KR20210062046A - 프로브 핀 및 검사 지그 - Google Patents

프로브 핀 및 검사 지그 Download PDF

Info

Publication number
KR20210062046A
KR20210062046A KR1020217011321A KR20217011321A KR20210062046A KR 20210062046 A KR20210062046 A KR 20210062046A KR 1020217011321 A KR1020217011321 A KR 1020217011321A KR 20217011321 A KR20217011321 A KR 20217011321A KR 20210062046 A KR20210062046 A KR 20210062046A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
probe pin
elastic
probe
inspection jig
conductor
Prior art date
Application number
KR1020217011321A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102600799B1 (ko
Inventor
나오야 사사노
히로타다 데라니시
다카히로 사카이
Original Assignee
오므론 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 오므론 가부시키가이샤 filed Critical 오므론 가부시키가이샤
Publication of KR20210062046A publication Critical patent/KR20210062046A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102600799B1 publication Critical patent/KR102600799B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733—Geometry aspects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/02—Contact members
    • H01R13/22—Contacts for co-operating by abutting
    • H01R13/24—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

프로브 핀이, 제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와, 탄성부의 제1 방향의 일단에 마련되고, 전선의 도체부를 접속 가능한 접속부를 구비한다.

Description

프로브 핀 및 검사 지그
본 개시는, 프로브 핀 및 검사 지그에 관한 것이다.
전자 부품 모듈에서는, 일반적으로, 그 제조 공정에 있어서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는, 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판에 접속하기 위한 단자와, 검사 장치의 단자를 접속함으로써 행해진다.
이와 같은 프로브 핀으로서는, 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재해서 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다. 상기 프로브 핀에서는, 한 쌍의 콘택트를 연결한 배열 방향을 따라서 사행부가 신축하고, 각 콘택트가 이 배열 방향을 따라서 왕복 이동하도록 구성되어 있다.
일본 특허 공개 제2002-134202호 공보
그런데, 근년의 검사 장치 및 검사 대상물의 다양화에 수반하여, 검사 장치 및 검사 대상물 중에는, 전선의 도체부를 통해 프로브 핀에 접속하도록 구성된 것이 있다.
상기 프로브 핀은, 각 콘택트가 전자기 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 배열 방향에서 접촉함으로써, 전자기 부품과 피접속 전자 부품이 접속되도록 구성되어 있다. 이 때문에, 예를 들어 전자기 부품 및 피접속 전자 부품의 한쪽 또는 양쪽이, 전선의 도체부를 통하지 않으면 프로브 핀에 접속할 수 없도록 구성되어 있는 경우, 상기 프로브 핀을 사용하면, 전자기 부품과 피접속 전자 부품을 접속할 수 없는 경우가 있다.
본 개시는, 전선의 도체부를 접속 가능한 프로브 핀, 및 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 개시의 일례의 프로브 핀은,
제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 마련되고, 전선의 도체부를 접속 가능한 접속부를
구비한다.
또한, 본 개시의 일례의 검사 지그는,
상기 프로브 핀과,
상기 접속부가 외부에 노출되도록 상기 프로브 핀이 수용된 수용부를 갖는 하우징을
구비한다.
상기 프로브 핀에 의하면, 제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와, 이 탄성부의 제1 방향의 일단에 마련되어 전선의 도체부를 접속 가능한 접속부를 구비하고 있다. 이 접속부에 의해, 전선의 도체부를 접속 가능한 프로브 핀을 실현할 수 있다.
상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 한쪽 또는 양쪽이, 전선의 도체부를 통하지 않으면 접속할 수 없도록 구성되어 있었다고 해도, 검사 장치 및 검사 대상물을 접속 가능한 검사 지그를 실현할 수 있다.
도 1은 본 개시의 제1 실시 형태의 검사 지그를 나타내는 사시도.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따른 단면도.
도 3은 본 개시의 제1 실시 형태의 프로브 핀을 나타내는 사시도.
도 4는 도 3의 프로브 핀의 평면도.
도 5는 도 1의 검사 지그의 제1 변형예를 나타내는 평면도.
도 6은 도 1의 검사 지그의 제2 변형예를 나타내는 평면도.
도 7은 본 개시의 제2 실시 형태의 검사 지그를 나타내는 사시도.
도 8은 도 7의 Ⅶ-Ⅶ선을 따른 단면도.
도 9는 본 개시의 제2 실시 형태의 프로브 핀을 나타내는 사시도.
도 10은 도 9의 프로브 핀의 평면도.
이하, 본 개시의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라서 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「우」, 「좌」를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 개시의 이해를 용이하게 하기 위한 것이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 개시의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 불과하며, 본 개시, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과는 반드시 합치하지는 않는다.
(제1 실시 형태)
본 개시의 제1 실시 형태 프로브 핀(10)은, 예를 들어 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 하우징(100)에 수용된 상태에서 사용되고, 하우징(100)과 함께 검사 지그(1)를 구성한다. 이 검사 지그(1)에는, 일례로서, 가늘고 긴 박판형의 도전성의 프로브 핀(10)이 복수 수용되어 있다.
하우징(100)은, 도 1에 도시한 바와 같이, 일례로서, 대략 사각 기둥형을 갖고 있다. 이 하우징(100)의 내부에는, 도 2에 도시한 바와 같이, 후술하는 프로브 핀(10)의 접속부(30)가 하우징(100)의 외부에 노출된 상태에서 프로브 핀(10)을 수용 가능한 수용부(110)가 마련되어 있다. 각 수용부(110)는, 제1 방향(예를 들어, Y 방향)을 따라 연장되어 있음과 함께, 수용된 프로브 핀(10)의 판 두께 방향(예를 들어, X 방향)으로 간격을 두고 나열되어 배치되어 있다. 제1 실시 형태에서는, 수용된 프로브 핀(10)의 판 두께 방향으로 나열되어 배치된 4개의 수용부(110)로 구성된 열이, 4개의 수용부(110)의 열 배열 방향으로 직교하는 방향(예를 들어, Z 방향)으로 간격을 두고 2개 마련되어 있다.
각 수용부(110)의 제1 방향의 양단부에는, 각각 제1 개구부(111) 및 제2 개구부(112)가 마련되어 있다. 제1 개구부(111)는, 하우징(100)의 Y 방향에 상대하는 한 쌍의 면의 한쪽인 제1 면(101)으로 개구되어 있다. 이 제1 개구부(111)를 통해 프로브 핀(10)의 접속부(30)가 하우징(100)의 외부에 노출되어 있다.
또한, 하우징(100)의 내부에는, Y 방향에 있어서의 제1 면(101)의 반대측의 제2 면(102)으로부터 Y 방향을 따라서 연장되는 단자 구멍(120)이 마련되어 있다. 이 단자 구멍(120)의 저면(121)에는, 제2 개구부(112)가 개구되어 있다. 이 제2 개구부(112)를 통해 후술하는 프로브 핀(10)의 접촉부(40)가, 단자 구멍(120)의 내부를 향해 돌출되어, 예를 들어 단자 구멍(120)에 삽입된 검사 장치의 접속 단자(300)(도 4 참조)에 접촉 가능하게 배치되어 있다.
각 프로브 핀(10)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 판 형상이며, Y 방향(제1 방향의 일례)을 따라 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와, 이 탄성부(20)의 Y 방향의 양단에 각각 마련된 접속부(30) 및 접촉부(40)를 구비하고 있다. 각 프로브 핀은, 예를 들어 전주법으로 형성되고, 탄성부(20), 접속부(30) 및 접촉부(40)가, Y 방향을 따라서 직렬식으로 배치되고 또한 일체로 구성되어 있다.
탄성부(20)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 서로 간극을 두고 배치된 복수의 탄성편(제1 실시 형태에서는, 4개의 탄성편)(21, 22, 23, 24)을 갖고 있다. 각 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 도 4에 도시한 바와 같이, 가늘고 긴 띠 형상이며, 접속부(30) 및 접촉부(40)에 각각 접속된 2개의 연장부(201, 202)와, 2개의 연장부(201, 202)에 접속된 1개의 만곡부(203)를 갖고 있다. 각 연장부(201, 202)는, 일례로서, 접속부(30)의 본체부(31) 또는 접촉부(40)의 본체부(41)의 폭 방향(예를 들어, Z 방향)의 일방측에 배치되고, 제1 방향에 교차하는 방향을 따라서 대략 직선형으로 연장되어 있다. 또한, 연장부(201)의 그 연장 방향의 일단부가, 탄성부(20)의 접속부(30)측의 단부를 구성하고, 연장부(202)의 그 연장 방향의 일단부가, 탄성부의 접촉부(40)측의 단부를 구성하고 있다. 각 탄성편(21, 22, 23, 24)은, 일례로서, 대략 동일한 단면 형상을 갖고 있다.
접속부(30)는, 도 4에 도시한 바와 같이, 전선의 도체부(200)를 접속 가능하게 구성되어 있다. 상세하게는, 접속부(30)는, Y 방향으로 연장되는 본체부(31)와, 이 본체부(31)의 Y 방향의 타단으로부터 제1 방향(예를 들어, Y 방향)을 따라 연장되어 서로 이격되는 방향(예를 들어, Z 방향)으로 탄성 변형 가능한 한 쌍의 탄성 끼움 지지편(32, 33)을 갖고 있다. 본체부(31)는, Y 방향의 일단이 탄성부(20)에 접속되어 있다. 각 탄성 끼움 지지편(32, 33)은, 제1 방향에 직교하는 제2 방향(예를 들어, Z 방향)으로 서로 간극(34)을 두고 배치되어 있다. 이 간극(34)에 전선의 도체부(200)를 삽입함으로써, 전선의 도체부(200)가 각 탄성 끼움 지지편(32, 33)에 의해 끼움 지지된다. 바꾸어 말하면, 접속부(30)는, 전선의 도체부(200)를 끼움 지지 가능한 한 쌍의 탄성 끼움 지지편(32, 33)을 갖고 있다.
또한, 접속부(30)는, 접속부(30)를 그 판 두께 방향으로 관통하는 대략 C자형의 관통 구멍(36)을 갖고 있다. 간극(34)의 본체부(31)측의 단부(341)는, 판 두께 방향(예를 들어, X 방향)에서 보아, 대략 원 형상을 갖고 있다. 이 간극(34)의 본체부(31)측의 단부(341) 둘레에, 관통 구멍(36)이 배치되어 있다. 이 관통 구멍(36)에 의해, 각 탄성 끼움 지지편(32, 33)의 Z 방향에 있어서의 탄성 변형을 용이하게 하고 있다.
접촉부(40)는, 도 4에 도시한 바와 같이, Y 방향으로 연장됨과 함께 Y 방향의 일단이 탄성부(20)에 접속된 본체부(41)와, 이 본체부(41)의 Y 방향의 타단으로부터 Y 방향으로 연장되어 서로 이격되는 방향(예를 들어, Z 방향)으로 휨 가능한 한 쌍의 다리부(42, 43)와, 검사 대상물의 볼록 접점에 접촉 가능하게 한 쌍의 다리부(42, 43)의 선단에 배치된 한 쌍의 접점부(421, 431)를 갖고 있다. 각 다리부(42, 43)의 서로 대향하는 대향면에는, 스토퍼(44)가 각각 마련되어 있다. 각 스토퍼(44)는, 각 다리부(42, 43)의 대향면으로부터 서로 접근하는 방향으로 돌출되어 있다. 이 스토퍼(44)에 의해, 예를 들어 검사 장치의 접속 단자(300)의 과잉 삽입을 방지할 수 있다.
또한, 접속부(30) 및 접촉부(40)에는, 각각 지지부(50)가 마련되어 있다. 각 지지부(50)는, 본체부(31, 41)로부터 Z 방향으로 연장되어 있으며, 도 2에 도시한 바와 같이, 프로브 핀(10)이 하우징(100)의 수용부(110)에 수용되었을 때, 수용부(110)의 내주면에 맞닿도록 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 각 지지부(50)에 의해, 프로브 핀(10)이 수용부(110)에 보유 지지된다.
제1 실시 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, Y 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와, 이 탄성부(20)의 Y 방향의 일단에 마련되어 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 접속부(30)를 구비하고 있다. 이 접속부(30)에 의해, 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.
제1 실시 형태에서는, 접속부(30)는, Y 방향을 따라서 연장됨과 함께, 서로 이격되는 방향으로 탄성 변형되어 전선의 도체부(200)를 끼움 지지 가능한 한 쌍의 탄성 끼움 지지편(32, 33)을 갖고 있다. 한 쌍의 탄성 끼움 지지편(32, 33)에 의해, 전선의 도체부(200)를 끼움 지지할 수 있으므로, 전선의 도체부(200)를 압착에 의해 접속 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.
또한, 검사 지그(1)에 의하면, 프로브 핀(10)에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 한쪽 또는 양쪽이, 전선의 도체부(200)를 통하지 않으면 접속할 수 없도록 구성되어 있었다고 해도, 검사 장치 및 검사 대상물을 접속 가능한 검사 지그(1)를 실현할 수 있다.
또한, 하우징(100)의 각 수용부(110)에 수용되는 프로브 핀(10)은, 1개에 한정되지 않고, 복수여도 된다. 예를 들어, 도 5에 도시한 바와 같이, 각 수용부(110)에는, 복수의 프로브 핀(10)(도 5에서는, 3개의 프로브 핀(10))이 서로 접촉한 상태에서 판 두께 방향으로 적층되고, 1개의 전선의 도체부(200)가 접속되는 프로브 핀 적층체(2)를 수용할 수 있다. 이와 같이, 프로브 핀 적층체(2)를 사용함으로써, 예를 들어 1개의 프로브 핀(10)이 수용 유지된 검사 지그(1)와 비교하여, 큰 전류를 흐르게 할 수 있는 검사 지그(1)를 얻을 수 있다.
또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 각 수용부(110)는, 예를 들어 수용된 프로브 핀(10)의 판 두께 방향(예를 들어, X 방향)으로 간격을 두고 나열되어 배치되어 있음과 함께, Z 방향으로 접속부(30)가 교대로 어긋난 지그재그 형상으로 배치할 수 있다. 이와 같이, 각 수용부(110)는, 수용되는 프로브 핀(10)의 형상 및 크기, 혹은 검사 장치 및 검사 대상물의 접속 단자의 배치 등에 따라 그 형상, 크기 및 배치를 변경할 수 있다.
검사 지그(1)는, 적어도 하나의 프로브 핀(10)과, 이 프로브 핀(10)을 내부에 수용하는 하우징(100)을 구비하고 있으면 된다.
(제2 실시 형태)
본 개시의 제2 실시 형태의 프로브 핀(10)은, 도 7 내지 도 10에 도시한 바와 같이, 접속부(30)가, 납땜에 의해 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 납땜부(35)를 갖도록 구성되어 있는 점에서, 제1 실시 형태와는 다르다. 제2 실시 형태에서는, 제1 실시 형태와 동일 부분에 동일 참조 번호를 부여하여 설명을 생략하고, 제1 실시 형태와 상이한 점에 대하여 설명한다.
도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 제2 실시 형태에서는, 검사 지그(1)는, 제1 방향(예를 들어, Y 방향)을 따른 단면이 대략 L자형의 하우징(100)을 구비하고 있다. 이 하우징(100)에는, 15개의 수용부(110)가 수용된 프로브 핀(10)의 판 두께 방향으로 간격을 두고 일렬로 나열되어 배치되어 있다.
각 프로브 핀(10)의 탄성부(20)는, 도 10에 도시한 바와 같이, 서로 간극을 두고 배치된 복수의 탄성편(이 실시 형태에서는, 2개의 탄성편)(25, 26)으로 구성되어 있다. 각 탄성편(25, 26)은, 도 10에 도시한 바와 같이, 가늘고 긴 띠 형상이며, Z 방향으로 연장되는 복수의 연장부(제2 실시 형태에서는, 일례로서, 10개의 연장부(28))와, 인접하는 연장부(28)에 양단이 접속된 복수의 만곡부(27)(제2 실시 형태에서는, 일례로서, 9개의 만곡부(27))가, Z 방향을 따라서 교대로 접속된 사행 형상을 갖고 있다. 각 탄성편(25, 26)의 Y 방향의 양단의 연장부(28)가, 접속부(30)의 본체부(31) 및 접촉부(40)의 본체부(41)에 각각 접속되어 있다. 각 연장부(28)는, 일례로서, 프로브 핀(10)의 판 두께 방향을 따라 보았을 때, 본체부(41)의 폭 방향의 한쪽단보다도 다른 쪽 단측에 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 각 연장부(28)는, 프로브 핀(10)의 판 두께 방향을 따라 보았을 때, 본체부(41)의 폭 방향에 있어서의 Z 방향의 하측의 단보다도, Z 방향의 상측에 배치되어 있다. 또한, 각 연장부(28)는, 제1 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교하는 방향)을 따라 대략 직선형으로 연장되어 있으며, 연장부(201)의 그 연장 방향의 일단부가, 탄성부(20)의 접속부(30)측의 단부를 구성하고, 연장부(202)의 그 연장 방향의 일단부가, 탄성부의 접촉부(40)측의 단부를 구성하고 있다.
각 프로브 핀(10)의 접속부(30)는, 도 10에 도시한 바와 같이, Y 방향으로 연장됨과 함께 Y 방향의 일단이 탄성부(20)에 접속된 본체부(31)와, 이 본체부(31)의 Y 방향의 타단에 접속된 납땜부(35)를 갖고 있다. 이 납땜부(35)는, 프로브 핀(10)의 판 두께 방향(예를 들어, X 방향)에서 보아, 대략 사각 환 형상을 갖고 있다. 제2 실시 형태에서는, 도 8에 도시한 바와 같이, 각 프로브 핀(10)의 접속부(30)는, 납땜부(35)가, 수용부(110)의 제1 개구부(111)를 통해 하우징(100)의 외부로 돌출되어 있다.
각 프로브 핀(10)의 접촉부(40)는, 도 10에 도시한 바와 같이, Y 방향으로 연장됨과 함께 Y 방향의 일단이 탄성부(20)에 접속된 본체부(41)와, 이 본체부(41)의 Y 방향의 타단으로부터 Y 방향으로 돌출되는 한 쌍의 접점부(421, 431)를 갖고 있다.
제2 실시 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 접속부(30)가, 납땜에 의해 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 납땜부(35)를 갖고 있다. 이 납땜부(35)에 의해, 전선의 도체부(200)를 납땜에 의해 접속 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.
또한, 납땜부(35)는, 제2 실시 형태에 한정되지 않고, 납땜에 의해 전선의 도체부(200)를 접속 가능하면, 임의의 구성을 채용할 수 있다.
접속부(30)는, 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태에 한정되지 않고, 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 다른 구성을 채용할 수도 있다.
이상, 도면을 참조하여 본 개시에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세히 설명하였지만, 마지막으로, 본 개시의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 일례로서, 참조 부호도 붙여 기재한다.
본 개시의 제1 양태의 프로브 핀(10)은,
제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와,
상기 탄성부(20)의 상기 제1 방향의 일단에 마련되고, 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 접속부(30)를
구비한다.
제1 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 접속부(30)에 의해, 전선의 도체부(200)를 접속 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.
본 개시의 제2 양태의 프로브 핀(10)은,
상기 접속부(30)가, 상기 제1 방향을 따라서 연장됨과 함께, 서로 이격되는 방향으로 탄성 변형되어 상기 도체부(200)를 끼움 지지 가능한 한 쌍의 탄성 끼움 지지편(32, 33)을 갖고 있다.
제2 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 한 쌍의 탄성 끼움 지지편(32, 33)에 의해, 전선의 도체부(200)를 끼움 지지 할 수 있으므로, 전선의 도체부(200)를 압착에 의해 접속 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.
본 개시의 제3 양태의 프로브 핀(10)은,
상기 접속부(30)가, 납땜에 의해 상기 도체부(200)를 접속 가능한 납땜부(35)를 갖고 있다.
제3 양태의 프로브 핀(10)에 의하면, 납땜부(35)에 의해, 전선의 도체부(200)를 납땜에 의해 접속 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.
본 개시의 제4 양태의 검사 지그(1)는,
상기 양태의 프로브 핀(10)과,
상기 접속부(30)가 외부에 노출되도록 상기 프로브 핀(10)이 수용된 수용부(110)를 갖는 하우징(100)을
구비한다.
제4 양태의 검사 지그(1)에 의하면, 프로브 핀(10)에 의해, 검사 장치 및 검사 대상물의 한쪽 또는 양쪽이, 전선의 도체부(200)를 통하지 않으면 접속할 수 없도록 구성되어 있었다고 해도, 검사 장치 및 검사 대상물을 접속 가능한 검사 지그(1)를 실현할 수 있다.
본 개시의 제5 양태의 검사 지그(1)는,
상기 프로브 핀(10)이, 복수의 상기 프로브 핀(10)이 서로 접촉한 상태에서 판 두께 방향으로 적층되고, 1개의 상기 전선의 상기 도체부(200)가 접속되는 프로브 핀 적층체(2)이며,
상기 수용부(110)가, 상기 프로브 핀 적층체(2)를 수용 가능하다.
제5 양태의 검사 지그(1)에 의하면, 프로브 핀 적층체(2)에 의해, 예를 들어 1개의 프로브 핀(10)이 수용 유지된 검사 지그(1)와 비교하여, 큰 전류를 흐르게 할 수 있는 검사 지그(1)를 얻을 수 있다.
본 개시의 제6 양태의 검사 지그(1)는,
상기 프로브 핀(10)이, 복수의 상기 프로브 핀(10)이며,
상기 수용부(110)가, 각각에 상기 프로브 핀(10)을 적어도 1개 수용 가능한 복수의 상기 수용부(110)이며,
상기 수용부(110)의 각각이, 수용된 상기 프로브 핀(10)의 판 두께 방향으로 간격을 두고 나열되어 배치되어 있음과 함께, 상기 제1 방향에서 보아, 상기 판 두께 방향으로 교차하는 제2 방향으로 상기 접속부(30)가 교대로 어긋난 지그재그 형상으로 배치되어 있다.
또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각의 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 다른 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.
본 개시는, 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시 형태에 관련하여 충분히 기재되어 있지만, 이 기술의 숙련자들에게 있어서는 다양한 변형이나 수정은 명백하다. 그와 같은 변형이나 수정은, 첨부한 청구범위에 의한 본 개시의 범위로부터 벗어나지 않는 한, 그 안에 포함된다고 이해되어야 한다.
본 개시의 프로브 핀은, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, 혹은 QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.
본 개시의 검사 지그는, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, 혹은 QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 장치에 적용할 수 있다.
1: 검사 지그
2: 프로브 핀 적층체
10: 프로브 핀
20: 탄성부
201, 202: 연장부
203: 만곡부
21, 22, 23, 24: 탄성편
25, 26: 탄성편
27: 만곡부
28: 연장부
30: 접속부
31: 본체부
32, 33: 탄성 끼움 지지편
34: 간극
341: 단부
35: 납땜부
36: 관통 구멍
40: 접촉부
41: 본체부
42, 43: 다리부
44: 스토퍼
50: 지지부
100: 하우징
101: 제1 면
102: 제2 면
110: 수용부
111: 제1 개구부
112: 제2 개구부
120: 단자 구멍
200: 도체부
300: 접속 단자

Claims (6)

  1. 제1 방향을 따라서 탄성 변형 가능한 탄성부와,
    상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 마련되고, 전선의 도체부를 접속 가능한 접속부를
    구비하는, 판 형상의 프로브 핀.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 접속부가, 상기 제1 방향을 따라서 연장됨과 함께, 서로 이격되는 방향으로 탄성 변형되어 상기 도체부를 끼움 지지 가능한 한 쌍의 탄성 끼움 지지편을 갖고 있는, 프로브 핀.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 접속부가, 납땜에 의해 상기 도체부를 접속 가능한 납땜부를 갖고 있는, 프로브 핀.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 프로브 핀과,
    상기 접속부가 외부에 노출되도록 상기 프로브 핀이 수용된 수용부를 갖는 하우징을
    구비하는, 검사 지그.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 프로브 핀이, 복수의 상기 프로브 핀이 서로 접촉한 상태에서 판 두께 방향으로 적층되고, 1개의 상기 전선의 상기 도체부가 접속되는 프로브 핀 적층체이며,
    상기 수용부가, 상기 프로브 핀 적층체를 수용 가능한, 검사 지그.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 프로브 핀이, 복수의 상기 프로브 핀이며,
    상기 수용부가, 각각에 상기 프로브 핀을 적어도 1개 수용 가능한 복수의 상기 수용부이며,
    상기 수용부의 각각이, 수용된 상기 프로브 핀의 판 두께 방향으로 간격을 두고 나열되어 배치되어 있음과 함께, 상기 제1 방향에서 보아, 상기 판 두께 방향으로 교차하는 제2 방향에 상기 접속부가 교대로 어긋난 지그재그 형상으로 배치되어 있는, 검사 지그.
KR1020217011321A 2018-11-08 2019-10-23 프로브 핀 및 검사 지그 KR102600799B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018210797A JP7354534B2 (ja) 2018-11-08 2018-11-08 プローブピンおよび検査治具
JPJP-P-2018-210797 2018-11-08
PCT/JP2019/041489 WO2020095679A1 (ja) 2018-11-08 2019-10-23 プローブピンおよび検査治具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210062046A true KR20210062046A (ko) 2021-05-28
KR102600799B1 KR102600799B1 (ko) 2023-11-10

Family

ID=70610983

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020217011321A KR102600799B1 (ko) 2018-11-08 2019-10-23 프로브 핀 및 검사 지그

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP7354534B2 (ko)
KR (1) KR102600799B1 (ko)
CN (1) CN112955754A (ko)
TW (1) TWI708441B (ko)
WO (1) WO2020095679A1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111579836B (zh) * 2020-05-18 2023-01-17 武汉精毅通电子技术有限公司 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08271547A (ja) * 1995-03-31 1996-10-18 Nec Corp プローブ装置
JP2002134202A (ja) 2000-10-27 2002-05-10 Otax Co Ltd 電子部品用ソケット
JP2004138405A (ja) * 2002-10-15 2004-05-13 Renesas Technology Corp 半導体装置測定用プローブ
JP2009016291A (ja) * 2007-07-09 2009-01-22 Sensata Technologies Massachusetts Inc ソケット用アダプタ
JP2009052913A (ja) * 2007-08-23 2009-03-12 Yamaichi Electronics Co Ltd 同軸型コンタクト及び同軸多芯コネクタ
JP2014522960A (ja) * 2011-06-17 2014-09-08 エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド 互いに噛み合わされた蛇行する検査接点を有する電子デバイス検査用のプローブモジュール
WO2017026304A1 (ja) * 2015-08-07 2017-02-16 オムロン株式会社 プローブピン、および、これを備えた検査治具
JP2017130421A (ja) * 2016-01-22 2017-07-27 山一電機株式会社 コンタクト端子、コンタクト支持体、および、それを備える接続装置
JP2017146119A (ja) * 2016-02-15 2017-08-24 オムロン株式会社 プローブピンおよびこれを用いた検査装置
KR20180016615A (ko) * 2016-06-17 2018-02-14 오므론 가부시키가이샤 프로브 핀
KR20180094627A (ko) * 2017-02-16 2018-08-24 (주)에이피텍 테스트 핀 및 이를 포함하는 테스트 장치
KR101903319B1 (ko) * 2018-01-11 2018-10-01 오므론 가부시키가이샤 프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치
KR101911002B1 (ko) * 2018-01-11 2018-10-24 오므론 가부시키가이샤 프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5821432B2 (ja) * 2011-09-05 2015-11-24 日本電産リード株式会社 接続端子及び接続治具
KR101672826B1 (ko) * 2016-02-03 2016-11-07 주식회사 프로이천 니들 타입 핀 보드
JP6624999B2 (ja) * 2016-03-31 2019-12-25 日鉄日新製鋼株式会社 自動車用端子
JP6737002B2 (ja) * 2016-06-17 2020-08-05 オムロン株式会社 プローブピン

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08271547A (ja) * 1995-03-31 1996-10-18 Nec Corp プローブ装置
JP2002134202A (ja) 2000-10-27 2002-05-10 Otax Co Ltd 電子部品用ソケット
JP2004138405A (ja) * 2002-10-15 2004-05-13 Renesas Technology Corp 半導体装置測定用プローブ
JP2009016291A (ja) * 2007-07-09 2009-01-22 Sensata Technologies Massachusetts Inc ソケット用アダプタ
JP2009052913A (ja) * 2007-08-23 2009-03-12 Yamaichi Electronics Co Ltd 同軸型コンタクト及び同軸多芯コネクタ
JP2014522960A (ja) * 2011-06-17 2014-09-08 エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド 互いに噛み合わされた蛇行する検査接点を有する電子デバイス検査用のプローブモジュール
WO2017026304A1 (ja) * 2015-08-07 2017-02-16 オムロン株式会社 プローブピン、および、これを備えた検査治具
JP2017130421A (ja) * 2016-01-22 2017-07-27 山一電機株式会社 コンタクト端子、コンタクト支持体、および、それを備える接続装置
JP2017146119A (ja) * 2016-02-15 2017-08-24 オムロン株式会社 プローブピンおよびこれを用いた検査装置
KR20180016615A (ko) * 2016-06-17 2018-02-14 오므론 가부시키가이샤 프로브 핀
KR20180094627A (ko) * 2017-02-16 2018-08-24 (주)에이피텍 테스트 핀 및 이를 포함하는 테스트 장치
KR101903319B1 (ko) * 2018-01-11 2018-10-01 오므론 가부시키가이샤 프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치
KR101911002B1 (ko) * 2018-01-11 2018-10-24 오므론 가부시키가이샤 프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치

Also Published As

Publication number Publication date
TW202019031A (zh) 2020-05-16
WO2020095679A1 (ja) 2020-05-14
JP7354534B2 (ja) 2023-10-03
KR102600799B1 (ko) 2023-11-10
JP2020076666A (ja) 2020-05-21
TWI708441B (zh) 2020-10-21
CN112955754A (zh) 2021-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101911005B1 (ko) 프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치
KR102001349B1 (ko) 프로브 핀 및 이것을 사용한 검사 장치
US10398051B2 (en) Socket having a terminal unit assembly accommodated within a recess of a frame member
US20180287269A1 (en) Electrical connector
KR102152230B1 (ko) 프로브 핀 및 검사 유닛
CN210720509U (zh) 探针、检查夹具和检查单元
CN107492729B (zh) 电连接器以及电连接器的检查方法
JP2016125943A (ja) ケルビンプローブ、および、これを備えたケルビン検査ユニット
JP7314633B2 (ja) プローブピン、検査治具および検査ユニット
US10014606B2 (en) Press-fit terminal and board connector
WO2017047495A1 (ja) プローブピン、および、これを備えた検査治具
KR20210062046A (ko) 프로브 핀 및 검사 지그
WO2017047362A1 (ja) プローブピンおよびこれを用いた検査治具
KR102253399B1 (ko) 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛
US20190356073A1 (en) Connector
JP4505342B2 (ja) 電気的接続装置
KR102648231B1 (ko) 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛
KR20200128576A (ko) 커넥터
KR100852625B1 (ko) 접촉자 블록 및 전기적 접속장치
JP2020076664A (ja) プローブピン、検査治具、検査ユニットおよび検査装置
KR20200133366A (ko) 프로브 핀
TW202415956A (zh) 檢查插座及檢查裝置
KR20240051822A (ko) 검사 소켓 및 검사 장치
KR20200112889A (ko) 검사 유닛 및 검사 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant