JP7314633B2 - プローブピン、検査治具および検査ユニット - Google Patents

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Description

本開示は、プローブピン、検査治具および検査ユニットに関する。
カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板に接続するための端子と、検査装置の端子とを接続することにより行われる。
このようなプローブピンとしては、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してそれぞれ接触可能な一対のコンタクトと、一対のコンタクト間に介在して一対のコンタクトを接続する蛇行部とを備えている。
特開２００２－１３４２０２号公報
前記プローブピンでは、蛇行部の伸縮方向に直行する幅方向の中心に一対のコンタクトをそれぞれ配置して、蛇行部を伸縮させた際に各コンタクトが幅方向に倒れないようにしている。このため、複数の前記プローブピンを幅方向に並べて配置すると、隣接する各コンタクトの配置間隔を狭くすることが難しくなり、例えば、狭ピッチ化された電子部品モジュールの一対の端子に対して、各コンタクトを同時に接触させた状態にすることができず、電子部品モジュールの狭ピッチ化に対応することができない場合がある。
本開示は、接触対象物の狭ピッチ化に対応可能なプローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、および、この検査治具を備えた検査ユニットを提供することを目的とする。
本開示の一例のプローブピンは、
第１方向に沿って弾性変形可能な弾性部と、
前記弾性部の前記第１方向の一端が接続された第１接触部と、
前記弾性部の前記第１方向の他端が接続された第２接触部と
を備え、
前記弾性部が、前記第１方向に伸縮可能な状態でソケットに収容可能なプローブピンであって、
前記弾性部が、
前記第１接触部から前記第１方向に交差する第２方向に沿って延びて前記弾性部の前記第１方向の一端を構成する第１当接部と、
前記第２方向において前記第１当接部と前記第２接触部に対する同じ側に配置され、前記第２接触部から前記第２方向に沿って延びて前記弾性部の前記他端を構成する第２当接部と
を有し、
前記第１当接部および前記第２当接部の各々が、前記ソケットに収容された状態で前記第１方向において前記ソケットの内部に当接可能に構成されている。
また、本開示の一例の検査治具は、
前記プローブピンと、
前記プローブピンを収容可能な前記ソケットと
を備え、
前記ソケットに前記プローブピンを収容したときに、前記第１当接部および前記第２当接部の各々が、前記第１方向において、前記ソケットの内面に当接するように構成されている。
また、本開示の一例の検査ユニットは、
前記検査治具を少なくとも１つ備える。
前記プローブピンによれば、弾性部が、第１接触部から第２方向に沿って延びて弾性部の一端を構成する第１当接部と、第２方向において第１当接部と第２接触部に対する同じ側に配置され第２接触部から第２方向に沿って延びて弾性部の他端を構成する第２当接部とを有する。第１当接部および第２当接部の各々が、ソケットに収容されたときに第１方向においてソケットの内部に当接可能に構成されている。このような構成により、例えば、第１接触部および第２接触部の各々に接点部をそれぞれ設けたプローブピンをソケットに複数収容する場合、第２方向に隣接するプローブピンの接点部の配置間隔を小さくすることができる。その結果、接触対象物の狭ピッチ化に対応可能なプローブピンを実現できる。
前記検査治具によれば、前記プローブピンにより、狭ピッチ化された検査対象物を検査可能な検査治具を実現できる。
前記検査ユニットによれば、前記検査治具により、狭ピッチ化された検査対象物を検査可能な検査ユニットを実現できる。
本開示の一実施形態のプローブピンを示す斜視図。 図１のプローブピンを備えた検査治具の平面図。 図１のプローブピンの第１接点部に対して外力を加えた場合の弾性部の状態を説明するための図。 図１のプローブピンの第２接点部に対して外力を加えた場合の弾性部の状態を説明するための図。 図１のプローブピンの変形例を示す斜視図。 図５のプローブピンを備えた検査治具の平面図。 図５のプローブピンの第１接点部および第２接点部に対して外力を加えた場合の弾性部の状態を説明するための図。 図５のプローブピンの第２接点部に対して外力を加えた場合の弾性部の状態を説明するための図。
以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
本開示の一実施形態のプローブピン１０は、例えば、図１に示すように、第１方向Ｘに細長い薄板状で導電性を有している。このプローブピン１０は、一例として、図２に示すように、絶縁性のソケット１００に収容された状態で使用され、ソケット１００と共に検査治具２を構成する。検査治具２には、一例として、複数のプローブピン１０が収容されている。
また、図２に示すように、検査治具２は、検査ユニット１の一部を構成している。この実施形態では、検査ユニット１は、一対の検査治具２を有している。各検査治具２は、後述するプローブピン１０の各接点部３２１、３３１、４１が、ソケット１００から外部に露出した状態で、第１方向Ｘに交差（例えば、直交）する第２方向Ｙに隣接するように配置されている。
各ソケット１００は、図２に示すように、その内部に複数の収容部１０１（図２には、１つのみ示す）を有している。各収容部１０１は、スリット状を有し、それぞれ１つのプローブピン１０を電気的に独立して収容可能かつ保持可能に構成されている。また、各収容部１０１は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに交差する方向（すなわち、図２の紙面貫通方向）に沿って一列に並んでかつ等間隔に配置されている。
なお、各ソケット１００は、図２に示すように、プローブピン１０を収容した状態で、第１方向Ｘの内面とプローブピン１０との間に隙間が形成されるように構成する場合に限らない。例えば、各ソケット１００は、プローブピン１０が、その両端の当接部２０１、２０２が共にソケット１００の内面に接触した状態で収容されるように構成してもよい。
各プローブピン１０は、図２に示すように、第１方向Ｘに沿って弾性変形可能な弾性部２０と、この弾性部２０の第１方向Ｘの両端がそれぞれ接続された第１接触部３０および第２接触部４０とを備えている。各プローブピン１０は、一例として、電鋳法で形成され、弾性部２０、第１接触部３０および第２接触部４０が、第１方向Ｘに沿って直列的に配置されかつ一体に構成されている。
弾性部２０は、図２に示すように、弾性部２０の第１方向Ｘの一端を構成する第１当接部２０１と、弾性部２０の第１方向Ｘの他端を構成する第２当接部２０２とを有している。第１当接部２０１は、第１接触部３０から第２方向Ｙに延びている。第２当接部２０２は、第２方向Ｙにおいて第１当接部２０１と第２接触部４０に対する同じ側に配置されて、第２接触部４０から第２方向Ｙに沿って延びている。各当接部２０１、２０２は、ソケット１００に収容された状態で、第１方向Ｘにおいて収容部１０１を構成するソケット１００の内部に当接可能に構成されている。
また、弾性部２０は、図２に示すように、一例として、相互に隙間２３を空けて配置された複数の弾性片（この実施形態では、２つの帯状の弾性片）２１、２２で構成されている。各弾性片２１、２２は、第２方向Ｙにそれぞれ延びた複数の延在部２４と、隣接する延在部２４にそれぞれ接続された複数の湾曲部２５とで構成された蛇行形状を有している。この実施形態では、弾性部２０は、４つの延在部２４と、３つの湾曲部２５とで構成されている。
各延在部２４は、第１方向Ｘにおいて相互に隙間２７を空けて配置されている。第１方向Ｘの両端に配置された各延在部２４が、第１当接部２０１および第２当接部２０２をそれぞれ構成している。第１当接部２０１を構成する延在部２４は、第２方向Ｙの一端が第１接触部３０に接続され、第２方向Ｙの他端が湾曲部２５に接続されている。第２当接部２０２を構成する延在部２４は、第２方向Ｙの一端が第２接触部４０に接続され、第２方向Ｙの他端が湾曲部２５に接続されている。なお、第２当接部２０２を構成する延在部２４の一端は、２つの弾性片２１、２２が接続部２６により接続されて一体化された状態で、第２接触部４０に接続されている。
各湾曲部２５は、一例として、第１接触部３０の第２方向Ｙの一端３０１に対して、第２方向Ｙの一方側に配置されている。
第１接触部３０は、図２に示すように、一例として、弾性部２０が接続された本体部３１と、この本体部３１から第１方向Ｘでかつ弾性部２０から離れる方向に延びる一対の脚部３２、３３とを有している。
本体部３１は、第１方向Ｘの弾性部２０側の端部に設けられた貫通孔３１１を有している。この貫通孔３１１は、弾性部２０の弾性片２１、２２間の隙間２３に接続されている。
各脚部３２、３３は、第２方向Ｙに隙間３４を空けて配置され第２方向Ｙに弾性変形可能に構成されており、その先端に設けられた第１接点部３２１、３３１を有している。第１接点部３２１、３３１の各々は、接触対象物の一例である検査対象物の凸接点５０に第１方向Ｘから接触可能に構成されている。また、各脚部３２、３３は、第２方向Ｙに対向する側面に設けられた突起部３２２、３３２を有している。各突起部３２２、３３２は、一対の脚部３２、３３の間の隙間３４を塞ぐように突出しており、凸接点５０の隙間３４への過剰挿入を防止している。
第２接触部４０は、図２に示すように、一例として、第１方向Ｘに延びる略矩形状を有している。第２接触部４０の第１方向Ｘでかつ弾性部２０から遠い方の先端は、第１方向Ｘでかつ弾性部２０から離れるに従って先細りとなる略三角形状を有し、第２接点部４１を構成している。第２接点部４１は、接触対象物の一例である検査対象物の端子６０に第１方向Ｘから接触可能に構成されている。また、第２接触部４０の第２方向Ｙにおいて対向する一対の側面のうちの弾性部２０が接続されてない側面４０１には、切欠部４２が設けられている。この切欠部４２は、第２接触部４０の側面４０１における第１方向Ｘの弾性部２０に近い端に設けられている。
図３に、第２接触部４０の第２接点部４１に対して、ソケット１００の内部に向かうＸ１方向の外力を加えた場合の弾性部２０の状態を示す。図３に示すように、第２接点部４１に対してＸ１方向の外力が加えられると、弾性部２０は、隣接する弾性片２１、２２が接触することなく弾性変形する。また、弾性部２０が、第１接触部３０の第２方向Ｙの一端３０１（図２参照）に対して、あるいは、第２接触部４０の第２方向Ｙにおいて対向する一対の側面のうちの弾性部２０が接続されてない側面４０１（図２参照）に対して、第２方向Ｙにおける一方側に配置されている。このため、第２接点部４１は、Ｘ１方向の外力が加えられると、端子６０の表面に接触しながら、第２接触部４０の側面４０１に対する第２方向Ｙにおける他方側（すなわち、第２方向Ｙにおいて、第２接触部４０の第２方向Ｙの側面４０１から、弾性部２０が配置されている側とは反対側に向かう方向）に移動する。例えば、端子６０の表面上に被膜が形成されたとしても、第２接点部４１のワイピング動作により、この被膜を除去することができるので、被膜の形成による接触信頼性などに対する影響を軽減できる。
また、図４に、Ｘ１方向の外力に加えて、第１接触部３０の第１接点部３２１、３３１に対して、ソケット１００の内部に向かうＸ２方向の外力を加えた場合の弾性部２０の状態を示す。この場合においても、弾性部２０は、隣接する弾性片２１、２２が接触することなく弾性変形し、第２接点部４１によって、Ｘ１方向の外力のみが加えられた場合と同様のワイピング動作が行われる。第１接点部３２１、３３１は、Ｘ２方向の外力によって、ソケット１００の内部に向かって第１方向Ｘに沿って移動する。
前記プローブピン１０によれば、弾性部２０が、第１接触部３０から第２方向Ｙに沿って延びて弾性部２０の一端を構成する第１当接部２０１と、第２方向Ｙにおいて第１当接部２０１と第２接触部４０に対する同じ側に配置され第２接触部４０から第２方向Ｙに沿って延びて弾性部２０の他端を構成する第２当接部２０２とを有する。第１当接部２０１および第２当接部２０２の各々が、ソケット１００に収容されたときに第１方向Ｘにおいてソケット１００の内部に当接可能に構成されている。このような構成により、例えば、第１接触部３０および第２接触部４０の各々に接点部３２１、３３１、４１をそれぞれ設けたプローブピン１０をソケット１００に複数収容する場合、第２方向Ｙに隣接するプローブピン１０の接点部３２１、３３１、４１の配置間隔を小さくすることができる。その結果、接触対象物５０、６０の狭ピッチ化に対応可能なプローブピン１０を実現できる。
また、第１接触部３０が、第１方向Ｘにおける弾性部２０から遠い方の端部に設けられ、接触対象物５０に対して第１方向Ｘから接触可能な第１接点部３２１、３３１を有し、第２接触部４０が、第１方向Ｘにおける弾性部２０から遠い方の端部に設けられ、接触対象物６０に対して第１方向Ｘから接触可能な第２接点部４１を有している。このような構成により、例えば、第１接触部３０および第２接触部４０の各々に接点部３２１、３３１、４１をそれぞれ設けたプローブピン１０をソケット１００に複数収容する場合、第２方向Ｙに隣接するプローブピン１０の接点部３２１、３３１、４１の配置間隔をより確実に小さくすることができる。
また、弾性部２０が、第２方向Ｙに沿ってそれぞれ延びると共に、第１方向Ｘに相互に隙間２７を空けてそれぞれ配置された複数の延在部２４と、隣接する延在部２４に接続された湾曲部２５とを有する。第１方向Ｘの両端に配置された延在部２４の各々が、第１当接部２０１および第２当接部２０２をそれぞれ構成する。湾曲部２５が、第１接触部３０の第２方向Ｙの一端に対して、第２方向Ｙの一方側に配置されている。このような構成により、接触対象物５０、６０の狭ピッチ化に対応可能なプローブピン１０を容易に実現できる。
また、弾性部２０が、相互に隙間２３を空けて配置された複数の弾性片２１、２２を有している。このような構成により、弾性部２０をより円滑に弾性変形させて、弾性部２０の耐久性を向上させることができる。
前記プローブピン１０により、狭ピッチ化された検査対象物を検査可能な検査治具２を実現できる。また、前記プローブピン１０を備えた検査治具２により、狭ピッチ化された検査対象物を検査可能な検査ユニット１を実現できる。
なお、第１接触部３０および第２接触部４０の各々は、弾性部２０の第１方向Ｘの両端がそれぞれ接続可能であれば、任意の形状および構成を採用することができる。例えば、第１接触部３０および第２接触部４０の各々に第２方向Ｙから接触対象物に接触可能な接点部を設けてもよい。また、例えば、第１接触部３０に第２接点部４１と同じ構成の接点部を設けてもよいし、第２接触部４０に複数の接点部を設けてもよい。
弾性部２０は、第１当接部２０１および第２当接部２０２を有していれば、任意の形状および構成を採用することができる。例えば、弾性部２０は、蛇行形状以外の形状あってもよいし、１つの弾性片で構成されていてもよい。
また、弾性部２０は、少なくとも２つの延在部２４と、少なくとも１つの湾曲部２５を有していればよい。また、例えば、弾性部２０は、図５～図８に示すように、図１のプローブピン１０よりも多い数の延在部２４および湾曲部２５を有することもできる。図５～図８のプローブピン１０では、弾性部２０は、その第１方向Ｘの中間の延在部２４に設けられて、一対の弾性片２１、２２を接続するリブ２８を有している。図７および図８に示すように、このリブ２８によって、第１接点部３２１、３３１および第２接点部４１のいずれに対して外力が加えられたとしても、弾性部２０の隣接する弾性片２１、２２は、接触することなく弾性変形する。なお、図７では、第１接点部３２１、３３１および第２接点部４１のそれぞれに対して、Ｘ１方向およびＸ２方向の外力を加えた場合の弾性部２０の状態を示している。
以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。
本開示の第１態様のプローブピン１０は、
第１方向Ｘに沿って弾性変形可能な弾性部２０と、
前記弾性部２０の前記第１方向Ｘの一端が接続された第１接触部３０と、
前記弾性部２０の前記第１方向Ｘの他端が接続された第２接触部４０と
を備え、
前記弾性部２０が、前記第１方向Ｘに伸縮可能な状態でソケット１００に収容可能なプローブピン１０であって、
前記弾性部２０が、
前記第１接触部３０から前記第１方向Ｘに交差する第２方向Ｙに沿って延びて前記弾性部２０の前記第１方向の一端を構成する第１当接部２０１と、
前記第２方向Ｙにおいて前記第１当接部２０１と前記第２接触部４０に対する同じ側に配置され、前記第２接触部４０から前記第２方向Ｙに沿って延びて前記弾性部２０の前記他端を構成する第２当接部２０２と
を有し、
前記第１当接部２０１および前記第２当接部２０２の各々が、前記ソケット１００に収容された状態で前記第１方向Ｘにおいて前記ソケット１００の内部に当接可能に構成されている。
第１態様のプローブピン１０によれば、例えば、第１接触部３０および第２接触部４０の各々に接点部３２１、３３１、４１をそれぞれ設けたプローブピン１０をソケット１００に複数収容する場合、第２方向Ｙに隣接するプローブピン１０の接点部３２１、３３１、４１の配置間隔を小さくすることができる。その結果、接触対象物５０、６０の狭ピッチ化に対応可能なプローブピン１０を実現できる。
本開示の第２態様のプローブピン１０は、
前記第１接触部３０が、前記第１方向Ｘにおける前記弾性部２０から遠い方の端部に設けられ、接触対象物５０に対して前記第１方向Ｘから接触可能な第１接点部３２１、３３１を有し、
前記第２接触部４０が、前記第１方向Ｘにおける前記弾性部２０から遠い方の端部に設けられ、接触対象物６０に対して前記第１方向Ｘから接触可能な第２接点部４１を有する。
第２態様のプローブピン１０によれば、例えば、第１接触部３０および第２接触部４０の各々に接点部３２１、３３１、４１をそれぞれ設けたプローブピン１０をソケット１００に複数収容する場合、第２方向Ｙに隣接するプローブピン１０の接点部３２１、３３１、４１の配置間隔をより確実に小さくすることができる。
本開示の第３態様のプローブピン１０は、
前記弾性部２０が、前記第１接触部３０の前記第２方向Ｙの一端３０１に対して、前記第２方向Ｙの一方側に配置されており、
前記第１接点部３２１、３３１または前記第２接点部４１の少なくともいずれかが、前記第１方向Ｘでかつ前記第１接点部３２１、３３１および前記第２接点部４１が相互に接近する方向Ｘ１、Ｘ２の外力を加えたときに、前記第２方向Ｙの他方側に向かって移動可能に構成されている。
第３態様のプローブピン１０によれば、例えば、第２接点部４１に対して、第１方向Ｘから接触対象物６０を接触させて、第１接点部３２１、３３１および第２接点部４１が相互に接近するＸ１方向の外力を加えるとする。この場合、第２接点部４１は、端子６０の表面に接触しながら、第２接触部４０の第２方向Ｙの側面４０１に対する第２方向Ｙにおける他方側に移動する。このワイピング動作により、例えば、端子６０の表面上に被膜が形成されたとしても、この被膜を除去することができるので、被膜の形成による接触信頼性などに対する影響を軽減できる。
本開示の第４態様のプローブピン１０は、
前記弾性部２０が、
前記第２方向Ｙに沿ってそれぞれ延びると共に、前記第１方向Ｘに相互に隙間２７を空けてそれぞれ配置された複数の延在部２４と、
隣接する前記延在部２４に接続された湾曲部２５と
を有し、
前記第１方向Ｘの両端に配置された前記延在部２４の各々が、前記第１当接部２０１および前記第２当接部２０２をそれぞれ構成し、
前記湾曲部２５が、前記第１接触部３０の前記第２方向Ｙの一端３０１に対して、前記第２方向Ｙの一方側に配置されている。
第４態様のプローブピン１０によれば、接触対象物５０、６０の狭ピッチ化に対応可能なプローブピン１０を容易に実現できる。
本開示の第５態様のプローブピン１０は、
前記弾性部２０が、
相互に隙間２３を空けて配置された複数の弾性片２１、２２を有している。
第５態様のプローブピン１０によれば、弾性部２０をより円滑に弾性変形させて、弾性部２０の耐久性を向上させることができる。
本開示の第６態様の検査治具２は、
前記態様のプローブピン１０と、
前記プローブピン１０を収容可能な前記ソケット１００と
を備え、
前記ソケット１００に前記プローブピン１０を収容したときに、前記第１当接部２０１および前記第２当接部２０２の各々が、前記第１方向Ｘにおいて、前記ソケット１００の内面に当接するように構成されている。
第６態様の検査治具２によれば、前記プローブピン１０により、狭ピッチ化された検査対象物を検査可能な検査治具２を実現できる。
本開示の第７態様の検査ユニット１は、
前記検査治具２を少なくとも１つ備える。
第７態様の検査ユニット１によれば、前記検査治具２により、狭ピッチ化された検査対象物を検査可能な検査ユニット１を実現できる。
なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
本開示のプローブピンは、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、ＨＤＭＩ（登録商標）デバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いる検査治具に適用できる。
本開示の検査治具は、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、ＨＤＭＩ（登録商標）デバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いる検査ユニットに適用できる。
本開示の検査ユニットは、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、ＨＤＭＩ（登録商標）デバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いることができる。
１ 検査ユニット
２ 検査治具
１０ プローブピン
２０ 弾性部
２０１ 第１当接部
２０２ 第２当接部
２１、２２ 弾性片
２３ 隙間
２４ 延在部
２５ 湾曲部
２６ 接続部
２７ 隙間
２８ リブ
３０ 第１接触部
３０１ 一端
３１ 本体部
３１１ 貫通孔
３２、３３ 脚部
３２１、３３１ 第１接点部
３２２、３３２ 突起部
３４ 隙間
４０ 第２接触部
４０１ 側面
４１ 第２接点部
４２ 切欠部
５０ 凸接点
６０ 端子
１００ ソケット
１０１ 収容部

Claims (8)

  1. 第１方向に沿って弾性変形可能な弾性部と、
    前記弾性部の前記第１方向の一端が接続された第１接触部と、
    前記弾性部の前記第１方向の他端が接続された第２接触部と
    を備え、
    前記弾性部が、前記第１方向に伸縮可能な状態でソケットに収容可能なプローブピンであって、
    前記弾性部が、
    前記第１接触部から前記第１方向に交差する第２方向に沿って延びて前記弾性部の前記第１方向の一端を構成する第１当接部と、
    前記第２方向において前記第１当接部と前記第２接触部に対する同じ側に配置され、前記第２接触部から前記第２方向に沿って延びて前記弾性部の前記他端を構成する第２当接部と
    を有し、
    前記第１当接部および前記第２当接部の各々が、前記ソケットに収容された状態で前記第１方向において前記ソケットの内部に当接可能に構成され、
    前記弾性部が、
    相互に隙間を空けて配置された複数の弾性片で構成されていると共に、
    前記プローブピンが前記ソケットに収容され前記第１当接部が前記ソケットの内部に接触した状態で前記第２接触部から前記ソケットの内部に向かう方向に外力を加えた場合、または、前記プローブピンが前記ソケットに収容され前記第２当接部が前記ソケットの内部に接触した状態で前記第１接触部から前記ソケットの内部に向かう方向に外力を加えた場合に、隣接する前記弾性片が接触することなく弾性変形するように構成されている、プローブピン。
  2. 前記第２接触部が、前記第２方向において対向する一対の側面を有し、前記一対の側面の一方に前記弾性部の前記他端が接続されており、
    前記弾性部が、前記第１接触部の前記第２方向の一端に対して、または、前記第２接触部の前記一対の側面のうちの前記弾性部が接続されていない側面に対して、前記第２方向における一方側に配置されている、請求項１のプローブピン。
  3. 前記第１接触部が、前記第１方向における前記弾性部から遠い方の端部に設けられ、接触対象物に対して前記第１方向から接触可能な第１接点部を有し、
    前記第２接触部が、前記第１方向における前記弾性部から遠い方の端部に設けられ、接触対象物に対して前記第１方向から接触可能な第２接点部を有する、請求項１または２のプローブピン。
  4. 前記弾性部が、前記第１接触部の前記第２方向の一端に対して、前記第２方向の一方側に配置されており、
    前記第１接点部または前記第２接点部の少なくともいずれかが、前記第１方向でかつ前記第１接点部および前記第２接点部が相互に接近する方向の外力を加えたときに、前記第２方向の他方側に向かって移動可能に構成されている、請求項３のプローブピン。
  5. 前記弾性部が、
    前記第２方向に沿ってそれぞれ延びると共に、前記第１方向に相互に隙間を空けてそれぞれ配置された複数の延在部と、
    隣接する前記延在部に接続された湾曲部と
    を有し、
    前記第１方向の両端に配置された前記延在部の各々が、前記第１当接部および前記第２当接部をそれぞれ構成し、
    前記湾曲部が、前記第１接触部の前記第２方向の一端に対して、前記第２方向の一方側に配置されている、請求項１から４のいずれか１つのプローブピン。
  6. 前記弾性部が、
    相互に隙間を空けて配置された複数の弾性片を有している、請求項１から５のいずれか１つのプローブピン。
  7. 請求項１から６のいずれか１つのプローブピンと、
    前記プローブピンを収容可能な前記ソケットと
    を備え、
    前記ソケットに前記プローブピンを収容したときに、前記第１当接部および前記第２当接部の各々が、前記第１方向において、前記ソケットの内面に当接するように構成されている、検査治具。
  8. 請求項７の検査治具を少なくとも１つ備える、検査ユニット。
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