JP2020180889A - プローブピン、検査治具および検査ユニット - Google Patents

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直哉 笹野
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宏真 寺西
貴浩 酒井
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022249954A1 (ja) * 2021-05-28 2022-12-01 株式会社日本マイクロニクス プローブ

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11133060A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Tani Denki Kogyo Kk テスト用端子
JP2006226907A (ja) * 2005-02-18 2006-08-31 Nhk Spring Co Ltd 導電性接触子ユニットおよび導電性接触子
JP2012117845A (ja) * 2010-11-29 2012-06-21 Seiken Co Ltd 接触検査用治具
WO2017217041A1 (ja) * 2016-06-17 2017-12-21 オムロン株式会社 プローブピン
JP2018197714A (ja) * 2017-05-24 2018-12-13 山一電機株式会社 Ｍｅｍｓ型プローブ、及び、これを使用した電気検査用装置

Family Cites Families (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07280837A (ja) * 1994-04-12 1995-10-27 Nippondenso Co Ltd プローブコンタクト
JP2001099889A (ja) * 1999-09-29 2001-04-13 Yokowo Co Ltd 高周波回路の検査装置
JP2001324515A (ja) * 2000-05-17 2001-11-22 Suncall Corp 電子部品検査用コンタクトプローブ装置
JP2002134202A (ja) 2000-10-27 2002-05-10 Otax Co Ltd 電子部品用ソケット
JP2003194851A (ja) * 2001-12-27 2003-07-09 Sumitomo Electric Ind Ltd コンタクトプローブ構造体およびその製造方法
JP2003307525A (ja) * 2002-04-16 2003-10-31 Sumitomo Electric Ind Ltd コンタクトプローブ
US6945827B2 (en) * 2002-12-23 2005-09-20 Formfactor, Inc. Microelectronic contact structure
JP4759370B2 (ja) * 2005-11-17 2011-08-31 ルネサスエレクトロニクス株式会社 プローブおよびこれを備えた検査装置
JP4884753B2 (ja) * 2005-11-22 2012-02-29 日本発條株式会社 導電性接触子ユニットおよび導電性接触子
JP4907191B2 (ja) * 2006-02-17 2012-03-28 日本発條株式会社 導電性接触子ユニット
KR101013170B1 (ko) * 2006-03-03 2011-02-10 니혼 하츠쵸 가부시키가이샤 도전성 접촉자 유닛
JP2008032620A (ja) * 2006-07-31 2008-02-14 Tokyo Electron Ltd プローブピン
JP4842733B2 (ja) * 2006-08-18 2011-12-21 日本発條株式会社 導電性接触子および導電性接触子ユニット
JP2010117268A (ja) * 2008-11-13 2010-05-27 Nidec-Read Corp 検査用プローブ
JP2010156595A (ja) * 2008-12-26 2010-07-15 Nhk Spring Co Ltd プローブユニット
US8324919B2 (en) * 2009-03-27 2012-12-04 Delaware Capital Formation, Inc. Scrub inducing compliant electrical contact
WO2012067126A1 (ja) * 2010-11-17 2012-05-24 日本発條株式会社 コンタクトプローブおよびプローブユニット
JP5798315B2 (ja) * 2010-11-19 2015-10-21 株式会社神戸製鋼所 コンタクトプローブピン
EP2646839B1 (en) * 2010-12-03 2017-08-16 Ardent Concepts, Inc. Compliant electrical contact and assembly
JP5083430B2 (ja) * 2011-03-29 2012-11-28 山一電機株式会社 コンタクトプローブ及びそれを備えた半導体素子用ソケット
JP5699899B2 (ja) * 2011-10-14 2015-04-15 オムロン株式会社 接触子
JPWO2013061486A1 (ja) * 2011-10-26 2015-04-02 ユニテクノ株式会社 コンタクトプローブおよびそれを備えた検査ソケット
JP6040532B2 (ja) * 2012-01-26 2016-12-07 日本電産リード株式会社 プローブ及び接続治具
JP2014025737A (ja) * 2012-07-25 2014-02-06 Nidec-Read Corp 検査用治具及び接触子
JP6107234B2 (ja) * 2013-03-01 2017-04-05 山一電機株式会社 検査用プローブ、および、それを備えるｉｃソケット
JP6373009B2 (ja) * 2014-01-30 2018-08-15 オルガン針株式会社 大電流用プローブ
EP3026440A3 (en) * 2014-11-26 2016-06-08 Kabushiki Kaisha Nihon Micronics Probe and contact inspection device
JP6641772B2 (ja) * 2015-08-07 2020-02-05 オムロン株式会社 プローブピン、および、これを備えた検査治具
JP6610322B2 (ja) * 2016-02-15 2019-11-27 オムロン株式会社 プローブピンおよびそれを用いた検査装置
JP6740630B2 (ja) * 2016-02-15 2020-08-19 オムロン株式会社 プローブピンおよびこれを用いた検査装置
WO2017155134A1 (ko) * 2016-03-09 2017-09-14 주식회사 아이에스시 검사용 탐침부재
KR102100269B1 (ko) * 2016-04-15 2020-04-13 오므론 가부시키가이샤 프로브 핀 및 이것을 사용한 전자 디바이스
JP6737002B2 (ja) * 2016-06-17 2020-08-05 オムロン株式会社 プローブピン
JP6642359B2 (ja) * 2016-09-21 2020-02-05 オムロン株式会社 プローブピンおよび検査ユニット
JP2018151316A (ja) * 2017-03-14 2018-09-27 オムロン株式会社 プローブピンおよび検査ユニット
CN114441813A (zh) * 2018-01-11 2022-05-06 欧姆龙株式会社 探针、检查工具、检查单元和检查装置
WO2019138507A1 (ja) * 2018-01-11 2019-07-18 オムロン株式会社 プローブピン、検査治具、検査ユニットおよび検査装置
CN111033272B (zh) * 2018-01-11 2022-07-26 欧姆龙株式会社 探针、检查工具、检查单元和检查装置
CN108572264B (zh) * 2018-06-21 2023-12-01 武汉精测电子集团股份有限公司 一种单缓冲通道的压接弹片

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11133060A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Tani Denki Kogyo Kk テスト用端子
JP2006226907A (ja) * 2005-02-18 2006-08-31 Nhk Spring Co Ltd 導電性接触子ユニットおよび導電性接触子
JP2012117845A (ja) * 2010-11-29 2012-06-21 Seiken Co Ltd 接触検査用治具
WO2017217041A1 (ja) * 2016-06-17 2017-12-21 オムロン株式会社 プローブピン
JP2018197714A (ja) * 2017-05-24 2018-12-13 山一電機株式会社 Ｍｅｍｓ型プローブ、及び、これを使用した電気検査用装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022249954A1 (ja) * 2021-05-28 2022-12-01 株式会社日本マイクロニクス プローブ

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