KR101769355B1

KR101769355B1 - 수직형 프로브핀 및 이를 구비한 프로브핀 조립체

Info

Publication number: KR101769355B1
Application number: KR1020170067578A
Authority: KR
Inventors: 김경남; 백병선; 김학준
Original assignee: 주식회사 새한마이크로텍
Priority date: 2017-05-31
Filing date: 2017-05-31
Publication date: 2017-08-18
Also published as: WO2018221886A1; TW201903415A; TWI668449B

Abstract

본 발명은 수직형 프로브핀 및 이를 구비한 프로브핀 조립체에 관한 것이다.본 발명은 제1 관통구멍이 형성된 제1 지지체와 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체 및 복수의 프로브핀을 포함하는 프로브핀 조립체에 사용되는 프로브핀으로서, 헤드부, 피검사체에 접촉하는 팁부 및 헤드부와 팁부 사이에 위치하며, 상기 팁부에 압력이 가해지면 탄성 변형되는 몸체부를 포함하는 프로브핀을 제공한다. 상기 팁부는 제1 측면 및 상기 제1 측면에 대향하는 제2 측면을 구비하며, 상기 팁부의 제1 측면에는, 상기 제2 측면이 상기 제1 측면에 비해서 상기 제2 관통구멍의 내면에 더 가까운 상태로 상기 팁부의 일부가 상기 제2 관통구멍 내부에서 정렬되도록, 상기 제1 측면에서 제2 관통구멍의 내면을 향해서 돌출된 팁부 정렬 범프가 형성된다. 그리고 상기 몸체부는 상기 헤드부 및 팁부에 비해서 두께가 얇고, 폭이 넓으며, 상기 몸체부의 폭 방향 중심선은 상기 팁부의 폭 방향 중심선으로부터 제2 측면 방향으로 치우친다.

Description

수직형 프로브핀 및 이를 구비한 프로브핀 조립체{Vertical probe pin and probe pin assembly with the same}

본 발명은 프로브핀 및 이를 구비한 프로브핀 조립체에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 수직형 프로브핀 및 이를 구비한 프로브핀 조립체에 관한 것이다.

액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 유기 발광다이오드(Organic Light Emitting Diode)을 포함한 평판표시장치와 웨이퍼 상에 형성된 반도체 소자의 성능 검사에는 복수의 프로브핀을 구비한 프로브핀 조립체가 널리 사용되고 있다.

프로브핀 조립체는 구조에 따라 크게 캔틸레버형과 수직형으로 분류되며 이중 수직형 프로브핀 조립체는 수직형 프로브핀의 양단부를 지지하는 플레이트 형태의 제1 지지체와 제2 지지체를 포함한다. 수직형 프로브핀의 양단부는 제1 지지체와 제2 지지체에 형성된 관통구멍에 삽입된다. 피검사체의 단자를 수직형 프로브핀의 팁부에 대하여 누르면, 수직형 프로브핀은 관통구멍 내에서 미끄러지고, 수직형 프로브핀의 탄성변형부가 구부려진다.

종래의 수직형 프로브핀 조립체에는 금속 와이어의 중심부를 압착하여, 스프링부를 형성한 코브라 핀이 주로 사용되었다. 코브라 핀은 제1 지지체 및 제2 지지체에 각각 끼워진 헤드부와 팁부가 원형 단면을 가지므로, 회전을 방지하기 위해서, 헤드부와 팁부가 오프셋되도록 제1 지지체 및 제2 지지체에 끼워진다.

이러한 구조로 인해서 코브라 핀은 제2 지지체에 팁부를 끼운 후 안내구멍이 형성된 정렬 필름에 헤브부를 끼우고, 다시 헤드부를 제1 지지체에 끼우는 방식으로 지지체에 고정하여야 하므로, 제작이 매우 어렵다는 문제가 있었다.

또한, 피검사체 패드의 손상을 방지하기 위해서, 접촉 압력을 감소시키려고 스프링부의 두께를 얇게 하면, 스프링부의 폭이 증가해서, 인접하는 코브라 핀과의 간섭이 생겨서 협 피치에 대응하기 어렵다는 문제가 있었다.

또한, 헤드부와 팁부의 오프셋에 의해서, 스프링부의 압축시에 팁부가 피검사체의 단자 위에서 슬라이딩하도록 하는 횡 방향 힘이 발생하여, 피검사체의 단자를 손상할 수 있다는 문제도 있었다. 이러한 문제는 반도체 소자의 미세화가 진행됨에 따라서 피검사체의 단자가 볼 범프(Ball Bump)에서 구리 기둥(Cu Pillar)으로 변경되면서, 더욱 부각된다.

이러한 문제를 개선하기 위해서, 사각형 단면을 가지는 직선형 프로브핀이 사용되고 있다. 이러한 프로브핀은 헤드부와 팁부의 축선이 일치하기 때문에, 제1 지지체와 제2 지지체를 조립한 후 제1 지지체의 관통구멍을 통해서, 프로브핀을 삽입하는 방식으로 간단하게 조립이 가능하다는 장점이 있다.

예를 들어, 일본공개특허 제2014-21064호에는 헤드부, 팁부, 헤드부와 팁부 사이에 활 모양의 탄성변형부를 구비하며, 헤드부와 팁부의 축선이 일치하며, 탄성변형부는 팁부가 피검사체에 눌린 상태에서 팁부의 축선 방향으로 가해지는 압축력을 받아서 변형되는 접촉 검사 장치가 개시되어 있다.

일본공개특허 제2014-21064호 한국공개특허 제10-2015-0088262호

본 발명은 피검사체 패드의 손상을 최소화할 수 있으며, 피검사체 패드의 협 피치화도 대응할 수 있는 새로운 구조의 수직형 프로브핀을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 이러한 수직형 프로브핀들을 구비한 프로브 구조체를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 제1 관통구멍이 형성된 제1 지지체와 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체 및 복수의 프로브핀을 포함하는 프로브핀 조립체에 사용되는 프로브핀으로서, 헤드부, 피검사체에 접촉하는 팁부 및 헤드부와 팁부 사이에 위치하며, 상기 팁부에 압력이 가해지면 탄성 변형되는 몸체부를 포함하는 프로브핀을 제공한다.

상기 팁부는 제1 측면 및 상기 제1 측면에 대향하는 제2 측면을 구비하며, 상기 팁부의 제1 측면에는, 상기 제2 측면이 상기 제1 측면에 비해서 상기 제2 관통구멍의 내면에 더 가까운 상태로 상기 팁부의 일부가 상기 제2 관통구멍 내부에서 정렬되도록, 상기 제1 측면에서 제2 관통구멍의 내면을 향해서 돌출된 팁부 정렬 범프가 형성된다.

그리고 상기 몸체부는 상기 헤드부 및 팁부에 비해서 두께가 얇고, 폭이 넓으며, 상기 몸체부의 폭 방향 중심선은 상기 팁부의 폭 방향 중심선으로부터 제2 측면 방향으로 치우친다.

또한, 상기 헤드부의 끝단에는 상기 제1 관통구멍에 걸리도록 상기 헤드부의 일 측으로 돌출된 스토퍼가 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀이 제공된다.

또한, 상기 헤드부는 제3 측면 및 상기 제3 측면에 대향하는 제4 측면을 구비하며, 상기 헤드부의 제3 측면에는, 상기 제4 측면이 상기 제3 측면에 비해서 상기 제1 관통구멍의 내면에 더 가까운 상태로 상기 헤드부의 일부가 상기 제1 관통구멍 내부에서 정렬되도록, 상기 제3 측면에서 제1 관통구멍의 내면을 향해서 돌출된 헤드부 정렬 범프가 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀이 제공된다.

또한, 상기 제3 측면과 상기 제1 측면은 같은 쪽 측면인 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀이 제공된다.

또한, 상기 헤드부의 끝단에는 상기 제1 관통구멍에 걸리도록 상기 헤드부의 일 측으로 돌출된 스토퍼가 형성되며, 상기 스토퍼와 상기 헤드부 정렬 범프는 서로 반대 방향으로 돌출된 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀이 제공된다.

또한, 상기 헤드부와 상기 팁부의 축선은 일치하며, 상기 몸체부는 상기 축선과 교차하는 방향으로 돌출되도록 굽은 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀이 제공된다.

또한, 본 발명에 따르면, 복수의 제1 관통구멍이 형성된 제1 지지체와, 상기 제1 지지체와 일정한 간격으로 나란하게 배치되며, 복수의 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체와, 상기 제1 관통구멍 및 제2 관통구멍에 삽입되는 복수의 프로브핀을 포함하는 프로브핀 조립체가 제공된다. 여기서 프로브핀은 상술한 프로브핀일 수 있다.

본 발명에 따른 프로브핀은 팁부 정렬 범프에 의해서 팁부가 제2 관통구멍 내부에서 한쪽으로 정렬되기 때문에 협 피치에 대응하기 용이하다는 장점이 있다.

또한, 팁부와 인접하는 몸체부도 한쪽으로 정렬되므로, 팁부의 폭 방향 중심선과 오프셋(offset) 된 폭 방향 중심선을 가지도록 한쪽으로 치우친 몸체부가 스토퍼로서의 역할을 더욱 확실하게 수행할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 프로브 조립체의 일실시예의 측단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 프로브핀을 나타낸 도면이다.
도 3은 팁부 정렬 범프의 다른 예들을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1의 도시된 프로브핀의 다른 실시예의 일부를 나타낸 도면이다.
도 5는 스토퍼의 다른 예들을 나타낸 도면이다.

이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 다음에 소개되는 실시예는 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 1은 본 발명에 따른 프로브 조립체의 일실시예의 측단면도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 조립체의 일실시예는 제1 지지체(10), 제2 지지체(20) 및 복수의 프로브핀(100)을 구비한다. 제1 지지체(10)와 제2 지지체(20)는 실질적으로 평행하며, 서로 일정한 간격으로 떨어져 있다. 제1 지지체(10)에는 복수의 제1 관통구멍(11)이 형성되며, 제2 지지체(20)에는 복수의 제2 관통구멍(21)이 형성된다. 프로브 조립체에서, 제1 관통구멍(11) 및 이에 대응하는 제2 관통구멍(21)은 서로 일직선으로 정렬되어 있다. 제1 지지체(10)는 프로브 카드의 회로기판(미도시) 쪽에 배치되며, 제2 지지체(20)는 반도체 디바이스와 같은 피검사체(30) 쪽으로 배치된다. 제1 관통구멍(11)과 제2 관통구멍(21)은 각각의 지지체의 면에 대체로 수직으로 형성된다. 제1 관통구멍(11)과 제2 관통구멍(21)은 레이저가공에 의해서 형성할 수 있다.

도 2는 도 1에 도시된 프로브핀을 나타낸 도면이다. 도 2의 (a)는 프로브핀의 정면도이며, (b)는 측면도이며, (c)는 위치별 단면의 형상을 나타내는 도면이다. 도 2의 (a)와 (b)에 도시된 바와 같이, 프로브핀(100)은 프로브 카드의 회로기판에 접하는 헤드부(110), 피검사체에 접촉하는 팁부(130) 및 헤드부(110)와 팁부(130) 사이에 위치하며, 팁부(130)에 압력이 가해지면 탄성 변형되는 몸체부(120)를 포함한다. 팁부(130)는 제2 관통구멍(21)에 끼워지며, 헤드부(110)는 제1 관통구멍(11)에 끼워진다.

도 1과 2를 참고하면, 헤드부(110), 몸체부(120) 및 팁부(130)는 Z 방향으로 연장되어 있으며, 몸체부(120)는 Y 방향으로 살짝 굽어 있다. 본 발명에서 Z 방향이란 Z축과 나란한 방향을 의미하며, Y 방향이란 Y축과 나란한 방향을 의미한다.

팁부(130)의 폭과 두께는 제2 관통구멍(21)의 폭과 두께에 비해서 작아서, 팁부(130)는 제2 관통구멍(21) 내에서 Z 방향으로 이동할 수 있다. 팁부(130)의 끝단(135)이 제2 지지체(20)의 외부로 노출되어야 하므로, 팁부(130)의 길이는 제2 관통구멍(21)의 길이에 비해서 길다. 또한, 헤드부(110)의 폭과 두께는 제1 관통구멍(11)의 폭과 두께에 비해서 작아서, 헤드부(110)는 제1 관통구멍(11) 내에서 Z 방향으로 이동할 수 있다. 헤드부(110)의 끝단(115)이 제1 지지체(10)의 외부로 노출되어야 하므로, 헤브부(110)의 길이는 제1 관통구멍(11)의 길이에 비해서 길다.

도 2의 (c)에 도시된 바와 같이, 헤드부(110)와 팁부(130)는 사각형 단면을 가지며, 몸체부(120)는 헤드부(110)와 팁부(130)에 비해서 납작한 사각형 단면을 가진다. 헤드부(110)와 몸체부(120)는 단면의 형상이 연속적으로 변화하는 제1 전이부(125)에 의해서 연결된다. 몸체부(120)와 팁부(130)도 단면의 형상이 연속적으로 변화하는 제2 전이부(126)에 의해서 연결된다.

프로브핀(100)은 철, 구리, 니켈, 니켈 코발트, 니켈 구리, 베릴륨 구리, 베릴륨 니켈 등의 전도성 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 서로 다른 전도성 물질로 이루어 복수의 층을 포함하는 다층 구조일 수 있다.

팁부(130)는 제1 측면(131) 및 제1 측면(131)에 대향하는 제2 측면(132)을 구비한다. 제1 측면(131)과 제2 측면(132)은 X 방향과 직교하는 측면들이다. 제1 측면(131)에는 바깥쪽으로 돌출된 팁부 정렬 범프(133)가 형성된다.

팁부 정렬 범프(133)는 제2 측면(132)이 제1 측면(131)에 비해서 제2 관통구멍(21)의 내면에 더 가까운 상태로 팁부(130)의 상당부가 제2 관통구멍(21) 내부에서 정렬되도록 하는 역할을 한다. 모든 프로브핀(100)의 팁부(130)의 제2 측면(132)이 제2 관통구멍(21)의 내면에 가깝게 정렬됨으로써, 협 피치에서도 프로브핀(100) 간의 간섭이 최소화된다는 장점이 있다. 만약, 인접하는 프로브핀의 서로 다른 측면이 제2 관통구멍(21)의 내면에 가까워지도록 정렬된다면, 일부 프로브핀의 팁부 사이의 간격이 너무 좁아져서, 간섭이 생길 수 있다.

도 2의 (c)에 가장 잘 도시된 바와 같이, 몸체부(120)는 헤드부(110) 및 팁부(130)에 비해서 두께가 얇고, 폭이 넓다. 두께는 Y 방향의 길이를 나타내며, 폭은 X 방향의 길이를 나타낸다. 몸체부(120)의 폭 방향 중심선(129)은 팁부(130)의 폭 방향 중심선(139)으로부터 제2 측면(132) 방향(Y 방향)으로 치우친다.

몸체부(120)의 폭이 팁부(130)에 비해서 넓으므로, 몸체부(120)가 팁부(130)에 비해서 제2 측면(132) 쪽으로 더 돌출된다. 그리고 팁부(130)의 제1 측면(131)과 몸체부(120)의 같은 쪽 측면(121)은 대체로 일직선을 이룬다. 이와 같이, 몸체부(120)가 팁부(130)에 비해서 폭이 넓으므로, 제2 관통구멍(21)의 폭이 팁부(130)의 폭에 비해서 크고, 몸체부(120)의 폭에 비해서 작다면, 몸체부(120)와 팁부(130)를 연결한 제2 전이부(126)가 프로브핀(100)이 제2 관통구멍(21)을 통과하지 못하도록 하는 스토퍼 역할을 한다.

상술한 바와 같이, 팁부 정렬 범프(133)에 의해서 프로브핀(100)의 팁부(130)의 제2 측면(132)이 제2 관통구멍(21)의 내면에 가깝게 정렬되어 있으며, 몸체부(120)가 제2 측면(132) 쪽으로 돌출되므로, 몸체부(120)와 팁부(130)를 연결하는 제2 전이부(126)가 스토퍼 역할을 충실하게 수행할 수 있다.

몸체부(120)는 Y 방향으로 살짝 굽어 있다. 따라서 팁부(130)가 피검사체(30)의 패드(31)에 눌리면서 추가 변형이 일어날 때, 몸체부(120)는 Y 방향으로 더 굽는다. 따라서 동일한 방향으로 프로브핀(100)을 실장한 경우에는 모든 프로브핀(100)이 동일한 방향으로 굽어서, 프로브핀(100) 끼리 접촉되는 것을 방지할 수 있다.

몸체부(120)는 탄성 변형이 가능하도록, 헤드부(110) 및 팁부(130)에 비해서 두께가 얇게 가공되어 있다. 따라서 몸체부(120)의 전기저항을 떨어뜨리기 위해서는 몸체부(120)의 폭을 가능하면 크게 형성하는 것이 바람직하다. 본 발명에서는 팁부 정렬 범프(133)를 이용하여 프로브핀(100)을 한쪽으로 정렬하므로, 프로브핀(100)이 제2 관통구멍(21)의 내부에서 폭 방향(Y 방향)으로 자유롭게 이동하는 경우에 비해서 몸체부(120)의 폭을 크게 할 수 있다는 장점이 있다.

이어서, 상술한 프로브핀(100)의 팁부(130)가 피검사체(30)의 패드(31)에 대해서 눌렸을 때, 프로브핀(100)의 동작에 대해서 간단히 설명한다. 프로브핀(100)의 팁부(130)가 피검사체(30)의 패드(31)에 대해서 눌리면, Z 방향의 압축력이 프로브핀(100)에 작용한다. 프로브핀(100)의 팁부(130)가 제2 관통구멍(21)의 내면을 따라서 슬라이딩하면서, 몸체부(120)가 Y 방향으로 변형된다. 이때, 팁부(130)는 제2 측면(132)이 제1 측면(131)에 비해서 제2 관통구멍(21)의 내면에 더 가까운 상태로 정렬된 상태로 움직인다.

도 3은 팁부 정렬 범프의 다른 예들을 나타낸 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 프로브핀의 팁부는 다양한 형태의 팁부 정렬 범프를 구비할 수 있으며, 복수 개의 팁부 정렬 범프를 구비할 수도 있다.

도 4는 도 1의 도시된 프로브핀의 다른 실시예의 일부를 나타낸 도면이다.

도 4에 도시된 바와 같이 본 실시예에서 헤드부(210)의 끝단(215)에는 제1 관통구멍(11)에 걸리도록 일 측으로 돌출된 스토퍼(216)가 형성될 수 있다. 상술한 바와 같이, 도 2의 몸체부(120)와 팁부(110)를 연결한 제2 전이부(125) 또는 몸체부(120)가 프로브핀(100)이 아래 방향(-Z 방향)으로 빠지는 것을 방지하는 스토퍼 역할을 하지만, 헤드부(210)의 끝단(215)에도 보조적인 스토퍼(216)를 형성할 수 있다. 단, 측정을 위한 압력이 가해지면, 스토퍼(216)의 상당부분이 제1 관통구멍(11)의 내부로 미끄러져 이동한다.

도 5는 스토퍼의 다른 예들을 나타낸 도면이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 헤드부에는 다양한 형태의 스토퍼가 형성될 수 있다.

또한, 헤드부(210)는 제3 측면(211) 및 상기 제3 측면(211)에 대향하는 제4 측면(212)을 구비한다. 제3 측면(211)과 제4 측면(212)은 X 방향과 직교한다. 헤드부(210)의 제3 측면(211)에는, 제3 측면(211)에서 제1 관통구멍(11)의 내면을 향해서 돌출된 헤드부 정렬 범프(213)가 형성된다. 헤드부 정렬 범프(213)는 제4 측면(212)이 제3 측면(211)에 비해서 제1 관통구멍(11)의 내면에 더 가까운 상태로 헤드부(210)의 대부분이 제1 관통구멍(11) 내부에서 정렬되도록 한다.

헤드부 정렬 범프(213)는 팁부 정렬 범프(133)와 동일한 방향으로 돌출될 수 있다.

헤드부(210)의 스토퍼(216)는 헤드부 정렬 범프(113)의 돌출방향과 반대방향으로 돌출되는 것이 바람직하다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.

예를 들어, 헤드부 정렬 범프도 팁부 정렬 범프와 마찬가지로, 도 3에 예시된 바와 같은 다양한 형태일 수 있다.

10: 제1 지지체 11: 제1 관통구멍
20: 제2 지지체 21: 제2 관통구멍
30: 피검사체 31: 피검사체 패드
40: 금속판 50: 프레스 장치
100: 프로브핀
110, 210: 헤드부 111, 211: 제3 측면
112, 212: 제4 측면 213: 헤드부 정렬 범프
215: 스토퍼 120: 몸체부
125: 제1 전이부 126: 제2 전이부
130: 팁부 131: 제1 측면
132: 제2 측면 133: 팁부 정렬 범프

Claims

제1 관통구멍이 형성된 제1 지지체와 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체 및 복수의 프로브핀을 포함하는 프로브핀 조립체에 사용되는 프로브핀으로서,
헤드부, 피검사체에 접촉하는 팁부 및 헤드부와 팁부 사이에 위치하며, 상기 팁부에 압력이 가해지면 탄성 변형되는 몸체부를 포함하며,
상기 팁부는 제1 측면 및 상기 제1 측면에 대향하는 제2 측면을 구비하며, 상기 팁부의 제1 측면에는, 상기 제2 측면이 상기 제1 측면에 비해서 상기 제2 관통구멍의 내면에 더 가까운 상태로 상기 팁부의 일부가 상기 제2 관통구멍 내부에서 정렬되도록, 상기 제1 측면에서 제2 관통구멍의 내면을 향해서 돌출된 팁부 정렬 범프가 형성되고,
상기 몸체부는 상기 헤드부 및 팁부에 비해서 두께가 얇고, 폭이 넓으며, 상기 몸체부의 폭 방향 중심선은 상기 팁부의 폭 방향 중심선으로부터 제2 측면 방향으로 치우친 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀.
제1항에 있어서,
상기 헤드부의 끝단에는 상기 제1 관통구멍에 걸리도록 상기 헤드부의 일 측으로 돌출된 스토퍼가 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀.
제1항에 있어서,
상기 헤드부는 제3 측면 및 상기 제3 측면에 대향하는 제4 측면을 구비하며, 상기 헤드부의 제3 측면에는, 상기 제4 측면이 상기 제3 측면에 비해서 상기 제1 관통구멍의 내면에 더 가까운 상태로 상기 헤드부의 일부가 상기 제1 관통구멍 내부에서 정렬되도록, 상기 제3 측면에서 제1 관통구멍의 내면을 향해서 돌출된 헤드부 정렬 범프가 형성된 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀.
제3항에 있어서,
상기 제3 측면과 상기 제1 측면은 같은 쪽 측면인 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀.
제3항에 있어서,
상기 헤드부의 끝단에는 상기 제1 관통구멍에 걸리도록 상기 헤드부의 일 측으로 돌출된 스토퍼가 형성되며,
상기 스토퍼와 상기 헤드부 정렬 범프는 서로 반대 방향으로 돌출된 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀.
제1항에 있어서,
상기 헤드부와 상기 팁부의 축선은 일치하며,
상기 몸체부는 상기 축선과 교차하는 방향으로 돌출되도록 굽은 것을 특징으로 하는 수직형 프로브핀.
복수의 제1 관통구멍이 형성된 제1 지지체와,
상기 제1 지지체와 일정한 간격으로 나란하게 배치되며, 복수의 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체와,
상기 제1 관통구멍 및 제2 관통구멍에 삽입되는 복수의 프로브핀을 포함하며,
상기 프로브핀은 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 프로브핀인 프로브핀 조립체.