KR20220002619A - 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛 - Google Patents

Abstract

프로브 핀이, 판상의 본체부와, 본체부의 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접점부와, 본체부의 제1 방향의 일단에 마련되고, 제1 접점부의 제2 방향의 양측에 제1 접점부에 대하여 간격을 두고 각각 배치되고, 제1 접점부보다 본체부로부터 떨어진 위치까지 각각 연장하는 한 쌍의 제2 접점부를 구비한다. 각 제2 접점부가, 제2 방향에 있어서 서로 대향하여 배치되고, 제1 방향을 따라서 제1 접점부에 접근하는 접촉 대상물을 제1 접점부를 향하여 안내하는 가이드면을 갖고 있다.

Description

프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛

본 개시는, 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛에 관한 것이다.

카메라 또는 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로, 그의 제조 공정에 있어서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행하여진다. 이들의 검사는, 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판에 접속하기 위한 단자와, 검사 장치의 단자를 접속함으로써 행하여진다.

이러한 프로브 핀으로서는, 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 상부 플런저와, 하부 플런저와, 상부 플런저 및 하부 플런저 사이에 배치된 코일 스프링을 구비하고, 상부 플런저의 상부측에, 땜납 볼을 끼워 넣는 슬릿 구조를 갖는 선단 끼움 지지부가 형성되어 있다. 이 선단 끼움 지지부는, 원주 상에 간격을 두고 배치된 복수의 탄성 부재를 갖고, 각 탄성 부재가 반경 방향으로 확대 개방됨으로써, 그 사이에 땜납 볼을 받아들여서 끼움 지지하도록 구성되어 있다.

일본 특허 공개 제2001-318119호 공보

상기 프로브 핀에서는, 선단 끼움 지지부에서 끼움 지지 가능한 땜납 볼이 미리 정해진다. 이 때문에, 예를 들어 미리 정해진 땜납 볼보다 작은 땜납 볼에 대하여, 상기 프로브 핀을 확실하게 접촉시키는 것이 어려운 경우가 있다.

본 개시는, 크기가 다른 복수의 접촉 대상물에 대하여 보다 확실하게 접촉 가능한 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그 및 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 개시의 일례의 프로브 핀은,

판상의 본체부와,

상기 본체부의 제1 방향의 일단에 마련되고, 상기 일단으로부터 상기 제1 방향을 따라서 연장하는 제1 접점부와,

상기 본체부의 상기 일단에 마련되고, 상기 제1 접점부에 있어서의 상기 제1 방향 및 상기 본체부의 판 두께 방향에 교차하는 제2 방향의 양측에 상기 제1 접점부에 대하여 간격을 두고 각각 배치되고, 상기 일단으로부터 상기 제1 방향을 따라서 상기 제1 접점부보다 상기 본체부로부터 떨어진 위치까지 각각 연장하는 한 쌍의 제2 접점부

를 구비하고,

상기 한 쌍의 제2 접점부의 각각이,

상기 제2 방향에 있어서 서로 대향하여 배치되고, 상기 제1 방향을 따라서 상기 제1 접점부에 접근하는 접촉 대상물을 상기 제1 접점부를 향하여 안내하는 가이드면을 갖고 있다.

또한, 본 개시의 일례의 검사 지그는,

상기 프로브 핀과,

상기 제1 접점부 및 상기 한 쌍의 제2 접점부의 각각이 외부에 노출된 상태에서 상기 프로브 핀을 수용 가능한 상기 소켓

을 구비한다.

또한, 본 개시의 일례의 검사 유닛은,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비한다.

상기 프로브 핀에 의하면, 판상의 본체부와, 본체부의 제1 방향의 일단에 마련된 제1 접점부와, 제1 접점부에 있어서의 제2 방향의 양측에 제1 접점부에 대하여 간격을 두고 각각 배치된 한 쌍의 제2 접점부를 구비한다. 각 제2 접점부는, 본체부의 일단으로부터 제1 방향을 따라서 제1 접점부보다 본체부로부터 떨어진 위치까지 각각 연장하고 있음과 함께, 제2 방향에 있어서 서로 대향하여 배치되고, 제1 방향을 따라서 제1 접점부에 접근하는 접촉 대상물을 제1 접점부를 향하여 안내하는 가이드면을 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 크기가 다른 복수의 접촉 대상물에 대하여 보다 확실하게 접촉 가능한 프로브 핀을 실현할 수 있다.

상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 크기가 다른 복수의 검사 대상물의 검사에 적용 가능한 검사 지그를 실현할 수 있다.

상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 크기가 다른 복수의 검사 대상물의 검사에 적용 가능한 검사 유닛을 실현할 수 있다.

도 1은, 본 개시의 일 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도.
도 2는, 도 1의 프로브 핀을 구비한 검사 유닛(1)의 단면도.
도 3은, 도 1의 프로브 핀의 평면도.
도 4는, 도 1의 프로브 핀의 제1 접점부 및 제2 접점부를 도시하는 확대 평면도.
도 5는, 도 1의 프로브 핀의 변형예를 도시하는 사시도.
도 6은, 도 5의 프로브 핀의 평면도.
도 7은, 도 5의 프로브 핀의 제1 접점부 및 제2 접점부를 도시하는 확대 평면도.

이하, 본 개시의 일례를 첨부 도면을 따라서 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라서 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「우」, 「좌」를 포함하는 용어)를 사용하지만, 그것들의 용어의 사용은 도면을 참조한 본 개시의 이해를 용이하게 하기 위해서이며, 그것들의 용어의 의미에 의해 본 개시의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 지나지 않고, 본 개시, 그의 적용물, 혹은, 그의 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이고, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과는 반드시 합치하고 있지는 않는다.

본 개시의 일 실시 형태의 프로브 핀(3)은, 예를 들어 도 1에 도시하는 바와 같이, 제1 방향 X로 가늘고 긴 박판상으로 도전성을 갖고 있다. 이 프로브 핀(3)은, 일례로서, 도 2에 도시하는 바와 같이, 절연성의 소켓(20)에 수용된 상태에서 사용되고, 소켓(20)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 검사 지그(2)에는, 일례로서, 복수의 프로브 핀(3)이 수용되어 있다.

또한, 도 2에 도시하는 바와 같이, 검사 지그(2)는, 검사 유닛(1)의 일부를 구성하고 있다. 이 실시 형태에서는, 검사 유닛(1)은, 한 쌍의 검사 지그(2)를 갖고 있다. 각 검사 지그(2)는, 후술하는 프로브 핀(3)의 제1 접점부(32), 제2 접점부(33) 및 제3 접점부(38)가, 소켓(20)으로부터 외부에 노출된 상태에서, 제1 방향 X 및 프로브 핀(3)의 판 두께 방향 Z에 교차(예를 들어, 직교)하는 제2 방향 Y에 인접하도록 배치되어 있다.

검사 유닛(1)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 각 검사 지그(2)를 수용하는 하우징(10)과, 각 검사 지그(2)의 소켓(20)에 대하여 요동 가능한 상태에서 하우징(10)에 지지된 요동 부재(40)를 구비하고 있다.

하우징(10)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 일례로서, 대략 직육면체상으로, 그의 외면의 하나를 구성하는 대략 직사각 형상의 개구면(101)을 갖고 있다. 하우징(10)의 개구면(101)의 긴 변 방향의 대략 중앙에는, 개구면(101)에 개구하는 개구부(14)를 갖는 오목부(13)가 마련되어 있다. 이 오목부(13)의 내부에, 대략 직육면체상의 소켓(20)이 수용되어 있다.

요동 부재(40)는, 절연성으로, 접촉 대상물(예를 들어, 검사 대상물 또는 검사 장치)(100)에 접속 가능하게 구성되어 있다(도 4 참조). 이 요동 부재(40)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 판부(41)와, 한 쌍의 벽부(42)를 갖고, 제1 방향 X로 요동 가능하게 구성되어 있다. 판부(41)는, 대략 직사각형 판상을 갖고, 개구면(101)을 따라 연장하고 있다. 각 벽부(42)는, 판부(41)의 제2 방향 X에 대향하는 한 쌍의 판면의 변 테두리로부터, 제1 방향 X에 교차(예를 들어, 직교)하는 방향으로 연장하고 있다.

판부(41)는, 요동 부재(40)의 판부(41)를 그의 요동 방향(즉, 제1 방향 X)으로 관통하여, 후술하는 프로브 핀(3)의 제1 접점부(32) 및 제2 접점부(33)를 수용 가능한 수용 구멍(43)을 갖고 있다. 각 수용 구멍(43)은, 판부(41)의 외면(411)측에 개구한 오목부(431)와, 이 오목부(431)의 저면에 개구한 복수의 관통 구멍(432)으로 구성되어 있다. 수용 구멍(43)의 오목부(431)에는, 각 관통 구멍(432)을 통해 각 프로브 핀(3)의 제1 방향 X의 일단(즉, 후술하는 프로브 핀(3)의 제1 접촉부(36))이 수용되고, 각 프로브 핀(3)의 제1 방향 X의 일단에 있어서의 제2 방향 Y 및 프로브 핀(3)의 판 두께 방향 Z로의 이동이 규제되어 있다.

각 벽부(42)는, 그의 제1 방향 X의 선단부가, 개구면(101)의 오목부(13) 둘레에 마련된 수용 홈(15)의 내부에 수용되어 있다. 각 벽부(42)의 선단부에는, 각 벽부(42)로부터 서로 이격되는 방향으로 연장하는 플랜지부(47)가 마련되어 있다. 각 플랜지부(47)는, 수용 홈(15)을 구성하는 하우징(10)의 내면에 의해, 복귀 위치 P1과 동작 위치 P2 사이를 제1 방향 X를 따라 이동 가능하게 배치되어 있다. 즉, 요동 부재(40)의 요동 범위는, 각 플랜지부(47)의 제1 방향 X에 있어서의 이동 범위에 의해 정해진다. 또한, 복귀 위치 P1은, 외력이 가해지지 않고 있는 상태의 요동 부재(40)의 위치이고, 동작 위치 P2는, 제1 방향 X로부터 하우징(10)을 향하여 외력을 가한 상태의 요동 부재(40)의 위치이고, 제1 방향 X에 있어서 복귀 위치 P1보다 소켓(20)에 가까운 위치이다.

수용 홈(15)의 내부에는, 코일 스프링(50)이 마련되어 있다. 이 코일 스프링(50)은, 수용 홈(15)의 저면을 구성하는 하우징(10)의 내면에 배치되고, 각 플랜지부(47)를 제1 방향 X로 또한 개구면(101)을 향하여 가압하고 있다.

각 소켓(20)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 그의 내부에 복수의 수용부(21)(도 2에는, 1개만 도시한다)를 갖고 있다. 각 수용부(21)는, 슬릿상을 갖고, 각각 1개의 프로브 핀(3)을 전기적으로 독립적으로 수용 가능하고 또한 유지 가능하게 구성되어 있다. 또한, 각 수용부(21)는, 제1 방향 X 및 제2 방향 Y에 교차하는 방향(즉, 도 2의 지면 관통 방향)을 따라 일렬로 배열하고 또한 등간격으로 배치되어 있다.

각 프로브 핀(3)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 판상의 본체부(31)와, 이 본체부(31)의 제1 방향 X의 일단에 마련된 제1 접점부(32) 및 제2 접점부(33)를 구비하고 있다. 각 프로브 핀(3)은, 일례로서, 전주법으로 형성되어 있다.

본체부(31)는, 일례로서, 제1 방향 X를 따라 신축하는 탄성부(35)와, 탄성부(35)에 있어서의 제1 방향 X의 일단에 마련된 제1 접촉부(36)와, 탄성부(35)에 있어서의 제1 방향 X의 타단에 마련된 제2 접촉부(37)를 갖고 있다. 탄성부(35), 제1 접촉부(36) 및 제2 접촉부(37)는, 제1 방향 X를 따라 직렬적으로 배치되고 또한 일체로 구성되어 있다.

탄성부(35)는, 서로 간극(65, 66, 67)을 두고 배치된 복수의 탄성편(이 실시 형태에서는, 4개의 탄성편)(61, 62, 63, 64)을 갖고 있다. 각 탄성편(61, 62, 63, 64)은, 일례로서, 가늘고 긴 띠상으로, 2개의 직선부(71, 72)와, 이들의 직선부(71, 72)를 접속하는 만곡부(73)로 구성되어 있다. 또한, 각 탄성편(61, 62, 63, 64)은, 일례로서, 대략 동일한 단면 형상을 갖고 있다.

제1 접촉부(36)는, 제1 방향 X를 따라 연장하는 접촉부 본체(361)와, 접촉부 본체(361)로부터 제2 방향 Y로 연장하는 맞닿음부(362)를 갖고 있다. 접촉부 본체(361)의 제1 방향 X에 있어서의 탄성부(35)으로부터 먼 단부에는, 제1 접점부(32) 및 제2 접점부(33)가 마련되어 있다. 또한, 접촉부 본체(361)의 제1 방향 X에 있어서의 탄성부(35)에 가까운 단부에는, 탄성부(35)의 제1 방향 X의 일단이 접속되어 있다. 맞닿음부(362)는, 접촉부 본체(361)의 제1 방향 X에 있어서의 탄성부(35)측의 단부에 배치되어 있다.

제2 접촉부(37)는, 제1 방향 X를 따라 연장하는 접촉부 본체(371)와, 접촉부 본체(371)로부터 제2 방향 Y로 연장하는 맞닿음부(372)를 갖고 있다. 접촉부 본체(371)의 제1 방향 X에 있어서의 탄성부(35)로부터 먼 단부에는, 제3 접점부(38)가 마련되어 있다. 또한, 접촉부 본체(371)의 제1 방향 X에 있어서의 탄성부(35)에 가까운 단부에는, 탄성부(35)의 제1 방향 X의 타단이 접속되어 있다. 맞닿음부(372)는, 접촉부 본체(371)의 제1 방향 X에 있어서의 탄성부(35)측의 단부에 배치되어 있다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 제1 접촉부(36)의 접촉부 본체(361) 및 제2 접촉부(37)의 접촉부 본체(371)의 각각은, 제1 접촉부(36)의 접촉부 본체(361)에 있어서의 제2 방향 Y의 중심을 통과하고 또한 제1 방향 X로 연장하는 가상 직선 L 상에 배치되어 있다. 또한, 탄성부(35) 및 각 맞닿음부(362, 372)의 각각은, 가상 직선 L에 대하여 제2 방향 Y에 있어서의 동일한 측에 배치되어 있다. 즉, 탄성부(35)는, 제1 방향 X에 있어서, 각 맞닿음부(362, 372) 사이에 배치되어 있다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 소켓(20)의 각 수용부(21)에 프로브 핀(3)을 수용한 상태에서는, 제1 접촉부(36)의 맞닿음부(362) 및 제2 접촉부(37)의 맞닿음부(372)의 각각은, 제1 방향 X에 있어서 수용부(21)를 구성하는 소켓(20)의 내면에 맞닿도록 구성되어 있다. 즉, 각 맞닿음부(362, 372)에 의해, 제1 방향 X에 있어서의 프로브 핀(3)의 제1 접점부(32), 제2 접점부(33) 및 제3 접점부(38)의 위치가 정해져 있다.

이어서, 도 4를 참조하여, 제1 접점부(32) 및 제2 접점부(33)를 보다 상세하게 설명한다.

제1 접점부(32)는, 제1 접촉부(36)의 접촉부 본체(361)에 있어서의 제1 방향 X의 일단(즉, 본체부(31)의 제1 방향 X의 일단)에 마련되고, 접촉부 본체(361)의 제1 방향 X의 일단으로부터 제1 방향 X를 따라 연장하고 있다. 상세하게는, 제1 접점부(32)는, 제2 방향 Y로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 돌기(34)로 구성되어 있다. 각 돌기(34)는, 접촉부 본체(361)의 제1 방향 X의 일단에 있어서의 제2 방향 Y의 중심을 통과하고 또한 제1 방향으로 연장하는 중심선(즉, 가상 직선 L)에 대하여 대칭으로 배치되어 있다.

또한, 요동 부재(40)가 복귀 위치 P1에 위치하고 있는 상태의 검사 유닛(1)에 있어서, 프로브 핀(3)의 제1 접점부(32)가, 제1 방향 X에 있어서, 요동 부재(40)의 판부(41)의 외면(411)보다 소켓(20)(혹은, 하우징(10)의 개구면(101))의 근처에 배치되어 있다. 즉, 요동 부재(40)가 복귀 위치 P1에 위치하고 있을 때, 프로브 핀(3)의 제1 접점부(32)는, 수용 구멍(43)의 내부에 배치되고, 외력에 의해 손상되기 어렵도록 구성되어 있다.

제2 접점부(33)는, 접촉부 본체(361)의 제1 방향 X의 일단에 마련되고, 제1 접점부(32)의 제2 방향 Y의 양측에 각각 배치되어, 쌍을 이루고 있다. 한 쌍의 제2 접점부(33)의 각각은, 제1 접점부(32)에 대하여 간격을 두고, 가상 직선 L에 대하여 대칭으로 배치되어 있다. 각 제2 접점부(33)는, 접촉부 본체(361)의 제1 방향 X의 일단으로부터 제1 방향 X를 따라 제1 접점부(32)보다 본체부(31)로부터 이격된 위치까지 각각 연장하고 있다.

각 제2 접점부(33)는, 제2 방향 Y에 있어서 서로 대향하여 배치되고, 제1 방향 X를 따라 제1 접점부(32)에 접근하는 접촉 대상물(100)을 제1 접점부(32)를 향하여 안내하는 가이드면(331)을 갖고 있다. 각 가이드면(331)은, 일례로서, 제1 방향 X로 또한 탄성부(35)를 향하여 약간 오목해진 만곡면으로 구성되어 있다.

접촉 대상물(100)이, 제1 접점부(32)를 구성하는 한 쌍의 돌기(34)의 양쪽에 제1 방향 X로부터 동시에 접촉 가능한 제2 방향 Y의 치수(즉, 폭 치수)를 갖는 볼록 접점(110)인 것으로 한다. 이 경우, 프로브 핀(3)이 볼록 접점(110)에 접근할 때(혹은, 볼록 접점(110)이 프로브 핀(3)에 접근할 때)에, 프로브 핀(3)의 볼록 접점(110)에 대한 제2 방향 Y의 위치가 어긋나 있었다고 해도, 볼록 접점(110)이 각 가이드면(331)에 접촉 가능한 위치라면, 프로브 핀(3)은 볼록 접점(110)을 향하여 안내된다. 그 결과, 한 쌍의 돌기(34)의 각각이, 볼록 접점(110)의 선단면(103)에 대하여 동시에 접촉한다.

또한, 접촉 대상물(100)이, 한 쌍의 돌기(34)의 양쪽에 제1 방향 X로부터 동시에 접촉 불가능한 폭 치수를 갖는 볼록 접점(120)인 것으로 한다. 이 경우, 볼록 접점(120)의 폭 치수가 제1 접촉부(36)의 폭 치수보다 작으면, 한 쌍의 제2 접점부(33)의 각각이, 볼록 접점(120)의 제2 방향 Y에 있어서의 양쪽의 선단 각부(104)에 대하여 동시에 접촉한다.

이와 같이, 프로브 핀(3)에 의하면, 판상의 본체부(31)와, 본체부(31)의 제1 방향 X의 일단에 마련된 제1 접점부(32)와, 제1 접점부(32)에 있어서의 제2 방향 Y의 양측에 제1 접점부(32)에 대하여 간격을 두고 각각 배치된 한 쌍의 제2 접점부(33)를 구비한다. 각 제2 접점부(33)는, 본체부(31)의 일단으로부터 제1 방향 X를 따라 제1 접점부(32)보다 본체부(31)로부터 이격된 위치까지 각각 연장하고 있음과 함께, 제2 방향 Y에 있어서 서로 대향하여 배치되고, 제1 방향 X를 따라 제1 접점부(32)에 접근하는 접촉 대상물(100)을 제1 접점부(32)를 향하여 안내하는 가이드면(331)을 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 크기가 다른 복수의 접촉 대상물(100)에 대하여 보다 확실하게 접촉 가능한 프로브 핀(3)을 실현할 수 있다.

또한, 제1 접점부(32)가, 제2 방향 Y로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 돌기(34)로 구성되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 크기가 다른 복수의 접촉 대상물(100)에 대하여 보다 확실하게 접촉 가능한 프로브 핀(3)을 실현할 수 있다.

한 쌍의 돌기(34)의 각각이 중심선 L에 대하여 대칭으로 배치되고, 한 쌍의 제2 접점부(33)의 각각이 중심선 L에 대하여 대칭으로 배치되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 크기가 다른 복수의 접촉 대상물(100)에 대하여 보다 확실하게 접촉 가능한 프로브 핀(3)을 실현할 수 있다.

프로브 핀(3)에 의해, 크기가 다른 복수의 검사 대상물의 검사에 적용 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다. 또한, 프로브 핀(3)을 구비한 검사 지그(2)에 의해, 크기가 다른 복수의 검사 대상물의 검사에 적용 가능한 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.

또한, 검사 유닛(1)이, 소켓(20)에 대하여 요동 가능한 상태에서 지지된 요동 부재(40)를 더 구비한다. 이와 같은 구성에 의해, 프로브 핀(3)의 제1 접점부(32) 및 각 제2 접점부(33)에 대한 손상의 발생을 저감할 수 있다.

또한, 본체부(31)는, 탄성부(35), 제1 접촉부(36) 및 제2 접촉부(37)를 갖는 경우에 제한되지 않는다.

예를 들어, 탄성부(35)는, 제1 방향 X로 신축 가능한 사행 형상이어도 된다. 또한, 제1 접촉부(36)의 제1 접점부(32)는, 한 쌍의 돌기(34)로 구성되어 있는 경우에 한하지 않고, 하나의 돌기로 구성되어 있어도 되고, 3 이상의 돌기(34)로 구성되어 있어도 된다.

또한, 예를 들어 제1 접촉부(36)는, 도 5 내지 도 7에 도시하는 바와 같이, 한 쌍의 다리부(81, 82)를 갖고 있어도 된다. 한 쌍의 다리부(81, 82)는, 제1 접촉부(36)의 제1 방향 X의 일단(즉, 본체부(31)의 제1 방향 X의 일단)에 마련되고, 제1 방향 X를 따라 연장함과 함께 제2 방향 Y로 간극(83)을 두고 배치되어 있다. 각 다리부(81, 82)는, 제2 방향 Y에 있어서 대향하는 대향면(811, 821)에 각각 마련되고, 서로 접근하는 방향으로 돌출하는 돌출부(84)를 갖고 있다. 각 돌출부(84)에는, 각 돌기(34)가 마련되고, 제1 접점부(32)를 구성하고 있다. 또한, 각 다리부(81, 82)에 있어서의 제1 방향 X의 선단이, 각 제2 접점부(33)를 구성하고 있다.

제1 접촉부(36)와 접촉 대상물(100)이 접촉한 후, 또한, 프로브 핀(3)을 제1 방향 X를 따라 접촉 대상물(100)을 향하여 이동시킨다. 그러자, 제1 접점부(32)와 접촉 대상물(100)이 접촉한 상태에서, 각 다리부(81, 82)가 제2 방향 Y에 있어서 서로 이격되는 방향으로 탄성 변형하고, 제1 접점부(32)와 접촉 대상물(100) 사이에서 와이핑이 행하여진다. 즉, 도 5 내지 도 7의 프로브 핀(3)에 의하면, 제1 접점부(32) 및 접촉 대상물(100)의 표면에 부착된 이물이 문질러서 제거되어, 프로브 핀(3)의 접촉 대상물(100)에 대한 접촉 신뢰성을 높일 수 있다.

각 다리부(81, 82)는, 제2 접점부(33)를 구성하는 선단의 제1 방향 X에 있어서의 위치가 서로 다르다. 바꾸어 말하면, 한쪽의 다리부(81)의 제2 접점부(33)는, 제1 방향 X에 있어서, 다른 쪽의 다리부(82)의 제2 접점부(33)보다 탄성부(35)로부터 먼 위치에 배치되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 크기가 다른 복수의 접촉 대상물(100)에 대하여 보다 확실하게 접촉 가능한 프로브 핀(3)을 실현할 수 있다.

제2 접촉부(37)는, 제1 접촉부(36)와 동일한 구성의 접점부를 마련해도 되고, 제3 접점부(38)를 복수의 돌기로 구성해도 된다.

이상, 도면을 참조하여 본 개시에 있어서의 여러가지 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로, 본 개시의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 일례로서, 참조 부호도 붙여서 기재한다.

본 개시의 제1 양태의 프로브 핀(3)은,

판상의 본체부(31)와,

상기 본체부(31)의 제1 방향 X의 일단에 마련되고, 상기 일단으로부터 상기 제1 방향 X를 따라 연장하는 제1 접점부(32)와,

상기 본체부(31)의 상기 일단부에 마련되고, 상기 제1 접점부(32)에 있어서의 상기 제1 방향 X 및 상기 본체부(31)의 판 두께 방향으로 교차하는 제2 방향 Y의 양측에 상기 제1 접점부(32)에 대하여 간격을 두고 각각 배치되고, 상기 일단으로부터 상기 제1 방향 X를 따라 상기 제1 접점부(32)보다 상기 본체부(31)로부터 떨어진 위치까지 각각 연장하는 한 쌍의 제2 접점부(33)

를 구비하고,

상기 한 쌍의 제2 접점부(33)의 각각이,

상기 제2 방향 Y에 있어서 서로 대향하여 배치되고, 상기 제1 방향 X를 따라 상기 제1 접점부(32)에 접근하는 접촉 대상물(100)을 상기 제1 접점부(32)를 향하여 안내하는 가이드면(331)을 갖고 있다.

제1 양태의 프로브 핀(3)에 의하면, 크기가 다른 복수의 접촉 대상물(100)에 대하여 보다 확실하게 접촉 가능한 프로브 핀(3)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제2 양태의 프로브 핀(3)은,

상기 제1 접점부(32)가, 상기 제2 방향 Y로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 돌기(34)로 구성되어 있다.

제2 양태의 프로브 핀(3)에 의하면, 크기가 다른 복수의 접촉 대상물(100)에 대하여 보다 확실하게 접촉 가능한 프로브 핀(3)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제3 양태의 프로브 핀(3)은,

상기 한 쌍의 돌기(34)의 각각이, 상기 본체부(31)의 상기 일단에 있어서의 상기 제2 방향 Y의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향 X로 연장하는 중심선 L에 대하여 대칭으로 배치되고,

상기 한 쌍의 제2 접점부(33)의 각각이, 상기 중심선 L에 대하여 대칭으로 배치되어 있다.

제3 양태의 프로브 핀(3)에 의하면, 크기가 다른 복수의 접촉 대상물(100)에 대하여 보다 확실하게 접촉 가능한 프로브 핀(3)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제4 양태의 프로브 핀(3)은,

상기 본체부(31)가,

상기 본체부(31)의 상기 일단에 마련되고, 상기 제1 방향 X를 따라 연장함과 함께, 상기 제2 방향 Y에 간극(83)을 두고 배치된 한 쌍의 다리부(81, 82)를 갖고,

상기 한 쌍의 다리부(81, 82)의 각각이,

상기 제2 방향 Y에 있어서 대향하는 대향면(811, 821)에 마련되고, 서로 접근하는 방향으로 돌출하는 돌출부(84)를 갖고,

상기 한 쌍의 다리부(81, 82)의 각각에 있어서의 상기 돌출부(84)에 상기 한 쌍의 돌기(34)의 각각이 마련되고, 상기 제1 접점부(32)를 구성하고,

상기 한 쌍의 다리부(81, 82)의 각각에 있어서의 상기 제1 방향 X의 선단이, 상기 한 쌍의 제2 접점부(33)의 각각을 구성한다.

제4 양태의 프로브 핀(3)에 의하면, 예를 들어 제1 접촉부(36)와 접촉 대상물(100)이 접촉한 후, 또한, 프로브 핀(3)을 제1 방향 X를 따라 접촉 대상물(100)을 향하여 이동시킨다. 그러자, 제1 접점부(32)와 접촉 대상물(100)이 접촉한 상태에서, 각 다리부(81, 82)가 제2 방향 Y에 있어서 서로 이격되는 방향으로 탄성 변형하고, 제1 접점부(32)와 접촉 대상물(100) 사이에서 와이핑이 행하여진다. 그 결과, 제1 접점부(32) 및 접촉 대상물(100)의 표면에 부착된 이물이 문질러서 제거되어, 프로브 핀(3)의 접촉 대상물(100)에 대한 접촉 신뢰성을 높일 수 있다.

본 개시의 제5 양태의 프로브 핀(3)은,

상기 한 쌍의 다리부(81, 82)의 각각에 있어서의 상기 선단의 상기 제1 방향 X의 위치가, 서로 다르다.

제5 양태의 프로브 핀(3)에 의하면, 크기가 다른 복수의 접촉 대상물(100)에 대하여 보다 확실하게 접촉 가능한 프로브 핀(3)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제6 양태의 검사 지그(2)는,

상기 양태의 프로브 핀(3)과,

상기 제1 접점부(32) 및 상기 한 쌍의 제2 접점부(33) 각각이 외부에 노출된 상태에서 상기 프로브 핀(3)을 수용 가능한 소켓(20)

을 구비한다.

제6 양태의 검사 지그(2)에 의하면, 프로브 핀(3)에 의해, 크기가 다른 복수의 검사 대상물의 검사에 적용 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.

본 개시의 제7 양태의 검사 유닛(1)은,

상기 검사 지그(2)를 적어도 하나 구비한다.

제7 양태의 검사 유닛(1)에 의하면, 검사 지그(2)에 의해, 크기가 다른 복수의 검사 대상물의 검사에 적용 가능한 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.

본 개시의 제8 양태의 검사 유닛(1)은,

상기 소켓(20)에 대하여 요동 가능한 상태에서 지지된 요동 부재(40)를 더 구비하고,

상기 요동 부재(40)가,

상기 요동 부재(40)를 그의 요동 방향으로 관통하고, 상기 프로브 핀(3)의 상기 제1 접점부(32) 및 상기 한 쌍의 제2 접점부(33)를 수용 가능한 수용 구멍(43)을 갖고,

복귀 위치 P1과, 상기 제1 방향 X에 있어서 상기 복귀 위치 P1보다 상기 소켓(20)에 가까운 동작 위치 P2 사이를 요동 가능하게 구성되어 있다.

제8 양태의 검사 유닛(1)에 의하면, 프로브 핀(3)의 제1 접점부(32) 및 각 제2 접점부(33)에 대한 손상의 발생을 저감할 수 있다.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하게 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 다른 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 개시는, 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시 형태에 관련하여 충분히 기재되어 있지만, 이 기술의 숙련된 사람들에 있어서는 다양한 변형이나 수정은 명백하다. 그러한 변형이나 수정은, 첨부한 청구범위에 의한 본 개시의 범위로부터 벗어나지 않는 한에 있어서, 그 중에 포함된다고 이해되어야 한다.

본 개시의 프로브 핀은, 예를 들어 카메라 모듈 등의 BtoB(Business-to-Business) 커넥터를 접속 매체로 하여 구비하는 모듈 및 SOP(Small Outline Package), QFP(Quad Flat Package), BGA(Ball grid array) 등의 반도체 패키지의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.

본 개시의 검사 지그는, 예를 들어 카메라 모듈 등의 BtoB(Business-to-Business) 커넥터를 접속 매체로 하여 구비하는 모듈 및 SOP(Small Outline Package), QFP(Quad Flat Package), BGA(Ball grid array) 등의 반도체 패키지의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.

본 개시의 검사 유닛은, 예를 들어 카메라 모듈 등의 BtoB(Business-to-Business) 커넥터를 접속 매체로 하여 구비하는 모듈 및 SOP(Small Outline Package), QFP(Quad Flat Package), BGA(Ball grid array) 등의 반도체 패키지의 검사에 사용할 수 있다.

1: 검사 유닛
10: 하우징
101: 개구면
103: 선단면
104: 선단 각부
13: 오목부
14: 개구부
15: 수용 홈
2: 검사 지그
20: 소켓
3: 프로브 핀
31: 본체부
32: 제1 접점부
33: 제2 접점부
331: 가이드면
34: 돌기
35: 탄성부
36: 제1 접촉부
361: 접촉부 본체
362: 맞닿음부
37: 제2 접촉부
371: 접촉부 본체
372: 맞닿음부
38: 제3 접점부
40: 요동 부재
41: 판부
411: 외면
42: 벽부
43: 수용 구멍
431: 오목부
432: 관통 구멍
47: 플랜지부
50: 코일 스프링
61, 62, 63, 64: 탄성편
65, 66, 67: 간극
71, 72: 직선부
73: 만곡부
81, 82: 다리부
811, 821: 대향면
83: 간극
84: 돌출부
100: 접촉 대상물
110, 120: 볼록 접점

Claims (8)

1. 판상의 본체부와,
   상기 본체부의 제1 방향의 일단에 마련되고, 상기 일단으로부터 상기 제1 방향을 따라서 연장하는 제1 접점부와,
   상기 본체부의 상기 일단에 마련되고, 상기 제1 접점부에 있어서의 상기 제1 방향 및 상기 본체부의 판 두께 방향에 교차하는 제2 방향의 양측에 상기 제1 접점부에 대하여 간격을 두고 각각 배치되고, 상기 일단으로부터 상기 제1 방향을 따라서 상기 제1 접점부보다 상기 본체부로부터 떨어진 위치까지 각각 연장하는 한 쌍의 제2 접점부를
   구비하고,
   상기 한 쌍의 제2 접점부의 각각이,
   상기 제2 방향에 있어서 서로 대향하여 배치되고, 상기 제1 방향을 따라서 상기 제1 접점부에 접근하는 접촉 대상물을 상기 제1 접점부를 향하여 안내하는 가이드면을 갖고 있는, 프로브 핀.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1 접점부가, 상기 제2 방향으로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 돌기로 구성되어 있는, 프로브 핀.
3. 제2항에 있어서, 상기 한 쌍의 돌기의 각각이, 상기 본체부의 상기 일단에 있어서의 상기 제2 방향의 중심을 통과하고 또한 상기 제1 방향으로 연장하는 중심선에 대하여 대칭으로 배치되고,
   상기 한 쌍의 제2 접점부의 각각이, 상기 중심선에 대하여 대칭으로 배치되어 있는, 프로브 핀.
4. 제2항에 있어서, 상기 본체부가,
   상기 본체부의 상기 일단에 마련되고, 상기 제1 방향을 따라서 연장함과 함께, 상기 제2 방향으로 간극을 두고 배치된 한 쌍의 다리부를 갖고,
   상기 한 쌍의 다리부의 각각이,
   상기 제2 방향에 있어서 대향하는 대향면에 마련되고, 서로 접근하는 방향으로 돌출하는 돌출부를 갖고,
   상기 한 쌍의 다리부의 각각에 있어서의 상기 돌출부에 상기 한 쌍의 돌기의 각각이 마련되어, 상기 제1 접점부를 구성하고,
   상기 한 쌍의 다리부의 각각에 있어서의 상기 제1 방향의 선단이, 상기 한 쌍의 제2 접점부의 각각을 구성하는, 프로브 핀.
5. 제4항에 있어서, 상기 한 쌍의 다리부의 각각에 있어서의 상기 선단의 상기 제1 방향의 위치가, 서로 다른, 프로브 핀.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 프로브 핀과,
   상기 제1 접점부 및 상기 한 쌍의 제2 접점부의 각각이 외부에 노출된 상태에서 상기 프로브 핀을 수용 가능한 소켓
   을 구비하는, 검사 지그.
7. 제6항의 검사 지그를 적어도 하나 구비하는, 검사 유닛.
8. 제7항에 있어서, 상기 소켓에 대하여 요동 가능한 상태에서 지지된 요동 부재를 더 구비하고,
   상기 요동 부재가,
   상기 요동 부재를 그의 요동 방향으로 관통하고, 상기 프로브 핀의 상기 제1 접점부 및 상기 한 쌍의 제2 접점부를 수용 가능한 수용 구멍을 갖고,
   복귀 위치와, 상기 제1 방향에 있어서 상기 복귀 위치보다 상기 소켓에 가까운 동작 위치 사이를 요동 가능하게 구성되어 있는, 검사 유닛.

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