TWI391666B - 探針夾持器及探針單元 - Google Patents

探針夾持器及探針單元 Download PDF

Info

Publication number
TWI391666B
TWI391666B TW97133390A TW97133390A TWI391666B TW I391666 B TWI391666 B TW I391666B TW 97133390 A TW97133390 A TW 97133390A TW 97133390 A TW97133390 A TW 97133390A TW I391666 B TWI391666 B TW I391666B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
end side
side insertion
probe
insertion holes
central axis
Prior art date
Application number
TW97133390A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200914839A (en
Inventor
Shigeki Ishikawa
Shogo Imuta
Takashi Nidaira
Original Assignee
Nhk Spring Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nhk Spring Co Ltd filed Critical Nhk Spring Co Ltd
Publication of TW200914839A publication Critical patent/TW200914839A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI391666B publication Critical patent/TWI391666B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07357—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with flexible bodies, e.g. buckling beams

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

探針夾持器及探針單元
本發明係關於用以保持複數個線型導電性探針之探針夾持器及探針單元，該複數個線型導電性探針係將檢查對象之電路結構與對該檢測對象傳送檢查用信號之電路結構之間予以電性連接。
在製造IC晶片等半導體積體電路之際，係進行半導體積體電路之電性特性檢查以檢測出不良品。具體而言，係進行用以檢查形成在檢查對象之半導體積體電路之配線圖案中是否有電性短路及斷線之導通檢查、及對於半導體積體電路輸入檢查用信號時之動作特性檢查等。在此種電性特性檢查中，為了謀求半導體積體電路與產生檢查用信號之信號處理裝置之間之電性連接，一般係應用使用導電性材料所形成之探針(導電性觸頭)。
在依據檢查對象之電路圖案而保持複數個探針之探針夾持器中，對應近年來的半導體積體電路之高積體化、及微細化，將探針間之間距狹小化之技術已日益進步。在此技術中，雖以探針本身之直徑亦細徑化為較佳，惟例如在使用彈簧之銷(pin)型探針之情形下，已逐漸接近細徑化之極限。因此，以取代銷型探針者而言，大多已應用具備有可彎曲之彈性之線型探針。
在藉由與各探針之摩擦力來保持複數個線型探針之探針夾持器中，係施行各種對策，以使檢查時複數個探針撓曲之方向排列整齊。例如，已知有藉由將各探針之兩端部朝橫方向偏離預定距離，使探針之撓曲方向排列整齊之技術(參照例如專利文獻1)。
[專利文獻1]日本特開2005-338065號公報
然而，在上述之習知之探針夾持器中，由於在支撐與檢查對象接觸之探針之前端側之前端側支撐體所設之探針貫通用之複數個貫通孔係形成為同心狀，因此在將前端側支撐體設為下側而謀求與檢查對象接觸之際會有探針落下之情形。此外，在具有此種構成之探針夾持器之情形下，在分別作用於複數個探針之摩擦力會容易產生參差不齊，亦有各探針從探針夾持器突出之量變得不整齊一致之情形。基於此等問題，一種關於探針夾持器，可在適當之狀態下保持線型探針之技術乃深受期待。
本發明係有鑑於上述而研創者，其目的在提供一種可在適當之狀態下保持線型探針之探針夾持器及探針單元。
為了解決上述問題以達成目的，本發明之探針夾持器，係用以將各自具有導電性，可在兩端與不同導電區域接觸之線型的複數個探針予以個別保持者，其特徵為具備：前端側板(plate)，將前述探針之一方端部以可朝向該端部之引導方向進退之方式予以保持；及基端側板，將前述探針之另一方端部，以在從前述引導方向偏離之位置可朝向與前述引導方向不同之方向進退之方式予以保持；前述前端側板係具有複數組由分別插通同一前述探針之複數個前端側插通孔所組成之組，且構成相同組之前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此不同。
此外，本發明之探針夾持器係在上述發明中，前述基端側板係具有複數組由插通同一前述探針之複數個基端側插通孔所組成之組；前述複數個基端側插通孔之各個中心軸係彼此不同；一條直線係通過構成相同組之前述複數個基端側插通孔之各個所具有之一方之開口面，且前述直線通過前述基端側插通孔之一方之開口面之位置，係位於該基端側插通孔之中心軸上或位於距離該中心軸預定之範圍，且前述直線係通過前述複數個前端側插通孔之任一者所具有之開口面。
此外，本發明之探針夾持器係在上述發明中，前述直線通過前述基端側插通孔之一方之開口面之位置，係為該基端側插通孔之中心軸與該開口面之交叉點。
此外，本發明之探針夾持器係在上述發明中，前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此平行；且前述引導方向相對於前述複數個前端側插通孔之任一者之中心軸之傾斜之絕對值係較前述直線相對於該中心軸之傾斜之絕對值更小。
此外，本發明之探針夾持器係在上述發明中，對於前述複數個基端側插通孔之至少一部分開口面施有倒角。
此外，本發明之探針夾持器係在上述發明中，前述直線通過前述前端側插通孔之一方之開口面之位置，係為該前端側插通孔之中心軸與該開口面之交叉點。
此外，本發明之探針夾持器係在上述發明中，前述直線通過之前述前端側插通孔之開口面，係與前述基端側板相對向。
本發明之探針單元，係具備：各自具有導電性，可在兩端與不同導電區域接觸之線型的複數個探針、及將前述複數個探針予以個別保持之探針夾持器者，其特徵為：前述探針夾持器係具備：前端側板，將前述探針之一方端部以可朝向該端部之引導方向進退之方式予以保持；及基端側板，將前述探針之另一方端部，以在從前述引導方向偏離之位置可朝向與前述引導方向不同之方向進退之方式予以保持；前述前端側板係具有複數組由分別插通同一前述探針之複數個前端側插通孔所組成之組，且構成相同組之前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此不同。
此外，本發明之探針單元係在上述發明中，前述基端側板係具有複數組由插通同一前述探針之複數個基端側插通孔所組成之組；前述複數個基端側插通孔之各個中心軸係彼此不同；一條直線係通過構成相同組之前述複數個基端側插通孔之各個所具有之一方之開口面，且前述直線通過前述基端側插通孔之一方之開口面之位置，係位於該基端側插通孔之中心軸上或位於距離該中心軸預定之範圍，且前述直線係通過前述複數個前端側插通孔之任一者所具有之開口面。
此外，本發明之探針單元係在上述發明中，前述直線通過前述基端側插通孔之一方之開口面之位置，係為該基端側插通孔之中心軸與該開口面之交叉點。
此外，本發明之探針單元係在上述發明中，前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此平行；且前述引導方向相對於前述複數個前端側插通孔之任一者之中心軸之傾斜之絕對值係較前述直線相對於該中心軸之傾斜之絕對值更小。
此外，本發明之探針單元係在上述發明中，前述探針之前端係構成大致半球面狀。
此外，本發明之探針單元係在上述發明中，前述直線通過前述前端側插通孔之一方之開口面之位置，係為該前端側插通孔之中心軸與該開口面之交叉點。
此外，本發明之探針單元係在上述發明中，前述直線通過之前述前端側插通孔之開口面，係與前述基端側板相對向。
依據本發明，係設為將線型探針之一方端部，以可朝該探針之引導方向進退之方式予以保持之前端側板，係具有複數組由插通同一前述探針之複數個前端側插通孔所組成之組，且構成相同組之複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此不同，因此探針與前端側板之間所產生之摩擦力增加。因此，可在適當之狀態下保持探針。
以下參照所附圖式說明用以實施本發明之最佳形態(以下稱「實施形態」)。另外，圖式係為示意性者，應留意各部份之厚度與寬度之關係、各個部份之厚度比率等係有與實物不同之情形，在圖式彼此間，當然亦包括彼此尺寸之關係或比率不同之部份。
第1圖係為顯示本發明一實施形態之探針單元之構成之斜視圖。該圖所示之探針單元1係用以將半導體積體電路等檢查對象、及供給來自產生檢查用信號之信號處理裝置之信號之配線予以電性連接者。具體而言，探針單元1係具備：具有導電性之線型之複數個探針2、將複數個探針2予以個別收容保持之探針夾持器3、及埋入有由漆包線(enamel wire)等導線所組成之配線4之配線基板5。
探針夾持器3係具有：前端側板(plate)6，使用絕緣性材料所形成，將檢查時位於與檢查對象相對向之側(前端側)之探針2之端部，以可朝預定之引導方向進退之方式予以保持；基端側板7，將位於與配線基板5相對向之側(基端側)之探針2之端部，在從前端側板6之探針2之引導方向偏離之位置以可朝與該引導方向不同之方向進退之方式予以保持；及連結構件8，用以將前端側板6及基端側板7予以連結。
在第1圖中，探針夾持器3雖係將複數個探針2收容保持成矩陣狀，惟此僅係一例，亦即，在探針夾持器3之探針2之配置圖案係依據檢查對象之電極之配置圖案來決定。另外，只要探針夾持器3之表面部份具有絕緣性，則可適用不具有絕緣性之材料作為探針夾持器3之母材。
第2圖係為顯示探針夾持器3之主要部分之構成之部份剖面圖。第3圖係為顯示前端側板6之主要部分之構成之放大部份剖面圖。第4圖係為顯示基端側板7之主要部分之構成之放大部份剖面圖。以下參照第1至第4圖說明探針單元1之更詳細之構成。
探針2係具備由線狀之導電性材料所組成之本體部21、及由將除本體部21之兩端部以外之表面予以被覆之絕緣性材料所組成之絕緣被膜22。絕緣被膜22係具有防止不同探針2間之電性短路，並且防止探針2因為與其他探針2或探針夾持器3等接觸而損傷之功能。
本體部21之前端係構成大致半球面狀。在此所稱之大致半球面狀，除構成半球面狀之情形之外，尚包括構成半橢圓面狀或雙曲拋物面狀之情形等。藉此，即使探針2撓曲亦可確實地與配線4接觸，並且可順暢地將探針2插通至探針夾持器3所具有之探針插通孔。本體部21之前端以外係具有均一之直徑R1 。以本體部21而言，係以適用例如鐵(Fe)系、鎳(Ni)系、鎢(W)系等具優異耐磨耗性之金屬為較佳。此外，以絕緣被膜22而言，係以適用聚氨酯(polyurethane)及聚對二甲苯(polyparaxylene)等絕緣性材料為較佳。
包括絕緣被膜22之長度方向之中心部之區域，係具有均一之直徑R2 (＞R1 )。此外，絕緣被膜22之端部係構成直徑朝探針2之長度方向之中心部漸漸變大之錐形狀。由於絕緣被膜22之端部以此方式構成錐形狀，因此容易將探針2插通至探針夾持器3。另外，在探針2之兩端部之本體部21之露出長度不須相同，只要根據探針夾持器3之構成適當設定即可。
探針夾持器3之前端側板6係藉由將2片板在板厚方向疊層所形成。亦即，前端側板6係具有：位於與檢查對象相對向之側，用以將探針2之前端附近予以保持之第1板61、及疊層於第1板61，且位於與基端側板7相對向之側之第2板62。第1板61與第2板62係藉由未圖示之螺絲構件而緊密固定。
第1板61係具備複數個插通探針2之前端側插通孔611、及複數個具有前端側插通孔611之一方之開口面通過之底面之凹部612。複數個前端側插通孔611係彼此平行。第2板62係具備複數個插通探針2之前端側插通孔621、及具有前端側插通孔621之一方之開口面通過之底面之凹部622。複數個前端側插通孔621係彼此平行。
若以前端側插通孔611之直徑為r1 ，且以前端側插通孔621之直徑為r2 ，則在此等直徑r1 、r2 之間，係以r1 ≦r2 成立為較佳。此外，前端側插通孔611之直徑r1 係須至少較探針2之本體部21之直徑R1 大(r1 ＞R1 )。
第5圖係為示意性顯示探針夾持器3之主要部分之構成圖，且為示意性顯示插通同一探針之插通孔之位置關係圖。如第5圖所示，前端側插通孔611之中心軸O1與前端側插通孔621之中心軸O2係平行而不同。因此，如第3圖所示，探針2係構成在前端側插通孔611與前端側插通孔621之間彎曲之狀態。在第3圖中，探針2之前端延伸之方向係為探針2之引導方向。
前端側插通孔611之中心軸O1與前端側插通孔621之中心軸O2之距離△X1 係使用定義為前端側插通孔621之直徑r2 與探針2之前端部之直徑R1 之差之間隙(clearance)CL(=r2 -R1 )，只要滿足CL/2≦△X1 ≦2CL則更佳。藉由如此設定，在前端側板6之探針2之引導方向，即成為與前端側插通孔611之中心軸O1大致平行。因此，引導方向相對於中心軸O1之傾斜(之絕對值)成為大致零，遠較直線L相對於中心軸O1之傾斜(之絕對值)為小。
基端側板7係藉由將3片板在板厚方向疊層所形成。亦即，基端側板7係具有：位於與前端側板6之第2板62相對向之側之第3板71、疊層於第3板71而插通探針2之第4板72、及疊層於第4板72而保持探針2之前端附近，且位於與配線基板5相對向之側之第5板73。第3板71、第4板72及第5板73係藉由未圖示之構件所緊密固定。
第3板71係具備複數個插通探針2之基端側插通孔711、及複數個具有基端側插通孔711之一方之開口面通過之底面之凹部712。複數個基端側插通孔711係彼此平行。第4板72係具備複數個插通探針2之基端側插通孔721、及複數個具有基端側插通孔721之一方之開口面通過之底面之凹部722。複數個基端側插通孔721係彼此平行。第5板73係具備複數個插通探針2之端部之中與配線4接觸之端部之基端側插通孔731、及複數個具有基端側插通孔731之一方之開口面通過之底面之凹部732。複數個基端側插通孔731係彼此平行。基端側插通孔711、721、731之各直徑係彼此相等，與探針2之最大直徑R2 相同程度，且較其最大直徑R2 更大。
另外，基端側插通孔711之直徑r3 、基端側插通孔721之直徑r4 、基端側插通孔731之直徑r5 係可彼此不相等，基端側插通孔731之直徑r5 係須可容易通過探針2之絕緣被膜22之值，至少需為R2 ＜r5 。此外，基端側插通孔731之直徑r5 係可為與基端側插通孔711之直徑r3 或基端側插通孔721之直徑r4 相同程度，或較該等直徑r3 、r4 小之值。
如第5圖所示，前端側插通孔611之中心軸O1、前端側插通孔621之中心軸O2、基端側插通孔711之中心軸O3、基端側插通孔721之中心軸O4、及基端側插通孔731之中心軸O5係彼此平行而不同。前端側插通孔611之中心軸O1係較前端側插通孔621之中心軸O2，位於距離基端側插通孔711之中心軸O3更遠處。
在分別插通同一探針2之前端側插通孔621、基端側插通孔711、721、731中，前端側插通孔621之中心軸O2與底面側之開口面之交叉點A、基端側插通孔711之中心軸O3與底面側之開口面之交叉點B、基端側插通孔721之中心軸O4與底面側之開口面之交叉點C、及基端側插通孔731之中心軸O5與底面側之開口面之交叉點D全部位於直線L上。如此一來，藉由將直線L配置成通過前端側板6之具有前端側插通孔之開口面之中，與基端側板7相對向之開口面，即容易在從基端側板7之基端側插通孔731依序插通探針2之前端至基端側插通孔721、711之後，插通於前端側板6之前端側插通孔621。直線L相對於中心軸O1等之傾斜，雖係依據探針2之直徑、材質、強度等各種條件來適當決定，惟其傾斜之絕對值係以較在前端側板6之探針2之引導方向相對於中心軸O1等傾斜之絕對值更大為更佳。
另外，直線L未必須通過各開口面中與各中心軸之交叉點A至D，在通過各開口面之際，只要從與該開口面之中心軸之交叉點(交叉點A至D任一者)通過位於特定之範圍內之位置即可。在此所稱之預定之範圍係指從開口面上之交叉點之距離為對應之插通孔之間隙(對應之插通孔直徑與探針2之前端部直徑R1 之差)程度之範圍。以此涵義而言，交叉點A至D可配置成位於直徑較大之大致圓弧上。此情形之大致圓弧係包括橢圓、弓形等具有接近圓弧之形狀之曲線。
在形成具有以上構成之前端側板6及基端側板7之際，係於依序疊層各板之後，藉由使用預定之定位銷來進行板間之定位。另外，分別構成前端側板6及基端側板7之板之數並不限定於上述者。
接著說明配線基板5之構成。配線基板5係具有插通配線4之端部並予以保持之保持孔51。如第4圖所示，保持孔51係對於與探針夾持器3之基端側板7相對向之端面施有倒角，且該施有倒角之端面之直徑係最大，具有直徑隨著遠離該端面而逐漸變小之錐形部51a。保持孔51係對配線基板5進行鑽孔加工、蝕刻、衝切成形，或藉由進行使用雷射、電子束、離子束、線放電等之加工而形成。另外，錐形部51a之斜面相對於配線基板5之表面所構成之角度θ雖係為任意，惟以45度以上為更佳。
插通於保持孔51之配線4端部係藉由黏接劑100而固設於配線基板5。黏接劑100係在錐形部51a之端面側，充填於配線4與保持孔51之間隙，惟未充填到配線4朝外部延伸之側之端部。因此，在配線4延伸之側之端部，係可正確地特別界定配線4從哪一保持孔51延伸。
另外，保持孔之形狀並不限定於在此所說明者，亦即，保持孔之形狀只要依據配線基板之強度或保持孔之間隔等條件來適當決定即可，例如亦可為直(straight)孔。
在使用具有以上構成之探針單元1來進行電路基板之電性特性檢查之際，係將探針單元1裝設於被稱為探針儀(prober)之治具，且將配線4連接於產生檢查用信號之信號處理裝置。探針單元1係在裝設於探針儀之狀態下，成為上下與第1圖反轉之狀態。之後，將探針下降到配置於探針單元1之垂直下方之檢查對象，且使探針2與檢查對象之導電區域(連接用電極)接觸。其後，信號處理電路經由探針2對檢查對象供給檢查用信號，藉以進行電性特性檢查。
在進行電性特性檢查之際，當如習知在前端側板所設之複數個前端側插通孔形成於同軸上時，則會有探針2之保持力變弱，且探針2脫落而掉落至下方之情形。相對於此，在本實施形態中，由於前端側板6之2個前端側插通孔611、612之各中心軸O1、O2係呈偏離，因此在探針2與前端側插通孔611、612之各側面之間所產生之摩擦變大。結果，即可獲得前端側板6用以保持探針2之充分之保持力，且可防止探針2在檢查時掉落至下方。
依據以上所說明之本發明一實施形態，係設為將線型探針之一方之端部，以可朝向該探針之引導方向進退之方式予以保持之前端側板，係具有複數組由插通同一前述探針之複數個前端側插通孔所組成之組，且構成相同組之複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此不同，因此在探針與前端側板之間所產生之摩擦力增加。因此，形成可在適當之狀態下保持探針。結果，可防止探針之脫落，並且可使複數個探針的各個從探針夾持器突出之量整齊一致，且亦可使行程(stroke)為零之狀態之探針之位置精度提升。
此外，依據本實施形態，係設為基端側板係具有複數組由插通同一探針之複數個基端側插通孔所組成之組，且複數個基端側插通孔之各個中心軸係彼此不同，而構成相同組之複數個基端側插通孔的各個之中心軸與一方之開口面之交叉點係位於與各中心軸交叉之一條直線上，且複數個前端側插通孔之各個中心軸與一方之開口面之交叉點之中之任一者係位於該直線上，因此可容易將探針插通至探針夾持器。此外，依據探針之材質或直徑來設定傾斜，藉此即可使探針夾持器所保持之探針之作用穩定。
再者，依據本實施形態，係設為複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此平行，而前述引導方向相對於複數個前端側插通孔任一者的中心軸之傾斜之絕對值，係較前述直線相對於該中心軸之傾斜之絕對值更小，因此探針夾持器係成為在預先使探針產生彎曲力之狀態下保持，而容易使所有探針進行之行程之際之彎曲方向整齊一致。因此，以此涵義而言亦可使探針夾持具所保持之探針之作用穩定。
另外，在本實施形態中，雖係以各種插通孔之底面側之開口面為基準設定了位置關係，惟亦可以各種插通孔之上面側之開口面為基準來設定位置關係。
第6圖係為示意性顯示本實施形態第1變形例之探針夾持器之主要部分之構成圖。該圖所示之探針夾持器13除前端側板6-2之構成外具有與探針夾持器3相同之構成。前端側板6-2係具有：位於與檢查對象相對向之側，用以保持探針2之前端附近之第1板63、及疊層於第1板63，且位於與基端側板7相對向之側之第2板62。第1板63係具有插通探針2之前端側插通孔631、及具有前端側插通孔631之一方之開口面通過之底面之凹部632。
前端側插通孔631之中心軸O6係較前端側插通孔621之中心軸O2，位於基端側插通孔711之中心軸O3之附近。另外，中心軸O2與中心軸O6之距離△X2 係與上述之△X1 同樣，只要滿足CL/2≦△X2 ≦2CL則更佳。
第7圖係為示意性顯示本實施形態第2變形例之探針夾持器之主要部分之構成圖。該圖所示之探針夾持器23係除前端側板9之構成之外具有與探針夾持器3相同之構成。前端側板9係具有：位於與檢查對象相對向之側，用以保持探針2之前端附近之第1板91、及疊層於第1板91，位於與基端側板7相對向之側之第2板92。
第1板91係具有插通探針2之前端側插通孔911、及具有前端側插通孔911之一方之開口面通過之底面之凹部912。此外，第2板92係具有插通探針2之前端側插通孔921、及具有前端側插通孔921之一方之開口面通過之底面之凹部922。
前端側插通孔911之中心軸O7及前端側插通孔921之中心軸O8係彼此平行而不同。此外，中心軸O7及O8係亦與中心軸O3至O5均彼此平行而不同。
前端側插通孔911之底面側之開口面與中心軸O7之交叉點E係位於通過基端側插通孔711之底面側之開口面與中心軸O3之交叉點B等之直線L上。前端側插通孔911之中心軸O7係較前端側插通孔921之中心軸O8，更位於遠離基端側插通孔711之中心軸O3。中心軸O7與中心軸O8之距離△X3 只要滿足CL’/2≦△X3 ≦2CL’則更佳。在此，CL’係使用前端側插通孔921之直徑r6 而定義為CL’=r6 -R1 。
第8圖係為示意性顯示本實施形態之第3變形例之探針夾持器之主要部分之構成圖。該圖所示之探針夾持器33係除前端側板9-2之構成外具有與探針夾持器3相同之構成。前端側板9-2係具有：位於與檢查對象相對向之側，用以保持探針2之前端附近之第1板91、及疊層於第1板91，且位於與基端側板7相對向之側之第2板93。第2板93係具有插通探針2之前端側插通孔931、及具有前端側插通孔931之一方之開口面通過之底面之凹部932。
前端側插通孔911之中心軸O7係較前端側插通孔931之中心軸O9，更位於基端側插通孔711之中心軸O3之附近。此時之中心軸O7與中心軸O9之距離△X4 亦與上述之△X3 同樣，只要滿足CL’/2≦△X4 ≦2CL’則更佳。
至此為止雖說明了用以實施本發明之最佳形態，惟本發明並非僅限定於上述之一實施形態。例如，在基端側板7中，通過基端側插通孔711中之中心軸O3與底面側之開口面之交叉點B、基端側插通孔721中之中心軸O4與底面側之開口面之交叉點C、及基端側插通孔731中之中心軸O5與底面側之開口面之交叉點D之直線L，只要通過前端側板之複數個前端側插通孔任一者所具有之開口面即可。
第9圖係為顯示將直線L通過之前端側插通孔之開口面設為與基端側板7相對向之開口面時之前端側板之配置例圖。在該圖中，係使用第5圖所示之前端側板6作為前端側板。在以下之說明中，係與上述之實施形態同樣，設成前端側插通孔611之中心軸O1及前端側插通孔621之中心軸O2處於與基端側插通孔711之中心軸O3平行之位置關係。
第9圖所示之直線L1係為中心軸O1及中心軸O2處於與中心軸O3平行之位置關係時與直線L平行之直線，且為通過屬於第9圖之前端側插通孔621之底面側之一方之孔之緣之點F之直線。以使此種直線L1與直線L一致之方式配置前端側板6時，分別插通相同探針2之前端側插通孔621之中心軸O2與基端側插通孔711之中心軸O3之距離，係在可能之配置之中成為最小。
相對於此，第9圖所示之直線L2係為中心軸O1及中心軸O2處於與中心軸O3平行之位置關係時與直線L平行之直線，且為通過屬於第9圖之前端側插通孔621之底面側之另一方之孔之緣之點G之直線。以使此種直線L2與直線L一致之方式配置前端側板6時，分別插通相同探針2之前端側插通孔621之中心軸O2與基端側插通孔711之中心軸O3之距離，係在可能之配置之中成為最大。
以直線L通過第9圖之平面上之方式配置前端側板6時，換言之，以分別插通相同探針2之前端側插通孔611、621、基端側插通孔711、721、731之各中心軸(01至05)位於同一平面上之方式配置前端側板6時，直線L係如第9圖所示之直線L3所示，只要設為通過直線L1與直線L2之間(包括直線L1及L2)即可。
更一般而言，由於直線L只要通過前端側插通孔621之底面側之開口面即可，因此插通相同探針2之前端側插通孔611、621之各中心軸O2、O2，亦可不在與插通該探針2之基端側插通孔711、721、731之各中心軸O3、O4、O5相同之平面上。
然而，第9圖所示之情形，從基端側板7插通之探針2之延伸方向(相當於直線L)並不限於通過前端側插通孔621之底面側之開口面之中心附近，惟探針2之前端係如上述所示作成大致半球面狀，因此仍可將探針2順暢地插通至前端側插通孔621，並無改變。
另外，在使用前端側板6-2、9、9-2之情形下，亦可與參照第9圖所說明之前端側板6之情形同樣進行配置。
第10圖係為顯示本發明之再另一實施形態之探針夾持器之基端側板之主要部分之構成之放大部份剖面圖。該圖所示之基端側板74係具有第3板75、第4板76、第5板73。第3板75係具備複數個插通探針2之基端側插通孔751、及複數個具有基端側插通孔751之一方之開口面通過之底面之凹部752。基端側插通孔751之底面側開口部係施以倒角，且形成有愈往底面直徑愈大之錐形部751a。複數個基端側插通孔751係彼此平行。第4板76係具備複數個插通探針2之基端側插通孔761、及複數個具有基端側插通孔761之一方之開口面通過之底面之凹部762。基端側插通孔761之底面側開口部係施以倒角，且形成有愈往底面直徑愈大之錐形部761a。複數個基端側插通孔761係彼此平行。基端側插通孔751之錐形部751a以外之部份之直徑與基端側插通孔761之錐形部761a以外之部份之直徑係與基端側插通孔731之直徑相等。
依據具有以上構成之基端側板74，由於相對於基端側插通孔751、761分別設置錐形部751a、761a，因此在組裝之際可容易將探針2插通至基端側插通孔751、761，並且可使檢查時之探針2之動作順暢。另外，藉由在基端側插通孔731之底面側開口部施以倒角形成錐形部亦可。此外，亦可藉由在基端側插通孔731、751、761之上面側開口部分別施以倒角而形成錐形部。此外，倒角之態樣並不限定於上述者，例如倒角之部份亦可作成曲面。
如此，本發明係可為包含未在此記載之各種實施形態等，只要不脫離申請專利範圍所特別指定之技術思想之範圍，均可作各種設計變更等。
(產業上之可利用性)
綜上所述，本發明之探針夾持器及探針單元係有助於製造IC晶片等半導體積體電路之際之電性特性檢查，尤其適於將探針予以窄間距化。
1．．．探針單元
2．．．探針
3、13、23、33．．．探針夾持器
4．．．配線
5．．．配線基板
6、6-2、9、9-2．．．前端側板
7、74．．．基端側板
8．．．連結構件
21．．．本體部
22．．．絕緣被膜
51．．．保持孔
51a、751a、761a．．．錐形部
61、63、91．．．第1板
62、92、93．．．第2板
71、75．．．第3板
72、76．．．第4板
73．．．第5板
100．．．黏接劑
611、621、631、911、921、931．．．前端側插通孔
612、622、632、712、722、732、752、762、912、922、932．．．凹部
711、721、731、751、761．．．基端側插通孔
第1圖係為顯示本發明一實施形態之探針單元之構成之斜視圖。
第2圖係為顯示探針夾持器之主要部分之構成圖。
第3圖係為顯示前端側板之主要部分之構成之放大部份剖面圖。
第4圖係為顯示基端側板之主要部分之構成之放大部份剖面圖。
第5圖係為示意性顯示插通同一探針之插通孔之位置關係圖。
第6圖係為示意性顯示本發明一實施形態之第1變形例之探針夾持器之主要部分之構成圖。
第7圖係為示意性顯示本發明一實施形態之第2變形例之探針夾持器之主要部分之構成圖。
第8圖係為示意性顯示本發明一實施形態之第3變形例之探針夾持器之主要部分之構成圖。
第9圖係為說明本發明之其他實施形態之探針夾持器之前端側板之配置例圖。
第10圖係為顯示本發明之又一其他實施形態探針夾持器之基端側板之主要部分之構成之放大部份剖面圖。
1．．．探針單元
2．．．探針
3．．．探針夾持器
4．．．配線
5．．．配線基板
6．．．前端側板
7．．．基端側板
8．．．連結構件
61．．．第1板
62．．．第2板
71．．．第3板
72．．．第4板
73．．．第5板

Claims (27)

  1. 一種探針夾持器，用以將各自具有導電性，可在兩端與不同導電區域接觸之線型的複數個探針予以個別保持者，其特徵為具備：前端側板，將前述探針之一方端部以可朝向該端部之引導方向進退之方式予以保持；及基端側板，將前述探針之另一方端部，以在從前述引導方向偏離之位置可朝向與前述引導方向不同之方向進退之方式予以保持；前述前端側板係具有複數組由分別插通同一前述探針之複數個前端側插通孔所組成之組，且構成相同組之前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此不同；其中，前述基端側板係具有複數組由插通同一前述探針之複數個基端側插通孔所組成之組，前述複數個基端側插通孔之各個中心軸係彼此不同，一條直線係通過構成相同組之前述複數個基端側插通孔之各個所具有之一方之開口面，且前述直線通過前述基端側插通孔之一方之開口面之位置，係位於該基端側插通孔之中心軸上或位於距離該中心軸預定之範圍，且前述直線係通過前述複數個前端側插通孔之任一者所具有之開口面。
  2. 如申請專利範圍第1項之探針夾持器，其中，前述直線通過前述基端側插通孔之一方之開口面之位置，係為該基端側插通孔之中心軸與該開口面之交叉點。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之探針夾持器，其中，前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此平行，且前述引導方向相對於前述複數個前端側插通孔之任一者之中心軸之傾斜之絕對值係較前述直線相對於該中心軸之傾斜之絕對值更小。
  4. 如申請專利範圍第3項之探針夾持器，其中，對於前述複數個基端側插通孔之至少一部分開口面施有倒角。
  5. 如申請專利範圍第1或2項之探針夾持器，其中，前述直線通過前述前端側插通孔之一方之開口面之位置，係為該前端側插通孔之中心軸與該開口面之交叉點。
  6. 如申請專利範圍第5項之探針夾持器，其中，前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此平行，且前述引導方向相對於前述複數個前端側插通孔之任一者之中心軸之傾斜之絕對值係較前述直線相對於該中心軸之傾斜之絕對值更小。
  7. 如申請專利範圍第5項之探針夾持器，其中， 前述直線通過之前述前端側插通孔之開口面，係與前述基端側板相對向。
  8. 如申請專利範圍第7項之探針夾持器，其中，前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此平行，且前述引導方向相對於前述複數個前端側插通孔之任一者之中心軸之傾斜之絕對值係較前述直線相對於該中心軸之傾斜之絕對值更小。
  9. 如申請專利範圍第8項之探針夾持器，其中，對於前述複數個基端側插通孔之至少一部分開口面施有倒角。
  10. 如申請專利範圍第1或2項之探針夾持器，其中，前述直線通過之前述前端側插通孔之開口面，係與前述基端側板相對向。
  11. 如申請專利範圍第10項之探針夾持器，其中，前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此平行，且前述引導方向相對於前述複數個前端側插通孔之任一者之中心軸之傾斜之絕對值係較前述直線相對於該中心軸之傾斜之絕對值更小。
  12. 如申請專利範圍第11項之探針夾持器，其中，對於前述複數個基端側插通孔之至少一部分開口面施有倒角。
  13. 一種探針單元，具備：各自具有導電性，可在兩 端與不同導電區域接觸之線型的複數個探針、及將前述複數個探針予以個別保持之探針夾持器者，其特徵為：前述探針夾持器係具備：前端側板，將前述探針之一方端部以可朝向該端部之引導方向進退之方式予以保持；及基端側板，將前述探針之另一方端部，以在從前述引導方向偏離之位置可朝向與前述引導方向不同之方向進退之方式予以保持；前述前端側板係具有複數組由分別插通同一前述探針之複數個前端側插通孔所組成之組，且構成相同組之前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此不同；其中，前述基端側板係具有複數組由插通同一前述探針之複數個基端側插通孔所組成之組，前述複數個基端側插通孔之各個中心軸係彼此不同，一條直線係通過構成相同組之前述複數個基端側插通孔之各個所具有之一方之開口面，且前述直線通過前述基端側插通孔之一方之開口面之位置，係位於該基端側插通孔之中心軸上或位於距離該中心軸預定之範圍，且前述直線係通過前述複數個前端側插通孔之任一者所具有之開口面。
  14. 如申請專利範圍第13項之探針單元，其中，前述直線通過前述基端側插通孔之一方之開口面之位置，係為該基端側插通孔之中心軸與該開口面之交叉點。
  15. 如申請專利範圍第13或14項之探針單元，其中，前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此平行，且前述引導方向相對於前述複數個前端側插通孔之任一者之中心軸之傾斜之絕對值係較前述直線相對於該中心軸之傾斜之絕對值更小。
  16. 如申請專利範圍第15項之探針單元，其中，前述探針之前端係構成大致半球面狀。
  17. 如申請專利範圍第16項之探針單元，其中，對於前述複數個基端側插通孔之至少一部分開口面施有倒角。
  18. 如申請專利範圍第13或14項之探針單元，其中，前述直線通過前述前端側插通孔之一方之開口面之位置，係為該前端側插通孔之中心軸與該開口面之交叉點。
  19. 如申請專利範圍第18項之探針單元，其中，前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此平行，且前述引導方向相對於前述複數個前端側插通孔之任一者之中心軸之傾斜之絕對值係較 前述直線相對於該中心軸之傾斜之絕對值更小。
  20. 如申請專利範圍第18項之探針單元，其中，前述直線通過之前述前端側插通孔之開口面，係與前述基端側板相對向。
  21. 如申請專利範圍第20項之探針單元，其中，前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此平行，且前述引導方向相對於前述複數個前端側插通孔之任一者之中心軸之傾斜之絕對值係較前述直線相對於該中心軸之傾斜之絕對值更小。
  22. 如申請專利範圍第21項之探針單元，其中，前述探針之前端係構成大致半球面狀。
  23. 如申請專利範圍第22項之探針單元，其中，對於前述複數個基端側插通孔之至少一部分開口面施有倒角。
  24. 如申請專利範圍第13或14項之探針單元，其中，前述直線通過之前述前端側插通孔之開口面，係與前述基端側板相對向。
  25. 如申請專利範圍第24項之探針單元，其中，前述複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此平行，且前述引導方向相對於前述複數個前端側插通孔之任一者之中心軸之傾斜之絕對值係較前述直線相對於該中心軸之傾斜之絕對值更小。
  26. 如申請專利範圍第25項之探針單元，其中，前述探針之前端係構成大致半球面狀。
  27. 如申請專利範圍第26項之探針單元，其中，對於前述複數個基端側插通孔之至少一部分開口面施有倒角。
TW97133390A 2007-08-31 2008-09-01 探針夾持器及探針單元 TWI391666B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007226862 2007-08-31

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200914839A TW200914839A (en) 2009-04-01
TWI391666B true TWI391666B (zh) 2013-04-01

Family

ID=40387411

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW97133390A TWI391666B (zh) 2007-08-31 2008-09-01 探針夾持器及探針單元

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP5490537B2 (zh)
TW (1) TWI391666B (zh)
WO (1) WO2009028708A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009276097A (ja) * 2008-05-12 2009-11-26 Nidec-Read Corp 基板検査治具
JP5514619B2 (ja) * 2009-12-24 2014-06-04 ガーディアンジャパン株式会社 配線検査治具
AT515628B1 (de) * 2014-04-14 2020-07-15 Dr Gaggl Rainer Vertikalnadelkarte
TW201942581A (zh) * 2018-03-30 2019-11-01 日商日本電產理德股份有限公司 檢查治具以及具備該治具的檢查裝置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4788496A (en) * 1982-11-05 1988-11-29 Martin Maelzer Adapter for a printed circuit board testing device
TW494514B (en) * 2000-03-29 2002-07-11 Nihon Micronics Kabushiki Kais Electrical contact method and apparatus in semiconductor device inspection equipment
US20050151547A1 (en) * 2004-01-09 2005-07-14 Nihon Denshizairyo Kabushiki Kaisha Probe card
TWI273247B (en) * 2005-11-24 2007-02-11 Mjc Probe Inc Microhole guide plate with enhanced structure
TWI278628B (en) * 2001-03-26 2007-04-11 Tokyo Weld Co Ltd Probe apparatus and method of securing the same
JP2007127488A (ja) * 2005-11-02 2007-05-24 Rika Denshi Co Ltd プローブカード

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04278476A (ja) * 1991-03-05 1992-10-05 Corp Of Herumesu:Kk プリント基板テスト用アダプタ
JP4344032B2 (ja) * 1999-01-27 2009-10-14 三菱電機株式会社 ウエハテスト用プローブカード
JP2001023744A (ja) * 1999-07-06 2001-01-26 Nippon Konekuto Kogyo Kk 多極コネクタ
JP2005338065A (ja) * 2004-04-26 2005-12-08 Koyo Technos:Kk 検査冶具および検査装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4788496A (en) * 1982-11-05 1988-11-29 Martin Maelzer Adapter for a printed circuit board testing device
TW494514B (en) * 2000-03-29 2002-07-11 Nihon Micronics Kabushiki Kais Electrical contact method and apparatus in semiconductor device inspection equipment
TWI278628B (en) * 2001-03-26 2007-04-11 Tokyo Weld Co Ltd Probe apparatus and method of securing the same
US20050151547A1 (en) * 2004-01-09 2005-07-14 Nihon Denshizairyo Kabushiki Kaisha Probe card
JP2007127488A (ja) * 2005-11-02 2007-05-24 Rika Denshi Co Ltd プローブカード
TWI273247B (en) * 2005-11-24 2007-02-11 Mjc Probe Inc Microhole guide plate with enhanced structure

Also Published As

Publication number Publication date
TW200914839A (en) 2009-04-01
JPWO2009028708A1 (ja) 2010-12-09
JP5490537B2 (ja) 2014-05-14
WO2009028708A1 (ja) 2009-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10962569B2 (en) Probe, inspection jig, inspection device, and method of manufacturing probe
TWI637446B (zh) 檢測夾具
US9759744B2 (en) Contact inspection device
US8834183B2 (en) Housingless connector
KR101606206B1 (ko) 전기적 접속체
US11255878B2 (en) Electrical contactor and electrical connecting apparatus
US7791364B2 (en) Electronic device probe card with improved probe grouping
TWI391666B (zh) 探針夾持器及探針單元
CN101358997A (zh) 检查夹具及检查装置
US11183783B2 (en) High isolation contactor with test pin and housing for integrated circuit testing
US20220043027A1 (en) Probe module having microelectromechanical probe and method of manufacturing the same
JP2024124468A (ja) 検査治具、及び検査装置
JP4804542B2 (ja) プローブユニットの配線固定方法およびプローブユニット
JP5651333B2 (ja) プローブユニット
JP4842761B2 (ja) 電気的接続体及びその製造方法
CN111579831B (zh) 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
KR20230038795A (ko) 프로브 카드
CN107807256B (zh) 用于测试电子部件的插座和测试点装置
JP5228610B2 (ja) 基板検査治具
JP7226441B2 (ja) プローブピン
JP2004239667A (ja) ワイヤープローブユニット
TWI856665B (zh) 電連接裝置
CN111579834B (zh) 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
KR20240009100A (ko) 전기 전도성 접촉핀 및 이를 구비하는 검사장치
TW201221963A (en) Inspection pin and inspection device using the same