JP5490537B2 - プローブホルダ - Google Patents
プローブホルダ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5490537B2 JP5490537B2 JP2009530229A JP2009530229A JP5490537B2 JP 5490537 B2 JP5490537 B2 JP 5490537B2 JP 2009530229 A JP2009530229 A JP 2009530229A JP 2009530229 A JP2009530229 A JP 2009530229A JP 5490537 B2 JP5490537 B2 JP 5490537B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- end side
- insertion hole
- side insertion
- distal end
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07357—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with flexible bodies, e.g. buckling beams
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
2 プローブ
3、13、23、33 プローブホルダ
4 配線
5 配線基板
6、6−2、9、9−2 先端側プレート
7、74 基端側プレート
8 連結部材
21 本体部
22 絶縁被膜
51 保持孔
51a、751a、761a テーパ部
61、63、91 第1プレート
62、92、93 第2プレート
71、75 第3プレート
72、76 第4プレート
73 第5プレート
100 接着剤
611、621、631、911、921、931 先端側挿通孔
612、622、632、712、722、732、752、762、912、922、932 凹部
711、721、731、751、761 基端側挿通孔
Claims (5)
- 各々が導電性を有し、両端で異なる導電領域と接触可能なワイヤ型の複数のプローブを個別に保持するプローブホルダであって、
前記プローブの一方の端部を進退可能に保持する先端側プレートと、
前記プローブの他方の端部を進退可能に保持する基端側プレートと、
を備え、
前記先端側プレートは、同一の前記プローブをそれぞれ挿通する複数の先端側挿通孔からなる組を複数組有し、同じ組をなす前記複数の先端側挿通孔の各々の中心軸は互いに異なり、
前記基端側プレートに形成されて前記プローブの他方の端部を挿通する基端側挿通孔の中心軸は、該プローブの一方の端部を挿通する一組の前記複数の先端側挿通孔の各々の中心軸と異なり、
前記基端側プレートは、同一の前記プローブを挿通する複数の前記基端側挿通孔からなる組を複数組有し、
同じ組をなす複数の前記基端側挿通孔の各々の中心軸は互いに異なり、
該同じ組をなす複数の前記基端側挿通孔の各々が有する一方の開口面を一つの直線が通過し、前記直線が前記基端側挿通孔の一方の開口面を通過する位置は、当該基端側挿通孔の中心軸上にある、または前記一方の開口面における前記中心軸との交点からの距離が、対応する前記基端側挿通孔の径と前記プローブの先端部の径との差の範囲内にあり、かつ前記直線は前記複数の先端側挿通孔のいずれかが有する開口面を通過し、
前記複数の先端側挿通孔の各々の中心軸は互いに平行であり、
前記複数の先端側挿通孔のいずれかにおいて、該先端側挿通孔に挿通される前記プローブの先端が該先端側挿通孔から延出する方向の、該先端側挿通孔の中心軸に対する傾きの絶対値は、当該中心軸に対する前記直線の傾きの絶対値よりも小さいことを特徴とするプローブホルダ。 - 前記直線が前記基端側挿通孔の一方の開口面を通過する位置は、当該基端側挿通孔の中心軸と当該開口面との交点であることを特徴とする請求項1記載のプローブホルダ。
- 同じ組をなす複数の前記基端側挿通孔の少なくとも一部における同じ側の開口面に面取りを施したことを特徴とする請求項1または2記載のプローブホルダ。
- 前記直線が前記先端側挿通孔の一方の開口面を通過する位置は、当該先端側挿通孔の中心軸と当該開口面との交点であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のプローブホルダ。
- 前記直線が通過する前記先端側挿通孔の開口面は、前記基端側プレートと対向していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載のプローブホルダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009530229A JP5490537B2 (ja) | 2007-08-31 | 2008-09-01 | プローブホルダ |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007226862 | 2007-08-31 | ||
JP2007226862 | 2007-08-31 | ||
JP2009530229A JP5490537B2 (ja) | 2007-08-31 | 2008-09-01 | プローブホルダ |
PCT/JP2008/065681 WO2009028708A1 (ja) | 2007-08-31 | 2008-09-01 | プローブホルダおよびプローブユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009028708A1 JPWO2009028708A1 (ja) | 2010-12-09 |
JP5490537B2 true JP5490537B2 (ja) | 2014-05-14 |
Family
ID=40387411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009530229A Expired - Fee Related JP5490537B2 (ja) | 2007-08-31 | 2008-09-01 | プローブホルダ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5490537B2 (ja) |
TW (1) | TWI391666B (ja) |
WO (1) | WO2009028708A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009276097A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-11-26 | Nidec-Read Corp | 基板検査治具 |
JP5514619B2 (ja) * | 2009-12-24 | 2014-06-04 | ガーディアンジャパン株式会社 | 配線検査治具 |
AT515628B1 (de) * | 2014-04-14 | 2020-07-15 | Dr Gaggl Rainer | Vertikalnadelkarte |
TW201942581A (zh) * | 2018-03-30 | 2019-11-01 | 日商日本電產理德股份有限公司 | 檢查治具以及具備該治具的檢查裝置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000214182A (ja) * | 1999-01-27 | 2000-08-04 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハテスト用プロ―ブカ―ド |
JP2001023744A (ja) * | 1999-07-06 | 2001-01-26 | Nippon Konekuto Kogyo Kk | 多極コネクタ |
JP2005338065A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-12-08 | Koyo Technos:Kk | 検査冶具および検査装置 |
JP2007127488A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Rika Denshi Co Ltd | プローブカード |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4788496A (en) * | 1982-11-05 | 1988-11-29 | Martin Maelzer | Adapter for a printed circuit board testing device |
JPH04278476A (ja) * | 1991-03-05 | 1992-10-05 | Corp Of Herumesu:Kk | プリント基板テスト用アダプタ |
JP4480258B2 (ja) * | 2000-03-29 | 2010-06-16 | 株式会社日本マイクロニクス | 半導体デバイス検査装置における電気的接触装置 |
JP3978314B2 (ja) * | 2001-03-26 | 2007-09-19 | 株式会社 東京ウエルズ | プローブ装置及びプローブ固定方法 |
JP3791689B2 (ja) * | 2004-01-09 | 2006-06-28 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード |
TWI273247B (en) * | 2005-11-24 | 2007-02-11 | Mjc Probe Inc | Microhole guide plate with enhanced structure |
-
2008
- 2008-09-01 JP JP2009530229A patent/JP5490537B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2008-09-01 WO PCT/JP2008/065681 patent/WO2009028708A1/ja active Application Filing
- 2008-09-01 TW TW97133390A patent/TWI391666B/zh active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000214182A (ja) * | 1999-01-27 | 2000-08-04 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハテスト用プロ―ブカ―ド |
JP2001023744A (ja) * | 1999-07-06 | 2001-01-26 | Nippon Konekuto Kogyo Kk | 多極コネクタ |
JP2005338065A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-12-08 | Koyo Technos:Kk | 検査冶具および検査装置 |
JP2007127488A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Rika Denshi Co Ltd | プローブカード |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009028708A1 (ja) | 2009-03-05 |
TWI391666B (zh) | 2013-04-01 |
JPWO2009028708A1 (ja) | 2010-12-09 |
TW200914839A (en) | 2009-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5607934B2 (ja) | プローブユニット | |
TWI422829B (zh) | 檢查治具、電極構造及電極構造之製造方法 | |
JP3849948B1 (ja) | 基板検査用治具及び検査用プローブ | |
TWI637446B (zh) | 檢測夾具 | |
JP5597108B2 (ja) | 接触検査用治具 | |
US9759744B2 (en) | Contact inspection device | |
US10859599B2 (en) | Electrical connection apparatus | |
US10768207B2 (en) | Electrical connection device | |
WO2012067126A1 (ja) | コンタクトプローブおよびプローブユニット | |
JP5490537B2 (ja) | プローブホルダ | |
TWI737208B (zh) | 電性連接裝置 | |
EP1243931A1 (en) | "Testing head having vertical probes for semiconductor integrated electronic devices." | |
JP6283929B2 (ja) | 検査用治具及び検査用治具の製造方法 | |
KR20210111774A (ko) | 접촉 단자, 검사 지그 및 검사 장치 | |
TW201538984A (zh) | 接觸檢查裝置 | |
IE20190166A1 (en) | Probe module having microelectromechanical probe and method of manufacturing the same | |
JP4804542B2 (ja) | プローブユニットの配線固定方法およびプローブユニット | |
WO2011071082A1 (ja) | コンタクトプローブ | |
JP5651333B2 (ja) | プローブユニット | |
US20200116758A1 (en) | Probe module having microelectromechanical probe and method of manufacturing the same | |
JP5088504B2 (ja) | 基板検査用接触子及びその製造方法 | |
JP3965634B2 (ja) | 基板検査用接触子 | |
JP4777154B2 (ja) | プローブユニット | |
JP2008267833A (ja) | 基板検査用治具及びこの治具における接続電極部の電極構造 | |
JP2016011925A (ja) | コンタクトプローブ及びコンタクトプローブユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110414 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120925 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130924 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140128 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140226 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5490537 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |