WO2019138507A1 - プローブピン、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 - Google Patents

プローブピン、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 Download PDF

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WO2019138507A1
WO2019138507A1 PCT/JP2018/000512 JP2018000512W WO2019138507A1 WO 2019138507 A1 WO2019138507 A1 WO 2019138507A1 JP 2018000512 W JP2018000512 W JP 2018000512W WO 2019138507 A1 WO2019138507 A1 WO 2019138507A1
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WO
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probe pin
elastic
contact
contact portion
inspection
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PCT/JP2018/000512
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English (en)
French (fr)
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直哉 笹野
宏真 寺西
貴浩 酒井
Original Assignee
オムロン株式会社
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    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G—PHYSICS
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    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G—PHYSICS
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    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support

Definitions

  • the present disclosure relates to a probe pin, an inspection jig provided with the probe pin, an inspection unit provided with the inspection jig, and an inspection apparatus provided with the inspection unit.
  • an inspection device is connected to an electrode part such as an FPC contact electrode for connection with a main substrate installed in the electronic component module or a mounted substrate-to-substrate connector using probe pins. It is done by.
  • the probe pin includes a pair of contacts that can contact the electrode terminal of the electronic component and the electrode terminal of the connected electronic component, and a serpentine portion interposed between the pair of contacts and connecting the pair of contacts There is.
  • the contact pressure between each contact and the electrode terminal of the electronic component and the electrode terminal of the connected electronic component is secured by the meandering portion, and the electrode terminal of the electronic component and the electrode terminal of the connected electronic component are secured. Improve contact reliability.
  • the present disclosure is provided with a probe pin capable of contacting an inspection object and an inspection device with different contact loads, an inspection jig provided with the probe pin, an inspection unit provided with the inspection jig, and the inspection unit.
  • An object of the present invention is to provide an inspection apparatus.
  • An example probe pin of the present disclosure is A plate-shaped first contact portion and a plate-shaped second contact portion; An intermediate portion disposed between the first contact portion and the second contact portion; A first elastic portion connected to the first contact portion and the intermediate portion, and extending and contracting in an arrangement direction in which the first contact portion and the second contact portion are connected; And a second elastic portion connected to the intermediate portion and the second contact portion and extending and contracting along the arrangement direction.
  • the spring constant of the first elastic portion is configured to be smaller than the spring constant of the second elastic portion.
  • an inspection jig of an example of the present disclosure is The probe pin, And a socket having a receptacle capable of receiving the probe pin.
  • the socket is Locking both ends of the intermediate portion of the probe pin housed in the housing portion in the extending direction thereof in the direction from the second contact portion toward the first contact portion along the arrangement direction Have a department.
  • an inspection unit of an example of the present disclosure is At least one inspection jig was provided.
  • an inspection apparatus is: At least one inspection unit was provided.
  • the spring constant of the first elastic portion connected to the first contact portion and the middle portion and extended and contracted along the arrangement direction connecting the first contact portion and the second contact portion is the middle portion and the second elastic portion.
  • the second elastic portion is configured to be smaller than the spring constant of the second elastic portion connected to the two contact portions and extending and contracting along the arrangement direction in which the first contact portion and the second contact portion are connected.
  • the inspection jig it is possible to realize an inspection jig capable of coming into contact with an inspection object and an inspection apparatus having different required contact loads by the probe pins.
  • the inspection jig can realize an inspection unit capable of contacting an inspection object and an inspection apparatus having different required contact loads.
  • the inspection unit can realize an inspection apparatus capable of contacting the inspection object and the inspection apparatus having different required contact loads.
  • FIG. 1 is a perspective view of an inspection unit according to an embodiment of the present disclosure.
  • BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The perspective view which shows the inspection jig of one Embodiment of this indication.
  • Sectional drawing along the III-III line of FIG. 1 is a perspective view of a probe pin according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 5 is a plan view of the probe pin of FIG. 4;
  • FIG. 5 is an enlarged plan view of a first elastic portion, a second elastic portion, and an intermediate portion of the probe pin of FIG. 4.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a second modification of the probe pin of FIG. 4;
  • FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 2 of the inspection jig containing the probe pin of FIG. 9;
  • FIG. 7 is a perspective view showing a third modification of the probe pin of FIG. 4;
  • FIG. 12 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 2 of the inspection jig containing the probe pin of FIG. 11;
  • FIG. 14 is a cross-sectional view of the inspection jig containing the probe pin of FIG. 13 taken along line III-III of FIG.
  • FIG. 15 is a perspective view showing a fifth modification of the probe pin of FIG. 4;
  • FIG. 16 is a cross-sectional view of the inspection jig containing the probe pin of FIG. 15 taken along line III-III of FIG. 2;
  • FIG. 15 is a perspective view showing a sixth modification of the probe pin of FIG. 4;
  • FIG. 18 is a cross-sectional view of the inspection jig containing the probe pin of FIG. 17 taken along the line III-III in FIG. 2;
  • FIG. 20 is a cross-sectional view of the inspection jig containing the probe pin of FIG. 19 taken along the line III-III of FIG. 2;
  • FIG. 20 is a cross-sectional view of the inspection jig containing the probe pin of FIG. 19 taken along the line III-III of FIG. 2;
  • FIG. 15 is a perspective view showing an eighth modification of the probe pin of FIG. 4;
  • FIG. 22 is a cross-sectional view of the inspection jig containing the probe pin of FIG. 21 taken along line III-III in FIG. 2; 22 is a cross-sectional view of the inspection jig containing the probe pin of FIG. 21 taken along line XXIII-XXIII of FIG.
  • the probe pin 10 has conductivity, and is used in a state of being accommodated in the socket 3 as shown in FIGS. 1 and 2, for example, and constitutes the inspection jig 2 together with the socket 3 Do.
  • the inspection jig 2 accommodates, for example, a plurality of thin thin plate-like probe pins 10.
  • the inspection jig 2 constitutes a part of the inspection unit 1.
  • the inspection unit 1 includes a substantially rectangular base housing 4 in which at least one inspection jig 2 is incorporated.
  • the base housing 4 is composed of a substantially rectangular plate-shaped first housing 5 and a second housing 6 stacked in the thickness direction of the first housing 5.
  • the socket 3 has a first opening surface 51, a second opening surface 52 facing the first opening surface 51, and a direction orthogonal to the first opening surface 51 and the second opening surface 52.
  • a substantially rectangular parallelepiped housing 50 is provided which has a plurality of extending accommodating portions 7. That is, each of the first opening surface 51 and the second opening surface 52 constitutes one surface of the substantially rectangular parallelepiped housing 50.
  • the first opening surface 51 and the second opening surface 52 respectively have a plurality of openings 53, 54 arranged in a line along the longitudinal direction and equally spaced. (Only the opening 53 of the first opening surface 51 is shown in FIG. 2).
  • the opening 53 of the first opening surface 51 and the opening 54 of the second opening surface 52 are connected to each accommodation portion 7 one by one.
  • Each housing portion 7 has a slit shape, and can electrically hold and hold each probe pin 10 independently of one another, and the plate surfaces of the housed probe pins 10 face each other. They are arranged side by side adjacently. As shown in FIG. 3, in each accommodation portion 7, the first contact portion 111 described later is exposed to the outside of the socket 3 through the opening 53 of the first opening surface 51, and the opening of the second opening 52 is Each probe pin 10 is accommodated such that a third contact portion 121 described later is exposed to the outside of the socket 3 through the portion 54.
  • Stepped portions 55 are provided on a pair of inner side surfaces orthogonal to the opening surface 52.
  • Each step 55 is arranged to face each other in the middle portion of the first opening surface 51 and the second opening surface 52.
  • the width of each accommodating section 7 on the side of the first opening surface 51 that is, the first opening surface 51 and the second in each accommodating section 7 as viewed from the arrangement direction of the respective accommodating sections 7) with the step 55 as a boundary.
  • the length in the direction parallel to the opening surface 52) W1 is smaller than the width W2 on the second opening surface 52 side.
  • each probe pin 10 is a plate disposed between the plate-like first contact portion 11 and the plate-like second contact portion 12, and the first contact portion 11 and the second contact portion 12.
  • the first elastic portion 14 connected to the first contact portion 11 and the intermediate portion 13, and the second elastic portion 15 connected to the intermediate portion 13 and the second contact portion 12.
  • the first contact portion 11, the second contact portion 12, the intermediate portion 13, the first elastic portion 14 and the second elastic portion 15 are integrally formed by electroforming.
  • the first contact portion 11 and the second contact portion 12 are, as shown in FIG. 5, arranged in series along an imaginary straight line L3 extending in the longitudinal direction of the probe pin 10.
  • the first contact portion 11 extends along the straight line L3, and one end portion in the extension direction thereof (that is, the one far from the middle portion 13 in the extension direction of the first contact portion 11).
  • the first contact portion 111 is provided at the end portion, and the first elastic portion 14 is provided at the other end portion in the extending direction (that is, the end portion closer to the middle portion in the extending direction of the first contact portion 11). It is connected.
  • the second contact portion 12 extends along the straight line L3, and one end portion in the extension direction thereof (ie, the one farther from the middle portion 13 in the extension direction of the second contact portion 12).
  • the second contact portion 121 is provided at the end portion).
  • the first contact portion 111 and the second contact portion 121 of each probe pin 10 are imaginary straight lines parallel to the arrangement direction of each housing portion 7 as shown in FIG. They are disposed on L1 and L2, respectively.
  • the intermediate portion 13 extends in a direction (for example, an orthogonal direction) intersecting with the arrangement direction (that is, the extending direction of the straight line L3) connecting the first contact portion 11 and the second contact portion 12 It has a substantially rectangular plate shape.
  • the intermediate portion 13 has a longitudinal length W3 in the extending direction of the straight line L3 when viewed from the width of the probe pin 10 (ie, the plate thickness direction of the probe pin 10 (ie, the paper penetrating direction in FIG. 5)). It is comprised so that it may become the maximum value of the length of the direction to orthogonally cross.
  • the first elastic portion 14 has an elongated strip shape, and is configured to expand and contract in an arrangement direction in which the first contact portion 11 and the second contact portion 12 are connected.
  • the first elastic portion 14 includes a plurality of straight band portions 161 and a plurality of curved band portions 162 (in this embodiment, as an example, five straight band portions 161 and six curved bands
  • the portion 162) has a serpentine shape alternately connected along the extending direction of the straight line L3.
  • Each straight band portion 161 extends in a direction orthogonal to the extending direction of the straight line L 3, and at least one of the end portions in the extending direction is connected to the curved band portion 162.
  • Each curved band portion 162 extends in an arc shape protruding in a direction away from the straight line L3 along a direction orthogonal to the extending direction of the straight line L3, and at least one end of the extending direction is a straight band portion It is connected to 161.
  • the respective curved band portions 162 are arranged so that the projecting directions are alternately reversed along the extending direction of the straight line L3.
  • One end in the extending direction of the curved band portion 162 arranged farthest from the middle portion 13 in the extending direction of the straight line L3 (that is, the curved band portion 162 in the extending direction of the linear band portion 161 is connected The opposite end of the end is connected to the first contact 11. Further, one end portion of the curved band portion 162 disposed closest to the intermediate portion 13 in the extending direction of the straight line L3 (that is, an end portion to which the straight band portion 161 in the extending direction of the curved band portion 162 is connected The opposite end of (a) is connected to the middle portion 13 at one end side in the extension direction of the middle portion 13 (that is, the right side in FIG. 6).
  • the second elastic portion 15 has a plurality of strip-like elastic pieces (in this embodiment, two strip-like elastic pieces) 151 and 152 disposed with a gap 153 therebetween,
  • the contact portion 11 and the second contact portion 12 are configured to expand and contract in the direction in which they are connected.
  • each of the elastic strips 151 and 152 has an elongated belt shape, and a plurality of straight band portions 171 and a plurality of curved band portions 172 (in this embodiment, three straight band portions 171 as an example).
  • three curved bands 172) have a serpentine shape alternately connected along the extending direction of the straight line L3.
  • Each straight band portion 171 extends in a direction orthogonal to the extending direction of the straight line L3 similarly to the straight band portion 161 of the first elastic portion 14, and at least one of the end portions in the extending direction is a curved band It is connected to the part 172.
  • Each curved band portion 172 extends in an arc shape projecting in a direction away from the straight line L3 along a direction orthogonal to the extending direction of the straight line L3, similarly to the curved band portion 162 of the first elastic portion 14 At least one of the end portions in the extending direction is connected to the straight band portion 171.
  • the respective curved band portions 172 are arranged such that the projecting directions are alternately reversed along the extending direction of the straight line L3.
  • the other end of the extending direction of the straight band 171 arranged farthest from the middle part 13 in the extending direction of the straight line L3 ie, the curved band 172 in the extending direction of the straight band 171 is connected
  • the opposite end of the end is connected to the second contact 12.
  • the other end of the curved band 172 disposed closest to the intermediate portion 13 in the extending direction of the straight line L3 that is, the end to which the straight band 171 in the extending direction of the curved band 172 is connected
  • the opposite end of the portion is connected to the intermediate portion 13 at one end side in the extension direction of the intermediate portion 13.
  • the length of the first path 61 between the intermediate portion 13 of the first elastic portion 14 and the first contact portion 11 that is, the extension of each linear band 161 and each curved band 162) Total length in the direction
  • the length of the second path 62 between the middle portion 13 of the second elastic portion 15 and the second contact portion 12 that is, the extension of each straight band 171 and each curved band 172)
  • the average of the total of the lengths in the existing direction is different.
  • each strip-shaped elastic piece 151, 152 of the second elastic portion 15 has its width (that is, a width orthogonal to the extending direction of the path between the second contact portion 12 and the intermediate portion 13 of each strip-shaped elastic piece 151, 152).
  • the total length of the directions W5 and W6 is equal to the width of the first elastic portion 14 (ie, in the width direction orthogonal to the extending direction of the path between the first contact portion 11 and the intermediate portion 13 of the first elastic portion 14).
  • Length is configured to be larger than W4.
  • the width of the first path 61 (that is, the width W4 of the first elastic portion 14) and the width of the second path 62 (that is, the widths W5 and W6 of the strip elastic pieces 151 and 152) Total) is different.
  • the spring constant of the first elastic portion 14 and the spring constant of the second elastic portion 15 are different.
  • the spring constant of the first elastic portion 14 is configured to be smaller than the spring constant of the second elastic portion 15.
  • the length of the first path 61 of the first elastic portion 14 is made different by making the numbers of meandering folds of the elastic portions 14 and 15 different (ie, the number of curved band portions 162 and 172). And the length of the second path 62 of the second elastic portion 15 are made different from each other, and the width of the first path 61 and the width of the second path 62 are made different from each other.
  • the spring constant of the elastic part 15 is made to differ, it does not restrict to this. As long as the spring constant of the first elastic portion 14 and the spring constant of the second elastic portion 15 are different, an arbitrary configuration can be adopted.
  • the probe pins 10 are made of the same conductive material, the lengths of the paths 61 and 62, the widths of the paths 61 and 62, the thickness of the paths 61 and 62, and the elastic portions 14 and 15 are provided.
  • the first elastic portion 14 and the second elastic portion 15 may be configured such that at least one of the numbers of the curved band portions 162 and 172 is different. That is, the probe pin 10 having a high degree of freedom in design can be realized.
  • the curved band portions 162 and 172 connected to the straight band portions 161 and 171 have a serpentine shape which is alternately continued.
  • the inspection jig 2 it is possible to realize the inspection jig 2 capable of coming into contact with the inspection object and the inspection apparatus having different contact loads required by the probe pins 10.
  • both ends of the probe pin 10 in the extension direction of the intermediate portion 13 are provided on the step portion 55 provided on the inner side surface of the housing 50 of the socket 3. It is accommodated in the accommodating part 7 in the state which contacted. That is, the probe pin 10 is connected to the second elastic portion 15 having a large spring constant along the arrangement direction of the first contact portion 11 and the second contact portion 12 by the stepped portion 55 of an example of the locking portion. It is supported and locked in a direction from the 2 contact portion 12 to the first contact portion 11 connected to the first elastic portion 14 having a small spring constant.
  • the inspection jig 2 capable of contacting the inspection object and the inspection apparatus having different required contact loads can be reliably realized.
  • the inspection jig 2 can realize the inspection unit 1 capable of coming into contact with the inspection object and the inspection apparatus having different required contact loads.
  • the inspection unit 1 can constitute a part of the inspection apparatus. According to such an inspection apparatus, the inspection unit 1 can realize an inspection apparatus capable of contacting an inspection object and an inspection apparatus having different required contact loads.
  • the linear band portion 161 disposed at a position closest to the first contact portion 11 of the first elastic portion 14 corresponds to the first of the housing 50 of the accommodation portion 7.
  • the straight band portion 171 which is in contact with the inner surface 503 opposed to the second opening surface 52 and disposed at a position closest to the second contact portion 12 of the second elastic portion 15 is in contact with the first housing 5 of the base housing 4 There is. That is, in the inspection unit 1, in the probe pin 10, the linear band portion 161 of the first elastic portion 14 and the linear band portion 171 of the second elastic portion 15 are supported by the socket 3 and the base housing 4. It is held.
  • first contact portion 11 and the second contact portion 12 can be appropriately changed according to the design and the like of the probe pin 10.
  • each of the first contact portion 111 and the second contact portion 121 can be appropriately changed in shape, position, and the like according to various aspects of the inspection apparatus or the inspection object.
  • the respective elastic portions 14 and 15 may be configured to expand and contract in the arrangement direction of the first contact portion 11 and the second contact portion 12 and to have different spring constants.
  • the first elastic portion 14 may be constituted by a plurality of elastic strips arranged with a gap therebetween, or the second elastic portion 15 may be formed as a single belt. You may comprise by an elastic piece.
  • the second elastic portion 15 is constituted by a single elastic strip 154.
  • the strip elastic pieces 154 of the second elastic portion 15 of the probe pin 10 of FIGS. 7 and 8 are alternately connected along the extending direction of the probe pin 10 with the three straight band portions 171 and the three curved bands 172. It has a meandering shape, and the width W7 thereof is configured to be larger than the widths W5 and W6 of the band-like elastic pieces 151 and 152 shown in FIG.
  • the first elastic portion 14 is composed of two strip-like elastic pieces 141 and 142 disposed with a gap 143 therebetween, and the second elastic portion 15 is single.
  • the belt-like elastic piece 154 is formed.
  • the three straight band portions 161 and the four curved bands 162 are along the extending direction of the probe pin 10 Each has a meandering shape connected alternately.
  • the strip elastic pieces 154 of the second elastic portion 15 of the probe pin 10 of FIGS. 9 and 10 four straight band portions 171 and four curved band portions 172 alternate along the extension direction of the probe pin 10.
  • the width W8 thereof is configured to be larger than the width W7 of the strip-like elastic piece 154 of the second elastic portion 15 in the probe pin 10 of FIGS. 7 and 8.
  • the middle portion 13 of the probe pin 10 shown in FIG. 9 and FIG. 10 there are projections 190 which project in opposite directions from each other along the extension direction of the middle portion 13 from both ends in the extension direction of the middle portion 13 Each is provided.
  • the probe pin 10 shown in FIGS. 9 and 10 is housed in the housing portion 7 in a state where the inner side surface 501 of the housing 50 of the socket 3 is pressed through the projection 190 of the middle portion 13. Further, as shown in FIG. 10, in a state in which the probe pin 10 is housed in the housing portion 7 of the housing 50, of the strip-like elastic piece 141 disposed at the position closest to the first contact portion 11 of the first elastic portion 14.
  • the straight band portion 161 is in contact with the inner surface 503 opposed to the second opening surface 52 of the housing 50 constituting the housing portion 7. That is, the probe pin 10 is arranged along the arrangement direction of the first contact portion 11 and the second contact portion 12 by the inner surface 503 opposed to the inner side surface 501 and the second opening surface 52 of the housing 50 as an example of the locking portion. It is locked in the direction from the second contact portion 12 connected to the second elastic portion 15 having a large spring constant to the first contact portion 11 connected to the first elastic portion 14 having a small spring constant.
  • the step portion 55 is not provided because the probe pin 10 is locked by the inner surface 503 opposed to the inner side surface 501 and the second opening surface 52 of the housing 50.
  • the housing 50 having the step 55 may be used.
  • the second elastic portion 15 may be configured by two elastic units 155 connected in series along the extending direction of the probe pin 10.
  • each elastic unit 155 extends in the width direction orthogonal to the extending direction of the connecting pin 180 extending in the extending direction of the probe pin 10 and the extending direction of the probe pin 10 and the probe pin A pair of straight band portions 181 arranged with a gap in the extension direction of 10 and a curved band portion 182 connecting the end portions of the respective straight band portions 181 arranged on the same side with respect to the connecting band portion 180 And consists of.
  • the curved band portion 182 extends in an arc shape that is orthogonal to the extending direction of the probe pin 10 and protrudes in a direction away from the connecting band portion 180.
  • the connection band 180 of the elastic unit 155 (hereinafter referred to as the first elastic unit 155) on the side of the first contact portion 11 in the extension direction of the probe pin 10 has a substantially central portion in the extension direction of the intermediate portion 13;
  • the first elastic unit 155 is connected to a substantially central portion of the straight band portion 181 on the first contact portion 11 side.
  • the connecting band 180 of the elastic unit 155 (hereinafter referred to as the second elastic unit 155) on the second contact 12 side in the extension direction of the probe pin 10 is on the second contact 12 side of the first elastic unit 155. It is connected to a substantially central portion of the straight band portion 181 and the straight band portion 181 on the first contact portion 11 side of the second elastic unit 155.
  • the second contact portion 12 is connected to a substantially central portion of the straight band portion 181 on the second contact portion 12 side of the second elastic unit 155.
  • the elastic portions 14 and 15 are not limited to the meandering shape formed by the straight band portions 161 and 171 and the curved band portions 162 and 172, but between the respective contact portions 111 and 121 and the inspection device or the inspection object. Other configurations capable of securing contact pressure can also be employed.
  • the second elastic portion 15 is not limited to the case of connecting two elastic units 155, and may be formed of only one elastic unit 155, or by connecting three or more elastic units 155. It may be configured. Further, the first elastic portion 14 may be configured by a plurality of elastic units 155.
  • the second contact portion 12 is disposed away from the straight line L3 in the direction orthogonal to the extending direction of the probe pin 10 when viewed from the thickness direction of the probe pin 10
  • the second elastic portion 15 may be configured so that the first contact portion 111 and the second contact portion 121 are offset.
  • the second contact portion 12 is constituted by a single elastic strip 156.
  • the strip elastic pieces 156 of the second elastic portion 15 of the probe pin 10 shown in FIGS. 13 and 14 have two straight band portions 171 and three curved bands 172 alternately connected along the extending direction of the probe pin 10. In the meandering shape, it has a width substantially the same as the width W4 of the first elastic portion 14.
  • the socket 3 for accommodating the probe pin 10 in FIGS. 13 and 14 is provided with an opening 56 in the side wall 502 of the housing 50 which is farther from the straight line L3 in the direction orthogonal to the straight line L3.
  • the opening 56 extends from the step 55 to the second opening surface 52 in the extending direction of the straight line L 3 and is connected to the opening 54 of the housing 7 and the second opening 52.
  • the probe pin 10 shown in FIGS. 13 and 14 is accommodated with the second contact portion 12 exposed to the outside of the housing 50 from the opening 54 of the second opening 52 and the opening 56 of the side wall 502 of the housing 50. It is housed in part 7.
  • the first elastic portion 14 may be configured such that the first contact portion 111 and the second contact portion 121 are offset.
  • the middle portion 13 is not limited to the plate-like shape extending in the direction intersecting the arrangement direction in which the first contact portion 11 and the second contact portion 12 are connected.
  • the intermediate portion 13 includes a plate-like main portion 130 extending in a direction orthogonal to the arrangement direction of the first contact portion 11 and the second contact portion 12 and an extension of the main portion 130. It can be comprised by the 1st arm part 131 and the 2nd arm part 132 which were provided in the both ends of a direction, respectively.
  • the first arm portion 131 is a first contact along the extending direction of the probe pin 10 from the surface on the first contact portion 11 side at one end (that is, the right end in FIG. 16) of the intermediate portion 13 in the extending direction.
  • the second arm portion 132 is disposed along the extending direction of the probe pin 10 from the surface on the second contact portion 12 side in the other end portion of the middle portion in the extending direction (that is, the left end portion in FIG. 16). It extends toward the contact portion 12.
  • the tip end portion 133 of the first arm portion 131 is the second opening of the housing 50 that constitutes the housing portion 7 of the housing 50.
  • the distal end portion 134 of the second arm portion 132 abuts on the first housing 5 of the base housing 4 in contact with the inner surface 503 facing the surface 52. That is, the inner surface 503 opposed to the second opening surface 52 of the housing 50 constituting the housing portion 7 of the housing 50 is a second contact portion along the arrangement direction of the intermediate portion 13 of the probe pin 10 housed in the housing portion 7
  • a locking portion is configured to lock in a direction from 12 to the first contact portion 11.
  • the first arm 131 and the second arm 132 of the middle portion 13 are supported by the socket 3 and the base housing 4 and held by the housing 7. It is configured.
  • the stepped portion 55 is not provided.
  • a housing 50 having 55 may be used.
  • the intermediate portion 13 includes a plate-like main portion 130 extending in a direction orthogonal to the arrangement direction of the first contact portion 11 and the second contact portion 12;
  • the third arm 135 and the fourth arm 136 may be provided at one end in the extending direction and extend in the opposite direction to the intermediate portion 13 along the extending direction of the probe pin 10.
  • the third arm portion 135 extends along the extending direction of the probe pin 10 from the first contact portion 11 side at one end (that is, the right end portion in FIG. 18) of the middle portion 13 in the extending direction.
  • an abutting portion 137 extending substantially in parallel with the main body 130 from the third arm 135 toward the first contact portion 11 is provided at the tip of the third arm 135.
  • the fourth arm 136 is a second contact along the extending direction of the probe pin 10 from the second contact portion 12 side at one end (that is, the right end in FIG. 18) of the middle portion 13 in the extending direction. It extends towards the part 12.
  • an abutting portion 138 extending substantially in parallel with the main body 130 from the fourth arm 136 toward the second contact 12 is provided at the tip end of the fourth arm 136.
  • the first elastic portion 14 and the second elastic portion 15 and the intermediate portion 13 are connected at the other end (that is, the left end in FIG. 18) of the main body 130 in the extending direction.
  • the contact portion 137 of the third arm portion 135 is the second one of the housing 50 that constitutes the housing portion 7 of the housing 50.
  • the contact portion 138 of the fourth arm 136 abuts on the first housing 5 of the base housing 4 in contact with the inner surface 503 facing the opening surface 52. That is, the inner surface 503 opposed to the second opening surface 52 of the housing 50 constituting the housing portion 7 of the housing 50 is a second contact portion along the arrangement direction of the intermediate portion 13 of the probe pin 10 housed in the housing portion 7
  • a locking portion is configured to lock in a direction from 12 to the first contact portion 11.
  • the contact portion 137 of the third arm 135 of the intermediate portion 13 and the contact portion 138 of the fourth arm 136 are supported by the socket 3 and the base housing 4. , And is configured to be held by the storage unit 7.
  • the step portion 55 is not provided because the probe pin 10 is locked by the inner surface 503 opposed to the second opening surface 52 of the housing 50.
  • a housing 50 having 55 may be used.
  • the second elastic portion 15 is not limited to the case where it is configured by two band-like elastic pieces 151 and 152, for example, as shown in FIGS. 19 and 20, four band-like elastic pieces 191, 192, 193, You may comprise in 194.
  • the second elastic portion 15 may be formed of a single elastic strip, may be formed of three elastic strips, or may be formed of five or more elastic strips.
  • the intermediate portion 13 may be provided with a through hole portion 139 penetrating in the plate thickness direction.
  • the intermediate portion 13 has a substantially rectangular shape, and a substantially circular through hole portion 139 is provided at the central portion thereof. Note that, as shown in FIG. 22, one end of the surface of the intermediate portion 13 in the extending direction of the probe pin 10 on the first contact portion 11 side and in the orthogonal direction of the extending direction of the probe pin 10 (ie, FIG.
  • the first elastic portion 14 is connected to the right end portion, and the surface on the one end side in the direction orthogonal to the extending direction of the probe pin 10 of the intermediate portion 13 and the second contact portion 12 side in the extending direction of the probe pin 10 ,
  • the second elastic portion 15 is connected.
  • the linear band portion 161 disposed at a position closest to the first contact portion 11 of the first elastic portion 14 is housed
  • the straight band portion 171 of the second elastic portion 15 is in contact with the first housing 5 of the base housing 4 in contact with the inner surface 503 facing the second opening surface 52 of the housing 50 constituting the portion 7. That is, in the probe pin 10 shown in FIGS. 21 and 22, the linear band portion 161 of the first elastic portion 14 and the linear band portion 171 of the second elastic portion 15 are supported by the socket 3 and the base housing 4. It is configured to be held by.
  • the housing 50 of the socket 3 for housing the probe pin 10 shown in FIGS. 21 and 22 is a straight line L3 in the direction orthogonal to the straight line L3 when viewed from the plate thickness direction of the probe pin 10.
  • An opening 56 is provided in the side wall 502 of the housing 50 farther from the housing 50.
  • the housing 50 of the socket 3 is provided with a connecting hole 504 which extends in the arrangement direction of the respective accommodating portions 7 (that is, the penetrating direction in the drawing of FIG. 22) and communicates the respective accommodating portions 7.
  • the width in the arrangement direction of the accommodating portions 7 is narrowed from the second opening surface 52 toward the first opening surface 51 at both end portions in the arranging direction of the respective accommodating portions 7 of the housing 50.
  • a step 57 is provided.
  • Each probe pin 10 is integrated by a substantially cylindrical connecting rod portion 58 disposed in the through hole portion 139 of the intermediate portion 13, and is accommodated in the corresponding accommodation portion 7.
  • the connecting rod portion 58 is disposed in the connecting hole portion 504, and both end portions in the extending direction thereof are locked by the step portion 57 of the housing 50.
  • the probe pin 10 in which the inner surface 503 opposed to the second opening surface 52 of the housing 50 constituting the housing portion 7 of the housing 50 and the step portion 57 for locking the connecting rod portion 58 are housed in the housing portion 7.
  • the locking portion is configured to lock the middle portion 13 of the second contact portion 12 in the direction from the second contact portion 12 in the arrangement direction.
  • the configurations of the inspection jig 2 and the base housing 4 can be appropriately changed according to various aspects of the inspection apparatus or the inspection object. That is, the inspection jig 2 and the base housing 4 can be generalized, and the productivity of the inspection unit 1 (and thus the inspection apparatus) can be improved.
  • the probe pin 10 of the first aspect of the present disclosure is A plate-shaped first contact portion 11 and a plate-shaped second contact portion 12; An intermediate portion 13 disposed between the first contact portion 11 and the second contact portion 12; A first elastic portion 14 which is connected to the first contact portion 11 and the intermediate portion 13 and extends and contracts along an arrangement direction in which the first contact portion 11 and the second contact portion 12 are connected; And a second elastic portion 15 which is connected to the intermediate portion 13 and the second contact portion 12 and which is expanded and contracted along the arrangement direction.
  • the spring constant of the first elastic portion 14 is smaller than the spring constant of the second elastic portion 15.
  • the first elastic portion 14 which is connected to the first contact portion 11 and the intermediate portion 13 and extends and contracts along the arrangement direction in which the first contact portion 11 and the second contact portion 12 are connected.
  • the spring constant of the second elastic portion 15 is smaller than the spring constant of the second elastic portion 15 which is connected to the intermediate portion 13 and the second contact portion 12 and extends and contracts along the arrangement direction in which the first contact portion 11 and the second contact portion 12 are connected. It is configured to be As a result, it is possible to realize the probe pin 10 that can contact the inspection object and the inspection apparatus with different contact loads.
  • the probe pin 10 of the second aspect of the present disclosure is The length of the first path 61 between the intermediate portion 13 of the first elastic portion 14 and the first contact portion 11 and the second between the intermediate portion 13 of the second elastic portion 15 and the second contact portion 12
  • the length of the path 62 is different, or alternatively, the first width, which is the length in the width direction orthogonal to the extending direction of the first path 61, and the extending direction of the second path 62 are orthogonal
  • the second width which is the length in the width direction, is different, or the length of the first path 61 and the length of the second path 62 are different, and the first width and the second width are different. It is different.
  • the probe pin 10 of the second aspect having a high degree of freedom in design can be realized.
  • the probe pin 10 of the third aspect of the present disclosure is Straight band portions 161 and 171 in which each of the first elastic portion 14 and the second elastic portion 15 cross in the arrangement direction, and curved band portions 162 and 172 connected to the straight band portions 161 and 171, respectively It has an alternating and continuous meandering shape.
  • the probe pin 10 of the third aspect it is possible to easily realize the probe pin 10 which can be contacted to the inspection object and the inspection apparatus with different contact loads.
  • the probe pin 10 of the fourth aspect of the present disclosure is The number of the curved band portions 162 of the first elastic portion 14 is configured to be larger than the number of the curved band portions 172 of the second elastic portion 15.
  • the probe pin 10 of the fourth aspect having a high degree of freedom in design can be realized.
  • the inspection jig 2 of the fifth aspect of the present disclosure is The probe pin according to any one of claims 1 to 4; And a socket 3 having a receptacle capable of receiving the probe pin,
  • the socket 3 is A locking portion 55 for locking the intermediate portion 13 of the probe pin 10 housed in the housing portion 7 in a direction from the second contact portion 12 toward the first contact portion 11 along the arrangement direction; 501, 503, 57 are included.
  • the probe pin 10 can realize the inspection jig 2 capable of contacting the inspection object and the inspection apparatus having different required contact loads.
  • the inspection unit 1 of the sixth aspect of the present disclosure is At least one inspection jig was provided.
  • the inspection jig 2 can realize the inspection unit 1 capable of contacting the inspection object and inspection apparatus having different required contact loads.
  • the inspection apparatus of the seventh aspect of the present disclosure is At least one inspection unit 1 was provided.
  • the inspection apparatus of the seventh aspect it is possible to realize an inspection apparatus capable of contacting an inspection object and an inspection apparatus having different required contact loads.
  • the probe pin of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection jig used for inspection of a liquid crystal panel.
  • the inspection jig of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection unit used for inspection of a liquid crystal panel.
  • the inspection unit of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection device of a liquid crystal panel.
  • the inspection apparatus of the present disclosure can be used, for example, for inspection of a liquid crystal panel.

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Abstract

プローブピンが、第１接触部および第２接触部と、第１接触部および第２接触部の間に配置された中間部と、第１接触部および中間部に接続され第１接触部および第２接触部の配列方向に沿って伸縮する第１弾性部と、中間部および第２接触部に接続され第１接触部および第２接触部の配列方向に沿って伸縮する第２弾性部とを備え、第１弾性部のばね常数が、第２弾性部のばね常数よりも小さくなるように構成されている。

Description

プローブピン、検査治具、検査ユニットおよび検査装置
　本開示は、プローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置に関する。
　カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板と接続するためのＦＰＣ接触電極、あるいは、実装された基板対基板コネクタ等の電極部と検査装置とを接続することにより行われる。
　このようなプローブピンとしては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してそれぞれ接触可能な一対のコンタクトと、一対のコンタクト間に介在して一対のコンタクトを接続する蛇行部とを備えている。前記プローブピンでは、蛇行部により、各コンタクトと電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子との間の接圧を確保して、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対する接触信頼性を高めている。
特開２００２－１３４２０２号公報
　近年、検査対象物の多様化等に伴って、例えば、検査対象物の破損等を防ぐために、検査対象物および検査装置に対してそれぞれ異なる接触荷重で接触することがプローブピンに求められる場合がある。
　特許文献１のプローブピンでは、各コンタクトが、全体で１つの弾性部を構成する蛇行部の両端部にそれぞれ接続されているので、電子部品および被接続電子部品に対して、異なる接触荷重で接触することができない場合がある。
　本開示は、検査対象物および検査装置に対して異なる接触荷重で接触可能なプローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置を提供することを目的とする。
　本開示の一例のプローブピンは、
　板状の第１接触部および板状の第２接触部と、
　前記第１接触部および前記第２接触部の間に配置された中間部と、
　前記第１接触部および前記中間部に接続され、前記第１接触部および前記第２接触部を結んだ配列方向に沿って伸縮する第１弾性部と、
　前記中間部および前記第２接触部に接続され、前記配列方向に沿って伸縮する第２弾性部と
を備え、
　前記第１弾性部のばね常数が、前記第２弾性部のばね常数よりも小さくなるように構成されている。
　また、本開示の一例の検査治具は、
　前記プローブピンと、
　前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
を備え、
　前記ソケットが、
　前記収容部に収容された前記プローブピンの前記中間部のその延在方向の両端部を、前記配列方向に沿って前記第２接触部から前記第１接触部に向かう方向において係止する係止部を有している。
　また、本開示の一例の検査ユニットは、
　前記検査治具を少なくとも１つ備えた。
　また、本開示の一例の検査装置は、
　前記検査ユニットを少なくとも１つ備えた。
　前記プローブピンによれば、第１接触部および中間部に接続されかつ第１接触部および第２接触部を結んだ配列方向に沿って伸縮する第１弾性部のばね常数が、中間部および第２接触部に接続されかつ第１接触部および第２接触部を結んだ配列方向に沿って伸縮する第２弾性部のばね常数よりも小さくなるように構成されている。これにより、検査対象物および検査装置に対して異なる接触荷重で接触可能なプローブピンを実現できる。
　また、前記検査治具によれば、前記プローブピンにより、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査治具を実現できる。
　また、前記検査ユニットによれば、前記検査治具により、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査ユニットを実現できる。
　また、前記検査装置によれば、前記検査ユニットにより、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査装置を実現できる。
本開示の一実施形態の検査ユニットを示す斜視図。 本開示の一実施形態の検査治具を示す斜視図。 図２のIII-III線に沿った断面図。 本開示の一実施形態のプローブピンを示す斜視図。 図４のプローブピンの平面図。 図４のプローブピンの第１弾性部、第２弾性部および中間部の拡大平面図。 図４のプローブピンの第１の変形例を示す斜視図。 図７のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第２の変形例を示す斜視図。 図９のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第３の変形例を示す斜視図。 図１１のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第４の変形例を示す斜視図。 図１３のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第５の変形例を示す斜視図。 図１５のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第６の変形例を示す斜視図。 図１７のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第７の変形例を示す斜視図。 図１９のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第８の変形例を示す斜視図。 図２１のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図２１のプローブピンを収容した検査治具の図２２のXXIII-XXIII線に沿った断面図。
　以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
　本開示の一実施形態のプローブピン１０は、導電性を有し、例えば、図１および図２に示すように、ソケット３に収容された状態で使用され、ソケット３と共に検査治具２を構成する。この検査治具２には、一例として、複数の細長い薄板状のプローブピン１０が収容されている。
　また、検査治具２は、検査ユニット１の一部を構成している。検査ユニット１は、図１に示すように、少なくとも１つの検査治具２が組み込まれた略直方体状のベースハウジング４を備えている。このベースハウジング４は、略矩形板状の第１ハウジング５と、この第１ハウジング５の板厚方向に積み重ねられた第２ハウジング６とで構成されている。
　ソケット３は、図３に示すように、第１開口面５１と、第１開口面５１に対向する第２開口面５２と、第１開口面５１および第２開口面５２に直交する方向にそれぞれ延びる複数の収容部７とを有する、略直方体状のハウジング５０を備えている。すなわち、第１開口面５１および第２開口面５２は、それぞれ略直方体状のハウジング５０の一面を構成している。
　図２に示すように、第１開口面５１および第２開口面５２は、その長手方向に沿って一列に並んでかつ等間隔で配置された複数の開口部５３、５４をそれぞれ有している（図２には、第１開口面５１の開口部５３のみ示す）。各収容部７には、それぞれ第１開口面５１の開口部５３および第２開口面５２の開口部５４が１組ずつ接続されている。
　各収容部７は、スリット状を有し、各プローブピン１０を相互に電気的に独立して収容可能かつ保持可能であると共に、収容したプローブピン１０の板面同士が相互に対向するように並んで隣接して配置されている。図３に示すように、各収容部７には、第１開口面５１の開口部５３を介して、後述する第１接点部１１１がソケット３の外部に露出し、第２開口面５２の開口部５４を介して、後述する第３接点部１２１がソケット３の外部に露出するように、各プローブピン１０が収容されている。
　図３に示すように、各収容部７の配列方向（すなわち、図３の紙面貫通方向）から見て、各収容部７を構成するハウジング５０の内面のうちの第１開口面５１および第２開口面５２に直交する一対の内側面に、それぞれ段部５５（係止部の一例）が設けられている。各段部５５は、第１開口面５１および第２開口面５２の中間部に相互に対向するように配置されている。なお、段部５５を境界にして、各収容部７の第１開口面５１側の幅（すなわち、各収容部７の配列方向から見て、各収容部７における第１開口面５１および第２開口面５２に平行な方向の長さ）Ｗ１が、第２開口面５２側の幅Ｗ２よりも小さくなっている。
　各プローブピン１０は、図４に示すように、板状の第１接触部１１および板状の第２接触部１２と、第１接触部１１および第２接触部１２の間に配置された板状の中間部１３と、第１接触部１１および中間部１３に接続された第１弾性部１４と、中間部１３および第２接触部１２に接続された第２弾性部１５とを備えている。このプローブピン１０では、例えば、電鋳法で形成され、第１接触部１１、第２接触部１２、中間部１３、第１弾性部１４および第２弾性部１５が一体に構成されている。
　第１接触部１１および第２接触部１２は、図５に示すように、プローブピン１０の長手方向に延びる仮想直線Ｌ３に沿って相互に直列的に配置されている。
　第１接触部１１は、図５に示すように、直線Ｌ３に沿って延びており、その延在方向の一端部（すなわち、第１接触部１１の延在方向における中間部１３から遠い方の端部）に第１接点部１１１が設けられ、その延在方向の他端部（すなわち、第１接触部１１の延在方向における中間部に近い方の端部）に第１弾性部１４が接続されている。
　第２接触部１２は、図５に示すように、直線Ｌ３に沿って延びており、その延在方向の一端部（すなわち、第２接触部１２の延在方向における中間部１３から遠い方の端部）に第２接点部１２１が設けられている。
　なお、各収容部７に収容された状態では、各プローブピン１０の第１接点部１１１および第２接点部１２１は、図２に示すように、各収容部７の配列方向に平行な仮想直線Ｌ１、Ｌ２上にそれぞれ配置されている。
　中間部１３は、図５に示すように、第１接触部１１および第２接触部１２を結んだ配列方向（すなわち、直線Ｌ３の延在方向）に交差する方向（例えば、直交方向）に延びる略矩形板状を有している。この中間部１３は、その長手方向の長さＷ３が、プローブピン１０の幅（すなわち、プローブピン１０の板厚方向（すなわち、図５の紙面貫通方向）から見て直線Ｌ３の延在方向に直交する方向の長さ）の最大値となるように、構成されている。
　第１弾性部１４は、図５に示すように、細長い帯状を有し、第１接触部１１および第２接触部１２を結んだ配列方向に伸縮するように構成されている。
　詳しくは、図６に示すように、第１弾性部１４は、複数の直線帯部１６１および複数の湾曲帯部１６２（この実施形態では、一例として、５つの直線帯部１６１および６つの湾曲帯部１６２）が直線Ｌ３の延在方向に沿って交互に接続された蛇行形状を有している。各直線帯部１６１は、直線Ｌ３の延在方向に直交する方向に延びていると共に、少なくともその延在方向の端部の一方が湾曲帯部１６２に接続されている。各湾曲帯部１６２は、直線Ｌ３の延在方向に直交する方向に沿って直線Ｌ３から離れる方向に突出した円弧状に延びていると共に、少なくともその延在方向の端部の一方が直線帯部１６１に接続されている。また、各湾曲帯部１６２は、その突出方向が直線Ｌ３の延在方向に沿って交互に反転するように配置されている。
　直線Ｌ３の延在方向において中間部１３から最も離れて配置された湾曲帯部１６２のその延在方向の一端部（すなわち、直線帯部１６１の延在方向における湾曲帯部１６２が接続されている端部の反対側の端部）が、第１接触部１１に接続されている。また、直線Ｌ３の延在方向において中間部１３に最も接近して配置された湾曲帯部１６２の一端部（すなわち、湾曲帯部１６２の延在方向における直線帯部１６１が接続されている端部の反対側の端部）が、中間部１３の延在方向における一端側（すなわち、図６の右側）で中間部１３に接続されている。
　第２弾性部１５は、図５に示すように、相互に隙間１５３を空けて配置された複数の帯状弾性片（この実施形態では、２つの帯状弾性片）１５１、１５２を有し、第１接触部１１および第２接触部１２を結んだ配列方向に伸縮するように構成されている。
　図６に示すように、各帯状弾性片１５１、１５２は、細長い帯状を有し、複数の直線帯部１７１および複数の湾曲帯部１７２（この実施形態では、一例として、３つの直線帯部１７１および３つの湾曲帯部１７２）が直線Ｌ３の延在方向に沿って交互に接続された蛇行形状を有している。各直線帯部１７１は、第１弾性部１４の直線帯部１６１と同様に、直線Ｌ３の延在方向に直交する方向に延びていると共に、少なくともその延在方向の端部の一方が湾曲帯部１７２に接続されている。各湾曲帯部１７２は、第１弾性部１４の湾曲帯部１６２と同様に、直線Ｌ３の延在方向に直交する方向に沿って直線Ｌ３から離れる方向に突出した円弧状に延びていると共に、少なくともその延在方向の端部の一方が直線帯部１７１に接続されている。また、各湾曲帯部１７２は、その突出方向が直線Ｌ３の延在方向に沿って交互に反転するように配置されている。
　直線Ｌ３の延在方向において中間部１３から最も離れて配置された直線帯部１７１の延在方向の他端部（すなわち、直線帯部１７１の延在方向における湾曲帯部１７２が接続されている端部の反対側の端部）が、第２接触部１２に接続されている。また、直線Ｌ３の延在方向において中間部１３に最も接近して配置された湾曲帯部１７２の他端部（すなわち、湾曲帯部１７２の延在方向における直線帯部１７１が接続されている端部の反対側の端部）が、中間部１３の延在方向における一端側で中間部１３に接続されている。
　すなわち、前記プローブピン１０では、第１弾性部１４の中間部１３および第１接触部１１間の第１経路６１の長さ（すなわち、各直線帯部１６１および各湾曲帯部１６２のその延在方向の長さの合計）と、第２弾性部１５の中間部１３および第２接触部１２間の第２経路６２の長さ（すなわち、各直線帯部１７１および各湾曲帯部１７２のその延在方向の長さの合計の平均）とが異なっている。
　また、第２弾性部１５の各帯状弾性片１５１、１５２は、その幅（すなわち、各帯状弾性片１５１、１５２の第２接触部１２および中間部１３間の経路の延在方向に直交する幅方向の長さ）Ｗ５、Ｗ６の合計が、第１弾性部１４の幅（すなわち、第１弾性部１４の第１接触部１１および中間部１３間の経路の延在方向に直交する幅方向の長さ）Ｗ４よりも大きくなるように構成されている。
　すなわち、前記プローブピン１０では、第１経路６１の幅（すなわち、第１弾性部１４の幅Ｗ４）と、第２経路６２の幅（すなわち、各帯状弾性片１５１、１５２の幅Ｗ５、Ｗ６の合計）とが異なっている。
　その結果、第１弾性部１４のばね常数と、第２弾性部１５のばね常数とが異なっている。具体的には、第１弾性部１４のばね常数が、第２弾性部１５のばね常数よりも小さくなるように構成されている。これにより、第１接点部１１１の検査対象物または検査装置に対する接圧を第２接点部１２１の検査対象物または検査装置に対する接圧よりも小さくすることができる。すなわち、検査対象物および検査装置に対して異なる接触荷重で接触可能なプローブピン１０を実現できる。
　なお、前記プローブピン１０では、各弾性部１４、１５の蛇行形状の折り返しの数（すなわち、湾曲帯部１６２、１７２の数）を異ならせることにより第１弾性部１４の第１経路６１の長さと第２弾性部１５の第２経路６２の長さとを異ならせ、さらに、第１経路６１の幅と第２経路６２の幅とを異ならせて、第１弾性部１４のばね常数と第２弾性部１５のばね常数とを異ならせているが、これに限らない。第１弾性部１４のばね常数と第２弾性部１５のばね常数とが異なる構成であれば、任意の構成を採用することができる。例えば、プローブピン１０が同一の導電性の材料で構成されている場合、経路６１、６２の長さ、経路６１、６２の幅、経路６１、６２の板厚、および、各弾性部１４、１５の湾曲帯部１６２、１７２の数の少なくともいずれか１つが異なるように、第１弾性部１４および第２弾性部１５を構成してもよい。すなわち、設計の自由度が高いプローブピン１０を実現できる。
　また、前記プローブピン１０によれば、第１弾性部１４および第２弾性部１５の各々が、第１接触部１１および第２接触部１２の配列方向に交差する直線帯部１６１、１７１と、直線帯部１６１、１７１に接続された湾曲帯部１６２、１７２とが交互に連続する蛇行形状を有している。これにより、検査対象物および検査装置に対して異なる接触荷重で接触可能なプローブピン１０を容易に実現できる。
　また、前記検査治具２によれば、プローブピン１０により、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査治具２を実現できる。
　なお、図３に示すように、前記検査治具２では、プローブピン１０は、中間部１３のその延在方向に両端部が、ソケット３のハウジング５０の内側面に設けられた段部５５に接触した状態で、収容部７に収容されている。すなわち、プローブピン１０は、係止部の一例の段部５５によって、第１接触部１１および第２接触部１２の配列方向に沿って、ばね定数が大きい第２弾性部１５に接続された第２接触部１２から、ばね定数が小さい第１弾性部１４に接続された第１接触部１１に向かう方向において、支持されつつ係止されている。これにより、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査治具２を確実に実現できる。
　また、前記検査ユニット１によれば、前記検査治具２により、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査ユニット１を実現できる。
　なお、前記検査ユニット１は、検査装置の一部を構成することができる。このような検査装置によれば、検査ユニット１により、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査装置を実現できる。
　また、検査治具２に収容されたプローブピン１０は、第１弾性部１４の第１接触部１１に最も近い位置に配置された直線帯部１６１が、収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３に当接し、第２弾性部１５の第２接触部１２に最も近い位置に配置された直線帯部１７１が、ベースハウジング４の第１ハウジング５に当接している。すなわち、前記検査ユニット１では、プローブピン１０は、第１弾性部１４の直線帯部１６１および第２弾性部１５の直線帯部１７１がソケット３およびベースハウジング４に支持されて、収容部７に保持されている。
　第１接触部１１および第２接触部１２は、プローブピン１０の設計等に応じて、その形状等を適宜変更できる。例えば、第１接点部１１１および第２接点部１２１の各々は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、形状および位置などを適宜変更することができる。
　各弾性部１４、１５は、第１接触部１１および第２接触部１２の配列方向に伸縮し、かつ、ばね常数が相互に異なるように構成されていればよい。
　例えば、図７～図１０に示すように、第１弾性部１４を相互に隙間を空けて配置された複数の帯状弾性片で構成してもよいし、第２弾性部１５を単一の帯状弾性片で構成してもよい。
　詳しくは、図７および図８に示すプローブピン１０は、第２弾性部１５が単一の帯状弾性片１５４で構成されている。図７および図８のプローブピン１０の第２弾性部１５の帯状弾性片１５４は、３つの直線帯部１７１および３つの湾曲帯部１７２がプローブピン１０の延在方向に沿って交互に接続された蛇行形状を有し、その幅Ｗ７が、図６に示す各帯状弾性片１５１、１５２の幅Ｗ５、Ｗ６よりも大きくなるように構成されている。
　図９および図１０に示すプローブピン１０は、第１弾性部１４が、相互に隙間１４３を空けて配置された２つの帯状弾性片１４１、１４２で構成され、第２弾性部１５が、単一の帯状弾性片１５４で構成されている。図９および図１０のプローブピン１０の第１弾性部１４の各帯状弾性片１４１、１４２は、３つの直線帯部１６１と、４つの湾曲帯部１６２がプローブピン１０の延在方向に沿って交互に接続された蛇行形状をそれぞれ有している。また、図９および図１０のプローブピン１０の第２弾性部１５の帯状弾性片１５４は、４つの直線帯部１７１と、４つの湾曲帯部１７２がプローブピン１０の延在方向に沿って交互に接続された蛇行形状を有し、その幅Ｗ８が、図７および図８のプローブピン１０における第２弾性部１５の帯状弾性片１５４の幅Ｗ７よりも大きくなるように構成されている。
　図９および図１０に示すプローブピン１０の中間部１３には、中間部１３の延在方向の両端部から、中間部１３の延在方向に沿って相互に反対方向に突出する突起部１９０がそれぞれ設けられている。図９および図１０に示すプローブピン１０は、中間部１３の突起部１９０を介して、ソケット３のハウジング５０の内側面５０１を押圧した状態で、収容部７に収容されている。また、図１０に示すように、プローブピン１０がハウジング５０の収容部７に収容された状態において、第１弾性部１４の第１接触部１１に最も近い位置に配置された帯状弾性片１４１の直線帯部１６１が、収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３に当接している。すなわち、プローブピン１０は、係止部の一例のハウジング５０の内側面５０１および第２開口面５２に対向する内面５０３によって、第１接触部１１および第２接触部１２の配列方向に沿って、ばね定数が大きい第２弾性部１５に接続された第２接触部１２から、ばね定数が小さい第１弾性部１４に接続された第１接触部１１に向かう方向において、係止されている。
　なお、図１０に示すソケット３のハウジング５０には、ハウジング５０の内側面５０１および第２開口面５２に対向する内面５０３によってプローブピン１０が係止されているため、段部５５を設けていないが、段部５５を有するハウジング５０を用いても構わない。
　また、例えば、図１１および図１２に示すように、第２弾性部１５をプローブピン１０の延在方向沿いに直列的に連結された２つの弾性ユニット１５５で構成してもよい。
　詳しくは、図１２に示すように、各弾性ユニット１５５は、プローブピン１０の延在方向に延びている連結帯部１８０と、プローブピン１０の延在方向に直交する幅方向に延びると共にプローブピン１０の延在方向に隙間を空けて配置された一対の直線帯部１８１と、各直線帯部１８１の連結帯部１８０に対して同じ側に配置された端部をそれぞれ接続する湾曲帯部１８２とで構成されている。湾曲帯部１８２は、プローブピン１０の延在方向の直交方向でかつ連結帯部１８０から離れる方向に突出した円弧状に延びている。
　プローブピン１０の延在方向における第１接触部１１側の弾性ユニット１５５（以下、第１弾性ユニット１５５という）の連結帯部１８０は、中間部１３のその延在方向の略中央部と、第１弾性ユニット１５５の第１接触部１１側の直線帯部１８１の略中央部とに接続されている。また、プローブピン１０の延在方向における第２接触部１２側の弾性ユニット１５５（以下、第２弾性ユニット１５５という）の連結帯部１８０は、第１弾性ユニット１５５の第２接触部１２側の直線帯部１８１の略中央部と、第２弾性ユニット１５５の第１接触部１１側の直線帯部１８１とに接続されている。また、第２弾性ユニット１５５の第２接触部１２側の直線帯部１８１の略中央部には、第２接触部１２が接続されている。
　すなわち、各弾性部１４、１５は、直線帯部１６１、１７１および湾曲帯部１６２、１７２で構成された蛇行形状に限らず、各接点部１１１、１２１と検査装置あるいは検査対象物との間の接圧を確保可能な他の構成を採用することもできる。
　なお、第２弾性部１５は、２つの弾性ユニット１５５を連結して構成する場合に限らず、１つ弾性ユニット１５５のみで構成してもよいし、３つ以上の弾性ユニット１５５を連結して構成してもよい。また、第１弾性部１４を複数の弾性ユニット１５５で構成してもよい。
　また、例えば、図１３および図１４に示すように、プローブピン１０の板厚方向から見て、プローブピン１０の延在方向に直交する方向において第２接触部１２が直線Ｌ３から離れて配置されるように（すなわち、第１接点部１１１および第２接点部１２１がオフセットするように）、第２弾性部１５を構成してもよい。
　詳しくは、図１３および図１４のプローブピン１０は、第２接触部１２が単一の帯状弾性片１５６で構成されている。図１３および図１４のプローブピン１０の第２弾性部１５の帯状弾性片１５６は、２つの直線帯部１７１および３つの湾曲帯部１７２がプローブピン１０の延在方向に沿って交互に接続された蛇行形状で、第１弾性部１４の幅Ｗ４と略同一の幅を有している。
　図１３および図１４のプローブピン１０を収容するソケット３は、直線Ｌ３に直交する方向において直線Ｌ３から遠い方のハウジング５０の側壁５０２に開口部５６が設けられている。この開口部５６は、直線Ｌ３の延在方向において、段部５５から第２開口面５２まで延びて、収容部７および第２開口面５２の開口部５４に接続されている。図１３および図１４に示すプローブピン１０は、第２接触部１２が、第２開口面５２の開口部５４およびハウジング５０の側壁５０２の開口部５６からハウジング５０の外部に露出した状態で、収容部７に収容されている。
　なお、第２弾性部１５に代えて、第１弾性部１４を第１接点部１１１および第２接点部１２１がオフセットするように構成してもよい。
　中間部１３は、第１接触部１１および第２接触部１２を結んだ配列方向に交差する方向に延びる板状である場合に限らない。例えば、図１５および図１６に示すように、中間部１３は、第１接触部１１および第２接触部１２の配列方向の直交方向に延びる板状の本体部１３０と、本体部１３０のその延在方向の両端部にそれぞれ設けられた第１腕部１３１および第２腕部１３２とで構成することができる。第１腕部１３１は、中間部１３のその延在方向の一端部（すなわち、図１６の右端部）における第１接触部１１側の面からプローブピン１０の延在方向に沿って第１接触部１１に向かって延びている。また、第２腕部１３２は、中間部のその延在方向の他端部（すなわち、図１６の左端部）における第２接触部１２側の面からプローブピン１０の延在方向に沿って第２接触部１２に向かって延びている。
　図１６に示すように、プローブピン１０がハウジング５０の収容部７に収容された状態において、第１腕部１３１の先端部１３３は、ハウジング５０の収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３に当接し、第２腕部１３２の先端部１３４は、ベースハウジング４の第１ハウジング５に当接する。すなわち、ハウジング５０の収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３が、収容部７に収容されたプローブピン１０の中間部１３を配列方向に沿って第２接触部１２から第１接触部１１に向かう方向において係止する係止部を構成している。また、図１５および図１６に示すプローブピン１０は、中間部１３の第１腕部１３１および第２腕部１３２がソケット３およびベースハウジング４に支持されて、収容部７に保持されるように構成されている。
　なお、図１６に示すソケット３のハウジング５０には、ハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３によってプローブピン１０が係止されているため、段部５５を設けていないが、段部５５を有するハウジング５０を用いても構わない。
　また、例えば、図１７および図１８に示すように、中間部１３は、第１接触部１１および第２接触部１２の配列方向の直交方向に延びる板状の本体部１３０と、本体部１３０のその延在方向の一端部に設けられ、プローブピン１０の延在方向に沿って中間部１３に対して反対方向に延びる第３腕部１３５および第４腕部１３６とで構成することができる。第３腕部１３５は、中間部１３のその延在方向の一端部（すなわち、図１８の右端部）における第１接触部１１側からプローブピン１０の延在方向に沿って第１接触部１１に向かって延びている。また、第３腕部１３５の先端部には、第３腕部１３５から第１接触部１１に向かって本体部１３０と略平行に延びる当接部１３７が設けられている。また、第４腕部１３６は、中間部１３のその延在方向の一端部（すなわち、図１８の右端部）における第２接触部１２側からプローブピン１０の延在方向に沿って第２接触部１２に向かって延びている。また、第４腕部１３６の先端部には、第４腕部１３６から第２接触部１２に向かって本体部１３０と略平行に延びる当接部１３８が設けられている。なお、第１弾性部１４および第２弾性部１５と中間部１３とは、本体部１３０のその延在方向の他端部（すなわち、図１８の左端部）で接続されている。
　図１８に示すように、プローブピン１０がハウジング５０の収容部７に収容された状態において、第３腕部１３５の当接部１３７は、ハウジング５０の収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３に当接し、第４腕部１３６の当接部１３８は、ベースハウジング４の第１ハウジング５に当接する。すなわち、ハウジング５０の収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３が、収容部７に収容されたプローブピン１０の中間部１３を配列方向に沿って第２接触部１２から第１接触部１１に向かう方向において係止する係止部を構成している。また、図１７および図１８に示すプローブピン１０は、中間部１３の第３腕部１３５の当接部１３７および第４腕部１３６の当接部１３８がソケット３およびベースハウジング４に支持されて、収容部７に保持されるように構成されている。
　なお、図１８に示すソケット３のハウジング５０には、ハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３によってプローブピン１０が係止されているため、段部５５を設けていないが、段部５５を有するハウジング５０を用いても構わない。
　また、第２弾性部１５は、２つの帯状弾性片１５１、１５２で構成されている場合に限らず、例えば、図１９および図２０に示すように、４つの帯状弾性片１９１、１９２、１９３、１９４で構成してもよい。なお、第２弾性部１５は、単一の帯状弾性片で構成してもよいし、３つの帯状弾性片で構成してもよいし、５以上の帯状弾性片で構成してもよい。
　また、例えば、図２１および図２２に示すように、中間部１３に、その板厚方向に貫通する貫通孔部１３９を設けてもよい。図２１および図２２に示すプローブピン１０では、中間部１３は、略矩形状を有し、その中央部に略円形状の貫通孔部１３９が設けられている。なお、図２２に示すように、中間部１３のプローブピン１０の延在方向における第１接触部１１側の面でかつプローブピン１０の延在方向の直交方向における一端部（すなわち、図２２の右端部）に、第１弾性部１４が接続され、中間部１３のプローブピン１０の延在方向の直交方向における一端部側の面でかつプローブピン１０の延在方向における第２接触部１２側に、第２弾性部１５が接続されている。
　図２２に示すように、プローブピン１０がハウジング５０の収容部７に収容された状態において、第１弾性部１４の第１接触部１１に最も近い位置に配置された直線帯部１６１が、収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３に当接し、第２弾性部１５の直線帯部１７１が、ベースハウジング４の第１ハウジング５に当接している。すなわち、図２１および図２２に示すプローブピン１０は、第１弾性部１４の直線帯部１６１および第２弾性部１５の直線帯部１７１がソケット３およびベースハウジング４に支持されて、収容部７に保持されるように構成されている。
　図２１および図２２に示すプローブピン１０を収容するソケット３のハウジング５０は、図１４に示すソケット３と同様に、プローブピン１０の板厚方向から見て、直線Ｌ３に直交する方向において直線Ｌ３から遠い方のハウジング５０の側壁５０２に開口部５６が設けられている。このソケット３のハウジング５０には、各収容部７の配列方向（すなわち、図２２の紙面貫通方向）に延びて、各収容部７を連通する連結用孔部５０４が設けられている。
　また、図２３に示すように、ハウジング５０の各収容部７の配列方向の両端部には、第２開口面５２から第１開口面５１に向かって収容部７の配列方向の幅が狭くなる段部５７が設けられている。各プローブピン１０は、中間部１３の貫通孔部１３９に配置された略円柱形状の連結棒部５８によって一体化され、対応する収容部７に収容される。連結棒部５８は、連結用孔部５０４に配置され、その延在方向の両端部がハウジング５０の段部５７により係止されている。すなわち、ハウジング５０の収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３と、連結棒部５８を係止する段部５７とが、収容部７に収容されたプローブピン１０の中間部１３を配列方向に沿って第２接触部１２から第１接触部１１に向かう方向において係止する係止部を構成している。
　検査治具２およびベースハウジング４は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、その構成を適宜変更することができる。すなわち、検査治具２およびベースハウジング４を汎用化して、検査ユニット１（ひいては検査装置）の生産性を向上させることができる。
　以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。
　本開示の第１態様のプローブピン１０は、
　板状の第１接触部１１および板状の第２接触部１２と、
　前記第１接触部１１および前記第２接触部１２の間に配置された中間部１３と、
　前記第１接触部１１および前記中間部１３に接続され、前記第１接触部１１および前記第２接触部１２を結んだ配列方向に沿って伸縮する第１弾性部１４と、
　前記中間部１３および前記第２接触部１２に接続され、前記配列方向に沿って伸縮する第２弾性部１５と
を備え、
　前記第１弾性部１４のばね常数が、前記第２弾性部１５のばね常数よりも小さくなるように構成されている。
　第１態様のプローブピン１０によれば、第１接触部１１および中間部１３に接続されかつ第１接触部１１および第２接触部１２を結んだ配列方向に沿って伸縮する第１弾性部１４のばね常数が、中間部１３および第２接触部１２に接続されかつ第１接触部１１および第２接触部１２を結んだ配列方向に沿って伸縮する第２弾性部１５のばね常数よりも小さくなるように構成されている。これにより、検査対象物および検査装置に対して異なる接触荷重で接触可能なプローブピン１０を実現できる。
　本開示の第２態様のプローブピン１０は、
　前記第１弾性部１４の前記中間部１３および前記第１接触部１１間の第１経路６１の長さと、前記第２弾性部１５の前記中間部１３および前記第２接触部１２間の第２経路６２の長さとが異なっているか、あるいは、前記第１経路６１のその延在方向に直交する幅方向の長さである第１幅と、前記第２経路６２のその延在方向に直交する幅方向の長さである第２幅とが異なっているか、あるいは、前記第１経路６１の長さと前記第２経路６２の長さが異なっておりかつ前記第１幅と前記第２幅とが異なっている。
　第２態様のプローブピン１０によれば、設計の自由度が高いプローブピン１０を実現できる。
　本開示の第３態様のプローブピン１０は、
　前記第１弾性部１４および前記第２弾性部１５の各々が、前記配列方向に交差する直線帯部１６１、１７１と、前記直線帯部１６１、１７１に接続された湾曲帯部１６２、１７２とが交互に連続する蛇行形状を有している。
　第３態様のプローブピン１０によれば、検査対象物および検査装置に対して異なる接触荷重で接触可能なプローブピン１０を容易に実現できる。
　本開示の第４態様のプローブピン１０は、
　前記第１弾性部１４の前記湾曲帯部１６２の数が、前記第２弾性部１５の前記湾曲帯部１７２の数よりも多くなるように構成されている。
　第４態様のプローブピン１０によれば、設計の自由度が高いプローブピン１０を実現できる。
　本開示の第５態様の検査治具２は、
　請求項１から４のいずれか１つプローブピン１０と、
　前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケット３と
を備え、
　前記ソケット３が、
　前記収容部７に収容された前記プローブピン１０の前記中間部１３を、前記配列方向に沿って前記第２接触部１２から前記第１接触部１１に向かう方向において係止する係止部５５、５０１、５０３、５７を有している。
　第５態様の検査治具２によれば、プローブピン１０により、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査治具２を実現できる。
　本開示の第６態様の検査ユニット１は、
　前記検査治具を少なくとも１つ備えた。
　第６態様の検査ユニット１によれば、検査治具２により、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査ユニット１を実現できる。
　本開示の第７態様の検査装置は、
　前記検査ユニット１を少なくとも１つ備えた。
　第７態様の検査装置によれば、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査装置を実現できる。
　なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
　本開示のプローブピンは、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査治具に適用できる。
　本開示の検査治具は、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。
　本開示の検査ユニットは、例えば、液晶パネルの検査装置に適用できる。
　本開示の検査装置は、例えば、液晶パネルの検査に用いることができる。
１　検査ユニット
２　検査治具
３　ソケット
４　ベースハウジング
５　第１ハウジング
６　第２ハウジング
７　収容部
１０　プローブピン
１１　第１接触部
１１１　第１接点部
１２　第２接触部
１２１　第２接点部
１３　中間部
１３０　本体部
１３１、１３２、１３５、１３６　腕部
１３３、１３４　先端部
１３７、１３８　当接部
１３９　貫通孔部
１４　第１弾性部
１４１、１４２　帯状弾性片
１４３　隙間
１５　第２弾性部
１５１、１５２、１５４、１５６、１９１、１９２、１９３、１９４　帯状弾性片
１５３　隙間
１５５　弾性ユニット
１６１、１７１、１８１　直線帯部
１６２、１７２、１８２　湾曲帯部
１８０　連結帯部
１９０　突起部
５０　ハウジング
５０１　内側面
５０２　側壁
５０３　内面
５０４　連結用孔部
５１　第１開口面
５２　第２開口面
５３、５４、５６　開口部
５５、５７　段部
５８　連結棒部
６１　第１経路
６２　第２経路
Ｌ１～Ｌ３　直線
Ｗ１～Ｗ８　幅

Claims (7)

  1. 　板状の第１接触部および板状の第２接触部と、
    　前記第１接触部および前記第２接触部の間に配置された中間部と、
    　前記第１接触部および前記中間部に接続され、前記第１接触部および前記第２接触部を結んだ配列方向に沿って伸縮する第１弾性部と、
    　前記中間部および前記第２接触部に接続され、前記配列方向に沿って伸縮する第２弾性部と
    を備え、
    　前記第１弾性部のばね常数が、前記第２弾性部のばね常数よりも小さくなるように構成されている、プローブピン。
  2. 　前記第１弾性部の前記中間部および前記第１接触部間の第１経路の長さと、前記第２弾性部の前記中間部および前記第２接触部間の第２経路の長さとが異なっているか、あるいは、前記第１経路のその延在方向に直交する幅方向の長さである第１幅と、前記第２経路のその延在方向に直交する幅方向の長さである第２幅とが異なっているか、あるいは、前記第１経路の長さと前記第２経路の長さが異なっておりかつ前記第１幅と前記第２幅とが異なっている、請求項１のプローブピン。
  3. 　前記第１弾性部および前記第２弾性部の各々が、前記配列方向に交差する直線帯部と、前記直線帯部に接続された湾曲帯部とが交互に連続する蛇行形状を有している、請求項１または２のプローブピン。
  4. 　前記第１弾性部の前記湾曲帯部の数が、前記第２弾性部の前記湾曲帯部の数よりも多くなるように構成されている、請求項３のプローブピン。
  5. 　請求項１から４のいずれか１つプローブピンと、
    　前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
    を備え、
    　前記ソケットが、
    　前記収容部に収容された前記プローブピンの前記中間部を、前記配列方向に沿って前記第２接触部から前記第１接触部に向かう方向において係止する係止部を有している、検査治具。
  6. 　請求項５の検査治具を少なくとも１つ備えた、検査ユニット。
  7. 　請求項６の検査ユニットを少なくとも１つ備えた検査装置。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110658364A (zh) * 2019-10-23 2020-01-07 柏成文 一种测试针
CN111579833A (zh) * 2020-05-18 2020-08-25 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
CN111579835A (zh) * 2020-05-18 2020-08-25 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
CN111579836A (zh) * 2020-05-18 2020-08-25 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
CN111579830A (zh) * 2020-05-18 2020-08-25 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
CN111579837A (zh) * 2020-05-18 2020-08-25 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
JP7452317B2 (ja) 2020-08-05 2024-03-19 オムロン株式会社 ソケット、ソケットユニット、検査治具および検査治具ユニット

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020180889A (ja) * 2019-04-25 2020-11-05 オムロン株式会社 プローブピン、検査治具および検査ユニット
JP7318297B2 (ja) * 2019-04-25 2023-08-01 オムロン株式会社 プローブピン、検査治具および検査ユニット
WO2020222327A1 (ko) * 2019-04-30 2020-11-05 (주)위드멤스 미세 전극 회로 검사용 핀
KR102166677B1 (ko) * 2019-08-09 2020-10-16 주식회사 오킨스전자 멤스 포고 핀 및 이를 이용한 검사 방법
KR102086390B1 (ko) * 2019-11-05 2020-03-09 주식회사 플라이업 프로브 핀
KR102232788B1 (ko) * 2019-12-17 2021-03-26 주식회사 오킨스전자 하우징 일체형 멤스 핀
KR102191759B1 (ko) * 2019-12-17 2020-12-16 주식회사 세인블루텍 프로브 핀 및 이를 이용한 검사용 소켓
JP2021128055A (ja) * 2020-02-13 2021-09-02 オムロン株式会社 検査ソケット
KR102197313B1 (ko) * 2020-07-29 2020-12-31 주식회사 세인블루텍 프로브 핀 및 이를 이용한 검사용 소켓
KR20230119799A (ko) * 2022-02-08 2023-08-16 (주)포인트엔지니어링 전기 전도성 접촉핀
KR102705416B1 (ko) 2022-11-18 2024-09-11 한국생산기술연구원 질화 처리 장치 및 질화 처리 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007218776A (ja) * 2006-02-17 2007-08-30 Nhk Spring Co Ltd 導電性接触子および導電性接触子ユニット
WO2008026875A1 (en) * 2006-09-01 2008-03-06 Nemsprobe Co., Ltd. Probe beam assembly
JP2013161718A (ja) * 2012-02-07 2013-08-19 Nhk Spring Co Ltd 接続端子および接続端子ユニット
JP2016109664A (ja) * 2014-11-26 2016-06-20 株式会社日本マイクロニクス プローブ及び接触検査装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002134202A (ja) 2000-10-27 2002-05-10 Otax Co Ltd 電子部品用ソケット
JP5103566B2 (ja) * 2007-11-26 2012-12-19 株式会社コーヨーテクノス 電気接触子およびそれを備える検査冶具
US8766658B2 (en) * 2008-07-18 2014-07-01 Tokyo Electron Limited Probe
JP2010091358A (ja) 2008-10-07 2010-04-22 Unitechno Inc 検査用ソケット
JP2011191187A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Nhk Spring Co Ltd コンタクトプローブおよびプローブユニット
KR101236312B1 (ko) * 2011-10-17 2013-02-28 (주)기가레인 반도체 검사용 프로브
JP6515516B2 (ja) * 2014-12-12 2019-05-22 オムロン株式会社 プローブピン、および、これを備えた電子デバイス
JP6531438B2 (ja) * 2015-03-13 2019-06-19 オムロン株式会社 プローブピン、および、これを備えたプローブユニット
JP6515877B2 (ja) * 2016-06-17 2019-05-22 オムロン株式会社 プローブピン

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007218776A (ja) * 2006-02-17 2007-08-30 Nhk Spring Co Ltd 導電性接触子および導電性接触子ユニット
WO2008026875A1 (en) * 2006-09-01 2008-03-06 Nemsprobe Co., Ltd. Probe beam assembly
JP2013161718A (ja) * 2012-02-07 2013-08-19 Nhk Spring Co Ltd 接続端子および接続端子ユニット
JP2016109664A (ja) * 2014-11-26 2016-06-20 株式会社日本マイクロニクス プローブ及び接触検査装置

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110658364A (zh) * 2019-10-23 2020-01-07 柏成文 一种测试针
CN111579833A (zh) * 2020-05-18 2020-08-25 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
CN111579835A (zh) * 2020-05-18 2020-08-25 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
CN111579836A (zh) * 2020-05-18 2020-08-25 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
CN111579830A (zh) * 2020-05-18 2020-08-25 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
CN111579837A (zh) * 2020-05-18 2020-08-25 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
CN111579837B (zh) * 2020-05-18 2022-09-20 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
CN111579830B (zh) * 2020-05-18 2023-06-02 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器
JP7452317B2 (ja) 2020-08-05 2024-03-19 オムロン株式会社 ソケット、ソケットユニット、検査治具および検査治具ユニット

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