JP2010117268A - 検査用プローブ - Google Patents

Abstract

【課題】 さまざまな形状の検査用プローブを製造し、量産性を高め低価格を図り、また検査用プローブの真直度を容易に達成させる。
【解決手段】 導電性の板状部材の表面に、複数の検査用プローブと、複数の検査用プローブを連結するフレームと、フレームに形成されていてフレームと各検査用プローブとを接続する接続部とに対応するパターンを覆う第１のレジスト層を形成し、第１のレジスト層をマスクとして板状部材にエッチング処理をし、その第１のレジスト層を除去し、接続部から切断して複数の検査用プローブをフレームから切り離す。
【選択図】 図７

Description

本発明は、検査基板に形成された回路パターンに接触子を接触させて当該回路パターンを検査するための検査用プローブに関する。

本発明においては、検査基板はプリント回路基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や半導体ウエハなどに形成される電気的配線の検査に適用できる。この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。

特開２００８−１０７２２９号公報 特許文献１には、導電性の長尺状部材から製造された検査用接触子が開示されている。それに記載されているように、従来のプローブは例えば円柱の芯材や金属線から製造されているため、プローブの形状が円柱や円筒形状に限定されてしまい、また、真直度を出すのが比較的難しく、量産性を高めることも困難である。

量産性を高めることが可能で低価格を図りやすく、また真直度を容易に達成できる検査用プローブを提供することを目的とする。

また、さまざまな形状や寸法のものを容易に製造できる検査用プローブを提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明に係る検査用プローブの製造方法は、検査基板の配線パターン上の検査点に接触させて検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するための検査用プローブを、導電性の板状部材から切り抜く工程によって製造することを特徴とする。

その検査用プローブの製造方法において、切り抜く工程が、検査用プローブの複数個と複数個の検査用プローブを連結するフレームとを導電性の板状部材から切り抜く工程と、フレームから複数個の検査用プローブを切り離す工程を含むようにしてもよい。

また、本発明に係る検査用プローブの製造方法は、導電性の板状部材の表面に、複数の検査用プローブと、複数の検査用プローブを連結するフレームと、フレームに形成されていてフレームと各検査用プローブとを接続する接続部とに対応するパターンを覆う第１のレジスト層を形成する工程と、第１のレジスト層をマスクとして板状部材にエッチング処理をする工程と、第１のレジスト層を除去する工程と、接続部から切断して複数の検査用プローブをフレームから切り離す工程とを含むことを特徴とする。

また、本発明に係る検査用プローブの製造方法は、複数の検査用プローブと、複数の検査用プローブを連結するフレームと、フレームに形成されていてフレームと各検査用プローブとを接続する接続部とに対応するパターンの中の接続部を除いて、導電性の板状部材の表面を覆う第２のレジスト層を形成する工程と、第２のレジスト層をマスクとして接続部にハーフエッチング処理をする工程と、第２のレジスト層を除去する工程と、複数の検
査用プローブとフレームと接続部とに対応するパターンを覆う第３のレジスト層と形成する工程と、第３のレジスト層をマスクとして板状部材にエッチング処理をする工程と、第３のレジスト層を除去する工程と、接続部から切断して複数の検査用プローブをフレームから切り離す工程とを含むことを特徴とする。

また、本発明に係るシート形状の検査用プローブ連結体は、複数の検査用プローブと、複数の検査用プローブを連結するフレームとを備え、複数の検査用プローブが、フレームに形成された接続部を介してフレームに接続されていることを特徴とする。

そのシート形状の検査用プローブ連結体において、接続部は、フレーム及び検査用プローブよりも薄く形成してもよい。

接続部から切断して複数の検査用プローブをフレームから切り離すことによって、複数の検査用プローブを個々の検査用プローブとすることができる。

また、本発明に係る薄板形状の検査用プローブは、検査基板の配線パターン上の検査点に接触させて検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するための薄板形状であることを特徴とする。

検査用プローブを複数の薄板形状の部材を積層して形成してもよい。

また、本発明に係る検査用プローブは、検査基板の配線パターン上の検査点に接触させて検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するための薄板形状の検査用プローブであり、フレームに連結されていた接続部の痕を有することを特徴とする。

また、本発明に係る検査用プローブの製造方法は、検査基板の配線パターン上の検査点に接触させて検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するための検査用プローブを製造する方法であり、導電性の板状部材から薄板形状の部材を切り抜く工程と、切り抜く工程によって切り抜かれた複数の薄板形状の部材を積層して圧着する工程とを含むことを特徴とする。

その検査用プローブの製造方法において、導電性の板状部材から薄板形状の部材を切り抜く工程が、フォトエッチングによって板状部材から薄板形状の部材を切り抜く工程を含むようにしてもよい。

本発明によると、量産性を高めて低価格の検査用プローブを提供することができる。

また、本発明によると、真直度を容易に達成できる検査用プローブを提供することができる。

さらに、本発明によると、薄板形状や角柱形状のようなさまざまな形状や寸法の検査用プローブを容易に提供することができる。

以下に、添付図面に基づいて、本発明の望ましい実施形態に係る検査用プローブ及びその製造方法について説明する。

なお、各添付図において、各部材の厚さ、長さ、形状、部材同士の間隔等は、理解の容易のために、拡大・縮小・変形・簡略化等を行っている点に留意願いたい。

図９は、従来の検査用プローブ９０の斜視図である。その検査用プローブ９０は、本体部９１及び検査基板の検査点と接触する先端部９２を備えていて、導電性の円柱状の芯材や金属線から製造されている。また、先端部９２は尖鋭形状に形成され、本体部９１及び先端部９２の外周面には絶縁被膜のコーティングが施されている。

そのような導電性の円柱状の芯材や金属線から製造された検査用プローブは、量産性を高めるのが比較的困難であり、また真直度を持たせることも困難な場合が多い。このため、歩留まりが向上しない問題点があった。また、金属線を細長く伸ばすことにより形成されるため、プローブの形状が円柱状や円筒状のものに限定されてしまっている。

[検査用プローブの概略構造]
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、それぞれ本発明の製造方法により製造される検査用プローブの第一の実施形態及び第二の実施形態を示す。

図１（ａ）に示す本発明の第一の実施形態に係る検査用プローブ７０は、直線状の薄板形状をしていて、本体部７１と、検査基板上の配線パターンの検査点に接触する先端部７２と、図示せぬ基板検査装置に電気的に接続される後端部７７とを備える。また、検査用プローブ７０には、幅広の部分７３が形成されていて、検査用プローブ７０が検査治具に取り付けられた際に、その部分７３がその検査治具の一部に係合して固定される。この検査用プローブ７０の厚さ及び幅は約０．１ｍｍとすることができるが、他の任意の寸法の形状を採用することも可能である。なお、この検査用プローブは絶縁材料により被覆されていても良い。

検査用プローブ７０を用いて基板を検査する際には、後端部７７を基板検査装置（図示せず）の電極部に導通接続し、先端部７２を検査基板上に設けた検査点と導通接触させる。それにより、基板検査装置の電極部と検査点とを電気的に接続する。例えば、検査基板上の２つの検査点にそれぞれ１つの検査用プローブ７０の先端部７２を接触させて、基板検査装置からそれらの２つの検査用プローブ７０に電流を供給するとともに、それらの間での電位差を測定することによって基板検査を行うことができる。

また、検査用プローブ７０の幅（図１（ａ）に向かって左右方向の距離）が大きい場合には、上記のように二端子測定法による基板検査に用いるのが適当であるが、２つの検査用プローブを重なる方向に平行に離隔して配置したりする場合や、あるいは、その幅が小さいものの場合には、四端子測定法にも使用することができる。その場合には、２本を一対とする２対の検査用プローブ７０を用いて、２つの検査点の間において、電流の供給及び電位差の測定を行う。

図１（ｂ）は、本発明の第二の実施形態に係る検査用プローブ１０を２つ並べて配置した状態を示す斜視図である。２つの検査用プローブ１０は角柱形状の部材を折り曲げたような形状しており、各検査用プローブは、本体部１１と検査基板上の配線パターンの検査点に接触する先端部１２とを備える。また、２つの検査用プローブの外側表面はそれぞれ絶縁材料により被覆されている。

図１（ｂ）では、２つの検査用プローブを、一方を他方に対して表裏が反対になるように配置し、さらに、本体部よりも先端部１２が互いに接近するように配置している。先端部１２をそのように配置するのは、２つの検査用プローブは役割が異なるため、２つの先端部の先端を離隔した状態で検査基板上の１つの狭い領域の検査点に接触させるためである。例えば、検査点の縦×横の寸法は、４０μｍ×５０μｍである。

図２は、図１（ｂ）のように並べて配置した２つの検査用プローブの平面図である。図２では、図１（ｂ）の状態に加えて、各検査用プローブ１０の本体部１１の後端面にコイルスプリング２０を接続しており、そのコイルスプリング２０の端部２２は、図示せぬ検査装置に接続される。

例えば、２つの検査点に測定用電流を供給する一方それらの２つの検査点間の電位差を測定するような四端子測定を行う場合には、図２に示す構成の検査用プローブ１０を２組用意して次のように使用する。

まず、一方の組の検査用プローブ１０の先端部１２の先端を１つの検査点に接触させるとともに、他方の組の検査用プローブ１０の先端部１２の先端を他方の検査点に接触させる。次に、その状態で、一方の組の中の１つの検査用プローブ１０と他方の組の中の１つの検査用プローブ１０に、図示せぬ検査装置からそれぞれの端部２２を経由して電流を供給し、残りの２つの検査用プローブ１０の間で端部２２を経由して電位差を測定する。

ただし、２本の検査用プローブ１０を用いて二端子測定法に使用してもよい。その場合には、一方の検査用プローブ１０の後端のコイルスプリング２０の端部２２を基板検査装置（図示せず）の電極部に導通接続し、先端部１２を検査基板上に設けられた１つの検査点に導通接触させる。さらに、他方の検査用プローブ１０の後端のコイルスプリング２０の端部２２を同じ基板検査装置（図示せず）の電極部に導通接続し、先端部１２を検査基板上に設けられた他の検査点に導通接触させる。それから、基板検査装置から２つの検査用プローブ１０を経由して２つの検査点の間に電流を流し、それらの間での電位差を測定する。それにより、所定の配線パターンの電気的性質を検査する。

[検査用プローブの製造]
図３、図４、図５Ａ及び図５Ｂは、図１（ｂ）に示した、本発明の第二の実施形態に係る検査用プローブ１０を製造する過程を説明するための図である。

図３は、導電性の板状部材３０、例えば金属板やタングステンシートの概略斜視図である。板状部材３０は、例えば、幅が約１０ｍｍから２０ｍｍで、長さが約３０ｍｍで、厚さが約０．１ｍｍの寸法を持つ。この板状部材の寸法は、製造予定の検査用プローブの寸法に応じて任意に決定することができる。また、ロール状に巻き取られた金属シートから必要な大きさの金属板を切り取ったものを用いてもよい。

図３に示すように、その板状部材３０の面上には、理解の容易のために、その板状部材３０から切り抜く予定の複数の検査用プローブ１０と、それらの複数の検査用プローブを枝状部分３４，３６によって連結するフレーム３２とに対応するパターン３８を示す。ただし、それらの複数の検査用プローブ１０及びフレーム３２のパターン３８は、後述するエッチングの前のリソグラフィーの際にフォトマスクに形成されるものであり、実際には板状部材３０上には描画されない。しかし、そのパターンをレジスト塗布後の表面に焼き付けたときに表面に残ったレジストパターンの輪郭を表すと理解されてもよい。

なお、図３及び後述する図４においては、複数の検査用プローブについては図面の簡略化のために一部のみを示しており、「・・・」はそれらを省略したことを示す。ただし、製造予定の検査用プローブの数は必要に応じて任意に決定することができる。

図４は、図３のパターン３８に対応する部分が残るように、板状部材３０をエッチング処理した後の状態を示す。図４に示すように、板状部材３０から、フレーム３２と、それに、枝状部分３４，３６を介して連結された複数の検査用プローブ１０とを含むシート形状のプローブ連結体４０が切り抜かれて残されている。

各検査用プローブ１０は、長さが約１０ｍｍで、幅が約０．１ｍｍ程度の寸法を持つ。

図５Ａは、図４において示す破線の円５Ａで囲んだ部分の拡大図である。その図は、１つの検査用プローブ１０の先端部１２に近い側の一部が、フレーム３２の枝状部分３６に連結されている状態を示す。

図５Ａに示すように、枝状部分３６の端部と、検査用プローブ１０の先端部１２に近い側の一部との間には、接続部５２が形成されている。

図５Ｂは、図５Ａにおいて示す５Ｂ−５Ｂ線から見た図で、枝状部分３６の端部と検査用プローブ１０の先端部１２に近い側の一部との間が接続部５２によって連結されている状態を示す断面側面図である。

図５Ａ及び図５Ｂに示すように、接続部５２の表面側及び裏面側（又は接続部５２の上方及び下方）に空間５０が形成されている。その空間５０は、ハーフエッチング処理によりその部分の板状部材３０を除去することによって形成することができる。

また、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、接続部５２は、検査用プローブ１０及び枝状部分３６の厚さより薄く形成されているため、枝状部分３６に対し検査用プローブ１０を折り曲げたり捻ったりすることによって、接続部５２を切断して、枝状部分３６、つまり、フレーム３２から検査用プローブ１０を切り離すことができる。

その後、必要に応じて、検査用プローブ１０のその切断した部分を研磨したり、硬度を高めるために焼入れを行ったり、全体にめっきを施したりする。

［エッチング処理］
図６は、図３の板状部材３０から、エッチング処理によって、図４に示すシート形状のプローブ連結体４０を切り抜く際の工程を説明するためのフローチャートである。なお、この図の工程とは別の工程において、エッチング処理の際に用いるために、製造予定の検査用プローブ及びフレームの形状に応じたパターンをフォトマスクに形成しておく。また、接続部５２の空間５０（図５Ａ、図５Ｂ）に相当する板状部材３０の一部をハーフエッチング処理によって除去するために、接続部５２の形状に応じたパターンをフォトマスクに形成しておく。

そのフローチャートで示す工程は、概略、最初に、ハーフエッチング処理による接続部５２（図５Ａ、図５Ｂ）を形成し、次に、エッチング処理によってシート形状のプローブ連結体４０（図４）を切り抜く工程からなる。

まず、図６のステップＳ６１において、所望の検査用プローブの形状や数量に応じて必要な大きさの板状部材３０を用意し、その板状部材３０の表面の清浄を行う。

次に、ステップＳ６２において、その板状部材３０の表面及び裏面にレジストコーティングを行う。それから、次の工程のハーフエッチング処理の際に、接続部５２の空間５０のみを除去するように形成されたパターンを描画したフィルム原版を用いてレジストコーティングされた両面にそのパターンを焼き付け、さらに現像を行う。

ステップＳ６３では、エッチング液を用いてレジスト膜が除去されて露出した空間５０に対応する板状部材の一部のみをエッチングによって除去する。その際、エッチング速度を制御する等によって、接続部５２が残るようにする。

ステップＳ６４では、板状部材３０の表面及び裏面に残っているレジスト膜を除去する。

ステップＳ６５では、板状部材３０の表面及び裏面に再度レジストコーティングを行う。それから、検査用プローブ及びフレームの形状に対応するパターンを描画したフィルム原版を用いてレジストコーティングされた表面及び裏面にそのパターンを焼き付け、さらに現像を行う。それにより、検査用プローブ及びフレームの形状に対応するレジストが板状部材３０の表面及び裏面に残る。

ステップＳ６６では、エッチング液を用いてレジスト膜が除去されて露出した部分の板状部材をエッチングによって除去する。

ステップＳ６７では、板状部材３０の表面及び裏面に残っているレジスト膜を除去する。

その結果、図４に示すシート形状のプローブ連結体４０を形成することができる。

次に、接続部５２を切断することによって、複数の検査用プローブをフレーム３２から切り離す。これにより、個々に分離した検査用プローブを得ることができる。

図７は、図１（ａ）に示す本発明に係る第一の実施形態に係る検査用プローブ７０を製造するための導電性の板状部材３０の概略斜視図である。板状部材３０は、図４と同様の板状部材を用いることができる。

図７に示すように、その板状部材３０の上には、その板状部材３０から切り抜く予定の複数の検査用プローブ７０と、それらの複数の検査用プローブを枝状部分７４，７６によって連結するフレーム７５とに対応するパターン７８を示す。検査用プローブ７０は、直線状の薄板形状をしており、先端部７２の近くが枝状部分７６に連結されていて、反対の後端部近くが枝状部分７４に連結されている。その後端部近くには、幅広の部分７３が形成されており、この検査用プローブ７０が検査治具に取り付けられた際に、その部分７３がその検査治具の一部に係合して検査用プローブ７０の取り付け位置を定める。

なお、図７においても、図３及び図４の実施態様の場合と同様に、複数の検査用プローブについては図面の簡略化のために一部のみを示しており、「・・・」はそれらを省略したことを示す。この実施形態においても製造予定の検査用プローブの数は必要に応じて任意に決定することができる。

次に、図７に示すパターン７８は、図３及び図４の実施態様と同様にエッチング処理されて、シート形状のプローブ連結体に形成される。検査用プローブ７０と枝状部分７４，７６との連結部には、図示していないが、図４に示す実施例と同様に、厚みを減少させた接続部が形成される。

［その他の実施態様］
上記の実施例では、検査用プローブの形状として、直線形状のものや角柱状のものを折り曲げたものを示したが、その他に、湾曲部を持つもの、検査治具と係合する突出部を持つものなど、板状部材から形成できるものであれば、どのような形状のものでもよい。

図８Ａは、検査用プローブの先端部の形状の他の実施態様を示す。図４及び図７の検査用プローブ１０、７０の先端部１２、７２の先端形状は直線状であるが、図８Ａ（ａ）に
示すようにＶ字形状の空間を形成することによって２つの尖鋭形状部を持つようにしてもよく、図８Ａ（ｂ）に示すように曲線形状にしてもよく、図８Ａ（ｃ）に示すように１つの先鋭形状部を持つようにしてもよく、さらに、図８Ａ（ｄ）に示すように２つのＶ字形状空間を形成することによって３つの先鋭形状部を持つようにしてもよい。

また、上記の実施形態のように、検査用プローブを単体で用いるのに代えて、図８Ｂのように、２種類の異なる形状の先端部を持つ３つの薄板形状の部材を交互に積層させて１つの検査用プローブ８５を製造してもよい。検査用プローブ８５は、薄板形状の部材８２ｆを挟むように、その両面のそれぞれに１枚の薄板形状の部材８２ｅを真空での熱圧着により張りつけたものである。

薄板形状の部材８２ｆは、１つの先鋭形状の先端形状を持ち、各薄板形状の部材８２ｅはＶ字形状の空間を形成することによって２つの尖鋭形状部を持つ。それぞれの部材の幅８２Ｗは約１５０μｍである。また、１枚の薄板形状の部材８２ｅの厚さ８２ｅｈは約５０μｍであり、薄板形状の部材８２ｆの厚さ８２ｆｈも約５０μｍである。そのため、３枚の部材を張り合わせることによって、側面の一辺が約１５０μｍの角柱状の検査用プローブ８５を形成することができる。

図８Ｂに示す検査用プローブ８５は、３枚の薄板形状の部材８２ｅ，８２ｆ，８２ｅを張り合わせて形成しているので、その先端部は５つの先鋭形状部を持つ。その薄板形状の部材の組み合わせは任意であり、それにより、さまざまな形状の先端部を形成することができ、検査用プローブの厚みの調整も容易に行うことができる。

また、上記の実施例では、図２に示すように、検査用プローブ１０の弾性をコイルスプリング２０によって発揮させたが、検査用プローブを構成する板状部材の材質によっては、それ自体が、圧力が加わると撓み、その圧力が除かれると元に戻ろうとする弾性力を備えるものであってもよい。

以上、本発明に係る検査用プローブ及びその製造方法の望ましい実施形態について説明したが、本発明はその実施形態に拘束されるものではなく、当業者が容易になしえる追加、削除、改変等は、本発明に含まれるものであり、また、本発明の技術的範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定められることを承知されたい。

図１（ａ）は、本発明の一の実施形態に係る検査用プローブの斜視図である。図１（ｂ）は、本発明の第二の実施形態に係る検査用プローブを２つ並べて配置した状態を示す斜視図である。 図２は、本発明の第二の実施形態に係る検査用プローブを２つ並べて配置した状態を示す平面図である。 図３は、本発明の第二の実施形態に係る検査用プローブを製造する際に用いる板状部材を示す斜視図である。 図４は、本発明の第二の実施形態に係る検査用プローブの複数個とそれらを連結するフレームとを備えるシート形状のプローブ連結体を示す斜視図である。 図５Ａは、図４において破線で示す円で囲んだ部分の拡大図である。 図５Ｂは、図５Ａにおける５Ｂ−５Ｂ線から見た拡大断面図である。 図６は、図４に示すシート形状のプローブ連結体を切り抜く際の工程を説明するためのフローチャートである。 図７は、本発明の第一の実施形態に係る検査用プローブを製造する際に用いる板状部材を示す斜視図である。 図８Ａは、本発明のさらに他の実施形態に係る検査用プローブの先端部の先端形状を示す平面図である。 図８Ｂは、本発明のさらに他の実施形態に係る検査用プローブの先端形状を示す平面図である。 図９は、従来の一例に係る検査用プローブを示す斜視図である。

符号の説明

１０，７０・・・検査用プローブ
１１，７１・・・本体部
１２，７２・・・先端部
２０・・・コイルスプリング
３０・・・板状部材
３２，７５・・・フレーム
３８，７８・・・パターン
３４，３６，７４，７６・・・枝状部分
４０・・・シート形状のプローブ連結体
５０・・・空間
５２・・・接続部
８２ｅ，８２ｆ・・・薄板形状の部材

Claims (12)

1. 検査基板の配線パターン上の検査点に接触させて該検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するための検査用プローブを、導電性の板状部材から切り抜く工程によって製造する、検査用プローブの製造方法。
2. 請求項１の検査用プローブの製造方法において、前記切り抜く工程が、前記検査用プローブの複数個と該複数個の検査用プローブを連結するフレームとを前記導電性の板状部材から切り抜く工程と、
   前記フレームから前記複数個の検査用プローブを切り離す工程を含む、検査用プローブの製造方法。
3. 導電性の板状部材の表面に、複数の検査用プローブと、該複数の検査用プローブを連結するフレームと、該フレームに形成されていて該フレームと各検査用プローブとを接続する接続部とに対応するパターンを覆う第１のレジスト層を形成する工程と、
   該第１のレジスト層をマスクとして前記板状部材にエッチング処理をする工程と、
   前記第１のレジスト層を除去する工程と、
   前記接続部から切断して前記複数の検査用プローブを前記フレームから切り離す工程とを含む、検査用プローブの製造方法。
4. 複数の検査用プローブと、該複数の検査用プローブを連結するフレームと、該フレームに形成されていて該フレームと各検査用プローブとを接続する接続部とに対応するパターンの中の前記接続部を除いて、導電性の板状部材の表面を覆う第２のレジスト層を形成する工程と、
   該第２のレジスト層をマスクとして前記接続部にハーフエッチング処理をする工程と、
   前記第２のレジスト層を除去する工程と、
   前記複数の検査用プローブと前記フレームと前記接続部とに対応する前記パターンを覆う第３のレジスト層と形成する工程と、
   前記第３のレジスト層をマスクとして前記板状部材にエッチング処理をする工程と、
   前記第３のレジスト層を除去する工程と、
   前記接続部から切断して前記複数の検査用プローブを前記フレームから切り離す工程とを含む、検査用プローブの製造方法。
5. 複数の検査用プローブと、該複数の検査用プローブを連結するフレームとを備え、前記複数の検査用プローブが、前記フレームに形成された接続部を介して前記フレームに接続されている、シート形状の検査用プローブ連結体。
6. 請求項５のシート形状の検査用プローブ連結体において、前記接続部が、前記フレーム及び前記検査用プローブよりも薄く形成されている、シート形状の検査用プローブ連結体。
7. 請求項６のシート形状の検査用プローブ連結体において、前記接続部から切断して前記複数の検査用プローブを前記フレームから切り離すことによって、前記複数の検査用プローブを個々の検査用プローブとすることができる、シート形状の検査用プローブ連結体。
8. 検査基板の配線パターン上の検査点に接触させて該検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するための薄板形状の検査用プローブ。
9. 請求項８の薄板形状の検査用プローブにおいて、該検査用プローブを複数の薄板形状の部材を積層して形成した、検査用プローブ。
10. 検査基板の配線パターン上の検査点に接触させて該検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するための薄板形状の検査用プローブであって、フレームに連結されていた接続部の痕を有する、検査用プローブ。
11. 検査基板の配線パターン上の検査点に接触させて該検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するための検査用プローブを製造する方法であって、
    導電性の板状部材から薄板形状の部材を切り抜く工程と、
    該切り抜く工程によって切り抜かれた複数の薄板形状の部材を積層して圧着する工程とを含む、検査用プローブの製造方法。
12. 請求項１１の検査用プローブの製造方法において、前記導電性の板状部材から薄板形状の部材を切り抜く工程が、フォトエッチングによって板状部材から薄板形状の部材を切り抜く工程を含む、検査用プローブの製造方法。

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