KR102152230B1

KR102152230B1 - 프로브 핀 및 검사 유닛

Info

Publication number: KR102152230B1
Application number: KR1020197005720A
Authority: KR
Inventors: 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2016-09-21
Filing date: 2017-08-18
Publication date: 2020-09-04
Also published as: US10928420B2; WO2018055961A1; JP2018048919A; KR20190035797A; CN109642917B; US20190361049A1; JP6642359B2; CN109642917A

Abstract

프로브 핀이, 긴 변 방향을 따라 신축하는 탄성부(21)와, 탄성부(21)의 긴 변 방향의 양단부에 각각 마련된 제1 접점부(22) 및 제2 접점부(23)를 갖는 판형의 가동 핀(20)과, 가동 핀(20)의 판 두께 방향으로 겹치도록 배치되어 있는 도통 경로 형성 부재(30)를 구비한다. 도통 경로 형성 부재(30)가, 긴 변 방향의 양단부의 각각에, 제1 접점부(22) 및 제2 접점부(23)에 각각 접촉하는 제1 접촉면(36) 및 제2 접촉면(37)을 갖고, 가동 핀(20) 및 도통 경로 형성 부재(30)가, 제1 접점부(22)와 제1 접촉면(36)의 접촉 및 제2 접점부(23)와 제2 접촉면(37)의 접촉을 각각 유지하면서, 긴 변 방향을 따라 상대적으로 이동 가능하게 배치되어 있다.

Description

프로브 핀 및 검사 유닛

본 발명은 프로브 핀 및 이것을 사용한 검사 유닛에 관한 것이다.

반도체 등의 일반적인 전자 부품에서는, 그 제조 공정에 있어서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는, 프로브 핀을 매트릭스형으로 수용한 검사 유닛을 사용하여, 반도체 패키지의 전극부와, 검사 장치를 접속함으로써 행해진다.

이와 같은 프로브 핀으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 긴 변 방향을 따라 각각 독립하여 마련되고 또한 서로 간격을 두고 배치된 고정부 및 가동부와, 고정부 및 가동부를 연결하는 주름 상자체를 구비하고 있다. 그리고, 가동부의 폭 방향의 일단부에, 주름 상자체를 따라 긴 변 방향으로 연장됨과 함께 고정부에 접촉 가능한 가동 접촉편을 마련하고, 이 가동 접촉편을 통해 가동부와 고정부가 전기적으로 접속되도록 되어 있다.

일본 특허 제5699899호 공보

근년, 전자 부품 모듈의 소형화에 수반하여, 검사에 사용하는 검사 유닛의 각 프로브 핀의 소형화, 그리고 각 프로브 핀의 배열의 협피치화도 요청되고 있다.

상기 프로브 핀에서는, 가동부의 폭 방향으로 가동 접촉편이 마련되어 있기 때문에, 복수의 상기 프로브 핀을 상기 프로브 핀의 폭 방향으로 소정의 간격을 두고 배열한 경우, 인접하는 상기 프로브 핀 사이의 폭 방향의 간격을 일정 이상 좁게 하는 것이 어렵고, 배열의 협피치화가 도모되지 않는 경우가 있다.

그래서, 본 발명은 배열의 협피치화를 도모할 수 있는 프로브 핀 및 검사 유닛을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 일 형태의 프로브 핀은,

긴 변 방향을 따라 신축하는 탄성부와, 상기 탄성부의 상기 긴 변 방향의 양단부에 각각 마련된 제1 접점부 및 제2 접점부를 갖는 판형의 가동 핀과,

상기 긴 변 방향을 따라 연장되고, 또한 상기 가동 핀의 판 두께 방향으로 겹치도록 배치되어 있음과 함께, 상기 제1 접점부 및 상기 제2 접점부를 서로 전기적으로 접속하는 도통 경로 형성 부재

를 구비하고,

상기 도통 경로 형성 부재가, 상기 긴 변 방향의 양단부의 각각에, 상기 제1 접점부 및 상기 제2 접점부에 각각 접촉하는 제1 접촉면 및 제2 접촉면을 갖고 있고,

상기 가동 핀 및 상기 도통 경로 형성 부재가, 상기 제1 접점부와 상기 제1 접촉면의 접촉 및 상기 제2 접점부와 상기 제2 접촉면의 접촉을 각각 유지하면서, 상기 긴 변 방향을 따라 상대적으로 이동 가능하게 배치되어 있다.

예를 들어, 도통 경로 형성 부재는 가늘고 긴 판형 또는 막대형을 갖고 있다.

또한, 본 발명의 검사 유닛은,

상기 프로브 핀과,

상기 가동 핀의 상기 제1 접점부의 일부 및 상기 제2 접점부의 일부가 외부에 위치한 상태에서 상기 프로브 핀을 수용하고 또한 상기 가동 핀 및 상기 도통 경로 형성 부재를 상기 긴 변 방향을 따라 상대적으로 이동 가능하게 지지하는 수용부를 갖는 하우징

을 구비한다.

상기 양태의 프로브 핀에 의하면, 판형의 가동 핀과, 이 가동 핀의 판 두께 방향으로 겹치도록 배치되어 있는 도통 경로 형성 부재를 구비하고 있다. 이에 의해, 프로브 핀의 폭 방향 치수가 가동 핀의 폭 방향 치수에 의해 결정되므로, 프로브 핀의 폭 방향으로의 소형화를 도모할 수 있고, 복수의 프로브 핀을 폭 방향으로 배열한 경우라도, 배열의 협피치화를 도모할 수 있다.

또한, 본 발명의 검사 유닛에 의하면, 복수의 상기 프로브 핀에 의해, 배열의 협피치화를 도모할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태의 프로브 핀을 구비한 검사 유닛의 사시도.
도 2는 본 발명의 제1 실시 형태의 프로브 핀의 사시도.
도 3은 도 2의 프로브 핀의 가동 핀의 사시도.
도 4는 도 2의 프로브 핀의 도통 경로 형성 부재의 사시도.
도 5는 도 1의 V-V선을 따른 단면도.
도 6은 도 1의 검사 유닛의 VI 화살표 방향으로 본 도면.
도 7은 도 1의 검사 유닛의 VII 화살표 방향으로 본 도면.
도 8은 도 2의 프로브 핀의 도통 경로 형성 부재의 다른 예를 도시하는 부분 확대 사시도.
도 9는 본 발명의 제2 실시 형태의 프로브 핀을 구비한 검사 유닛의 사시도.
도 10은 본 발명의 제2 실시 형태의 프로브 핀의 사시도.
도 11은 도 10의 프로브 핀의 가동 핀의 사시도.
도 12는 도 10의 프로브 핀의 도통 경로 형성 부재의 사시도.
도 13은 도 9의 XIII-XIII선을 따른 단면도.
도 14는 도 9의 검사 유닛의 XIV 화살표 방향으로 본 도면.
도 15는 도 9의 검사 유닛의 XV 화살표 방향으로 본 도면.
도 16은 본 발명의 제3 실시 형태의 프로브 핀을 구비한 검사 유닛의 사시도.
도 17은 본 발명의 제3 실시 형태의 프로브 핀의 사시도.
도 18은 도 17의 프로브 핀의 도통 경로 형성 부재의 사시도.
도 19는 도 16의 XX-XX선을 따른 단면도.
도 20은 도 16의 검사 유닛의 XXI 화살표 방향으로 본 도면.
도 21은 도 16의 검사 유닛의 XXII 화살표 방향으로 본 도면.

이하, 본 발명의 일 실시 형태를 첨부 도면을 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「우」, 「좌」, 「측」, 「단」을 포함하는 용어)를 사용하지만, 그들 용어의 사용은 도면을 참조한 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이지, 그들 용어의 의미에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은 본질적으로 예시에 지나지 않고, 본 발명, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이고, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과는 반드시 합치하고 있지는 않다.

(제1 실시 형태)

본 발명의 제1 실시 형태의 프로브 핀(10)은, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이, 하우징(2)에 수용된 상태로 사용되어, 하우징(2)과 함께 검사 유닛(1)을 구성한다. 이 검사 유닛(1)에는, 일례로서 4개의 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.

각 프로브 핀(10)은, 도 2에 도시한 바와 같이 가동 핀(20)과 도통 경로 형성 부재(30)를 구비하고 있다. 가동 핀(20) 및 도통 경로 형성 부재(30)의 각각은 가늘고 긴 박판형으로 구성되어, 예를 들어 전기 주조법으로 형성되고, 도전성을 갖고 있다.

가동 핀(20)은, 도 3에 도시한 바와 같이 긴 변 방향을 따라 신축하는 탄성부(21)와, 이 탄성부(21)의 긴 변 방향의 양단부에 직렬적으로 마련된 제1 접점부(22) 및 제2 접점부(23)를 갖고 있다. 이 가동 핀(20)은 폭 방향의 중심선에 대하여 대칭으로 마련되어 있다. 또한, 도 3에서는 탄성부(21)의 중간부의 일부를 생략하고 있다.

탄성부(21)는 판면에서 볼 때, 사행 형상을 갖고 있다. 이 탄성부(21)는 가동 핀(20)의 폭 방향 하측으로 돌출된 제1 만곡부(211)와, 제1 만곡부(211)의 일단으로부터 가동 핀(20)의 폭 방향으로 연장되는 직선부(212)와, 제1 만곡부(211)와는 연결되어 있지 않은 직선부(212)의 일단으로부터 가동 핀(20)의 폭 방향 상측으로 돌출된 제2 만곡부(213)로 구성된 하나의 사행부를 복수 연접하여 구성되어 있다. 즉, 제1 만곡부(211), 직선부(212) 및 제2 만곡부(213)는 제1 접점부(22)의 폭 방향의 중심으로부터 제2 접점부(23)의 폭 방향의 중심까지, 제1 만곡부(211), 직선부(212), 제2 만곡부(213)의 순으로, 가동 핀(20)의 긴 변 방향을 따라 반복해서 나란히 배치되어 있다.

또한, 탄성부(21)는 제1 접점부(22) 및 제2 접점부(23)의 후술하는 광폭부(231)와 동일하거나, 그보다 작은 폭 방향 치수를 갖고 있다.

제1 접점부(22)는 대략 동일한 폭 방향 치수를 갖는 대략 직사각형의 판형을 갖고, 긴 변 방향의 일단부(즉, 도 3의 우측의 단부)에 탄성부(21)가 접속되고, 긴 변 방향의 타단부(즉, 도 3의 좌측의 단부)에 끝이 좁아지는 형상의 제1 접점(251)이 마련되어 있다. 또한, 제1 접점부(22)의 판면에는 제1 접점부(22)를 판 두께 방향으로 관통한 가늘고 긴 직사각형의 가이드 구멍부(24)가 마련되어 있다. 이 가이드 구멍부(24)는 제1 접점부(22)의 긴 변 방향[즉, 프로브 핀(10)의 긴 변 방향]을 따라, 제1 접점(251)의 근방으로부터 제1 접점부(22)의 긴 변 방향의 대략 중앙부까지 연장되어 있다.

제2 접점부(23)는 대략 직사각형의 판형을 갖고, 긴 변 방향의 일단부(즉, 도 3의 좌측의 단부)에 탄성부(21)가 접속되고, 긴 변 방향의 타단부(즉, 도 3의 우측의 단부)에 판면에서 볼 때 대략 V자 형상의 제2 접점(252)이 마련되어 있다. 이 제2 접점부(23)는 탄성부(21)가 접속되어 있는 광폭부(231)와, 제2 접점(252)이 마련되어 있음과 함께 광폭부(231)보다도 폭 방향 치수가 작은 협폭부(232)로 구성되고, 광폭부(231)와 협폭부(232)의 경계에는 단차부(233)가 형성되어 있다. 또한, 광폭부(231)는 제1 접점부(22)와 대략 동일한 폭 방향 치수를 갖고 있다.

도통 경로 형성 부재(30)는, 도 2에 도시한 바와 같이 가동 핀(20)의 판 두께 방향으로 겹치도록 배치되고, 가동 핀(20)의 제1 접점부(22) 및 제2 접점부(23)를 전기적으로 접속하고 있다.

상세하게는, 도통 경로 형성 부재(30)는, 도 4에 도시한 바와 같이 서로 이격되는 방향으로 휘어질 수 있음과 함께, 가동 핀(20)의 판 두께 방향의 상이한 면 위에 각각 겹치는 한 쌍의 다리부(31, 32)로 구성되어 있다. 이 도통 경로 형성 부재(30)는 폭 방향의 중심선에 대하여 대칭으로 마련되고, 도 5에 도시한 바와 같이 가동 핀(20)의 판 두께 방향에서 볼 때, 가동 핀(20)의 폭 방향 치수[즉, 탄성부(21), 제1 접점부(22) 및 제2 접점부(23)의 광폭부(231)의 폭 방향 치수]보다도 작은 짧은 변 방향 치수를 갖고 있다. 또한, 도 4에서는 한 쌍의 다리부(31, 32)의 중간부의 일부를 생략하고 있다.

한 쌍의 다리부(31, 32)의 긴 변 방향의 일단부(즉, 도 4의 우측의 단부)의 각각에는, 서로 접근하는 방향으로 돌출되는 한 쌍의 돌출부(33, 34)가 마련되어 있다. 한 쌍의 돌출부(33, 34)의 각각은, 도 7에 도시한 바와 같이 가동 핀(20)의 제2 접점부(23)를 판 두께 방향으로 끼움 지지하고 있다. 또한, 한 쌍의 다리부(31, 32)의 긴 변 방향의 타단부(즉, 도 4의 좌측의 단부)에는 가이드부(35)가 마련되어 있다. 가이드부(35)는 한 쌍의 다리부(31, 32)의 긴 변 방향의 타단부를 연결하고 있음과 함께, 가동 핀(20)의 제1 접점부(22)의 가이드 구멍부(24)에 위치하고, 가이드 구멍부(24)의 연장 방향[즉, 프로브 핀(10)의 긴 변 방향]으로 이동 가능하게 되어 있다.

도 2에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 다리부(31, 32)의 가이드부(35)측의 서로 대향하는 면은, 가동 핀(20)의 제1 접점부(22)의 판면에 접촉하는 제1 접촉면(36)을 구성하고 있다. 또한, 한 쌍의 돌출부(33, 34)의 각각은, 그 돌출 방향의 선단면[도 2에서는 한 쌍의 돌출부(33)의 선단면만 도시함]이, 가동 핀(20)의 제2 접점부(23)에 접촉하는 제2 접촉면(37)을 구성하고 있다.

즉, 가동 핀(20) 및 도통 경로 형성 부재(30)는, 가동 핀(20)의 제1 접점부(22)와 도통 경로 형성 부재(30)의 제1 접촉면의 접촉 및 가동 핀(20)의 제2 접점부(23)와 도통 경로 형성 부재(30)의 제2 접촉면의 접촉을 양쪽 모두 유지하면서, 프로브 핀(10)의 긴 변 방향을 따라 상대적으로 이동 가능하게 배치되어 있다.

이어서, 도 1 및 도 5 내지 도 7을 참조하여, 4개의 프로브 핀(10)이 하우징(2)에 수용된 검사 유닛(1)에 대하여 설명한다.

또한, 도 1 및 도 4는 가동 핀(20)의 제1 접점(251) 및 제2 접점(252)에 힘이 가해지고 있지 않은 상태(즉, 복귀 상태)를 도시하고 있다.

하우징(2)은, 도 5에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)이 각각 수용되는 4개의 수용부(3)(도 5에서는 2개만 도시함)를 갖고 있다.

각 수용부(3)는, 도 1에 도시한 바와 같이 VI 화살표 방향에서 볼 때(즉, 도 5의 상측으로부터 본 평면 시점)에 있어서, 정사각형의 각 정점에 위치하도록, 서로 병렬로 배치되어 있다. 또한, 각 수용부(3)는, 도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이 긴 변 방향의 양단에 각각 개구부(4, 5)를 갖는 대략 원기둥 형상의 공간으로 구성되어 있다. 상세하게는, 각 수용부(3)는, 도 5에 도시한 바와 같이 도 5의 하우징(2)의 하단의 개구부(4)로부터 하우징(2)의 상단 근방까지 연장되어 있는 대경부(6)와, 이 대경부(6)로부터 더욱 상측으로 연장되고 또한 대경부(6)보다도 직경이 작은 소경부(7)로 구성되어 있다. 대경부(6)와 소경부(7)의 경계에는 환형 단차부(8)가 형성되어 있다.

각 수용부(3) 내에는 1개의 프로브 핀(10)이, 그 양단부의 제1 접점(251) 및 제2 접점(252)이 각 수용부(3)의 각각의 개구부(4, 5)로부터 외부에 위치한 상태로 수용되어 있다. 즉, 각 수용부(3)는 가동 핀(20)의 제1 접점부(22)의 일부와 제2 접점부(23)의 일부가 외부에 위치한 상태로 1개의 프로브 핀(10)을 수용하고 있다. 또한, 프로브 핀(10)은 수용부(3)에 의해, 가동 핀(20)과 도통 경로 형성 부재(30)가 프로브 핀(10)의 긴 변 방향을 따라 상대적으로 이동 가능하게 지지되어 있다.

각 수용부(3)의 제1 접점부(22)측의 개구부(4)는, 도 6에 도시한 바와 같이 가동 핀(20) 및 도통 경로 형성 부재(30)의 폭 방향 치수보다도 큰 직경의 원 형상을 갖고 있다. 또한, 각 수용부(3)의 제2 접점부(23)측의 개구부(5)는, 도 7에 도시한 바와 같이 가동 핀(20)의 제2 접점부(23)의 협폭부(232)보다도 크고, 광폭부(231)보다도 작고, 가동 핀(20)의 제2 접점부(23)의 두께 방향 치수 및 도통 경로 형성 부재(30)의 한 쌍의 다리부(31, 32)의 두께 방향 치수의 합계값보다도 작은 직경의 원 형상을 더 갖고 있다.

계속해서, 하우징(2)에 수용된 각 프로브 핀(10)의 동작에 대하여 설명한다.

도 5에 도시하는 복귀 상태의 각 프로브 핀(10)의 제1 접점(251)에 힘을 가하여, 가동 핀(20)의 제1 접점부(22)를 하우징(2) 내에 압입해 간다. 그러면, 각 프로브 핀(10)의 가동 핀(20)의 제2 접점부(23)의 단차부(233)가, 대응하는 수용부(3)의 환형 단차부(8)에 맞닿고, 제1 접점부(22)의 제1 접점(251)이 수용부(3) 내에 대강 수용될 때까지 탄성부(21)가 압축되어, 동작 상태(도시하지 않음)로 된다.

이때, 도통 경로 형성 부재(30)의 가이드부(35)는, 한 쌍의 돌출부(33, 34)가 가동 핀(20)의 제2 접점부(23)를 끼움 지지한 상태에서, 즉, 제1 접점부(22)와 제1 접촉면(36)의 접촉 및 제2 접점부(23)와 제2 접촉면(37)의 접촉을 유지한 상태에서, 가동 핀(20)의 제1 접점부(22)의 가이드 구멍부(24)를 따라, 가동 핀(20)의 제1 접점(251)에 접근하는 방향으로 상대적으로 이동한다.

또한, 동작 상태의 검사 유닛(1)에 있어서, 각 프로브 핀(10)의 가동 핀(20)의 제1 접점부(22)에 가해진 힘을 해방하면, 압축되어 있던 탄성부(21)에 의해 제1 접점부(22)가 수용부(3)의 외측을 향해 가압되고, 각 프로브 핀(10)이 도 5에 도시하는 복귀 상태로 복귀된다.

이때, 도통 경로 형성 부재(30)의 가이드부(35)는 한 쌍의 돌출부(33, 34)가 가동 핀(20)의 제2 접점부(23)를 끼움 지지한 상태에서, 즉, 제1 접점부(22)와 제1 접촉면(36)의 접촉 및 제2 접점부(23)와 제2 접촉면(37)의 접촉을 유지한 상태에서, 가동 핀(20)의 제1 접점부(22)의 가이드 구멍부(24)를 따라, 가동 핀(20)의 제1 접점(251)으로부터 이격되는 방향으로 상대적으로 이동한다.

제1 실시 형태의 프로브 핀(10)에서는, 판형의 가동 핀(20)과, 이 가동 핀(20)의 판 두께 방향으로 겹치도록 배치되어 있는 도통 경로 형성 부재(30)를 구비하고 있다. 이에 의해, 프로브 핀(10)의 폭 방향 치수가 가동 핀(20)의 폭 방향 치수에 의해 결정되므로, 프로브 핀(10)의 폭 방향으로의 소형화를 도모할 수 있고, 복수의 프로브 핀(10)을 폭 방향으로 배열한 경우라도, 배열의 협피치화를 도모할 수 있다.

또한, 가동 핀(20)의 제1 접점부(22)에, 프로브 핀(10)의 긴 변 방향으로 연장되고 또한 가동 핀(20)을 판 두께 방향으로 관통한 가이드 구멍부(24)가 마련되고, 도통 경로 형성 부재(30)의 제1 접점부(22)에 접촉하는 측(즉, 제1 접촉면측)의 단부에, 가이드 구멍부(24)에 위치하고 있음과 함께 가이드 구멍부(24)의 연장 방향을 따라 이동 가능한 가이드부(35)가 마련되어 있다. 이에 의해, 가이드부(35)가 가이드 구멍부(24)에 걸림 결합하여 가이드 구멍부(24)의 연장 방향을 따라 원활하게 이동 가능해지기 때문에, 가동 핀(20)과 도통 경로 형성 부재(30) 사이의 상대적인 이동을 매끄럽게 행할 수 있다.

또한, 도통 경로 형성 부재(30)가 한 쌍의 다리부(31, 32)로 구성되어 있고, 가동 핀(20)의 제2 접점부(23)가, 프로브 핀(10)의 긴 변 방향의 일단부의 각각에 마련된 한 쌍의 돌출부(33, 34)에 의해, 이동 가능하게 끼움 지지되어 있다. 이에 의해, 가동 핀(20)의 이동 중에도 한 쌍의 돌출부(33, 34)에 의해 가동 핀(20)의 제2 접점부(23)와의 접촉 상태를 확실하게 유지할 수 있어서, 가동 핀(20)과 도통 경로 형성 부재(30) 사이의 접촉 신뢰성을 높일 수 있다.

그런데, 일반적으로, 프로브 핀의 배열을 협피치화해 가면, 검사 유닛의 프로브 핀을 수용하는 수용부는, 성형성의 관점에서, 대략 원기둥형의 공간을 구성하고, 수용한 프로브 핀의 짧은 변 방향을 따른 단면이 대략 원 형상을 갖도록 형성된다.

도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 프로브 핀(10)의 짧은 변 방향을 따른 단면에서 볼 때, 가동 핀(20)은 판 두께 방향의 치수보다도 폭 방향의 치수가 크다. 이 때문에, 예를 들어 도통 경로 형성 부재(30)를 폭 방향으로 배치하면, 프로브 핀(10)을 단면에서 볼 때 원 형상인 수용부(3)에 수용한 경우, 판 두께 방향으로 큰 데드 스페이스가 형성되어 버린다. 제1 실시 형태의 검사 유닛(1)에서는, 프로브 핀(10)이, 도통 경로 형성 부재(30)를 가동 핀(20)의 판 두께 방향으로 겹치도록 배치되어 있으므로, 프로브 핀(10)을 수용부(3)에 수용했을 때에 전술한 바와 같은 데드 스페이스가 형성되지 않는다. 이 때문에, 배열의 협피치화를 도모할 수 있다.

또한, 가동 핀(20)의 제1 접점부(22)의 가이드 구멍부(24)는 제1 접점부(22)의 긴 변 방향의 대략 중앙부로부터 제1 접점(251)의 근방까지 연장되어 있는 경우에 한정되지 않는다. 가이드 구멍부(24)는, 예를 들어 도 8에 도시한 바와 같이, 제1 접점부(22)의 긴 변 방향의 대략 중앙부로부터 제1 접점(251)까지 연장되어 있어도 된다. 이와 같이 가이드 구멍부(24)를 마련함으로써, 가동 핀(20)과 도통 경로 형성 부재(30)의 조합을 용이하게 하여, 프로브 핀(10)의 조립성을 향상시킬 수 있다.

또한, 도통 경로 형성 부재(30)는, 한 쌍의 다리부(31, 32)로 구성되어 있는 경우에 한정되지 않고, 예를 들어 한 쌍의 다리부(31, 32)의 어느 한쪽을 생략해도 된다.

또한, 검사 유닛(1)의 수용부(3)는 가동 핀(20)의 제1 접점부(22)의 일부인 제1 접점(251) 및 제2 접점부(23)의 일부인 제2 접점(252)이 외부에 위치한 상태에서 프로브 핀(10)을 수용하고, 또한 가동 핀(20) 및 도통 경로 형성 부재(30)를 긴 변 방향을 따라 상대적으로 이동 가능하게 지지하는 것이라면, 임의의 형상 및 구조를 갖는 것을 채용할 수 있다.

(제2 실시 형태)

본 발명의 제2 실시 형태의 프로브 핀(110)은 도 9 내지 도 15에 도시한 바와 같이, 제1 접점부(22)에 가이드 구멍부가 마련되어 있지 않은 가동 핀(120)과, 프로브 핀(110)의 긴 변 방향으로 연장되는 판형을 갖는 도통 경로 형성 부재(130)를 구비하고 있는 점에서, 제1 실시 형태와 상이하다. 또한, 제2 실시 형태에서는, 제1 실시 형태와 동일 부분에 동일 참조 번호를 붙여 설명을 생략하고, 제1 실시 형태와 상이한 점에 대하여 설명한다. 또한, 도 11에서는 탄성부(21)의 중간부의 일부를 생략하고, 도 12에서는 도통 경로 형성 부재(130)의 중간부의 일부를 생략하고 있다.

도통 경로 형성 부재(130)는, 도 12에 도시한 바와 같이 서로 독립되고 또한 동일 형상을 갖는 한 쌍의 긴 판 부재(131, 132)로 구성되어 있다. 각 긴 판 부재(131, 132)는, 도 13에 도시한 바와 같이 가동 핀(120)의 판 두께 방향에서 볼 때, 가동 핀(120)의 폭 방향 치수[즉, 탄성부(21), 제1 접점부(22) 및 제2 접점부(23)의 광폭부(231)의 폭 방향 치수]보다도 작은 짧은 변 방향 치수를 갖고 있다. 각 긴 판 부재(131, 132)는 그 긴 변 방향의 양단부의 각각에, 가동 핀(120)의 판면을 향해 돌출되는 돌출부(133, 134)가 마련되어 있다. 각 긴 판 부재(131, 132)의 일단부의 돌출부(133)의 가동 핀(120)의 제1 접점부(22)에 대향하는 면이, 제1 접촉면(36)을 구성하고, 각 긴 판 부재(131, 132)의 타단부의 돌출부(134)의 가동 핀(120)의 제2 접점부(23)에 대향하는 면이, 제2 접촉면(37)을 구성한다.

이와 같이, 제2 실시 형태의 프로브 핀(110)에서는, 도통 경로 형성 부재(130)가, 긴 변 방향으로 연장되는 판형을 갖고, 프로브 핀(110)의 긴 변 방향의 양단부의 각각에, 가동 핀(120)을 향해 돌출되는 돌출부(133, 134)가 마련되어 있다. 이에 의해, 간단한 구성으로, 프로브 핀(10)의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 도통 경로 형성 부재(130)는 한 쌍의 긴 판 부재(131, 132)로 구성하는 경우에 한정되지 않고, 예를 들어 한 쌍의 긴 판 부재(131, 132)의 어느 한쪽을 생략해도 된다.

(제3 실시 형태)

본 발명의 제3 실시 형태의 프로브 핀(210)은, 도 16 내지 도 21에 도시한 바와 같이 프로브 핀(210)의 긴 변 방향으로 연장되는 막대형을 갖는 도통 경로 형성 부재(330)를 구비하고 있는 점에서, 제2 실시 형태와 상이하다. 또한, 제3 실시 형태에서는, 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태와 동일 부분에 동일 참조 번호를 붙여 설명을 생략하고, 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태와 상이한 점에 대하여 설명한다.

도통 경로 형성 부재(330)는, 도 18에 도시한 바와 같이 서로 독립되고 또한 동일 형상을 갖는 한 쌍의 긴 막대 부재(331, 332)로 구성되어 있다. 각 긴 막대 부재(331, 332)는, 도 19에 도시한 바와 같이 가동 핀(120)의 판 두께 방향에서 볼 때, 가동 핀(120)의 폭 방향 치수[즉, 탄성부(21), 제1 접점부(22) 및 제2 접점부(23)의 광폭부(231)의 폭 방향 치수]보다도 작은 짧은 변 방향 치수를 갖고 있다. 각 긴 막대 부재(331, 332)는 그 긴 변 방향의 양단부의 각각에, 제1 접점부(22) 및 제2 접점부(23)에 각각 접촉하는 제1 접촉면(36) 및 제2 접촉면(37)을 갖고 있다. 또한, 도 20에 도시한 바와 같이, 도통 경로 형성 부재(330)는 그 중간부(333)가 가동 핀(120)으로부터 이격되는 방향으로 만곡되어 있다.

이와 같이, 제3 실시 형태의 프로브 핀(210)에서는, 도통 경로 형성 부재(330)가, 긴 변 방향으로 연장되는 막대형을 갖고 있다. 이에 의해, 간단한 구성으로 프로브 핀(210)의 소형화를 도모할 수 있다. 또한, 도통 경로 형성 부재(330)의 중간부(333)가 가동 핀(120)으로부터 이격되는 방향으로 만곡되어 있으므로, 각 프로브 핀(210)을 검사 유닛(1)의 대응하는 수용부(3)에 수용했을 때에, 도통 경로 형성 부재(330)의 가동 핀(120)에 대한 접압을 높일 수 있다. 이에 의해, 가동 핀(120)과 도통 경로 형성 부재(330) 사이의 접촉 신뢰성을 높일 수 있다.

또한, 도통 경로 형성 부재(330)는 한 쌍의 긴 막대 부재(331, 332)로 구성하는 경우에 한정되지 않고, 예를 들어 한 쌍의 긴 막대 부재(331, 332)의 어느 한쪽을 생략해도 된다.

이상, 도면을 참조하여 본 발명에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로, 본 발명의 다양한 형태에 대하여 설명한다.

본 발명의 제1 양태의 프로브 핀은,

를 구비하고,

제1 양태의 프로브 핀에 의하면, 판형의 가동 핀과, 이 가동 핀의 판 두께 방향으로 겹치도록 배치되어 있는 도통 경로 형성 부재를 구비하고 있다. 이에 의해, 프로브 핀의 폭 방향 치수가 가동 핀의 폭 방향 치수에 의해 결정되므로, 프로브 핀의 폭 방향으로의 소형화를 도모할 수 있고, 복수의 프로브 핀을 폭 방향으로 배열한 경우라도, 배열의 협피치화를 도모할 수 있다.

본 발명의 제2 양태의 프로브 핀은,

상기 가동 핀의 상기 제1 접점부에, 상기 긴 변 방향으로 연장되고 또한 상기 가동 핀을 판 두께 방향으로 관통한 가이드 구멍부가 마련되고,

상기 도통 경로 형성 부재의 제1 접촉면측의 단부에, 상기 가이드 구멍부에 위치하고 있음과 함께 상기 가이드 구멍부의 연장 방향을 따라 이동 가능한 가이드부가 마련되어 있다.

제2 양태의 프로브 핀에 의하면, 가이드부가 가이드 구멍부에 걸림 결합하여 가이드 구멍부의 연장 방향을 따라 원활하게 이동 가능해지기 때문에, 가동 핀과 도통 경로 형성 부재 사이의 상대적인 이동을 매끄럽게 행할 수 있다.

본 발명의 제3 양태의 프로브 핀은,

상기 도통 경로 형성 부재가, 서로 이격되는 방향으로 휘어질 수 있는 한 쌍의 다리부로 구성되고,

상기 한 쌍의 다리부의 상기 긴 변 방향의 일단부의 각각에는, 서로 접근하는 방향으로 돌출됨과 함께 상기 제2 접촉면을 구성하는 한 쌍의 돌출부가 마련되고, 상기 한 쌍의 다리부의 상기 긴 변 방향의 타단부에는, 상기 한 쌍의 다리부의 각각을 연결하는 상기 가이드부가 마련되어 있고,

상기 가동 핀의 상기 제2 접점부가, 상기 한 쌍의 돌출부에 의해 이동 가능하게 끼움 지지되어 있다.

제3 양태의 프로브 핀에 의하면, 가동 핀의 이동 중에도 한 쌍의 돌출부에 의해 가동 핀의 제2 접점부와의 접촉 상태를 확실하게 유지할 수 있고, 가동 핀과 도통 경로 형성 부재 사이의 접촉 신뢰성을 높일 수 있다.

본 발명의 제4 양태의 프로브 핀은,

상기 도통 경로 형성 부재가, 상기 긴 변 방향으로 연장되는 판형을 갖고, 상기 긴 변 방향의 양단부의 각각에, 상기 가동 핀을 향해 돌출되는 돌출부가 마련되고, 상기 돌출부의 각각에, 상기 제1 접촉면 및 상기 제2 접촉면이 배치되어 있다.

제4 양태의 프로브 핀에 의하면, 간단한 구성으로 프로브 핀의 소형화를 도모할 수 있다.

본 발명의 제5 양태의 프로브 핀은,

상기 도통 경로 형성 부재가, 상기 긴 변 방향으로 연장되는 막대형을 갖고, 상기 도통 경로 형성 부재의 중간부가 상기 가동 핀으로부터 이격되는 방향으로 만곡되어 있다.

제5 양태의 프로브 핀에 의하면, 간단한 구성으로 프로브 핀의 소형화를 도모할 수 있다.

본 발명의 제6 양태의 검사 유닛은,

복수의 상기 프로브 핀과,

상기 가동 핀의 상기 제1 접점부의 일부 및 상기 제2 접점부의 일부가 외부에 위치한 상태에서 상기 프로브 핀을 수용하고 또한 상기 가동 핀 및 상기 도통 경로 형성 부재를 상기 긴 변 방향을 따라 상대적으로 이동 가능하게 지지하는 복수의 수용부를 갖는 하우징

을 구비한다.

제6 양태의 검사 유닛에 의하면, 복수의 상기 프로브 핀에 의해, 배열의 협피치화를 도모할 수 있다.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 발명은 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시 형태에 관련하여 충분히 기재되어 있지만, 이 기술이 숙련된 사람들에게 있어서는 다양한 변형이나 수정은 명백하다. 그와 같은 변형이나 수정은 첨부한 청구범위에 의한 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않는 한에 있어서, 그 중에 포함된다고 이해되어야 한다.

본 발명의 프로브 핀은, 예를 들어 카메라 혹은 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.

1 : 검사 유닛
2 : 하우징
3 : 수용부
4, 5 : 개구부
6 : 대경부
7 : 소경부
8 : 환형 단차부
10, 110, 210 : 프로브 핀
20, 120 : 가동 핀
21 : 탄성부
211 : 제1 만곡부
212 : 직선부
213 : 제2 만곡부
22 : 제1 접점부
23 : 제2 접점부
231 : 광폭부
232 : 협폭부
233 : 단차부
24 : 가이드 구멍부
251 : 제1 접점
252 : 제2 접점
30, 130, 330 : 도통 경로 형성 부재
31, 32 : 다리부
33, 34 : 돌출부
35 : 가이드부
36 : 제1 접촉면
37 : 제2 접촉면
131, 132 : 긴 판 부재
133, 134 : 돌출부
331, 332 : 긴 막대 부재
333 : 중간부

Claims

긴 변 방향을 따라 신축하는 탄성부와, 상기 탄성부의 상기 긴 변 방향의 양단부에 각각 마련된 제1 접점부 및 제2 접점부를 갖는 판형의 가동 핀과,
상기 긴 변 방향을 따라 연장되고, 또한 상기 가동 핀의 판 두께 방향으로 겹치도록 배치되어 있음과 함께, 상기 제1 접점부 및 상기 제2 접점부를 서로 전기적으로 접속하는 도통 경로 형성 부재
를 구비하고,
상기 도통 경로 형성 부재가, 상기 긴 변 방향의 양단부의 각각에, 상기 제1 접점부 및 상기 제2 접점부에 각각 접촉하는 제1 접촉면 및 제2 접촉면을 갖고 있고,
상기 가동 핀 및 상기 도통 경로 형성 부재가, 상기 제1 접점부와 상기 제1 접촉면의 접촉 및 상기 제2 접점부와 상기 제2 접촉면의 접촉을 각각 유지하면서, 상기 긴 변 방향을 따라 상대적으로 이동 가능하게 배치되어 있고,
상기 가동 핀의 상기 제1 접점부에, 상기 긴 변 방향으로 연장되고 또한 상기 가동 핀을 판 두께 방향으로 관통한 가이드 구멍부가 마련되고,
상기 도통 경로 형성 부재의 제1 접촉면측의 단부에, 상기 가이드 구멍부에 위치하고 있음과 함께 상기 가이드 구멍부의 연장 방향을 따라 이동 가능한 가이드부가 마련되어 있는, 프로브 핀.
제1항에 있어서, 상기 도통 경로 형성 부재가, 서로 이격되는 방향으로 휘어질 수 있는 한 쌍의 다리부로 구성되고,
상기 한 쌍의 다리부의 상기 긴 변 방향의 일단부의 각각에는, 서로 접근하는 방향으로 돌출됨과 함께 상기 제2 접촉면을 구성하는 한 쌍의 돌출부가 마련되고, 상기 한 쌍의 다리부의 상기 긴 변 방향의 타단부에는, 상기 한 쌍의 다리부의 각각을 연결하는 상기 가이드부가 마련되어 있고,
상기 가동 핀의 상기 제2 접점부가, 상기 한 쌍의 돌출부에 의해 이동 가능하게 끼움 지지되어 있는, 프로브 핀.
긴 변 방향을 따라 신축하는 탄성부와, 상기 탄성부의 상기 긴 변 방향의 양단부에 각각 마련된 제1 접점부 및 제2 접점부를 갖는 판형의 가동 핀과,
상기 긴 변 방향을 따라 연장되고, 또한 상기 가동 핀의 판 두께 방향으로 겹치도록 배치되어 있음과 함께, 상기 제1 접점부 및 상기 제2 접점부를 서로 전기적으로 접속하는 도통 경로 형성 부재
를 구비하고,
상기 도통 경로 형성 부재가, 상기 긴 변 방향의 양단부의 각각에, 상기 제1 접점부 및 상기 제2 접점부에 각각 접촉하는 제1 접촉면 및 제2 접촉면을 갖고 있고,
상기 가동 핀 및 상기 도통 경로 형성 부재가, 상기 제1 접점부와 상기 제1 접촉면의 접촉 및 상기 제2 접점부와 상기 제2 접촉면의 접촉을 각각 유지하면서, 상기 긴 변 방향을 따라 상대적으로 이동 가능하게 배치되어 있고,
상기 도통 경로 형성 부재가, 상기 긴 변 방향으로 연장되는 판형을 갖고, 상기 긴 변 방향의 양단부의 각각에, 상기 가동 핀을 향해 돌출되는 돌출부가 마련되고, 상기 돌출부의 각각에, 상기 제1 접촉면 및 상기 제2 접촉면이 배치되어 있는, 프로브 핀.
긴 변 방향을 따라 신축하는 탄성부와, 상기 탄성부의 상기 긴 변 방향의 양단부에 각각 마련된 제1 접점부 및 제2 접점부를 갖는 판형의 가동 핀과,
상기 긴 변 방향을 따라 연장되고, 또한 상기 가동 핀의 판 두께 방향으로 겹치도록 배치되어 있음과 함께, 상기 제1 접점부 및 상기 제2 접점부를 서로 전기적으로 접속하는 도통 경로 형성 부재
를 구비하고,
상기 도통 경로 형성 부재가, 상기 긴 변 방향의 양단부의 각각에, 상기 제1 접점부 및 상기 제2 접점부에 각각 접촉하는 제1 접촉면 및 제2 접촉면을 갖고 있고,
상기 가동 핀 및 상기 도통 경로 형성 부재가, 상기 제1 접점부와 상기 제1 접촉면의 접촉 및 상기 제2 접점부와 상기 제2 접촉면의 접촉을 각각 유지하면서, 상기 긴 변 방향을 따라 상대적으로 이동 가능하게 배치되어 있고,
상기 도통 경로 형성 부재가, 상기 긴 변 방향으로 연장되는 막대형을 갖고, 상기 도통 경로 형성 부재의 중간부가 상기 가동 핀으로부터 이격되는 방향으로 만곡되어 있는, 프로브 핀.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 복수의 프로브 핀과,
상기 가동 핀의 상기 제1 접점부의 일부 및 상기 제2 접점부의 일부가 외부에 위치한 상태에서 상기 프로브 핀을 수용하고 또한 상기 가동 핀 및 상기 도통 경로 형성 부재를 상기 긴 변 방향을 따라 상대적으로 이동 가능하게 지지하는 복수의 수용부를 갖는 하우징
을 구비하는, 검사 유닛.
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