JP6806269B2 - プローブピン、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 - Google Patents

Description

本開示は、プローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置に関する。

カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板と接続するためのＦＰＣ接触電極、あるいは、実装された基板対基板コネクタ等の電極部と検査装置とを接続することにより行われる。

このようなプローブピンとしては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してそれぞれ接触可能な一対のコンタクトと、一対のコンタクト間に介在して一対のコンタクトを接続する蛇行部とを備えている。前記プローブピンでは、蛇行部により、各コンタクトと電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子との間の接圧を確保して、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対する接触信頼性を高めている。

特開２００２−１３４２０２号公報

近年、電子部品モジュールの省電力化に伴って、検査に用いるプローブピンの低抵抗化が要請されている。

特許文献１のプローブピンにおいて、高い接触信頼性を確保するために蛇行部の折り返しの数を増加させると、一対のコンタクト間を流れる電流の経路が長くなる。この場合、プローブピンの電気抵抗が増大し、低抵抗化を図ることが困難な場合がある。

本開示は、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性を確保しつつ、導通経路の電気抵抗を低減できるプローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置を提供することを目的とする。

本開示の一例のプローブピンは、
長手方向に沿って伸縮する弾性部と、
前記弾性部の前記長手方向の第１端部に接続された板状の第１接触部と、
前記第１接触部に対して直列的に配置され、前記弾性部の前記長手方向の第２端部に接続された板状の第２接触部と
を備え、
前記弾性部が、
相互に隙間を空けて配置された複数の帯状弾性片を有し、
前記複数の帯状弾性片の各々が、
前記第１接触部に対して前記第１接触部の幅方向の一方側に配置され、前記長手方向に交差する方向に沿って延びていると共に、その延在方向の一端部が、前記第１端部を構成しかつ前記長手方向に交差する方向から前記第１接触部に接続された第１直線部と、
前記第２接触部に対して前記第１接触部の前記幅方向の前記一方側に配置され、前記長手方向に交差する方向に沿って延びていると共に、その延在方向の一端部が、前記第２端部を構成しかつ前記長手方向に交差する方向から前記第２接触部に接続された第２直線部と、
前記第１直線部の他端部および前記第２直線部の他端部に接続された湾曲部と
を有する。

また、本開示の一例の検査治具は、
前記プローブピンと、
前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
を備える。

また、本開示の一例の検査ユニットは、
前記検査治具を少なくとも１つ備えた。

また、本開示の一例の検査装置は、
前記検査ユニットを少なくとも１つ備えた。

前記プローブピンによれば、弾性部が、複数の帯状弾性片を有し、各帯状弾性片が、第１接触部に対して第１接触部の幅方向の一方側に配置され、その延在方向の一端部がプローブピンの長手方向に交差する方向から第１接触部に接続された第１直線部と、第２接触部に対して第１接触部の幅方向の一方側に配置され、その延在方向の一端部がプローブピンの長手方向に交差する方向から第２接触部に接続された第２直線部と、第１直線部の他端部および第２直線部の他端部に接続された湾曲部とを有している。この弾性部により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性を確保しつつ、第１接触部および第２接触部間の導通経路における電気抵抗を低減できる。

また、前記検査治具によれば、前記プローブピンにより、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の接触抵抗が低い検査治具を実現できる。

また、前記検査ユニットによれば、前記検査治具により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の接触抵抗が低い検査ユニットを実現できる。

また、前記検査装置によれば、前記検査ユニットにより、検査対象物に対する接触信頼性が高く、検査対象物に接続した場合の接触抵抗が低い検査装置を実現できる。

本開示の一実施形態の検査ユニットを示す斜視図。 図１のII-II線に沿った断面図。 本開示の一実施形態のプローブピンを示す斜視図。 図３のプローブピンの平面図。 図３のプローブピンの弾性部周辺の拡大平面図。

以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

本開示の一実施形態のプローブピン１０は、導電性を有し、例えば、図１および図２に示すように、ソケット３に収容された状態で使用され、ソケット３と共に検査治具２を構成する。この検査治具２には、一例として、複数の細長い薄板状のプローブピン１０が収容されている。

また、検査治具２は、検査ユニット１の一部を構成している。検査ユニット１は、図１に示すように、少なくとも１つの検査治具２が組み込まれた略直方体状のベースハウジング４を備えている。このベースハウジング４は、略矩形板状の第１ハウジング５と、この第１ハウジング５の板厚方向に積み重ねられた第２ハウジング６とで構成されている。

ソケット３は、図２に示すように、各プローブピン１０を収容可能な複数の収容部７を有し、第１ハウジング５および第２ハウジング６で保持されている。各収容部７は、ソケット３とベースハウジング４の第２ハウジング６とで取り囲まれており、後述する第１接点部１２１および第２接点部１３１がソケット３およびベースハウジング４の外部にそれぞれ露出した状態で、各プローブピン１０を収容可能に構成されている。

各プローブピン１０は、図３に示すように、その長手方向（すなわち、図３の上下方向）に沿って伸縮する弾性部１１と、弾性部１１のプローブピン１０の長手方向における一方の端部である第１端部１１１に接続された板状の第１接触部１２と、第１接触部１２に対して直列的に配置され弾性部１１のプローブピン１０の長手方向における他端部である第２端部１１２に接続された板状の第２接触部１３とを備えている。

弾性部１１は、図４に示すように、相互に隙間６１、６２、６３を空けて配置された複数の帯状弾性片（この実施形態では、４つの帯状弾性片）２１、２２、２３、２４を有している。各帯状弾性片２１、２２、２３、２４は、図５に示すように、細長い帯状で、第１直線部３１、３２、３３、３４と、第２直線部４１、４２、４３、４４と、湾曲部５１、５２、５３、５４とを有している。なお、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４は、一例として、略同一の断面形状を有している。

各第１直線部３１、３２、３３、３４は、図５に示すように、帯状を有し、第１接触部１２に対して第１接触部１２の幅方向の一方側（すなわち、図５の右側）に配置され、プローブピン１０の長手方向に交差する方向に沿って延びている。また、各第１直線部３１、３２、３３、３４は、その延在方向の一端部が、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の第１端部２１１、２２１、２３１、２４１（すなわち、弾性部１１の第１端部１１１）を構成しかつプローブピン１０の長手方向に交差する第１方向Ａから第１接触部１２に接続されている。

また、図５に示すように、各第１直線部３１、３２、３３、３４のその延在方向の一端部（すなわち、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の第１端部２１１、２２１、２３１、２４１）と第１接触部１２とは、プローブピン１０の長手方向に交差する方向（例えば、直交方向）に延びる第１直線Ｌ１上で接続されている。すなわち、第１直線Ｌ１は、第１端部２１１、２２１、２３１、２４１の第１接触部１２に対する接続方向（すなわち、第１方向Ａ）に直交する方向に延びている。

各第２直線部４１、４２、４３、４４は、図５に示すように、帯状を有し、第２接触部１３に対して第１接触部１２の幅方向の一方側（すなわち、図５の右側）に配置され、プローブピン１０の長手方向に交差する方向に沿って延びている。また、各第２直線部４１、４２、４３、４４は、その延在方向の一端部が、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の第２端部２１２、２２２、２３２、２４２（すなわち、弾性部１１の第２端部１１２）を構成しかつプローブピン１０の長手方向に交差する第２方向Ｂから第２接触部１３に接続されている。

また、図５に示すように、各第２直線部４１、４２、４３、４４のその延在方向の一端部（すなわち、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の第２端部２１２、２２２、２３２、２４２）と第２接触部１３とは、プローブピン１０の長手方向に交差する方向（例えば、直交方向）に延びる第２直線Ｌ２上で接続されている。すなわち、第２直線Ｌ２は、第２端部２１２、２２２、２３２、２４２の第２接触部１３に対する接続方向（すなわち、第２方向Ｂ）に直交する方向に延びている。

なお、第１接触部１２の幅方向は、第１接触部１２の板厚方向（すなわち、図４および図５の紙面貫通方向）から見て、プローブピン１０の長手方向に直交する方向（すなわち、図４および図５の左右方向）である。

各湾曲部５１、５２、５３、５４は、図５に示すように、帯状で、第１接触部１２の板厚方向から見て略Ｓ字状を有し、第１直線部３１、３２、３３、３４のその延在方向の他端部および第２直線部４１、４２、４３、４４のその延在方向の他端部に接続されている。各湾曲部５１、５２、５３、５４は、第１湾曲部５１１、５２１、５３１、５４１と、第２湾曲部５１２、５２２、５３２、５４２と、第１湾曲部５１１、５２１、５３１、５４１および第２湾曲部５１２、５２２、５３２、５４２を接続する接続部５１３、５２３、５３３、５４３とを有している。

第１湾曲部５１１、５２１、５３１、５４１は、その曲率中心ＣＰ１が、プローブピン１０の長手方向において、第１直線部３１、３２、３３、３４と第２直線部４１、４２、４３、４４との間に配置され、１８０度よりも大きく３６０度よりも小さい中心角θ１に対する円弧に沿って延びている。また、第２湾曲部５１２、５２２、５３２、５４２は、その曲率中心ＣＰ２が、弾性部１１に対して異なる側（すなわち、プローブピン１０の長手方向において、第１直線部３１、３２、３３、３４よりも第２直線部４１、４２、４３、４４から離れた位置）に配置され、ゼロよりも大きく１８０度よりも小さい中心角θ２に対する円弧に沿って延びている。また、接続部５１３、５２３、５３３、５４３は、略直線状に延びている。

また、図５に示すように、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の幅（すなわち、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の第１端部２１１、２２１、２３１、２４１および第２端部２１２、２２２、２３２、２４２間の経路の延在方向に直交する幅方向の長さ）Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４は、隣接する帯状弾性片２１、２２、２３、２４間の最短距離Ｗ５よりも小さくなるように構成されている。

なお、図５には、一例として、第１湾曲部５１１、５２１、５３１、５４１の曲率円の半径方向における曲率中心ＣＰ１に最も近い帯状弾性片２４の湾曲部５４と、この帯状弾性片２４に隣接する帯状弾性片２３の湾曲部５３との間の直線距離を最短距離Ｗ５として示している。

第１接触部１２は、図４に示すように、プローブピン１０の長手方向に沿って延び、その延在方向の一端部が弾性部１１の第１端部１１１に接続されている。第１接触部１２の延在方向の他端部には、第１接点部１２１が設けられている。また、第２接触部１３は、図４に示すように、プローブピン１０の長手方向に沿って延び、その延在方向の一端部が弾性部１１の第２端部１１２に接続されている。第２接触部１３の延在方向の他端部には、第２接点部１３１が設けられている。

第１接点部１２１は、一例として、検査対象物（例えば、基板対基板（ＢｔｏＢ）コネクタ）の端子に接触可能に構成されている。また、第２接点部１３１は、一例として、検査装置の基板（例えば、ＰＣＢパッド）に設けられた端子に接触可能に構成されている。

第１接触部１２および第２接触部１３の各々は、プローブピン１０の長手方向沿いに延びる仮想直線Ｌ３に沿って直列的に配置されている。すなわち、弾性部１１の第１端部１１１および第２端部１１２は、仮想直線Ｌ３に対する同じ側（すなわち、第１接触部１２の幅方向の一方側）から第１接触部１２および第２接触部１３にそれぞれ接続されている。

第１接触部１２のその延在方向の中間部における弾性部１１側には、支持部１２２が設けられ、第２接触部１３のその延在方向の中間部における弾性部１１側には、支持部１３２が設けられている。各支持部１２２、１３２は、第１接触部１２の板厚方向から見て、第１接触部１２および第２接触部１３から、プローブピン１０の長手方向に交差する方向（例えば、直交方向）でかつ仮想直線Ｌ３に対する弾性部１１側に向かって突出している。

図２に示すように、ソケット３の収容部７にプローブピン１０を収容したとき、第１接触部１２の支持部１２２は、プローブピン１０の長手方向における第１接点部１２１側の面が収容部７を構成するソケット３の内面に当接するように構成され、第２接触部１３の支持部１３２は、プローブピン１０の長手方向における第２接点部１３１側の面が収容部７を構成する第２ハウジング６に当接するように構成されている。すなわち、各支持部１２２、１３２により、プローブピン１０が収容部７の内部で支持されるように構成されている。

なお、図４に示すように、第１接触部１２および第２接触部１３は、第１接触部１２の幅Ｗ６および第２接触部１３の幅Ｗ７が、弾性部１１の幅Ｗ８よりも大きくなるようにそれぞれ構成されている。ここで、第１接触部１２の幅Ｗ６は、プローブピン１０の長手方向に直交する幅方向における第１接触部１２の最短距離とし、第２接触部１３の幅Ｗ７は、プローブピン１０の長手方向に直交する幅方向における第２接触部１３の最短距離とする。また、弾性部１１の幅Ｗ８は、弾性部１１の経路の延在方向に直交する幅方向における両側の帯状弾性片２１、２４の外面（すなわち、隣接する帯状弾性片２２、２３に対向する内面の弾性部１１の幅方向における反対側の面）間の最短距離とする。

以上の通り、前記プローブピン１０によれば、弾性部１１が、複数の帯状弾性片２１、２２、２３、２４を有し、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４が、第１接触部１２に対して第１接触部１２の幅方向の一方側に配置され、その延在方向の一端部がプローブピンの長手方向に交差する第１方向Ａから第１接触部１２に接続された第１直線部３１、３２、３３、３４と、第２接触部１３に対して第１接触部１２の幅方向の一方側に配置され、その延在方向の一端部がプローブピン１０の長手方向に交差する第２方向Ｂから第２接触部１３に接続された第２直線部４１、４２、４３、４４と、第１直線部３１、３２、３３、３４の他端部および第２直線部４１、４２、４３、４４の他端部に接続された湾曲部５１、５２、５３、５４とを有している。この弾性部１１において、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性を確保可能な弾性力を保持しつつ、弾性部１１の経路の長さを削減しかつ弾性部１１の経路の断面積を大きくできるので、第１接触部１２および第２接触部１３間の導通経路における電気抵抗を低減できる。

また、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の第１直線部３１、３２、３３、３４の一端部と第１接触部１２とが、プローブピン１０の長手方向に交差する方向に延びる第１直線Ｌ１上で接続されており、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の第２直線部４１、４２、４３、４４の一端部と第２接触部１３とが、プローブピン１０の長手方向に交差する方向に延びる第２直線Ｌ２上で接続されている。これにより、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４は、例えば、略同一の断面形状の部材が互いに隙間を空けて並列に配置されることになるので、その撓み量が略均一になる。このため、例えば、第１接点部１２１および第２接点部１３１の各々が検査対象物および検査装置に対して接触して各帯状弾性片２１、２２、２３、２４がプローブピン１０の長手方向に圧縮されたときでも、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４同士の接触を防止することができ、高い接触信頼性を確保できるプローブピン１０を実現できる。

また、第１直線Ｌ１が、第１端部２１１、２２１、２３１、２４１の第１接触部１２に対する接続方向に直交する方向に延び、第２直線Ｌ２が、第２端部２１２、２２２、２３２、２４２の第２接触部１３に対する接続方向に直交する方向に延びている。これにより、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の撓み量をより均一にすることができ、高い接触信頼性を確保できるプローブピン１０をより確実に実現できる。

また、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の幅Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４が、隣接する帯状弾性片２１、２２、２３、２４間の最短距離Ｗ５よりも小さくなるように構成されている。これにより、例えば、第１接点部１２１および第２接点部１３１の各々が検査対象物および検査装置に対して接触して各帯状弾性片２１、２２、２３、２４がプローブピン１０の長手方向に圧縮されたときでも、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４同士の接触を防止することができ、高い接触信頼性を確保できるプローブピン１０を実現できる。

また、第１接触部１２および第２接触部１３の各々の幅Ｗ６、Ｗ７が、弾性部１１の幅Ｗ８よりも大きくなるように構成されている。これにより、第１接触部１２および第２接触部１３の電気抵抗を低減することができる。

また、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の湾曲部５１、５２、５３、５４が、中心角θ１、θ２が異なる２つの湾曲部５１１、５２１、５３１、５４１、５１２、５２２、５３２、５４２を有し、２つの湾曲部５１１、５２１、５３１、５４１、５１２、５２２、５３２、５４２の曲率中心ＣＰ１、ＣＰ２が、弾性部１１に対して異なる側にそれぞれ配置されている。これにより、弾性部１１に発生する応力を分散することができる。

また、前記検査治具２によれば、前記プローブピン１０により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の接触抵抗が低い検査治具２を実現できる。

また、前記検査ユニット１によれば、前記検査治具２により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の接触抵抗が低い検査ユニット１を実現できる。

なお、前記検査ユニット１は、検査装置の一部を構成することができる。このような検査装置によれば、検査ユニット１により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の接触抵抗が低い検査装置を実現できる。

第１接触部１２および第２接触部１３は、プローブピン１０の設計等に応じて、その形状等を適宜変更できる。例えば、第１接点部１２１および第２接点部１３１の各々は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、形状および位置などを適宜変更することができる。

弾性部１１は、相互に隙間を空けて配置され、第１直線部３１、３２、３３、３４、第２直線部４１、４２、４３、４４および湾曲部５１、５２、５３、５４を有する複数の帯状弾性片２１、２２、２３、２４を備えていればよい。

例えば、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の第１直線部３１、３２、３３、３４の一端部と第１接触部１２とは、第１直線Ｌ１以外の直線上で接続されてもよいし、全ての帯状弾性片２１、２２、２３、２４の第１直線部３１、３２、３３、３４の一端部と第１接触部１２とが、同一直線上で接続されていなくてもよい。第２直線部４１、４２、４３、４４についても同様である。

第１直線Ｌ１は、第１端部２１１、２２１、２３１、２４１の第１接触部１２に対する接続方向に直交する方向に延びている場合に限らない。第２直線Ｌ２についても同様である。

各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の幅Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４は、隣接する帯状弾性片２１、２２、２３、２４間の最短距離Ｗ５よりも小さい場合に限らず、大きくてもよい。

第１接触部１２および第２接触部１３の各々の幅Ｗ６、Ｗ７は、弾性部１１の幅Ｗ８よりも大きい場合に限らず、小さくてもよい。

湾曲部５１、５２、５３、５４は、中心角θ１、θ２が異なる２つの湾曲部５１１、５２１、５３１、５４１、５１２、５２２、５３２、５４２を有する場合に限らない。例えば、湾曲部５１、５２、５３、５４は、１つの湾曲部で構成してもよい。

検査治具２およびベースハウジング４は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、その構成を適宜変更することができる。すなわち、検査治具２およびベースハウジング４を汎用化して、検査ユニット１（ひいては検査装置）の生産性を向上させることができる。

以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。

本開示の第１態様のプローブピン１０は、
長手方向に沿って伸縮する弾性部１１と、
前記弾性部１１の前記長手方向の第１端部１１１に接続された板状の第１接触部１２と、
前記第１接触部１２に対して直列的に配置され、前記弾性部１１の前記長手方向の第２端部１１２に接続された板状の第２接触部１３と
を備え、
前記弾性部１１が、
相互に隙間６１、６２、６３を空けて配置された複数の帯状弾性片２１、２２、２３、２４を有し、
前記複数の帯状弾性片２１、２２、２３、２４の各々が、
前記第１接触部１２に対して前記第１接触部１２の幅方向の一方側に配置され、前記長手方向に交差する方向に沿って延びていると共に、その延在方向の一端部が、前記第１端部１１１を構成しかつ前記長手方向に交差する方向から前記第１接触部１２に接続された第１直線部３１、３２、３３、３４と、
前記第２接触部１３に対して前記第１接触部１２の前記幅方向の前記一方側に配置され、前記長手方向に交差する方向に沿って延びていると共に、その延在方向の一端部が、前記第２端部１１２を構成しかつ前記長手方向に交差する方向から前記第２接触部１３に接続された第２直線部４１、４２、４３、４４と、
前記第１直線部３１、３２、３３、３４の他端部および前記第２直線部４１、４２、４３、４４の他端部に接続された湾曲部５１、５２、５３、５４と
を有する。

第１態様のプローブピン１０によれば、弾性部１１により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性を確保しつつ、第１接触部１２および第２接触部１３間の導通経路における電気抵抗を低減して、プローブピン１０の低抵抗化を図ることができる。

本開示の第２態様のプローブピン１０は、
前記複数の帯状弾性片２１、２２、２３、２４の各々の前記第１直線部３１、３２、３３、３４の一端部と前記第１接触部１２とが、前記長手方向に交差する方向に延びる第１直線Ｌ１上で接続されており、
前記複数の帯状弾性片２１、２２、２３、２４の各々の前記第２直線部４１、４２、４３、４４の一端部と前記第２接触部１３とが、前記長手方向に交差する方向に延びる第２直線Ｌ２上で接続されている。

第２態様のプローブピン１０によれば、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の撓み量を均一にして、例えば、第１接点部１２１および第２接点部１３１の各々が検査対象物および検査装置に対して接触して各帯状弾性片２１、２２、２３、２４がプローブピン１０の長手方向に圧縮されたときでも、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４同士の接触を防止することができ、高い接触信頼性を確保できるプローブピン１０を実現できる。

本開示の第３態様のプローブピン１０は、
前記第１直線Ｌ１が、前記第１端部２１１、２２１、２３１、２４１の前記第１接触部１２に対する接続方向に直交する方向に延び、
前記第２直線Ｌ２が、前記第２端部２１２、２２２、２３２、２４２の前記第２接触部１３に対する接続方向に直交する方向に延びている。

第３態様のプローブピン１０によれば、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４の撓み量をより均一にすることができ、高い接触信頼性を確保できるプローブピン１０をより確実に実現できる。

本開示の第４態様のプローブピン１０は、
前記複数の帯状弾性片２１、２２、２３、２４の幅Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４が、隣接する前記複数の帯状弾性片２１、２２、２３、２４間の最短距離Ｗ５よりも小さくなるように構成されている。

第４態様のプローブピン１０によれば、例えば、第１接点部１２１および第２接点部１３１の各々が検査対象物および検査装置に対して接触して各帯状弾性片２１、２２、２３、２４がプローブピン１０の長手方向に圧縮されたときでも、各帯状弾性片２１、２２、２３、２４同士の接触を防止することができ、高い接触信頼性を確保できるプローブピン１０を実現できる。

本開示の第５態様のプローブピン１０は、
前記第１接触部１２および前記第２接触部１３の各々の幅Ｗ６、Ｗ７が、前記弾性部１１の幅Ｗ８よりも大きくなるように構成されている。

第５態様のプローブピン１０によれば、第１接触部１２および第２接触部１３の電気抵抗を低減することができるので、プローブピン１０の低抵抗化を図ることができる。

本開示の第６態様のプローブピン１０は、
前記複数の帯状弾性片２１、２２、２３、２４の各々の前記湾曲部５１、５２、５３、５４が、中心角θ１、θ２が異なる２つの湾曲部５１１、５２１、５３１、５４１、５１２、５２２、５３２、５４２を有し、
前記２つの湾曲部５１１、５２１、５３１、５４１、５１２、５２２、５３２、５４２の曲率中心ＣＰ１、ＣＰ２が、前記弾性部１１に対して異なる側にそれぞれ配置されている。

第６態様のプローブピン１０によれば、弾性部１１に発生する応力を分散することができる。

本開示の第７態様の検査治具２は、
前記プローブピン１０と、
前記プローブピン１０を収容可能な収容部７を有するソケット３と
を備えた。

第７態様の検査治具２によれば、前記プローブピン１０により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の接触抵抗が低い検査治具２を実現できる。

本開示の第８態様の検査ユニット１は、
前記検査治具を少なくとも１つ備えた。

第８態様の検査ユニット１によれば、前記検査治具２により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の接触抵抗が低い検査ユニット１を実現できる。

本開示の第９態様の検査装置は、
前記検査ユニット１を少なくとも１つ備えた。

第９態様の検査装置によれば、検査ユニット１により、検査対象物および検査装置に対する接触信頼性が高く、検査対象物および検査装置に接続した場合の接触抵抗が低い検査装置を実現できる。

なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本開示のプローブピンは、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査治具に適用できる。

本開示の検査治具は、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。

本開示の検査ユニットは、例えば、液晶パネルの検査装置に適用できる。

本開示の検査装置は、例えば、液晶パネルの検査に用いることができる。

１ 検査ユニット
２ 検査治具
３ ソケット
４ ベースハウジング
５ 第１ハウジング
６ 第２ハウジング
７ 収容部
１０ プローブピン
１１ 弾性部
１１１ 第１端部
１１２ 第２端部
１２ 第１接触部
１２１ 第１接点部
１２２ 支持部
１３ 第２接触部
１３１ 第２接点部
１３２ 支持部
２１、２２、２３、２４ 帯状弾性片
２１１、２２１、２３１、２４１ 第１端部
２１２、２２２、２３２、２４２ 第２端部
３１、３２、３３、３４ 第１直線部
４１、４２、４３、４４ 第２直線部
５１、５２、５３、５４ 湾曲部
５１１、５２１、５３１、５４１ 第１湾曲部
５１２、５２２、５３２、５４２ 第２湾曲部
５１３、５２３、５３３、５４３ 接続部
６１、６２、６３ 隙間
Ａ 第１方向
Ｂ 第２方向
Ｌ１ 第１直線
Ｌ２ 第２直線
θ１、θ２ 中心角
Ｗ１〜Ｗ４、Ｗ６〜Ｗ８ 幅
Ｗ５ 最短距離
ＣＰ１、ＣＰ２ 曲率中心

Claims (10)

1. 長手方向に沿って伸縮する弾性部と、
   前記弾性部の前記長手方向の第１端部に接続された板状の第１接触部と、
   前記第１接触部に対して直列的に配置され、前記弾性部の前記長手方向の第２端部に接続された板状の第２接触部と
   を備え、
   前記弾性部が、
   前記第１接触部に対して前記第１接触部の幅方向の一方側に配置され、かつ、前記第２接触部に対して前記第１接触部の前記幅方向の前記一方側に配置されていると共に、相互に隙間を空けて配置された複数の帯状弾性片を有し、
   前記複数の帯状弾性片の各々が、
   前記長手方向に交差する方向に沿ってそれぞれ延びている第１直線部と第２直線部とを有し、
   前記第１直線部の延在方向の一端部が、前記第１端部を構成すると共に、
   前記第２直線部の延在方向の一端部が、前記第２端部を構成し、
   前記複数の帯状弾性片の各々の前記第１直線部の前記一端部が、前記長手方向に交差する方向に延びる第１直線上に配置され、
   前記第１直線部が、前記第１直線に対して直交する方向に延びており、
   前記第１接触部は、前記長手方向における前記第１端部とは反対側の端部に接点部が設けられ、前記接点部は、前記長手方向に直交する方向において、前記第１端部よりも前記弾性部から離れた位置のみに配置されている、プローブピン。
2. 長手方向に沿って伸縮する弾性部と、
   前記弾性部の前記長手方向の第１端部に接続された板状の第１接触部と、
   前記第１接触部に対して直列的に配置され、前記弾性部の前記長手方向の第２端部に接続された板状の第２接触部と
   を備え、
   前記弾性部が、
   前記第１接触部に対して前記第１接触部の幅方向の一方側に配置され、かつ、前記第２接触部に対して前記第１接触部の前記幅方向の前記一方側に配置されていると共に、相互に隙間を空けて配置された複数の帯状弾性片を有し、
   前記複数の帯状弾性片の各々が、
   前記長手方向に交差する方向に沿ってそれぞれ延びている第１直線部と第２直線部とを有し、
   前記第１直線部の延在方向の一端部が、前記第１端部を構成すると共に、
   前記第２直線部の延在方向の一端部が、前記第２端部を構成し、
   前記複数の帯状弾性片の各々の前記第２直線部の前記一端部が、第２直線上に配置され、
   前記第２直線部が、前記第２直線に対して直交する方向に延びており、
   前記第２接触部は、前記長手方向における前記第２端部とは反対側の端部に接点部が設けられ、前記接点部は、前記長手方向に直交する方向において、前記第２端部よりも前記弾性部から離れた位置のみに配置されている、プローブピン。
3. 前記第２直線が、前記長手方向に沿って延びている、請求項２のプローブピン。
4. 前記複数の帯状弾性片の各々の前記第１直線部の延在方向の他端部と、
   前記複数の帯状弾性片の各々の前記第２直線部の延在方向の他端部と
   に接続された湾曲部を有する、請求項１から３のいずれか１つのプローブピン。
5. 前記複数の帯状弾性片の各々の前記湾曲部が、中心角が異なる２つの湾曲部を有し、
   前記２つの湾曲部の曲率中心が、前記弾性部に対して異なる側にそれぞれ配置されている、請求項４のプローブピン。
6. 前記第１接触部が、前記第１接触部に対して前記弾性部と同じ側に配置され、かつ、前記長手方向に交差する方向に突出する第１支持部と、
   前記第２接触部が、前記第２接触部に対して前記弾性部と同じ側に配置され、かつ、前記長手方向に交差する方向に突出する第２支持部と
   をさらに備え、
   ソケットの収容部に収容可能なプローブピンであって、
   前記収容部に前記プローブピンを収容したときに、前記第１支持部と前記第２支持部とは、前記収容部を構成する前記ソケットの内面に当接するように構成されている、請求項４のプローブピン。
7. 前記第１支持部の突出方向の長さが、前記第１接触部から前記突出方向において前記第１接触部から最も離れた部分までの前記弾性部の前記突出方向の長さよりも短く、かつ、
   前記第２支持部の突出方向の長さが、前記第２接触部から前記突出方向において前記第２接触部から最も離れた部分までの前記弾性部の前記突出方向の長さよりも短い、請求項６のプローブピン。
8. 請求項１から７のいずれか１つのプローブピンと、
   前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
   を備えた検査治具。
9. 請求項８の検査治具を少なくとも１つ備えた、検査ユニット。
10. 請求項９の検査ユニットを少なくとも１つ備えた検査装置。

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