KR20190085835A

KR20190085835A - 프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치

Info

Publication number: KR20190085835A
Application number: KR1020180123612A
Authority: KR
Inventors: 나오야 사사노; 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2018-01-11
Filing date: 2018-10-17
Publication date: 2019-07-19
Also published as: CN111602062A; JPWO2019138507A1; CN111602062B; KR101911005B1; WO2019138507A1; JP6988920B2

Abstract

본 발명은 프로브 핀이 제1 접촉부 및 제2 접촉부와, 제1 접촉부 및 제2 접촉부의 사이에 배치된 중간부와, 제1 접촉부 및 중간부에 접속되며 제1 접촉부 및 제2 접촉부의 배열 방향을 따라 신축하는 제1 탄성부와, 중간부 및 제2 접촉부에 접속되며 제1 접촉부 및 제2 접촉부의 배열 방향을 따라 신축하는 제2 탄성부를 구비하고, 제1 탄성부의 스프링 상수가 제2 탄성부의 스프링 상수보다도 작아지도록 구성되어 있다.

Description

프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치 {PROBE PIN, INSPECTION JIG, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS}

본 발명은, 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치에 관한다.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로 그 제조 공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉 전극, 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속함으로써 행해진다.

이러한 프로브 핀으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재하여 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다. 상기 프로브 핀에서는, 사행부에 의해 각 콘택트와 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자 사이의 접압을 확보하여, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대한 접촉 신뢰성을 높이고 있다.

일본 특허 공개 제2002-134202호 공보

근년, 검사 대상물의 다양화 등에 따라, 예를 들어 검사 대상물의 파손 등을 방지하기 위해 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 각각 상이한 접촉 하중으로 접촉할 것이 프로브 핀에 요구되는 경우가 있다.

특허문헌 1의 프로브 핀에서는, 각 콘택트가 전체로 1개의 탄성부를 구성하는 사행부의 양단부에 각각 접속되어 있으므로, 전자 부품 및 피접속 전자 부품에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉할 수 없는 경우가 있다.

본 발명은, 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉가능한 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛, 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일례의 프로브 핀은,

판형 제1 접촉부 및 판형 제2 접촉부와,

상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부의 사이에 배치된 중간부와,

상기 제1 접촉부 및 상기 중간부에 접속되며, 상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제1 탄성부와,

상기 중간부 및 상기 제2 접촉부에 접속되며, 상기 배열 방향을 따라 신축하는 제2 탄성부

를 구비하고,

상기 제1 탄성부의 스프링 상수가 상기 제2 탄성부의 스프링 상수보다도 작아지도록 구성되어 있다.

또한, 본 발명의 일례의 검사 지그는,

상기 프로브 핀과,

상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 소켓

을 구비하고,

상기 소켓이,

상기 수용부에 수용된 상기 프로브 핀의 상기 중간부의 그 연장 방향의 양단부를, 상기 배열 방향을 따라 상기 제2 접촉부로부터 상기 제1 접촉부를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지하는 걸림 지지부를 갖고 있다.

또한, 본 발명의 일례의 검사 유닛은,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.

또한, 본 발명의 일례의 검사 장치는,

상기 검사 유닛을 적어도 하나 구비했다.

상기 프로브 핀에 의하면, 제1 접촉부 및 중간부에 접속되며 또한 제1 접촉부 및 제2 접촉부를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제1 탄성부의 스프링 상수가, 중간부 및 제2 접촉부에 접속되며 또한 제1 접촉부 및 제2 접촉부를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제2 탄성부의 스프링 상수보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉 가능한 프로브 핀을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 지그를 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 유닛을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 장치에 의하면, 상기 검사 유닛에 의해, 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 장치를 실현할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 검사 유닛을 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태의 검사 지그를 도시하는 사시도이다.
도 3은 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다.
도 5는 도 4의 프로브 핀의 평면도이다.
도 6은 도 4의 프로브 핀의 제1 탄성부, 제2 탄성부 및 중간부의 확대 평면도이다.
도 7은 도 4의 프로브 핀의 제1 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 8은 도 7의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 9는 도 4의 프로브 핀의 제2 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 10은 도 9의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 11은 도 4의 프로브 핀의 제3 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 12는 도 11의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 13은 도 4의 프로브 핀의 제4 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 14는 도 13의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 15는 도 4의 프로브 핀의 제5 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 16은 도 15의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 17은 도 4의 프로브 핀의 제6 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 18은 도 17의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 19는 도 4의 프로브 핀의 제7 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 20은 도 19의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 21은 도 4의 프로브 핀의 제8 변형예를 도시하는 사시도이다.
도 22는 도 21의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 23은 도 21의 프로브 핀을 수용한 검사 지그의 도 22의 XXIII-XXIII선을 따른 단면도이다.

이하, 본 발명의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, "상", "하", "우", "좌"를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하지는 않는다.

본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀(10)은 도전성을 갖고, 예를 들어 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)에 수용된 상태에서 사용되어, 소켓(3)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 이 검사 지그(2)에는, 일례로서 복수의 가늘고 긴 박판형 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.

또한, 검사 지그(2)는 검사 유닛(1)의 일부를 구성하고 있다. 검사 유닛(1)은, 도 1에 도시한 바와 같이 적어도 하나의 검사 지그(2)가 내장된 대략 직육면체형 베이스 하우징(4)을 구비하고 있다. 이 베이스 하우징(4)은 대략 직사각형 판형 제1 하우징(5)과, 이 제1 하우징(5)의 판 두께 방향으로 적층된 제2 하우징(6)으로 구성되어 있다.

소켓(3)은, 도 3에 도시한 바와 같이 제1 개구면(51)과, 제1 개구면(51)에 대향하는 제2 개구면(52)과, 제1 개구면(51) 및 제2 개구면(52)에 직교하는 방향으로 각각 연장되는 복수의 수용부(7)를 갖는 대략 직육면체형 하우징(50)을 구비하고 있다. 즉, 제1 개구면(51) 및 제2 개구면(52)은, 각각 대략 직육면체형 하우징(50)의 일면을 구성하고 있다.

도 2에 도시한 바와 같이, 제1 개구면(51) 및 제2 개구면(52)은 그 길이 방향을 따라 일렬로 나란히 또한 등간격으로 배치된 복수의 개구부(53, 54)를 각각 갖고 있다(도 2에는 제1 개구면(51)의 개구부(53)만 도시함). 각 수용부(7)에는, 각각 제1 개구면(51)의 개구부(53) 및 제2 개구면(52)의 개구부(54)가 1조씩 접속되어 있다.

각 수용부(7)는 슬릿상을 갖고, 각 프로브 핀(10)을 서로 전기적으로 독립하여 수용 가능하면서 유지 가능함과 함께, 수용한 프로브 핀(10)의 판면끼리가 서로 대향하도록 나란히 인접하여 배치되어 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 각 수용부(7)에는 제1 개구면(51)의 개구부(53)를 통해 후술하는 제1 접점부(111)가 소켓(3)의 외부로 노출되고, 제2 개구면(52)의 개구부(54)를 통해 후술하는 제3 접점부(121)가 소켓(3)의 외부로 노출되도록 각 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.

도 3에 도시한 바와 같이 각 수용부(7)의 배열 방향(즉, 도 3의 지면 관통 방향)으로부터 보아, 각 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 내면 중 제1 개구면(51) 및 제2 개구면(52)에 직교하는 한 쌍의 내측면에 각각 단차부(55)(걸림 지지부의 일례)가 마련되어 있다. 각 단차부(55)는 제1 개구면(51) 및 제2 개구면(52)의 중간부에 서로 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 단차부(55)를 경계로 하여, 각 수용부(7)의 제1 개구면(51)측의 폭(즉, 각 수용부(7)의 배열 방향으로부터 보아, 각 수용부(7)에 있어서의 제1 개구면(51) 및 제2 개구면(52)에 평행한 방향의 길이)(W1)이 제2 개구면(52)측의 폭(W2)보다도 작게 되어 있다.

각 프로브 핀(10)은, 도 4에 도시한 바와 같이 판형 제1 접촉부(11) 및 판형 제2 접촉부(12)와, 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 사이에 배치된 판형 중간부(13)와, 제1 접촉부(11) 및 중간부(13)에 접속된 제1 탄성부(14)와, 중간부(13) 및 제2 접촉부(12)에 접속된 제2 탄성부(15)를 구비하고 있다. 이 프로브 핀(10)에서는, 예를 들어 전기 주조법으로 형성되며, 제1 접촉부(11), 제2 접촉부(12), 중간부(13), 제1 탄성부(14) 및 제2 탄성부(15)가 일체로 구성되어 있다.

제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)는, 도 5에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 긴 방향으로 연장되는 가상 직선(L3)을 따라 서로 직렬적으로 배치되어 있다.

제1 접촉부(11)는, 도 5에 도시한 바와 같이 직선(L3)을 따라 연장되어 있고, 그 연장 방향의 일단부(즉, 제1 접촉부(11)의 연장 방향에 있어서의 중간부(13)로부터 먼 쪽의 단부)에 제1 접점부(111)가 마련되고, 그 연장 방향의 타단부(즉, 제1 접촉부(11)의 연장 방향에 있어서의 중간부에 가까운 쪽의 단부)에 제1 탄성부(14)가 접속되어 있다.

제2 접촉부(12)는, 도 5에 도시한 바와 같이 직선(L3)을 따라 연장되어 있고, 그 연장 방향의 일단부(즉, 제2 접촉부(12)의 연장 방향에 있어서의 중간부(13)로부터 먼 쪽의 단부)에 제2 접점부(121)가 마련되어 있다.

또한, 각 수용부(7)에 수용된 상태에서는, 각 프로브 핀(10)의 제1 접점부(111) 및 제2 접점부(121)는 도 2에 도시한 바와 같이, 각 수용부(7)의 배열 방향에 평행한 가상 직선(L1, L2) 상에 각각 배치되어 있다.

중간부(13)는, 도 5에 도시한 바와 같이 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향(즉, 직선(L3)의 연장 방향)에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되는 대략 직사각형 판형으로 되어 있다. 이 중간부(13)는, 그 길이 방향의 길이(W3)가 프로브 핀(10)의 폭(즉, 프로브 핀(10)의 판 두께 방향(즉, 도 5의 지면 관통 방향)으로부터 보아 직선(L3)의 연장 방향에 직교하는 방향의 길이)의 최댓값이 되도록 구성되어 있다.

제1 탄성부(14)는, 도 5에 도시한 바와 같이 가늘고 긴 띠 형상을 갖고, 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향으로 신축하도록 구성되어 있다.

상세하게는, 도 6에 도시한 바와 같이 제1 탄성부(14)는 복수의 직선 띠부(161) 및 복수의 만곡 띠부(162)(이 실시 형태에서는, 일례로서 5개의 직선 띠부(161) 및 6개의 만곡 띠부(162))가 직선(L3)의 연장 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상을 갖고 있다. 각 직선 띠부(161)는 직선(L3)의 연장 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있음과 함께, 적어도 그 연장 방향의 단부 한쪽이 만곡 띠부(162)에 접속되어 있다. 각 만곡 띠부(162)는 직선(L3)의 연장 방향에 직교하는 방향을 따라 직선(L3)으로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 있음과 함께, 적어도 그 연장 방향의 단부 한쪽이 직선 띠부(161)에 접속되어 있다. 또한, 각 만곡 띠부(162)는 그 돌출 방향이 직선(L3)의 연장 방향을 따라 교대로 반전되도록 배치되어 있다.

직선(L3)의 연장 방향에 있어서 중간부(13)로부터 가장 이격되어 배치된 만곡 띠부(162)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 직선 띠부(161)의 연장 방향에 있어서의 만곡 띠부(162)가 접속되어 있는 단부의 반대측의 단부)가 제1 접촉부(11)에 접속되어 있다. 또한, 직선(L3)의 연장 방향에 있어서 중간부(13)에 가장 접근하여 배치된 만곡 띠부(162)의 일단부(즉, 만곡 띠부(162)의 연장 방향에 있어서의 직선 띠부(161)가 접속되어 있는 단부의 반대측의 단부)가 중간부(13)의 연장 방향에 있어서의 일단부측(즉, 도 6의 우측)에서 중간부(13)에 접속되어 있다.

제2 탄성부(15)는, 도 5에 도시한 바와 같이 서로 간극(153)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는 2개의 띠 형상 탄성편)(151, 152)을 갖고, 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향으로 신축하도록 구성되어 있다.

도 6에 도시한 바와 같이, 각 띠 형상 탄성편(151, 152)은 가늘고 긴 띠 형상을 갖고, 복수의 직선 띠부(171) 및 복수의 만곡 띠부(172)(이 실시 형태에서는, 일례로서 3개의 직선 띠부(171) 및 3개의 만곡 띠부(172))가 직선(L3)의 연장 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상을 갖고 있다. 각 직선 띠부(171)는, 제1 탄성부(14)의 직선 띠부(161)와 마찬가지로 직선(L3)의 연장 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 있음과 함께, 적어도 그 연장 방향의 단부 한쪽이 만곡 띠부(172)에 접속되어 있다. 각 만곡 띠부(172)는, 제1 탄성부(14)의 만곡 띠부(162)와 마찬가지로 직선(L3)의 연장 방향에 직교하는 방향을 따라 직선(L3)으로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 있음과 함께, 적어도 그 연장 방향의 단부 한쪽이 직선 띠부(171)에 접속되어 있다. 또한, 각 만곡 띠부(172)는, 그 돌출 방향이 직선(L3)의 연장 방향을 따라 교대로 반전되도록 배치되어 있다.

직선(L3)의 연장 방향에 있어서 중간부(13)로부터 가장 이격되어 배치된 직선 띠부(171)의 연장 방향의 타단부(즉, 직선 띠부(171)의 연장 방향에 있어서의 만곡 띠부(172)가 접속되어 있는 단부의 반대측의 단부)가 제2 접촉부(12)에 접속되어 있다. 또한, 직선(L3)의 연장 방향에 있어서 중간부(13)에 가장 접근하여 배치된 만곡 띠부(172)의 타단부(즉, 만곡 띠부(172)의 연장 방향에 있어서의 직선 띠부(171)가 접속되어 있는 단부의 반대측의 단부)가 중간부(13)의 연장 방향에 있어서의 일단부측에서 중간부(13)에 접속되어 있다.

즉, 상기 프로브 핀(10)에서는, 제1 탄성부(14)의 중간부(13) 및 제1 접촉부(11) 사이의 제1 경로(61)의 길이(즉, 각 직선 띠부(161) 및 각 만곡 띠부(162)의 그 연장 방향의 길이의 합계)와, 제2 탄성부(15)의 중간부(13) 및 제2 접촉부(12) 사이의 제2 경로(62)의 길이(즉, 각 직선 띠부(171) 및 각 만곡 띠부(172)의 그 연장 방향의 길이의 합계의 평균)가 상이하다.

또한, 제2 탄성부(15)의 각 띠 형상 탄성편(151, 152)은, 그 폭(즉, 각 띠 형상 탄성편(151, 152)의 제2 접촉부(12) 및 중간부(13) 사이의 경로 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이)(W5, W6)의 합계가 제1 탄성부(14)의 폭(즉, 제1 탄성부(14)의 제1 접촉부(11) 및 중간부(13) 사이의 경로 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이)(W4)보다도 커지도록 구성되어 있다.

즉, 상기 프로브 핀(10)에서는 제1 경로(61)의 폭(즉, 제1 탄성부(14)의 폭(W4))과, 제2 경로(62)의 폭(즉, 각 띠 형상 탄성편(151, 152)의 폭(W5, W6)의 합계)이 상이하다.

그 결과, 제1 탄성부(14)의 스프링 상수와 제2 탄성부(15)의 스프링 상수가 상이하다. 구체적으로는, 제1 탄성부(14)의 스프링 상수가 제2 탄성부(15)의 스프링 상수보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 제1 접점부(111)의 검사 대상물 또는 검사 장치에 대한 접압을 제2 접점부(121)의 검사 대상물 또는 검사 장치에 대한 접압보다도 작게 할 수 있다. 즉, 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

또한, 상기 프로브 핀(10)에서는, 각 탄성부(14, 15)의 사행 형상의 굽이의 수(즉, 만곡 띠부(162, 172)의 수)를 상이하게 함으로써 제1 탄성부(14)의 제1 경로(61)의 길이와 제2 탄성부(15)의 제2 경로(62)의 길이를 상이하게 하고, 또한 제1 경로(61)의 폭과 제2 경로(62)의 폭을 상이하게 하여 제1 탄성부(14)의 스프링 상수와 제2 탄성부(15)의 스프링 상수를 상이하게 하고 있지만, 이것으로 제한되지 않는다. 제1 탄성부(14)의 스프링 상수와 제2 탄성부(15)의 스프링 상수가 상이한 구성이면, 임의의 구성을 채용할 수 있다. 예를 들어, 프로브 핀(10)이 동일한 도전성의 재료로 구성되어 있는 경우, 경로(61, 62)의 길이, 경로(61, 62)의 폭, 경로(61, 62)의 판 두께 및 각 탄성부(14, 15)의 만곡 띠부(162, 172)의 수 중 적어도 어느 것이 상이하도록 제1 탄성부(14) 및 제2 탄성부(15)를 구성해도 된다. 즉, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

또한, 상기 프로브 핀(10)에 의하면, 제1 탄성부(14) 및 제2 탄성부(15)의 각각이 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 배열 방향으로 교차하는 직선 띠부(161, 171)와, 직선 띠부(161, 171)에 접속된 만곡 띠부(162, 172)가 교대로 연속되는 사행 형상을 갖고 있다. 이에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 용이하게 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 지그(2)에 의하면, 프로브 핀(10)에 의해 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.

또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 검사 지그(2)에서는 프로브 핀(10)은 중간부(13)의 그 연장 방향으로, 양단부가 소켓(3)의 하우징(50)의 내측면에 마련된 단차부(55)에 접촉한 상태로 수용부(7)에 수용되어 있다. 즉, 프로브 핀(10)은, 걸림 지지부의 일례의 단차부(55)에 의해 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 배열 방향을 따라 스프링 상수가 큰 제2 탄성부(15)에 접속된 제2 접촉부(12)로부터, 스프링 상수가 작은 제1 탄성부(14)에 접속된 제1 접촉부(11)를 향하는 방향에 있어서 지지되면서 걸림 지지되어 있다. 이에 의해, 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 지그(2)를 확실하게 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 유닛(1)에 의하면, 상기 검사 지그(2)에 의해 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 유닛(1)은 검사 장치의 일부를 구성할 수 있다. 이러한 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 장치를 실현할 수 있다.

또한, 검사 지그(2)에 수용된 프로브 핀(10)은, 제1 탄성부(14)의 제1 접촉부(11)에 가장 가까운 위치에 배치된 직선 띠부(161)가 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 맞닿고, 제2 탄성부(15)의 제2 접촉부(12)에 가장 가까운 위치에 배치된 직선 띠부(171)가 베이스 하우징(4)의 제1 하우징(5)에 맞닿아 있다. 즉, 상기 검사 유닛(1)에서는, 프로브 핀(10)은 제1 탄성부(14)의 직선 띠부(161) 및 제2 탄성부(15)의 직선 띠부(171)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)에 지지되어 수용부(7)에 유지되어 있다.

제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)는, 프로브 핀(10)의 설계 등에 따라 그 형상 등을 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 제1 접점부(111) 및 제2 접점부(121)의 각각은, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 형상 및 위치 등을 적절히 변경할 수 있다.

각 탄성부(14, 15)는 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 배열 방향으로 신축하고, 또한 스프링 상수가 서로 상이하도록 구성되어 있으면 된다.

예를 들어, 도 7 내지 도 10에 도시한 바와 같이 제1 탄성부(14)를 서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편으로 구성해도 되고, 제2 탄성부(15)를 단일의 띠 형상 탄성편으로 구성해도 된다.

상세하게는, 도 7 및 도 8에 도시하는 프로브 핀(10)은 제2 탄성부(15)가 단일의 띠 형상 탄성편(154)으로 구성되어 있다. 도 7 및 도 8의 프로브 핀(10)의 제2 탄성부(15)의 띠 형상 탄성편(154)은 3개의 직선 띠부(171) 및 3개의 만곡 띠부(172)가 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상을 갖고, 그 폭(W7)이 도 6에 도시하는 각 띠 형상 탄성편(151, 152)의 폭(W5, W6)보다도 커지도록 구성되어 있다.

도 9 및 도 10에 도시하는 프로브 핀(10)은, 제1 탄성부(14)가 서로 간극(143)을 두고 배치된 2개의 띠 형상 탄성편(141, 142)으로 구성되고, 제2 탄성부(15)가 단일의 띠 형상 탄성편(154)으로 구성되어 있다. 도 9 및 도 10의 프로브 핀(10)의 제1 탄성부(14)의 각 띠 형상 탄성편(141, 142)은 3개의 직선 띠부(161)와, 4개의 만곡 띠부(162)가 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상을 각각 갖고 있다. 또한, 도 9 및 도 10의 프로브 핀(10)의 제2 탄성부(15)의 띠 형상 탄성편(154)은 4개의 직선 띠부(171)와, 4개의 만곡 띠부(172)가 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상을 갖고, 그 폭(W8)이 도 7 및 도 8의 프로브 핀(10)에 있어서의 제2 탄성부(15)의 띠 형상 탄성편(154)의 폭(W7)보다도 커지도록 구성되어 있다.

도 9 및 도 10에 도시하는 프로브 핀(10)의 중간부(13)에는, 중간부(13)의 연장 방향의 양단부로부터 중간부(13)의 연장 방향을 따라 서로 반대 방향으로 돌출되는 돌기부(190)가 각각 마련되어 있다. 도 9 및 도 10에 도시하는 프로브 핀(10)은, 중간부(13)의 돌기부(190)를 통해 소켓(3)의 하우징(50)의 내측면(501)을 압박한 상태로 수용부(7)에 수용되어 있다. 또한, 도 10에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)이 하우징(50)의 수용부(7)에 수용된 상태에 있어서, 제1 탄성부(14)의 제1 접촉부(11)에 가장 가까운 위치에 배치된 띠 형상 탄성편(141)의 직선 띠부(161)가 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 맞닿아 있다. 즉, 프로브 핀(10)은, 걸림 지지부의 일례의 하우징(50)의 내측면(501) 및 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 의해, 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 배열 방향을 따라 스프링 상수가 큰 제2 탄성부(15)에 접속된 제2 접촉부(12)로부터 스프링 상수가 작은 제1 탄성부(14)에 접속된 제1 접촉부(11)를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지되어 있다.

또한, 도 10에 도시하는 소켓(3)의 하우징(50)에는, 하우징(50)의 내측면(501) 및 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 의해 프로브 핀(10)이 걸림 지지되어 있기 때문에 단차부(55)를 마련하지 않았지만, 단차부(55)를 갖는 하우징(50)을 사용해도 상관없다.

또한, 예를 들어 도 11 및 도 12에 도시한 바와 같이, 제2 탄성부(15)를 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 직렬적으로 연결된 2개의 탄성 유닛(155)으로 구성해도 된다.

상세하게는, 도 12에 도시한 바와 같이 각 탄성 유닛(155)은 프로브 핀(10)의 연장 방향으로 연장되어 있는 연결 띠부(180)와, 프로브 핀(10)의 연장 방향에 직교하는 폭 방향으로 연장됨과 함께 프로브 핀(10)의 연장 방향에 간극을 두고 배치된 한 쌍의 직선 띠부(181)와, 각 직선 띠부(181)의 연결 띠부(180)에 대하여 동일한 측에 배치된 단부를 각각 접속하는 만곡 띠부(182)로 구성되어 있다. 만곡 띠부(182)는, 프로브 핀(10)의 연장 방향의 직교 방향이며 또한 연결 띠부(180)로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 있다.

프로브 핀(10)의 연장 방향에 있어서의 제1 접촉부(11)측의 탄성 유닛(155)(이하, 제1 탄성 유닛(155)이라고 함)의 연결 띠부(180)는 중간부(13)의 그 연장 방향의 대략 중앙부와, 제1 탄성 유닛(155)의 제1 접촉부(11)측의 직선 띠부(181)의 대략 중앙부에 접속되어 있다. 또한, 프로브 핀(10)의 연장 방향에 있어서의 제2 접촉부(12)측의 탄성 유닛(155)(이하, 제2 탄성 유닛(155)이라고 함)의 연결 띠부(180)는, 제1 탄성 유닛(155)의 제2 접촉부(12)측의 직선 띠부(181)의 대략 중앙부와, 제2 탄성 유닛(155)의 제1 접촉부(11)측의 직선 띠부(181)에 접속되어 있다. 또한, 제2 탄성 유닛(155)의 제2 접촉부(12)측의 직선 띠부(181)의 대략 중앙부에는 제2 접촉부(12)가 접속되어 있다.

즉, 각 탄성부(14, 15)는 직선 띠부(161, 171) 및 만곡 띠부(162, 172)로 구성된 사행 형상으로 한정되지 않으며, 각 접점부(111, 121)와 검사 장치 혹은 검사 대상물 사이의 접압을 확보 가능한 다른 구성을 채용할 수도 있다.

또한, 제2 탄성부(15)는, 2개의 탄성 유닛(155)을 연결하여 구성하는 경우로 한정되지 않으며, 1개의 탄성 유닛(155)만으로 구성해도 되고, 3개 이상의 탄성 유닛(155)을 연결하여 구성해도 된다. 또한, 제1 탄성부(14)를 복수의 탄성 유닛(155)으로 구성해도 된다.

또한, 예를 들어 도 13 및 도 14에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 판 두께 방향으로부터 보아, 프로브 핀(10)의 연장 방향에 직교하는 방향에 있어서 제2 접촉부(12)가 직선(L3)으로부터 이격되어 배치되도록(즉, 제1 접점부(111) 및 제2 접점부(121)가 오프셋되도록) 제2 탄성부(15)를 구성해도 된다.

상세하게는, 도 13 및 도 14의 프로브 핀(10)은, 제2 접촉부(12)가 단일의 띠 형상 탄성편(156)으로 구성되어 있다. 도 13 및 도 14의 프로브 핀(10)의 제2 탄성부(15)의 띠 형상 탄성편(156)은, 2개의 직선 띠부(171) 및 3개의 만곡 띠부(172)가 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 교대로 접속된 사행 형상이며, 제1 탄성부(14)의 폭(W4)과 대략 동일한 폭을 갖고 있다.

도 13 및 도 14의 프로브 핀(10)을 수용하는 소켓(3)은, 직선(L3)에 직교하는 방향에 있어서 직선(L3)으로부터 먼 쪽의 하우징(50)의 측벽(502)에 개구부(56)가 마련되어 있다. 이 개구부(56)는, 직선(L3)의 연장 방향에 있어서 단차부(55)로부터 제2 개구면(52)까지 연장되어 수용부(7) 및 제2 개구면(52)의 개구부(54)에 접속되어 있다. 도 13 및 도 14에 도시하는 프로브 핀(10)은, 제2 접촉부(12)가 제2 개구면(52)의 개구부(54) 및 하우징(50)의 측벽(502)의 개구부(56)로부터 하우징(50)의 외부로 노출된 상태로 수용부(7)에 수용되어 있다.

또한, 제2 탄성부(15) 대신에 제1 탄성부(14)를 제1 접점부(111) 및 제2 접점부(121)가 오프셋되도록 구성해도 된다.

중간부(13)는, 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향에 교차하는 방향으로 연장되는 판상인 경우로 제한되지 않는다. 예를 들어, 도 15 및 도 16에 도시한 바와 같이, 중간부(13)는 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 배열 방향의 직교 방향으로 연장되는 판형 본체부(130)와, 본체부(130)의 그 연장 방향의 양단부에 각각 설치된 제1 아암부(131) 및 제2 아암부(132)로 구성할 수 있다. 제1 아암부(131)는, 중간부(13)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 도 16의 우측 단부)에 있어서의 제1 접촉부(11)측의 면으로부터 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 제1 접촉부(11)를 향해 연장되어 있다. 또한, 제2 아암부(132)는, 중간부의 그 연장 방향의 타단부(즉, 도 16의 좌측 단부)에 있어서의 제2 접촉부(12)측의 면으로부터 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 제2 접촉부(12)를 향해 연장되어 있다.

도 16에 도시한 바와 같이, 프로브 핀(10)이 하우징(50)의 수용부(7)에 수용된 상태에 있어서, 제1 아암부(131)의 선단부(133)는 하우징(50)의 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 맞닿고, 제2 아암부(132)의 선단부(134)는 베이스 하우징(4)의 제1 하우징(5)에 맞닿는다. 즉, 하우징(50)의 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)이, 수용부(7)에 수용된 프로브 핀(10)의 중간부(13)를 배열 방향을 따라 제2 접촉부(12)로부터 제1 접촉부(11)를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지하는 걸림 지지부를 구성하고 있다. 또한, 도 15 및 도 16에 도시하는 프로브 핀(10)은, 중간부(13)의 제1 아암부(131) 및 제2 아암부(132)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)에 지지되어, 수용부(7)에 유지되도록 구성되어 있다.

또한, 도 16에 도시하는 소켓(3)의 하우징(50)에는, 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 의해 프로브 핀(10)이 걸림 지지되어 있기 때문에 단차부(55)를 마련하지 않았지만, 단차부(55)를 갖는 하우징(50)을 사용해도 상관없다.

또한, 예를 들어 도 17 및 도 18에 도시한 바와 같이, 중간부(13)는 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)의 배열 방향의 직교 방향으로 연장되는 판형 본체부(130)와, 본체부(130)의 그 연장 방향의 일단부에 마련되며, 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 중간부(13)에 대하여 반대 방향으로 연장되는 제3 아암부(135) 및 제4 아암부(136)로 구성할 수 있다. 제3 아암부(135)는, 중간부(13)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 도 18의 우측 단부)에 있어서의 제1 접촉부(11)측으로부터 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 제1 접촉부(11)를 향해 연장되어 있다. 또한, 제3 아암부(135)의 선단부에는, 제3 아암부(135)로부터 제1 접촉부(11)를 향해 본체부(130)와 대략 평행으로 연장되는 맞닿음부(137)가 마련되어 있다. 또한, 제4 아암부(136)는, 중간부(13)의 그 연장 방향의 일단부(즉, 도 18의 우측 단부)에 있어서의 제2 접촉부(12)측으로부터 프로브 핀(10)의 연장 방향을 따라 제2 접촉부(12)를 향해 연장되어 있다. 또한, 제4 아암부(136)의 선단부에는, 제4 아암부(136)로부터 제2 접촉부(12)를 향해 본체부(130)와 대략 평행으로 연장되는 맞닿음부(138)가 마련되어 있다. 또한, 제1 탄성부(14) 및 제2 탄성부(15)와 중간부(13)는, 본체부(130)의 그 연장 방향의 타단부(즉, 도 18의 좌측 단부)에서 접속되어 있다.

도 18에 도시한 바와 같이, 프로브 핀(10)이 하우징(50)의 수용부(7)에 수용된 상태에 있어서, 제3 아암부(135)의 맞닿음부(137)는 하우징(50)의 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 맞닿고, 제4 아암부(136)의 맞닿음부(138)는 베이스 하우징(4)의 제1 하우징(5)에 맞닿는다. 즉, 하우징(50)의 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)이, 수용부(7)에 수용된 프로브 핀(10)의 중간부(13)를 배열 방향을 따라 제2 접촉부(12)로부터 제1 접촉부(11)를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지하는 걸림 지지부를 구성하고 있다. 또한, 도 17 및 도 18에 도시하는 프로브 핀(10)은, 중간부(13)의 제3 아암부(135)의 맞닿음부(137) 및 제4 아암부(136)의 맞닿음부(138)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)에 지지되어, 수용부(7)에 유지되도록 구성되어 있다.

또한, 도 18에 도시하는 소켓(3)의 하우징(50)에는, 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 의해 프로브 핀(10)이 걸림 지지되어 있기 때문에 단차부(55)를 마련하지 않았지만, 단차부(55)를 갖는 하우징(50)을 사용해도 상관없다.

또한, 제2 탄성부(15)는 2개의 띠 형상 탄성편(151, 152)으로 구성되어 있는 경우로 한정되지 않으며, 예를 들어 도 19 및 도 20에 도시한 바와 같이 4개의 띠 형상 탄성편(191, 192, 193, 194)으로 구성해도 된다. 또한, 제2 탄성부(15)는 단일의 띠 형상 탄성편으로 구성해도 되고, 3개의 띠 형상 탄성편으로 구성해도 되고, 5개 이상의 띠 형상 탄성편으로 구성해도 된다.

또한, 예를 들어 도 21 및 도 22에 도시한 바와 같이, 중간부(13)에 그 판 두께 방향으로 관통하는 관통 구멍부(139)를 마련해도 된다. 도 21 및 도 22에 도시하는 프로브 핀(10)에서는 중간부(13)는 대략 직사각 형상을 갖고, 그 중앙부에 대략 원 형상의 관통 구멍부(139)가 마련되어 있다. 또한, 도 22에 도시한 바와 같이, 중간부(13)의 프로브 핀(10)의 연장 방향에 있어서의 제1 접촉부(11)측의 면이며 또한 프로브 핀(10)의 연장 방향의 직교 방향에 있어서의 일단부(즉, 도 22의 우측 단부)에 제1 탄성부(14)가 접속되고, 중간부(13)의 프로브 핀(10)의 연장 방향의 직교 방향에 있어서의 일단부측의 면이며 또한 프로브 핀(10)의 연장 방향에 있어서의 제2 접촉부(12)측에 제2 탄성부(15)가 접속되어 있다.

도 22에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)이 하우징(50)의 수용부(7)에 수용된 상태에 있어서, 제1 탄성부(14)의 제1 접촉부(11)에 가장 가까운 위치에 배치된 직선 띠부(161)가 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)에 맞닿고, 제2 탄성부(15)의 직선 띠부(171)가 베이스 하우징(4)의 제1 하우징(5)에 맞닿아 있다. 즉, 도 21 및 도 22에 도시하는 프로브 핀(10)은, 제1 탄성부(14)의 직선 띠부(161) 및 제2 탄성부(15)의 직선 띠부(171)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)에 지지되어, 수용부(7)에 유지되도록 구성되어 있다.

도 21 및 도 22에 도시하는 프로브 핀(10)을 수용하는 소켓(3)의 하우징(50)은, 도 14에 도시하는 소켓(3)과 마찬가지로 프로브 핀(10)의 판 두께 방향으로부터 보아 직선(L3)에 직교하는 방향에 있어서 직선(L3)으로부터 먼 쪽의 하우징(50)의 측벽(502)에 개구부(56)가 마련되어 있다. 이 소켓(3)의 하우징(50)에는 각 수용부(7)의 배열 방향(즉, 도 22의 지면 관통 방향)으로 연장되어, 각 수용부(7)를 연통하는 연결용 구멍부(504)가 마련되어 있다.

또한, 도 23에 도시한 바와 같이, 하우징(50)의 각 수용부(7)의 배열 방향의 양단부에는, 제2 개구면(52)으로부터 제1 개구면(51)을 향해 수용부(7)의 배열 방향의 폭이 좁아지는 단차부(57)가 마련되어 있다. 각 프로브 핀(10)은, 중간부(13)의 관통 구멍부(139)에 배치된 대략 원기둥 형상의 연결 막대부(58)에 의해 일체화되어, 대응하는 수용부(7)에 수용된다. 연결 막대부(58)는 연결용 구멍부(504)에 배치되고, 그 연장 방향의 양단부가 하우징(50)의 단차부(57)에 의해 걸림 지지되어 있다. 즉, 하우징(50)의 수용부(7)를 구성하는 하우징(50)의 제2 개구면(52)에 대향하는 내면(503)과, 연결 막대부(58)를 걸림 지지하는 단차부(57)가 수용부(7)에 수용된 프로브 핀(10)의 중간부(13)를 배열 방향을 따라 제2 접촉부(12)로부터 제1 접촉부(11)를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지하는 걸림 지지부를 구성하고 있다.

검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)은, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 그 구성을 적절히 변경할 수 있다. 즉, 검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)을 범용화하여, 검사 유닛(1)(나아가서는 검사 장치)의 생산성을 향상시킬 수 있다.

이상, 도면을 참조하여 본 발명에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로 본 발명의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 일례로서 참조 부호도 덧붙여 기재한다.

본 발명의 제1 형태의 프로브 핀(10)은,

판형 제1 접촉부(11) 및 판형 제2 접촉부(12)와,

상기 제1 접촉부(11) 및 상기 제2 접촉부(12)의 사이에 배치된 중간부(13)와,

상기 제1 접촉부(11) 및 상기 중간부(13)에 접속되며, 상기 제1 접촉부(11) 및 상기 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제1 탄성부(14)와,

상기 중간부(13) 및 상기 제2 접촉부(12)에 접속되며, 상기 배열 방향을 따라 신축하는 제2 탄성부(15)

를 구비하고,

상기 제1 탄성부(14)의 스프링 상수가 상기 제2 탄성부(15)의 스프링 상수보다도 작아지도록 구성되어 있다.

제1 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 제1 접촉부(11) 및 중간부(13)에 접속되며 또한 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제1 탄성부(14)의 스프링 상수가, 중간부(13) 및 제2 접촉부(12)에 접속되며 또한 제1 접촉부(11) 및 제2 접촉부(12)를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제2 탄성부(15)의 스프링 상수보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 발명의 제2 형태의 프로브 핀(10)은,

상기 제1 탄성부(14)의 상기 중간부(13) 및 상기 제1 접촉부(11) 사이의 제1 경로(61)의 길이와, 상기 제2 탄성부(15)의 상기 중간부(13) 및 상기 제2 접촉부(12) 사이의 제2 경로(62)의 길이가 상이하거나, 혹은 상기 제1 경로(61)의 그 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이인 제1 폭과, 상기 제2 경로(62)의 그 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이인 제2 폭이 상이하거나, 혹은 상기 제1 경로(61)의 길이와 상기 제2 경로(62)의 길이가 상이하며 또한 상기 제1 폭과 상기 제2 폭이 상이하다.

제2 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 발명의 제3 형태의 프로브 핀(10)은,

상기 제1 탄성부(14) 및 상기 제2 탄성부(15)의 각각이 상기 배열 방향으로 교차하는 직선 띠부(161, 171)와, 상기 직선 띠부(161, 171)에 접속된 만곡 띠부(162, 172)가 교대로 연속되는 사행 형상을 갖고 있다.

제3 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 상이한 접촉 하중으로 접촉 가능한 프로브 핀(10)을 용이하게 실현할 수 있다.

본 발명의 제4 형태의 프로브 핀(10)은,

상기 제1 탄성부(14)의 상기 만곡 띠부(162)의 수가 상기 제2 탄성부(15)의 상기 만곡 띠부(172)의 수보다도 많아지도록 구성되어 있다.

제4 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 발명의 제5 형태의 검사 지그(2)는,

제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 프로브 핀(10)과,

상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 소켓(3)

을 구비하고,

상기 소켓(3)이

상기 수용부(7)에 수용된 상기 프로브 핀(10)의 상기 중간부(13)를, 상기 배열 방향을 따라 상기 제2 접촉부(12)로부터 상기 제1 접촉부(11)를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지하는 걸림 지지부(55, 501, 503, 57)를 갖고 있다.

제5 형태의 검사 지그(2)에 의하면, 프로브 핀(10)에 의해 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.

본 발명의 제6 형태의 검사 유닛(1)은,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.

제6 형태의 검사 유닛(1)에 의하면, 검사 지그(2)에 의해 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.

본 발명의 제7 형태의 검사 장치는,

상기 검사 유닛(1)을 적어도 하나 구비했다.

제7 형태의 검사 장치에 의하면, 요구되는 접촉 하중이 상이한 검사 대상물 및 검사 장치에 접촉 가능한 검사 장치를 실현할 수 있다.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 발명의 프로브 핀은, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.

본 발명의 검사 지그는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.

본 발명의 검사 유닛은, 예를 들어 액정 패널의 검사 장치에 적용할 수 있다.

본 발명의 검사 장치는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용할 수 있다.

1 : 검사 유닛
2 : 검사 지그
3 : 소켓
4 : 베이스 하우징
5 : 제1 하우징
6 : 제2 하우징
7 : 수용부
10 : 프로브 핀
11 : 제1 접촉부
111 : 제1 접점부
12 : 제2 접촉부
121 : 제2 접점부
13 : 중간부
130 : 본체부
131, 132, 135, 136 : 아암부
133, 134 : 선단부
137, 138 : 맞닿음부
139 : 관통 구멍부
14 : 제1 탄성부
141, 142 : 띠 형상 탄성편
143 : 간극
15 : 제2 탄성부
151, 152, 154, 156, 191, 192, 193, 194 : 띠 형상 탄성편
153 : 간극
155 : 탄성 유닛
161, 171, 181 : 직선 띠부
162, 172, 182 : 만곡 띠부
180 : 연결 띠부
190 : 돌기부
50 : 하우징
501 : 내측면
502 : 측벽
503 : 내면
504 : 연결용 구멍부
51 : 제1 개구면
52 : 제2 개구면
53, 54, 56 : 개구부
55, 57 : 단차부
58 : 연결 막대부
61 : 제1 경로
62 : 제2 경로
L1 내지 L3 : 직선
Wl 내지 W8 : 폭

Claims

판형 제1 접촉부 및 판형 제2 접촉부와,
상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부의 사이에 배치된 중간부와,
상기 제1 접촉부 및 상기 중간부에 접속되며, 상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부를 연결한 배열 방향을 따라 신축하는 제1 탄성부와,
상기 중간부 및 상기 제2 접촉부에 접속되며, 상기 배열 방향을 따라 신축하는 제2 탄성부
를 구비하고,
상기 제1 탄성부의 스프링 상수가 상기 제2 탄성부의 스프링 상수보다도 작아지도록 구성되어 있는 프로브 핀.
제1항에 있어서, 상기 제1 탄성부의 상기 중간부 및 상기 제1 접촉부 사이의 제1 경로의 길이와, 상기 제2 탄성부의 상기 중간부 및 상기 제2 접촉부 사이의 제2 경로의 길이가 상이하거나, 혹은 상기 제1 경로의 그 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이인 제1 폭과, 상기 제2 경로의 그 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이인 제2 폭이 상이하거나, 혹은 상기 제1 경로의 길이와 상기 제2 경로의 길이가 상이하며 또한 상기 제1 폭과 상기 제2 폭이 상이한 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 탄성부 및 상기 제2 탄성부의 각각이 상기 배열 방향으로 교차하는 직선 띠부와, 상기 직선 띠부에 접속된 만곡 띠부가 교대로 연속되는 사행 형상을 갖고 있는 프로브 핀.
제3항에 있어서, 상기 제1 탄성부의 상기 만곡 띠부의 수가 상기 제2 탄성부의 상기 만곡 띠부의 수보다도 많아지도록 구성되어 있는 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 기재된 프로브 핀과,
상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 소켓
을 구비하고,
상기 소켓이,
상기 수용부에 수용된 상기 프로브 핀의 상기 중간부를, 상기 배열 방향을 따라 상기 제2 접촉부로부터 상기 제1 접촉부를 향하는 방향에 있어서 걸림 지지하는 걸림 지지부를 갖고 있는 검사 지그.
제5항에 기재된 검사 지그를 적어도 하나 구비한 검사 유닛.
제6항에 기재된 검사 유닛을 적어도 하나 구비한 검사 장치.