CN210720509U - 探针、检查夹具和检查单元 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供探针、检查夹具和检查单元,该检查夹具具有该探针,该检查单元具有该检查夹具,能够与大小不同的多个接触对象物更加可靠地接触。探针具有:板状的主体部;第1触点部,其设置于主体部的第1方向上的一端;以及一对第2触点部,它们设置于主体部的第1方向上的一端,与第1触点部隔开间隔地分别配置于第1触点部的第2方向上的两侧,并延伸至比第1触点部更远离主体部的位置。各第2触点部具有引导面,该引导面在第2方向上相互地相对配置,朝向第1触点部引导沿着第1方向与第1触点部接近的接触对象物。
Description
技术领域
本实用新型涉及探针(probe pin)、检查夹具和检查单元。
背景技术
在照相机或液晶面板等电子部件模块中,一般而言,在该电子部件模块的制造工序中,进行导通检查和动作特性检查等。这些检查通过使用探针(probe pin)将用于与设置在电子部件模块上的主体基板连接的端子和检查装置的端子连接来进行。
作为这样的探针,存在专利文献1所记载的探针。该探针具有上部针轴、下部针轴和配置在上部针轴和下部针轴之间的螺旋弹簧,在上部针轴的上部侧形成有具有夹入焊球的狭缝构造的末端夹持部。该末端夹持部构成为具有在圆周上隔开间隔配置的多个弹性部件,各弹性部件在半径方向上扩开,由此在各弹性部件之间接受并夹持焊球。
专利文献1:日本特开2001-318119号公报
实用新型内容
在上述探针中,预先确定了能够由末端夹持部夹持的焊球。因此,例如,有时难以使所述探针与比预先确定的焊球小的焊球可靠地接触。
本实用新型的目的在于提供一种能够与大小不同的多个接触对象物更加可靠地接触的探针、具有该探针的检查夹具和具有该检查夹具的检查单元。
本实用新型的一例的探针具有:
板状的主体部;
第1触点部,其设置于所述主体部的第1方向上的一端,从所述一端起沿着所述第1方向延伸;以及
一对第2触点部,它们设置于所述主体部的所述一端,与所述第1触点部隔开间隔分别配置于所述第1触点部的第2方向上的两侧,从所述一端起沿着所述第1方向分别延伸至比所述第1触点部更远离所述主体部的位置,其中所述第2方向与所述第1方向以及所述主体部的板厚方向交叉,
所述一对第2触点部分别具有引导面,该引导面在所述第2方向上相互相对地配置,沿着所述第1方向将要与所述第1触点部接近的接触对象物朝所述第1触点部引导。
此外,本实用新型的一例的检查夹具具有:
所述探针;以及
所述插口,其能够在所述第1触点部和所述一对第2触点部分别在外部露出的状态下收纳所述探针。
此外,本实用新型的一例的检查单元具有至少1个所述检查夹具。
根据所述探针,具有:板状的主体部;第1触点部,其设置于主体部的第1方向上的一端;以及一对第2触点部,它们与第1触点部隔开间隔分别配置于第1触点部的第2方向上的两侧。各第2触点部从主体部的一端起沿着第1方向分别延伸至比第 1触点部更远离主体部的位置,并且具有引导面,该引导面在第2方向上相互相对地配置,沿着第1方向将要与第1触点部接近的接触对象物朝第1触点部引导。根据这样的结构,可以实现能够与大小不同的多个接触对象物更加可靠地接触的探针。
根据所述检查夹具,利用所述探针,可以实现能够应用于大小不同的多个检查对象物的检查的检查夹具。
根据所述检查单元,利用所述检查夹具,可以实现能够应用于大小不同的多个检查对象物的检查的检查单元。
附图说明
图1是示出本实用新型的一个实施方式的探针的立体图。
图2是具有图1的探针的检查单元1的剖视图。
图3是图1的探针的俯视图。
图4是示出图1的探针的第1触点部和第2触点部的放大俯视图。
图5是示出图1的探针的变形例的立体图。
图6是图5的探针的俯视图。
图7是示出图5的探针的第1触点部和第2触点部的放大俯视图。
标号说明
1:检查单元;10:壳体;101:开口面;103:末端面;104:末端角部;13:凹部;14:开口部;15:收纳槽;2:检查夹具;20:插口;3:探针;31:主体部;32:第1触点部;33:第2触点部;331:引导面;34:突起;35:弹性部;36:第1接触部;361:接触部主体;362:抵接部;37:第2接触部;371:接触部主体;372:抵接部;38:第3触点部;40:摆动部件;41:板部;411:外表面;42:壁部;43:收纳孔;431:凹部;432:贯通孔;47:凸缘部;50:螺旋弹簧;61、62、63、64:弹性片;65、66、67:间隙;71、72:直线部;73:弯曲部;81、82:脚部;811、 821:相对面;83:间隙;84:突出部;100:接触对象物;110、120:凸触点。
具体实施方式
以下,参照附图对本实用新型的一例进行说明。另外,在以下的说明中,根据需要使用表示特定的方向或位置的用语(例如,包含“上”、“下”、“右”、“左”的用语),但是这些用语的使用是为了容易参照附图来理解本实用新型,并不是利用这些用语的意思来限定本实用新型的技术范围。此外,以下的说明在本质上不过是例示,意图不在于限制本实用新型、本实用新型的适用物或本实用新型的用途。并且,附图是示意性的,各尺寸的比率等不一定与现实的尺寸的比率等一致。
例如,如图1所示,本实用新型的一个实施方式的探针3呈在第1方向X上细长的薄板状,具有导电性。作为一例,如图2所示,该探针3在被收纳在绝缘性的插口(socket)20中的状态下使用,与插口20一起构成检查夹具2。作为一例,在检查夹具2中收纳有多个探针3。
此外,如图2所示,检查夹具2构成检查单元1的一部分。在该实施方式中,检查单元1具有一对检查夹具2。各检查夹具2配置成后述的探针3的各触点部32、33、 38在从插口20向外部露出的状态下,在与第1方向X以及探针3的板厚方向Z交叉 (例如,垂直)的第2方向Y上相邻。
如图2所示,检查单元1具有:壳体10,其收纳各检查夹具2;以及摆动部件 40,其在能够相对于各检查夹具2的插口20摆动的状态下被支承于壳体10。
如图2所示,作为一例,壳体10为大致长方体状,且具有构成该壳体10的外表面中的1个外表面的大致矩形的开口面101。在壳体10的开口面101的长度方向上的大致中央设置有凹部13,该凹部13具有在开口面101上开口的开口部14。在该凹部13的内部收纳有大致长方体状的插口20。
摆动部件40为绝缘性,并构成为能够与接触对象物(例如,检查对象物或检查装置)100连接(参照图4)。如图2所示,该摆动部件40具有板部41和一对壁部 42,构成为能够在第1方向X上进行摆动。板部41具有大致矩形板状,沿着开口面 101延伸。各壁部42从板部41的与第2方向X相对的一对板面的边缘起在与第1方向X交叉(例如,垂直)的方向上延伸。
板部41具有收纳孔43,该收纳孔43在该板部41的摆动方向(即,第1方向X) 上贯穿摆动部件40的板部41,能够收纳后述的探针3的第1触点部32和第2触点部33。各收纳孔43由在板部41的外表面411侧开口的凹部431和在该凹部431的底面开口的多个贯通孔432构成。在收纳孔43的凹部431中经由各贯通孔432而收纳有各探针3的第1方向X的一端(即,后述的探针3的第1接触部36),限制各探针3的第1方向X的一端向第2方向Y和探针3的板厚方向Z的移动。
各壁部42的第1方向X的末端部被收纳于收纳槽15的内部,该收纳槽15设置于开口面101的凹部13的周围。在各壁部42的末端部设置有凸缘部47,该凸缘部 47从各壁部42起在相互远离的方向上延伸。各凸缘部47配置成能够利用构成收纳槽15的壳体10的内表面,在返回位置P1与动作位置P2之间沿着第1方向X移动。即,能够利用各凸缘部47在第1方向X上的移动范围来确定摆动部件40的摆动范围。另外,返回位置P1是未施加有外力的状态的摆动部件40的位置,动作位置P2 是从第1方向X朝向壳体10施加了外力的状态的摆动部件40的位置,且是在第1 方向X上比返回位置P1更接近插口20的位置。
在收纳槽15的内部设置有螺旋弹簧50。该螺旋弹簧50配置于构成收纳槽15的底面的壳体10的内表面,在第1方向X上并且朝向连接面101对各凸缘部47进行施力。
如图2所示,各插口20在内部具有多个收纳部21(图2中仅示出1个)。各收纳部21具有狭缝状,并构成为能够分别电独立地收纳并保持1个探针3。此外,各收纳部21沿着与第1方向X及第2方向Y交叉的方向(即,图2的贯穿纸面方向) 排列为一列并且等间隔地配置。
如图3所示,各探针3具有:板状的主体部31;以及第1触点部32和第2触点部33,它们设置于该主体部31的第1方向X的一端。作为一例,各探针3是通过电铸法来形成的。
作为一例,主体部31具有:弹性部35,其沿着第1方向X伸缩;第1接触部 36,其设置于弹性部35的第1方向X上的一端;以及第2接触部37,其设置于弹性部35的第1方向X上的另一端。弹性部35、第1接触部36和第2接触部37沿着第 1方向X串联配置并且构成为一体。
弹性部35具有相互隔开间隙65、66、67配置的多个弹性片(在该实施方式中, 4个弹性片)61、62、63、64。作为一例,各弹性片61、62、63、64呈细长的带状,由2个直线部71、72和将这些直线部71、72连接的弯曲部73构成。另外,作为一例,各弹性片61、62、63、64具有大致相同的截面形状。
第1接触部36具有:接触部主体361,其沿着第1方向X延伸;以及抵接部362,其从接触部主体361起在第2方向Y上延伸。在接触部主体361的第1方向X上的远离弹性部35的端部设置有第1触点部32和第2触点部33。此外,在接触部主体 361的第1方向X上的接近弹性部35的端部连接有弹性部35的第1方向X上的一端。抵接部362配置于接触部主体361的第1方向X上的弹性部35一侧的端部。
第2接触部37具有:接触部主体371,其沿着第1方向X延伸;以及抵接部372,其从接触部主体371起在第2方向Y上延伸。在接触部主体371的第1方向X上的远离弹性部35的端部设置有第3触点部38。此外,在接触部主体371的第1方向X 上的接近弹性部35的端部连接有弹性部35的第1方向X上的另一端。抵接部372 配置于接触部主体371的第1方向X上的弹性部35一侧的端部。
如图3所示,第1接触部36的接触部主体361和第2接触部37的接触部主体 371分别配置于假想直线L上,该假想直线L通过第1接触部36的接触部主体361 在第2方向Y上的中心并且在第1方向X上延伸。此外,弹性部35和各抵接部362、 372分别相对于假想直线L,配置于第2方向Y上的相同侧。即,弹性部35在第1 方向X上配置于各抵接部362、372之间。
如图2所示,构成为在插口20的各收纳部21中收纳有探针3的状态下,第1 接触部36的抵接部362和第2接触部37的抵接部372分别在第1方向X上与构成收纳部21的插口20的内表面抵接。即,利用各抵接部362、372来定位第1方向X 上的探针3的各触点部32、33、38的位置。
接着,参照图4,更加详细地说明第1触点部32和第2触点部33。
第1触点部32设置于第1接触部36的接触部主体361在第1方向X上的一端(即,主体部31的第1方向X上的一端),从接触部主体361的第1方向X上的一端起沿着第1方向X延伸。详细而言,第1触点部32由在第2方向Y上隔开间隔配置的一对突起34构成。各突起34关于中心线(即,假想直线L)对称地配置,该中心线通过接触部主体361的第1方向X上的一端在第2方向Y上的中心并且在第1 方向上延伸。
另外,在摆动部件40位于返回位置P1的状态的检查单元1中,探针3的第1 触点部32配置于在第1方向X上比摆动部件40的板部41的外表面411更接近插口 20(或者,壳体10的开口面101)的位置。即,构成为在摆动部件40位于返回位置 P1时,探针3的第1触点部32配置于收纳孔43的内部,难以因外力而损伤。
第2触点部33设置于接触部主体361的第1方向X上的一端,并分别配置于第 1触点部32的第2方向Y上的两侧,并形成对。一对第2触点部33分别与第1触点部32隔开间隔,关于假想直线L对称地配置。各第2触点部33分别从接触部主体 361的第1方向X上的一端起沿着第1方向X延伸至比第1触点部32更远离主体部 31的位置。
各第2触点部33具有引导面331,该引导面331在第2方向Y上相互相对地配置,沿着第1方向X将要与第1触点部32接近的接触对象物100朝向第1触点部32 引导。作为一例,各引导面331由为第1方向X并且朝向弹性部35稍微凹陷的弯曲面构成。
接触对象物100是凸触点110,该凸触点110具有第2方向Y上的尺寸(即,宽度尺寸),能够从第1方向X与构成第1触点部32的一对突起34双方同时接触。该情况下,在探针3接近凸触点110时(或者,凸触点110接近探针3时),即使探针 3相对于凸触点110的第2方向Y上的位置发生偏离,只要凸触点110位于能够与各引导面331接触的位置,则探针3被朝向凸触点110引导。其结果,一对突起34分别与凸触点110的末端面103同时接触。
此外,接触对象物100是具有无法从第1方向与一对突起34双方同时接触的宽度尺寸的凸触点120。该情况下,如果凸触点120的宽度尺寸小于第1接触部36的宽度尺寸,则一对第2触点部33分别与凸触点120的第2方向Y上的两端的末端角部104同时接触。
这样,根据探针3,具有:板状的主体部31;第1触点部32,其设置于主体部31的第1方向X上的一端;以及一对第2触点部33,它们与第1触点部32隔开间隔分别配置于第1触点部32的第2方向Y上的两侧。各第2触点部33从主体部31 的一端起沿着第1方向X分别延伸至比第1触点部32更远离主体部31的位置,并且具有引导面331,该引导面331在第2方向Y上相互相对地配置,沿着第1方向X 将要与第1触点部32接近的接触对象物100朝向第1触点部32引导。根据这样的结构,可以实现能够与大小不同的多个接触对象物100更加可靠地接触的探针3。
此外,第1触点部32由在第2方向Y上隔开间隔地配置的一对突起34构成。根据这样的结构,可以实现能够与大小不同的多个接触对象物100更加可靠地接触的探针3。
一对突起34分别关于中心线L对称地配置,一对第2触点部33分别关于中心线 L对称地配置。根据这样的结构,可以实现能够与大小不同的多个接触对象物100更加可靠地接触的探针3。
利用探针3,可以实现能够应用于大小不同的多个检查对象物的检查的检查夹具2。此外,利用具有探针3的检查夹具2,可以实现能够应用于大小不同的多个检查对象物的检查的检查单元1。
此外,检查单元1还具有摆动部件40,该摆动部件40被支承成能够相对于插口 20摆动的状态。根据这样的结构,能够减少对探针3的第1触点部32和各第2触点部33的损伤的产生。
另外,主体部31不限于具有弹性部35、第1接触部36和第2接触部37的情况。
例如,弹性部35也可以是能够在第1方向X上伸缩的蛇行形状。此外,第1接触部36的第1触点部32不限于由一对突起34构成的情况,也可以由1个突起构成,还可以由3个以上的突起34构成。
此外,例如,如图5~图7所示,第1接触部36也可以具有一对脚部81、82。一对脚部81、82设置于第1接触部36的第1方向X上的一端(即,主体部31的第 1方向X上的一端),沿着第1方向X延伸并且在第2方向Y上隔开间隙83配置。各脚部81、82具有突出部84,该突出部84分别设置于在第2方向Y上相对的相对面811、821,并朝相互接近的方向突出。在各突出部84上设置有各突起34,构成第 1触点部32。此外,各脚部81、82的第1方向X上的末端构成各第2触点部33。
在第1接触部36与接触对象物100接触之后,进一步使探针3沿着第1方向X 朝接触对象物100移动。于是,在第1触点部32与接触对象物100接触的状态下,各脚部81、82在第2方向Y上朝相互分离的方向进行弹性变形,在第1触点部32 与接触对象物100之间进行擦拭(wiping)。即,根据图5~图7的探针3,可擦掉附着于第1触点部32和接触对象物100的表面的异物,能够提高探针3与接触对象物 100的接触可靠性。
在各脚部81、82中,构成第2触点部33的末端在第1方向X上的位置相互不同。换言之,一个脚部81的第2触点部33在第1方向X上配置于比另一个脚部82 的第2触点部33更远离弹性部35的位置。根据这样的结构,可以实现能够与大小不同的多个接触对象物100更加可靠地接触的探针3。
第2接触部37可以设置有与第1接触部36相同的结构的触点部,也可以由多个突起构成第3触点部38。
以上,参照附图详细地说明了本实用新型中的各种实施方式,但是,最后说明本实用新型的各种方式。另外,在以下的说明中,作为一例,也标注参考标记进行记载。
本实用新型的第1方式的探针3具有:
板状的主体部31;
第1触点部32,其设置于所述主体部31的第1方向X上的一端,从所述一端起沿着所述第1方向X延伸;以及
一对第2触点部33,它们设置于所述主体部31的所述一端,与所述第1触点部 32隔开间隔分别配置于所述第1触点部32的第2方向Y上的两侧,从所述一端起沿着所述第1方向X分别延伸至比所述第1触点部32更远离所述主体部31的位置,其中所述第2方向Y与所述第1方向X以及所述主体部31的板厚方向交叉,
所述一对第2触点部33分别具有引导面,该引导面在所述第2方向Y上相互相对地配置,沿着所述第1方向X将要与所述第1触点部32接近的接触对象物100朝所述第1触点部32引导。
根据第1方式的探针3,可以实现能够与大小不同的多个接触对象物100更加可靠地接触的探针3。
在本实用新型的第2方式的探针3中,所述第1触点部32由在所述第2方向Y 上隔开间隔配置的一对突起34构成。
根据第2方式的探针3,可以实现能够与大小不同的多个接触对象物100更加可靠地接触的探针3。
在本实用新型的第3方式的探针3中,所述一对突起34分别关于中心线L对称地配置,其中所述中心线L通过所述主体部31的所述一端在所述第2方向Y上的中心并且在所述第1方向X上延伸,所述一对第2触点部33分别关于所述中心线L对称地配置。
根据第3方式的探针3,可以实现能够与大小不同的多个接触对象物100更加可靠地接触的探针3。
在本实用新型的第4方式的探针3中,所述主体部31具有一对脚部81、82,该一对脚部81、82设置于所述主体部31的所述一端,沿着所述第1方向X延伸,并且在所述第2方向Y上隔开间隙83配置,所述一对脚部81、82分别具有突出部84,该突出部84设置于在所述第2方向Y上相对的相对面811、821,朝相互接近的方向突出,在所述一对脚部81、82各自的所述突出部84上分别设置有所述一对突起34,构成所述第1触点部32,
所述一对脚部81、82各自的所述第1方向X上的末端构成所述一对第2触点部 33中的各个第2触点部33。
根据第4方式的探针3,例如,在第1接触部36与接触对象物100接触之后,再使探针3沿着第1方向X朝接触对象物100移动。于是,在第1触点部32与接触对象物100接触的状态下,各脚部81、82在第2方向Y上沿相互分离的方向进行弹性变形,在第1触点部32与接触对象物100之间进行擦拭。其结果,可擦掉附着于第1触点部32和接触对象物100的表面的异物,能够提高探针3与接触对象物100 的接触可靠性。
在本实用新型的第5方式的探针3中,所述一对脚部81、82各自的所述末端在所述第1方向X上的位置相互不同。
根据第5方式的探针3,可以实现能够与大小不同的多个接触对象物100更加可靠地接触的探针3。
本实用新型的第6方式的检查夹具2具有:
所述方式的探针3;以及
插口20,其能够在所述第1触点部32和所述一对第2触点部33分别在外部露出的状态下收纳所述探针3。
根据第6方式的检查夹具2,利用探针3,可以实现能够应用于大小不同的多个检查对象物的检查的检查夹具2。
本实用新型的第7方式的检查单元1具有至少一个所述检查夹具2。
根据第7方式的检查单元1,利用检查夹具2,可以实现能够应用于大小不同的多个检查对象物的检查的检查单元1。
在本实用新型的第8方式的检查单元1中,所述检查单元1还具有摆动部件40,该摆动部件40被支承成能够相对于所述插口20摆动的状态,
所述摆动部件40具有收纳孔43,该收纳孔43在所述摆动部件40的摆动方向上贯穿所述摆动部件40,能够收纳所述探针3的所述第1触点部32和所述一对第2触点部33,
所述摆动部件40构成为能够在返回位置P1与动作位置P2之间进行摆动,其中所述动作位置P2在所述第1方向X上比所述返回位置P1更接近所述插口20。
根据第8方式的检查单元1,能够减少对探针3的第1触点部32和各第2触点部33的损伤的产生。
另外,通过适当组合所述各种实施方式或变形例中的任意的实施方式或变形例,能够起到各自具有的效果。此外,能够进行实施方式彼此的组合或实施例彼此的组合或实施方式与实施例的组合,并且,还能够进行不同实施方式或实施例中的特征彼此的组合。
本实用新型的探针例如能够应用于检查夹具,该检查夹具用于照相机模块等具有BtoB(Business-to-Business:企业对企业)连接器作为连接介质的模块和SOP(SmallOutline Package:小外形封装)、QFP(Quad Flat Package:四方扁平封装)、BGA(Ball gridarray:球栅阵列)等半导体封装的检查。
本实用新型的检查夹具例如能够应用于检查单元,该检查单元用于照相机模块等具有BtoB(Business-to-Business:企业对企业)连接器作为连接介质的模块和SOP (SmallOutline Package:小外形封装)、QFP(Quad Flat Package:四方扁平封装)、 BGA(Ballgrid array:球栅阵列)等半导体封装的检查。
本实用新型的检查单元例如能够用于照相机模块等具有BtoB (Business-to-Business:企业对企业)连接器作为连接介质的模块和SOP(Small Outline Package:小外形封装)、QFP(Quad Flat Package:四方扁平封装)、BGA(Ball grid array:球栅阵列)等半导体封装的检查。
Claims (8)
1.一种探针,其特征在于,其具有:
板状的主体部;
第1触点部,其设置于所述主体部的第1方向上的一端,从所述一端起沿着所述第1方向延伸;以及
一对第2触点部,它们设置于所述主体部的所述一端,与所述第1触点部隔开间隔分别配置于所述第1触点部的第2方向上的两侧,所述一对第2触点部从所述一端起沿着所述第1方向分别延伸至比所述第1触点部更远离所述主体部的位置,其中所述第2方向与所述第1方向以及所述主体部的板厚方向交叉,
所述一对第2触点部分别具有引导面,该引导面在所述第2方向上相互相对地配置,沿着所述第1方向将要与所述第1触点部接近的接触对象物朝所述第1触点部引导。
2.根据权利要求1所述的探针,其特征在于,
所述第1触点部由在所述第2方向上隔开间隔配置的一对突起构成。
3.根据权利要求2所述的探针,其特征在于,
所述一对突起分别关于中心线对称地配置,其中所述中心线通过所述主体部的所述一端在所述第2方向上的中心并且在所述第1方向上延伸,
所述一对第2触点部分别关于所述中心线对称地配置。
4.根据权利要求2所述的探针,其特征在于,
所述主体部具有一对脚部,该一对脚部设置于所述主体部的所述一端,沿着所述第1方向延伸,并且在所述第2方向上隔开间隙配置,
所述一对脚部分别具有突出部,该突出部设置于在所述第2方向上相对的相对面,朝相互接近的方向突出,
在所述一对脚部各自的所述突出部上分别设置有所述一对突起,构成所述第1触点部,
所述一对脚部各自的所述第1方向上的末端构成所述一对第2触点部中的各个第2触点部。
5.根据权利要求4所述的探针,其特征在于,
所述一对脚部各自的所述末端在所述第1方向上的位置相互不同。
6.一种检查夹具,其特征在于,其具有:
权利要求1至5中的任意一项所述的探针;以及
插口,其能够在所述第1触点部和所述一对第2触点部分别在外部露出的状态下收纳所述探针。
7.一种检查单元,其特征在于,其具有至少一个权利要求6所述的检查夹具。
8.根据权利要求7所述的检查单元,其特征在于,
所述检查单元还具有摆动部件,该摆动部件被支承成能够相对于所述插口摆动的状态,
所述摆动部件具有收纳孔,该收纳孔在所述摆动部件的摆动方向上贯穿所述摆动部件,并能够收纳所述探针的所述第1触点部和所述一对第2触点部,
所述摆动部件构成为能够在返回位置与动作位置之间摆动,其中所述动作位置在所述第1方向上比所述返回位置更接近所述插口。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
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