工にかかる時間及びコストを大幅に削減することができる。また、プローブ１Ａの先端部４ａのみを、ガイド穴２１に挿入すればよいので、プローブの両端部をガイド穴に挿入する従来の構成に比べて、誤って挿入する頻度が減少し、プローブ１Ａのプローブユニット１０Ａへの組み付け作業を簡易にすることができる。

スリーブ部材５の構成材料としては、ギャップ材としての機能が得られる程度の、比較的硬質な絶縁材料を用いることが好ましく、具体的にはガラス（石英）やセラミック等を挙げることができる。これらの材料でスリーブ部材５を構成することにより、プローブ１Ａに剛性が付与されるという効果も得られる。また、スリーブ部材５は、全体が絶縁材料で構成されていてもよいし、金属材料よりなる母材（金属管）に絶縁被膜を被覆したもので構成されていてもよい。

スリーブ部材５は、先端面及び後端側の端面５ｂが平坦面であるとともに、側面の少なくとも２面が平坦面であることが好ましい。スリーブ部材５の先端面及び後端側の端面５ｂが平坦面であることにより、プローブユニット１０Ａを構成するとき、スリーブ部材５の先端面や後端側の端面５ｂに接触させて又は近接させて板状の部材１２，１３を配することが可能となり、検査ユニットの設計が容易となる。また、側面の少なくとも２面が平坦面であることにより、各プローブ１Ａを、スリーブ部材５の平坦な側面同士が接するように配列することができ、プローブ１Ａを所定位置に安定に配置することができる。

このような点から、スリーブ部材５の断面形状は、多角形状であることが好ましく、三角形状、四角形状であることがより好ましい。また、断面形状が多角形状のスリーブ部材５は、角部が僅かに曲率を有するアール端面であっても構わない。スリーブ部材５の寸法は、被測定体である電極５１の寸法やピッチ（中心点間の距離）、プローブ本体４に付与する撓み方向に応じて適宜選択される。これについては後述する。

こうしたスリーブ部材５を有するプローブ１Ａは、例えば、所望のスリーブ部材５の外形形状をなす絶縁体に、プローブ用孔部５ａを貫通孔として形成した後、そのプローブ用孔部５ａ内にプローブ本体４を挿入し、プローブ用孔部５ａの内周面とプローブ本体４の外周面とを接合することによって得ることができる。プローブ用孔部５ａの内径は、プローブ本体４の外径と、プローブ用孔部５ａとプローブ本体４とを接合する接合材１７の厚さを考慮して設定される。

接合材１７としては、はんだや接着剤等を用いることができる。接合材１７として例えばはんだを用いる場合には、プローブ用孔部５ａの内周面に金属膜を形成するとともに、プローブ本体４の、プローブ用孔部５ａ内に収容される部分の絶縁被膜３を剥離することが好ましい。これにより、プローブ用孔部５ａの内周面及びプローブ本体４の外周面と、はんだとの密着性が向上し、プローブ用孔部５ａ内にプローブ本体４を強固に接合することができる。なお、スリーブ部材５が、金属材料よりなる母材（金属管）に絶縁材料を被覆したもので構成されている場合には、プローブ用孔部５ａの内周面に金属が露出するため、このような金属膜の形成は不要である。

プローブ用孔部５ａ内への金属膜の形成は、例えば、プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤ、レーザーＣＶＤのような化学蒸着法（ＣＶＤ）、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式めっき法、電解めっき、浸漬めっき、無電解めっき等の湿式メッキ法等の薄膜形成技術と、フォトリソグラフィ技術を組み合わせることにより行うことができる。

スリーブ部材５をガラスで構成する場合、プローブ本体４の外周にスリーブ部材５を有する構造は、ガラス管の中に金属導線を挿入して母材を作製し、この母材を加熱炉内で線引きすることによって作製することができる。

スリーブ部材５の後端側の端面５ｂには、本実施形態のように、金属導体２の後端側の端面２ｂに電極端子６が形成されていることが好ましい。電極端子６は、リード線５０の先端に設けられたリード電極１４が押し当てられることにより、そのリード電極１４と導通する。これにより、金属導体２と検査装置とが、電極端子６、リード電極１４、及びリード線５０を介して電気的に接続される。

本実施形態では、特に、電極端子６は、その平面視での面積が、プローブ本体４の金属導体２の断面積よりも大きい。そのため、金属導体２の後端側の端面２ｂに直接リード電極を押し当てる場合に比べて、リード電極１４を電極端子６に確実に接触させることができ、高い接続信頼性を得ることができる。

電極端子６の構成材料としては、高い導電性を有するものが用いられ、例えば、アルミニウム、銅、金、銀、白金、ニッケル、タングステン、モリブデンまたはこれらを含む合金等の金属材料を挙げることができる。これら金属材料よりなる電極端子６の形成は、前述の金属膜の形成と同様に、薄膜形成技術と、フォトリソグラフィ技術を組み合わせることにより行うことができる。

電極端子６の平面形状は、特に限定されず、略円形状、楕円形状、多角形状等のいずれでもよい。電極端子６の平面視での面積は、プローブ径よりも大きく且つスリーブ面積より小さくすればよく、電極端子６とリード電極１４との間で十分な接続信頼性を得ることができる。

＜コンタクトプローブの配列パターン＞
プローブ群１０は、以上のようなプローブ１Ａを複数有し、これらプローブ１Ａが配列されて構成されている。プローブ１Ａの配列パターンは、被測定体である電極５１の配置や寸法、ピッチ（中心点間の距離）に応じて適宜選択される。具体的には、一の電極５１に対して一のプローブ１Ａを接触させて電気特性を測定する場合には、プローブ本体４の先端２ａのピッチが、電極５１のピッチと同じ又は略同じ長さになるような配列パターンとされる。

一方、プローブ本体４の後端部４ｂは、先端２ａに対して、平面視での位置が一致していてもよいし、微小距離ずれていてもよい。なお、本明細書中において「平面視」とは、被測定体である電極５１の表面に対して、平行に位置決めされる基準面との直交方向から見た平面視をいい、「直交方向ｙ」とは、この基準面に対して直交する方向をいう。本実施形態では、ガイドプレートの欄で説明するように、ガイドプレート２０の上側の表面２０ａを「基準面」とする。

プローブ本体４の後端部４ｂをプローブ本体４の先端２ａに対して平面視での位置をずらすことにより、プローブ本体４は、直交方向ｙに対して傾斜した状態になる。プローブ本体４が直交方向ｙに対して傾斜していると、プローブ本体４は、その先端２ａが電極５１に接触した状態で両端に荷重が与えられたとき、その傾く方向に湾曲して撓む。そして、プローブ本体４の先端２ａに対する後端部４ｂのずれの方向やずれの長さを変化させることで、プローブ本体４の湾曲の方向や撓み量を調整することができる。このような調整により、撓んだ際のプローブ１Ａ同士の接触を回避することができ、各プローブ１Ａの先端２ａを電極５１に対して良好な接触状態で接触させることができる。

仮に、プローブ本体４の後端部４ｂの位置をガイドプレートによって規制する構成とした場合、各プローブ本体４を任意の角度で傾斜させるには、後端部の側のガイドプレートに、先端部の側のガイドプレートのガイド穴から微妙にずらした位置にガイド穴を開ける必要がある。そのため、精密な孔開け加工が必要となり、孔開け加工に要する時間及びコストが増大してしまう。また、プローブをガイド穴に挿入する際、誤った挿入が生じ易く、プローブユニットへのプローブの組み付け工程に長時間を要してしまう。

これに対して、本実施形態では、プローブ本体４の後端部４ｂ同士の間隔ｇ_１，ｇ_２は、異なる幅のスリーブ部材を組み合わせたり、同じ幅のスリーブ部材とスペーサとを組み合わせたりして調整できる。例えば、図２（ａ）に示すように、異なる幅のスリーブ部材５，５’を組み合わせてプローブ本体４の位置を列方向に微小距離ずらすことができる。また、図２（ｂ）に示すように、同じ幅のスリーブ部材５とスペーサ７とを組み合わせてプローブ本体４の位置を列方向に微小距離ずらすことができる。

プローブ本体４の位置を列方向に微小距離ずらすことにより、プローブ１Ａ毎に傾斜角度が異なるようにプローブ本体４を傾斜させることができる。すなわち、本実施形態では、各プローブ本体４を、簡単な方法でプローブ列毎に任意の傾斜角度で傾斜させることができる。そのため、電気特性の測定に際して、各プローブ本体４を好適な向きに撓ませることができ、プローブ本体４の先端２ａを電極５１に良好な接触状態で接触させることができる。

なお、この場合、スリーブ列同士又はスリーブ行同士で最外面の位置がずれ、スリーブ列又はスリーブ行の最外面と枠部材１１の内側面との間に隙間が空く場合があるが、このような場合には、その隙間が埋まるようにスペーサ７を配設すればよい。

各プローブ本体４の傾斜角度（直交方向ｙに対する角度θ）は、１°以上、５°以下であることが好ましい。傾斜角度θが前記範囲よりも小さい場合には、プローブ本体４の構成材料等によっては、プローブ本体４が湾曲する向きを十分に規制できないことがある。また、傾斜角度θが前記範囲よりも大きい場合には、各プローブ本体４の先端２ａが電極５１上で滑り易くなり、電極５１表面をキズ付けるおそれがある。

２．プローブ群以外の各部；
（枠部材）
枠部材１１は、図１及び図２に示すように、プローブ群１０のスリーブ部材５全体を囲むように設けられている。枠部材１１は、複数のスリーブ部材５全体を四方から押さえ、各スリーブ部材５を所定の配列位置に保持する機能、すなわち各スリーブ部材５の位置を規制する機能を有する。

枠部材１１の構成材料としては、各種樹脂材料、各種ガラス材料、各種セラミック材料等の絶縁性材料を挙げることができる。枠部材１１の枠内（スリーブ部材５の収容空間）の形状及び寸法は、プローブ群１０のスリーブ部材５全体の外形形状及び寸法に合わせて適宜選択される。本実施形態では、枠部材１１の外形及び枠内の形状は、平面視で矩形状をなしている。

（保持部材）
保持部材１２は、その上面が各プローブ１Ａのスリーブ部材５の先端面に接触するように配設されている。保持部材１２は、プレートで構成され、各プローブ本体４の中間部（スリーブ部材５の直下の部分）が挿入された挿入孔１２ａを複数有している。すなわち、各プローブ１Ａは、そのプローブ本体４の中間部が保持プレートの挿入孔１２ａ内に挿入されており、スリーブ部材５の先端面が保持プレートの上面に接触している。このような構成により、保持部材１２は、各プローブ１Ａを所定の高さ位置に保持し、各プローブ１Ａの落下を防止する機能を有する。

保持部材１２の構成材料としては、各種樹脂材料、各種ガラス材料、各種セラミック材料等の絶縁性材料を挙げることができる。保持部材１２の平面視での形状及び寸法は、保持部材１２の面積が、プローブ群１０のスリーブ部材５全体の平面視での面積よりも大きければ特に限定されないが、取扱い上の点から、ガイドプレート２０や押さえ板１３の平面視での形状及び寸法と同じ又は略同じであることが好ましい。

各挿入孔１２ａの内径は、挿入孔１２ａからのスリーブ部材５のすり抜けを防止する観点から設定される。具体的には、各スリーブ部材５の断面形状が多角形状である場合、各挿入孔１２ａの内径は、スリーブ部材５の断面における内接円の直径よりも小さいことが好ましい。これにより、各スリーブ部材５が各挿入孔１２ａをすり抜けて各プローブ１Ａが落下することを確実に回避することができる。例えば、各プローブ１Ａが、外径０．２ｍｍのプローブ本体４に、１ｍｍ×０．５ｍｍ×０．５ｍｍ（厚さ×長さ×幅）の断面正方形状のスリーブ部材５を取付けたものである場合、各挿入孔１２ａの内径は、この正方形の内接円の直径程度にすれば各プローブ１Ａは落下しないが、隣り合う挿入孔１２ａ同士が貫通しないように１０μｍの程度の間隔を空ける必要があり、直径を０．４９ｍｍに設定すればよい。

このように各挿入孔１２ａには、プローブ本体４が挿入されるが、各挿入孔１２ａは、その内径がガイドプレート２０のガイド穴２１（内径０．２０８ｍｍ〜０．２１５ｍｍ程度）に比べて遥かに大きい径であるので、孔開け加工やプローブ本体４の挿入作業を容易に行うことができる。そのため、本実施形態によれば、保持部材１２の代わりに、ガイド穴を有する後端部の側ガイドプレートを用いる構成に比べて、板材の加工に費やす時間及びコストを大幅に削減することができ、また、プローブ１Ａの検査ユニットへの組み付け作業を容易にし、組み付け作業時の不良品の発生を抑えることができる。

（ガイドプレート）
ガイドプレート２０は、図１に示すように、プレートで構成され、ガイド穴２１を複数有している。ガイドプレート２０は、下側の表面が電極５１に対向し、且つ、上側の表面と保持プレートの下側の表面とで一定の間隔が空くように固定されている。なお、本実施形態では、ガイドプレート２０の上側の表面２０ａを、電極５１表面に平行となるように位置決めされる基準面２０ａとし、各プローブ１Ａの傾斜角度θは、この基準面２０ａとの直交方向ｙを基準に設定するものとする。

ガイドプレート２０は、プローブ１Ａの先端２ａを所定の電極５１に接触するように導くものである。ガイドプレート２０には、複数のガイド穴２１が設けられており、各ガイド穴２１には、プローブ１Ａの先端部４ａが挿入される。

各ガイド穴２１の径は、プローブ１Ａの先端部４ａの直径よりも大きい。詳しくは、そのガイド穴２１は、プローブ１Ａの外径に所定のクリアランスを加えた径で形成されている。そのクリアランスとは、通常１０μｍ前後、例えば８μｍ以上、１５μｍ以下程度の範囲で設定される。

（支柱部材）
支柱部材１５は、一対の立ち上がり壁で構成され、保持部材１２の一対の辺縁部と、ガイドプレート２０の一対の辺縁部との間に設けられている。支柱部材１５は、保持部材１２を、ガイドプレート２０に対して一定の間隔を空けて支持するものである。支柱部材１５の構成材料としては、各種樹脂材料、各種ガラス材料、各種セラミック材料等の絶縁性材料を挙げることができる。

支柱部材１５の高さは、保持部材１２の下面から突出するプローブ本体４の長さ、ガイドプレート２０の厚さを考慮して、ガイドプレート２０の下面から所望の突出量で先端２ａが突き出るように設定する。

（押さえ板及びリード電極）
押さえ板１３は、プローブ群１０の電極端子６側に配設されている。押さえ板１３は、プレートで構成され、電極用孔部１３ａを複数有している。

各電極用孔部１３ａは、各プローブ１Ａの電極端子６に対応する位置に設けられており、その内部にリード線５０の先端に設けられたリード電極１４が埋め込まれている。

各リード電極１４は、その先端部が押さえ板１３の下面から若干突出し、各プローブ１Ａの電極端子６に押し当てられることで、その電極端子６に導通する。また、リード電極１４は、リード線５０の先端に設けられている。これにより、各プローブ１Ａと検査装置とは、電極端子６、リード電極１４、及びリード線５０を介して電気的に接続されている。

押さえ板１３の構成材料としては、各種樹脂材料、各種ガラス材料、各種セラミック材料等の絶縁性材料を挙げることができる。押さえ板１３の平面視での形状及び寸法は、その押さえ板１３の面積が、プローブ群１０のスリーブ部材５全体の平面視での面積よりも大きければ特に限定されないが、取扱い上の点から、ガイドプレート２０や保持部材１２の平面視での形状及び寸法と同じ又は略同じであることが好ましい。

各リード電極１４の構成材料及び形成方法としては、前述の電極端子６の場合と同様の構成材料及び形成方法を挙げることができる。なかでも、各リード電極１４の形成方法としては、湿式めっき法を用いることが好ましい。これにより、Ｃｕ等よりなる低抵抗なリード電極１４を高速で形成することができる。

以上のような押さえ板１３は、押さえ板１３と保持部材１２との間を挟持するクランプやカシメ加工によってプローブ群１０の上方に保持されており、リード電極１４は、その先端が電極端子６に接触しているか、或いは若干の空間を空けるように配置されている。そして、プローブ本体４の先端２ａが電極５１に接触され、プローブ本体４の両端に荷重が与えられてプローブ本体４が撓むと、プローブ本体４に生じた弾性力によって、電極端子６がリード電極１４の先端部に押し付けられる。これにより、電極端子６とリード電極１４とが電気的に確実に接続される。

以上説明したように、本発明のプローブユニット１０Ａは、コンタクトプローブの欄で説明したような効果を奏するプローブ１Ａを用いているので、後端部の側にガイドプレートがなくても、プローブ本体４の後端部４ｂ同士の相対位置が定まる。
また、このプローブユニット１０Ａは、先端部の側にのみガイドプレート２０が設けられ、後端部の側にはガイドプレートが設けられていないので、ユニット毎に１枚のガイドプレート２０を作製すればよい。そのため、ガイドプレート２０の加工にかかる時間及びコストを大幅に削減することができる。

また、プローブ１Ａの先端部４ａのみを、ガイド穴２１に挿入すればよいので、プローブの両端部をガイド穴に挿入する従来の構成に比べて、誤った挿入の発生頻度が減少し、プローブ１Ａのプローブユニット１０Ａへの組み付け作業を容易にすることができる。したがって、プローブユニット１０Ａは、不良品の発生を抑えて効率よく製造することができる。

［コンタクトプローブユニットの変形例１］
変形例１のプローブユニット１０Ｂは、図４に示すように、電極端子６の表面６ａとスリーブ部材５の後端側の端面５ｂとが実質的に同一面になっている以外は、前記実施形態のプローブユニット１０Ａと同様の構成とされている。

具体的には、プローブユニット１０Ｂは、各プローブ本体４の後端側の端面が、各スリーブ部材５の後端側の端面５ｂから後退しており、各スリーブ部材５の後端側の端面５ｂの中央に、プローブ用孔部５ａより大径の凹部５ｃが設けられている。そして、スリーブ部材５の凹部５ｃの内側及び各プローブ本体４の上方に、スリーブ部材５の後端側の端面５ｂと同一面を形成するように電極端子６が埋めこまれている。

変形例１のプローブユニット１０Ｂにおいても、前記実施形態と同様の作用、効果を得ることができる。

また、この変形例１のプローブユニット１０Ｂは、特に、各プローブ１Ｂにおいて、電極端子６の表面６ａとスリーブ部材５の後端側の端面５ｂとが同一面になっているので、各リード電極１４の先端部を各電極端子６に押し当てた際、押さえ板１３ｂの下面と各スリーブ部材５の後端側の端面５ｂとの間に隙間がほとんど生じない。そのため、各リード電極１４の先端部を、各電極端子６に安定に押し当てることができる。これにより、電極端子６とリード電極１４との間で高い接続信頼性を得ることができる。

［コンタクトプローブユニットの変形例２］
変形例２のプローブユニット１０Ｃは、図５に示すように、電極端子６及びリード電極１４の代わりにリード線（電線）１６を有している。そして、このリード線１６が金属導体２に直接接合されている以外は、前記実施形態のプローブユニット１０Ａと同様の構成とされている。

すなわち、このプローブユニット１０Ｃは、押さえ板１３の電極用孔部１３ａが、リード線１６が挿入される孔部として構成され、その孔部１３ａ内にリード線１６が挿入されている。

また、各プローブ本体４の後端側の端面が、各スリーブ部材５の後端側の端面５ｂから後退しており、各スリーブ部材５の後端側の端面５ｂの中央に、プローブ用孔部５ａより大径の凹部５ｃが設けられている。そして、このスリーブ部材５の凹部５ｃ内に、リード線１６の先端部が挿入され、金属導体２の後端側の端面２ｂに接合されている。

このプローブユニット１０Ｃは、リード線１６の後端部が、例えば検査装置の電極端子に電気的に接続される。これにより、金属導体２と検査装置とが、リード線１６を介して電気的に接続される。リード線１６と金属導体２との接合方法としては、リード線１６と金属導体２とを電気的に接続できるものであればよく、例えば、溶接や導電性接合材を用いる方法等を挙げることができる。

導電性接合材としては、ろう材、導電性接着材等を挙げることができる。このうち、ろう材としては、Ｐｂ−Ｓｎ系はんだ等のＰｂ含有はんだや、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系はんだ、Ｓｎ−Ｚｎ系はんだ、Ｓｎ−Ｃｕ系はんだ、Ｓｎ−Ｂｉ系はんだ等のような、実質的にＰｂを含まない鉛フリーはんだ（Ｐｂ不含はんだ）、銀ろう、銅ろう、リン銅ろう、黄銅ろう、アルミニウムろう、ニッケルろう等が挙げられ、これらのうちの１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。導電性接着材としては、例えば、Ａｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｕ又はこれらを含む合金等で構成される導電性粒子を、エポキシ系、ウレタン系、アクリル系等の各種樹脂材料（又はその未硬化物）に分散させたものを用いることができる。

この変形例２のプロ−ブユニット１０Ｃにおいても、前記実施形態と同様の作用効果を得ることができる。

また、この変形例２のプローブユニット１０Ｃは、特に、各プローブ１Ｃの金属導体２にリード線１６が直接接合されているので、リード線５０に接続されたリード電極１４を金属導体２や電極端子６に押し当てる工程が不要である。そのため、リード電極１４が金属導体２等に繰返し接触することによる両者の摩耗が回避され、これらの摩耗に起因した接続不良を抑制することができる。

図６に、変形例２の他の例を示す。図６に示すプローブユニット１０Ｄは、スリーブ部材５が、金属材料よりなる母材（金属管）５ｄに絶縁被膜５ｅを被覆したもので構成されている。そして、プローブ本体４の、プローブ用孔部５ａ内に収容された部分の絶縁被膜３が剥離除去されている以外は、図５に示すプロ−ブユニット１０Ｃと同様の構成とされている。

このプローブユニット１０Ｃにおいても、図５に示すプローブユニット１０Ｂと同様の作用、効果を得ることができる。

［コンタクトプローブユニットの変形例３］
変形例３のプローブユニット１０Ｅは、図７に示すように、リード線１６が各プローブ１Ｅのプローブ本体４と一体的に設けられている以外は、前記変形例２のプローブユニット１０Ｃと同様の構成とされている。

すなわち、この変形例３のプローブユニット１０Ｅは、各プローブ１Ｅのプローブ本体４が、スリーブ部材５より後端部の側に延長されており、この延長された部分がリード線１６として機能する。

このプローブユニット１０Ｅは、プローブ本体（リード線）４の後端部が、例えば検査装置の電極端子に電気的に接続される。これによって金属導体２と検査装置とが、リード線１６を介して電気的に接続される。この変形例３のプロ−ブユニット１０Ｅにおいても、前記変形例２と同様の作用、効果を得ることができる。

また、この変形例３のプローブユニット１０Ｅは、特に、リード線１６がプローブ本体４と一体的に設けられているので、検査装置に接続するリード線を別途設ける必要がない。そのため、リード線と金属導体２との接合工程を不要にでき、プローブユニットの部品点数を削減できるという効果が得られる。

［コンタクトプローブユニットを用いた電気特性の検査方法］
次に、上述した本発明のプローブユニットを用いた電気特性の検査方法について説明する。なお、本実施形態では、プローブユニット１０Ａを用いて電気特性を検査する場合を例にする。

プローブユニット１０Ａは、複数本から数千本のプローブ１Ａが組み付けられ、プリント基板５２等の電極５１の電気特性の良否の検査に利用される。

プローブユニット１０Ａと電極５１は、電気特性を検査する際、各プローブ１Ａの先端２ａが各電極５１に対応するように位置制御される。電気特性の検査は、プローブユニット１０Ａを上下させ、プローブ本体４の弾性力を利用して電極５１にプローブ１Ａの先端２ａを所定の圧力で押し当てることにより行われる。

すなわち、電極５１にプローブ１Ａの先端２ａが接触され、プローブ本体４の両端に荷重が与えられると、プローブ本体４が撓み、これによってプローブ本体４に弾性力が生じる。この弾性力により、プローブ１Ａの先端２ａが電極５１に接するとともに、電極端子６がリード電極１４の先端部に押し付けられ、電極端子６とリード電極１４とが電気的に接続される。その結果、電極５１からの電気信号がプローブ本体４によって検出され、電極端子６、リード電極１４及びリード線５０を介して、検査装置（図示しない。）に送信される。

１Ａ〜１Ｅ プローブ（コンタクトプローブ）
２ 金属導体
２ａ 先端
２ｂ 後端側の端面
３ 絶縁被膜
４ プローブ本体
４ａ 先端部
４ｂ 後端部
５ スリーブ部材（外装部材）
５’ スリーブ部材（外装部材）
５ａ プローブ用孔部
５ｂ 後端側の端面
５ｃ 凹部
５ｄ 金属材料よりなる母材
５ｅ 絶縁被膜
６ 電極端子
７ スペーサ
１０ プローブ群
１０Ａ〜１０Ｅ プローブユニット（コンタクトプローブユニット）
１１ 枠部材
１２ 保持部材
１３ 押さえ板
１３ａ 電極用孔部
１４ リード電極
１５ 支持部材
１６ リード線（電線）
１７ 接合材
２０ ガイドプレート
２０ａ 上側の表面（基準面）
２１ ガイド穴
５０ リード線
５１ 電極
５２ プリント基板
Ａ 胴体部
Ｒ プローブ本体の外径
ｇ_１，ｇ_２ プローブ本体の後端部同士の間隔
θ 傾斜角度

Claims (10)

1. 被測定体に先端を接触させて電気特性を測定するコンタクトプローブであって、
   胴体部と両端部とを有するピン形状のプローブ本体と、
   前記プローブ本体の両端部のうち後端部の外周に設けられた外装部材と、を有することを特徴とするコンタクトプローブ。
2. 前記外装部材の後端側の端面に、前記プローブ本体に電気的に接続した電極端子が設けられている、請求項１に記載のコンタクトプローブ。
3. 前記外装部材の後端側の端面と、前記電極端子の表面とが実質的に同一面になる、請求項２に記載のコンタクトプロ−ブ。
4. 前記プローブ本体の後端側の端面に、電線が電気的に接続されている、請求項１に記載のコンタクトプローブ。
5. 前記電線が、前記プローブ本体と一体的に設けられたものである、請求項４に記載のコンタクトプローブ。
6. 前記外装部材の横断面形状が、多角形状である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のコンタクトプローブ。
7. 胴体部と両端部とを有するピン形状のプローブ本体と、前記プローブ本体の両端部のうち後端部の外周に設けられた外装部材とを有するコンタクトプローブを複数有し、前記各コンタクトプローブが隣り合うコンタクトプローブ同士で外装部材の側面が互いに接するように配列されたプローブ群と、
   前記プローブ群の前記外装部材全体を囲むように設けられ、前記各コンタクトプローブの外装部材の位置を規制する枠部材と、
   前記各コンタクトプローブの前記外装部材の先端部の側の面が接触する接触面を有するとともに、前記各コンタクトプローブの中間部が挿入された孔部を複数有し、前記外装部材を前記接触面上に保持する保持部材と、
   前記各コンタクトプローブの先端部が挿入され、該先端部を測定位置にガイドするガイド穴を複数有するガイドプレートと、を有することを特徴とするコンタクトプローブユニット。
8. 前記各コンタクトプローブの少なくとも一部は、前記被測定体の表面に対して平行に位置決めされる基準面との直交方向から見た平面視において、後端部の位置が先端部の位置に対してずれており、その軸方向が前記直交方向に対して傾斜している、請求項７に記載のコンタクトプローブユニット。
9. 前記プローブ群は、複数のコンタクトプローブが、隣り合うコンタクトプローブ同士で外装部材の側面が互いに接するように配列されたプローブ列を複数有し、
   前記各プローブ列の少なくとも一部は、前記平面視において、後端部の位置が、先端部の位置に対してプローブ列全体で列方向にずれている、請求項８に記載のコンタクトプローブユニット。
10. 前記各コンタクトプローブの少なくとも一部は、前記外装部材の形状、寸法及び外装部材におけるプローブ本体の位置によって規制される後端部間のピッチが先端部間のピッチと異なる、請求項８又は９に記載のコンタクトプローブユニット。
    

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