JP7226441B2 - プローブピン - Google Patents

Description

本開示は、接続対象物に接続可能なコネクタに配置可能なプローブピンに関する。

ＵＳＢデバイス等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、検査装置と電子部品モジュールとをコネクタで接続することにより行われる。

このようなコネクタとしては、特許文献１に記載されたものがある。このコネクタは、基板上に配置可能なベース部と、ベース部の上部から基板の上面と平行に延びて、電子部品モジュールと嵌合可能な嵌合部と、ベース部に取り付けられた複数のコンタクト部材とを備えている。前記コネクタでは、ベース部に設けられた移動規制部と、嵌合部に設けられた移動規制部とが、間隙を有して係合されており、この間隙の範囲内で嵌合部がベース部に対して相対的に移動可能になっている。これにより、嵌合方向に対して斜め方向に電子部品モジュールが接続される場合でも、電子部品モジュールをスムーズに嵌合接続できるようになっている。

特開２０１５－１５８９９０号公報

しかし、前記コネクタでは、ベース部および嵌合部の各々の長手方向の両端部にそれぞれ移動規制部が設けられているため、高い精度でベース部および嵌合部の各部材を形成しなければ、設計通り嵌合部を移動させることが困難になる場合がある。この場合、電子部品モジュールが嵌合方向に対して斜め方向に電子部品モジュールが接続されると、コンタクト部材に対して、予定している接触方向に交差する方向の応力が加わり、コンタクト部材が損傷してしまう可能性がある。

本開示は、予定している接触方向に交差する方向の応力が加えられたとしても、損傷し難いプローブピンを提供することを課題とする。

本開示の一例のプローブピンは、
接続対象物に接続可能なコネクタに配置可能なプローブピンであって、
第１接触ばね部および第２接触ばね部と、
前記第１接触ばね部および前記第２接触ばね部の間に直列的に配置された中間部および緩衝ばね部と
を備え、
前記中間部は、前記第１方向の両端部がそれぞれ前記第１接触ばね部および前記緩衝ばね部に接続され、
前記緩衝ばね部は、前記第１方向の両端部がそれぞれ前記中間部および前記第２接触ばね部に接続されていると共に、前記中間部に対して前記第１接触ばね部、前記中間部、前記緩衝ばね部および前記第２接触ばね部の配列方向である第１方向に交差する第２方向に弾性変形可能に構成され、
前記第１接触ばね部および前記第２接触ばね部は、前記中間部に対して前記第１方向およびに第２方向に交差する第３方向に弾性変形可能に構成されている。

前記プローブピンによれば、第１接触ばね部および第２接触ばね部と、第１接触ばね部および第２接触ばね部の間に直列的に配置された中間部および緩衝ばね部とを備え、緩衝ばね部が、中間部に対して第１接触ばね部、中間部、緩衝ばね部および第２接触ばね部の配列方向である第１方向に交差する第２方向に弾性変形可能に構成され、第１接触ばね部および第２接触ばね部が、中間部に対して第１方向およびに第２方向に交差する第３方向に弾性変形可能に構成されている。このような構成により、予定している接触方向に交差する方向の応力が加えられたとしても、緩衝ばね部によりその応力を分散させて、プローブピンの損傷を低減できる。その結果、損傷し難いプローブピンを実現できる。

本開示の第１実施形態のコネクタを示す斜視図。 図１のII-II線に沿った断面図。 図１のIII-III線に沿った断面図。 図１のコネクタの第１端子接続部側の側面図。 図１のコネクタの第１端子接続部を示す斜視図。 図１のVI-VI線に沿った断面図。 図１のコネクタのプローブピンを示す斜視図。 図１のVIII-VIII線に沿った断面図。 図１のコネクタの第１の変形例を示す斜視図。 図９のコネクタのコネクタハウジングを取り除いた状態における第１端子接続部側の側面図。 図１のコネクタの第２の変形例を示す斜視図。 図１のコネクタの第３の変形例を示す第１端子接続部の斜視図。 図１のコネクタの第４の変形例を示す図１のII-II線に沿った断面図。 図７のプローブピンの第１接触ばね部が弾性変形する前の状態を示す平面図。 図７のプローブピンの第１接触ばね部が弾性変形した後の状態を示す平面図。 図１のコネクタの第５の変形例を示す斜視図。 図７のプローブピンの第１の変形例を示す斜視図。 図７のプローブピンの第２の変形例を示す斜視図。 図７のプローブピンの第３の変形例を示す斜視図。 図７のプローブピンの第４の変形例を示す斜視図。 図７のプローブピンの第５の変形例を示す斜視図。 図７のプローブピンの第６の変形例を示す斜視図。 図７のプローブピンの第７の変形例を示す斜視図。 図７のプローブピンの第８の変形例を示す斜視図。 図７のプローブピンの第９の変形例を示す斜視図。 図２５のプローブピンの第１接触ばね部および第２接触ばね部が弾性変形する前の状態を示す平面図。 図２５のプローブピンの第１接触ばね部および第２接触ばね部が弾性変形した後の状態を示す平面図。 本開示の第２実施形態のプローブピンを示す斜視図。 図２８のプローブピンの第１接触ばね部が弾性変形する前の状態を示す平面図。 図２８のプローブピンの第１接触ばね部が弾性変形した後の状態を示す平面図。 図２８のプローブピンの変形例を示す斜視図。 図３１のプローブピンの第１接触ばね部および第２接触ばね部が弾性変形する前の状態を示す平面図。 図３２のプローブピンの第１接触ばね部および第２接触ばね部が弾性変形した後の状態を示す平面図。

以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

（第１実施形態）
本開示の第１実施形態のコネクタ１は、接続対象物の一例の検査装置１００および検査対象２００に接続可能に構成され（図３参照）、図１に示すように、コネクタハウジング１０と、このコネクタハウジング１０に揺動可能に支持されている第１端子接続部２０（コネクタ１のハウジングの一例）とを備えている。コネクタハウジング１０の内部には、図２に示すように、付勢部３０が設けられている。

コネクタハウジング１０は、図１に示すように、一例として、略矩形の箱状で、厚さ方向（すなわち、図１の上下方向）に積み重ねられた上ハウジング１１と下ハウジング１２とで構成されている。このコネクタハウジング１０は、その長手方向（すなわち、第１方向Ｘ）に対向する側面の一方に開口面１３を有し、この開口面１３には、略楕円形状の開口部１４が設けられている。

図３に示すように、コネクタハウジング１０の内部には、基板４０と、検査装置１００に接続可能な第２端子接続部５０が設けられている。基板４０は、その板面における第１方向Ｘの両端部に設けられた接続端子４１（図６に示す）を介して、第１端子接続部２０および第２端子接続部５０に電気的に接続されている。第２端子接続部５０は、基板４０に対して第１方向Ｘにおける第１端子接続部２０の反対側に配置されている。

第１端子接続部２０は、図３に示すように、開口面１３に交差（例えば、直交）する第１方向Ｘの一端部である第１端部２０１がコネクタハウジング１０の内部に位置しかつ第１方向Ｘの他端部である第２端部２０２が検査対象２００を接続可能にコネクタハウジング１０の外部に露出している。なお、検査対象２００は、例えば、ＵＳＢコネクタあるいはＨＤＭＩコネクタを有する電子部品モジュールである。

また、第１端子接続部２０は、図４に示すように、開口部１４内であって開口部１４の縁部との間に隙間１５が基準位置Ｐに配置され、開口面１３上で図４の上下左右の任意の方向に対して揺動可能な状態で、コネクタハウジング１０に支持されている。この実施形態では、隙間１５は、基準位置Ｐにおいて、第１端子接続部２０の第１方向Ｘ（すなわち、図２の紙面貫通方向）まわりの全周に亘って設けられている。

詳しくは、第１端子接続部２０は、図３に示すように、板状のプローブピン６０と、第１方向Ｘに延びて第１方向Ｘに交差（例えば、直交）する第２方向Ｙ（図４に示す）に板面が対向するようにプローブピン６０を収容可能な第１収容部２２が設けられた接続ハウジング２１とを有している。この実施形態では、第１端子接続部２０は、図２に示すように、複数のプローブピン６０を有し、接続ハウジング２１には、第２方向Ｙに沿って間隔を空けて配置された複数対の第１収容部２２が設けられ、各第１収容部２２にプローブピン６０がそれぞれ収容されている。これにより、各対の第１収容部２２は、第１方向Ｘから見て、第１端子接続部２０の第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに交差（例えば、直交）する第３方向Ｚの中心線Ｌ１に対して対称に配置され、相互に電気的独立している。すなわち、各対の第１収容部２２に収容されたプローブピン６０は、後述する第１接触ばね部６１によって検査対象２００を第３方向Ｚから挟持可能であると共に、後述する第２接触ばね部６２によって基板４０を第３方向Ｚから挟持可能に構成されている。

図３に示すように、接続ハウジング２１の第１端部２０１側の端部には、後述する付勢部３０の付勢部材（すなわち、コイルばね３１）を支持する支持部２１１が設けられ、接続ハウジング２１の第２端部２０２側の端部には、第１方向Ｘに開口して第１方向Ｘから検査対象２００を収容可能な凹部２３と、確認用窓２４とが設けられている。凹部２３の内部には、各プローブピン６０の後述する第１接触ばね部６１が配置されている。すなわち、検査対象２００は、第１方向Ｘに沿って第１端子接続部２０に接続される。また、確認用窓２４は、第１収容部２２と接続ハウジング２１の外部とに連通して、各プローブピン６０の第１接触ばね部６１を接続ハウジング２１の外部から確認可能になっている。

また、図５に示すように、第１端子接続部２０は、接続ハウジング２１の外面を覆うと共に、コネクタハウジング１０の内部に配置されるグランド端子２６が設けられた導電性の外殻部２５を有している。この実施形態では、外殻部２５は、鉄等の金属で構成され、各プローブピン６０とは電気的に独立した状態で接続ハウジング２１の外面の第２端部２０２を除いた領域を覆っている。このように構成することで、第１端子接続部２０に検査対象２００等の接続対象物を接続するときに、検査対象２００等の接続対象物が外殻部２５に接触することがなくなり、第１端子接続部２０への接続時における検査対象２００等の接続対象物の損傷を低減できる。また、グランド端子２６は、外殻部２５の第２方向Ｙの両端部のそれぞれに一対ずつ設けられている。

接続ハウジング２１の外面には、図３に示すように、外殻部２５を収容可能な凹部２１２が設けられている。この凹部２１２は、収容された外殻部２５の外面が、接続ハウジング２１の凹部２１２が設けられていない部分（例えば、接続ハウジング２１の第２端部２０２側の端部２１３）の外面に対して、同一平面上に位置するように構成されている。

各対のグランド端子２６は、図６に示すように、第３方向Ｚに対向するように配置され、第３方向Ｚに弾性変形した状態で基板４０接続端子４１に対して接触可能に構成されている。

付勢部３０は、図２に示すように、コネクタハウジング１０の内部に配置されて、コネクタハウジング１０に対して第１端子接続部２０を基準位置Ｐに向かって付勢する。詳しくは、付勢部３０は、複数の付勢部材（この実施形態では、４つのコイルばね３１）で構成され、４つのコイルばね３１が、第１方向Ｘに直交する仮想直線（例えば、第１端子接続部２０の第３方向Ｚの中心線Ｌ１）に対して対称に配置されている。

各コイルばね３１は、接続ハウジング２１の支持部２１１に設けられた略円柱状の凹部２１４と、上ハウジング１１および下ハウジング１２の各々に設けられ相互に接続ハウジング２１の凹部２１４にそれぞれ対向するように配置された略円柱状の凹部１１１、１２１とで構成されるコイルばね収容部１６に収容されている。付勢部材としてコイルばね３１を用いることで、第１端子接続部２０を開口面１３上の任意の方向に加えて、第１方向Ｘに揺動させることができる。

各プローブピン６０は、図７に示すように、板状で、第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２と、第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２の間に第１方向Ｘに沿って直列的に配置された中間部６３および緩衝ばね部６４とを備えている。すなわち、第１接触ばね部６１、中間部６３、緩衝ばね部６４および第２接触ばね部６２は、第１方向Ｘに沿って配列されている。また、各プローブピン６０は、例えば、電鋳法で形成され、第１接触ばね部６１、中間部６３、緩衝ばね部６４および第２接触ばね部６２が、一体に構成されている。

第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２の各々は、第２方向Ｙから見て、蛇行形状を有し、中間部６３に対して第３方向Ｚに弾性変形可能に構成されている。また、第１接触ばね部６１は、相互に隙間６５を空けて配置された複数の弾性片（この実施形態では、一例として、２つの帯状の弾性片６１１、６１２）で構成されている。この第１接触ばね部６１は、一例として、第１方向Ｘの２箇所で屈曲した波形状または蛇行形状を有している。各弾性片６１１、６１２は、第１接触ばね部６１の延在方向（すなわち、第１方向Ｘ）の中間部６３から遠い方の端部において相互に接続されている。すなわち、隙間６５は、各弾性片６１１、６１２および中間部６３で取り囲まれて、第１接触ばね部６１の延在方向の一端から他端まで延びている。第１接触ばね部６１の第１方向Ｘにおいて中間部６３から遠い方の屈曲部近傍には、開口部１４を介して凹部２３に収容された検査対象２００に対して第３方向Ｚから接触可能な接点部６６が設けられている（図３参照）。接点部６６は、コネクタ１に接続された検査対象２００によって第３方向Ｚの力が加えられた状態において（図１４および図１５参照）、第３方向Ｚに加えて、検査対象２００に接触する面積が広がる方向にも弾性変形して、隙間６５が狭くなるように構成されている。すなわち、第１接触ばね部６１は、コネクタ１に接続された検査対象２００によって第３方向Ｚの力が加えられた状態において、第３方向Ｚに加えて、検査対象２００に接触する面積が広がる方向にも弾性変形可能に構成され、また、複数の弾性片６１１、６１２のうちの隣接する弾性片間の隙間６５が狭くなるように構成されている。このように構成することにより、第１接触ばね部６１をより円滑に弾性変形させて、第１接触ばね部６１の耐久性を向上させることができる。また、第１接触ばね部６１がより円滑に弾性変形するので、第１接触ばね部６１の接触による検査対象２００の損傷をより確実に低減できる。なお、この実施形態では、コネクタ１に対して基板４０よりも頻繁に抜き差しされる検査対象２００と接触する第１接触ばね部６１を複数の弾性片６１１、６１２で構成している。

なお、第２接触ばね部６２は、１つの弾性片で構成されている点を除いて、第１接触ばね部６１と同じ構成を有している。すなわち、第２接触ばね部６２は、第１方向Ｘの２箇所で屈曲した波形状または蛇行形状を有し、第１方向Ｘにおいて緩衝ばね部６４から遠い方の屈曲部近傍には、基板４０に対して第３方向Ｚから接触可能な接点部６８が設けられている（図３参照）。

中間部６３は、略矩形状を有し、第１方向Ｘの両端部がそれぞれ第１接触ばね部６１および緩衝ばね部６４に接続されている。この中間部６３の緩衝ばね部６４側の端部には、接続ハウジング２１の第１収容部２２に収容されたときのプローブピン６０の第１方向Ｘでかつ第２接触ばね部６２に向かう方向の移動を規制する第１位置決め部６３１が設けられている。第１位置決め部６３１は、第３方向Ｚにおいて緩衝ばね部６４から離れる方向に延びる平面で構成されている。

緩衝ばね部６４は、中間部６３から第３方向Ｚにおいて突出した略矩形の枠状を有し、第１方向Ｘの両端部がそれぞれ中間部６３および第２接触ばね部６２に接続され、中間部６３に対して第２方向Ｙ（すなわち、板厚方向）に弾性変形可能に構成されている。緩衝ばね部６４の中間部６３側の端部には、接続ハウジング２１の第１収容部２２に収容されたときのプローブピン６０の第１方向Ｘでかつ第１接触ばね部６１に向かう方向の移動を規制する第２位置決め部６４１が設けられている。第２位置決め部６４１は、第３方向Ｚにおいて緩衝ばね部６４から離れる方向でかつ中間部６３の第１位置決め部６３１とは反対方向に延びる平面で構成されている。

また、第２位置決め部６４１の第３方向Ｚにおける中間部６３のから遠い方の端部には、第２位置決め部６４１から第１方向Ｘ沿いを第１接触ばね部６１に向かって延びる突起部６４２が設けられている。この突起部６４２は、図３に示すように、第３方向Ｚにおいて、接続ハウジング２１の支持部２１１に設けられ、コイルばね３１と中間部６３との間に配置された凹部２１５に収容されている。

図３に示すように、第２接触ばね部６２および緩衝ばね部６４の各々は、接続ハウジング２１の外部でかつコネクタハウジング１０の内部に位置している。緩衝ばね部６４は、コネクタハウジング１０の内部に設けられた第２収容部１７に収容され、第２接触ばね部６２は、コネクタハウジング１０の内部に設けられた第３収容部１８に収容されている。

また、図８に示すように、第２方向Ｙにおける中間部６３の板面と第１収容部２２との間の最短距離Ｄ１が、第２方向Ｙにおける緩衝ばね部６４の板面と第２収容部１７との間の最短距離Ｄ２よりも小さくなっている。さらに、各プローブピン６０の板厚Ｗ１が、隣接するプローブピン６０の板面間の最短距離Ｗ２の１／２以下（好ましくは１／３以下）になるように構成されている。なお、図示していないが、第２方向Ｙにおける第２接触ばね部６２の板面と第３収容部１８との間の最短距離は、第２方向Ｙにおける中間部６３の板面と第１収容部２２との間の最短距離Ｄ１と略同一になっている。

前記コネクタ１では、開口部１４が設けられた開口面１３を有するコネクタハウジング１０と、開口部１４内であって開口部１４の縁部との間に隙間１５が設けられる基準位置Ｐに配置され、開口面１３上で揺動可能な状態でコネクタハウジング１０に支持されている第１端子接続部２０と、第１端子接続部２０を基準位置Ｐに向かって付勢する付勢部３０とを備えている。このような構成により、検査対象２００が第１端子接続部２０への接続方向（すなわち、第１方向Ｘ）に対して交差する方向から接続された場合であっても、付勢部３０の付勢力に抗して第１端子接続部２０が基準位置Ｐから一旦ずれたのち付勢部３０の付勢力で第１端子接続部２０を基準位置Ｐに戻すことができる。よって、第１端子接続部２０を検査対象２００に対してセルフアライメントさせることができるので、検査対象２００等の接続対象物を損傷させることなく接続可能なコネクタ１を実現できる。

また、第１端子接続部２０が、その外面を覆うと共に、コネクタハウジング１０の内部に配置されたグランド端子２６が設けられた導電性の外殻部２５を有している。この外殻部２５により、コネクタを流れる高周波領域の信号の損失を低減できる。

また、コネクタハウジング１０の内部に、第１端子接続部２０に対して電気的に接続された基板４０が設けられており、グランド端子２６が、弾性変形した状態で基板４０の接続端子４１に接触可能に構成されている。このような構成により、グランド端子２６の基板４０の接続端子４１に対する接圧を高めて、グランド端子２６と接続端子４１との間の接触信頼性を高めることができる。

また、付勢部３０が、複数の付勢部材（例えば、コイルばね３１）で構成されており、複数の付勢部材が、第１方向Ｘに直交する仮想直線Ｌ１に対して対称に配置されている。このような構成により、第１端子接続部２０に対する付勢力のばらつきを低減して、より確実に第１端子接続部２０を設計通りに揺動させることができる。その結果、第１端子接続部２０を検査対象２００等の接続対象物に対してより確実にセルフアライメントさせることができる。

また、第１端子接続部２０が、板状のプローブピン６０と、第１方向Ｘに延びて第２方向Ｙで板面が対向するようにプローブピン６０を収容可能な第１収容部２２が設けられた接続ハウジング２１とを有し、プローブピン６０は、第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２と、第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２の間に第１方向Ｘに沿って直列的に配置された中間部６３および緩衝ばね部６４とを備えている。第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２は、中間部６３に対して第３方向Ｚに弾性変形可能に構成され、中間部６３は、第１方向Ｘの両端部がそれぞれ第１接触ばね部６１および緩衝ばね部６４に接続され、緩衝ばね部６４は、第１方向Ｘの両端部がそれぞれ中間部６３および第２接触ばね部６２に接続されていると共に、中間部６３に対して第２方向Ｙに弾性変形可能に構成されている。第２接触ばね部６２および緩衝ばね部６４は、接続ハウジング２１の外部でかつコネクタハウジング１０の内部に位置し、コネクタハウジング１０には、第１方向Ｘに延びて緩衝ばね部６４を収容可能な第２収容部１７が設けられている。そして、第２方向Ｙにおける中間部６３の板面と第１収容部２２との間の最短距離Ｄ１が、第２方向Ｙにおける緩衝ばね部６４の板面と第２収容部１７との間の最短距離Ｄ２よりも小さい。このような構成により、検査対象２００が接触方向（すなわち、第１方向Ｘ）に交差する方向から第１端子接続部２０に接続されて、プローブピン６０に予定している接触方向に交差する方向（例えば、第２方向Ｙ）の応力が加えられたとしても、緩衝ばね部６４によりその応力を分散させて、プローブピン６０の損傷を低減できる。すなわち、検査対象２００等の接続対象物が接触方向に交差する方向から第１端子接続部２０に接続された場合であっても、損傷し難いプローブピン６０を実現できる。

また、接続ハウジング２１が、第１収容部２２と接続ハウジング２１の外部とに連通すると共に、第１接触ばね部６１を接続ハウジング２１の外部から確認可能な確認用窓２４を有している。この確認用窓２４により、第１収容部２２に収容されたプローブピン６０の第１接触ばね部６１の収容状態を容易に確認できる。

また、第１端子接続部２０が、複数のプローブピン６０と、第２方向Ｙに間隔を空けて配置され、各プローブピン６０がそれぞれ収容された複数の第１収容部２２とを有し、各プローブピン６０の板厚Ｗ１が、隣接するプローブピン６０の板面間の最短距離Ｗ２の１／２以下である。このような構成により、各プローブピン６０の絶縁性を確実に確保することができる。

また、前記プローブピン６０が、第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２の間に設けられ、第１収容部２２に収容されたときの第１端子接続部２０に対する第１方向Ｘの位置を決める位置決め部６３１、６４１をさらに備えている。この位置決め部６３１、６４１により、プローブピン６０の第１収容部２２からの脱落を低減できる。

また、位置決め部が、中間部６３の第３方向Ｚの一方側に設けられ、第１方向Ｘの一方側（例えば、第２接触ばね部６２に向かう方向）への移動を規制する第１位置決め部６３１と、緩衝ばね部６４の第３方向Ｚの他方側に設けられ、第１方向Ｘの他方側（例えば、第１接触ばね部６１に向かう方向）への移動を規制する第２位置決め部６４１とを有している。このような構成により、プローブピン６０の第１収容部２２からの脱落をより低減できる。

なお、前記コネクタ１では、コネクタハウジング１０が、第３方向Ｚに積層された上ハウジング１１および下ハウジング１２で構成されているが、これに限らない。例えば、図９に示すように、第２方向Ｙに積層された左ハウジング７１および右ハウジング７２で構成してもよい。この場合、図１０に示すように、付勢部３０の４つのコイルばね３１は、第１方向Ｘ（すなわち、図１０の紙面貫通方向）から見て、第１端子接続部２０の第２方向Ｙの中心線Ｌ２に対して対称に配置することができる。

また、第１収容部２２に収容されたプローブピン６０の中間部６３の板面と第１収容部２２との間の最短距離Ｄ１が、このプローブピン６０の緩衝ばね部６４の板面と第２収容部１７との間の最短距離Ｄ２よりも小さくなるように構成されているが、これに限らず、例えば、最短距離Ｄ１と最短距離Ｄ２とが同じになるように構成してもよい。

外殻部２５は、接続ハウジング２１の一部を覆うように構成されている場合に限らず、例えば、図９に示すように、接続ハウジング２１の全体を覆うように構成してもよいし、高周波領域の信号の損失をあまり考慮する必要がない場合には、省略することもできる。

グランド端子２６は、弾性変形した状態で基板４０の接続端子４１に接触するように構成されている場合に限らず、弾性変形していない状態で基板４０の接続端子４１に接触するように構成してもよい。この場合、例えば、グランド端子２６は、基板４０の接続端子４１に半田付け等により接続して、接触信頼性を高めるようにしてもよい。

付勢部３０は、４つのコイルばね３１で構成されている場合に限らず、例えば、１～３のコイルばね３１で構成してもよいし、５以上のコイルばね３１で構成してもよい。また、付勢部３０は、複数のコイルばね３１を第３方向Ｚの上下に配置する場合に限らず、複数のコイルばね３１を第３方向Ｚの上下に加えて、第２方向Ｙの左右の一方または両方に配置してもよい。

付勢部材は、コイルばね３１に限らず、例えば、図１２に示すように、板ばね３２で構成してもよい。図１２では、第３方向Ｚの上下に板ばね３２をそれぞれ２つずつ配置し（図１２には、３つの板ばね３２のみ示す）、第２方向Ｙの左右の両方に板ばね３２をそれぞれ２つずつ配置している。

端子接続部は、コネクタ１の設計等に応じて、その構成を適宜変更できる。

例えば、第１端子接続部２０のプローブピンは、前記プローブピン６０に限らず、他の構成のプローブピンを用いることもできる。例えば、第１端子接続部２０のプローブピンとして、電鋳法以外の方法で形成されたプローブピンを用いることもできるし、位置決め部６３１、６４１を設けていないプローブピンを用いることもできる。

また、接続ハウジング２１は、第２方向Ｙに沿って間隔を空けて配置された複数対の第１収容部２２を有する場合に限らず、例えば、図１３に示すように、第３方向Ｚの中心線Ｌ１に対する一方側（図１３では、第３方向Ｚの中心線Ｌ１の上ハウジング１１側）のみに、複数の第１収容部２２を設けてもよい。この場合、外殻部２５のグランド端子２６も、第３方向Ｚの中心線Ｌ１の一方側のみに設ければよい。

また、第１端子接続部２０の複数のプローブピン６０は、図５に示すように、第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２の先端部が、第２方向Ｙに沿って一直線に並ぶように配置されている（図５では、第２接触ばね部６２のみ示す）が、これに限らない。例えば、第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２の先端部が交互に第１方向Ｘにずれた千鳥状に、複数のプローブピン６０を配置してもよい。

また、図１６に示すように、確認用窓２４を省略してもよい。

また、各プローブピン６０の板厚Ｗ１が、隣接するプローブピン６０の板面間の最短距離Ｗ２の１／２以下（好ましくは１／３以下）になるように構成されている場合に限らず、各プローブピン６０の板厚Ｗ１が、隣接するプローブピン６０の板面間の最短距離Ｗ２の１／２よりも大きくなるように構成することもできる。

プローブピン６０は、第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２と、第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２の間に直列的に配置された中間部６３および緩衝ばね部６４とを備え、緩衝ばね部６４が中間部６３に対して第２方向Ｙに弾性変形可能であり、第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２の各々が中間部６３に対して第３方向Ｚに弾性変形可能であれば、任意の構成を採用できる。

例えば、図１７に示すように、第１接触ばね部６１を１つの弾性片で構成し、第２接触ばね部６２を複数の弾性片で構成することができる。図１７のプローブピン６０では、第２接触ばね部６２は、相互に隙間６７を空けて配置された２つの弾性片６２１、６２２で構成されている。

また、図１８に示すように、第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２の各々を複数の弾性片で構成することができる。図１８のプローブピン６０では、第１接触ばね部６１は、相互に隙間６５を空けて配置された３つの弾性片６１１、６１２、６１３で構成され、第２接触ばね部６２は、相互に隙間６７を空けて配置された３つの弾性片６２１、６２２、６２３で構成されている。

緩衝ばね部６４は、枠状に限らず、中間部６３に対して第２方向Ｙに弾性変形可能であれば、任意の構成を採用できる。例えば、緩衝ばね部６４は、図１９に示すように、中間部６３に接続された第１接続部６４３と、第２接触ばね部６２に接続された第２接続部６４４と、第１接続部６４３および第２接続部６４４に接続されて第１方向Ｘに延びる波状または蛇行形状の第３接続部６４５とで構成することができる。第３接続部６４５は、図２０に示すように、第１方向Ｘに延びる棒状であってもよい。

また、緩衝ばね部６４は、図２１および図２２に示すように、第２方向Ｙに緩衝ばね部６４を貫通する貫通孔６４６を仕切るリブ６４７を有することができる。図２１のプローブピン６０では、貫通孔６４６を第３方向Ｚに２つに仕切る１つのリブ６４７が設けられている。図２２のプローブピン６０では、貫通孔６４６を第１方向Ｘに３つに仕切る２つのリブ６４７が設けられている。

緩衝ばね部６４の突起部６４２は、図２３に示すように、省略することができる。また、図２４に示すように、突起部６４２の第３方向Ｚの両側に、圧入用の突起６４８を設けることもできる。各突起６４８は、第１方向Ｘにおいて中間部６３から第２接触ばね部６２に向かうに従って、第３方向Ｚにおいて相互に離れる方向に突出している。

図２５に示すように、緩衝ばね部６４の第１方向Ｘにおける第２接触ばね部６２側の端部に、突出部６４９を設けることもできる。この突出部６４９は、緩衝ばね部６４の第１方向Ｘの第２接触ばね部６２が接続されている側面における第３方向Ｚの一端に配置されている。また、突出部６４９は、その先端が、コネクタハウジング１０に収容された状態で、コネクタハウジング１０の内面に接触可能に構成されている。なお、突出部６４９が設けられている緩衝ばね部６４の側面における第３方向Ｚの他端には、第２接触ばね部６２が接続されている。また、図２５のプローブピン６０では、第１接触ばね部６１の第１方向Ｘにおける中間部６３から遠い方の先端６１４において、２つの弾性片６１１、６１２が一体化されている。

図２６および図２７に示すように、図２５のプローブピン６０では、第１接触ばね部６１の接点部６６が、コネクタ１に接続された検査対象２００によって第３方向Ｚの力が加えられた状態において、第３方向Ｚに加えて、検査対象２００に接触する面積が広がる方向にも弾性変形して、隙間６５が狭くなるように構成されている。また、第２接触ばね部６２の接点部６８が、基板４０によって第３方向Ｚの力が加えられた状態において、第３方向Ｚに加えて、基板４０に接触する面積が広がる方向にも弾性変形して、隙間６７が狭くなるように構成されている。

第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２の各々は、第１方向Ｘの２箇所で屈曲した波形状または蛇行形状を有している場合に限らず、例えば、第１方向Ｘの１箇所で屈曲した略Ｌ字状または略Ｊ字状であってもよい。

（第２実施形態）
本開示の第２実施形態のプローブピン６０は、図２８に示すように、緩衝ばね部６４を備えていない点で、第１実施形態のプローブピン６０とは異なっている。なお、第２実施形態では、第１実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。

図２８に示すように、第２実施形態のプローブピン６０では、中間部６３が、中間部本体１６３と補助中間部１６４とで構成されている。中間部本体１６３は、図７のプローブピン６０の中間部６３と同じ形状および構成を有している。補助中間部１６４は、貫通孔６４６が設けられていない点を除いて、図７のプローブピン６０の緩衝ばね部６４と同じ形状および構成を有している。すなわち、補助中間部１６４は、緩衝ばね部６４よりも剛性が高く、緩衝ばね部６４と比較して中間部本体１６３に対して第２方向Ｙに弾性変形しないように構成されている。

図２９および図３０に示すように、図２８のプローブピン６０も図７のプローブピン６０と同様に、第１接触ばね部６１の接点部６６が、コネクタ１に接続された検査対象２００によって第３方向Ｚの力が加えられた状態において、第３方向Ｚに加えて、検査対象２００に接触する面積が広がる方向にも弾性変形して、隙間６５が狭くなるように構成されている。

第２実施形態のプローブピン６０も第１実施形態のプローブピン６０と同様に、第１接触ばね部６１が検査対象２００に接触可能な状態で、コネクタ１に配置可能に構成されている（図３参照）。このように、第１接触ばね部６１が検査対象２００に接触可能な状態で、プローブピン６０がコネクタ１に配置されて、導通検査あるいは動作特性検査等が行われる。このような検査において、検査対象２００のコネクタ１に対する接続および接続解除の繰り返し頻度は、検査装置１００、および、検査装置１００に接続可能な第２端子接続部５０に電気的に接続される基板４０よりも高くなる（すなわち、検査装置１００および基板４０は、第１接続対象物の一例であり、検査対象２００は、第２接続対象物の一例である）。

ところで、検査用のプローブピンは、一般に、頻繁に接続対象物に対する接続および接続解除が繰り返されるため、耐久性が要求される。耐久性を確保するために、ニッケル合金あるいはチタン合金などの硬度の高い材料でプローブピンを形成すると、接続対象物を損傷してしまうおそれがある。逆に、ベリリウム鋼あるいはリン青銅などの硬度の低い材料でプローブピンを形成すると、プローブピンが充分な耐久性を備えることができなくなり、接続対象物に対する接続および接続解除の繰り返しによる摺動の摩耗により接点部が劣化する場合がある。

第２実施形態のプローブピン６０によれば、第１接触ばね部６１をより円滑に弾性変形させて、第１接触ばね部６１の耐久性を向上させつつ、第１接触ばね部６１の接触による接続対象物の損傷をより確実に低減できる。すなわち、プローブピン６０が配置されたコネクタ１の寿命を延ばすことができる。

なお、ニッケル合金あるいはチタン合金などの硬度の高い材料でプローブピン６０を形成しつつ、第１接触ばね部６１の板厚を薄くすることで、検査対象２００と接触する接点部６６をよりしなやかに変位させて、第１接触ばね部６１をさらに円滑に弾性変形させることができる。また、第１接触ばね部６１の各弾性片６１１、６１２の先端を相互に接続して、隙間６５を各弾性片６１１、６１２および中間部６３で取り囲むことで、第１接触ばね部６１の強度が高まり、第１接触ばね部６１の耐久性をさらに高めることができる。さらに、第１接触ばね部６１を複数の弾性片６１１、６１２で構成しているので、検査対象２００との接触部分から中間部６３に至る電気的な経路が複数形成され、プローブピン６０の電気抵抗を低減できる。

図２８に示すプローブピン６０では、第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２の各々が、第１方向Ｘに沿って延びているが、この場合に限らない。例えば、第２接触ばね部６２が、第２方向Ｙに沿って延びるように配置されていてもよい。なお、第２接触ばね部６２は、その延在方向と第２方向Ｙとに交差する方向に弾性変形可能に構成されていればよい。

また、図３１に示すように、図２８のプローブピン６０において、第２接触ばね部６２を複数の弾性片で構成することもできる。図３１のプローブピン６０では、第２接触ばね部６２を２つの弾性片６２１、６２２で構成している。

図３２および図３３に示すように、図３１のプローブピン６０も図２５のプローブピン６０と同様に、第１接触ばね部６１の接点部６６が、コネクタ１に接続された検査対象２００によって第３方向Ｚの力が加えられた状態において、第３方向Ｚに加えて、検査対象２００に接触する面積が広がる方向にも弾性変形して、隙間６５が狭くなるように構成されている。また、第２接触ばね部６２の接点部６８が、基板４０によって第３方向Ｚの力が加えられた状態において、第３方向に加えて、基板４０に接触する面積が広がる方向にも弾性変形して、隙間６７が狭くなるように構成されている。

以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。

本開示の第１態様のプローブピン６０は、
接続対象物１００，２００に接続可能なコネクタ１に配置可能なプローブピン６０であって、
第１接触ばね部６１および第２接触ばね部６２と、
前記第１接触ばね部６１および前記第２接触ばね部６２の間に直列的に配置された中間部６３および緩衝ばね部６４と
を備え、
前記中間部６３は、前記中間部６３に対して前記第１接触ばね部６１、前記中間部６３、前記緩衝ばね部６４および前記第２接触ばね部６２の配列方向である第１方向Ｘの両端部がそれぞれ前記第１接触ばね部６１および前記緩衝ばね部６４に接続され、
前記緩衝ばね部６４は、前記第１方向Ｘの両端部がそれぞれ前記中間部６３および前記第２接触ばね部６２に接続されていると共に、前記第１方向Ｘに交差する第２方向Ｙに弾性変形可能に構成され、
前記第１接触ばね部６１および前記第２接触ばね部６２は、前記中間部６３に対して前記第１方向Ｘおよび前記第２方向Ｙに交差する第３方向Ｚに弾性変形可能に構成されている。

第１態様のプローブピン６０によれば、予定している接触方向に交差する方向の応力が加えられたとしても、緩衝ばね部６４によりその応力を分散させて、プローブピン６０の損傷を低減できる。その結果、損傷し難いプローブピン６０を実現できる。

本開示の第２態様のプローブピン６０は、
前記第１接触ばね部６１および前記第２接触ばね部６２の間に設けられ、前記コネクタ１のハウジング２０に収容されたときの前記ハウジング２０に対する前記第１方向Ｘの位置を決める位置決め部６３１、６４１をさらに備える。

第２態様のプローブピン６０によれば、位置決め部６３１、６４１により、プローブピン６０の第１収容部２２からの脱落を低減できる。

本開示の第３態様のプローブピン６０は、
前記位置決め部が、
前記中間部６３の前記第３方向Ｚの一方側に設けられ、前記第１方向Ｘの一方側への移動を規制する第１位置決め部６３１と、
前記緩衝ばね部６４の前記第３方向Ｚの他方側に設けられ、前記第１方向Ｘの他方側への移動を規制する第２位置決め部６４１と
を有している。

第３態様のプローブピン６０によれば、プローブピン６０の第１収容部２２からの脱落をより低減できる。

本開示の第４態様のプローブピン６０は、
前記第１接触ばね部６１および前記第２接触ばね部６２の少なくとも一方が、相互に隙間６５を空けて配置された複数の弾性片６１１、６１２で構成されている。

本開示の第５態様のプローブピン６０は、
前記第１接触ばね部６１が、接続された前記接続対象物２００の接触によって前記第３方向Ｚの力が加えられた状態において、前記接続対象物２００に接触する面積が広がる方向にも弾性変形可能に構成されている。

本開示の第６態様のプローブピン６０は、
前記第１接触ばね部６１が、接続された前記接続対象物２００の接触によって前記第３方向Ｚの力が加えられた状態において、前記複数の弾性片６１１、６１２のうちの隣接する弾性片間の前記隙間６５が狭くなるように構成されている。

第４～第６態様のプローブピン６０によれば、第１接触ばね部６１をより円滑に弾性変形させて、第１接触ばね部６１の耐久性を向上させつつ、第１接触ばね部６１の接触による接続対象物の損傷をより確実に低減することができる。

本開示の第７態様のプローブピン６０は、
接続対象物１００、２００に接続可能なコネクタ１に配置可能なプローブピン６０であって、
第１方向Ｘに沿って延びる板状の第１接触ばね部６１と、
板状の第２接触ばね部６２と、
前記第１接触ばね部６１および前記第２接触ばね部６２の間に配置された中間部６３と
を備え、
前記第１接触ばね部６１は、前記第１方向Ｘと、前記第１接触ばね部６１および前記第２接触ばね部６２の各々の板厚方向である第２方向Ｙとに交差する第３方向Ｚに弾性変形可能であると共に、相互に隙間６５を空けて配置された複数の弾性片６１１、６１２で構成され、
前記第２接触ばね部６２は、前記第２接触ばね部の延在方向と前記第２方向とに交差する方向Ｚに弾性変形可能に構成され、
前記複数の弾性片６１１、６１２の各々は、前記第１方向における前記中間部から遠い方の端部が相互に接続されている。

第７態様のプローブピン６０によれば、第１接触ばね部６１をより円滑に弾性変形させて、第１接触ばね部６１の耐久性を向上させつつ、第１接触ばね部６１の接触による接続対象物の損傷をより確実に低減できる。

本開示の第８態様のプローブピン６０は、
前記接続対象物１００、２００として、第１接続対象物１００と、前記第１接続対象物１００よりも前記コネクタ１に対する接続および接続解除の繰り返し頻度が高い第２接続対象物２００とが含まれ、
前記第１接触ばね部６１が前記第２接続対象物２００に接触可能な状態で、前記コネクタ１に配置可能に構成されている。

第８態様のプローブピン６０によれば、コネクタ１に対してより頻繁に接続および接続解除される第２接続対象物２００に、第１接触ばね部６１が接触可能に構成されているので、配置したコネクタ１の寿命を延ばすことができる。

本開示の第９態様のプローブピン６０は、
前記第１接触ばね部６１が、接続された前記接続対象物２００の接触によって前記第３方向Ｚの力が加えられた状態において、前記複数の弾性片６１１、６１２のうちの隣接する弾性片間の前記隙間６５が狭くなるように構成されている。

本開示の第１０態様のプローブピン６０は、
前記第１接触ばね部６１が、接続された前記接続対象物２００の接触によって前記第３方向Ｚの力が加えられた状態において、前記接続対象物２００に接触する面積が広がる方向にも弾性変形可能に構成されている。

第９態様および第１０態様のプローブピン６０によれば、第１接触ばね部６１をより円滑に弾性変形させて、第１接触ばね部６１の耐久性を向上させつつ、第１接触ばね部６１の接触による接続対象物の損傷をより確実に低減することができる。

本開示の第１１態様の検査方法は、
接続対象物１００、２００に接続可能なコネクタ１に配置可能なプローブピン６０であって、
第１方向Ｘに沿って延びる板状の第１接触ばね部６１と、
板状の第２接触ばね部６２と、
前記第１接触ばね部６１および前記第２接触ばね部６２の間に配置された中間部６３と
を備え、
前記第１接触ばね部６１は、前記第１方向Ｘと、前記第１接触ばね部６１および前記第２接触ばね部６２の各々の板厚方向である第２方向Ｙとに交差する第３方向Ｚに弾性変形可能であると共に、相互に隙間６５を空けて配置された複数の弾性片６１１、６１２で構成され、
前記第２接触ばね部６２は、前記第２接触ばね部６２の延在方向と前記第２方向Ｙとに交差する方向に弾性変形可能に構成され、
前記複数の弾性片６１１、６１２の各々は、前記第１方向Ｘにおける前記中間部６３から遠い方の端部が相互に接続されている、プローブピン６０を用いた検査方法であって、
前記接続対象物１００，２００として、第１接続対象物１００と、前記第１接続対象物１００よりも前記コネクタ１に対する接続および接続解除の繰り返し頻度が高い第２接続対象物２００とが含まれ、
前記第１接触ばね部６１が前記第２接続対象物２００に接触可能な状態で、前記プローブピン６０が前記コネクタ１に配置される。

第１１態様の検査方法によれば、コネクタ１に対する接続および接続解除の繰り返し頻度が高い第２接続対象物２００に対して、耐久性の高い第１接触ばね部６１が接触するように、プローブピン６０がコネクタ１に配置される。このような構成により、コネクタ１の寿命を延ばすことができる。

なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

本開示のプローブピンは、例えば、ＵＳＢデバイスあるいはＨＤＭＩデバイスの検査に用いるコネクタに適用できる。

１ コネクタ
１０ コネクタハウジング
１１ 上ハウジング
１１１ 凹部
１２ 下ハウジング
１２１ 凹部
１３ 開口面
１４ 開口部
１５ 隙間
１６ コイルばね収容部
１７ 第２収容部
１８ 第３収容部
２０ 第１端子接続部
２０１ 第１端部
２０２ 第２端部
２１ 接続ハウジング
２１１ 支持部
２１２ 凹部
２１３ 端部
２１４、２１５ 凹部
２２ 第１収容部
２３ 凹部
２４ 確認用窓
２５ 外殻部
２６ グランド端子
３０ 付勢部
３１ コイルばね
３２ 板ばね
４０ 基板
５０ 第２端子接続部
６０ プローブピン
６１ 第１接触ばね部
６１１、６１２、６１３ 弾性片
６１４
６２ 第２接触ばね部
６２１、６２２、６２３ 弾性片
６３ 中間部
１６３ 中間部本体
１６４ 補助中間部
６３１ 第１位置決め部
６４ 緩衝ばね部
６４１ 第２位置決め部
６４２ 突起部
６４３ 第１接続部
６４４ 第２接続部
６４５ 第３接続部
６４６ 貫通孔
６４７ リブ
６４８ 突起
６４９ 突出部
６５、６７ 隙間
６６、６８ 接点部
７１ 左ハウジング
７２ 右ハウジング
１００ 検査装置
２００ 検査対象
Ｌ１、Ｌ２ 中心線
Ｐ 基準位置
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向
Ｚ 第３方向
Ｄ１、Ｄ２ 最短距離
Ｗ１ 板厚
Ｗ２ 最短距離

Claims (9)

1. 接続対象物に接続可能なコネクタに配置可能なプローブピンであって、
   第１接触ばね部および第２接触ばね部と、
   前記第１接触ばね部および前記第２接触ばね部の間に直列的に配置された中間部および緩衝ばね部と
   を備え、
   前記中間部は、前記中間部に対して前記第１接触ばね部、前記中間部、前記緩衝ばね部および前記第２接触ばね部の配列方向である第１方向の両端部がそれぞれ前記第１接触ばね部および前記緩衝ばね部に接続され、
   前記緩衝ばね部は、前記第１方向の両端部がそれぞれ前記中間部および前記第２接触ばね部に接続されていると共に、前記第１方向に交差する第２方向に弾性変形可能に構成され、
   前記第１接触ばね部および前記第２接触ばね部は、前記中間部に対して前記第１方向および前記第２方向に交差する第３方向に弾性変形可能に構成され、
   前記第１接触ばね部および前記第２接触ばね部の間に設けられ、前記コネクタのハウジングに収容されたときの前記ハウジングに対する前記第１方向の位置を決める位置決め部を備え、
   前記位置決め部が、
   前記中間部の前記第１方向において前記緩衝ばねに近い端部に設けられ、前記第１方向でかつ前記第１接触ばね部から前記第２接触ばね部に向かう方向への前記プローブピンの移動のみを規制する第１位置決め部と、
   前記緩衝ばね部の前記第１方向において前記中間部に近い端部に設けられ、前記第１方向でかつ前記第２接触ばね部から前記第１接触ばね部に向かう方向への前記プローブピンの移動のみを規制する第２位置決め部と
   を有している、プローブピン。
2. 前記ハウジングに収容された場合において、前記第１位置決め部は、前記ハウジングの内部に設けられた基板に前記第２接触ばね部と共に接触して、前記第１方向でかつ前記第１接触ばね部から前記第２接触ばね部に向かう方向への前記プローブピンの移動のみを規制する、請求項１のプローブピン。
3. 前記第１位置決め部および前記第２位置決め部の各々が、前記第３方向に延びる平面で構成されている、請求項１または２のプローブピン。
4. 前記第１位置決め部および前記第２位置決め部が、前記プローブピンを前記第１方向に沿って見た場合に、重なることなく離れて配置されている、請求項１から３のいずれか１つのプローブピン。
5. 前記第１位置決め部は、前記第１方向において前記第２位置決め部よりも前記第１接触ばね部の近くに配置されている、請求項４のプローブピン。
6. 前記第１接触ばね部および前記第２接触ばね部の少なくとも一方が、相互に隙間を空けて配置された複数の弾性片で構成されている、請求項１から５のいずれか１つのプローブピン。
7. 前記第１接触ばね部が、接続された前記接続対象物の接触によって前記第３方向の力が加えられた状態において、前記接続対象物に接触する面積が広がるように構成されている、請求項６のプローブピン。
8. 前記第１接触ばね部が、接続された前記接続対象物の接触によって前記第３方向の力が加えられた状態において、前記複数の弾性片のうちの隣接する弾性片間の前記隙間が狭くなるように構成されている、請求項６または７のプローブピン。
9. 接続対象物に接続可能なコネクタに配置可能なプローブピンであって、
   第１接触ばね部および第２接触ばね部と、
   前記第１接触ばね部および前記第２接触ばね部の間に直列的に配置された中間部および緩衝ばね部と
   を備え、
   前記中間部は、前記中間部に対して前記第１接触ばね部、前記中間部、前記緩衝ばね部および前記第２接触ばね部の配列方向である第１方向の両端部がそれぞれ前記第１接触ばね部および前記緩衝ばね部に接続され、
   前記緩衝ばね部は、前記第１方向の両端部がそれぞれ前記中間部および前記第２接触ばね部に接続されていると共に、前記第１方向に交差する第２方向に弾性変形可能に構成され、
   前記第１接触ばね部および前記第２接触ばね部は、前記中間部に対して前記第１方向および前記第２方向に交差する第３方向に弾性変形可能に構成され、
   前記第１接触ばね部および前記第２接触ばね部の間に設けられ、前記コネクタのハウジングに収容されたときの前記ハウジングに対する前記第１方向の位置を決める位置決め部を備え、
   前記位置決め部が、
   前記中間部の前記第１方向において前記緩衝ばねに近い端部に設けられ、前記第１方向でかつ前記第１接触ばね部から前記第２接触ばね部に向かう方向への前記プローブピンの移動のみを規制する第１位置決め部と、
   前記緩衝ばね部の前記第１方向において前記中間部に近い端部に設けられ、前記第１方向でかつ前記第２接触ばね部から前記第１接触ばね部に向かう方向への前記プローブピンの移動のみを規制する第２位置決め部と
   を有している、プローブピンを用いた検査方法であって、
   前記コネクタが、コネクタハウジングと、前記コネクタハウジングに支持されていると共に前記プローブピンを有する前記ハウジングである第１端子接続部と、前記コネクタハウジングの内部に設けられ前記第１端子接続部と電気的に接続された第２端子接続部と、前記コネクタハウジングの内部に設けられ前記第２端子接続部と電気的に接続されていると共に前記第２接触ばね部が接触する基板とを含み、
   前記接続対象物として、前記第２端子接続部に接続可能な第１接続対象物と、前記プローブピンの前記第１接触ばね部に接触可能な状態で前記第１端子接続部に接続可能な第２接続対象物とが含まれ、
   前記第１位置決め部が、前記基板によって、前記第１方向でかつ前記第１接触ばね部から前記第２接触ばね部に向かう方向への前記プローブピンの移動のみを規制し、
   前記第２位置決め部が、前記第１端子接続部によって、前記第１方向でかつ前記第２接触ばね部から前記第１接触ばね部に向かう方向への前記プローブピンの移動のみを規制するように前記第１端子接続部に収容されており、
   前記第２端子接続部に前記第１接続対象物を接続させ、
   前記第１端子接続部に前記第２接続対象物を接続させ、前記第１接触ばね部を前記第２接続対象物に接触させる、検査方法。

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