CN113924499A - 探针、检查工具和检查单元 - Google Patents

Abstract

探针具备：弹性部，其能够沿着第一方向弹性变形；第一接触部，其与弹性部的第一方向上的一端连接；以及第二接触部，其与弹性部的第一方向上的另一端连接。弹性部具有：第一抵接部，其从第一接触部沿着第二方向延伸而构成弹性部的一端；以及第二抵接部，其在第二方向上相对于第二接触部配置于与第一抵接部相同一侧，从第二接触部沿着第二方向延伸而构成弹性部的另一端。第一抵接部和第二抵接部分别构成为，在被收纳于插座的状态下能够在第一方向上与插座的内部抵接。

Description

探针、检查工具和检查单元

技术领域

本公开涉及探针、检查工具和检查单元。

背景技术

在照相机或液晶面板等电子部件模块中，一般在其制造工序中进行导通检查和动作特性检查等。使用探针将用于与设置于电子部件模块的主体基板连接的端子和检查装置的端子连接，由此进行这些检查。

作为这样的探针，有专利文献1所记载的探针。该探针具备：一对触头，它们能够分别与电子部件的电极端子以及被连接电子部件的电极端子接触；以及蜿蜒部，其介于一对触头之间而连接一对触头。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-134202号公报

发明内容

发明要解决的课题

在所述探针中，在与蜿蜒部的伸缩方向正交的宽度方向的中心分别配置一对触头，在使蜿蜒部伸缩时，各触头不会在宽度方向上倾倒。因此，若将多个所述探针在宽度方向上排列配置，则难以使相邻的各触头的配置间隔变窄，例如，成为无法使各触头同时与窄间距化的电子部件模块的一对端子接触的状态，无法应对电子部件模块的窄间距化的情况。

本公开的目的在于，提供能够应对接触对象物的窄间距化的探针、具备该探针的检查工具、以及具备该检查工具的检查单元。

用于解决课题的手段

本公开的一个例子的探针具备：

弹性部，其能够沿第一方向弹性变形；

第一接触部，其与所述弹性部的所述第一方向上的一端连接；以及

第二接触部，其与所述弹性部的所述第一方向上的另一端连接，

所述探针能够以所述弹性部能够沿所述第一方向伸缩的状态收纳于插座，

其中，所述弹性部具有：

第一抵接部，其从所述第一接触部沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸而构成所述弹性部的所述第一方向上的一端；以及

第二抵接部，其在所述第二方向上相对于所述第二接触部配置于与所述第一抵接部相同一侧，从所述第二接触部沿着所述第二方向延伸而构成所述弹性部的所述另一端，

所述第一抵接部以及所述第二抵接部分别构成为，在被收纳于所述插座的状态下能够在所述第一方向上与所述插座的内部抵接。

另外，本公开的一个例子的检查工具具备：

所述探针；和

能够收纳所述探针的所述插座，

所述检查工具构成为：在将所述探针收纳于所述插座时，所述第一抵接部和所述第二抵接部分别在所述第一方向上与所述插座的内表面抵接。

另外，本公开的一个例子的检查单元具备至少1个上述检查工具。

发明效果

根据所述探针，弹性部具有：第一抵接部，其从第一接触部沿着第二方向延伸而构成弹性部的一端；以及第二抵接部，其在第二方向上相对于第二接触部配置于与第一抵接部相同一侧，从第二接触部沿着第二方向延伸而构成弹性部的另一端。第一抵接部和第二抵接部分别构成为在被收纳于插座时能够在第一方向上与插座的内部抵接。根据这样的结构，例如，在将多个分别在第一接触部以及第二接触部设置有触点部的探针收纳于插座的情况下，能够减小在第二方向上相邻的探针的触点部的配置间隔。其结果是，能够实现能够应对接触对象物的窄间距化的探针。

根据所述检查工具，借助所述探针，能够实现能够对窄间距化的检查对象物进行检查的检查工具。

根据所述检查单元，借助所述检查工具，能够实现能够对窄间距化的检查对象物进行检查的检查单元。

附图说明

图1是表示本公开的一个实施方式的探针的立体图。

图2是具备图1的探针的检查工具的平面图。

图3是用于说明对图1的探针的第一触点部施加外力的情况下的弹性部的状态的图。

图4是用于说明对图1的探针的第二触点部施加外力的情况下的弹性部的状态的图。

图5是表示图1的探针的变形例的立体图。

图6是具备图5的探针的检查工具的平面图。

图7是用于说明对图5的探针的第一触点部和第二触点部施加外力的情况下的弹性部的状态的图。

图8是用于说明对图5的探针的第二触点部施加外力的情况下的弹性部的状态的图。

具体实施方式

下面，按照附图对本公开的一例进行说明。另外，在以下的说明中，根据需要而使用表示特定的方向或位置的用语(例如包含“上”、“下”、“右”、“左”的用语)，但是，这些用语的使用是为了容易参照附图理解本公开，本公开的技术范围不由这些用语的意思来限定。此外，以下的说明本质上只不过是例示，并不意图限制本公开、其应用物或其用途。进而，附图是示意性的，各尺寸的比率等不一定与现实情况一致。

如图1所示，本公开的一个实施方式的探针10例如为在第一方向X上细长的薄板状且具有导电性。作为一个例子，如图2所示，该探针10在收纳于绝缘性的插座100的状态下使用，与插座100一起构成检查工具2。在检查工具2中，作为一个例子，收纳有多个探针10。

另外，如图2所示，检查工具2构成检查单元1的一部分。在该实施方式中，检查单元1具有一对检查工具2。各检查工具2被配置为，在后述的探针10的第一触点部321、331以及第二触点部41从插座100露出到外部的状态下，在与第一方向X交叉(例如，正交)的第二方向Y上相邻。

如图2所示，各插座100在其内部具有多个收纳部101(在图2中仅示出1个)。各收纳部101具有缝隙状，构成为能够分别在电气上独立地收纳并保持1个探针10。另外，各收纳部101沿着与第一方向X及第二方向Y交叉的方向(即，图2的纸面贯通方向)排列成一列且等间隔地配置。

另外，如图2所示，各插座100不限于构成为在收纳有探针10的状态下在第一方向X的内表面与探针10之间形成间隙的情况。例如，各插座100也可以构成为，探针10以其两端的抵接部201、202均与插座100的内表面接触的状态被收纳。

如图2所示，各探针10具备：弹性部20，其能够沿着第一方向X弹性变形；以及第一接触部30和第二接触部40，它们分别与该弹性部20的第一方向X上的两端连接。作为一个例子，各探针10由电铸法形成，弹性部20、第一接触部30以及第二接触部40沿着第一方向X直列地配置且一体地构成。

如图2所示，弹性部20具有构成弹性部20的第一方向X上的一端的第一抵接部201和构成弹性部20的第一方向X上的另一端的第二抵接部202。第一抵接部201从第一接触部30向第二方向Y延伸。第二抵接部202以在第二方向Y上相对于第二接触部40配置于与第一抵接部201相同一侧的方式从第二接触部40沿着第二方向Y延伸。第一抵接部201以及第二抵接部202分别构成为，在被收纳于插座100的状态下，能够在第一方向X上与构成收纳部101的插座100的内部抵接。

另外，如图2所示，作为一个例子，弹性部20由相互隔开间隙23地配置的多个弹性片(在本实施方式中为2个带状的弹性片)21、22构成。各弹性片21、22具有由分别沿第二方向Y延伸的多个延伸部24和分别与相邻的延伸部24连接的多个弯曲部25构成的蜿蜒形状。在该实施方式中，弹性部20由4个延伸部24和3个弯曲部25构成。

各延伸部24在第一方向X上相互隔开间隙27地配置。配置于第一方向X的两端的各延伸部24分别构成第一抵接部201以及第二抵接部202。构成第一抵接部201的延伸部24的第二方向Y上的一端与第一接触部30连接，第二方向Y上的另一端与弯曲部25连接。构成第二抵接部202的延伸部24的第二方向Y上的一端与第二接触部40连接，第二方向Y上的另一端与弯曲部25连接。另外，构成第二抵接部202的延伸部24的一端在2个弹性片21、22借助连接部26连接而一体化的状态下与第二接触部40连接。

作为一个例子，各弯曲部25相对于第一接触部30的第二方向Y上的一端301配置于第二方向Y的一侧。

如图2所示，作为一个例子，第一接触部30具有：与弹性部20连接的主体部31；和一对腿部32、33，它们从该主体部31向第一方向X上远离弹性部20的方向延伸。

主体部31具有设置于第一方向X的靠弹性部20侧的端部的贯通孔311。该贯通孔311与弹性部20的弹性片21、22之间的间隙23连接。

各腿部32、33构成为在第二方向Y上隔开间隙34地配置且能够在第二方向Y上弹性变形，并具有设置于其末端的第一触点部321、331。第一触点部321、331分别构成为，能够从第一方向X与作为接触对象物的一例的检查对象物的凸触点50接触。另外，各腿部32、33具有设置于在第二方向Y上对置的侧面的突起部322、332。各突起部322、332以封闭一对腿部32、33之间的间隙34的方式突出，防止凸触点50向间隙34的过度插入。

如图2所示，作为一个例子，第二接触部40具有在第一方向X上延伸的大致矩形形状。在第二接触部40的第一方向X上远离弹性部20一侧的末端具有随着在第一方向X上远离弹性部20而末端变细的大致三角形状，构成第二触点部41。第二触点部41构成为，能够从第一方向X与作为接触对象物的一例的检查对象物的端子60接触。另外，在第二接触部40的第二方向Y上对置的一对侧面中的未连接弹性部20的侧面401设置有缺口部42。该缺口部42设置于第二接触部40的侧面401的在第一方向X上靠近弹性部20的端部。

图3表示对第二接触部40的第二触点部41施加朝向插座100的内部的X1方向的外力的情况下的弹性部20的状态。如图3所示，当对第二触点部41施加X1方向的外力时，弹性部20以相邻的弹性片21、22不接触的方式弹性变形。另外，弹性部20相对于第一接触部30的第二方向Y上的一端301(参照图2)、或者相对于第二接触部40的在第二方向Y上对置的一对侧面中的未连接弹性部20的侧面401(参照图2)，配置于第二方向Y上的一侧。因此，当施加X1方向的外力时，第二触点部41一边与端子60的表面接触，一边相对于第二接触部40的侧面401向第二方向Y的另一侧(即，在第二方向Y上，从第二接触部40的第二方向Y的侧面401朝向配置有弹性部20的一侧的相反侧的方向)移动。例如，即使在端子60的表面上形成有覆膜，也能够借助第二触点部41的擦拭动作而去除该覆膜，因此能够减轻因覆膜的形成而引起的对接触可靠性等的影响。

另外，图4表示在X1方向的外力的基础上，对第一接触部30的第一触点部321、331施加朝向插座100的内部的X2方向的外力的情况下的弹性部20的状态。在该情况下，弹性部20也以相邻的弹性片21、22不接触的方式弹性变形，并借助第二触点部41进行与仅施加X1方向的外力的情况相同的擦拭动作。第一触点部321、331借助X2方向的外力，朝向插座100的内部沿着第一方向X移动。

根据所述探针10，弹性部20具有：第一抵接部201，其从第一接触部30沿着第二方向Y延伸而构成弹性部20的一端；以及第二抵接部202，其在第二方向Y上相对于第二接触部40配置于与第一抵接部201相同一侧，从第二接触部40沿着第二方向Y延伸而构成弹性部20的另一端。第一抵接部201以及第二抵接部202分别构成为，在被收纳于插座100时能够在第一方向X上与插座100的内部抵接。根据这样的结构，例如，在将多个分别在第一接触部30以及第二接触部40设置有第一触点部321、331以及第二触点部41的探针10收纳于插座100的情况下，能够减小在第二方向Y上相邻的探针10的第一触点部321、331以及第二触点部41的配置间隔。其结果，能够实现能够应对接触对象物50、60的窄间距化的探针10。

另外，第一接触部30具有第一触点部321、331，所述第一触点部321、331设置在第一接触部30的第一方向X上远离弹性部20一侧的端部，能够从第一方向X与接触对象物50接触，第二接触部40具有第二触点部41，所述第二触点部41设置在第二接触部40的第一方向X上远离弹性部20一侧的端部，能够从第一方向X与接触对象物60接触。根据这样的结构，例如，在将多个分别在第一接触部30以及第二接触部40设置有触点部321、331、41的探针10收纳于插座100的情况下，能够更可靠地减小在第二方向Y上相邻的探针10的触点部321、331、41的配置间隔。

另外，弹性部20具有：多个延伸部24，它们分别沿着第二方向Y延伸，并且分别在第一方向X上相互隔开间隙27地配置；以及弯曲部25，其与相邻的延伸部24连接。配置于第一方向X的两端的延伸部24分别构成第一抵接部201以及第二抵接部202。弯曲部25相对于第一接触部30的第二方向Y的一端配置于第二方向Y的一侧。通过这样的结构，能够容易地实现能够应对接触对象物50、60的窄间距化的探针10。

另外，弹性部20具有相互隔开间隙23地配置的多个弹性片21、22。通过这样的结构，能够使弹性部20更顺畅地弹性变形，从而提高弹性部20的耐久性。

借助所述探针10，能够实现能够检查窄间距化的检查对象物的检查工具2。另外，通过具备所述探针10的检查工具2，能够实现能够检查窄间距化的检查对象物的检查单元1。

此外，只要弹性部20的第一方向X的两端能够分别与第一接触部30以及第二接触部40连接，则能够采用任意的形状以及结构。例如，也可以在第一接触部30以及第二接触部40分别设置能够从第二方向Y与接触对象物接触的触点部。另外，例如，可以在第一接触部30设置与第二触点部41相同结构的触点部，也可以在第二接触部40设置多个触点部。

弹性部20只要具有第一抵接部201以及第二抵接部202，就能够采用任意的形状以及结构。例如，弹性部20可以是蜿蜒形状以外的形状，也可以由1个弹性片构成。

另外，弹性部20只要具有至少2个延伸部24和至少1个弯曲部25即可。另外，例如，如图5～图8所示，弹性部20也可以具有比图1的探针10多的数量的延伸部24和弯曲部25。在图5至图8的探针10中，弹性部20具有肋28，所述肋28设置于弹性部20的第一方向X的中间的延伸部24，连接一对弹性片21、22。如图7及图8所示，借助该肋28，即使对第一触点部321、331和第二触点部41中的任一方施加外力，弹性部20的相邻的弹性片21、22也不接触地进行弹性变形。此外，在图7中，示出了对第一触点部321、331以及第二触点部41分别施加X1方向以及X2方向的外力的情况下的弹性部20的状态。

以上，参照附图对本公开中的各种实施方式进行了详细说明，最后对本公开的各种方式进行说明。另外，在以下的说明中，作为一个例子，也标注附图标记进行记载。

本公开的第一方式的探针10具有：

弹性部20，其能够沿第一方向X弹性变形；

第一接触部30，其与所述弹性部20的所述第一方向X上的一端连接；以及

第二接触部40，其与所述弹性部20的所述第一方向X上的另一端连接，

所述探针能够以所述弹性部20能够沿所述第一方向X伸缩的状态收纳于插座100，

其中，所述弹性部20具有：

第一抵接部201，其从所述第一接触部30沿着与所述第一方向X交叉的第二方向Y延伸而构成所述弹性部20的所述第一方向上的一端；以及

第二抵接部202，其在所述第二方向Y上相对于所述第二接触部40配置于与所述第一抵接部201相同一侧，从所述第二接触部40沿着所述第二方向Y延伸而构成所述弹性部20的所述另一端，

所述第一抵接部201和所述第二抵接部202分别构成为，在被收纳于所述插座100的状态下能够在所述第一方向X上与所述插座100的内部抵接。

根据第一方式的探针10，例如，在将多个分别在第一接触部30以及第二接触部40设置有触点部321、331、41的探针10收纳于插座100的情况下，能够减小在第二方向Y上相邻的探针10的触点部321、331、41的配置间隔。其结果是，能够实现能够应对接触对象物50、60的窄间距化的探针10。

本公开的第二方式的探针10中，

所述第一接触部30具有第一触点部321、331，所述第一触点部321、331设置在所述第一接触部30的所述第一方向X上远离所述弹性部20一侧的端部，能够从所述第一方向X与接触对象物50接触，

所述第二接触部40具有第二触点部41，所述第二触点部41设置在所述第二接触部40的所述第一方向X上远离所述弹性部20一侧的端部，能够从所述第一方向X与接触对象物60接触。

根据第二方式的探针10，例如，在将多个分别在第一接触部30以及第二接触部40设置有触点部321、331、41的探针10收纳于插座100的情况下，能够更可靠地减小在第二方向Y上相邻的探针10的触点部321、331、41的配置间隔。

本公开的第三方式的探针10中，

所述弹性部20相对于所述第一接触部30的所述第二方向Y的一端301配置在所述第二方向Y的一侧，

所述第一触点部321、331或所述第二触点部41中的至少任一方构成为，在所述第一方向X上施加所述第一触点部321、331及所述第二触点部41相互接近的方向X1、X2的外力时，能够朝向所述第二方向Y的另一侧移动。

根据第三方式的探针10，例如，假设使接触对象物60从第一方向X与第二触点部41接触，施加第一触点部321、331以及第二触点部41相互接近的X1方向的外力。在该情况下，第二触点部41一边与端子60的表面接触，一边相对于第二接触部40的第二方向Y的侧面401向第二方向Y的另一侧移动。借助该擦拭动作，例如即使在端子60的表面上形成有覆膜，也能够将该覆膜除去，因此能够减轻因覆膜的形成引起的对接触可靠性等的影响。

本公开的第四方式的探针10中，

所述弹性部20具有：

多个延伸部24，它们分别沿着所述第二方向Y延伸，并且分别在所述第一方向X上相互隔开间隙27地配置；和

与相邻的所述延伸部24连接的弯曲部25，

配置于所述第一方向X的两端的所述延伸部24分别构成所述第一抵接部201及所述第二抵接部202，

所述弯曲部25相对于所述第一接触部30的所述第二方向Y的一端301配置于所述第二方向Y的一侧。

根据第四方式的探针10，能够容易地实现能够应对接触对象物50、60的窄间距化的探针10。

本公开的第五方式的探针10中，

所述弹性部20具有相互隔开间隙23地配置的多个弹性片21、22。

根据第五方式的探针10，能够使弹性部20更顺利地弹性变形，从而提高弹性部20的耐久性。

本公开的第六方式的检查工具2具备：

上述方式的探针10；和

能够收纳所述探针10的所述插座100，

所述检查工具构成为：在将所述探针10收纳于所述插座100时，所述第一抵接部201及所述第二抵接部202分别在所述第一方向X上与所述插座100的内表面抵接。

根据第六方式的检查工具2，借助所述探针10能够实现能够检查窄间距化的检查对象物的检查工具2。

本公开的第七方式的检查单元1具备至少1个上述检查工具2。

根据第七方式的检查单元1，借助所述检查工具2，能够实现能够检查窄间距化的检查对象物的检查单元1。

另外，通过适当组合上述各种实施方式或变形例中的任意的实施方式或变形例，能够发挥各自所具有的效果。另外，能够进行实施方式彼此的组合或者实施例彼此的组合或者实施方式与实施例的组合，并且也能够进行不同的实施方式或者实施例中的特征彼此的组合。

本公开参照附图与优选的实施方式相关联地进行了充分的记载，但对于熟练该技术的人们来说，可以进行各种变形、修正。应该理解为这样的变形、修正只要不脱离所附的权利要求书的本公开的范围，就包含在其中。

产业上的可利用性

本公开的探针例如能够应用于照相机设备、USB设备、HDMI(注册商标)设备、或者QFN设备以及SON设备等半导体的检查中使用的检查工具。

本公开的检查工具例如能够应用于照相机设备、USB设备、HDMI(注册商标)设备、或者QFN设备以及SON设备等半导体的检查中使用的检查单元。

本公开的检查单元例如能够用于照相机设备、USB设备、HDMI(注册商标)设备、或者QFN设备以及SON设备等半导体的检查。

标号说明

1检查单元

2检查工具

10探针

20弹性部

201第一抵接部

202第二抵接部

21、22弹性片

23间隙

24延伸部

25弯曲部

26连接部

27间隙

28肋

30第一接触部

301一端

31主体部

311贯通孔

32、33腿部

321、331第一触点部

322、332突起部

34间隙

40第二接触部

401侧面

41第二触点部

42缺口部

50凸触点

60端子

100插座

101收纳部

Claims (7)

1.一种探针，其具有：

弹性部，其能够沿第一方向弹性变形；

第一接触部，其与所述弹性部的所述第一方向上的一端连接；以及

第二接触部，其与所述弹性部的所述第一方向上的另一端连接，

所述探针能够以所述弹性部能够沿所述第一方向伸缩的状态收纳于插座中，

其中，所述弹性部具有：

第一抵接部，其从所述第一接触部沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸而构成所述弹性部的所述第一方向上的一端；和

第二抵接部，其在所述第二方向上相对于所述第二接触部配置于与所述第一抵接部相同一侧，从所述第二接触部沿着所述第二方向延伸而构成所述弹性部的所述另一端，

所述第一抵接部和所述第二抵接部分别构成为，在被收纳于所述插座的状态下能够在所述第一方向上与所述插座的内部抵接。

2.根据权利要求1所述的探针，其中，

所述第一接触部具有第一触点部，所述第一触点部设置在所述第一接触部的所述第一方向上远离所述弹性部一侧的端部，能够从所述第一方向与接触对象物接触，

所述第二接触部具有第二触点部，所述第二触点部设置于所述第二接触部的所述第一方向上远离所述弹性部一侧的端部，能够从所述第一方向与接触对象物接触。

3.根据权利要求2所述的探针，其中，

所述弹性部相对于所述第一接触部的所述第二方向上的一端配置在所述第二方向的一侧，

所述第一触点部或所述第二触点部中的至少任一方构成为，在所述第一方向施加所述第一触点部和所述第二触点部相互接近的方向的外力时，能够朝向所述第二方向的另一侧移动。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的探针，其中，

所述弹性部具有：

多个延伸部，它们分别沿着所述第二方向延伸，并且分别在所述第一方向上相互隔开间隙地配置；以及

与相邻的所述延伸部连接的弯曲部，

配置于所述第一方向的两端的所述延伸部分别构成所述第一抵接部以及所述第二抵接部，

所述弯曲部相对于所述第一接触部的所述第二方向上的一端配置于所述第二方向的一侧。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的探针，其中，

所述弹性部具有相互隔开间隙地配置的多个弹性片。

6.一种检查工具，其具有：

权利要求1～5中的任一项所述的探针；以及

插座，其能够收纳所述探针，

所述检查工具构成为：在将所述探针收纳于所述插座时，所述第一抵接部和所述第二抵接部分别在所述第一方向上与所述插座的内表面抵接。

7.一种检查单元，其具有至少1个权利要求6所述的检查工具。

Images