KR102001349B1

KR102001349B1 - 프로브 핀 및 이것을 사용한 검사 장치

Info

Publication number: KR102001349B1
Application number: KR1020187006633A
Authority: KR
Inventors: 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2016-02-15
Filing date: 2017-01-06
Publication date: 2019-07-17
Also published as: KR20180038032A; WO2017141564A1; JP2017146119A; JP6740630B2; TW201734467A

Abstract

프로브 핀이, 절연성 탄성 부재(11)와, 제1 플런저(20)와, 제2 플런저(40)를 구비한다. 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(40) 각각이, 두께 방향으로 병렬로 배치된 제1 도전체(30, 50) 및 제2 도전체(35, 55)와, 제1 도전체(30, 50) 및 제2 도전체(35, 55)의 사이에 배치된 절연체(38)를 갖고, 제1 플런저(20)의 제1 도전체(30)와 제2 플런저(40)의 제1 도전체(50)와의 사이에 제1 도통 경로가 설치되고, 제1 플런저(20)의 제2 도전체(35)와 제2 플런저(40)의 제2 도전체(55)와의 사이에 제1 도통 경로에 대하여 전기적으로 독립된 제2 도통 경로가 설치되어 있다.

Description

프로브 핀 및 이것을 사용한 검사 장치

본 발명은, 프로브 핀, 특히 켈빈 접속 가능한 프로브 핀 및 이것을 사용한 검사 장치에 관한 것이다.

예를 들어, 특허문헌 1의 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 바늘 형상 부재와 제2 바늘 형상 부재를 축심을 따라서 서로 끼워 맞춤과 함께, 이들을 스프링 부재 내에 수납한 프로브 핀이 있다. 이 프로브 핀은, 특허문헌 1의 도 1에 도시한 바와 같이, 소정의 피치로 병설되고, 그 일단부를, 반도체 집적 회로(피접촉체)의 접속용 전극에 접촉시킴과 함께, 그 타단부를, 회로 기판의 접속용 전극에 접촉시킴으로써, 반도체 집적 회로(피접촉체)의 전기 특성을 검사할 수 있게 되어 있다.

최근 들어, 반도체 집적 회로의 고기능화에 수반하여, 그 전기 특성을 보다 고정밀도로 검사할 필요가 발생하고 있다. 이 때문에, 반도체 집적 회로의 전기 특성의 검사는, 인접하는 2개의 프로브 핀의 일단부를, 반도체 집적 회로(피접촉체)에 설치한 1개의 접속용 전극에 각각 접속하는 한편, 인접하는 2개의 상기 프로브 핀의 타단부를, 2개의 절연된 접속용 전극에 각각 접속한 4 단자 접속(켈빈 접속)에 의해 행하여지는 경우가 있다.

일본 특허 공개 제2005-221309호 공보

그러나, 소형화되어, 배치 간격이 좁아진 접속용 전극을 갖는 반도체 집적 회로의 전기 특성을 4 단자 접속에 의해 측정하는 경우, 상기 프로브 핀을 사용하면, 개별의 인접하는 2개의 상기 프로브 핀을 1개의 접속용 전극에 접속시키지 않으면 안되어, 2개의 상기 프로브 핀의 간격(피치)을 좁게 하는 것에 한계가 있었다. 이 때문에, 상기 프로브 핀에서는, 소형화된 반도체 집적 회로의 전기 특성을 고정밀도로 측정할 수 없는 경우가 있다.

본 발명은 상기 문제점을 감안하여, 소형화된 반도체 집적 회로(피접촉체)의 전기 특성을 고정밀도로 검사할 수 있는 프로브 핀 및 이것을 사용한 검사 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 일 양태의 프로브 핀은, 상기 과제를 해결하기 위해,

중심선을 따라 신축하는 절연성 탄성 부재와,

상기 절연성 탄성 부재의 상기 중심선을 따른 일방측에 배치된 제1 플런저와,

상기 절연성 탄성 부재의 상기 중심선을 따른 타방측에 배치된 제2 플런저를 구비하고,

상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저 각각이,

판상을 갖고, 그 두께 방향으로 병렬로 배치된 제1 도전체 및 제2 도전체와,

상기 제1 도전체 및 상기 제2 도전체의 사이에 배치되어, 상기 제1 도전체 및 상기 제2 도전체를 절연시키는 절연체를

갖고,

상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저가, 상기 절연성 탄성 부재에 대하여 직렬적으로 배치되고 또한 상기 중심선을 따라 상대적으로 이동 가능하게 연결되고, 상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체와 상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체와의 사이에 제1 도통 경로가 설치되고, 상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체와 상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체와의 사이에 상기 제1 도통 경로에 대하여 전기적으로 독립된 제2 도통 경로가 설치되어 있고,

상기 절연성 탄성 부재가, 상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저에 의해 빠짐 방지되어 있다.

또한, 본 발명의 일 양태의 검사 장치는,

상기 프로브 핀을 구비하고 있다.

상기 양태의 프로브 핀에 의하면, 제1 플런저의 제1 도전체와 제2 플런저의 제1 도전체와의 사이에 제1 도통 경로가 설치되고, 제1 플런저의 제2 도전체와 제2 플런저의 제2 도전체와의 사이에 제1 도통 경로에 대하여 전기적으로 독립된 제2 도통 경로가 설치되어 있다. 이 때문에, 예를 들어 개별의 인접하는 2개의 프로브 핀을 반도체 집적 회로의 1개의 접속용 전극에 접촉시키는 경우에 비해, 보다 소형화된 접속용 전극에 대하여 4 단자 접속(켈빈 접속)을 구성할 수 있다. 그 결과, 소형화된 반도체 집적 회로의 전기 특성을 고정밀도로 측정할 수 있는 소형의 프로브 핀을 실현할 수 있다.

상기 형태의 검사 장치에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 소형화된 반도체 집적 회로의 전기 특성을 고정밀도로 측정할 수 있다.

도 1a는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제1 실시 형태를 도시하는 정면도이다.
도 1b는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제1 실시 형태를 도시하는 평면도이다.
도 1c는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제1 실시 형태를 나타내는 저면도이다.
도 2의 (A) 내지 도 2의 (C)는 도 1a 내지 도 1c에 나타낸 프로브 핀의 사시도, 주요부 사시도 및 부분 확대도이다.
도 3은 도 1a 내지 도 1c에 도시한 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 4a는 제1 실시 형태에 관한 프로브 핀을 내장한 검사 장치를 도시하는 정면도이다.
도 4b는 제1 실시 형태에 관한 프로브 핀을 내장한 검사 장치의 사용 방법을 설명하는 단면도이다.
도 5의 (A) 내지 도 5의 (C)는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제2 실시 형태를 도시하는 사시도, 주요부 사시도 및 부분 확대 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시한 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 7a는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제3 실시 형태를 도시하는 정면도이다.
도 7b는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제3 실시 형태를 도시하는 평면도이다.
도 7c는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제3 실시 형태를 도시하는 도 7a의 C-C 단면도이다.
도 7d는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제3 실시 형태를 나타내는 저면도이다.
도 8의 (A) 내지 도 8의 (C)는 도 7a 내지 도 7d에 도시한 프로브 핀의 사시도, 주요부 사시도, 부분 확대 사시도이다.
도 9의 (A) 내지 도 9의 (C)는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제4 실시 형태를 도시하는 사시도, 주요부 사시도 및 부분 확대 사시도이다.
도 10은 도 9에 나타낸 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 11a는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제5 실시 형태를 도시하는 정면도이다.
도 11b는, 본 발명에 따른 프로브 핀의 제5 실시 형태를 도시하는 평면도이다.
도 11c는, 본 발명에 따른 프로브 핀의 제5 실시 형태를 나타내는 저면도이다.
도 12의 (A) 내지 도 12의 (C)는 도 11a 내지 도 11c에 도시한 프로브 핀의 사시도, 주요부 사시도 및 부분 확대 사시도이다.
도 13은 도 12에 나타낸 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 14a는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제6 실시 형태를 도시하는 정면도이다.
도 14b는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제6 실시 형태를 도시하는 평면도이다.
도 14c는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제6 실시 형태를 나타내는 저면도이다.
도 15의 (A) 내지 도 15의 (C)는 도 14a 내지 도 14c에 도시한 프로브 핀의 사시도, 주요부 사시도 및 부분 확대 사시도이다.
도 16은 도 14a 내지 도 14c에 도시한 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 17의 (A) 내지 도 17의 (C)는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제7 실시 형태를 도시하는 사시도, 주요부 사시도 및 부분 확대 사시도이다.
도 18은 도 17에 나타낸 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 19a는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제8 실시 형태를 도시하는 정면도이다.
도 19b는 본 발명에 따른 프로브 핀의 제8 실시 형태를 나타내는 우측면도이다.
도 20의 (A) 내지 도 20의 (C)는 도 19a 및 도 19b에 도시한 프로브 핀의 사시도, 주요부 사시도 및 부분 확대 사시도이다.
도 21은 도 19a 및 도 19b에 도시한 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 22a는 제8 실시 형태에 따른 프로브 핀을 내장한 검사 장치의 사시도이다.
도 22b는 제8 실시 형태에 따른 프로브 핀을 내장한 검사 장치의 주요부 사시도이다.
도 22c는 제8 실시 형태에 따른 프로브 핀을 내장한 검사 장치의 사용 방법을 설명하기 위한 단면도이다.

본 발명에 따른 프로브 핀의 실시 형태를 도 1a 내지 도 22c의 첨부 도면에 따라서 설명한다.

또한, 이하의 설명에서는, 도면에 표현된 구성을 설명하는 데 있어서, X 방향, Y 방향, Z 방향, 「상」, 「하」, 「좌」, 「우」 등의 방향을 나타내는 용어, 및 그것들을 포함하는 별도의 용어를 사용하는데, 이들 용어를 사용하는 목적은 도면을 통해서 실시 형태의 이해를 용이하게 하기 위해서이다. 따라서, 상술한 용어는 본 발명의 실시 형태가 실제로 사용될 때의 방향을 나타내는 것이라고 한정할 수 없으며, 상술한 용어에 의해 특허 청구 범위에 기재된 발명의 기술적 범위가 한정적으로 해석되어서는 안된다.

(제1 실시 형태)

제1 실시 형태의 프로브 핀(10)은, 도 1a 내지 도 4b에 도시하는 바와 같이, 절연성 탄성 부재의 일례인 절연성 탄성 통상체(11)와, 플런저(12)를 구비하고 있다. 상기 플런저(12)는, 제1 플런저(20)와 제2 플런저(40)로 구성되어 있다.

절연성 탄성 통상체(11)는, 표면에 절연막이 형성된 금속제의 코일 스프링이다. 또한, 절연성 탄성 통상체(11)는, 예를 들어 합성 수지제의 코일 스프링이어도 되고, 후술하는 바와 같이 고무제 또는 합성 수지제의 통상체이어도 된다.

상기 제1 플런저(20)는, 도 2에 도시한 바와 같이, Z1 및 Z2 방향으로 연장되는 긴 판상으로, 절연성 탄성 통상체(11)의 중심선(CL)(도 1a에 도시함)을 따른(Z1 및 Z2 방향) 일방측(도 2의 상측)에 배치되어 있다. 이 제1 플런저(20)는, 제1 플런저 본체(21)와, 제1 단자부(22)와, 한 쌍의 제1 유지부(23)로 구성되어 있다. 제1 단자부(22)는, 제1 플런저 본체(21)의 축심(연장 방향)의 일단부(도 2의 상단)에 연속하고, 또한 Z1 방향을 따라 연장되어 있다. 또한, 한 쌍의 제1 유지부(23)는, 제1 플런저 본체(21)와 제1 단자부(22)와의 경계 부분으로부터 X1 방향 및 X2 방향을 따라서 각각 연장되어 있다.

또한, 상기 제1 플런저 본체(21)는, Z2 방향의 자유 단부(제1 플런저 본체(21)의 연장 방향의 타단부)로부터 X2 방향(절연성 탄성 통상체(11)의 중심선(CL)에 교차하는 방향)으로 돌출되어 있는 제1 걸림 결합부(24)를 갖는다. 또한, 제1 단자부(22)의 Z1 방향(길이 방향)의 자유 단부(제1 플런저(20)의 제1 플런저 본체(21)로부터 먼 단부)의 선단면에는, 제1 플런저 본체(21)의 폭 방향(X1 및 X2 방향)의 위치를 어긋나게 한 지그재그 형상으로 배치되어 있는 접점부(25a, 25b)가 돌출 설치되어 있다.

또한, 상기 제1 플런저(20)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 도전성 플런저편(제1 도전체의 일례)(30)과 도전성 플런저편(제2 도전체의 일례)(35)으로, 절연성 플런저편(절연체의 일례)(38)을 끼움 지지한 단면 형상을 갖고 있다. 즉, 제1 플런저(20)는, 각각이 Z1 및 Z2 방향으로 연장되는 긴 판상을 갖고, 그 두께 방향(Y1 및 Y2 방향)으로 병렬로 배치된 도전성 플런저편(30) 및 도전성 플런저편(35)과, 도전성 플런저편(30) 및 도전성 플런저편(35)의 사이에 배치되어, 도전성 플런저편(30) 및 도전성 플런저편(35)을 절연시키는 절연성 플런저편(38)을 갖고 있다. 또한, 도전성 플런저편(30, 35)은, 도전판이라고 칭할 수 있고, 절연성 플런저편(38)은, 절연판이라고 칭할 수 있다.

상기 도전성 플런저편(30)은, 제1 플런저편 본체(31)와, 제1 플런저편 단자부(32)와, 한 쌍의 제1 플런저편 유지부(33)를 갖고 있다. 제1 플런저편 본체(31)는, 절연성 탄성 통상체(11)의 일단부(도 3의 상단)로부터 절연성 탄성 통상체(11)의 중심선(CL)을 따라 절연성 탄성 통상체(11)의 내부에 연장되어 있다. 제1 플런저편 단자부(32)는, 절연성 탄성 통상체(11)의 외부에 위치하고 있음과 함께, 제1 플런저편 본체(31)의 연장 방향(길이 방향)의 일단부(도 3의 상단)에 연속하고, 또한 절연성 탄성 통상체(11)의 중심선(CL)을 따라 왕복 이동 가능한 제1 접점부(25a, 25b)가 설치되어 있다. 한 쌍의 제1 플런저편 유지부(33) 각각은, 제1 플런저편 본체(31)와 제1 플런저편 단자부(32)와의 경계 부분으로부터 절연성 탄성 통상체(11)의 중심선(CL)에 교차하는 방향(X1 방향 및 X2 방향)을 따라 연장되고, 또한 절연성 탄성 통상체(11)의 상단에 접촉하여, 후술하는 도전성 플런저편(35)의 제2 플런저편 유지부(33)와, 제2 플런저(40)의 제3 및 제4 플런저편 유지부(53)와 함께, 절연성 탄성 통상체(11)를 빠짐 방지할 수 있을 정도로 유지하고 있다. 즉, 후술하는 검사 장치(60)에 내장되기 전의 프로브 핀(10)에서는, 절연성 탄성 통상체(11)는, 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(40)에 의해 빠짐 방지되어 있으면 되며, 제1 및 제2 플런저편 유지부(33)와 제3 및 제4 플런저편 유지부(53)에 의해 유지되어 있어도 되고, 유지되어 있지 않아도 된다. 또한, (도전성)제1 플런저편 본체(31)의 Z2 방향의 자유 단부에 X2 방향으로 돌출되는(제1 플런저편 본체(31)의 연장 방향의 타단부로부터 절연성 탄성 통상체(11)의 중심선(CL)에 교차하는 방향으로 돌출되는) 제1 플런저편 걸림 결합부(34)를 설치하고 있다. 또한, (도전성)제1 플런저편 단자부(32)의 Z1 방향의 자유 단부(길이 방향의 상부)에는, 그 선단면(상단면)으로부터 제1 접점부(25a, 25b)가 돌출되어 있다.

상기 도전성 플런저편(35)은, 제2 플런저편 걸림 결합부(34)를 갖는 제2 플런저편 본체(31)와, 제2 접점부(25a, 25b)를 갖는 제2 플런저편 단자부(32)와, 한 쌍의 제2 플런저편 유지부(33)를 갖고, 상기 도전성 플런저편(30)과 거의 동일한 정면 형상을 갖고 있다. 이 때문에, 동일한 정면 형상을 갖는 부분에는 동일 번호를 붙이고 설명을 생략한다. 또한, 도전성 플런저편(35)은, 도전성 플런저편(30)보다도 전기 저항이 현저하게 작아, 전류가 흐르기 쉬운 재료로 형성되어 있다.

단, 상기 도전성 플런저편(35)의 Z1 방향의 자유 단부의 선단면에 돌출 설치한 접점부(25a, 25b)는, 상기 도전성 플런저편(30)에 돌출 설치한 접점부(25a, 25b)에 대하여 도전성 플런저편(35)의 폭 방향(X1 및 X2 방향)의 위치를 어긋나게 한 지그재그 형상이 되는 위치에 배치되어 있다.

또한, 상기 도전성 플런저편(30)과 상기 도전성 플런저편(35)은, 전기 저항이 동일한 재료로 형성되어 있어도 되고, 상이한 두께 치수를 갖고 있어도 되고, 또한 동일 재료 또는 동일 두께 치수를 갖고 있어도 된다.

상기 절연성 플런저편(38)은, Z1 방향의 자유 단부의 선단면에 접점부를 설치하지 않는 점을 제외하고, 상기 도전성 플런저편(30)(및 도전성 플런저편(35))과 동일한 정면 형상을 갖고 있다.

그리고, 상기 절연성 플런저편(38)은, 그 두께 방향(Y1 및 Y2 방향)에 있어서 도전성 플런저편(30) 및 도전성 플런저편(35)으로 끼움 지지되어, 도전성 플런저편(30), 도전성 플런저편(35), 및 절연성 플런저편(38)이 일체화되어 있다. 이에 의해, 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 플런저 본체(21)와, 제1 플런저 본체(21)의 축심을 따라서 Z1 방향으로 연장되는 제1 단자부(22)와, 상기 제1 플런저 본체(21)의 기부로부터 X1 방향 및 X2 방향으로 각각 연장되는 제1 유지부(23)를 갖는 제1 플런저(20)가 형성된다. 그리고, 상기 제1 단자부(22)의 Z1 방향의 자유 단부의 선단면으로부터 접점부(25a, 25b)가 제1 플런저 본체(21)의 폭 방향(X1 및 X2 방향)의 위치를 어긋나게 한 지그재그 형상으로 돌출되어 있다.

상기 제2 플런저(40)는, 도 2에 도시한 바와 같이, Z1 및 Z2 방향으로 연장되는 긴 판상으로, 절연성 탄성 통상체(11)의 중심선(CL)을 따른(Z1 및 Z2 방향) 일방측(도 2의 상측)에 배치되어 있다. 이 제2 플런저(40)는, 제2 플런저 본체(41)와, 제2 단자부(42)와, 한 쌍의 제2 유지부(43)로 구성되어, 제1 플런저(20)와 동일한 구성 및 형상을 갖고 있다. 제2 단자부(42)는, 제2 플런저 본체(41)의 축심(연장 방향)의 일단부(도 2의 하단)에 연속하고, 또한 Z2 방향을 따라서 연장되어 있다. 또한, 한 쌍의 제2 유지부(43)는, 제2 플런저 본체(41)와 제2 단자부(42)와의 경계 부분으로부터 X1 방향 및 X2 방향을 따라서 각각 연장되어 있다.

또한, 상기 제2 플런저 본체(41)는, Z1 방향의 자유 단부(제2 플런저 본체(41)의 연장 방향의 타단부)로부터 X1 방향(절연성 탄성 통상체(11)의 중심선(CL)에 교차하는 방향)으로 돌출되어 있는 제2 걸림 결합부(44)를 갖는다. 또한, 제2 단자부(42)의 Z2 방향의 자유 단부(제2 플런저(40)의 길이 방향의 제2 플런저 본체(41)로부터 먼 단부)의 선단면으로부터 접점부(45a, 45b)가 지그재그 형상으로 돌출되어 있다.

제2 플런저(40)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 도전성 플런저편(제1 도전체의 일례)(50)과 도전성 플런저편(제2 도전체의 일례)(55)으로, 절연성 플런저편(절연체의 일례)(58)을 끼움 지지한 단면 형상을 갖고 있다. 즉, 제2 플런저(40)는, 각각이 Z1 및 Z2 방향으로 연장되는 긴 판상을 갖고, 그 두께 방향(Y1 및 Y2 방향)으로 병렬로 배치된 도전성 플런저편(50) 및 도전성 플런저편(55)과, 도전성 플런저편(50) 및 도전성 플런저편(55)의 사이에 배치되어, 도전성 플런저편(50) 및 도전성 플런저편(55)을 절연시키는 절연성 플런저편(58)을 갖고 있다.

상기 도전성 플런저편(50)은, 제3 플런저편 본체(51)와, 제3 플런저편 단자부(52)와, 한 쌍의 제3 플런저편 유지부(53)를 갖고 있다. 제3 플런저편 본체(51)는, 절연성 탄성 통상체(11)의 타단부(도 3의 하단)로부터 절연성 탄성 통상체(11)의 중심선(CL)을 따라 절연성 탄성 통상체(11)의 내부에 연장되어 있다. 제3 플런저편 단자부(52)는, 절연성 탄성 통상체(11)의 외부에 위치하고 있음과 함께, 제3 플런저편 본체(51)의 연장 방향(길이 방향)의 일단부(도 3의 하단)에 연속하고, 또한 절연성 탄성 통상체(11)의 중심선(CL)을 따라 왕복 이동 가능한 제3 접점부(45a, 45b)가 설치되어 있다. 한 쌍의 제3 플런저편 유지부(53) 각각은, 제3 플런저편 본체(51)와 제3 플런저편 단자부(52)와의 경계 부분으로부터 절연성 탄성 통상체(11)의 중심선(CL)에 교차하는 방향(X1 방향 및 X2 방향)을 따라 연장되고, 또한 절연성 탄성 통상체(11)의 하단에 접촉하여, 제1 플런저(20)의 제1 및 제2 플런저편 유지부(33)와 후술하는 도전성 플런저편(55)의 제4 플런저편 유지부(53)와 함께, 절연성 탄성 통상체(11)를 유지하고 있다. 또한, 제3 플런저편 본체(51)의 Z1 방향의 자유 단부로부터 X1 방향으로 돌출되는(제3 플런저편 본체(51)의 연장 방향의 타단부로부터 절연성 탄성 통상체(11)의 중심선(CL)에 교차하는 방향으로 돌출되는) 제3 플런저편 걸림 결합부(54)를 설치하고 있다. 또한, 제3 플런저편 단자부(52)의 Z2 방향의 자유 단부(길이 방향의 하부)에는, 그 선단면(하단면)으로부터 제3 접점부(45a)가 돌출되어 있다.

상기 도전성 플런저편(55)은, 제4 플런저편 걸림 결합부(54)를 갖는 제4 플런저편 본체(51)와, 제4 접점부(45b)를 갖는 제4 플런저편 단자부(52)와, 한 쌍의 제4 플런저편 유지부(53)를 갖고, Z1 방향의 자유 단부의 선단면에 설치한 제4 접점부(45b)의 폭 방향(X1 및 X2 방향)의 위치가 상이한 점을 제외하고, 도전성 플런저편(50)과 거의 동일한 정면 형상을 갖고 있다. 이 때문에, 동일 부분에는 동일 번호를 붙이고 설명을 생략한다.

또한, 상기 도전성 플런저편(50)과 상기 도전성 플런저편(55)은, 전기 저항이 동일 재료로 형성되어 있어도 되고, 상이한 두께 치수를 갖고 있어도 되고, 또한 동일 재료 또는 동일 두께 치수를 갖고 있어도 된다.

상기 절연성 플런저편(58)은, 도 3에 도시한 바와 같이, Z2 방향의 자유 단부의 선단면에 접점부를 설치하지 않음과 함께, 상기 접점부(45a)가 돌출되도록 절제한 점을 제외하고, 상기 도전성 플런저편(50)(및 도전성 플런저편(55))과 동일한 정면 형상을 갖고 있다.

그리고, 상기 절연성 플런저편(58)은, 그 두께 방향(Y1 및 Y2 방향)에 있어서 상기 도전성 플런저편(50, 55)으로 끼움 지지되어, 도전성 플런저편(50), 도전성 플런저편(55), 및 절연성 플런저편(58)이 일체화되어 있다. 이에 의해, 도 2에 도시한 바와 같이, 제2 플런저 본체(41)와, 제2 플런저 본체(41)의 축심을 따라서 Z2 방향으로 연장되는 제2 단자부(42)와, 상기 제2 플런저 본체(41)의 기부로부터 X1 방향 및 X2 방향으로 각각 연장되는 제2 유지부(43)를 갖는 제2 플런저(40)가 형성된다. 그리고, 상기 제2 단자부(42)의 Z2 방향의 자유 단부의 선단면으로부터 접점부(45a, 45b)가 제3 플런저편 본체(51)의 폭 방향(X1 및 X2 방향)의 위치를 어긋나게 한 지그재그 형상으로 돌출되어 있다.

그리고, 도 2에 도시한 바와 같이, 절연성 탄성 통상체(11)의 상방 개구부에 제1 플런저(20)의 제1 플런저 본체(21)를 삽입함으로써, 제1 유지부(23)가 상기 절연성 탄성 통상체(11)의 개구 에지부에 걸림 고정된다.

한편, 절연성 탄성 통상체(11)의 하방 개구부로부터 제2 플런저(40)의 제2 플런저 본체(41)를 삽입한다. 이에 의해, 절연성 탄성 통상체(11) 내에서, 제1 플런저(20)의 제1 걸림 결합부(24)와 제2 플런저(40)의 제2 걸림 결합부(44)가 걸림 결합한다. 또한, 제2 유지부(43)가 상기 절연성 탄성 통상체(11)의 개구 에지부에 걸림 고정된다.

이에 의해, 도전성 플런저편(30)의 제1 플런저편 걸림 결합부(34)와 도전성 플런저편(50)의 제3 플런저편 걸림 결합부(54)가 걸림 결합한다. 그리고, 도전성 플런저편(30)의 제1 플런저편 본체(31)와, 도전성 플런저편(50)의 제3 플런저편 걸림 결합부(54)가 서로 미끄럼 접촉 가능하게 된다.

마찬가지로, 도전성 플런저편(35)의 제2 플런저편 걸림 결합부(34)와 도전성 플런저편(55)의 제4 플런저편 걸림 결합부(54)가 걸림 결합한다. 그리고, 도전성 플런저편(55)의 제4 플런저편 본체(51)와, 도전성 플런저편(35)의 제2 플런저편 걸림 결합부(34)가 서로 미끄럼 접촉 가능하게 된다.

이어서, 상술한 프로브 핀(10)을 내장한 검사 장치(60)의 사용 방법에 대해서 설명한다(도 4a 및 도 4b).

상기 검사 장치(60)는, 절연성의 상자형 베이스(61)와 절연성의 커버(62)를 구비하고 있다. 그리고, 상기 상자형 베이스(61)는, 프로브 핀(10)을 수납 가능한 수납 구멍(63)과, 각 수납 구멍(63)에 연통하는 단자 구멍(64)을 동일 직선 상에 마련하고 있다. 한편, 상기 커버(62)는 상기 상자형 베이스(61)를 피복 가능한 평면 형상을 갖고, 상기 수납 구멍(63)에 연통하는 단자 구멍(65)을 마련하고 있다. 또한, 이 실시 형태에서는, 일례로서, 검사 장치(60)에 수납 구멍(63)을 2개 마련하고 있다.

그리고, 상기 상자형 베이스(61)의 수납 구멍(63)에는, 상기 프로브 핀(10)이 삽입되고, 상기 상자형 베이스(61)의 상면에는, 커버(62)가 고정되어 있다. 이때, 상기 상자형 베이스(61)의 저면에 형성한 각 단자 구멍(64)으로부터는, 제2 플런저(40)의 접점부(45a, 45b)가 돌출되어 있다. 한편, 상기 커버(62)에 형성한 각 단자 구멍(65)으로부터는, 제1 플런저(20)의 접점부(25a, 25b)가 돌출되어 있다. 또한, 절연성 탄성 통상체(11)는, 제1 플런저(20)의 제1 유지부(23)와 제2 플런저(40)의 제2 유지부(43)로 유지되어 있다.

먼저, 상기 검사 장치(60)를 위치 결정하고, 프린트 기판(70)의 접속 패드(71, 72) 상에 프로브 핀(10)의 접점부(45a, 45b)를 각각 적재한다(접촉시킨다). 접속 패드(71, 72)는, 상기 접점부(45a, 45b)에 대응하도록 지그재그 형상으로 배치되어, 절연성을 확보하면서 집적 밀도를 높이고 있다.

계속해서, 상기 검사 장치(60)의 상방에 피검사체인 반도체 집적 회로(75)를 위치 결정하고, 프로브 핀(10)의 접점부(25a, 25b)에 반도체 집적 회로(75)의 접속 패드(76)를 적재한다(접촉시킨다). 이 때문에, 프린트 기판(70)의 접속 패드(71)와 반도체 집적 회로(75)의 접속 패드(76)가, 도전성 플런저편(50) 및 도전성 플런저편(30)을 통해서 도통하여, 제1 도통 경로를 형성한다. 마찬가지로, 프린트 기판(70)의 접속 패드(72)와 반도체 집적 회로(75)의 접속 패드(76)가, 도전성 플런저편(55) 및 도전성 플런저편(35)을 통해서 도통하여, 제2 도통 경로를 형성한다. 이에 의해, 프린트 기판(70)의 접속 패드(71)와, 반도체 집적 회로(75)의 접속 패드(76)가, 예를 들어 제1 도통 경로를 전류 계측용 도통 경로로 하고, 제2 도통 경로를 전압 계측용 도통 경로로 하는 4 단자 접속(켈빈 접속)을 할 수 있다.

상기 프로브 핀(10)에서는, 도전성 플런저편(35, 55)은, 도전성 플런저편(30, 50)보다도 전기 저항이 현저하게 작아, 전류가 흐르기 쉽다. 이 때문에, 4 단자 접속(켈빈 접속)으로 하면, 상기 프로브 핀(10)이 도통해서 전류가 흘러도, 도전성 플런저편(35, 55)에 대부분의 전류가 흐르는 한편, 도전성 플런저편(30, 50)에 약간의 전류가 흐르므로, 도전성 플런저편(30, 50)의 잔류 저항이나 접속 저항에 의한 측정 오차를 저감할 수 있어, 반도체 집적 회로(75)의 전기 특성을 고정밀도로 측정할 수 있다.

즉, 상기 프로브 핀(10)에 의하면, 제1 플런저(20)의 도전성 플런저편(30)과 제2 플런저(40)의 도전성 플런저편(50)과의 사이에 제1 도통 경로가 설치되고, 제1 플런저(20)의 도전성 플런저편(35)과 제2 플런저(40)의 도전성 플런저편(55)과의 사이에 제1 도통 경로에 대하여 전기적으로 독립된 제2 도통 경로가 설치되어 있다. 이 때문에, 예를 들어 개별의 인접하는 2개의 프로브 핀을 반도체 집적 회로의 1개의 접속용 전극에 접촉시키는 경우에 비해, 보다 소형화된 접속용 전극에 대하여 4 단자 접속(켈빈 접속)을 구성할 수 있다. 그 결과, 소형화된 반도체 집적 회로의 전기 특성을 고정밀도로 측정할 수 있는 소형의 프로브 핀을 실현할 수 있다.

또한, 절연성 탄성 부재로서, 절연성 탄성 통상체의 일례인 코일 스프링(11)을 사용하고 있다. 이에 의해, 코일 스프링(11) 내에서, 제1 플런저(20)를 구성하는 복수의 도전체(30, 35)와 제2 플런저(40)를 구성하는 복수의 도전체(50, 55)를, 각각 개별적으로 미끄럼 접촉시킬 수 있다. 이 때문에, 예를 들어 협소 피치로 4 단자 접속(켈빈 접속)할 수 있어, 전기 특성을 고정밀도로 측정할 수 있는 소형의 프로브 핀을 실현할 수 있다.

또한, 제1 플런저(20)의 도전성 플런저편(30, 35)과 제2 플런저(40)의 도전성 플런저편(50, 55) 각각이, 플런저편 본체와, 플런저편 단자부와, 플런저편 유지부를 갖고 있다. 이에 의해, 코일 스프링(11)을 플런저편 유지부로 유지하면서, 코일 스프링(11) 내에서, 제1 플런저(20)를 구성하는 복수의 도전체(30, 35)와 제2 플런저(40)를 구성하는 복수의 도전체(50, 55)를, 각각 개별적으로 미끄럼 접촉시킬 수 있다. 이 때문에, 예를 들어 협소 피치로 4 단자 접속(켈빈 접속)할 수 있어, 전기 특성을 보다 확실하게 고정밀도로 측정할 수 있는 소형의 프로브 핀을 실현할 수 있다.

또한, 제1 플런저(20)의 접점부(25a, 25b)와, 제2 플런저(40)의 접점부(45a, 45b)가, 도전성 플런저편(30) 및 도전성 플런저편(35)의 배열 방향(도전성 플런저편(50) 및 도전성 플런저편(55)의 배열 방향)에 직교하는 방향(폭 방향)의 위치를 어긋나게 한 지그재그 형상으로 배치되어 있다. 이에 의해, 예를 들어 이들에 대응하는 접속 패드도 지그재그 형상으로 배치할 수 있으므로, 반도체 집적 회로(75) 또는 프린트 기판(70)의 접속 패드(76, 71) 상호의 절연성을 확보하면서, 반도체 집적 회로(75) 또는 프린트 기판(71)의 접속 패드(76, 71)의 집적 밀도를 높일 수 있다.

또한, 제1 플런저(20)와 제2 플런저(40)가, 각 도전성 플런저편(30, 35, 50, 55)에 설치한 플런저편 걸림 결합부(34, 54)를 통해서 연결되어 있다. 이에 의해, 제1 플런저(20)와 제2 플런저(40)를 보다 확실하게 연결하여, 전기 특성을 보다 확실하게 고정밀도로 측정할 수 있는 소형의 프로브 핀을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 장치(60)에 의하면, 상기 프로브 핀(10)에 의해, 소형화된 반도체 집적 회로(75)의 전기 특성을 고정밀도로 측정할 수 있다.

(제2 실시 형태)

제2 실시 형태는, 도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같이, 상술한 제1 실시 형태와 거의 동일하다. 상이한 점은, 2매의 도전성 플런저편(30, 36)과, 도전성 플런저편(35)으로 절연성 플런저편(38)을 끼움 지지한 점, 및 2매의 도전성 플런저편(50, 56)과, 도전성 플런저편(55)으로 절연성 플런저편(58)을 끼움 지지한 점이다.

즉, 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(40) 각각이, 판상을 갖고, 그 두께 방향(Y1 및 Y2 방향)에 있어서, 제1 도전체의 일례인 도전성 플런저편(30, 50) 및 제2 도전체의 일례인 도전성 플런저편(35, 55)과 병렬로 배치된 제3 도전체의 일례인 도전성 플런저편(36, 56)을 적어도 갖고 있다. 그리고, 적어도 1조의 인접하는 도전성 플런저편의 사이에, 즉, 도전성 플런저편(35)과 도전성 플런저편(36)에, 절연체의 일례인 절연성 플런저편(38)이 배치되고, 도전성 플런저편(55)과 도전성 플런저편(56)과의 사이에, 절연성 플런저편(58)이 배치되어 있다.

그 밖에는 상술한 제1 실시 형태와 마찬가지이므로, 동일 부분에는 동일 번호를 붙이고 설명을 생략한다.

본 실시 형태에 따르면, 복수매의 도전성 플런저편을 적절히 조합함으로써, 원하는 전기 저항을 갖는 제1, 제2 플런저를 구성할 수 있고, 원하는 프로브 핀을 제조하기 쉬워진다는 이점이 있다.

(제3 실시 형태)

제3 실시 형태는, 도 7a 내지 도 8에 도시하는 바와 같이, 상술한 제1 실시 형태와 거의 동일하다. 상이한 점은, 제1 플런저(20)의 제1 플런저 본체(21)의 외주면 중, X2 방향을 향하고 있는 단부면(제1 플런저(20)의 폭 방향에 대향하는 측면 중 제2 플런저(40)에 대향하는 면)을 이 단부면에 대하여 제2 플런저(20)로부터 이격되는 방향으로 오목해지는 (단면)오목면으로 함과 함께, 제1 걸림 결합부(24)의 선단 에지부(제1 플런저(20)의 폭 방향에 대향하는 측면 중 제2 플런저(40)에 대향하는 선단면)를 이 선단 에지부에 대하여 제2 플런저(40)로부터 이격되도록 오목해지게 만곡시킨 오목면으로 한 점이다. 또한, 다른 상이한 점은, 제2 플런저(40)의 제2 플런저 본체(41)의 외주면 중, X1 방향을 향하고 있는 단부면(제2 플런저(40)의 폭 방향에 대향하는 측면 중 제1 플런저(20)에 대향하는 면)을 이 단부면에 대하여 제1 플런저(20)에 접근하는 방향으로 돌출되는 (단면)볼록면으로 함과 함께, 제2 걸림 결합부(44)의 선단 에지부(제2 플런저(40)의 폭 방향에 대향하는 면 중 제1 플런저(20)에 대향하는 선단면)를 이 선단 에지부에 대하여 제1 플런저(20)에 접근하는 방향으로 돌출되도록(X1 방향으로 밀려 나오듯이) 만곡시킨 볼록면으로 한 점이다. 제1 플런저(20)의 오목면과 제2 플런저(40)의 볼록면은, 삽입 가능하게 설치되어 있다.

도 7c에 도시하는 바와 같이, 절연성 탄성 통상체(11) 내에서, 제1 플런저(20)의 제1 걸림 결합부(24)와 제2 플런저(40)의 제2 걸림 결합부(44)를 걸림 결합시키면, 단면 오목면에 제2 걸림 결합부(44)의 선단 에지부가 삽입되어, 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(40)의 두께 방향의 상대적인 이동을 규제한다. 이 때문에, 도 8에서, 제1 플런저(20)와 제2 플런저(40)가 Y1 및 Y2 방향(제1 플런저(20) 및 제2 플런저(40)의 두께 방향)으로 위치 어긋나기 어려워진다. 따라서, 제1 플런저의 오목면과 제2 플런저의 볼록면은 위치 규제부로서 기능한다. 또한, 제1 플런저(20)와 제2 플런저(40)와의 접촉 면적이 증대하여, 접촉 신뢰성이 향상된다는 이점이 있다.

그 밖에는 상술한 제1 실시 형태와 거의 마찬가지이므로, 동일 부분에는 동일 번호를 붙이고 설명을 생략한다.

(제4 실시 형태)

제4 실시 형태는, 도 9 내지 도 10에 도시하는 바와 같이, 상술한 제1 실시 형태와 거의 동일하다. 그리고, 제1 실시 형태와 상이한 점은, 제1 플런저 본체(21)의 내향면의 양쪽 측연부(폭 방향(X1 및 X2 방향)에 대향하는 측면 중 제2 플런저(40)에 대향하는 면의 두께 방향(Y1 및 Y2 방향)의 양쪽 에지)에, 제1 플런저 본체(21)의 연장 방향(Z1 및 Z2 방향)을 따라 연장되는 한 쌍의 탈락 방지용 리브(21a)를 각각 설치한 점이다. 한 쌍의 탈락 방지용 리브(21a)의 사이에는, 제2 플런저(40)의 제2 플런저 본체(41) 및 제2 걸림 결합부(44)가 삽입 가능하게 되어 있다.

본 실시 형태에 따르면, 한 쌍의 탈락 방지용 리브(21a) 사이에, 제2 플런저(40)의 제2 걸림 결합부(44)가 배치되어, 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(40)의 두께 방향의 상대적인 이동을 규제한다. 이 때문에, 제1 플런저(20)의 한 쌍의 탈락 방지용 리브(21a)와, 제2 플런저(40)의 제2 플런저 본체(41) 및 제2 걸림 결합부(44)가 위치 규제부로서 기능한다. 그 결과, 도 9에서, Y1 및 Y2 방향으로 제1 및 제2 플런저(20, 40)가 빠지기 어려워진다. 또한, 제1 플런저(20)와 제2 플런저(40)와의 접촉 면적이 증대하여, 접촉 신뢰성이 보다 한층 향상된다는 이점이 있다.

(제5 실시 형태)

제5 실시 형태는, 도 11a 내지 도 13에 도시하는 바와 같이, 상술한 제1 실시 형태와 거의 마찬가지이며, 상이한 점은 제2 플런저(40)의 제2 단자부(42)에 설치한 접점부(45a, 45b)의 배치를 변경한 점이다.

즉, 도 11a에 도시하는 바와 같이, 정면(제1 플런저(20) 및 제2 플런저(40)의 두께 방향(Y1 및 Y2 방향))에서 보아, 접점부(45a)의 폭 방향(X1 및 X2 방향)의 양측에 접점부(45b)가 위치하도록, 지그재그 형상으로 배치되어 있다. 이 때문에, 본 실시 형태와 같이 접점부(45a, 45b)를 배치하면, 프린트 기판 상에 동심원 형상으로 형성된 접속 패드에 전기 접속할 수 있다. 이 때문에, 소정의 절연성을 확보하면서, 접속 패드의 집적 밀도를 높일 수 있어, 사용하기 좋은 프로브 핀(10)이 얻어진다는 이점이 있다.

(제6 실시 형태)

제6 실시 형태는, 도 14a 내지 도 16에 도시하는 바와 같이, 제1 실시 형태와 거의 마찬가지이며, 상이한 점은, 제2 플런저(40)의 제2 단자부(42)의 형상이다.

즉, 도 16에 도시하는 바와 같이, 제2 플런저(40)를 구성하는 2개의 도전성 플런저편(50, 55)의 각 도전성 플런저편 단자부(52)의 (도 16의)하단부에, 각각 감기용 핀(45c, 45d)을 설치한 점이다. 각 감기용 핀(45c, 45d)은 리드선을 감아서 납땜하기 위한 것이다.

본 실시 형태에 따르면, 프린트 기판을 통해 전기 특성을 측정할 필요가 없어져, 접속 방법이 다양하게 되고, 용도가 넓어진다는 이점이 있다.

(제7 실시 형태)

제7 실시 형태는, 도 17 및 도 18에 도시하는 바와 같이, 상술한 제1 실시 형태와 마찬가지이며, 상이한 점은 고무재로 이루어지는 절연성 탄성 통상체(14)를 사용한 점이다.

본 실시 형태 의하면, 저렴하고 제조 용이한 고무제의 절연성 탄성 통상체(14)를 사용할 수 있음과 함께, 절연성이 우수한 프로브 핀이 얻어진다는 이점이 있다.

그 밖에는 상술한 제1 실시 형태와 마찬가지이므로, 동일 부분에 동일 번호를 붙이고 설명을 생략한다.

(제8 실시 형태)

제8 실시 형태는, 도 19a 내지 도 21에 도시하는 바와 같이, 원기둥 형상의 절연성 탄성 부재(13)를, 제1 플런저(20)와 제2 플런저(40)로 Z1 및 Z2 방향을 따라서 끼움 지지했을 경우이다. 또한, 이 실시 형태에서는, 절연성 탄성 부재(13)의 중심을 통과하고, 또한 Z1 및 Z2 방향으로 연장되는 직선을 절연성 탄성 부재(13)의 중심선(CL)(도 19a에 도시함)으로 한다.

절연성 탄성 부재(13)는, 절연성 및 탄성을 갖고, 중심선(CL)을 따라 신축 가능하면 되며, 예를 들어 고무제 또는 합성 수지제이어도 된다. 또한, 상기 절연성 탄성 부재(13)는 원기둥 형상에 한하지 않고, 예를 들어 삼각 기둥 형상, 사각 기둥 형상, 육각 기둥 형상, 팔각 기둥 형상을 갖고 있어도 된다.

상기 제1 플런저(20)는, 도 20에 도시하는 바와 같이, Z1 및 Z2 방향(연장 방향)으로 연장되는 판상의 제1 플런저 본체(21)와, 제1 플런저 본체(21)의 연장 방향의 일단부(도 20의 상단)로부터 Z1 방향으로 돌출되는 삼각 형상의 접점부(25c, 25d)와, 제1 플런저 본체(21)의 연장 방향의 타단부(도 20의 하단)의 양쪽 측연부로부터 Z2 방향으로 각각 연장되는 한 쌍의 탄성 아암부(29)로 구성되고, 폭 방향(X1 및 X2 방향)의 중심선(CL)에 대하여 대칭으로 설치되어 있다. 한 쌍의 탄성 아암부(29)의 선단에는 내측으로 굴곡해서 서로 대향하도록 돌출되는 제1 걸림 결합부(24)가 각각 설치되어 있다. 그리고, 한 쌍의 탄성 아암부(29)의 사이에는 플런저편 끼워 맞춤 오목부(27)가 형성되어 있다.

또한, 상기 제1 플런저(20)는, 도 21에 도시하는 바와 같이, 도전성 플런저편(30)(제1 도전체의 일례)과 도전성 플런저편(35)(제2 도전체의 일례)으로, 절연성 플런저편(38)(절연체의 일례)을 끼움 지지한 단면 형상을 갖고 있다. 또한, 제1 실시 형태의 프로브 핀과 동일한 구성에는 동일 번호를 붙이고, 제1 실시 형태의 설명을 원용한다.

상기 도전성 플런저편(30)은, 제1 플런저편 본체(31)로부터 Z1 방향으로 돌출되는 제1 접점부(25c)를 갖고 있다. 또한, 상기 도전성 플런저편(30)은, 제1 플런저편 본체(31)의 하방측의 양쪽 측연부로부터 Z2 방향으로 각각 연장되는 한 쌍의 탄성 아암부(39)를 갖고 있다. 한 쌍의 탄성 아암부(39)의 선단에는 내측으로 굴곡되는 제1 플런저편 걸림 결합부(34)가 각각 설치되어 있다. 또한, 한 쌍의 탄성 아암부(39)의 사이에는 플런저편 끼워 맞춤 오목부(37)가 형성되어 있다.

상기 도전성 플런저편(35)은, 상기 도전성 플런저편(30)보다도 전기 저항이 현저하게 작아, 전류가 흐르기 쉬운 재료로 형성되고, 도전성 플런저편(30)과 거의 동일한 정면 형상을 갖고 있다. 이 때문에, 동일 부분에는 동일 번호를 붙이고 설명을 생략한다. 도전성 플런저편(35)은, 제2 접점부(25d) 및 한 쌍의 탄성 아암부(39)를 갖는 제2 플런저편 본체(31)를 갖고, 한 쌍의 탄성 아암부(39)의 선단에는, 각각 제2 플런저편 걸림 결합부(34)가 설치되어 있다.

또한, 상기 도전성 플런저편(30)과 상기 도전성 플런저편(35)은, 전기 저항이 상이한 재료로 형성할 뿐만 아니라, 서로 다른 두께 치수를 갖고 있어도 되고, 또한 동일 재료 및 동일 두께 치수를 갖고 있어도 된다.

상기 절연성 플런저편(38)은, Z1 방향의 자유 단부의 선단면에 접점부를 설치하지 않는 점을 제외하고, 도전성 플런저편(30) 및 도전성 플런저편(35)과 동일한 정면 형상을 갖고 있다.

그리고, 상기 절연성 플런저편(38)은, 그 두께 방향(Y1 및 Y2 방향)에 있어서 도전성 플런저편(30) 및 도전성 플런저편(35)으로 끼움 지지되어, 도전성 플런저편(30), 도전성 플런저편(35), 및 절연성 플런저편(38)이 일체화되어 있다. 이에 의해, 상술한 제1 플런저(20)가 형성된다.

상기 제2 플런저(40)은, 도 20에 도시하는 바와 같이, Z1 및 Z2 방향(연장 방향)으로 연장되는 판상의 제2 플런저 본체(41)와, 제2 플런저 본체(41)의 연장 방향의 일단부(도 20의 하단)로부터 Z2 방향으로 돌출되는 접점부(45e)와, 제2 플런저 본체(41)의 연장 방향의 타단부(도 20의 상단)의 양쪽 측연부로부터 X1 및 X2 방향으로 각각 돌출되는 제2 걸림 결합부(44)로 구성되어 있다. 그리고, 제2 걸림 결합부(44)의 사이에는 플런저편 끼워 맞춤 오목부(47)가 형성되어 있다.

또한, 상기 제2 플런저(40)는, 도 21에 도시하는 바와 같이, 도전성 플런저편(50)(제1 도전체의 일례)과 도전성 플런저편(55)(제2 도전체의 일례)으로, 절연성 플런저편(58)(절연체의 일례)을 끼움 지지한 단면 형상을 갖고 있다. 또한, 제1 실시 형태의 프로브 핀과 동일한 구성에는 동일 번호를 붙이고, 제1 실시 형태의 설명을 원용한다.

상기 도전성 플런저편(50)은, 제3 플런저편 본체(51)로부터 Z2 방향으로 돌출되는 제3 접점부(45e)를 갖고 있다. 또한, 상기 도전성 플런저편(50)은, 상기 제3 플런저편 본체(51)의 상방측의 양쪽 측연부로부터 X1 및 X2 방향으로 각각 돌출되는 한 쌍의 제3 플런저편 걸림 결합부(54)를 갖고 있다. 그리고, 한 쌍의 제3 플런저편 걸림 결합부(54)의 사이에는 플런저편 끼워 맞춤 오목부(57)가 형성되어 있다.

상기 도전성 플런저편(55)은, 상기 도전성 플런저편(50)보다도 전기 저항이 현저하게 작아, 전류가 흐르기 쉬운 재료로 형성되고, 상기 도전성 플런저편(55)은, 상기 도전성 플런저편(50)과 거의 동일한 정면 형상을 갖고 있다. 이 때문에, 동일 부분에는 동일 번호를 붙이고 설명을 생략한다. 도전성 플런저편(55)은, 제4 접점부(45f) 및 한 쌍의 제4 플런저편 걸림 결합부를 갖는 제4 플런저편 본체(51)를 갖고 있다.

상기 절연성 플런저편(58)은, Z1 방향의 자유 단부에 접점부를 설치하지 않는 점을 제외하고, 도전성 플런저편(50) 및 도전성 플런저편(55)과 동일한 정면 형상을 갖고 있다.

그리고, 상기 절연성 플런저편(58)은, 그 두께 방향(Y1 및 Y2 방향)에 있어서 도전성 플런저편(50) 및 도전성 플런저편(55)으로 끼움 지지되어, 도전성 플런저편(50), 도전성 플런저편(55), 및 절연성 플런저편(58)이 일체화되어 있다. 이에 의해, 상술한 제2 플런저(40)가 형성된다.

이어서, 도 22a 내지 도 22c에 도시하는 바와 같이, 상술한 프로브 핀(10)을 내장한 검사 장치(60)의 사용 방법에 대해서 설명한다.

상기 검사 장치(60)는, 절연성 상자형 베이스(61)와 절연성 커버(62)를 구비하고 있다. 그리고, 상기 상자형 베이스(61)는, 제8 실시 형태의 프로브 핀(10)을 수납 가능한 수납 구멍(63)과, 상기 수납 구멍(63)에 연통하는 단자 구멍(64)을 동일 직선 상에 마련하고 있다. 한편, 상기 커버(62)는 상기 상자형 베이스(61)를 피복 가능한 평면 형상을 갖고, 상기 수납 구멍(63)에 연통하는 단자 구멍(65)을 마련하고 있다. 또한, 이 실시 형태에서는, 일례로서, 검사 장치(60)에 수납 구멍(63)을 2개 마련하고 있다.

그리고, 상기 상자형 베이스(61)의 각 수납 구멍(63)에는, 중심선(CL)에 대하여 직교하는 방향으로 긴 절연성 탄성 부재(13)를 구비한 프로브 핀(10)이 삽입되고, 상기 상자형 베이스(61)의 상면에는, 커버(62)가 고정되어 있다. 이때, 상자형 베이스(61)의 저면에 형성한 각 단자 구멍(64)으로부터는, 제2 플런저(40)의 접점부(45e, 45f)가 돌출되어 있다. 한편, 상기 커버(62)에 형성한 각 단자 구멍(65)으로부터는, 제1 플런저(20)의 접점부(25c, 25d)가 돌출되어 있다.

먼저, 상기 검사 장치(60)를 프린트 기판(70)의 2개의 접속 패드(71, 72) 상에 위치 결정한다. 각 접속 패드(71, 72)는, 각 접점부(45e, 45f)에 대응하도록 병설되어 있다. 이 때문에, 각 접속 패드(71, 72)에 각 프로브 핀(10)의 접점부(45e, 45f)가 각각 적재된다(접촉한다).

한편, 상기 검사 장치(60)의 상방에 피검사체인 반도체 집적 회로(75)를 위치 결정하고, 각 프로브 핀(10)의 접점부(25c, 25d)에 반도체 집적 회로(75)의 접속 패드(76)를 적재한다(접촉시킨다). 이 때문에, 프린트 기판(70)의 접속 패드(71)와 반도체 집적 회로(75)의 접속 패드(76)가, 도전성 플런저편(50) 및 도전성 플런저편(30)을 통해서 도통하여, 제1 도통 경로를 형성한다. 마찬가지로, 프린트 기판(70)의 접속 패드(72)와 반도체 집적 회로(75)의 접속 패드(76)가, 도전성 플런저편(55) 및 도전성 플런저편(35)을 통해서 도통하여, 제2 도통 경로를 형성한다. 이에 의해, 프린트 기판(70)의 접속 패드(71)와, 반도체 집적 회로(75)의 접속 패드(76)가, 예를 들어 제1 도통 경로를 전류 계측용 도통 경로로 하고, 제2 도통 경로를 전압 계측용 도통 경로로 하는 4 단자 접속(켈빈 접속)을 할 수 있다.

제8 실시 형태에서는, 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(40)에 접점부를 각각 1개씩 설치하는 경우에 대해서 설명했지만, 필요에 따라서 서로 다른 형상의 복수의 접점부를 설치해도 된다. 예를 들어, 상술한 제1 실시 형태 내지 제7 실시 형태와 같이, 복수의 접점부를 지그재그 형상으로 배치해도 된다.

또한, 상술한 실시 형태에서, 적층한 복수매의 도전성 플런저편과 절연성 플런저편은 항상 일체화할 필요는 없고, 필요에 따라, 적절히 일체화해도 되는 것은 물론이다.

또한, 상술한 실시 형태는, 반드시 4 단자 접속(켈빈 접속)할 필요는 없고, 도전성 플런저편 각각을 통상의 프로브 핀으로서 사용해도 된다. 이렇게 사용하면, 협소 피치의 프로브 핀이 얻어진다는 이점이 있다.

그리고, 상술한 실시 형태에서는, 별체의 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(40)를 조합해서 플런저(12)를 형성하는 경우에 대해 설명했지만, 반드시 이것에 제한하지 않는다. 예를 들어, 다른 실시 형태로서는, 2매의 도전성 플런저편으로 1매의 절연막을 끼움 지지함으로써, 1매의 플런저(12)를 형성해도 된다. 그리고, 상기 플런저(12)를 절연성 탄성 통상체(11) 내에 삽입해서 프로브 핀(10)을 형성해도 된다.

그리고, 검사 장치의 하우징에 설치한 수납 구멍 내에 삽입해서 수납한다. 이에 의해, 상기 절연성 탄성 통상체(11)를 통해서, 상기 플런저(12)를 상기 수납 구멍 내에서 상기 절연성 탄성 통상체의 중심축을 따라 왕복 이동 가능하게 지지한다. 그리고, 2매의 도전성 플런저편의 상단부로부터 상기 하우징으로부터 돌출되는 한편, 그 하단부에 2개의 리드선을 각각 납땜해 두어도 된다.

상기 본 실시 형태에 따르면, 부품 개수, 조립 공정수가 적은 프로브 핀 및 검사 장치가 얻어진다는 이점이 있다.

이상, 도면을 참조하여 본 발명에서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로 본 발명의 다양한 형태에 대해서 설명한다.

본 발명의 제1 양태의 프로브 핀은,

중심선을 따라 신축하는 절연성 탄성 부재와,

상기 절연성 탄성 부재의 일방측으로부터 상기 중심선을 따라 조립되는 제1 플런저와,

상기 절연성 탄성 부재의 타방측으로부터 상기 중심선을 따라 조립되는 제2 플런저를 구비하고,

상기 제1 플런저가, 절연체로 서로 절연된 적어도 2매의 도전체를 포함하는 단면 구조를 갖는 한편,

상기 제2 플런저가, 상기 제1 플런저와 동일 단면 구조를 갖고,

상기 제1 플런저와 상기 제2 플런저로 상기 절연성 탄성 부재를 압축했을 때, 상기 제1 플런저의 복수의 도전체가, 상기 제2 플런저의 복수의 도전체에 각각 개별적으로 미끄럼 접촉한다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제1 양태의 프로브 핀은,

중심선을 따라 신축하는 절연성 탄성 부재와,

상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저 각각이,

갖고,

상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저가, 상기 절연성 탄성 부재에 대하여 직렬적으로 배치되고, 또한 상기 중심선을 따라 상대적으로 이동 가능하게 연결되어, 상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체와 상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체와의 사이에 제1 도통 경로가 설치되고, 상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체와 상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체와의 사이에 상기 제1 도통 경로에 대하여 전기적으로 독립된 제2 도통 경로가 설치되어 있다.

제1 양태의 프로브 핀에 의하면, 제1 플런저를 구성하는 복수의 도전체와, 제2 플런저를 구성하는 복수의 도전체가, 각각 개별적으로 미끄럼 접촉한다. 이 때문에, 예를 들어 협소 피치로 4 단자 접속(켈빈 접속)할 수 있다. 그 결과, 전기 특성을 고정밀도로 측정할 수 있는 소형의 프로브 핀이 얻어진다. 즉, 제1 플런저의 제1 도전체와 제2 플런저의 제1 도전체와의 사이에 제1 도통 경로가 설치되고, 제1 플런저의 제2 도전체와 제2 플런저의 제2 도전체와의 사이에 제1 도통 경로에 대하여 전기적으로 독립된 제2 도통 경로가 설치되어 있다. 이 때문에, 예를 들어 개별의 인접하는 2개의 프로브 핀을 반도체 집적 회로의 접속용 전극에 접촉시키는 경우에 비해, 보다 소형화된 접속용 전극에 대하여 4 단자 접속(켈빈 접속)을 구성할 수 있다. 그 결과, 소형화된 반도체 집적 회로의 전기 특성을 고정밀도로 측정할 수 있는 소형의 프로브 핀을 실현할 수 있다.

본 발명의 제2 양태의 프로브 핀은,

중심선을 따라 신축하는 절연성 탄성 부재인 절연성 탄성 통상체와,

상기 절연성 탄성 통상체의 일단부측으로부터 상기 중심선을 따라 삽입되는 상기 제1 플런저와,

상기 절연성 탄성 통상체의 타단부측으로부터 상기 중심선을 따라 삽입되는 상기 제2 플런저를 구비하고,

상기 제1 플런저와 상기 제2 플런저로 상기 절연성 탄성 통상체를 압축했을 때, 상기 제1 플런저의 복수의 도전체가, 상기 제2 플런저의 복수의 도전체에 각각 개별적으로 미끄럼 접촉한다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제2 양태의 프로브 핀은,

상기 절연성 탄성 부재가, 절연성 탄성 통상체이며,

상기 절연성 탄성 통상체의 내부 공간에, 상기 제1 플런저의 적어도 일부 및 상기 제2 플런저의 적어도 일부가 배치되어 있다.

제2 양태의 프로브 핀에 의하면, 절연성 탄성 통상체 내에서, 제1 플런저를 구성하는 복수의 도전체와, 제2 플런저를 구성하는 복수의 도전체가, 각각 개별적으로 미끄럼 접촉한다. 이 때문에, 예를 들어 협소 피치로 4 단자 접속(켈빈 접속)할 수 있다. 그 결과, 전기 특성을 고정밀도로 측정할 수 있는 소형의 프로브 핀이 얻어진다.

본 발명의 제3 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저가,

상기 절연성 탄성 통상체의 내부에 삽입되는 제1 플런저 본체와,

상기 제1 플런저 본체에 연속하고, 또한 상기 중심선을 따라 왕복 이동 가능한 적어도 하나의 제1 접점부가 설치된 제1 단자부와,

상기 제1 플런저 본체와 상기 제1 단자부와의 경계 부분으로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 상기 절연성 탄성 통상체의 일단부측의 개구 에지부를 유지하는 제1 유지부를 갖는 한편,

상기 제2 플런저가,

상기 절연성 탄성 통상체의 내부에 삽입되는 제2 플런저 본체와,

상기 제2 플런저 본체에 연속하고, 또한 상기 중심선을 따라 왕복 이동 가능한 적어도 하나의 제2 접점부가 설치된 제2 단자부와,

상기 제2 플런저 본체와 상기 제2 단자부와의 경계 부분으로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 상기 절연성 탄성 통상체의 타단부측의 개구 에지부를 유지하는 제2 유지부를 갖는다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제3 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체가,

상기 절연성 탄성 통상체의 일단부로부터 상기 중심선을 따라 상기 절연성 탄성 통상체의 내부에 연장된 제1 플런저편 본체와,

상기 절연성 탄성 통상체의 외부에 위치하고 있음과 함께, 상기 제1 플런저편 본체의 연장 방향의 일단부에 연속하고, 또한 상기 중심선을 따라 왕복 이동 가능한 제1 접점부가 설치된 제1 플런저편 단자부와,

상기 제1 플런저편 본체와 상기 제1 플런저편 단자부와의 경계 부분으로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 상기 절연성 탄성 통상체의 상기 일단부에 접촉하는 제1 플런저편 유지부를

갖고,

상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체가,

상기 절연성 탄성 통상체의 일단부로부터 상기 중심선을 따라 상기 절연성 탄성 통상체의 내부에 연장된 제2 플런저편 본체와,

상기 절연성 탄성 통상체의 외부에 위치하고 있음과 함께, 상기 제2 플런저편 본체의 연장 방향의 일단부에 연속하고, 또한 상기 중심선을 따라 왕복 이동 가능한 제2 접점부가 설치된 제2 플런저편 단자부와,

상기 제2 플런저편 본체와 상기 제2 플런저편 단자부와의 경계 부분으로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 상기 절연성 탄성 통상체의 상기 일단부에 접촉하는 제2 플런저편 유지부를

갖는 한편,

상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체가,

상기 절연성 탄성 통상체의 타단부로부터 상기 중심선을 따라 상기 절연성 탄성 통상체의 내부에 연장된 제3 플런저편 본체와,

상기 절연성 탄성 통상체의 외부에 위치하고 있음과 함께, 상기 제3 플런저편 본체의 연장 방향의 일단부에 연속하고, 또한 상기 중심선을 따라 왕복 이동 가능한 제3 접점부가 설치된 제3 플런저편 단자부와,

상기 제3 플런저편 본체와 상기 제3 플런저편 단자부와의 경계 부분으로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 상기 절연성 탄성 통상체의 상기 타단부에 접촉하는 제3 플런저편 유지부를

갖고,

상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체가,

상기 절연성 탄성 통상체의 타단부로부터 상기 중심선을 따라 상기 절연성 탄성 통상체의 내부에 연장된 제4 플런저편 본체와,

상기 절연성 탄성 통상체의 외부에 위치하고 있음과 함께, 상기 제4 플런저편 본체의 연장 방향의 일단부에 연속하고, 또한 상기 중심선을 따라 왕복 이동 가능한 제4 접점부가 설치된 제4 플런저편 단자부와,

상기 제4 플런저편 본체와 상기 제4 플런저편 단자부와의 경계 부분으로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 상기 절연성 탄성 통상체의 상기 타단부에 접촉하는 제4 플런저편 유지부를 갖는다.

제3 양태의 프로브 핀에 의하면, 제1 유지부와 제2 유지부가 절연성 탄성 통상체를 압축시킨다. 그리고, 상기 절연성 탄성 통상체 내에서, 제1 플런저 본체를 구성하는 복수의 도전체와, 제2 플런저 본체를 구성하는 복수의 도전체가, 각각 개별적으로 미끄럼 접촉한다. 이 때문에, 예를 들어 협소 피치로 4 단자 접속(켈빈 접속)할 수 있다. 그 결과, 전기 특성을 고정밀도로 측정할 수 있는 소형의 프로브 핀이 얻어진다.

본 발명의 제4 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 단자부에 설치한 복수의 상기 제1 접점부가, 지그재그 형상으로 배치되어 있다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제4 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저에 있어서, 상기 제1 도전체의 상기 제1 접점부와 상기 제2 도전체의 상기 제2 접점부가, 상기 중심선에 직교하고, 또한 상기 제1 도전체 및 상기 제2 도전체의 배열 방향에 직교하는 방향의 위치를 어긋나게 한 지그재그 형상으로 배치되어 있다.

또한, 본 발명의 제5 양태의 프로브 핀은,

상기 제2 단자부에 설치한 복수의 상기 제2 접점부가, 지그재그 형상으로 배치되어 있다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제5 양태의 프로브 핀은,

상기 제2 플런저에 있어서, 상기 제1 도전체의 상기 제3 접점부와 상기 제2 도전체의 상기 제4 접점부가, 상기 중심선에 직교하고, 또한 상기 제1 도전체 및 상기 제2 도전체의 배열 방향에 직교하는 방향의 위치를 어긋나게 한 지그재그 형상으로 배치되어 있다.

제4 형태 및 제5 양태의 프로브 핀에 의하면, 제1 접점부 또는 제2 접점부를 지그재그 형상으로 배치하고 있으므로, 이들에 대응하는 접속 패드도 지그재그 형상으로 배치할 수 있다. 이 때문에, 접속 패드 상호의 절연성을 확보하면서, 접속 패드의 집적 밀도를 높일 수 있다.

본 발명의 제6 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저의 상기 제1 플런저 본체의 자유 단부 및 상기 제2 플런저의 상기 제2 플런저 본체의 자유 단부 중 적어도 어느 한쪽에, 대향하는 플런저 본체에 미끄럼 접촉하는 걸림 결합부를 설치하였다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제6 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체가, 상기 제1 플런저편 본체의 연장 방향의 타단부로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 돌출된 제1 플런저편 걸림 결합부를 갖고,

상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체가, 상기 제2 플런저편 본체의 연장 방향의 타단부로부터 상기 중심선에 교차하고, 또한 상기 제1 플런저편 걸림 결합부와 동일한 방향으로 돌출된 제2 플런저편 걸림 결합부를 갖고,

상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체가, 상기 제3 플런저편 본체의 연장 방향의 타단부로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 돌출된 제3 플런저편 걸림 결합부를 갖고,

상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체가, 상기 제4 플런저편 본체의 연장 방향의 타단부로부터 상기 중심선에 교차하고, 또한 상기 제3 플런저편 걸림 결합부와 동일한 방향으로 돌출된 제4 플런저편 걸림 결합부를 갖고,

상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제1 플런저편 걸림 결합부와 상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제3 플런저편 걸림 결합부가 서로 걸림 결합 가능하게 대향하고, 상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제2 플런저편 걸림 결합부와 상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제4 플런저편 걸림 결합부가 서로 걸림 결합 가능하게 대향함과 함께,

상기 제1 플런저와 상기 제2 플런저가 상대적으로 이동할 때, 상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제1 플런저편 걸림 결합부가 상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제3 플런저편 본체에 접촉하고, 상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체의 제2 플런저편 걸림 결합부가 상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제4 플런저편 본체에 접촉하고, 상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제3 플런저편 걸림 결합부가 상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제1 플런저편 본체에 접촉하고, 상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제4 플런저편 걸림 결합부가 상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제2 플런저편 본체에 접촉한다.

제6 양태의 프로브 핀에 의하면, 제1 플런저와 제2 플런저를 보다 확실하게 연결하여, 전기 특성을 보다 확실하게 고정밀도로 측정할 수 있는 소형의 프로브 핀을 실현할 수 있다.

본 발명의 제7 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 단자부 및 상기 제2 단자부의 어느 한쪽에, 외부의 리드선에 접속 가능한 감기용 핀을 설치하였다.

바꾸어 말하면, 제7 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제1 플런저편 단자부, 상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제2 플런저편 단자부, 상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제3 플런저편 단자부, 및 상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제4 플런저편 단자부 중 어느 것에, 리드선을 접속 가능한 감기용 핀이 설치되어 있다.

제7 양태의 프로브 핀에 의하면, 접속 방법의 선택 범위가 넓어지므로, 범용성의 프로브 핀이 얻어진다.

본 발명의 제8 양태의 프로브 핀은,

3매 이상의 도전체의 사이에, 적어도 1매의 절연체를 적층한 구조를 갖는다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제8 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저 각각이,

판상을 갖고, 그 두께 방향에 있어서, 상기 제1 도전체 및 상기 제2 도전체와 병렬로 배치된 제3 도전체를 적어도 갖고,

적어도 1조의 인접하는 상기 도전체의 사이에, 상기 절연체가 배치되어 있다.

제8 양태의 프로브 핀에 의하면, 도전체의 매수를 적절히 선택함으로써, 원하는 전기 저항을 간단하게 선택할 수 있는 프로브 핀이 얻어진다.

본 발명의 제9 양태의 프로브 핀은,

복수매의 도전체의 도전율을 상이하게 하였다.

바꾸어 말하면, 제9 양태의 프로브 핀은,

상기 복수매의 도전체가, 각각 상이한 도전율을 갖는다.

또한, 본 발명의 제10 양태의 프로브 핀은,

복수매의 도전체의 두께 치수를 상이하게 하였다.

바꾸어 말하면, 제10 양태의 프로브 핀은,

상기 복수매의 도전체가, 각각 상이한 두께 치수를 갖는다.

제9 형태 및 제10 양태의 프로브 핀에 의하면, 용도에 따라서 전기 저항을 선택할 수 있는 프로브 핀이 얻어진다.

본 발명의 제11 양태의 프로브 핀은,

상기 절연성 탄성 부재가, 표면을 절연막으로 피복한 금속제의 코일 스프링이다.

또한, 본 발명의 제12 양태의 프로브 핀은,

상기 절연성 탄성 부재가, 합성 수지제의 코일 스프링이다.

그리고, 본 발명의 제13 양태의 프로브 핀은,

상기 절연성 탄성 부재가, 고무제의 통상체이다.

제10 형태 내지 제13 양태의 프로브 핀에 의하면, 원하는 프로브 핀을 제조하기 쉬워진다.

본 발명의 제14 양태의 프로브 핀은,

절연성 탄성 통상체 내에 내장된 상기 제1 플런저와 상기 제2 플런저에서, 위치 어긋남을 방지하는 위치 규제 수단을 설치해도 된다.

바꾸어 말하면, 제14 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저가 연결된 상태에서, 상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저의 상기 두께 방향의 상대적인 이동을 규제하는 위치 규제부를 더 구비하는, 청구항 1 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 기재된 프로브 핀.

제14 양태의 프로브 핀에 의하면, 제1 플런저와 제2 플런저와의 두께 방향에 있어서의 위치 어긋남이 발생하기 어려워지므로, 접촉 신뢰성이 높은 프로브 핀이 얻어진다.

본 발명의 제15 형태의 검사 장치는, 상술한 형태에 기재된 프로브 핀을 구비하였다.

제15 양태의 검사 장치에 의하면, 상술한 양태의 프로브 핀에 의해, 제1 플런저를 구성하는 복수의 도전체와, 제2 플런저를 구성하는 복수의 도전체가, 각각 개별적으로 미끄럼 접촉한다. 이 때문에, 예를 들어 각 도전체의 도전율 또는 두께 치수를 상이하게 함으로써 협소 피치로 4 단자 접속(켈빈 접속)을 할 수 있다. 그 결과, 전기 특성을 고정밀도로 측정할 수 있는 소형의 검사 장치가 얻어진다는 효과가 있다.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예와의 조합이 가능함과 함께, 서로 다른 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 발명은 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시 형태에 관련해서 충분히 기재되어 있지만, 이 기술이 숙련된 사람들에게 있어서는 다양한 변형이나 수정이 명백하다. 그러한 변형이나 수정은, 첨부한 청구범위에 의한 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한, 그 안에 포함된다고 이해되어야 한다.

[산업상 이용 가능성]

본 실시 형태에 따른 프로브 핀 및 검사 장치는, 상술한 실시 형태에 한하지 않고, 상술한 실시 형태를 적절히 조합해서 형성해도 되는 것은 물론이다.

10 : 프로브 핀
11 : 절연성 탄성 통상체(절연성 탄성 부재의 일례)
12 : 플런저 13 : 절연성 탄성 부재
20 : 제1 플런저 21 : 제1 플런저 본체
22 : 제1 단자부 23 : 제1 유지부
24 : 제1 걸림 결합부 25a, 25b : 제1 접점부, 제2 접점부
25c, 25d : 제1 접점부, 제2 접점부
27 : 플런저편 끼워 맞춤 오목부
30 : 도전성 플런저편(제1 도전체의 일례)
31 : 제1 플런저편 본체, 제2 플런저편 본체
32 : 제1 플런저편 단자부, 제2 플런저편 단자부
33 : 제1 플런저편 유지부, 제2 플런저편 유지부
34 : 제1 플런저편 걸림 결합부, 제2 플런저편 걸림 결합부
35 : 도전성 플런저편(제2 도전체의 일례)
36 : 도전성 플런저편(제3 도전체의 일례)
37 : 플런저편 끼워 맞춤 오목부
38 : 절연성 플런저편(절연체의 일례)
39 : 탄성 아암부 40 : 제2 플런저
41 : 제2 플런저 본체 42 : 제2 단자부
43 : 제2 유지부 44 : 제2 걸림 결합부
45a, 45b : 제3 접점부, 제4 접점부
45c, 45d : 감기용 핀 45e, 45f : 제3 접점부, 제4 접점부
47 : 플런저편 끼워 맞춤 오목부
50 : 도전성 플런저편(제1 도전체의 일례)
51 : 제3 플런저편 본체, 제4 플런저편 본체
52 : 제3 플런저편 단자부, 제4 플런저편 단자부
53 : 제3 플런저편 유지부, 제4 플런저편 유지부
54 : 제3 플런저편 걸림 결합부, 제4 플런저편 걸림 결합부
55 : 도전성 플런저편(제2 도전체의 일례)
56 : 도전성 플런저편(제3 도전체의 일례)
57 : 플런저편 끼워 맞춤 오목부
58 : 절연성 플런저편(절연체의 일례)
60 : 검사 장치 61 : 상자형 베이스
62 : 커버 63 : 수납 구멍
64 : 단자 구멍 65 : 단자 구멍
70 : 프린트 기판 71 : 접속 패드
72 : 접속 패드 75 : 반도체 집적 회로
76 : 접속 패드

Claims

중심선을 따라 신축하는 절연성 탄성 부재와,
상기 절연성 탄성 부재의 상기 중심선을 따른 일방측에 배치된 제1 플런저와,
상기 절연성 탄성 부재의 상기 중심선을 따른 타방측에 배치된 제2 플런저를 구비하고,
상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저 각각이,
판상을 갖고, 그 두께 방향으로 병렬로 배치된 제1 도전체 및 제2 도전체와,
상기 제1 도전체 및 상기 제2 도전체의 사이에 배치되어, 상기 제1 도전체 및 상기 제2 도전체를 절연시키는 절연체를
갖고,
상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저가, 상기 절연성 탄성 부재에 대하여 직렬적으로 배치되고, 또한 상기 중심선을 따라 상대적으로 이동 가능하게 연결되어, 상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체와 상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체와의 사이에 제1 도통 경로가 설치되고, 상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체와 상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체와의 사이에 상기 제1 도통 경로에 대하여 전기적으로 독립된 제2 도통 경로가 설치되어 있고,
상기 절연성 탄성 부재가, 상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저에 의해 빠짐 방지되어 있는 동시에,
상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저 각각이,
판상을 갖고, 그 두께 방향에 있어서, 상기 제1 도전체 및 상기 제2 도전체와 병렬로 배치된 제3 도전체를 적어도 갖고,
적어도 1조의 인접하는 도전체의 사이에, 상기 절연체가 배치되어 있는, 프로브 핀.
제1항에 있어서,
상기 절연성 탄성 부재가, 절연성 탄성 통상체이며,
상기 절연성 탄성 통상체의 내부 공간에, 상기 제1 플런저의 적어도 일부 및 상기 제2 플런저의 적어도 일부가 배치되어 있는, 프로브 핀.
제2항에 있어서,
상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체가,
상기 절연성 탄성 통상체의 일단부로부터 상기 중심선을 따라 상기 절연성 탄성 통상체의 내부에 연장된 제1 플런저편 본체와,
상기 절연성 탄성 통상체의 외부에 위치하고 있음과 함께, 상기 제1 플런저편 본체의 연장 방향의 일단부에 연속하고, 또한 상기 중심선을 따라 왕복 이동 가능한 제1 접점부가 설치된 제1 플런저편 단자부와,
상기 제1 플런저편 본체와 상기 제1 플런저편 단자부와의 경계 부분으로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 상기 절연성 탄성 통상체의 상기 일단부에 접촉하는 제1 플런저편 유지부를
갖고,
상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체가,
상기 절연성 탄성 통상체의 일단부로부터 상기 중심선을 따라 상기 절연성 탄성 통상체의 내부에 연장된 제2 플런저편 본체와,
상기 절연성 탄성 통상체의 외부에 위치하고 있음과 함께, 상기 제2 플런저편 본체의 연장 방향의 일단부에 연속하고, 또한 상기 중심선을 따라 왕복 이동 가능한 제2 접점부가 설치된 제2 플런저편 단자부와,
상기 제2 플런저편 본체와 상기 제2 플런저편 단자부와의 경계 부분으로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 상기 절연성 탄성 통상체의 상기 일단부에 접촉하는 제2 플런저편 유지부를
갖는 한편,
상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체가,
상기 절연성 탄성 통상체의 타단부로부터 상기 중심선을 따라 상기 절연성 탄성 통상체의 내부에 연장된 제3 플런저편 본체와,
상기 절연성 탄성 통상체의 외부에 위치하고 있음과 함께, 상기 제3 플런저편 본체의 연장 방향의 일단부에 연속하고, 또한 상기 중심선을 따라 왕복 이동 가능한 제3 접점부가 설치된 제3 플런저편 단자부와,
상기 제3 플런저편 본체와 상기 제3 플런저편 단자부와의 경계 부분으로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 상기 절연성 탄성 통상체의 상기 타단부에 접촉하는 제3 플런저편 유지부를
갖고,
상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체가,
상기 절연성 탄성 통상체의 타단부로부터 상기 중심선을 따라 상기 절연성 탄성 통상체의 내부에 연장된 제4 플런저편 본체와,
상기 절연성 탄성 통상체의 외부에 위치하고 있음과 함께, 상기 제4 플런저편 본체의 연장 방향의 일단부에 연속하고, 또한 상기 중심선을 따라 왕복 이동 가능한 제4 접점부가 설치된 제4 플런저편 단자부와,
상기 제4 플런저편 본체와 상기 제4 플런저편 단자부와의 경계 부분으로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 연장되고, 또한 상기 절연성 탄성 통상체의 상기 타단부에 접촉하는 제4 플런저편 유지부를 갖는, 프로브 핀.
제3항에 있어서,
상기 제1 플런저에 있어서, 상기 제1 도전체의 상기 제1 접점부와 상기 제2 도전체의 상기 제2 접점부가, 상기 중심선에 직교하고, 또한 상기 제1 도전체 및 상기 제2 도전체의 배열 방향에 직교하는 방향의 위치를 어긋나게 한 지그재그 형상으로 배치되어 있는, 프로브 핀.
제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 제2 플런저에 있어서, 상기 제1 도전체의 상기 제3 접점부와 상기 제2 도전체의 상기 제4 접점부가, 상기 중심선에 직교하고, 또한 상기 제1 도전체 및 상기 제2 도전체의 배열 방향에 직교하는 방향의 위치를 어긋나게 한 지그재그 형상으로 배치되어 있는, 프로브 핀.
제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체가, 상기 제1 플런저편 본체의 연장 방향의 타단부로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 돌출된 제1 플런저편 걸림 결합부를 갖고,
상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체가, 상기 제2 플런저편 본체의 연장 방향의 타단부로부터 상기 중심선에 교차하고, 또한 상기 제1 플런저편 걸림 결합부와 동일한 방향으로 돌출된 제2 플런저편 걸림 결합부를 갖고,
상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체가, 상기 제3 플런저편 본체의 연장 방향의 타단부로부터 상기 중심선에 교차하는 방향으로 돌출된 제3 플런저편 걸림 결합부를 갖고,
상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체가, 상기 제4 플런저편 본체의 연장 방향의 타단부로부터 상기 중심선에 교차하고, 또한 상기 제3 플런저편 걸림 결합부와 동일한 방향으로 돌출된 제4 플런저편 걸림 결합부를 갖고,
상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제1 플런저편 걸림 결합부와 상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제3 플런저편 걸림 결합부가 서로 걸림 결합 가능하게 대향하고, 상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제2 플런저편 걸림 결합부와 상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제4 플런저편 걸림 결합부가 서로 걸림 결합 가능하게 대향함과 함께,
상기 제1 플런저와 상기 제2 플런저가 상대적으로 이동할 때, 상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제1 플런저편 걸림 결합부가 상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제3 플런저편 본체에 접촉하고, 상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체의 제2 플런저편 걸림 결합부가 상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제4 플런저편 본체에 접촉하고, 상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제3 플런저편 걸림 결합부가 상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제1 플런저편 본체에 접촉하고, 상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제4 플런저편 걸림 결합부가 상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제2 플런저편 본체에 접촉하는, 프로브 핀.
제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 제1 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제1 플런저편 단자부, 상기 제1 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제2 플런저편 단자부, 상기 제2 플런저의 상기 제1 도전체의 상기 제3 플런저편 단자부, 및 상기 제2 플런저의 상기 제2 도전체의 상기 제4 플런저편 단자부 중 어느 것에, 리드선을 접속 가능한 감기용 핀이 설치되어 있는, 프로브 핀.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수매의 도전체가, 각각 상이한 도전율을 갖는, 프로브 핀.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수매의 도전체가, 각각 상이한 두께 치수를 갖는, 프로브 핀.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절연성 탄성 부재가, 표면을 절연막으로 피복한 금속제의 코일 스프링인, 프로브 핀.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절연성 탄성 부재가, 합성 수지제의 코일 스프링인, 프로브 핀.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절연성 탄성 부재가, 고무제의 통상체인, 프로브 핀.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저가 연결된 상태에서, 상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저의 상기 두께 방향의 상대적인 이동을 규제하는 위치 규제부를 더 구비하는, 프로브 핀.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 프로브 핀을 구비한 검사 장치.
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