JP7306082B2 - プローブピン、検査治具および検査ユニット - Google Patents

Description

本開示は、プローブピン、検査治具および検査ユニットに関する。

カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板に接続するための端子と、検査装置の端子とを接続することにより行われる。

このようなプローブピンとしては、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、上部プランジャと、下部プランジャと、上部プランジャおよび下部プランジャの間に配置されたコイルバネとを備え、上部プランジャの上部側に、半田ボールを挟み込むスリット構造を有する先端挟持部が形成されている。この先端挟持部は、円周上に間隔を空けて配置された複数の弾性部材を有し、各弾性部材が半径方向に拡開されることで、その間に半田ボールを受け入れて挟持するように構成されている。

特開２００１－３１８１１９号公報

前記プローブピンでは、先端挟持部で挟持可能な半田ボールが予め定められる。このため、例えば、予め定められた半田ボールよりも小さい半田ボールに対して、前記プローブピンを確実に接触させることが難しい場合がある。

本開示は、大きさの異なる複数の接触対象物に対してより確実に接触可能なプローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、および、この検査治具を備えた検査ユニットを提供することを目的とする。

本開示の一例のプローブピンは、
板状の本体部と、
前記本体部の第１方向の一端に設けられ、前記一端から前記第１方向に沿って延びる第１接点部と、
前記本体部の前記一端に設けられ、前記第１接点部における前記第１方向および前記本体部の板厚方向に交差する第２方向の両側に前記第１接点部に対して間隔を空けてそれぞれ配置され、前記一端から前記第１方向に沿って前記第１接点部よりも前記本体部から離れた位置までそれぞれ延びる一対の第２接点部と
を備え、
前記一対の第２接点部の各々が、
前記第２方向において相互に対向して配置され、前記第１方向に沿って前記第１接点部に接近する接触対象物を前記第１接点部に向かって案内するガイド面を有している。

また、本開示の一例の検査治具は、
前記プローブピンと、
前記第１接点部および前記一対の第２接点部の各々が外部に露出した状態で前記プローブピンを収容可能な前記ソケットと
を備える。

また、本開示の一例の検査ユニットは、
前記検査治具を少なくとも１つ備える。

前記プローブピンによれば、板状の本体部と、本体部の第１方向の一端に設けられた第１接点部と、第１接点部における第２方向の両側に第１接点部に対して間隔を空けてそれぞれ配置された一対の第２接点部とを備える。各第２接点部は、本体部の一端から第１方向に沿って第１接点部よりも本体部から離れた位置までそれぞれ延びていると共に、第２方向において相互に対向して配置され、第１方向に沿って第１接点部に接近する接触対象物を第１接点部に向かって案内するガイド面を有している。このような構成により、大きさの異なる複数の接触対象物に対してより確実に接触可能なプローブピンを実現できる。

前記検査治具によれば、前記プローブピンにより、大きさの異なる複数の検査対象物の検査に適用可能な検査治具を実現できる。

前記検査ユニットによれば、前記検査治具により、大きさの異なる複数の検査対象物の検査に適用可能な検査ユニットを実現できる。

本開示の一実施形態のプローブピンを示す斜視図。 図１のプローブピンを備えた検査ユニット１の断面図。 図１のプローブピンの平面図。 図１のプローブピンの第１接点部および第２接点部を示す拡大平面図。 図１のプローブピンの変形例を示す斜視図。 図５のプローブピンの平面図。 図５のプローブピンの第１接点部および第２接点部を示す拡大平面図。

以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

本開示の一実施形態のプローブピン３は、例えば、図１に示すように、第１方向Xに細長い薄板状で導電性を有している。このプローブピン３は、一例として、図２に示すように、絶縁性のソケット２０に収容された状態で使用され、ソケット２０と共に検査治具２を構成する。検査治具２には、一例として、複数のプローブピン３が収容されている。

また、図２に示すように、検査治具２は、検査ユニット１の一部を構成している。この実施形態では、検査ユニット１は、一対の検査治具２を有している。各検査治具２は、後述するプローブピン３の各接点部３２、３３、３８が、ソケット２０から外部に露出した状態で、第１方向Ｘおよびプローブピン３の板厚方向Ｚに交差（例えば、直交）する第２方向Ｙに隣接するように配置されている。

検査ユニット１は、図２に示すように、各検査治具２を収容するハウジング１０と、各検査治具２のソケット２０に対して揺動可能な状態でハウジング１０に支持された揺動部材４０とを備えている。

ハウジング１０は、図２に示すように、一例として、略直方体状で、その外面の１つを構成する略矩形状の開口面１０１を有している。ハウジング１０の開口面１０１の長手方向の略中央には、開口面１０１に開口する開口部１４を有する凹部１３が設けられている。この凹部１３の内部に、略直方体状のソケット２０が収容されている。

揺動部材４０は、絶縁性で、接触対象物（例えば、検査対象物または検査装置）１００に接続可能に構成されている（図４参照）。この揺動部材４０は、図２に示すように、板部４１と、一対の壁部４２とを有し、第１方向Ｘに揺動可能に構成されている。板部４１は、略矩形板状を有し、開口面１０１に沿って延びている。各壁部４２は、板部４１の第２方向Ｘに対向する一対の板面の辺縁から、第１方向Ｘに交差（例えば、直交）する方向に延びている。

板部４１は、揺動部材４０の板部４１をその揺動方向（すなわち、第１方向Ｘ）に貫通して、後述するプローブピン３の第１接点部３２および第２接点部３３を収容可能な収容孔４３を有している。各収容孔４３は、板部４１の外面４１１側に開口した凹部４３１と、この凹部４３１の底面に開口した複数の貫通孔４３２とで構成されている。収容孔４３の凹部４３１には、各貫通孔４３２を介して各プローブピン３の第１方向Ｘの一端（すなわち、後述するプローブピン３の第１接触部３６）が収容され、各プローブピン３の第１方向Ｘの一端における第２方向Ｙおよびプローブピン３の板厚方向Ｚへの移動が規制されている。

各壁部４２は、その第１方向Ｘの先端部が、開口面１０１の凹部１３まわりに設けられた収容溝１５の内部に収容されている。各壁部４２の先端部には、各壁部４２から相互に離れる方向に延びるフランジ部４７が設けられている。各フランジ部４７は、収容溝１５を構成するハウジング１０の内面によって、復帰位置Ｐ１と動作位置Ｐ２との間を第１方向Ｘに沿って移動可能に配置されている。すなわち、揺動部材４０の揺動範囲は、各フランジ部４７の第１方向Ｘにおける移動範囲により定められる。なお、復帰位置Ｐ１は、外力が加えられていない状態の揺動部材４０の位置であり、動作位置Ｐ２は、第１方向Ｘからハウジング１０に向かって外力が加えた状態の揺動部材４０の位置であり、第１方向Ｘにおいて復帰位置Ｐ１よりもソケット２０に近い位置である。

収容溝１５の内部には、コイルばね５０が設けられている。このコイルばね５０は、収容溝１５の底面を構成するハウジング１０の内面に配置され、各フランジ部４７を第１方向Ｘでかつ接続面１０１に向かって付勢している。

各ソケット２０は、図２に示すように、その内部に複数の収容部２１（図２には、１つのみ示す）を有している。各収容部２１は、スリット状を有し、それぞれ１つのプローブピン３を電気的に独立して収容可能かつ保持可能に構成されている。また、各収容部２１は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに交差する方向（すなわち、図２の紙面貫通方向）に沿って一列に並んでかつ等間隔に配置されている。

各プローブピン３は、図３に示すように、板状の本体部３１と、この本体部３１の第１方向Ｘの一端に設けられた第１接点部３２および第２接点部３３とを備えている。各プローブピン３は、一例として、電鋳法で形成されている。

本体部３１は、一例として、第１方向Ｘに沿って伸縮する弾性部３５と、弾性部３５における第１方向Ｘの一端に設けられた第１接触部３６と、弾性部３５における第１方向Ｘの他端に設けられた第２接触部３７とを有している。弾性部３５、第１接触部３６および第２接触部３７は、第１方向Ｘに沿って直列的に配置されかつ一体に構成されている。

弾性部３５は、相互に隙間６５、６６、６７を空けて配置された複数の弾性片（この実施形態では、４つの弾性片）６１、６２、６３、６４を有している。各弾性片６１、６２、６３、６４は、一例として、細長い帯状で、２つの直線部７１、７２と、これらの直線部７１、７２を接続する湾曲部７３とで構成されている。なお、各弾性片６１、６２、６３、６４は、一例として、略同一の断面形状を有している。

第１接触部３６は、第１方向Ｘに沿って延びる接触部本体３６１と、接触部本体３６１から第２方向Ｙに延びる当接部３６２とを有している。接触部本体３６１の第１方向Ｘにおける弾性部３５から遠い端部には、第１接点部３２および第２接点部３３が設けられている。また、接触部本体３６１の第１方向Ｘにおける弾性部３５に近い端部には、弾性部３５の第１方向Ｘの一端が接続されている。当接部３６２は、接触部本体３６１の第１方向Ｘにおける弾性部３５側の端部に配置されている。

第２接触部３７は、第１方向Ｘに沿って延びる接触部本体３７１と、接触部本体３７１から第２方向Ｙに延びる当接部３７２とを有している。接触部本体３７１の第１方向Ｘにおける弾性部３５から遠い端部には、第３接点部３８が設けられている。また、接触部本体３７１の第１方向Ｘにおける弾性部３５に近い端部には、弾性部３５の第１方向Ｘの他端が接続されている。当接部３７２は、接触部本体３７１の第１方向Ｘにおける弾性部３５側の端部に配置されている。

図３に示すように、第１接触部３６の接触部本体３６１および第２接触部３７の接触部本体３７１の各々は、第１接触部３６の接触部本体３６１における第２方向Ｙの中心を通りかつ第１方向Ｘに延びる仮想直線Ｌ上に配置されている。また、弾性部３５および各当接部３６２、３７２の各々は、仮想直線Ｌに対して第２方向Ｙにおける同じ側に配置されている。すなわち、弾性部３５は、第１方向Ｘにおいて、各当接部３６２、３７２の間に配置されている。

図２に示すように、ソケット２０の各収容部２１にプローブピン３を収容した状態では、第１接触部３６の当接部３６２および第２接触部３７の当接部３７２の各々は、第１方向Ｘにおいて収容部２１を構成するソケット２０の内面に当接するように構成されている。すなわち、各当接部３６２、３７２により、第１方向Ｘにおけるプローブピン３の各接点部３２、３３、３８の位置が決められている。

次に、図４を参照して、第１接点部３２および第２接点部３３をより詳細に説明する。

第１接点部３２は、第１接触部３６の接触部本体３６１における第１方向Ｘの一端（すなわち、本体部３１の第１方向Ｘの一端）に設けられ、接触部本体３６１の第１方向Ｘの一端から第１方向Ｘに沿って延びている。詳しくは、第１接点部３２は、第２方向Ｙに間隔を空けて配置された一対の突起３４で構成されている。各突起３４は、接触部本体３６１の第１方向Ｘの一端における第２方向Ｙの中心を通りかつ第１方向に延びる中心線（すなわち、仮想直線Ｌ）に対して対称に配置されている。

なお、揺動部材４０が復帰位置Ｐ１に位置している状態の検査ユニット１において、プローブピン３の第１接点部３２が、第１方向Ｘにおいて、揺動部材４０の板部４１の外面４１１よりもソケット２０（あるいは、ハウジング１０の開口面１０１）の近くに配置されている。すなわち、揺動部材４０が復帰位置Ｐ１に位置しているとき、プローブピン３の第１接点部３２は、収容孔４３の内部に配置されて、外力によって損傷し難いように構成されている。

第２接点部３３は、接触部本体３６１の第１方向Ｘの一端に設けられ、第１接点部３２の第２方向Ｙの両側にそれぞれ配置されて、対をなしている。一対の第２接点部３３の各々は、第１接点部３２に対して間隔を空けて、仮想直線Ｌに対して対称に配置されている。各第２接点部３３は、接触部本体３６１の第１方向Ｘの一端から第１方向Ｘに沿って第１接点部３２よりも本体部３１から離れた位置までそれぞれ延びている。

各第２接点部３３は、第２方向Ｙにおいて相互に対向して配置され、第１方向Ｘに沿って第１接点部３２に接近する接触対象物１００を第１接点部３２に向かって案内するガイド面３３１を有している。各ガイド面３３１は、一例として、第１方向Ｘでかつ弾性部３５に向かって僅かに窪んだ湾曲面で構成されている。

接触対象物１００が、第１接点部３２を構成する一対の突起３４の両方に第１方向Xから同時に接触可能な第２方向Yの寸法（すなわち、幅寸法）を有する凸接点１１０であったとする。この場合、プローブピン３が凸接点１１０に接近する際（あるいは、凸接点１１０がプローブピン３に接近する際）に、プローブピン３の凸接点１１０に対する第２方向Yの位置がずれていたとしても、凸接点１１０が各ガイド面３３１に接触可能な位置であれば、プローブピン３は凸接点１１０に向かって案内される。その結果、一対の突起３４の各々が、凸接点１１０の先端面１０３に対して同時に接触する。

また、接触対象物１００が、一対の突起３４の両方に第１方向Xから同時に接触不可能な幅寸法を有する凸接点１２０であったとする。この場合、凸接点１２０の幅寸法が第１接触部３６の幅寸法よりも小さければ、一対の第２接点部３３の各々が、凸接点１２０の第２方向Yにおける両方の先端角部１０４に対して同時に接触する。

このように、プローブピン３によれば、板状の本体部３１と、本体部３１の第１方向Xの一端に設けられた第１接点部３２と、第１接点部３２における第２方向Yの両側に第１接点部３２に対して間隔を空けてそれぞれ配置された一対の第２接点部３３とを備える。各第２接点部３３は、本体部３１の一端から第１方向Xに沿って第１接点部３２よりも本体部３１から離れた位置までそれぞれ延びていると共に、第２方向Yにおいて相互に対向して配置され、第１方向Xに沿って第１接点部３２に接近する接触対象物１００を第１接点部３２に向かって案内するガイド面３３１を有している。このような構成により、大きさの異なる複数の接触対象物１００に対してより確実に接触可能なプローブピン３を実現できる。

また、第１接点部３２が、第２方向Ｙに間隔を空けて配置された一対の突起３４で構成されている。このような構成により、大きさの異なる複数の接触対象物１００に対してより確実に接触可能なプローブピン３を実現できる。

一対の突起３４の各々が中心線Ｌに対して対称に配置され、一対の第２接点部３３の各々が中心線Ｌに対して対称に配置されている。このような構成により、大きさの異なる複数の接触対象物１００に対してより確実に接触可能なプローブピン３を実現できる。

プローブピン３により、大きさの異なる複数の検査対象物の検査に適用可能な検査治具２を実現できる。また、プローブピン３を備えた検査治具２により、大きさの異なる複数の検査対象物の検査に適用可能な検査ユニット１を実現できる。

また、検査ユニット１が、ソケット２０に対して揺動可能な状態で支持された揺動部材４０をさらに備える。このような構成により、プローブピン３の第１接点部３２および各第２接点部３３に対する損傷の発生を低減できる。

なお、本体部３１は、弾性部３５、第１接触部３６および第２接触部３７を有する場合に限らない。

例えば、弾性部３５は、第１方向Ｘに伸縮可能な蛇行形状であってもよい。また、第１接触部３６の第１接点部３２は、一対の突起３４で構成されている場合に限らず、１つの突起で構成されていてもよいし、３以上の突起３４で構成されていてもよい。

また、例えば、第１接触部３６は、図５～図７に示すように、一対の脚部８１、８２を有していてもよい。一対の脚部８１、８２は、第１接触部３６の第１方向Ｘの一端（すなわち、本体部３１の第１方向Ｘの一端）に設けられ、第１方向Ｘに沿って延びると共に第２方向Ｙに隙間８３を空けて配置されている。各脚部８１、８２は、第２方向Ｙにおいて対向する対向面８１１、８２１にそれぞれ設けられ、相互に接近する方向に突出する突出部８４を有している。各突出部８４には、各突起３４が設けられ、第１接点部３２を構成している。また、各脚部８１、８２における第１方向Ｘの先端が、各第２接点部３３を構成している。

第１接触部３６と接触対象物１００とが接触した後、さらに、プローブピン３を第１方向Ｘに沿って接触対象物１００に向かって移動させる。すると、第１接点部３２と接触対象物１００とが接触した状態で、各脚部８１、８２が第２方向Ｙにおいて相互に離れる方向に弾性変形し、第１接点部３２と接触対象物１００との間でワイピングが行われる。すなわち、図５～図７のプローブピン３によれば、第１接点部３２および接触対象物１００の表面に付着した異物が擦り取られ、プローブピン３の接触対象物１００に対する接触信頼性を高めることができる。

各脚部８１、８２は、第２接点部３３を構成する先端の第１方向Ｘにおける位置が相互に異なっている。言い換えると、一方の脚部８１の第２接点部３３は、第１方向Ｘにおいて、他方の脚部８２の第２接点部３３よりも弾性部３５から遠い位置に配置されている。このような構成により、大きさの異なる複数の接触対象物１００に対してより確実に接触可能なプローブピン３を実現できる。

第２接触部３７は、第１接触部３６と同じ構成の接点部を設けてもよいし、第３接点部３８を複数の突起で構成してもよい。

以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。

本開示の第１態様のプローブピン３は、
板状の本体部３１と、
前記本体部３１の第１方向Ｘの一端に設けられ、前記一端から前記第１方向Ｘに沿って延びる第１接点部３２と、
前記本体部３１の前記一端に設けられ、前記第１接点部３２における前記第１方向Ｘおよび前記本体部３１の板厚方向に交差する第２方向Ｙの両側に前記第１接点部３２に対して間隔を空けてそれぞれ配置され、前記一端から前記第１方向Ｘに沿って前記第１接点部３２よりも前記本体部３１から離れた位置までそれぞれ延びる一対の第２接点部３３と
を備え、
前記一対の第２接点部３３の各々が、
前記第２方向Ｙにおいて相互に対向して配置され、前記第１方向Ｘに沿って前記第１接点部３２に接近する接触対象物１００を前記第１接点部３２に向かって案内するガイド面３３１を有している。

第１態様のプローブピン３によれば、大きさの異なる複数の接触対象物１００に対してより確実に接触可能なプローブピン３を実現できる。

本開示の第２態様のプローブピン３は、
前記第１接点部３２が、前記第２方向Ｙに間隔を空けて配置された一対の突起３４で構成されている。

第２態様のプローブピン３によれば、大きさの異なる複数の接触対象物１００に対してより確実に接触可能なプローブピン３を実現できる。

本開示の第３態様のプローブピン３は、
前記一対の突起３４の各々が、前記本体部３１の前記一端における前記第２方向Ｙの中心を通りかつ前記第１方向Ｘに延びる中心線Ｌに対して対称に配置され、
前記一対の第２接点部３３の各々が、前記中心線Ｌに対して対称に配置されている。

第３態様のプローブピン３によれば、大きさの異なる複数の接触対象物１００に対してより確実に接触可能なプローブピン３を実現できる。

本開示の第４態様のプローブピン３は、
前記本体部３１が、
前記本体部３１の前記一端に設けられ、前記第１方向Ｘに沿って延びると共に、前記第２方向Ｙに隙間８３を空けて配置された一対の脚部８１、８２を有し、
前記一対の脚部８１、８２の各々が、
前記第２方向Ｙにおいて対向する対向面８１１、８２１に設けられ、相互に接近する方向に突出する突出部８４を有し、
前記一対の脚部８１、８２の各々における前記突出部８４に前記一対の突起３４の各々が設けられ、前記第１接点部３２を構成し、
前記一対の脚部８１、８２の各々における前記第１方向Ｘの先端が、前記一対の第２接点部３３の各々を構成する。

第４態様のプローブピン３によれば、例えば、第１接触部３６と接触対象物１００とが接触した後、さらに、プローブピン３を第１方向Ｘに沿って接触対象物１００に向かって移動させる。すると、第１接点部３２と接触対象物１００とが接触した状態で、各脚部８１、８２が第２方向Ｙにおいて相互に離れる方向に弾性変形し、第１接点部３２と接触対象物１００との間でワイピングが行われる。その結果、第１接点部３２および接触対象物１００の表面に付着した異物が擦り取られ、プローブピン３の接触対象物１００に対する接触信頼性を高めることができる。

本開示の第５態様のプローブピン３は、
前記一対の脚部８１、８２の各々における前記先端の前記第１方向Ｘの位置が、相互に異なっている。

第５態様のプローブピン３によれば、大きさの異なる複数の接触対象物１００に対してより確実に接触可能なプローブピン３を実現できる。

本開示の第６態様の検査治具２は、
前記態様のプローブピン３と、
前記第１接点部３２および前記一対の第２接点部３３の各々が外部に露出した状態で前記プローブピン３を収容可能なソケット２０と
を備える。

第６態様の検査治具２によれば、プローブピン３により、大きさの異なる複数の検査対象物の検査に適用可能な検査治具２を実現できる。

本開示の第７態様の検査ユニット１は、
前記検査治具２を少なくとも１つ備える。

第７態様の検査ユニット１によれば、検査治具２により、大きさの異なる複数の検査対象物の検査に適用可能な検査ユニット１を実現できる。

本開示の第８態様の検査ユニット１は、
前記ソケット２０に対して揺動可能な状態で支持された揺動部材４０をさらに備え、
前記揺動部材４０が、
前記揺動部材４０をその揺動方向に貫通して、前記プローブピン３の前記第１接点部３２および前記一対の第２接点部３３を収容可能な収容孔４３を有し、
復帰位置Ｐ１と、前記第１方向Ｘにおいて前記復帰位置Ｐ１よりも前記ソケット２０に近い動作位置Ｐ２との間を揺動可能に構成されている。

第８態様の検査ユニット１によれば、プローブピン３の第１接点部３２および各第２接点部３３に対する損傷の発生を低減できる。

なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本開示のプローブピンは、例えば、カメラモジュールなどのＢｔｏＢ（Business-to-Business）コネクタを接続媒体として備えるモジュール、および、ＳＯＰ（Small Outline Package）、ＱＦＰ（Quad Flat Package）、ＢＧＡ（Ball grid array）などの半導体パッケージの検査に用いる検査治具に適用できる。

本開示の検査治具は、例えば、カメラモジュールなどのＢｔｏＢ（Business-to-Business）コネクタを接続媒体として備えるモジュール、および、ＳＯＰ（Small Outline Package）、ＱＦＰ（Quad Flat Package）、ＢＧＡ（Ball grid array）などの半導体パッケージの検査に用いる検査ユニットに適用できる。

本開示の検査ユニットは、例えば、カメラモジュールなどのＢｔｏＢ（Business-to-Business）コネクタを接続媒体として備えるモジュール、および、ＳＯＰ（Small Outline Package）、ＱＦＰ（Quad Flat Package）、ＢＧＡ（Ball grid array）などの半導体パッケージの検査に用いることができる。

１ 検査ユニット
１０ ハウジング
１０１ 開口面
１０３ 先端面
１０４ 先端角部
１３ 凹部
１４ 開口部
１５ 収容溝
２ 検査治具
２０ ソケット
３ プローブピン
３１ 本体部
３２ 第１接点部
３３ 第２接点部
３３１ ガイド面
３４ 突起
３５ 弾性部
３６ 第１接触部
３６１ 接触部本体
３６２ 当接部
３７ 第２接触部
３７１ 接触部本体
３７２ 当接部
３８ 第３接点部
４０ 揺動部材
４１ 板部
４１１ 外面
４２ 壁部
４３ 収容孔
４３１ 凹部
４３２ 貫通孔
４７ フランジ部
５０ コイルばね
６１、６２、６３、６４ 弾性片
６５、６６、６７ 隙間
７１、７２ 直線部
７３ 湾曲部
８１、８２ 脚部
８１１、８２１ 対向面
８３ 隙間
８４ 突出部
８５
１００ 接触対象物
１１０、１２０ 凸接点

Claims (5)

1. 板状の本体部と、
   前記本体部の第１方向の一端に設けられ、前記一端から前記第１方向に沿って延びる第１接点部と、
   前記本体部の前記一端に設けられ、前記第１接点部における前記第１方向および前記本体部の板厚方向に交差する第２方向の両側に前記第１接点部に対して間隔を空けてそれぞれ配置され、前記一端から前記第１方向に沿って前記第１接点部よりも前記本体部から離れた位置までそれぞれ延びる一対の第２接点部と
   を備え、
   前記一対の第２接点部の各々が、
   前記第２方向において相互に対向して配置され、前記第１方向に沿って前記第１接点部に接近する接触対象物を前記第１接点部に向かって案内するガイド面を有し、
   前記第１接点部が、前記第２方向に間隔を空けて配置された一対の突起で構成され、
   前記本体部が、
   前記本体部の前記一端に設けられ、前記第１方向に沿って延びると共に、前記第２方向に隙間を空けて配置された一対の脚部を有し、
   前記一対の脚部の各々に前記一対の突起の各々が設けられ、前記第１接点部を構成し、
   前記一対の脚部の各々における前記第１方向の先端が、前記一対の第２接点部の各々を構成し、
   前記一対の脚部の各々における前記先端の前記第１方向の位置が、相互に異なっており、
   前記一対の脚部の一方の前記第１接点部と、前記一対の脚部の他方の前記第１接点部と、前記一対の第２接点部のいずれかの前記ガイド面とが、前記接触対象物に同時に接触可能に配置されている、プローブピン。
2. 前記一対の脚部の各々が、
   前記第２方向において対向する対向面に設けられ、相互に接近する方向に突出する突出部を有し、
   前記一対の脚部の各々における前記突出部に前記一対の突起の各々が設けられている、請求項１のプローブピン。
3. 請求項１または２のプローブピンと、
   前記第１接点部および前記一対の第２接点部の各々が外部に露出した状態で前記プローブピンを収容可能なソケットと
   を備える、検査治具。
4. 請求項３の検査治具を少なくとも１つ備える、検査ユニット。
5. 前記ソケットに対して揺動可能な状態で支持された揺動部材をさらに備え、
   前記揺動部材が、
   前記揺動部材をその揺動方向に貫通して、前記プローブピンの前記第１接点部および前記一対の第２接点部を収容可能な収容孔を有し、
   復帰位置と、前記第１方向において前記復帰位置よりも前記ソケットに近い動作位置との間を揺動可能に構成されている、請求項４の検査ユニット。

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