CN111602062B - 探针、检查工具、检查单元和检查装置 - Google Patents

Abstract

探针具有：第1接触部和第2接触部；中间部，其配置于第1接触部和第2接触部之间；第1弹性部，其与第1接触部和中间部连接，沿着第1接触部和第2接触部的排列方向伸缩；以及第2弹性部，其与中间部和第2接触部连接，沿着第1接触部和第2接触部的排列方向伸缩，第1弹性部的弹簧常数构成为比第2弹性部的弹簧常数小。

Description

探针、检查工具、检查单元和检查装置

技术领域

本发明涉及探针、具有该探针的检查工具、具有该检查工具的检查单元和具有该检查单元的检查装置。

背景技术

在照相机或液晶面板等电子部件模块中，一般而言，在其制造工序中进行导通检查和动作特性检查等。使用探针将用于与设置于电子部件模块的主体基板连接的FPC接触电极或所安装的基板对基板连接器等电极部和检查装置连接起来，由此进行这些检查。

作为这种探针，例如存在专利文献1所记载的探针。该探针具有能够与电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子分别接触的一对触头、以及介于一对触头之间且连接一对触头的蜿蜒部。在所述探针中，通过蜿蜒部确保各触头与电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子之间的接触压力，提高针对电子部件的电极端子和被连接电子部件的电极端子的接触可靠性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-134202号公报

发明内容

发明要解决的课题

近年来，伴随着检查对象物的多样化等，例如，为了防止检查对象物的破损等，有时要求探针以分别不同的接触载荷与检查对象物和检查装置接触。

在专利文献1的探针中，各触头与整体构成一个弹性部的蜿蜒部的两端部分别连接，因此，有时无法以不同的接触载荷与电子部件和被连接电子部件接触。

本发明的目的在于，提供能够以不同的接触载荷与检查对象物和检查装置接触的探针、具有该探针的检查工具、具有该检查工具的检查单元和具有该检查单元的检查装置。

用于解决课题的手段

本发明的一例的探针具有：板状的第1接触部和板状的第2接触部；中间部，其配置于所述第1接触部和所述第2接触部之间；第1弹性部，其与所述第1接触部和所述中间部连接，沿着连接所述第1接触部和所述第2接触部的排列方向伸缩；以及第2弹性部，其与所述中间部和所述第2接触部连接，沿着所述排列方向伸缩，所述第1弹性部的弹簧常数构成为比所述第2弹性部的弹簧常数小。

此外，本发明的一例的检查工具具有：所述探针；以及插座，其具有能够收纳所述探针的收纳部，所述插座具有卡定部，该卡定部沿着所述排列方向在从所述第2接触部朝向所述第1接触部的方向上将收纳于所述收纳部中的所述探针的所述中间部的延伸方向的两端部卡定。

此外，本发明的一例的检查单元具有至少一个所述检查工具。

此外，本发明的一例的检查装置具有至少一个所述检查单元。

发明效果

根据所述探针，构成为与第1接触部和中间部连接且沿着连接第1接触部和第2接触部的排列方向伸缩的第1弹性部的弹簧常数比与中间部和第2接触部连接且沿着连接第1接触部和第2接触部的排列方向伸缩的第2弹性部的弹簧常数小。由此，能够实现能够以不同的接触载荷与检查对象物和检查装置接触的探针。

此外，根据所述检查工具，利用所述探针，能够实现可与所要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查工具。

此外，根据所述检查单元，利用所述检查工具，能够实现可与所要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查单元。

此外，根据所述检查装置，利用所述检查单元，能够实现可与所要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查装置。

附图说明

图1是示出本发明的一个实施方式的检查单元的立体图。

图2是示出本发明的一个实施方式的检查工具的立体图。

图3是沿着图2的III-III线的剖视图。

图4是示出本发明的一个实施方式的探针的立体图。

图5是图4的探针的平面图。

图6是图4的探针的第1弹性部、第2弹性部和中间部的放大平面图。

图7是示出图4的探针的第1变形例的立体图。

图8是收纳了图7的探针的检查工具的沿着图2的III-III线的剖视图。

图9是示出图4的探针的第2变形例的立体图。

图10是收纳了图9的探针的检查工具的沿着图2的III-III线的剖视图。

图11是示出图4的探针的第3变形例的立体图。

图12是收纳了图11的探针的检查工具的沿着图2的III-III线的剖视图。

图13是示出图4的探针的第4变形例的立体图。

图14是收纳了图13的探针的检查工具的沿着图2的III-III线的剖视图。

图15是示出图4的探针的第5变形例的立体图。

图16是收纳了图15的探针的检查工具的沿着图2的III-III线的剖视图。

图17是示出图4的探针的第6变形例的立体图。

图18是收纳了图17的探针的检查工具的沿着图2的III-III线的剖视图。

图19是示出图4的探针的第7变形例的立体图。

图20是收纳了图19的探针的检查工具的沿着图2的III-III线的剖视图。

图21是示出图4的探针的第8变形例的立体图。

图22是收纳了图21的探针的检查工具的沿着图2的III-III线的剖视图。

图23是收纳了图21的探针的检查工具的沿着图22的XXIII-XXIII线的剖视图。

具体实施方式

下面，按照附图对本发明的一例进行说明。另外，在以下的说明中，根据需要使用表示特定的方向或位置的用语(例如包含“上”、“下”、“右”、“左”的用语)，但是，这些用语的使用是为了容易参照附图理解本发明，并不是利用这些用语的意思来限定本发明的技术范围。此外，以下的说明在本质上只不过是例示，并非意图限制本发明、本发明的适用物或本发明的用途。进而，附图是示意性的，各尺寸的比率等不是必须与现实情况一致。

本发明的一个实施方式的探针10具有导电性，例如如图1和图2所示，在被收纳于插座3的状态下进行使用，与插座3一起构成检查工具2。作为一例，在该检查工具2收纳有多个细长的薄板状的探针10。

此外，检查工具2构成检查单元1的一部分。如图1所示，检查单元1具有组装了至少一个检查工具2的大致长方体状的基础外壳4。该基础外壳4由大致矩形板状的第1外壳5、以及在该第1外壳5的板厚方向上堆叠的第2外壳6构成。

如图3所示，插座3具有大致长方体状的外壳50，该外壳50具有第1开口面51、与第1开口面51对置的第2开口面52、以及在与第1开口面51和第2开口面52垂直的方向上分别延伸的多个收纳部7。即，第1开口面51和第2开口面52分别构成大致长方体状的外壳50的一面。

如图2所示，第1开口面51和第2开口面52分别具有沿着其长度方向排成一列且等间隔地配置的多个开口部53、54(在图2中仅示出第1开口面51的开口部53)。在各收纳部7中分别各连接一组第1开口面51的开口部53和第2开口面52的开口部54。

各收纳部7具有缝状，能够相互电气独立地收纳并保持各探针10，并且，以使得所收纳的探针10的板面彼此相互对置的方式并排地相邻配置。如图3所示，在各收纳部7以如下方式收纳有各探针10：使得后述的第1触点部111经由第1开口面51的开口部53露出到插座3的外部，后述的第3触点部121经由第2开口面52的开口部54露出到插座3的外部。

如图3所示，从各收纳部7的排列方向(即图3的纸面贯通方向)观察，在构成各收纳部7的外壳50的内表面中的与第1开口面51和第2开口面52垂直的一对内侧面分别设置有阶梯部55(卡定部的一例)。各阶梯部55以相互对置的方式配置于第1开口面51和第2开口面52的中间部。另外，以阶梯部55为边界，各收纳部7的靠第1开口面51侧的宽度(即，从各收纳部7的排列方向观察，各收纳部7的与第1开口面51和第2开口面52平行的方向上的长度)W1比靠第2开口面52侧的宽度W2小。

如图4所示，各探针10具有：板状的第1接触部11和板状的第2接触部12；配置于第1接触部11和第2接触部12之间的板状的中间部13；与第1接触部11和中间部13连接的第1弹性部14；以及与中间部13和第2接触部12连接的第2弹性部15。在该探针10中，例如利用电铸法形成，第1接触部11、第2接触部12、中间部13、第1弹性部14和第2弹性部15一体地构成。

如图5所示，第1接触部11和第2接触部12沿着假想直线L3相互直列地配置，该假想直线L3沿探针10的长度方向延伸。

如图5所示，第1接触部11沿着直线L3延伸，在其延伸方向的一端部(即第1接触部11的延伸方向上的远离中间部13一方的端部)设置有第1触点部111，在其延伸方向的另一端部(即第1接触部11的延伸方向上的接近中间部一方的端部)连接有第1弹性部14。

如图5所示，第2接触部12沿着直线L3延伸，在其延伸方向的一端部(即第2接触部12的延伸方向上的远离中间部13一方的端部)设置有第2触点部121。

另外，在收纳于各收纳部7的状态下，如图2所示，各探针10的第1触点部111和第2触点部121分别配置于与各收纳部7的排列方向平行的假想直线L1、L2上。

如图5所示，中间部13具有沿着与连接第1接触部11和第2接触部12的排列方向(即直线L3的延伸方向)交叉的方向(例如垂直方向)延伸的大致矩形板状。该中间部13构成为，其长度方向的长度W3成为探针10的宽度(即从探针10的板厚方向(即图5的纸面贯通方向)观察与直线L3的延伸方向垂直的方向上的长度)的最大值。

如图5所示，第1弹性部14构成为具有细长的带状，在连接第1接触部11和第2接触部12的排列方向上伸缩。

详细地讲，如图6所示，第1弹性部14具有多个直线带部161和多个弯曲带部162(在该实施方式中，作为一例为5个直线带部161和6个弯曲带部162)沿着直线L3的延伸方向交替地连接而成的蜿蜒形状。各直线带部161沿着与直线L3的延伸方向垂直的方向延伸，并且，至少其延伸方向的端部的一方与弯曲带部162连接。各弯曲带部162呈沿着与直线L3的延伸方向垂直的方向向远离直线L3的方向突出的圆弧状延伸，并且，至少其延伸方向的端部的一方与直线带部161连接。此外，各弯曲带部162被配置成，其突出方向沿着直线L3的延伸方向交替地反转。

在直线L3的延伸方向上最远离中间部13而配置的弯曲带部162的延伸方向的一端部(即直线带部161的延伸方向上的连接有弯曲带部162的端部的相反侧的端部)与第1接触部11连接。此外，在直线L3的延伸方向上最接近中间部13而配置的弯曲带部162的一端部(即弯曲带部162的延伸方向上的连接有直线带部161的端部的相反侧的端部)在中间部13的延伸方向上的一端侧(即图6的右侧)与中间部13连接。

如图5所示，第2弹性部15构成为，具有相互隔开间隙153配置的多个带状弹性片(在该实施方式中为2个带状弹性片)151、152，且在连接第1接触部11和第2接触部12的排列方向上伸缩。

如图6所示，各带状弹性片151、152具有细长的带状，且具有多个直线带部171和多个弯曲带部172(在该实施方式中，作为一例为3个直线带部171和3个弯曲带部172)沿着直线L3的延伸方向交替地连接而成的蜿蜒形状。与第1弹性部14的直线带部161同样，各直线带部171沿着与直线L3的延伸方向垂直的方向延伸，并且，至少其延伸方向的端部的一方与弯曲带部172连接。与第1弹性部14的弯曲带部162同样，各弯曲带部172呈沿着与直线L3的延伸方向垂直的方向向远离直线L3的方向突出的圆弧状延伸，并且，至少其延伸方向的端部的一方与直线带部171连接。此外，各弯曲带部172被配置成，其突出方向沿着直线L3的延伸方向交替地反转。

在直线L3的延伸方向上最远离中间部13而配置的直线带部171的延伸方向的另一端部(即直线带部171的延伸方向上的连接有弯曲带部172的端部的相反侧的端部)与第2接触部12连接。此外，在直线L3的延伸方向上最接近中间部13而配置的弯曲带部172的另一端部(即弯曲带部172的延伸方向上的连接有直线带部171的端部的相反侧的端部)在中间部13的延伸方向上的一端侧与中间部13连接。

即，在所述探针10中，第1弹性部14的中间部13和第1接触部11之间的第1路径61的长度(即各直线带部161和各弯曲带部162的在其延伸方向上的长度的合计)与第2弹性部15的中间部13和第2接触部12之间的第2路径62的长度(即各直线带部171和各弯曲带部172的在其延伸方向上的长度的合计的平均)不同。

此外，第2弹性部15的各带状弹性片151、152构成为，其宽度(即各带状弹性片151、152的与第2接触部12和中间部13之间的路径的延伸方向垂直的宽度方向上的长度)W5、W6的合计比第1弹性部14的宽度(即第1弹性部14的与第1接触部11和中间部13之间的路径的延伸方向垂直的宽度方向上的长度)W4大。

即，在所述探针10中，第1路径61的宽度(即第1弹性部14的宽度W4)和第2路径62的宽度(即各带状弹性片151、152的宽度W5、W6的合计)不同。

其结果是，第1弹性部14的弹簧常数和第2弹性部15的弹簧常数不同。具体而言，构成为第1弹性部14的弹簧常数比第2弹性部15的弹簧常数小。由此，能够使第1触点部111与检查对象物或检查装置的接触压力比第2触点部121与检查对象物或检查装置的接触压力小。即，能够实现能够以不同的接触载荷与检查对象物和检查装置接触的探针10。

另外，在所述探针10中，通过使各弹性部14、15的蜿蜒形状的折返数(即弯曲带部162、172的数量)不同，从而使第1弹性部14的第1路径61的长度与第2弹性部15的第2路径62的长度不同，并且，使第1路径61的宽度与第2路径62的宽度不同，使第1弹性部14的弹簧常数与第2弹性部15的弹簧常数不同，但是不限于此。只要是第1弹性部14的弹簧常数与第2弹性部15的弹簧常数不同的结构即可，能够采用任意的结构。例如，在探针10由相同的导电性的材料构成的情况下，也可以以如下方式构成第1弹性部14和第2弹性部15：使得路径61、62的长度、路径61、62的宽度、路径61、62的板厚和各弹性部14、15的弯曲带部162、172的数量中的至少任意一方不同。即，能够实现设计自由度较高的探针10。

此外，根据所述探针10，第1弹性部14和第2弹性部15分别具有这样的蜿蜒形状：与第1接触部11和第2接触部12的排列方向交叉的直线带部161、171和与直线带部161、171连接的弯曲带部162、172交替地连续。由此，能够容易地实现能够以不同的接触载荷与检查对象物和检查装置接触的探针10。

此外，根据所述检查工具2，利用探针10，能够实现可与所要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查工具2。

另外，如图3所示，在所述检查工具2中，探针10以中间部13的延伸方向上的两端部与设置于插座3的外壳50的内侧面的阶梯部55接触的状态收纳于收纳部7。即，探针10借助作为卡定部的一例的阶梯部55，沿着第1接触部11和第2接触部12的排列方向，在从与弹簧常数较大的第2弹性部15连接的第2接触部12朝向与弹簧常数较小的第1弹性部14连接的第1接触部11的方向上被支承和卡定。由此，能够可靠地实现能够与所要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查工具2。

此外，根据所述检查单元1，利用所述检查工具2，能够实现可与所要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查单元1。

另外，所述检查单元1能够构成检查装置的一部分。根据这种检查装置，利用检查单元1，能够实现能够与被要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查装置。

此外，对于收纳于检查工具2的探针10，第1弹性部14的配置于最接近第1接触部11的位置的直线带部161与构成收纳部7的、外壳50的与第2开口面52对置的内表面503抵接，第2弹性部15的配置于最接近第2接触部12的位置的直线带部171与基础外壳4的第1外壳5抵接。即，在所述检查单元1中，第1弹性部14的直线带部161和第2弹性部15的直线带部171被插座3和基础外壳4支承，从而探针10被保持于收纳部7。

第1接触部11和第2接触部12能够根据探针10的设计等适当变更其形状等。例如，第1触点部111和第2触点部121分别能够根据检查装置或检查对象物的各种形式适当变更形状和位置等。

各弹性部14、15只要构成为在第1接触部11和第2接触部12的排列方向上伸缩、且弹簧常数相互不同即可。

例如，如图7～图10所示，可以利用相互隔开间隙配置的多个带状弹性片构成第1弹性部14，也可以利用单一的带状弹性片构成第2弹性部15。

详细地讲，在图7和图8所示的探针10中，第2弹性部15由单一的带状弹性片154构成。图7和图8的探针10的第2弹性部15的带状弹性片154构成为具有3个直线带部171和3个弯曲带部172沿着探针10的延伸方向交替地连接而成的蜿蜒形状，其宽度W7比图6所示的各带状弹性片151、152的宽度W5、W6大。

在图9和图10所示的探针10中，第1弹性部14由相互隔开间隙143配置的2个带状弹性片141、142构成，第2弹性部15由单一的带状弹性片154构成。图9和图10的探针10的第1弹性部14的各带状弹性片141、142分别具有3个直线带部161和4个弯曲带部162沿着探针10的延伸方向交替地连接而成的蜿蜒形状。此外，图9和图10的探针10的第2弹性部15的带状弹性片154构成为具有4个直线带部171和4个弯曲带部172沿着探针10的延伸方向交替地连接而成的蜿蜒形状，其宽度W8比图7和图8的探针10的第2弹性部15的带状弹性片154的宽度W7大。

在图9和图10所示的探针10的中间部13分别设置有突起部190，该突起部190从中间部13的延伸方向的两端部沿着中间部13的延伸方向相互向相反方向突出。图9和图10所示的探针10以借助中间部13的突起部190按压插座3的外壳50的内侧面501的状态收纳于收纳部7。此外，如图10所示，在探针10收纳于外壳50的收纳部7的状态下，第1弹性部14的配置于最接近第1接触部11的位置的带状弹性片141的直线带部161与构成收纳部7的、外壳50的与第2开口面52对置的内表面503抵接。即，探针10借助作为卡定部的一例的外壳50的内侧面501和与第2开口面52对置的内表面503，沿着第1接触部11和第2接触部12的排列方向，在从与弹簧常数较大的第2弹性部15连接的第2接触部12朝向与弹簧常数较小的第1弹性部14连接的第1接触部11的方向上被卡定。

另外，在图10所示的插座3的外壳50，借助外壳50的内侧面501和与第2开口面52对置的内表面503卡定探针10，因此，未设置阶梯部55，但是，也可以使用具有阶梯部55的外壳50。

此外，例如，如图11和图12所示，也可以利用沿着探针10的延伸方向直列地连结的2个弹性单元155构成第2弹性部15。

详细地讲，如图12所示，各弹性单元155由以下部分构成：沿着探针10的延伸方向延伸的连结带部180；沿着与探针10的延伸方向垂直的宽度方向延伸且在探针10的延伸方向上隔开间隙配置的一对直线带部181；以及针对各直线带部181的连结带部180将配置于相同侧的端部分别连接起来的弯曲带部182。弯曲带部182呈在与探针10的延伸方向垂直的方向上向远离连结带部180的方向突出的圆弧状延伸。

探针10的延伸方向上的靠第1接触部11侧的弹性单元155(以下称为第1弹性单元155)的连结带部180与中间部13的其延伸方向的大致中央部和第1弹性单元155的靠第1接触部11侧的直线带部181的大致中央部连接。此外，探针10的延伸方向上的靠第2接触部12侧的弹性单元155(以下称为第2弹性单元155)的连结带部180与第1弹性单元155的靠第2接触部12侧的直线带部181的大致中央部和第2弹性单元155的靠第1接触部11侧的直线带部181连接。此外，在第2弹性单元155的靠第2接触部12侧的直线带部181的大致中央部连接有第2接触部12。

即，各弹性部14、15不限于由直线带部161、171和弯曲带部162、172构成的蜿蜒形状，还可以采用能够确保各触点部111、121与检查装置或检查对象物之间的接触压力的其他结构。

另外，第2弹性部15不限于连接2个弹性单元155而构成的情况，也可以仅利用1个弹性单元155构成，还可以连接3个以上的弹性单元155而构成。此外，也可以利用多个弹性单元155构成第1弹性部14。

此外，例如，如图13和图14所示，也可以以如下方式构成第2弹性部15：使得从探针10的板厚方向观察，在与探针10的延伸方向垂直的方向上，第2接触部12远离直线L3进行配置(即第1触点部111和第2触点部121偏置)。

详细地讲，在图13和图14的探针10中，第2接触部12由单一的带状弹性片156构成。图13和图14的探针10的第2弹性部15的带状弹性片156为2个直线带部171和3个弯曲带部172沿着探针10的延伸方向交替地连接而成的蜿蜒形状，具有与第1弹性部14的宽度W4大致相同的宽度。

收纳图13和图14的探针10的插座3在与直线L3垂直的方向上远离直线L3的一方的外壳50的侧壁502设置有开口部56。该开口部56在直线L3的延伸方向上从阶梯部55延伸到第2开口面52，并与收纳部7和第2开口面52的开口部54连接。图13和图14所示的探针10以第2接触部12从第2开口面52的开口部54和外壳50的侧壁502的开口部56露出到外壳50的外部的状态收纳于收纳部7。

另外，也可以代替第2弹性部15，以第1触点部111和第2触点部121偏置的方式构成第1弹性部14。

中间部13不限于沿着与连接第1接触部11和第2接触部12的排列方向交叉的方向延伸的板状的情况。例如，也可以如图15和图16所示，中间部13由沿着与第1接触部11和第2接触部12的排列方向垂直的方向延伸的板状的主体部130、以及分别设置于主体部130的延伸方向的两端部的第1臂部131和第2臂部132构成。第1臂部131从中间部13的其延伸方向的一端部(即图16的右端部)的靠第1接触部11侧的面沿着探针10的延伸方向朝向第1接触部11延伸。此外，第2臂部132从中间部的其延伸方向的另一端部(即图16的左端部)的靠第2接触部12侧的面沿着探针10的延伸方向朝向第2接触部12延伸。

如图16所示，在探针10收纳于外壳50的收纳部7的状态下，第1臂部131的末端部133与构成外壳50的收纳部7的外壳50的与第2开口面52对置的内表面503抵接，第2臂部132的末端部134与基础外壳4的第1外壳5抵接。即，构成外壳50的收纳部7的外壳50的与第2开口面52对置的内表面503构成卡定部，该卡定部沿着排列方向在从第2接触部12朝向第1接触部11的方向上卡定收纳于收纳部7的探针10的中间部13。此外，图15和图16所示的探针10构成为，中间部13的第1臂部131和第2臂部132被插座3和基础外壳4支承，从而探针10被保持于收纳部7。

另外，在图16所示的插座3的外壳50，借助外壳50的与第2开口面52对置的内表面503卡定探针10，因此，未设置阶梯部55，但是，也可以使用具有阶梯部55的外壳50。

此外，例如，也可以如图17和图18所示，中间部13由以下部分构成：沿着与第1接触部11和第2接触部12的排列方向垂直的方向延伸的板状的主体部130；以及设置于主体部130的延伸方向的一端部且沿着探针10的延伸方向相对于中间部13向相反方向延伸的第3臂部135和第4臂部136。第3臂部135从中间部13的其延伸方向的一端部(即图18的右端部)的第1接触部11侧沿着探针10的延伸方向朝向第1接触部11延伸。此外，在第3臂部135的末端部设置有抵接部137，该抵接部137与主体部130大致平行地从第3臂部135朝向第1接触部11延伸。此外，第4臂部136从中间部13的其延伸方向的一端部(即图18的右端部)的第2接触部12侧沿着探针10的延伸方向朝向第2接触部12延伸。此外，在第4臂部136的末端部设置有抵接部138，该抵接部138与主体部130大致平行地从第4臂部136朝向第2接触部12延伸。另外，第1弹性部14和第2弹性部15与中间部13利用主体部130的延伸方向的另一端部(即图18的左端部)连接。

如图18所示，在探针10收纳于外壳50的收纳部7的状态下，第3臂部135的抵接部137与构成外壳50的收纳部7的、外壳50的与第2开口面52对置的内表面503抵接，第4臂部136的抵接部138与基础外壳4的第1外壳5抵接。即，构成外壳50的收纳部7的、外壳50的与第2开口面52对置的内表面503构成卡定部，该卡定部沿着排列方向在从第2接触部12朝向第1接触部11的方向上将收纳于收纳部7的探针10的中间部13卡定。此外，图17和图18所示的探针10构成为，中间部13的第3臂部135的抵接部137和第4臂部136的抵接部138被插座3和基础外壳4支承，从而探针10被保持于收纳部7。

另外，在图18所示的插座3的外壳50，借助外壳50的与第2开口面52对置的内表面503卡定探针10，因此，未设置阶梯部55，但是，也可以使用具有阶梯部55的外壳50。

此外，第2弹性部15不限于由2个带状弹性片151、152构成的情况，例如，如图19和图20所示，也可以利用4个带状弹性片191、192、193、194构成。另外，第2弹性部15可以由单一的带状弹性片构成，也可以由3个带状弹性片构成，还可以由5个以上的带状弹性片构成。

此外，例如，也可以如图21和图22所示，在中间部13设置在其板厚方向上贯通的贯通孔部139。在图21和图22所示的探针10中，中间部13具有大致矩形状，在其中央部设置有大致圆形状的贯通孔部139。另外，如图22所示，在中间部13的探针10的延伸方向上的靠第1接触部11侧的面且在与探针10的延伸方向垂直的方向上的一端部(即图22的右端部)连接有第1弹性部14，在中间部13的与探针10的延伸方向垂直的方向上的靠一端部侧的面且在探针10的延伸方向上的第2接触部12侧连接有第2弹性部15。

如图22所示，在探针10收纳于外壳50的收纳部7的状态下，第1弹性部14的配置于最接近第1接触部11的位置的直线带部161与构成收纳部7的、外壳50的与第2开口面52对置的内表面503抵接，第2弹性部15的直线带部171与基础外壳4的第1外壳5抵接。即，图21和图22所示的探针10构成为，第1弹性部14的直线带部161和第2弹性部15的直线带部171被插座3和基础外壳4支承，从而探针10被保持于收纳部7。

收纳图21和图22所示的探针10的插座3的外壳50与图14所示的插座3同样，从探针10的板厚方向观察，在与直线L3垂直的方向上远离直线L3的一方的外壳50的侧壁502设置有开口部56。在该插座3的外壳50设置有沿着各收纳部7的排列方向(即图22的纸面贯通方向)延伸且连通各收纳部7的连结用孔部504。

此外，如图23所示，在外壳50的各收纳部7的排列方向的两端部设置有阶梯部57，该阶梯部57在收纳部7的排列方向上的宽度从第2开口面52朝向第1开口面51变窄。各探针10利用配置于中间部13的贯通孔部139的大致圆柱形状的连结棒部58一体化，收纳于对应的收纳部7。连结棒部58配置于连结用孔部504，其延伸方向的两端部被外壳50的阶梯部57卡定。即，构成外壳50的收纳部7的、外壳50的与第2开口面52对置的内表面503以及将连结棒部58卡定的阶梯部57构成卡定部，该卡定部沿着排列方向在从第2接触部12朝向第1接触部11的方向上将收纳于收纳部7的探针10的中间部13卡定。

检查工具2和基础外壳4能够根据检查装置或检查对象物的各种形式适当变更其结构。即，使检查工具2和基础外壳4通用化，能够提高检查单元1(进而检查装置)的生产率。

以上参照附图详细说明了本发明中的各种实施方式，但是，最后，对本发明的各种方式进行说明。另外，在以下的说明中，作为一例，还添加参照标号进行记载。

本发明的第1方式的探针10具有：板状的第1接触部11和板状的第2接触部12；中间部13，其配置于所述第1接触部11和所述第2接触部12之间；第1弹性部14，其与所述第1接触部11和所述中间部13连接，沿着连接所述第1接触部11和所述第2接触部12的排列方向伸缩；以及第2弹性部15，其与所述中间部13和所述第2接触部12连接，沿着所述排列方向伸缩，所述第1弹性部14的弹簧常数构成为比所述第2弹性部15的弹簧常数小。

根据第1方式的探针10，第1弹性部14与第1接触部11和中间部13连接且沿着连接第1接触部11和第2接触部12的排列方向伸缩，第2弹性部15与中间部13和第2接触部12连接且沿着连接第1接触部11和第2接触部12的排列方向伸缩，所述第1弹性部14的弹簧常数构成为比所述第2弹性部15的弹簧常数小。由此，能够实现能够以不同的接触载荷与检查对象物和检查装置接触的探针10。

在本发明的第2方式的探针10中，所述第1弹性部14的所述中间部13和所述第1接触部11之间的第1路径61的长度与所述第2弹性部15的所述中间部13和所述第2接触部12之间的第2路径62的长度不同，或者所述第1路径61的在与其延伸方向垂直的宽度方向上的长度即第1宽度与所述第2路径62的在与其延伸方向垂直的宽度方向上的长度即第2宽度不同，或者所述第1路径61的长度与所述第2路径62的长度不同且所述第1宽度与所述第2宽度不同。

根据第2方式的探针10，能够实现设计自由度较高的探针10。

在本发明的第3方式的探针10中，所述第1弹性部14和所述第2弹性部15分别具有与所述排列方向交叉的直线带部161、171和与所述直线带部161、171连接的弯曲带部162、172交替地连续的蜿蜒形状。

根据第3方式的探针10，能够容易地实现能够以不同的接触载荷与检查对象物和检查装置接触的探针10。

在本发明的第4方式的探针10中，所述第1弹性部14的所述弯曲带部162的数量构成为比所述第2弹性部15的所述弯曲带部172的数量多。

根据第4方式的探针10，能够实现设计自由度较高的探针10。

本发明的第5方式的检查工具2具有：第1方面～第4方面中的任意一个方面所述的探针10；以及插座3，其具有能够收纳所述探针的收纳部，所述插座3具有卡定部55、501、503、57，该卡定部55、501、503、57沿着所述排列方向在从所述第2接触部12朝向所述第1接触部11的方向上将收纳于所述收纳部7的所述探针10的所述中间部13卡定。

根据第5方式的检查工具2，利用探针10，能够实现可与所要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查工具2。

本发明的第6方式的检查单元1具有至少一个所述检查工具。

根据第6方式的检查单元1，利用检查工具2，能够实现可与所要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查单元1。

本发明的第7方式的检查装置具有至少一个所述检查单元1。

根据第7方式的检查装置，能够实现可与所要求的接触载荷不同的检查对象物和检查装置接触的检查装置。

另外，通过适当组合所述各种实施方式或变形例中的任意的实施方式或变形例，能够发挥各自具有的效果。此外，能够进行实施方式彼此的组合或实施例彼此的组合或实施方式与实施例的组合，并且，还能够进行不同实施方式或实施例中的特征彼此的组合。

产业上的可利用性

本发明的探针例如能够应用于液晶面板的检查所使用的检查工具。

本发明的检查工具例如能够应用于液晶面板的检查所使用的检查单元。

本发明的检查单元例如能够应用于液晶面板的检查装置。

本发明的检查装置例如能够用于液晶面板的检查。

标号说明

1 检查单元

2 检查工具

3 插座

4 基础外壳

5 第1外壳

6 第2外壳

7 收纳部

10 探针

11 第1接触部

111 第1触点部

12 第2接触部

121 第2触点部

13 中间部

130 主体部

131、132、135、136 臂部

133、134 末端部

137、138 抵接部

139 贯通孔部

14 第1弹性部

141、142 带状弹性片

143 间隙

15 第2弹性部

151、152、154、156、191、192、193、194 带状弹性片

153 间隙

155 弹性单元

161、171、181 直线带部

162、172、182 弯曲带部

180 连结带部

190 突起部

50 外壳

501 内侧面

502 侧壁

503 内表面

504 连结用孔部

51 第1开口面

52 第2开口面

53、54、56 开口部

55、57 阶梯部

58 连结棒部

61 第1路径

62 第2路径

L1～L3 直线

W1～W8 宽度。

Claims (7)

1.一种探针，该探针具有：

第1接触部和第2接触部；

中间部，其配置于所述第1接触部和所述第2接触部之间；

第1弹性部，其与所述第1接触部和所述中间部连接，沿着连接所述第1接触部和所述第2接触部的排列方向伸缩；以及

第2弹性部，其与所述中间部和所述第2接触部连接，沿着所述排列方向伸缩，

所述第1接触部为沿着所述排列方向延伸的板状，具有第1触点部，所述第1触点部设置于所述第1接触部的在所述排列方向上远离所述中间部一方的端部，

所述第2接触部为沿着所述排列方向延伸的板状，具有第2触点部，所述第2触点部设置于所述第2接触部的在所述排列方向上远离所述中间部一方的端部，

所述第1弹性部的弹簧常数构成为比所述第2弹性部的弹簧常数小。

2.根据权利要求1所述的探针，其中，

所述第1弹性部的所述中间部和所述第1接触部之间的第1路径的长度与所述第2弹性部的所述中间部和所述第2接触部之间的第2路径的长度不同，或者所述第1路径的在与其延伸方向垂直的宽度方向上的长度即第1宽度与所述第2路径的在与其延伸方向垂直的宽度方向上的长度即第2宽度不同，或者所述第1路径的长度与所述第2路径的长度不同且所述第1宽度与所述第2宽度不同。

3.根据权利要求1或2所述的探针，其中，

所述第1弹性部和所述第2弹性部分别具有与所述排列方向交叉的直线带部和与所述直线带部连接的弯曲带部交替地连续的蜿蜒形状。

4.根据权利要求3所述的探针，其中，

所述第1弹性部的所述弯曲带部的数量构成为比所述第2弹性部的所述弯曲带部的数量多。

5.一种检查工具，其具有：

权利要求1～4中的任意一项所述的探针；以及

插座，其具有能够收纳所述探针的收纳部，

所述插座具有卡定部，该卡定部沿着所述排列方向在从所述第2接触部朝向所述第1接触部的方向上将收纳于所述收纳部中的所述探针的所述中间部卡定。

6.一种检查单元，其具有至少一个权利要求5所述的检查工具。

7.一种检查装置，其具有至少一个权利要求6所述的检查单元。

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