KR20220142312A

KR20220142312A - 프로브 카드 장치 및 스프링형 프로브

Info

Publication number: KR20220142312A
Application number: KR1020210076626A
Authority: KR
Inventors: 시 카이-치; 수 웨이-지; 첸 홍-밍; 샌카르 라마찬드란 벨
Original assignee: 충화 프레시전 테스트 테크 컴퍼티 리미티드
Priority date: 2021-04-14
Filing date: 2021-06-14
Publication date: 2022-10-21
Also published as: KR102631577B1; TWI751940B; JP2022163670A; US11460486B1; TW202240173A; US20220334145A1

Abstract

본 발명은 프로브 카드 장치 및 스프링형 프로브를 개시한다. 상기 스프링형 프로브에는 길이 방향 및 상기 길이 방향에 평행되는 이격면이 설치되고, 교환단부 및 테스트단부를 포함한다. 상기 스프링형 프로브는 상기 교환단부와 상기 테스트단부 사이의 부위에，이격되게 설치되는 동시에 상기 이격면의 반대되는 양측에 각각 설치되는 두 개의 스트로크 암을 형성한다. 각각의 상기 스트로크 암은 휨 형상을 이루고, 두 개의 상기 스트로크 암이 각각 상기 이격면에 정투영되어 형성한 두 개의 투영 영역에서, 이는 적어도 하나의 교차점을 구비한다. 상기 길이 방향에 수직되는 두 개의 상기 스트로크 암의 단면에서, 임의의 한 상기 스트로크 암의 단면적은 다른 한 상기 스트로크 암의 단면적의 95%~105%이다.

Description

프로브 카드 장치 및 스프링형 프로브{PROBE CARD DEVICE AND SPRING-LIKE PROBE}

본 발명은 프로브 카드에 관한 것으로, 특히 프로브 카드 장치 및 스프링형 프로브에 관한 것이다.

종래의 프로브 카드 장치는 이의 다수의 전도성 프로브로 신호와 전류를 수송하지만 종래의 전도성 프로브가 이미 점차적으로 기존의 구조 설계 프레임의 한정을 받으므로 새로운 구조가 발생할 수 없게 된다. 예를 들어 설명하면, 종래의 전도성 프로브(예를 들어, pogo pin)는 멀티파트 구조에 의해 스프링 기능을 가진다.

본 발명의 실시예는 프로브 카드 장치 및 스프링형 프로브를 제공하는데, 이는 종래의 전도성 프로브에 발생할 수 있는 단점을 효과적으로 개선할 수 있다.

본 발명의 실시예는 프로브 카드 장치를 개시하는데, 서로 이격되게 설치되는 제1 가이드 패널 유닛과 제2 가이드 패널 유닛; 상기 제1 가이드 패널 유닛과 상기 제2 가이드 패널 유닛에 관통되게 설치되고, 길이 방향 및 상기 길이 방향에 평행되는 이격면이 설치되며, 상기 제2 가이드 패널 유닛과 멀리한 상기 제1 가이드 패널 유닛의 외측에 위치하는 교환단부, 및 상기 제1 가이드 패널 유닛과 멀리한 상기 제2 가이드 패널 유닛의 외측에 위치하여 분리 가능하게 피측물에 탑 서포트되는 테스트단부를 포함하는 다수의 스프링형 프로브를 포함하는 프로브 카드 장치에 있어서, 각각의 상기 스프링형 프로브는 상기 교환단부와 상기 테스트단부 사이의 부위에, 이격되게 설치되는 동시에 상기 이격면의 반대되는 양측에 각각 설치되는 두 개의 스트로크 암을 형성하고; 각각의 상기 스프링형 프로브에서, 각각의 상기 스트로크 암은 휨 형상을 이루며, 두 개의 상기 스트로크 암이 각각 상기 이격면에 정투영되어 형성한 두 개의 투영 영역에서, 이는 적어도 하나의 교차점을 구비하고; 상기 길이 방향에 수직되는 각각의 상기 스프링형 프로브의 두 개의 상기 스트로크 암의 단면에서, 임의의 한 상기 스트로크 암의 단면적은 다른 한 상기 스트로크 암의 단면적의 95%~105%이다.

본 발명의 실시예는 스프링형 프로브를 더 개시하는데, 길이 방향 및 상기 길이 방향에 평행되는 이격면이 설치되고, 신호 교환 보드에 탑 서포트하기 위한 교환단부; 및 피측물에 분리 가능하게 탑 서포트되는 테스트단부를 포함하는 스프링형 프로브에 있어서, 상기 스프링형 프로브는 상기 교환단부와 상기 테스트단부 사이의 부위에, 이격되게 설치되는 동시에 상기 이격면의 반대되는 양측에 각각 설치되는 두 개의 스트로크 암을 형성하고; 각각의 상기 스트로크 암은 휨 형상을 이루며, 두 개의 상기 스트로크 암이 각각 상기 이격면에 정투영되어 형성한 두 개의 투영 영역에서, 이는 적어도 하나의 교차점을 구비하고; 상기 길이 방향에 수직되는 상기 스프링형 프로브의 두 개의 상기 스트로크 암의 단면에서, 임의의 한 상기 스트로크 암의 단면적은 다른 한 상기 스트로크 암의 단면적의 95%~105%이다.

상술한 내용을 종합하면, 본 발명의 실시예에서 개시한 프로브 카드 장치 및 스프링형 프로브는, 상기 교환단부와 상기 테스트단부 사이의 두 개의 상기 스트로크 암의 구조 설계(예를 들어, 두 개의 상기 스트로크 암은 이격되게 설치되는 동시에 상기 이격면의 반대되는 양측에 각각 위치하고; 두 개의 상기 스트로크 암이 각각 상기 이격면에 정투영되어 형성한 두 개의 투영 영역은 적어도 하나의 교차점을 구비)를 통해 스프링과 유사한 기능을 제공함으로써 새로운 전도성 프로브 구조를 구현할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예1에 따른 프로브 카드 장치의 평면 모식도이다.
도 2는 도 1의 다수의 스프링형 프로브가 상기 길이 방향을 따라 압력을 받을 경우의 평면 모식도이다.
도 3은 본 발명의 실시예1에 따른 스프링형 프로브의 입체 모식도이다.
도 4는 도 3에서 단면선 IV-IV에 따른 단면 모식도이다.
도 5는 도 3에 대응되는 입체 단면 모식도이다.
도 6은 도 3에서 단면선 VI-VI에 따른 단면 모식도이다.
도 7은 도 6에 대응되는 입체 단면 모식도이다.
도 8은 도 3에서 단면선 VIII-VIII에 따른 단면 모식도이다.
도 9는 도 8에 대응되는 입체 단면 모식도이다.
도 10은 본 발명의 실시예2에 따른 스프링형 프로브의 입체 모식도이다.
도 11은 도 10의 평면 모식도이다.
도 12는 도 10에서 단면선 XII-XII에 따른 단면 모식도이다.
도 13은 도 12에 대응되는 입체 단면 모식도이다.

[실시예1]

도 1 내지 도 9에 도시된 내용을 참조하면, 이는 본 발명의 실시예1이다. 본 실시예는 프로브 카드 장치(1000)를 개시하는데, 이는 프로브 헤드(100) 및 상기 프로브 헤드(100) 일측(예를 들어, 도 1의 프로브 헤드(100) 최상측)에 당접되는 신호 교환 보드(200)를 포함하고, 상기 프로브 헤드(100)의 타측(예를 들어, 도 1의 프로브 헤드(100)밑측)은 피측물(device under test, DUT)(도면 미도시, 예를 들어, 반도체 웨이퍼)에 탑 서포트되어 테스트를 진행한다.

미리 설명해야 할 것은, 본 실시예를 용이하게 이해하기 위해, 도시된 내용은 단지 상기 프로브 카드 장치(1000)의 국부 구조만 도시하여 상기 프로브 카드 장치(1000)의 각 어셈블리 구조와 연결관계를 뚜렷이 나타내기 용이하도록 하지만 본 발명은 도면에 한정되지 않는다. 이하 상기 프로브 헤드(100)의 각 어셈블리 구조 및 이의 연결관계를 각각 소개한다.

도 1와 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 프로브 헤드(100)는 제1 가이드 패널 유닛(1), 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)과 이격되게 설치된 제2 가이드 패널 유닛(2), 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)과 제2 가이드 패널 유닛(2) 사이의에 클램핑된 격판(3) 및 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)과 상기 제2 가이드 패널 유닛(2)에 관통되게 설치된 다수의 스프링형 프로브(4)를 포함한다.

설명해야 할 것은, 상기 스프링형 프로브(4)에 대하여 본 실시예에서는 상기 제1 가이드 패널 유닛(1), 상기 제2 가이드 패널 유닛(2) 및 상기 격판(3)과 배합하여 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어 설명하면, 본 발명의 도시되지 않은 기타 실시예에서, 상기 스프링형 프로브(4)는 독립되게 응용(예를 들어 판매)되거나 또는 기타 구조와 배합하여 사용될 수 있다. 또한, 상기 프로브 헤드(100)는 상기 스프링형 프로브(4)의 구조 설계를 통해 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)으로 하여금 상기 제2 가이드 패널 유닛(2)에 대해 오프셋되지 않게 설치되도록 할 수 있으나 본 발명은 이에 한정하지 않는다.

본 실시예에서, 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)은 하나의 제1 가이드 패널을 포함하고 상기 제2 가이드 패널 유닛(2)은 하나의 제2 가이드 패널을 포함한다. 그러나 본 발명의 도시되지 않은 기타 실시예에서, 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)은 다수의 제1 가이드 패널(및 이웃하는 두 개의 상기 제1 가이드 패널 사이에 클램핑된 스페이서)을 포함할 수 있고 상기 제2 가이드 패널 유닛(2)도 다수의 제2 가이드 패널(및 이웃하는 두 개의 상기 제2 가이드 패널 사이에 클램핑된 스페이서)을 포함할 수 있으며 다수의 상기 제1 가이드 패널은 서로 오프셋되게 설치될 수 있고 다수의 상기 제2 가이드 패널도 서로 오프셋되게 설치될 수 있다.

또한, 상기 격판(3)은 환형 구조 일 수 있고 상기 격판(3)은 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)과 상기 제2 가이드 패널 유닛(2)의 서로 대응되는 외곽 부위에 클램핑될 수 있으나 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어 설명하면, 본 발명의 도시되지 않은 기타 실시예에서, 상기 프로브 카드 장치(1000)의 상기 격판(3)은 생략되거나 기타 구조에 의해 대체될 수 있다.

미리 설명해야 할 것은, 다수의 상기 스프링형 프로브(4)는 본 실시예에서 대체적으로 동일한 구조를 가지므로 설명의 편리를 위하여 아래에서는 하나의 상기 스프링형 프로브(4)를 소개하지만 본 발명은 이에 한정하지 않는다. 예를 들어 설명하면, 본 발명의 도시되지 않은 기타 실시예에서, 상기 프로브 헤드(100)가 포함하는 다수의 상기 스프링형 프로브(4)의 구조는 약간의 차이가 있을 수 있다.

도 1과 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 스프링형 프로브(4)는 본 실시예에서 일체로 형성된 단일형 구조이고 상기 스프링형 프로브(4)는 대체적으로 직선형인 동시에 길이 방향(L)이 정의된다. 여기서, 상기 스프링형 프로브(4)는 상기 길이 방향(L)에서 바늘 길이(L4)를 가지고, 상기 바늘 길이(L4)는 본 실시예에서 4밀리미터(mm)보다 작은 것으로 설명된다.

상기 스프링형 프로브(4)의 외표면에는 두 개의 넓은 측면(4a)과 두 개의 좁은 측면(4b)이 포함되고, 두 개의 상기 넓은 측면(4a)과 두 개의 상기 좁은 측면(4b)은 모두 상기 길이 방향(L)과 평형되며, 두 개의 상기 넓은 측면(4a)은 각각 상기 스프링형 프로브(4)의 반대되는 양측에 위치하고, 두 개의 상기 좁은 측면(4b)은 각각 상기 스프링형 프로브(4)의 반대되는 다른 양측에 위치한다.

또한, 도 1, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 스프링형 프로브(4)가 본 실시예에서의 구체적인 구조를 용이하게 설명하기 위하여 상기 스프링형 프로브(4)은 상기 길이 방향(L)에 평행되는 이격면(P1) 및 상기 길이 방향(L)에 평행되는 동시에 상기 이격면(P1)에 수직되는 레이아웃면(P2)을 더 정의할 수 있다. 본 실시예에서, 상기 이격면(P1)은 임의의 한 상기 넓은 측면(4a)에 수직되고, 상기 이격면(P1)은 임의의 한 상기 넓은 측면(4a)의 수직 평분면 일 수 있으며; 상기 레이아웃면(P2)은 임의의 한 상기 좁은 측면(4b)에 수직되고, 상기 레이아웃면(P2)은 임의의 한 상기 좁은 측면(4b)의 수직 평분면 일 수 있으나 본 발명은 상술한 내용에 한정되지 않는다. 예를 들어 설명하면, 본 발명의 도시되지 않은 기타 실시예에서, 상기 이격면(P1)은 임의의 한 상기 좁은 측면(4b)에 수직될 수 있고 상기 레이아웃면(P2)은 임의의 한 상기 넓은 측면(4a)에 수직될 수 있다.

다른 각도로 보면, 상기 스프링형 프로브(4)는 제1 단(41), 상기 제1 단(41)이 상기 길이 방향(L)을 따라 이격되게 설치된 제2 단(42) 및 상기 제1 단(41)과 상기 제2 단(42)을 연결하는 두 개의 스트로크 암(43)(예를 들어, 임의의 한 상기 스트로크 암(43)의 두 개의 말단(431)은 각각 상기 제1 단(41)과 상기 제2 단(42)에 연결됨)을 포함한다.

여기서, 상기 제1 단(41)은 교환단부(411) 및 상기 교환단부(411)에 연결되는 제1 연장부(412)를 구비하고, 상기 교환단부(411)에는 이의 반대되는 양측에 위치하는 두 개의 리미트 범프(4111)가 포함되며; 상기 제2 단(42)은 테스트단부(421) 및 상기 테스트단부(421)에 연결되는 제2 연장부(422)를 구비하고, 상기 제1 연장부(412)와 상기 제2 연장부(422)는 서로 이웃되게 설치된다.

또한, 임의의 한 상기 스트로크 암(43)은 상기 길이 방향(L)에서의 길이(L43)에 대응되되, 이는 상기 바늘 길이(L4)의 50%~90%이고, 임의의 한 상기 스트로크 암(43)의 두 개의 상기 말단(431)은 각각 상기 제1 연장부(412) 및 상기 제2 연장부(422)와 대향하는 끝면(413, 423)에 연결되며; 본 실시예에서, 두 개의 상기 스트로크 암(43)은 상기 제1 단(41) 및 상기 제2 단(42) 사이의 공간(S) 내에 위치하고, 상기 스프링형 프로브(4)상기 길이 방향(L)을 따라 압력을 받아 이의 두 개의 상기 스트로크 암(43)으로 하여금 상기 공간(S)의 외부를 향해 변형이 발생하도록 할 수 있으나 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예를 들어 설명하면, 본 발명의 도시되지 않은 기타 실시예에서, 상기 스프링형 프로브(4)가 압박을 받지 않은 초기 상태에서, 임의의 한 상기 스트로크 암(43)도 일부 상기 공간(S)의 외부에 위치할 수 있다.

더 상세히 설명하면, 상기 제1 연장부(412)의 일부는 상기 제1 가이드 패널 유닛(1) 내에 위치하고 상기 제1 연장부(412)의 나머지 부위는 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)과 상기 제2 가이드 패널 유닛(2) 사이에 위치하며 상기 교환단부(411)는 상기 제2 가이드 패널 유닛(2)과 멀리한 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)의 외측(예를 들어, 도 1에서의 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)의 상측)에 위치한다. 여기서, 상기 교환단부(411)의 두 개의 상기 리미트 범프(4111)는 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)의 외표면에 탑 서포트되기 위한 것이고, 상기 교환단부(411)(의 말단)은 상기 신호 교환 보드(200)에 탑 서포트되기 위한 것이다.

또한, 상기 제2 연장부(422)의 일부는 상기 제2 가이드 패널 유닛(2) 내에 위치하고 상기 제2 연장부(422)의 나머지 부위는 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)과 상기 제2 가이드 패널 유닛(2) 사이에 위치하며 상기 테스트단부(421)는 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)과 멀리한 상기 제2 가이드 패널 유닛(2)의 외측(예를 들어, 도 1에서의 상기 제2 가이드 패널 유닛(2)의 하측)에 위치한다. 여기서, 상기 테스트단부(421)(의 말단)은 분리 가능하게 상기 피측물에 탑 서포트되기 위한 것이다.

이 밖에, 두 개의 상기 스트로크 암(43)은 본 실시예에서 상기 제1 가이드 패널 유닛(1)과 상기 제2 가이드 패널 유닛(2) 사이에 위치한다. 별도로 설명해야 할 것은, 두 개의 상기 스트로크 암(43)은 반드시 상기 교환단부(411)와 상기 테스트단부(421) 사이의 상기 스프링형 프로브(4) 부위에 위치해야 하지만 상기 제1 단(41)과 상기 제2 단(42)의 구체적인 구조는 설계 수요에 따라 조절 변화할 수 있는 바, 본 실시예의 기재에 한정되지 않는다. 예를 들어 설명하면, 본 발명의 도시되지 않은 기타 실시예에서, 상기 제1 단(41)은 상기 제1 연장부(412)를 생략할 수 있고 상기 제2 단(42)은 상기 제2 연장부(422)를 생략할 수 있다.

상기 스프링형 프로브(4)는 스프링과 유사한 기능을 구비할 수 있는 바, 두 개의 상기 스트로크 암(43)은 바람직하게 아래 기술적 특징의 적어도 일부를 포함한다. 도 3 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 각각의 상기 스트로크 암(43)은 휨 형상을 이루고, 두 개의 상기 스트로크 암(43)은 이격되게 설치되는 동시에 각각 상기 이격면(P1)의 반대되는 양측(예를 들어, 도 4, 도 6 및 도 8)에 위치하며, 임의의 한 상기 스트로크 암(43)의 두 개의 상기 말단(431)은 각각 상기 레이아웃면(P2)의 반대되는 양측(예를 들어, 도 4와 도 6에서)에 위치한다.

다른 각도로 설명하면, 상기 제1 연장부(412)의 상기 끝면(413) 및 상기 제2 연장부(422)의 상기 끝면(423)은 각각 상기 이격면(P1)과 상기 레이아웃면(P2)에 의해 4개의 사분면으로 구별되는 것으로 간주할 수 있고, 상기 제1 연장부(412)의 4개의 상기 사분면은 상기 길이 방향(L)을 따라 상기 제2 연장부(422)의 4개의 상기 사분면과 각각 대응될 수 있다.

여기서, 상기 제1 연장부(412)의 상기 끝면(413)은 이의 경사지게 대향하는 두 개의 상기 사분면에 의해 각각 두 개의 상기 스트로크 암(43)과 연결되고, 상기 제2 연장부(422)의 상기 끝면(423)은 이의 경사지게 대향하는 두 개의 상기 사분면에 의해 각각 두 개의 상기 스트로크 암(43)에 연결된다. 또한, 두 개의 상기 스트로크 암(43)에 연결되는 상기 제1 연장부(412)의 두 개의 상기 사분면은 상기 길이 방향(L)을 따라 두 개의 상기 스트로크 암(43)에 연결되는 상기 제2 연장부(422)의 두 개의 상기 사분면과 대응되지 않는다.

더 상세히 설명하면, 두 개의 상기 스트로크 암(43)이 각각 상기 이격면(P1)에 정투영하여 형성한 두 개의 투영 영역은 교차점(C)를 구비하고, 각각의 상기 스트로크 암(43)은 위치가 상기 교차점(C)과 대응되는 반곡점을 구비한다. 바꾸어 말하면, 임의의 한 상기 스트로크 암(43)은 순차적으로 연결되는 두 개의 아크부(432)를 포함하고, 두 개의 상기 아크부(432)가 연결되는 곳은 상기 반곡점이며, 두 개의 상기 아크부(432)는 각각 상기 레이아웃면(P2)의 반대되는 양측에 위치하지만 본 발명은 상술한 내용에 한정되지 않는다. 예를 들어 설명하면, 두 개의 상기 투영 영역의 상기 교차점(C)의 수량 및 각각의 상기 스트로크 암(43)의 상기 반곡점의 수량은 각각 적어도 하나 일 수 있다.

이 밖에, 상기 길이 방향(L)에 수직되는 상기 스프링형 프로브(4)의 두 개의 상기 스트로크 암(43)의 단면에서, 임의의 한 상기 스트로크 암(43)의 단면적은 다른 한 상기 스트로크 암(43)의 단면적의 95%~105%(예를 들어, 두 개의 상기 스트로크 암(43)의 단면적은 대등)이고, 이로써 두 개의 상기 스트로크 암(43)으로 하여금 유사한 전기 전도 특성(예를 들어, 저항 값)을 가지도록 한다.

[실시예2]

도 10 내지 도 13에 도시된 내용을 참조하면, 이는 본 발명의 실시예2이다. 본 실시예가 상기 실시예1과 유사하므로 두 개의 실시예의 동일한 부분은 더 이상 설명하지 않으며, 본 실시예가 상기 실시예1과 비교한 차이점은 대체적으로 설명하면 아래와 같다.

본 실시예에서, 두 개의 상기 스트로크 암(43)이 각각 상기 이격면(P1)에 정투영되어 형성된 두 개의 투영 영역은 다수의 교차점(C)을 구비하고; 각각의 상기 스트로크 암(43)은 위치가 다수의 상기 교차점(C)에 각각 대응되는 다수의 반곡점을 구비한다. 여기서, 각각의 상기 스트로크 암(43)의 다수의 상기 교차점(C)의 수량은 본 실시예에서 홀수개이고, 임의의 한 상기 스트로크 암(43)은 순차적으로 연결되는 다수의 아크부(432)를 포함하며 다수의 상기 아크부(432)는 각각 교차적으로 상기 레이아웃면(P2)의 반대되는 양측에 위치한다.

[본 발명의 실시예의 기술적 효과]

또한, 본 발명의 실시예가 개시한 프로브 카드 장치 및 스프링형 프로브는 두 개의 상기 스트로크 암에 의해 유사한 단면적을 구비하여 두 개의 상기 스트로크 암으로 하여금 유사한 전기 전도 특성(예를 들어, 저항 값)을 가지도록 한다.

이상에서 개시한 내용은 단지 본 발명의 바람직하고 실행 가능한 실시예일 뿐 본 발명의 특허범위가 이로써 한정되는 것이 아니므로 본 발명의 명세서 및 도면을 이용하여 진행한 등가적인 기술변화는 모두 본 발명의 특허범위 내에 포함되어야 한다.

1000: 프로브 카드 장치
100: 프로브 헤드
1: 제1 가이드 패널 유닛
2: 제2 가이드 패널 유닛
3: 격판
4: 스프링형 프로브
4a: 넓은 측면
4b: 좁은 측면
41: 제1 단
411: 교환단부
4111: 리미트 범프
412: 제1 연장부
413: 끝면
42: 제2 단
421: 테스트단부
422: 제2 연장부
423: 끝면
43: 스트로크 암
431: 말단
432: 아크부
200: 신호 교환 보드
S: 공간
L: 길이 방향
L4: 바늘 길이
L43: 길이
P1: 이격면
P2: 레이아웃면
C: 교차점

Claims

서로 이격되게 설치되는 제1 가이드 패널 유닛과 제2 가이드 패널 유닛;
상기 제1 가이드 패널 유닛과 상기 제2 가이드 패널 유닛에 관통되게 설치되고, 길이 방향 및 상기 길이 방향에 평행되는 이격면이 설치되며,
상기 제2 가이드 패널 유닛과 멀리한 상기 제1 가이드 패널 유닛의 외측에 위치하는 교환단부, 및
상기 제1 가이드 패널 유닛과 멀리한 상기 제2 가이드 패널 유닛의 외측에 위치하여 분리 가능하게 피측물에 탑 서포트되는 테스트단부를 포함하는 다수의 스프링형 프로브를 포함하는 프로브 카드 장치에 있어서,
각각의 상기 스프링형 프로브는 상기 교환단부와 상기 테스트단부 사이의 부위에, 이격되게 설치되는 동시에 상기 이격면의 반대되는 양측에 각각 설치되는 두 개의 스트로크 암을 형성하고; 각각의 상기 스프링형 프로브에서, 각각의 상기 스트로크 암은 휨 형상을 이루며, 두 개의 상기 스트로크 암이 각각 상기 이격면에 정투영되어 형성한 두 개의 투영 영역에서, 이는 적어도 하나의 교차점을 구비하고;
상기 길이 방향에 수직되는 각각의 상기 스프링형 프로브의 두 개의 상기 스트로크 암의 단면에서, 임의의 한 상기 스트로크 암의 단면적은 다른 한 상기 스트로크 암의 단면적의 95%~105%인 것을 특징으로 하는 프로브 카드 장치.
제1항에 있어서,
각각의 상기 스프링형 프로브는 상기 교환단부를 구비하는 제1 단 및 상기 테스트단부를 구비하는 제2 단을 포함하고; 각각의 상기 스프링형 프로브에서, 임의의 한 상기 스트로크 암의 두 개의 말단은 각각 상기 제1 단과 상기 제2 단에 연결되며; 각각의 상기 스프링형 프로브에서, 두 개의 상기 스트로크 암은 상기 제1 단과 상기 제2 단 사이의 공간 내에 위치하고; 상기 제1 가이드 패널 유닛은 상기 제2 가이드 패널 유닛에 대해 오프셋되지 않게 설치되며, 임의의 한 상기 스프링형 프로브는 상기 길이 방향을 따라 압력을 받아 이의 두 개의 상기 스트로크 암이 상기 공간의 외부를 향해 변형이 발생할 수 있는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 장치.
제1항에 있어서,
각각의 상기 스프링형 프로브의 외표면에는 상기 길이 방향과 평행되는 동시에 반대되는 양측에 각각 위치하는 두 개의 넓은 측면이 포함되고, 각각의 상기 스프링형 프로브에는 상기 길이 방향과 평행되는 동시에 상기 이격면에 수직되는 레이아웃면이 설치되며; 각각의 상기 스프링형 프로브에서, 상기 이격면은 임의의 한 상기 넓은 측면에 수직되고, 임의의 한 상기 스트로크 암의 두 개의 말단은 각각 상기 레이아웃면의 반대되는 양측에 위치하는 것을 특징으로 하는 프로브 카드 장치.
제1항에 있어서,
각각의 상기 스프링형 프로브는 상기 길이 방향에서 4밀리미터(mm)보다 크지 않은 바늘 길이를 가지고; 각각의 상기 스프링형 프로브에서, 적어도 하나의 상기 교차점의 수량은 홀수개이며, 임의의 한 상기 스트로크 암은 상기 길이 방향의 길이에 대응되고, 이는 상기 바늘 길이의 50%~90%인 것을 특징으로 하는 프로브 카드 장치.
길이 방향 및 상기 길이 방향에 평행되는 이격면이 설치되고,
신호 교환 보드에 탑 서포트하기 위한 교환단부; 및
피측물에 분리 가능하게 탑 서포트되는 테스트단부를 포함하는 스프링형 프로브에 있어서,
상기 스프링형 프로브는 상기 교환단부와 상기 테스트단부 사이의 부위에, 이격되게 설치되는 동시에 상기 이격면의 반대되는 양측에 각각 설치되는 두 개의 스트로크 암을 형성하고; 각각의 상기 스트로크 암은 휨 형상을 이루며, 두 개의 상기 스트로크 암이 각각 상기 이격면에 정투영되어 형성한 두 개의 투영 영역에서, 이는 적어도 하나의 교차점을 구비하고;
상기 길이 방향에 수직되는 상기 스프링형 프로브의 두 개의 상기 스트로크 암의 단면에서, 임의의 한 상기 스트로크 암의 단면적은 다른 한 상기 스트로크 암의 단면적의 95%~105%인 것을 특징으로 하는 스프링형 프로브.