CN115015602A - 探针、检查工具及检查工具单元 - Google Patents

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CN115015602A CN202210141040.2A CN202210141040A CN115015602A CN 115015602 A CN115015602 A CN 115015602A CN 202210141040 A CN202210141040 A CN 202210141040A CN 115015602 A CN115015602 A CN 115015602A
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笹野直哉
寺西宏真
酒井贵浩
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Abstract

提供探针、检查工具以及检查工具单元，能够抑制弹性部伸缩时的相邻的直线部间的干涉。探针具备弹性部、配置于弹性部的一端的第一接触部以及配置于弹性部的另一端的第二接触部。弹性部具有第一弹性片和第二弹性片、以及设置在第一弹性片和第二弹性片之间的贯通孔。第一弹性片和第二弹性片分别具有多个直线部和与相邻的直线部各自的两端中的任一方连接的弯曲部。最接近第一接触部配置的第一直线部在第二方向的一端侧连接于第一接触部，最接近第二接触部配置的第二直线部在与第一接触部相同的一侧连接于第二接触部。第一弹性片的弯曲部和第二弹性片的弯曲部中的、离弹性部的中心线远的外侧弯曲部的中间部具有比与外侧弯曲部连接的直线部的宽度大的宽度。

Description

探针、检查工具及检查工具单元
技术领域
本公开涉及探针、检查工具以及检查工具单元。
背景技术
在照相机或者液晶面板等电子部件模块中，通常在其制造工序中进行导通检查以及动作特性检查等。使用探针将用于与设置于电子部件模块的主体基板连接的端子和检查装置的端子连接，由此进行这些检查。
作为这样的探针，有专利文献1所记载的探针。专利文献1的探针具备：弹性部，其设置有贯通孔；第一接触部，其配置于弹性部的长度方向的一端；以及第二接触部，其配置于弹性部的长度方向的另一端。所述探针的弹性部具有直线部和弯曲部交替地连续的蜿蜒形状。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2017-223628号公报
所述探针在抑制弹性部伸缩时的相邻的直线部之间的干涉这方面存在改善的余地。
发明内容
本公开的目的在于，提供一种能够抑制弹性部伸缩时的相邻的直线部之间的干涉的探针。
本公开的一个方式的探针具有：
弹性部，其沿着第一方向伸缩，
第一接触部，其配置于所述弹性部的所述第一方向的一端；以及
第二接触部，其配置于所述弹性部的所述第一方向的另一端，
所述弹性部具有：
第一弹性片和第二弹性片；以及
设置在所述第一弹性片与所述第二弹性片之间的贯通孔，
所述第一弹性片和所述第二弹性片分别具有：
沿着与所述第一方向交叉的第二方向延伸的多个直线部；以及
与相邻的所述直线部各自的所述第二方向的两端中的任一方连接的弯曲部，
所述直线部和所述弯曲部沿着所述第一方向交替配置，
在所述第一方向上最接近所述第一接触部配置的所述直线部即第一直线部在所述第二方向的一端侧连接于所述第一接触部，
在所述第一方向上最接近所述第二接触部配置的所述直线部即第二直线部在所述第二方向上的与所述第一接触部相同的一侧连接于所述第二接触部，
所述第一弹性片的所述弯曲部和所述第二弹性片的所述弯曲部中的、在所述第二方向上离通过所述弹性部的所述第二方向的中心的中心线远的外侧弯曲部的中间部具有比与所述外侧弯曲部连接的所述直线部的宽度大的宽度。
本公开的一个方式的检查工具具有：
上述方式的探针；以及
壳体，其在内部具有收纳部，所述收纳部以所述第一接触部的一部分以及所述第二接触部的一部分露出于外部的状态收纳所述探针，
所述探针具有连接部，所述连接部连接所述第一接触部和所述第一直线部，
所述探针以所述第一直线部和所述连接部在所述第一方向上与构成所述收纳部的所述壳体的内表面接触的状态收纳于所述收纳部。
本公开的一个方式的检查工具单元具备多个上述方式的检查工具。
发明效果
根据上述探针，能够实现如下探针：能够抑制弹性部伸缩时的相邻的直线部之间的干涉。
根据所述检查工具，能够实现如下检查工具：能够抑制所述探针伸缩时的弹性部的相邻的直线部之间的干涉。
根据所述检查工具单元，借助所述检查工具，能够实现如下检查工具单元：能够抑制探针伸缩时的弹性部的相邻的直线部之间的干涉。
附图说明
图1是表示本公开的一实施方式的检查工具的立体图。
图2是沿着图1的II-II线的剖视图。
图3是收纳于图1的检查工具的探针的第一局部平面图。
图4是收纳于图1的检查工具的探针的第二局部平面图。
图5是具备图1的检查工具的检查工具单元的平面图。
图6是表示收纳于图1的检查工具的探针的变形例的局部平面图。
标号说明
1检查工具单元
10检查工具
20壳体
21壳体主体
211壁部
212贯通孔
22盖部
221面
23收纳部
231底面
232、234侧面
233角部
24第一开口部
25第二开口部
26贯通孔
30探针
31弹性部
32第一接触部
321主体部
322第一腿部
323第二腿部
324间隙
325第一触点部
326、328突出部
327第二触点部
33第二接触部
331主体部
332第三触点部
333缺口
40第一弹性片
41第一直线部
42第三直线部
43外侧弯曲部
431端部
432中间部
44内侧弯曲部
441端部
442中间部
45第二直线部
50第二弹性片
51第三直线部
52外侧弯曲部
521端部
522中间部
53内侧弯曲部
531端部
532中间部
60贯通孔
70连接部
具体实施方式
下面，按照附图对本公开的一例进行说明。另外，在以下的说明中，根据需要而使用表示特定的方向或位置的用语(例如包含“上”、“下”、“右”、“左”的用语)，但是，这些用语的使用是为了容易参照附图理解本公开，本公开的技术范围不由这些用语的意思来限定。此外，以下的说明本质上只不过是例示，并不意图限制本公开、其应用物或其用途。进而，附图是示意性的，各尺寸的比率等不一定与现实情况一致。
如图1所示，本公开的一实施方式的检查工具10具有壳体20和收纳于壳体20的内部的探针30。在本实施方式中，检查工具10具有多个探针30。各探针30例如为使用导电性的材料通过电铸法形成的细长的薄板状，沿着第一方向(例如Y方向)伸缩。各探针30在板厚方向(例如Z方向)上隔开间隔地排列配置，以相互电独立的状态收纳于壳体20。
作为一例，壳体20为绝缘性的大致长方体形状，如图1所示，具有壳体主体21和盖部22。
如图2所示，壳体主体21具有：设置于其内部且收纳探针30的凹状的收纳部23；设置于第一方向Y的一端的第一开口部24；以及设置于第一方向Y的另一端的第二开口部25。在本实施方式中，壳体主体21具有多个收纳部23。各收纳部23在沿着收纳的探针30的板厚方向Z观察的情况下具有在其长度方向上延伸的大致矩形形状，并与第一开口部24及第二开口部25连接。
第一开口部24构成为，能够仅将后述的探针30的第一接触部32从第一方向Y插入。第一开口部24与贯通孔212连接，所述贯通孔212在第一方向Y上贯通构成收纳部23的底面231的、壳体主体21的壁部211。贯通孔212的与第一方向Y交叉的第二方向(例如X方向)上的一端与收纳部23的一个侧面232连接。贯通孔212的第二方向X上的另一端与收纳部23的底面231连接。与贯通孔212和收纳部23的底面231连接的角部233被C倒角。由此，防止探针30在伸缩时与壳体主体21接触而损伤。
第二开口部25构成为，能够将探针30整体从第一方向Y插入。第二开口部25的第二方向X上的一端与收纳部23的第二方向X上的一个侧面232连接，第二开口部25的第二方向X上的另一端与收纳部23的第二方向X上的另一个侧面234连接。
盖部22安装于壳体主体21的第二开口部25侧的端面，覆盖第二开口部25。盖部22具有仅能够收纳第二接触部33的贯通孔26。在盖部22安装于壳体主体21的状态下，贯通孔26配置于通过第一开口部24且沿着第一方向Y延伸的假想直线L1上。换言之，壳体主体21的贯通孔212和盖部22的贯通孔26配置在以假想直线L1为轴的同轴上。在本实施方式中，假想直线L1通过第一接触部32的主体部321的第二方向X的中心和第二接触部33的第三触点部332。贯通孔26的第二方向X上的一端与收纳部23的第二方向X上的一个侧面232连接。
收纳于收纳部23的探针30的构成后述的探针30的弹性部31的第一直线部41与构成收纳部23的底面231的壳体主体21的内表面接触。第一接触部32的一部分经由第一开口部24而露出于壳体20的外部。另外，收纳于收纳部23的探针30的构成后述的探针30的弹性部31的第二直线部45及连接部70与构成收纳部23的盖部22的与壳体主体21对置的面221接触。后述的探针30的第二接触部33经由第二开口部25而露出于壳体20的外部。
例如如图2所示，探针30具备：弹性部31，其沿着第一方向Y伸缩；第一接触部32，其配置于弹性部31的第一方向Y的一端；以及第二接触部33，其配置于弹性部31的第一方向Y的另一端。
作为一个例子，如图2所示，弹性部31整体上具有蜿蜒形状。如图3和图4所示，弹性部31具有第一弹性片40和第二弹性片50、以及设置在第一弹性片40和第二弹性片50之间的贯通孔60。
第一弹性片40和第二弹性片50分别具有多个直线部和至少1个弯曲部，直线部和弯曲部沿第一方向Y交替配置。各直线部沿第二方向X延伸。弯曲部与相邻的直线部各自的第二方向X的两端中的任一方连接。
多个直线部包括第一直线部41、第二直线部45以及第三直线部42、51。第一直线部41在第一方向Y上最接近第一接触部32配置。第二直线部45在第一方向Y上最接近第二接触部33配置。第三直线部42、51在第一方向Y上配置于第一直线部41与第二直线部45之间。在本实施方式中，第一直线部41以及第二直线部45均构成第一弹性片40的一部分。第一直线部41、第二直线部45以及第三直线部42、51具有大致相同的宽度W1(换言之，第一方向Y上的长度)。
如图3所示，第一直线部41在第二方向X的一端侧(例如图3的左侧)连接于第一接触部32。
如图4所示，第二直线部45在第二方向X上的与第一接触部32相同的一侧(例如图4的左侧)连接于第二接触部33。在本实施方式中，第二直线部45经由连接部70而与第二接触部33连接。连接部70具有与从第一方向Y上的第一弹性片40的直线部的外端到第二弹性片50的外端为止的长度大致相同的宽度(换言之，第一方向Y上的长度)，且未设置贯通孔60。
弯曲部包括外侧弯曲部43、52和内侧弯曲部44、53。外侧弯曲部43、52构成第一弹性片40的弯曲部和第二弹性片50的弯曲部中的、在第二方向X上离通过弹性部31的第二方向的中心的中心线CL远的弯曲部。内侧弯曲部44、53构成第一弹性片40的弯曲部和第二弹性片50的弯曲部中的、在第二方向X上离中心线CL近的弯曲部。在本实施方式中，内侧弯曲部44、53的除了与直线部连接的两端部分以外的中间部具有比外侧弯曲部43、52的中间部的宽度W2小的宽度W3。
如图3所示，外侧弯曲部43、52的中间部432、522具有比与外侧弯曲部43、52连接的直线部的宽度W1大的宽度W2(换言之，相对于外侧弯曲部43、52的曲率中心的径向的长度)。即，外侧弯曲部43、52的中间部432、522的宽度比与直线部连接的端部431、521的宽度大。在本实施方式中，对于外侧弯曲部43、52的宽度W2，中间部432、522中的在第二方向X上离中心线CL最远的部分的宽度W21最大，随着从该部分接近中心线CL而逐渐变小。
如图4所示，内侧弯曲部44、53的中间部442、532具有比与内侧弯曲部44、53连接的直线部的宽度W1大的宽度W3(换言之，相对于内侧弯曲部44、53的曲率中心的径向的长度)。即，内侧弯曲部44、53的中间部442、532的宽度比与直线部连接的端部441、531的宽度大。在本实施方式中，内侧弯曲部44、53的宽度W3也与外侧弯曲部43、52同样地，中间部442、532中的、在第二方向X上离中心线CL最远的部分的宽度W31最大，随着从该部分接近中心线CL而逐渐变小。
如图2所示，贯通孔60沿着弹性部31的形状从弹性部31延伸的方向上的一端连续地延伸到另一端。即，第一弹性片40的直线部与第二弹性片50的直线部之间的贯通孔60和第一弹性片40的弯曲部与第二弹性片50的弯曲部之间的贯通孔60相互连接。在本实施方式中，弯曲部处的贯通孔60具有直线部处的贯通孔60的宽度W4以下的宽度W5。贯通孔60的宽度W4、W5例如是第一弹性片40与第二弹性片50之间的直线距离的长度。
如图2所示，第一接触部32具有：主体部321，其与弹性部31的第一直线部41连接；以及第一腿部322和第二腿部323，它们分别从主体部321沿着第一方向Y向远离第一直线部41的方向延伸。第一腿部322和第二腿部323在第二方向X上彼此隔开间隙324而配置。
第一腿部322具有在第二方向X上隔开间隔地配置的一对第一触点部325，所述一对第一触点部325设置于第一腿部322的第一方向Y上的离主体部321较远的端部。在第一腿部322的第一方向Y上的离主体部321较远的端部设置有在第二方向X上向接近第二腿部323的方向突出的突出部326。各第一触点部325分别配置在突出部326的第二方向X上的两端。突出部326的处于一对第一触点部325之间的部分沿第一方向Y向朝着主体部321的方向凹陷。
第二腿部323具有在第二方向X上隔开间隔地配置的一对第二触点部327，所述一对第二触点部327设置于第二腿部323的第一方向Y上的离主体部321较远的端部。在第二腿部323的第一方向Y上的离主体部321较远的端部设置有在第二方向X上向接近第一腿部322的方向突出的突出部328。各第二触点部327分别配置于突出部328的第二方向X上的两端。突出部328的处于一对第二触点部327之间的部分沿第一方向Y向朝着主体部321的方向凹陷。
在本实施方式中，一对第一触点部325和一对第二触点部327配置在沿着第二方向X延伸的同一假想直线L2上。第一腿部322和第二腿部323之间的间隙324在设置有突出部326、328的部分处在第二方向X上最小。
如图2所示，第二接触部33具有与连接部70连接的主体部331和设置于主体部331的第三触点部332。主体部331例如具有沿着第一方向Y延伸的大致矩形形状。第三触点部332设置于主体部331的第一方向Y上的离弹性部31较远的端部，具有沿着第一方向Y向远离所述弹性部31的方向突出的弯曲形状。在主体部331的第一方向Y上的离弹性部31较近的端部设置有缺口333。缺口333在第二方向X上设置于主体部331的与连接部70连接的端部相反一侧的端部。
探针30能够发挥如下的效果。
探针30具备：弹性部31，其沿第一方向伸缩；第一接触部32，其配置于弹性部31的第一方向的一端；以及第二接触部33，其配置于弹性部31的第一方向的另一端。弹性部31具有第一弹性片40和第二弹性片50、以及设置于第一弹性片40和第二弹性片50之间的贯通孔60。第一弹性片40和第二弹性片50分别具有沿着第二方向延伸的多个直线部和与相邻的直线部各自的第二方向的两端中的任一方连接的弯曲部。直线部和弯曲部沿第一方向交替配置。在第一方向上最接近第一接触部32配置的第一直线部41在第二方向的一端侧连接于第一接触部32。在第一方向上最接近第二接触部33配置的第二直线部45在第二方向上的与第一接触部32相同的一侧连接于第二接触部33。第一弹性片40的弯曲部和第二弹性片50的弯曲部中的、在第二方向上离中心线CL远的外侧弯曲部43、52的中间部432、522具有比与外侧弯曲部43、52连接的直线部的宽度W1大的宽度W2。通过这样的结构，在探针30沿着第一方向伸缩时，能够避免弹性部31的相邻的直线部之间的接触。其结果是，能够实现如下探针30：能够抑制弹性部31伸缩时的相邻的直线部之间的干涉。另外，在压缩了探针30的情况下，使施加于弹性部31的应力作为整体从弯曲部向直线部分散，从而能够提高探针30的耐久性。
弯曲部处的贯通孔60具有直线部处的贯通孔60的宽度W4以下的宽度W5。通过这样的结构，在探针30沿着第一方向伸缩时，能够更可靠地避免弹性部31的相邻的直线部之间的接触。另外，在压缩了探针30的情况下，能够使施加于弹性部31的应力更可靠地分散。
第一弹性片40的弯曲部和第二弹性片50的弯曲部中的、在第二方向上离中心线CL近的内侧弯曲部44、53的中间部442、532具有比外侧弯曲部43、52的中间部432、522的宽度W2小的宽度W3。通过这样的结构，能够更可靠地使在压缩了探针30的情况下施加于弹性部31的应力分散。
第一弹性片40的弯曲部和第二弹性片50的弯曲部中的、在第二方向上离中心线CL近的内侧弯曲部44、53的中间部442、532具有比与内侧弯曲部44、53连接的直线部的宽度W1大的宽度W3。通过这样的结构，能够更可靠地使在压缩了探针30的情况下施加于弹性部31的应力分散。
第一接触部32具有：主体部321，其与第一直线部41连接；以及第一腿部322和第二腿部323，它们分别从主体部321沿着第一方向远离第一直线部41的方向延伸，并且在第二方向上彼此隔开间隙324而配置。第一腿部322具有在第二方向上隔开间隔地配置的一对第一触点部325，所述一对第一触点部325设置于第一腿部322的第一方向上的离主体部321较远的端部。第二腿部323具有在第二方向上隔开间隔地配置的一对第二触点部327，所述一对第二触点部327设置于第二腿部323的第一方向上的离主体部321较远的端部。通过这样的结构，一对第一触点部325以及一对第二触点部327相对于检查对象物或者检查装置在第二方向上滑动着接触(擦拭)，从而能够去除附着于检查对象物或者检查装置的异物。另外，能够将通过擦拭而被去除的异物从第一腿部322以及第二腿部323的间隙324排出。其结果是，能够提高探针30的接触可靠性。
检查工具10能够发挥如下的效果。
检查工具10具备：探针30；以及壳体20，其在内部具有收纳部23，所述收纳部23以第一接触部32的一部分以及第二接触部33的一部分露出到外部的状态收纳探针30。探针30具有将第二接触部33和第二直线部45连接起来的连接部70，以第二直线部45和连接部70在第一方向上与构成收纳部23的壳体20的内表面接触的状态收纳于收纳部23。能够实现如下检查工具10：能够抑制探针30伸缩时的弹性部31的相邻的直线部之间的干涉。另外，能够确保弹性部31的弹性，并且能够确保探针30从第一接触部32朝向第二接触部33被按压的情况下的检查工具10的强度。
所收纳的探针30的外侧弯曲部具有从弯曲部的在第二方向上离中心线CL较远的外表面向接近中心线CL的方向延伸的宽度。通过这样的结构，即使在收纳部23的空间存在制约的情况下，也能够使探针30正常地动作。
检查工具10以及探针30也能够以如下方式构成。
如图5所示，能够由多个检查工具10构成检查工具单元1。检查工具单元1也可以具备对多个检查工具10进行收纳并定位的壳体。
在上述实施方式中，探针30具备离假想直线L1近的外侧弯曲部(例如弯曲部52)和离假想直线L1远的外侧弯曲部(例如，弯曲部43)为大致相同的形状、且在第二方向X上离中心线CL最远的部分的宽度W21大致相同的弹性部31，但不限于此。如图6所示，探针30也可以具备离假想直线L1近的外侧弯曲部(例如弯曲部52)和离假想直线L1远的外侧弯曲部(例如弯曲部43)具有不同形状的弹性部31。在图6的探针30中，弯曲部52的在第二方向X上离中心线CL最远的部分的宽度W22大于弯曲部43的在第二方向X上离中心线CL最远的部分的宽度W23。弯曲部43的中间部432的宽度W2具有比与弯曲部43连接的直线部的宽度W1稍大的宽度W2。通过这样构成，能够使弹性部31的伸缩直线化，防止第一接触部32以及第二接触部33的侧滑(即，向第二方向X的移动)。
弹性部31的直线部设置有多个即可。弹性部31的弯曲部只要至少设置有1个即可。
第一接触部32以及第二接触部33能够根据探针30的设计等而采用任意的结构。例如，能够根据检查对象物或者检查装置，将任意的形状以及构成的触点设置于第一接触部32以及第二接触部33。即，不限于第一接触部32具有第一腿部322和第二腿部323的情况，也可以是第二接触部33具有第一腿部322和第二腿部323。也可以是第一接触部32以及第二接触部33双方具有第一腿部322以及第二腿部323。
壳体20能够采用能够收纳至少1个探针30的任意的结构。
连接部70也可以不设置在第二直线部45侧而是设置在第一直线部41侧。即，探针30也可以以第一直线部41及连接部70在第一方向Y上与构成收纳部23的壳体20的底面231接触的状态收纳于收纳部23。
以上，参照附图对本公开中的各种实施方式进行了详细说明，最后对本公开的各种方式进行说明。另外，在以下的说明中，作为一个例子，也标注附图标记进行记载。
本公开的第一方式的探针30具有：
弹性部31，其沿着第一方向伸缩；
第一接触部32，其配置在所述弹性部31的所述第一方向的一端；和
第二接触部33，其配置于所述弹性部31的所述第一方向的另一端，
所述弹性部31具有，
第一弹性片40和第二弹性片50；以及
设置在所述第一弹性片40与所述第二弹性片50之间的贯通孔60，
所述第一弹性片40和所述第二弹性片50分别具有：
沿着与所述第一方向交叉的第二方向延伸的多个直线部；以及
与相邻的所述直线部各自的所述第二方向的两端中的任一方连接的弯曲部，
所述直线部和所述弯曲部沿所述第一方向交替配置，
在所述第一方向上最接近所述第一接触部32配置的所述直线部即第一直线部41在所述第二方向的一端侧连接于所述第一接触部32，
在所述第一方向上最接近所述第二接触部配置的所述直线部即第二直线部45在所述第二方向上的与所述第一接触部32相同的一侧连接于所述第二接触部33，
所述第一弹性片40的所述弯曲部和所述第二弹性片50的所述弯曲部中的、在所述第二方向上离通过所述弹性部31的所述第二方向的中心的中心线CL远的外侧弯曲部的中间部具有比与所述外侧弯曲部连接的所述直线部的宽度W1大的宽度W2。
本公开的第二方式的探针30中，所述弯曲部处的所述贯通孔60具有所述直线部处的所述贯通孔60的宽度W4以下的宽度W5。
本公开的第三方式的探针30中，所述第一弹性片40的所述弯曲部和所述第二弹性片50的所述弯曲部中的、在所述第二方向上离所述中心线CL近的内侧弯曲部的中间部具有比所述外侧弯曲部的宽度W2小的宽度W3。
本公开的第四方式的探针30中，
所述弹性部31具有多个所述外侧弯曲部，
多个所述外侧弯曲部中的、离通过所述第一接触部和所述第二接触部且沿着所述第一方向延伸的假想直线L1近的所述外侧弯曲部的中间部具有比离所述假想直线远的所述外侧弯曲部的宽度W23大的宽度W22。
本公开的第五方式的探针30中，
所述第一弹性片40的所述弯曲部和所述第二弹性片50的所述弯曲部中的、在所述第二方向上离所述中心线CL近的内侧弯曲部的中间部具有比与所述内侧弯曲部连接的所述直线部的宽度W1大的宽度W3。
本公开的第六方式的探针30中，
所述第一接触部32和所述第二接触部33中的至少任一方具有：
与所述直线部连接的主体部321；以及
第一腿部322及第二腿部323，它们分别从所述主体部321沿着所述第一方向向远离所述直线部的方向延伸，并且在所述第二方向上彼此隔开间隙324而配置，
所述第一腿部322具有在所述第二方向上隔开间隔地配置的一对第一触点部325，所述一对第一触点部325设置于所述第一腿部322的所述第一方向上的离所述主体部321较远的端部，
所述第二腿部323具有在所述第二方向上隔开间隔地配置的一对第二触点部327，所述一对第二触点部327设置于所述第二腿部323的所述第一方向上的离所述主体部321较远的端部。
本公开的第七方式的检查工具10具备：
上述方式的探针30；以及
壳体20，其在内部具有收纳部23，所述收纳部23以所述第一接触部32的一部分以及所述第二接触部33的一部分露出于外部的状态收纳所述探针30，
所述探针30具有连接所述第一接触部32和所述第一直线部41或连接所述第二接触部33和所述第二直线部45的连接部70，
所述探针30以所述第一直线部41和所述连接部70或所述第二直线部45和所述连接部70在所述第一方向上与构成所述收纳部23的所述壳体20的内表面接触的状态收纳于所述收纳部23。
本公开的第八方式的检查工具10中，所述外侧弯曲部具有从所述弯曲部的在所述第二方向上离所述中心线CL较远的外表面向接近所述中心线CL的方向延伸的宽度。
本公开的第九方式的检查工具单元1具备多个上述方式的检查工具10。
需要说明的是，通过适当组合上述各种实施方式或变形例中的任意的实施方式或变形例，能够发挥各自所具有的效果。另外，能够进行实施方式彼此的组合或者实施例彼此的组合或者实施方式与实施例的组合，并且也能够进行不同的实施方式或者实施例中的特征彼此的组合。
本公开参照附图与优选的实施方式相关联地进行了充分的记载，但对于熟练该技术的人们来说，可以进行各种变形、修正。应该理解为这样的变形、修正只要不脱离所附的权利要求书的本公开的范围，就包含在其中。
产业上的可利用性
本公开的插座例如能够应用于具备相机模块等BtoB(Business-to-Business)连接器作为连接介质的模块、以及SOP(Small Outline Package)、QFP(Quad Flat Package)、BGA(Ball grid array：球栅阵列)等半导体封装的检查中使用的检查工具。

Claims (9)

1.一种探针，该探针具有：
弹性部，其沿着第一方向伸缩，
第一接触部，其配置于所述弹性部的所述第一方向的一端；以及
第二接触部，其配置于所述弹性部的所述第一方向的另一端，
所述弹性部具有：
第一弹性片和第二弹性片；以及
设置在所述第一弹性片与所述第二弹性片之间的贯通孔，
所述第一弹性片和所述第二弹性片分别具有：
沿着与所述第一方向交叉的第二方向延伸的多个直线部；以及
与相邻的所述直线部各自的所述第二方向的两端中的任一方连接的弯曲部，
所述直线部和所述弯曲部沿着所述第一方向交替配置，
在所述第一方向上最接近所述第一接触部配置的所述直线部即第一直线部在所述第二方向的一端侧连接于所述第一接触部，
在所述第一方向上最接近所述第二接触部配置的所述直线部即第二直线部在所述第二方向上的与所述第一接触部相同的一侧连接于所述第二接触部，
所述第一弹性片的所述弯曲部和所述第二弹性片的所述弯曲部中的、在所述第二方向上离通过所述弹性部的所述第二方向的中心的中心线远的外侧弯曲部的中间部具有比与所述外侧弯曲部连接的所述直线部的宽度大的宽度。
2.根据权利要求1所述的探针，其中，
所述弯曲部处的所述贯通孔具有所述直线部处的所述贯通孔的宽度以下的宽度。
3.根据权利要求1或2所述的探针，其中，
所述第一弹性片的所述弯曲部以及所述第二弹性片的所述弯曲部中的、在所述第二方向上离所述中心线近的内侧弯曲部的中间部具有比所述外侧弯曲部的中间部的宽度小的宽度。
4.根据权利要求1或2所述的探针，其中，
所述弹性部具有多个所述外侧弯曲部，
多个所述外侧弯曲部中的、离通过所述第一接触部以及所述第二接触部且沿着所述第一方向延伸的假想直线近的所述外侧弯曲部的中间部具有比离所述假想直线远的所述外侧弯曲部的宽度大的宽度。
5.根据权利要求1或2所述的探针，其中，
所述第一弹性片的所述弯曲部和所述第二弹性片的所述弯曲部中的、在所述第二方向上离所述中心线近的内侧弯曲部的中间部具有比与所述内侧弯曲部连接的所述直线部的宽度大的宽度。
6.根据权利要求1或2所述的探针，其中，
所述第一接触部和所述第二接触部中的至少任一方具有：
与所述直线部连接的主体部；以及
第一腿部及第二腿部，它们分别从所述主体部沿着所述第一方向向远离所述直线部的方向延伸，并且在所述第二方向上彼此隔开间隙而配置，
所述第一腿部具有在所述第二方向上隔开间隔地配置的一对第一触点部，所述一对第一触点部设置于所述第一腿部的所述第一方向上的离所述主体部较远的端部，
所述第二腿部具有在所述第二方向上隔开间隔地配置的一对第二触点部，所述一对第二触点部设置于所述第二腿部的所述第一方向上的离所述主体部较远的端部。
7.一种检查工具，该检查工具具有：
权利要求1～6中的任一项所述的探针；以及
壳体，其在内部具有收纳部，所述收纳部以所述第一接触部的一部分以及所述第二接触部的一部分露出于外部的状态收纳所述探针，
所述探针具有连接部，所述连接部连接所述第一接触部和所述第一直线部或连接所述第二接触部和所述第二直线部，
所述探针以所述第一直线部和所述连接部或所述第二直线部和所述连接部在所述第一方向上与构成所述收纳部的所述壳体的内表面接触的状态收纳于所述收纳部。
8.根据权利要求7所述的检查工具，其中，
所述外侧弯曲部具有从所述弯曲部的在所述第二方向上离所述中心线较远的外表面向接近所述中心线的方向延伸的宽度。
9.一种检查工具单元，其具有多个权利要求7或8所述的检查工具。
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