JP2022029833A - ソケット、ソケットユニット、検査治具および検査治具ユニット - Google Patents

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Abstract

【課題】収容されるプローブピンの数を容易に変更可能なソケットを提供すること。【解決手段】ソケットが、間隔を空けて配置された第1壁部材および第2壁部材と、第1壁部材および第2壁部材の間に配置されたハウジング積層体とを備える。第1壁部材および第2壁部材の各々は、ハウジング積層体に対してそれぞれ分離可能に接続されている。ハウジング積層体は、相互に分離可能に接続されている複数のハウジングを有している。各ハウジングは、一端に設けられた第1開口部と、他端に設けられた第2開口部と、第1開口部および第2開口部に接続された収容部とを有する。収容部は、第1開口部から第1接点が外部に露出し第2開口部から第2接点が外部に露出した状態でプローブピンを収容可能に構成されている。【選択図】図1

Description

本開示は、ソケット、ソケットユニット、検査治具および検査治具ユニットに関する。
カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板に接続するための端子と、検査装置の端子とを接続することにより行われる。
このようなプローブピンを収容するソケットとしては、特許文献1に記載されたものがある。このソケットは、収納凹部を有する一対のハウジングと、一対のハウジングを相互に独立して位置決めする位置決め部材とを備えている。
特開2017-223630号公報
近年、検査装置および電子部品モジュールの多様化に伴って、検査に必要なプローブピンの数も多様化している。特許文献1のソケットでは、収容されるプローブピンの数の多様化については考慮されていない。
本開示は、収容されるプローブピンの数を容易に変更可能なソケットを提供することを目的とする。
本開示の一態様のソケットは、
第1接点および第2接点を有するプローブピンを収容可能なソケットであって、
第1方向に間隔を空けて配置された第1壁部材および第2壁部材と、
前記第1壁部材および前記第2壁部材の間に配置されたハウジング積層体と
を備え、
前記第1壁部材および前記第2壁部材の各々は、前記ハウジング積層体に対してそれぞれ分離可能に接続され、
前記ハウジング積層体は、前記第1方向に沿ってそれぞれ配置されかつ相互に分離可能に接続されている複数のハウジングを有し、
前記複数のハウジングの各々は、前記第1方向に交差する第2方向の一端に設けられた第1開口部と、前記第2方向の他端に設けられた第2開口部と、前記複数のハウジングの各々の内部に設けられ前記第1開口部および前記第2開口部に接続された収容部とを有し、
前記収容部は、前記第1開口部から前記第1接点が外部に露出し前記第2開口部から前記第2接点が外部に露出した状態で前記プローブピンを収容可能に構成されている。
本開示の一態様のソケットユニットは、
複数の前記態様のソケットと
前記複数のソケットの各々を相互に独立して位置決めしつつ、一体的に保持するベースハウジングと
を備える。
本開示の一態様の検査治具は、
前記態様のソケットと、
前記収容部に収容されたプローブピンと
を備える。
本開示の一態様の検査治具ユニットは、
前記態様のソケットユニットと、
前記収容部に収容されたプローブピンと
を備える。
前記ソケットによれば、第1方向に間隔を空けて配置された第1壁部材および第2壁部材と、第1壁部材および第2壁部材の間に配置されたハウジング積層体とを備える。第1壁部材および第2壁部材の各々は、ハウジング積層体に対してそれぞれ分離可能に接続されている。ハウジング積層体は、第1方向に沿ってそれぞれ配置されかつ相互に分離可能に接続されている複数のハウジングを有している。複数のハウジングの各々は、プローブピンを収容可能な収容部を有している。このような構成により、ハウジングの数を変更することで、収容されるプローブピンの数を容易に変更可能なソケットを実現できる。
前記ソケットユニットによれば、前記ソケットにより、収容されるプローブピンの数を容易に変更可能なソケットユニットを実現できる。
前記検査治具によれば、前記ソケットにより、接点極数を容易に変更可能な検査治具を実現できる。
前記検査治具ユニットによれば、前記ソケットユニットにより、接点極数を容易に変更可能な検査治具ユニットを実現できる。
本開示の一実施形態のソケットを備える検査治具を示す斜視図。 図1のII-II線に沿った断面図。 図1のIII-III線に沿った断面図。 図1のソケットを2つ並べた状態の平面図。 図1のソケットのハウジング積層体の中から1つのハウジングを取り外す方法を説明するための斜視図。 図1のソケットの第1の変形例を示す斜視図。 図1のソケットの第2の変形例を示す斜視図。 図1のソケットの第3の変形例を示す斜視図。 図1のソケットの第4の変形例を示す拡大斜視図。 図1のソケットの第5の変形例を示す断面図。 図1のソケットの第6の変形例を示す斜視図。 図1のソケットの第7の変形例を示す拡大斜視図。 図1の検査治具を複数備えた検査治具ユニットを示す斜視図。
以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語(例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語)を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
本開示の一実施形態のソケット1は、例えば、絶縁性の略直方体形状で、図1に示すように、第1方向(例えば、X方向)に間隔を空けて配置された第1壁部材10および第2壁部材20と、第1壁部材10および第2壁部材20の間に配置されたハウジング積層体30とを備える。ソケット1は、第1方向に交差する第2方向(例えば、Z方向)に沿ってみたときに、第1方向Xが長手方向となる略矩形状を有している。なお、図1には、一例として、ソケット1に複数のプローブピン40が収容された検査治具100を示している。
第1壁部材10および第2壁部材20の各々は、略L字の板状で、ハウジング積層体30に対してそれぞれ分離可能に接続されている。詳しくは、第1壁部材10および第2壁部材20の各々は、ハウジング積層体30に接続された第1部材11、21と、第1部材11、21に接続された第2部材12、22とで構成されている。
第1部材11、21は、略矩形板状で、第1方向Xが板厚方向となり、第1方向Xに相対する一方の面(以下、第1面111、211という。)がハウジング積層体30に対向するように配置されている。
第2部材12、22は、略矩形板状で、第2方向Zが板厚方向となるように配置されている。第2部材12、22は、第1部材11、21の第1方向Xに相対する面の他方の面(言い換えると、第1方向Xにおいてハウジング積層体30に対向する第1面111、211とは反対側の第2面112、212)から第1方向Xでかつハウジング積層体30から離れる方向に延びている。第2部材12、22には、取付部の一例としての貫通孔13、23が設けられている。この貫通孔13、23は、ねじ部材(図示せず)を収容可能に構成され、ねじ部材を介してソケット1をベースハウジング60(図13参照)等の他の部材に取り付けることができる。
図2に示すように、第1壁部材10の第1部材11は、ハウジング積層体30に対向する第1面111に設けられた第1凹部14を有している。第2壁部材20の第1部材21は、ハウジング積層体30に対向する第1面211に設けられた第2凹部24を有している。本実施形態では、第1壁部材10の第1部材11は、第2方向Zに間隔を空けて配置された2つの第1凹部14を有し、第2壁部材20の第1部材21は、第2方向Zに間隔を空けて配置された2つの第2凹部24を有している。各第1凹部14は、後述する接続部材50の一端を収容可能に構成され、各第2凹部24は、接続部材50の他端を収容可能に構成されている。
ハウジング積層体30は、第1方向Xに沿ってそれぞれ配置されかつ相互に分離可能に接続されている複数のハウジング31を有している。
各ハウジング31は、図3に示すように、第2方向Zの一端に設けられた第1開口部32と、第2方向Zの他端に設けられた第2開口部33と、各ハウジング31の内部に設けられた収容部34とを有している。第1開口部32は、各ハウジング31の第3方向Yの中心から遠い方の端に配置されている。第1開口部32は、収容部34よりも小さい第3方向Yの幅を有している。第2開口部33は、収容部34と略同じ第3方向Yの幅を有している。収容部34は、第1開口部32および第2開口部33に接続され、プローブピン40を収容可能に構成されている。
一例として、プローブピン40は、導電性の材料を用いて電鋳法で形成された細長い薄板状で、プローブピン40が延びる方向の両端にそれぞれ接点を有している(以下、第1接点41および第2接点42という)。収容部34は、第1接点41が第1開口部32から収容部34の外部に露出し、第2接点42が第2開口部33から収容部34の外部に露出するように、プローブピン40を収容可能に構成されている。なお、本実施形態では、図1に示すように、各ハウジング31の収容部34に収容されたプローブピン40の第1接点41および第2接点42は、第1方向Xに沿って一直線に等間隔で配置されている。つまり、ハウジング積層体30は、複数のプローブピン40を相互に電気的に独立した状態で収容可能に構成されている。
各ハウジング31は、各ハウジング31を第1方向Xに貫通すると共に、各ハウジング31における第2方向Zの端に開口する切欠35を有している。本実施形態では、各ハウジング31は、第2方向Zの両端にそれぞれ切欠35を有している。各切欠35は、収容部34に対して、第1方向Xおよび第2方向Zに交差する第3方向(例えば、Y方向)に隣接して設けられ、後述する接続部材50が配置されている。
図3に示すように、収容部34に収容された状態のプローブピン40は、第2方向Zに沿って伸縮する蛇行形状の弾性部43と、弾性部43における第2方向Zの両端にそれぞれ設けられた接触部44、45とを有している。弾性部43および接触部44、45は、第2方向Zに沿って直列的に配置されかつ一体に構成されている。
弾性部43は、複数の弾性片(本実施形態では、2つの弾性片431、432)で構成されている。隣接する弾性片431、432の間には、弾性部43を板厚方向(言い換えると、第1方向X)に貫通する貫通孔433が設けられている。
一方の接触部44は、第2方向Z沿いを収容部34の内部から外部に向かって延びる略矩形状の本体部441と、収容部34の内部で本体部441から第3方向Yに延びる支持部442とを有している。本体部441の収容部34の外部に位置する端には、第1接点41が設けられている。支持部442は、収容部34を構成するハウジング31の内面に接触している。他方の接触部45は、ハウジング31の内部で第3方向Yに沿って延びる本体部451と、本体部451から第2方向Z沿いを収容部34の外部に向かってそれぞれ延びる2つの突出部452とを有している。各突出部452の先端には、第2接点42が設けられている。
図2に示すように、ソケット1は、第1方向Xに沿って延びて複数のハウジング31の各々を分離可能に接続する接続部材50をさらに備える。接続部材50は、例えば、図3に示すように、略円柱形状を有し、各ハウジング31の切欠35に配置されている。本実施形態では、切欠35は、接続部材50の外面に沿った略半円状の底面を有している。
第1壁部材10の第2面112から各ハウジング31の収容部34までの第1方向Xにおける距離をL1N(N=ハウジング31の数)とし、第2壁部材20の第2面212から各ハウジング31の収容部34までの第1方向Xにおける距離をL2N(N=ハウジング31の数)とする。ソケット1は、距離L1Nと距離L2Nとが等しくなるように構成されている。本実施形態では、距離L1Nと距離L2Nとが等しくなるように、第1壁部材10および第2壁部材20の第1方向Xの厚さを調整している。詳しくは、第1壁部材10の第1方向Xの厚さを第2壁部材20の第1方向Xの厚さよりも大きくして、距離L1Nと距離L2Nとが等しいソケット1を実現している。
なお、第2方向Zに沿って場合における第1壁部材10の第2面112から収容部34の第1方向Xの中心までの距離を距離L1Nとしている。同様に、第2方向Zに沿って見た場合における第2壁部材20の第2面212から収容部34の第1方向Xの中心までの距離を距離L2Nとしている。
第1開口部32同士が第3方向Yにおいて隣接するように2つのソケット1を配置した場合を図4に示す。前述のとおり、ソケット1は、距離L1Nと距離L2Nとが等しくなるように構成され、隣接する第1開口部32が第3方向Yに一直線に並んで配置されている。また、図4では、一方のソケット1の第1壁部材10が他方のソケット1の第2壁部材20に対向し、一方のソケット1の第1壁部材10の第2面112と他方のソケット1の第2壁部材20の第2面212とが略同一平面を構成している。
ソケット1によれば、次のような効果を発揮できる。
ソケット1では、第1方向に間隔を空けて配置された第1壁部材10および第2壁部材20と、第1壁部材10および第2壁部材20の間に配置されたハウジング積層体30とを備える。第1壁部材10および第2壁部材20の各々は、ハウジング積層体30に対してそれぞれ分離可能に接続されている。ハウジング積層体30は、第1方向に沿ってそれぞれ配置されかつ相互に分離可能に接続されている複数のハウジング31を有している。複数のハウジング31の各々は、プローブピン40を収容可能な収容部34を有している。このような構成により、ハウジング31の数を変更することで、収容されるプローブピン40の数を容易に変更可能なソケット1を実現できる。
複数のハウジング31の各々が、複数のハウジング31の各々を第1方向に貫通すると共に、複数のハウジング31の各々における第2方向の端に開口する切欠35を有し、接続部材50が切欠35に配置されている。このような構成により、接続部材50により複数のハウジング31を容易に分離可能に接続することができる。また、例えば、図5に示すように、第1壁部材10をハウジング積層体30から分離し、一方の接続部材50を取り外すことで、第1方向Xの両側にハウジング31が配置された中間のハウジング31であっても容易にハウジング積層体30から分離することができる。その結果、例えば、ハウジング積層体30に収容された複数のプローブピン40の中の1つが故障した場合であっても、故障したプローブピン40が収容されたハウジング31をハウジング積層体30から分離して交換することができる。
第1壁部材10が、接続部材50の第1方向の一端を収容する第1凹部14を有し、第2壁部材20が、接続部材50の第1方向の他端を収容する第2凹部24を有している。このような構成により、第1壁部材10または第2壁部材20に対する接続部材50の第1方向Xの位置を第1凹部14または第2凹部24の底面により決めつつ、接続部材50を第1壁部材10または第2壁部材20に容易に取り付けることができる。
ソケット1は、第1壁部材10の第2面112から複数のハウジング31の各々の収容部34までの第1方向Xにおける距離L1Nと、第2壁部材20の第2面212から複数のハウジング31の各々の収容部34までの第1方向Xにおける距離L2Nとが等しくなるように構成されている。このような構成により、汎用性の高いソケット1を実現できる。
検査治具100によれば、ソケット1により、接点極数を容易に変更可能な検査治具100を実現できる。
ソケット1は、次のように構成することもできる。
ハウジング積層体30を構成するハウジング31の数は、任意に設定できる。また、ハウジング積層体は、全て同一の形状および構成のハウジングで構成してもよいし、異なる形状および構成のハウジングを含んでいてもよい。
第1壁部材10および第2壁部材20は、ハウジング積層体30に対して分離可能に接続できる任意の構成を採用できる。例えば、図6に示すように、第1壁部材10の貫通孔13および第2壁部材20の貫通孔23をねじ部材ではなくピンを収容可能に構成してもよい。また、例えば、図7および図8に示すように、第1壁部材10および第2壁部材20の各々の第2部材12、22を省略してもよい。この場合、第1壁部材10および第2壁部材20の各々の第1部材11、21に、取付部としての突起15を設けてもよい。図7のソケット1では、第1壁部材10および第2壁部材20の各々が、第2方向Yの一面に設けられ、第3方向Yに間隔を空けて配置された一対の突起15を有している。各突起15は、略円柱形状を有し、例えば、ベースハウジング60(図13参照)等の他の部材に設けられた孔または凹部に圧入可能に構成されている。図8のソケット1では、第1壁部材10および第2壁部材20の各々が、第1方向Xの第2面112、212に設けられ、第3方向Yの略中央に配置された突起16を有している。突起16は、略直方体形状を有し、例えば、ベースハウジング60(図13参照)等の他の部材に設けられた溝またはスリットに圧入可能に構成されている。
各ハウジング31の収容部34は、1つのプローブピン40に限らず、図9に示すように、複数のプローブピン40を収容可能に構成することができる。図9のソケット1は、図7のソケット1と同じ第1壁部材10を備えている。
接続部材50は、2つに限らず、例えば、図10に示すように、1つでもよい。図10のソケット1では、接続部材50および切欠35は、共に断面略T字状を有している。なお、図10のソケット1では、第2開口部33が蓋部材36で塞がれている。蓋部材36には、蓋部材36をその厚さ方向に貫通する貫通孔361が設けられ、この貫通孔361を介してプローブピン40の突出部452が収容部34の外部に露出している。図10のソケット1は、図7のソケット1と同じ第2壁部材20を備えている。
接続部材50および切欠35は、省略することもできる。この場合、例えば、図11に示すように、各ハウジング31は、第1方向Xの一方の面に設けられた突起37と、第1方向Xの他方の面に設けられた凹部38とを有している。図11のソケット1では、凹部38に隣接するハウジング31の突起37が嵌合されることで、各ハウジング31が相互に接続される。突起37および凹部38の各々は、一例として、第1方向Xに沿ってみたときに、略四角形状を有している。図11のソケット1は、図7のソケット1と同じ第1壁部材10を備えている。
各ハウジング31は、図12に示すように、1つのプローブピン40に限らず、複数のプローブピン40を収容可能に構成することができる。図12のソケット1では、2つのプローブピン40を収容したハウジング31と、3つのプローブピン40を収容したハウジング31とがハウジング積層体30に含まれている。図12のソケット1は、図7のソケット1と同じ第2壁部材20を備えている。また、図12のソケット1に収容されているプローブピン40は、図1のソケット1に収容されているプローブピン40とは第1接点41の形状が異なっている。
複数のソケット1と、各ソケット1を相互に独立して位置決めしつつ、一体的に保持するベースハウジング60とで、ソケットユニット2を構成することができる。図13には、一例として、ソケットユニット2に複数のプローブピン40が収容された検査治具ユニット200を示している。ソケットユニット2によれば、ソケット1により、収容されるプローブピン40の数を容易に変更可能なソケットユニット2を実現できる。また、検査治具ユニット200によれば、ソケットユニット2により、接点極数を容易に変更可能な検査治具ユニット200を実現できる。図13の検査治具ユニット200では、第3方向Yにおけるプローブピン40間のピッチを調整することで、検査装置あるいは検査対象物の端子の様々な態様に適用することできる。
第1壁部材10の第1凹部14および第2壁部材20の第2凹部24は、貫通孔であっても構わない。
距離L1Nと距離L2Nとが等しい場合に限らず、距離L1Nと距離L2Nとが異なるようにソケット1を構成することもできる。
プローブピン40は、前記実施形態に限らず、ハウジング31の収容部34に収容可能でかつ第1開口部32および第2開口部33からそれぞれ接点を露出させることが可能な任意の形状および構造を採用できる。
以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。
本開示の第1態様のソケット1は、
第1接点41および第2接点42を有するプローブピン40を収容可能なソケット1であって、
第1方向に間隔を空けて配置された第1壁部材10および第2壁部材20と、
前記第1壁部材10および前記第2壁部材20の間に配置されたハウジング積層体30と
を備え、
前記第1壁部材10および前記第2壁部材20の各々は、前記ハウジング積層体30に対してそれぞれ分離可能に接続され、
前記ハウジング積層体30は、前記第1方向に沿ってそれぞれ配置されかつ相互に分離可能に接続されている複数のハウジング31を有し、
前記複数のハウジング31の各々は、前記第1方向に交差する第2方向の一端に設けられた第1開口部32と、前記第2方向の他端に設けられた第2開口部33と、前記複数のハウジング31の各々の内部に設けられ前記第1開口部32および前記第2開口部33に接続された収容部34とを有し、
前記収容部34は、前記第1開口部32から前記第1接点41が外部に露出し前記第2開口部33から前記第2接点42が外部に露出した状態で前記プローブピン40を収容可能に構成されている。
本開示の第2態様のソケット1は、
前記第1方向に延びて前記複数のハウジング31の各々を分離可能に接続する接続部材50をさらに備え、
前記複数のハウジング31の各々が、
前記複数のハウジング31の各々を前記第1方向に貫通すると共に、前記複数のハウジング31の各々における前記第2方向の端に開口する切欠35を有し、
前記接続部材50が前記切欠35に配置されている。
本開示の第3態様のソケット1は、
前記第1壁部材10が、
前記接続部材50の前記第1方向の一端を収容する第1凹部14を有し、
前記第2壁部材20が、
前記接続部材50の前記第1方向の他端を収容する第2凹部24を有する。
本開示の第4態様のソケット1は、
前記複数のハウジング31の各々が、複数のプローブピン40を収容可能に構成されている。
本開示の第5態様のソケット1は、
前記第1壁部材10および前記第2壁部材20の各々が、前記ハウジング積層体30に対向する第1面111、211と、前記第1方向において前記第1面111、211とは反対側に配置された第2面112、212とを有し、
前記第1壁部材10の前記第2面112から前記複数のハウジング31の各々の前記収容部34までの前記第1方向における距離と、前記第2壁部材20の前記第2面212から前記複数のハウジング31の各々の前記収容部34までの前記第1方向における距離とが等しくなるように構成されている。
本開示の第6態様のソケットユニット2は、
複数の前記態様のソケット1と
前記複数のソケット1の各々を相互に独立して位置決めしつつ、一体的に保持するベースハウジング60と
を備える。
本開示の第7態様のソケットユニット2は、
前記複数のソケット1の各々が、
前記第1壁部材10および前記第2壁部材20の少なくともいずれかに設けられ、前記ベースハウジング60に対して前記複数のソケット1の各々を取り付ける取付部13、23、15、16を有する。
本開示の第8態様の検査治具100は、
前記態様のソケット1と、
前記収容部34に収容されたプローブピン40と
を備える。
本開示の第9態様の検査治具ユニット200は、
前記態様のソケットユニット2と、
前記収容部34に収容されたプローブピン40と
を備える。
なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
本開示のソケットは、例えば、カメラモジュールなどのBtoB(Business-to-Business)コネクタを接続媒体として備えるモジュール、および、SOP(Small Outline Package)、QFP(Quad Flat Package)、BGA(Ball grid array)などの半導体パッケージの検査に用いる検査治具に適用できる。
1 ソケット
2 ソケットユニット
10 第1壁部材
11 第1部材
111 第1面
112 第2面
12 第2部材
13 貫通孔
14 第1凹部
15、16 突起
20 第2壁部材
21 第1部材
211 第1面
212 第2面
22 第2部材
23 貫通孔
24 第2凹部
30 ハウジング積層体
31 ハウジング
32 第1開口部
33 第2開口部
34 収容部
35 切欠
36 蓋部材
361 貫通孔
37 突起
38 凹部
40 プローブピン
41 第1接点
42 第2接点
43 弾性部
431、432 弾性片
44、45 接触部
441、451 本体部
442 支持部
452 突出部
50 接続部材
60 ベースハウジング
100 検査治具
200 検査治具ユニット

Claims (9)

  1. 第1接点および第2接点を有するプローブピンを収容可能なソケットであって、
    第1方向に間隔を空けて配置された第1壁部材および第2壁部材と、
    前記第1壁部材および前記第2壁部材の間に配置されたハウジング積層体と
    を備え、
    前記第1壁部材および前記第2壁部材の各々は、前記ハウジング積層体に対してそれぞれ分離可能に接続され、
    前記ハウジング積層体は、前記第1方向に沿ってそれぞれ配置されかつ相互に分離可能に接続されている複数のハウジングを有し、
    前記複数のハウジングの各々は、前記第1方向に交差する第2方向の一端に設けられた第1開口部と、前記第2方向の他端に設けられた第2開口部と、前記複数のハウジングの各々の内部に設けられ前記第1開口部および前記第2開口部に接続された収容部とを有し、
    前記収容部は、前記第1開口部から前記第1接点が外部に露出し前記第2開口部から前記第2接点が外部に露出した状態で前記プローブピンを収容可能に構成されている、ソケット。
  2. 前記第1方向に延びて前記複数のハウジングの各々を分離可能に接続する接続部材をさらに備え、
    前記複数のハウジングの各々が、
    前記複数のハウジングの各々を前記第1方向に貫通すると共に、前記複数のハウジングの各々における前記第2方向の端に開口する切欠を有し、
    前記接続部材が前記切欠に配置されている、請求項1のソケット。
  3. 前記第1壁部材が、
    前記接続部材の前記第1方向の一端を収容する第1凹部を有し、
    前記第2壁部材が、
    前記接続部材の前記第1方向の他端を収容する第2凹部を有する、請求項2のソケット。
  4. 前記複数のハウジングの各々が、複数のプローブピンを収容可能に構成されている、請求項1から3のいずれか1つのソケット。
  5. 前記第1壁部材および前記第2壁部材の各々が、前記ハウジング積層体に対向する第1面と、前記第1方向において前記第1面とは反対側に配置された第2面とを有し、
    前記第1壁部材の前記第2面から前記複数のハウジングの各々の前記収容部までの前記第1方向における距離と、前記第2壁部材の前記第2面から前記複数のハウジングの各々の前記収容部までの前記第1方向における距離とが等しくなるように構成されている、請求項1から4のいずれか1つのソケット。
  6. 複数の請求項1から5のいずれか1つのソケットと
    前記複数のソケットの各々を相互に独立して位置決めしつつ、一体的に保持するベースハウジングと
    を備える、ソケットユニット。
  7. 前記複数のソケットの各々が、
    前記第1壁部材および前記第2壁部材の少なくともいずれかに設けられ、前記ベースハウジングに対して前記複数のソケットの各々を取り付ける取付部を有する、請求項6のソケットユニット。
  8. 請求項1から5のいずれか1つのソケットと、
    前記収容部に収容されたプローブピンと
    を備える、検査治具。
  9. 請求項6または7のソケットユニットと、
    前記収容部に収容されたプローブピンと
    を備える、検査治具ユニット。
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