KR102253399B1

KR102253399B1 - 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛

Info

Publication number: KR102253399B1
Application number: KR1020200029381A
Authority: KR
Inventors: 나오야 사사노; 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2019-04-25
Filing date: 2020-03-10
Publication date: 2021-05-20
Also published as: TWI735164B; TW202040139A; JP2020180889A; CN111856090B; KR20200125424A; CN111856090A

Abstract

접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 및 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛을 제공한다.
프로브 핀이, 제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와, 탄성부의 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접촉부와, 탄성부의 제1 방향의 타단에 마련된 제2 접촉부를 구비한다. 탄성부는, 복수의 횡대부와 적어도 하나의 만곡대부를 갖는다. 제1 접촉부 및 제2 접촉부의 각각이, 탄성부의 제2 방향의 중심을 통과하고 또한 제1 방향으로 연장되는 제1 중심선에 대하여 동일한 측에 배치된다. 적어도 제1 접촉부의 측면이, 제2 방향으로 보아서, 제3 방향의 중심을 통과하고 또한 제1 방향으로 연장되는 제2 중심선에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있다.

Description

프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛{PROBE PIN, INSPECTION JIG AND INSPECTION UNIT}

본 개시는, 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛에 관한 것이다.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로, 그 제조 공정에 있어서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행하여진다. 이들 검사는, 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판에 접속하기 위한 단자와, 검사 장치의 단자를 접속함으로써 행하여진다.

이러한 프로브 핀으로서는, 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재하여 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다.

일본 특허 공개 제2002-134202호 공보

상기 프로브 핀에서는, 각 콘택트가, 전극 단자에 대하여 1점에서 접촉하도록 구성되어 있기 때문에, 예를 들어 각 콘택트의 선단에 부도체인 이물이 부착된 경우, 이 이물에 의해, 상기 프로브 핀과 전극 단자 사이에서 도통 불량이 발생하여, 접촉 신뢰성이 저하되는 경우가 있다.

본 개시는, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 및 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 개시의 일례의 프로브 핀은,

제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와,

상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접촉부와,

상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단에 마련된 제2 접촉부를

구비하고,

상기 탄성부가,

상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 연장됨과 함께 상기 제1 방향으로 간격을 두고 배치된 복수의 횡대부와, 인접하는 상기 횡대부에 접속된 적어도 하나의 만곡대부를 갖고,

상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부의 각각이,

상기 탄성부의 상기 제2 방향의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향을 따라서 연장되는 제1 중심선에 대하여 동일한 측에 배치되고,

상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 교차하는 제3 방향으로 대향하는 한 쌍의 판면과, 상기 한 쌍의 판면에 교차하는 측면을 갖고,

적어도 상기 제1 접촉부의 상기 측면이, 상기 제2 방향으로 보아서, 상기 제3 방향의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향으로 연장되는 제2 중심선에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있다.

또한, 본 개시의 일례의 검사 지그는,

상기 프로브 핀과,

상기 프로브 핀이 내부에 수용된 하우징

을 구비한다.

또한, 본 개시의 일례 검사 유닛은,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비한다.

상기 프로브 핀에 의하면, 제1 접촉부 및 제2 접촉부의 각각이, 탄성부의 제2 방향의 중심을 통과하고 또한 제1 방향을 따라서 연장되는 제1 중심선에 대하여 동일한 측에 배치되어 있다. 또한, 적어도 제1 접촉부의 측면이, 제2 방향으로 보아서, 제3 방향의 중심을 통과하고 또한 제1 방향으로 연장되는 제2 중심선에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 예를 들어 검사 대상물 또는 검사 장치의 접속 단자를 제1 접촉부에 접촉시킨 상태에서, 제1 방향을 따라 제2 접촉부를 향하여 이동시키면, 제1 접촉부는, 검사 대상물 또는 검사 장치의 접속 단자에 접촉한 채, 제1 방향 및 제2 방향을 포함하는 제1 평면 상에서 제2 접촉부에 대하여 회전하면서, 제1 방향 및 제3 방향을 포함하는 제1 평면에 교차하는 제2 평면 상에서도 제2 접촉부에 대하여 회전한다. 즉, 검사 대상물 또는 검사 장치의 접속 단자에 대하여, 다른 두 방향의 와이핑 동작을 동시에 발생시킬 수 있다. 그 결과, 예를 들어 제1 접촉부의 접속 단자에 접촉하는 부분에 부도체의 이물이 부착하더라도, 이 이물을 용이하게 제거 할 수 있으므로, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀을 실현할 수 있다.

상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 지그를 실현할 수 있다.

상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 유닛을 실현할 수 있다.

도 1은 본 개시의 일 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도.
도 2는 도 1의 프로브 핀을 구비한 검사 지그의 단면도.
도 3은 도 1의 프로브 핀의 제1 접촉부를 도시하는 확대 측면도.
도 4는 도 1의 프로브 핀의 제1 변형예를 도시하는 확대 측면도.
도 5는 도 1의 프로브 핀의 제2 변형예를 도시하는 확대 측면도.
도 6은 도 1의 프로브 핀의 제3 변형예를 도시하는 확대 측면도.

이하, 본 개시의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라서 특정한 방향 또는 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「우」, 「좌」를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 개시의 이해를 용이하게 하기 위한 것이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 개시의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 지나지 않고, 본 개시, 그 적용물, 혹은, 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이고, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과는 반드시 합치하고 있지는 않다.

본 개시의 일 실시 형태의 프로브 핀은, 일례로서, 도 1에 도시한 바와 같이, 가늘고 긴 박판상으로 도전성을 갖고 있다. 이 프로브 핀(10)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 절연성의 하우징(100)에 수용된 상태에서 사용되고, 하우징(100)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 검사 지그(2)에는, 일례로서, 복수의 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.

또한, 검사 지그(2)는, 검사 유닛(1)의 일부를 구성할 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 검사 지그(2)로 검사 유닛(1)을 구성한 경우, 각 검사 지그(2)는, 후술하는 프로브 핀(10)의 각 접점부가, 프로브 핀(10)이 연장되고 있는 제1 방향 X에 교차(예를 들어, 직교)하는 제2 방향 Y에 인접하도록 배치된다.

각 하우징(100)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 그 내부에 복수의 수용부(101)(도 2에는, 1개만 도시함)를 갖고 있다. 각 수용부(101)는, 슬릿상을 갖고, 각각 1개의 프로브 핀(10)을 전기적으로 독립적으로 수용 가능 및 유지 가능하게 구성되어 있다. 또한, 각 수용부(101)는, 제1 방향 X 및 제2 방향 Y에 교차(예를 들어, 직교)하는 제3 방향 Z(도 3에 도시함)를 따라 일렬로 배열되고 또한 등간격으로 배치되어 있다.

각 프로브 핀(10)은, 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 방향 X를 따라 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와, 이 탄성부(20)의 제1 방향 X의 양단에 각각 마련된 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)를 구비하고 있다. 각 프로브 핀(10)은, 일례로서, 전주법으로 형성되고, 탄성부(20), 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)가, 제1 방향 X를 따라 직렬식으로 배치되고 또한 일체로 구성되어 있다.

탄성부(20)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 일례로서, 서로 간극(23)을 두고 배치된 복수의 띠형 탄성편(이 실시 형태에서는, 2개의 띠형 탄성편)(21, 22)으로 구성되어 있다. 각 띠형 탄성편(21, 22)은, 제2 방향 Y로 각각 연장함과 함께 제1 방향 X로 간격을 두고 배치된 복수의 횡대부(24)(이 실시 형태에서는, 7개의 횡대부(24))와, 양단이 인접하는 횡대부(24)에 접속된 적어도 하나의 만곡대부(25)(이 실시 형태에서는, 6개의 만곡대부(25))가, 제1 방향 X를 따라 교대로 접속된 사행 형상을 갖고 있다. 각 띠형 탄성편(21, 22)에 있어서의 제1 방향 X의 양단의 횡대부(24)가, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)에 각각 접속되어 있다.

제1 방향 X에 있어서 제2 접촉부(40)로부터 먼 쪽의 띠형 탄성편(21)에 있어서의 제1 접촉부(30)에 접속되어 있는 횡대부(24)에는, 접촉면(241)이 마련되어 있다. 이 접촉면(241)은, 프로브 핀(10)을 하우징(100)의 수용부(101)에 수용했을 때에, 수용부(101)를 구성하는 하우징(100)의 내면에 대하여 접촉하도록 구성되어 있다. 제1 접촉부(30)에 접속되어 있는 횡대부(24)에는, 각 띠형 탄성편(21, 22)을 접속하는 리브(242)가 마련되어, 각 띠형 탄성편(21, 22) 사이의 접촉을 회피하고 있다.

제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각은, 도 2에 도시한 바와 같이, 탄성부(20)의 제2 방향 Y의 제1 중심선 CL1에 대하여 동일한 측에 배치되어 있다. 또한, 이 실시 형태에서는, 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 접촉부(30)에 접속되어 있는 횡대부(24)와, 이 횡대부(24)에 접속되어 있는 만곡대부(25)를 합친 부분의 제2 방향 Y에 있어서의 최대 거리 L의 중심을 통과하고, 또한, 제1 방향 X로 연장되는 직선을 탄성부(20)의 제2 방향 Y의 제1 중심선 CL1로 하고 있다.

제1 접촉부(30)는, 일례로서, 제1 방향 X로 연장되는 대략 직사각형 판상을 갖고, 탄성부(20)의 제2 방향 Y의 단에 배치되어 있다. 제1 접촉부(30)의 제1 방향 X에 있어서의 탄성부(20)에 먼 쪽의 단부는, 제2 방향 Y에 있어서 탄성부(20)의 제1 중심선 CL1로부터 가장 떨어진 위치에 정점을 갖는 대략 직각삼각 형상으로, 그 정점이 접촉 대상물(예를 들어, 검사 대상물 또는 검사 장치)의 접속 단자(110)에 접촉 가능한 접점부(31)을 구성하고 있다. 제1 접촉부(30)의 제1 방향 X에 있어서의 탄성부(20)에 가까운 쪽의 단부에는, 관통 구멍(32)이 마련되어 있다. 이 관통 구멍(32)은, 각 띠형 탄성편(21, 22) 사이의 간극(23)에 접속되어 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 제1 접촉부(30)의 제3 방향 Z에 대향하는 한 쌍의 판면(33, 34)에 교차하는 측면(35)은, 제2 방향 Y로 보아서, 제3 방향 Z의 중심을 통과하고 또한 제1 방향 X로 연장되는 제2 중심선 CL2에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있다. 상세하게는, 제1 접촉부(30)의 측면(35)은, 제3 방향 Z에 있어서 한쪽의 판면(33)으로부터 다른 쪽의 판면(34)을 향함에 따라, 제1 방향 X에 있어서 탄성부(20)로부터 이격되도록 직선적으로 경사져 있다. 또한, 도 3은, 제1 접촉부(30)를 도 2의 화살표 A 방향으로 본 측면도이다.

제2 접촉부(40)는, 일례로서, 제2 방향 Y로 연장되는 본체부(41)와, 본체부(41)의 제2 방향 Y의 일단에 마련된 접속부(42)와, 본체부(41)의 제2 방향 Y의 타단에 마련된 접점부(43)를 갖고 있다. 본체부(41)는, 프로브 핀(10)을 하우징(100)의 수용부(101)에 수용했을 때에, 수용부(101)를 구성하는 하우징(100)의 내면에 대하여 접촉하는 접촉면(411)을 갖고 있다. 접속부(42)는, 본체부(41)로부터 제1 방향 X로 또한 제1 접촉부(30)를 향하여 연장되고, 탄성부(20)의 횡대부(24)가 접속되어 있다. 접점부(43)는, 본체부(41)로부터 제1 방향 X로 또한 제1 접촉부(30)로부터 이격되는 방향으로 연장되고, 접촉 대상물의 접속 단자(110)에 대하여 접촉 가능하게 구성되어 있다.

또한, 도시하고 있지 않으나, 제2 접촉부(40)의 측면도, 제1 접촉부(30)의 측면과 마찬가지로, 제3 방향 Z에 있어서 한쪽의 판면으로부터 다른 쪽의 판면을 향함에 따라, 제1 방향 X에 있어서 탄성부(20)로부터 이격되도록 직선적으로 경사져 있다.

이어서, 접촉 대상물의 접속 단자(110)를 제1 접촉부(30)의 접점부(31)에 접촉시킨 상태에서, 제1 방향 X를 따라 제2 접촉부(40)를 향해서(즉, 도 2 및 도 3의 화살표 B 방향으로) 이동시켰을 때의 프로브 핀(10)의 동작을 설명한다.

접속 단자(110)를 제1 접촉부(30)의 접점부(31)에 접촉시킨 상태에서 화살표 B 방향으로 이동시켜 가면, 탄성부(20)가 제1 접촉부(30)를 거쳐 압축된다. 이때, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각은, 탄성부(20)의 제1 중심선 CL1에 대하여 동일한 측에 배치되어 있기(즉, 탄성부(20)의 제1 중심선 CL1 상에는 배치되어 있지 않기) 때문에, 접촉 대상물의 접속 단자(110)에 접촉한 채, 제1 방향 X 및 제2 방향 Y를 포함하는 제1 평면(즉, 도 2에 도시하는 XY 평면) 상에서 제2 접촉부(40)에 대하여 도 2의 화살표 C 방향으로 회전한다. 또한, 제1 접촉부(30)의 측면(35)은, 직선적으로 경사져 있기 때문에, 제1 방향 X 및 제3 방향 Z를 포함하는 제1 평면에 교차하는 제2 평면(즉, 도 3에 도시하는 XZ 평면) 상에서도 제2 접촉부(40)에 대하여 도 3의 화살표 D 방향으로 회전한다. 즉, 접촉 대상물의 접속 단자(110)에 대하여, 다른 두 방향의 와이핑 동작이 동시에 발생한다.

이와 같이, 프로브 핀(10)에서는, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각이, 탄성부의 제2 방향의 중심을 통과하고 또한 제1 방향을 따라서 연장되는 제1 중심선 CL1에 대하여 동일한 측에 배치되어 있다. 또한, 적어도 제1 접촉부(30)의 측면(35)이, 제2 방향 Y로 보아서, 제3 방향 Z의 중심을 통과하고 또한 제1 방향 X로 연장되는 제2 중심선 CL2에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 접촉 대상물의 접속 단자(110)에 대하여, 다른 두 방향의 와이핑 동작을 동시에 발생시킬 수 있다. 그 결과, 예를 들어 제1 접촉부(30)의 접속 단자(110)에 접촉하는 부분(즉, 접점부(31))에 부도체의 이물이 부착하더라도, 이 이물을 용이하게 제거할 수 있으므로, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

또한, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각이, 탄성부(20)의 제2 방향 Y의 단에 배치되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 예를 들어 제1 접촉부(30)가, 제1 평면 상에서의 제1 접촉부(30)의 제2 접촉부(40)에 대한 회전량을 증가시켜서, 와이핑 성능을 높일 수 있다.

이러한 프로브 핀(10)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다. 또한, 이러한 프로브 핀(10)을 구비한 검사 지그(2)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.

또한, 제1 접촉부(30)의 측면(35)은, 제2 방향 Y로 보아서, 제3 방향 Z의 중심을 통과하고 또한 제1 방향 X로 연장되는 제2 중심선 CL2에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있으면 되고, 직선적으로 경사져 있는 경우에 제한되지 않는다. 예를 들어, 제1 접촉부(30)의 측면(35)은, 도 4에 도시한 바와 같이, 제2 방향 Y(즉, 도 4의 지면 관통 방향)로 보아서, 삼각 형상을 갖고 있어도 된다. 이 경우, 삼각 형상의 정점(351)은, 제3 방향 Z에 있어서 제2 중심선 CL2로부터 이격된 위치(도 4에서는, 제2 중심선 CL2보다도 판면(34)에 가까운 위치)에 배치된다.

또한, 예를 들어 제1 접촉부(30)의 측면(35)은, 도 5에 도시한 바와 같이, 제2 방향 Y(즉, 도 5의 지면 관통 방향)로 보아서, 오목 만곡 형상을 갖고 있어도 된다.

또한, 예를 들어 도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같이, 제2 방향 Y로 보아서, 한 쌍의 판면(33, 34)의 각각과 측면(35)에서 형성되는 모서리부(36)가, 모따기되어 있어도 된다.

이와 같이, 제1 접촉부(30)의 측면(35)의 형상은, 프로브 핀(10)의 설계 등에 따라 변경할 수 있다. 즉, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

적어도 제1 접촉부(30)의 측면(35)이, 제2 방향 Y로 보아서, 제2 중심선 CL2에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있으면 된다. 즉, 제2 접촉부(40)의 측면은, 제2 방향 Y로 보아서, 제2 중심선 CL2에 대하여 대칭인 형상을 갖고 있어도 된다.

제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각은, 탄성부(20)의 제1 중심선 CL1에 대하여 동일한 측에 배치되어 있으면 된다. 즉, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각은, 탄성부(20)의 제2 방향 Y의 단에 배치되어 있는 경우에 한하지 않고, 예를 들어 탄성부(20)의 중심선 CL1과 제2 방향 Y의 단의 중간에 배치되어 있어도 된다.

탄성부(20)는, 복수의 띠형 탄성편(21, 22)으로 구성되어 있는 경우에 한하지 않고, 1개의 띠형 탄성편으로 구성해도 된다.

제1 접촉부(30)의 접점부 및 제2 접촉부(40)의 접점부의 각각은, 1개에 한하지 않고, 복수 마련되어 있어도 된다. 즉, 제1 접촉부(30)의 접점부 및 제2 접촉부(40)의 접점부의 각각은, 접촉 대상물의 접속 단자(110)에 대하여, 1점에 한하지 않고, 2점 이상으로 접촉 가능하게 구성할 수 있다.

이상, 도면을 참조하여 본 개시에 있어서의 여러가지 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로, 본 개시의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 일례로서, 참조 부호도 추가로 기재한다.

본 개시의 제1 양태의 프로브 핀(10)은,

제1 방향 X를 따라 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와,

상기 탄성부(20)의 상기 제1 방향 X의 일단에 마련된 제1 접촉부(30)와,

상기 탄성부(20)의 상기 제1 방향 X의 타단에 마련된 제2 접촉부(40)를

구비하고,

상기 탄성부(20)는,

상기 제1 방향 X에 교차하는 제2 방향 Y로 연장됨과 함께 상기 제1 방향 X로 간격을 두고 배치된 복수의 횡대부(24)와, 인접하는 상기 횡대부(24)에 접속된 적어도 하나의 만곡대부(25)를 갖고,

상기 제1 접촉부(30) 및 상기 제2 접촉부(40)의 각각이,

상기 탄성부(20)의 상기 제2 방향 Y의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향 X를 따라 연장되는 제1 중심선CL1에 대하여 동일한 측에 배치되고,

상기 제1 방향 X 및 상기 제2 방향 Y에 교차하는 제3 방향 Z에 대향하는 한 쌍의 판면(33, 34)과, 상기 한 쌍의 판면(33, 34)에 교차하는 측면(35)을 갖고,

적어도 상기 제1 접촉부(30)의 상기 측면(35)이, 상기 제2 방향 Y로 보아서, 상기 제3 방향 Z의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향 X로 연장되는 제2 중심선 CL2에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있다.

제1 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 접촉 대상물의 접속 단자(110)에 대하여, 다른 두 방향의 와이핑 동작을 동시에 발생시킬 수 있다. 그 결과, 예를 들어 제1 접촉부(30)의 접속 단자(110)에 접촉하는 부분(즉, 접점부(31))에 부도체인 이물이 부착하더라도, 이 이물을 용이하게 제거할 수 있으므로, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제2 양태의 프로브 핀(10)은,

상기 제1 접촉부(30) 및 상기 제2 접촉부(40)의 각각이, 상기 탄성부(20)의 상기 제2 방향 Y의 단에 배치되어 있다.

제2 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 예를 들어 제1 접촉부(30)가, 제1 평면 상에서의 제1 접촉부(30)의 제2 접촉부(40)에 대한 회전량을 증가시켜서, 와이핑 성능을 높일 수 있다.

본 개시의 제3 양태의 프로브 핀(10)은,

상기 측면(35)이, 상기 제2 방향 Y로 보아서, 삼각 형상을 갖고 있다.

제3 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제4 양태의 프로브 핀(10)은,

상기 제2 방향 Y로 보아서, 상기 한 쌍의 판면(33, 34)의 각각과 상기 측면(35)에서 형성되는 모서리부(36)가, 모따기되어 있다.

제4 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제5 양태의 프로브 핀(10)은,

상기 측면(35)이, 상기 제2 방향 Y로 보아서, 오목 만곡 형상을 갖고 있다.

제5 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 설계의 자유도가 높은 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제6 양태의 검사 지그(2)는,

상기 프로브 핀(10)과,

상기 프로브 핀(10)이 내부에 수용된 하우징(100)을

구비한다.

제6 양태의 검사 지그(2)에 의하면, 상기 프로브 핀(10)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.

본 개시의 제7 양태의 검사 유닛(1)은,

상기 검사 지그(2)를 적어도 1개 구비한다.

제7 양태의 검사 유닛(1)에 의하면, 상기 검사 지그(2)에 의해, 접촉 신뢰성이 높은 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.

또한, 상기 여러가지 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하게 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 다른 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 개시의 프로브 핀은, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, HDMI 디바이스, 혹은, QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.

본 개시의 검사 지그는, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, HDMI 디바이스, 혹은, QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.

본 개시의 검사 유닛은, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, HDMI 디바이스, 혹은, QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 장치에 적용할 수 있다.

1: 검사 유닛
2: 검사 지그
10: 프로브 핀
20: 탄성부
21, 22: 띠형 탄성편
23: 간극
24: 횡대부
241: 접촉면
242: 리브
25: 만곡대부
30: 제1 접촉부
31: 접점부
32: 관통 구멍
33, 34: 판면
35: 측면
351: 정점
40: 제2 접촉부
41: 본체부
411: 접촉면
42: 접속부
43: 접점부
100: 하우징
101: 수용부
110: 접속 단자

Claims

제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접촉부와,
상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단에 마련된 제2 접촉부를
구비하고,
상기 탄성부는,
상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 연장됨과 함께 상기 제1 방향으로 간격을 두고 배치된 복수의 횡대부와, 인접하는 상기 횡대부에 접속된 적어도 하나의 만곡대부를 갖고,
상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부의 각각이,
상기 탄성부의 상기 제2 방향의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향을 따라서 연장되는 제1 중심선에 대하여 동일한 측에 배치되고,
상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 교차하는 제3 방향으로 대향하는 한 쌍의 판면과, 상기 한 쌍의 판면에 교차하는 측면을 갖고,
적어도 상기 제1 접촉부의 상기 측면이, 상기 제2 방향으로 보아서, 상기 제3 방향의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향으로 연장되는 제2 중심선에 대하여 비대칭인 형상을 갖고 있고,
상기 제1 접촉부에 접촉시킬 접촉 대상물의 접속 단자를 상기 제1 접촉부에 접촉시킨 상태에서 상기 접속 단자를 상기 제1 방향의 타단측으로 이동시켜 가면, 상기 제1 접촉부의 상기 측면은 상기 제1 방향 및 상기 제3 방향을 포함하는 평면 상에서 상기 제2 접촉부에 대하여 회전하는, 프로브 핀.
제1항에 있어서, 상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부의 각각이, 상기 탄성부의 상기 제2 방향의 단에 배치되어 있는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 측면이, 상기 제2 방향으로 보아서, 삼각 형상을 갖고 있는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2 방향으로 보아서, 상기 한 쌍의 판면의 각각과 상기 측면에서 형성되는 모서리부가, 모따기되어 있는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 측면이, 상기 제2 방향으로 보아서, 오목 만곡 형상을 갖고 있는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항의 프로브 핀과,
상기 프로브 핀이 내부에 수용된 하우징을
구비하는, 검사 지그.
제6항의 검사 지그를 적어도 하나 구비하는, 검사 유닛.