KR20100057258A

KR20100057258A - 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드

Info

Publication number: KR20100057258A
Application number: KR1020080116218A
Authority: KR
Inventors: 이상로; 권태경
Original assignee: (주)유비프리시젼
Priority date: 2008-11-21
Filing date: 2008-11-21
Publication date: 2010-05-31
Also published as: KR101047460B1

Abstract

본 발명은 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드에 관한 것으로서, 특히 듀얼 타입의 프로브 카드에 있어서, 테두리에 복수의 입출력 패드가 구비되는 원판 형태로 형성되고, 상기 입출력 패드중 출력측 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 1커넥터용 패드가 양측면에 형성되며, 상기 제 1커넥터용 패드와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터가 구비되는 메인 PCB와; 스틸 재질로 사각 형태로 형성되어 상기 메인 PCB의 저면 중앙부에 체결되는 플레이트와; 상단에 복수의 니들이 배열되고, 상기 플레이트에 고정 설치되어 상기 메인 PCB의 상면으로 돌출 형성되는 복수의 니들 블록과; 직사각형태로 형성되고, 절단면인 상면에 복수의 출력 니들용 접촉 패드가 형성되고, 상기 출력 니들용 접촉 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 2커넥터용 패드가 일측면에 형성되며, 상기 제 2커넥터용 패드와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터를 구비하는 복수의 서브 PCB; 및 상기 메인 PCB의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터와 상기 서브 PCB의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터를 전기적으로 연결시키는 복수의 마이크로 동축 케이블로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 본 발명에 따르면 마이크로 동축 케이블과 커넥터를 이용하여 배선을 수행함으로써 구조를 단순화시켜 와이어 및 솔더링 부위를 배제함으로써 불량 발생률을 상대적으로 낮추고, 제작 시간을 상대적으로 단축시킬 수 있다.

프로브 카드, PCB, 플레이트, 마이크로 동축 케이블, 커넥터

Description

마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드{MICRO COAXIAL CABLE TYPE PROBE CARD}

본 발명은 프로브 카드에 관한 것으로서, 상세하게는 마이크로 동축 케이블과 커넥터를 이용하여 배선을 수행하도록 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드에 관한 것이다.

일반적으로 프로브 카드는 반도체 소자의 정상 동작 유무를 확인하는 테스트 공정에 사용된다. 최근의 반도체 소자에 대한 패키지 형태는 다양한 양상을 나타내므로 프로브 카드 또한 테스트되는 반도체 소자의 패키지 형태에 따라 다양한 양상을 가진다.

도 1에는 종래 기술에 의한 싱글 타입의 니들 프로브카드(10)의 개략적 평면도가 도시되어 있다. 니들 프로브카드(10)는 일반적으로 PCB기판 또는 Al기판 등의 니들고정기판(12), 상기 니들고정기판(12) 위에 에폭시수지(14)에 의해 고정되어 있는 그 단부가 테스트패드에 접촉되는 다수의 니들(30), 그리고 상기 에폭시수지(14)를 보강하기 위한 세라믹보강링(16)으로 구성된다. 한편, 도 1에는 원형인 니들고정기판(10)이 도시되어 있으나 사각형 등 다양한 형태가 가능하다.

싱글 타입의 니들 프로브카드(10)는 도 1의 상하방향을 기준으로 니들 그룹이 니들고정기판(10) 2개소에 배치되어 1개의 제품만 검사할 수 있도록 구성되어 있다. 한편, 측정효율을 향상시키기 위해 듀얼 타입의 니들 프로브카드는 2개의 제품을 동시에 검사할 수 있도록 상기 싱글 타입의 니들 프로브카드를 개량한 것이다. 즉, 듀얼 타입 니들 프로브카드에서는 니들 그룹을 4개소에 배치하여 일측 2개소의 니들이 하나의 제품을, 타측 2개소의 니들이 또 하나의 제품을 검사하도록 구성되어 있다.

이하, 도 2를 참조하면서 듀얼 타입 니들 프로브카드의 구조에 대해 보다 상세하게 설명한다. 도 2는 TAB테이프(50)를 검사하기 위해 하방으로 설치된 종래기술에 의한 듀얼 타입 니들 프로브카드(10)의 일부 단면도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 듀얼 타입 니들 프로브카드(10)는 니들고정기판(12), 상기 니들고정기판(12)에 에폭시수지(14)에 의해 고정되어 있는 다수의 니들 그룹들(32,34,36,38)로 구성되어 있다.

상기 듀얼 타입 니들 프로브카드(10)를 종방향(도 1에서는 상하방향)으로 절단하였을 때, 상기 니들고정기판(12)에는 니들 그룹이 에폭시수지(14)에 의해 4개소에 고정되어 있다. 상기 니들고정기판(12)을 중심으로 좌측(도 2에서)에 제1조 니들(32,34)이, 우측에 제2조 니들(36,38)이 구비되어 있다. 상기 제1조 및 제2조 니들들은 각각 니들고정기판(12)의 중심부에 위치한 내측니들(34,36) 및 그 외측에 위치한 외측니들(32,38)로 구성된다.

상기 니들들(32,34,36,38)에서 TAB테이프(50)의 패턴 말단부에 부착된 테스 트패드에 접촉되는 전단부(니들팁)을 제1말단(32a,34a,36a,38a)이라 하고 상기 제1말단의 반대측 부분을 제2말단(32b,34b,36b,38b)이라 한다.

상기 프로브카드(10)를 이용하여 TAB테이프(50)를 검사하기 위해서는 먼저 상기 니들들의 제1말단(32a,34a,36a,38a)을 테스트하고자 하는 TAB테이프(50)의 패턴 말단부에 부착된 테스트패드에 접촉시킨다. 그런 다음 상기 니들들(32,34,36, 38)을 통해 테스트시스템의 전기적 신호를 전달하여 상기 제품(50)의 결함(short 및 open)을 검사한다.

이때 상기 제품의 패턴이 오픈되었는지는 상기 패턴말단의 인너리드(inner lead) 측에 설치된 비접촉식 센서인 하부센서(42) 등을 이용하여 확인할 수 있다. 미설명 부호 50a는 디바이스홀(device hole)을 나타낸다.

그러나, 이러한 종래의 프로브 카드는 니들 고정기판 상부 또는 하부에는 다수의 배선들이 복잡하게 결선되기 때문에 와이어링 및 솔더링이 어려워 불량 발생률이 높고, 제작 시간이 길어지는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 마이크로 동축 케이블과 커넥터를 이용하여 배선을 수행함으로써 구조를 단순화시켜 와이어 및 솔더링 부위를 배제함으로써 불량 발생률을 상대적으로 낮추고, 제작 시간을 상대적으로 단축시키도록 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 진행성 불량이 발생하는 경우 해당 커넥터와 마이크로 동축 케이블만을 교체하도록 함으로써 수리가 용이한 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드를 제공하는데 다른 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,

듀얼 타입의 프로브 카드에 있어서, 테두리에 복수의 입출력 패드가 구비되는 원판 형태로 형성되고, 상기 입출력 패드중 출력측 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 1커넥터용 패드가 양측면에 형성되며, 상기 제 1커넥터용 패드와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터가 구비되는 메인 PCB와; 스틸 재질로 사각 형태로 형성되어 상기 메인 PCB의 저면 중앙부에 체결되는 플레이트와; 상단에 복수의 니들이 배열되고, 상기 플레이트에 고정 설치되어 상기 메인 PCB의 상면으로 돌출 형성되는 복수의 니들 블록과; 직사각형태로 형성되고, 절단면인 상면에 복수의 출력 니들용 접촉 패드가 형성되고, 상기 출력 니들용 접촉 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 2커넥터용 패드가 일측면에 형성되며, 상기 제 2커넥터용 패드와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터를 구비하는 복수의 서브 PCB; 및 상기 메인 PCB의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터와 상기 서브 PCB의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터를 전기적으로 연결시키는 복수의 마이크로 동축 케이블로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

여기에서, 상기 메인 PCB는 중앙부에 사각 형태의 제 1개구홀이 형성되고, 상기 제 1개구홀의 측면에 직사각형태의 제 2개구홀이 형성되며, 상기 제 1개구홀의 양측면에 상기 입출력 패드중 입력측 패드와 쓰루홀을 통해 전기적으로 연결되는 입력 니들용 접촉 패드가 형성된다.

여기에서 또한, 상기 복수의 니들 블록은 사각바 형태로 형성되어 상단에 복수의 입력 니들이 배열되고, 각각의 상기 입력 니들의 일단이 상기 메인 PCB에 형성된 입력 니들용 접촉 패드와 일대일 대응되어 솔더링되는 제 1, 2입력 니들 블록과; 사각바 형태로 형성되어 상단에 복수의 출력 니들이 배열되고, 각각의 상기 출력 니들의 일단이 상기 서브 PCB의 복수의 출력 니들용 접촉 패드와 일대일 대응되어 접촉되는 제 1, 2출력 니들 블록으로 이루어진다.

여기에서 또, 상기 서브 PCB는 상기 제 1출력 니들 블록과 이웃하는 제 1서브 PCB와; 상기 제 2출력 니들 블록과 이웃하는 제 2서브 PCB로 이루어진다.

여기에서 또, 상기 제 1, 2서브 PCB는 상기 플레이트에 고정되도록 디귿자 형태로 형성되어 상기 제 1, 2서브 PCB의 측면에 각각 부착되는 제 1고정 부재와; 상기 플레이트에 고정되도록 니은자 형태로 형성되어 상기 제 1, 2서브 PCB의 측면에 각각 부착되는 제 2고정 부재를 더 구비한다.

여기에서 또, 상기 플레이트는 사각 형태의 복수의 얼라인 홀과; 상기 서브 PCB가 각각 관통하는 관통홀과; 상기 제 1고정 부재가 안착되는 복수의 안착홈과; 상면에 상기 니들 블록이 고정되는 복수의 핀홀; 및 상기 메인 PCB와 니들 블록 및 제 1, 2고정 부재를 각각 고정시키기 위한 복수의 볼트홀을 더 구비한다.

여기에서 또, 상기 핀홀은 그 내부 중심에 가이드링이 몰탈에 의해 고정된 다.

여기에서 또, 상기 니들 블록은 저면 양단에 상기 핀홀의 가이드링에 삽입 고정되는 맞춤핀이 결합된다.

여기에서 또, 상기 제 1고정 부재는 그 양단의 두께가 상기 플레이트의 안착홈의 길이보다 더 작게 형성되어 좌우 방향 조절볼트에 의해 좌우 방향이 조절되고, 상하 방향 조절볼트에 의해 상하 방향이 조절된다.

여기에서 또, 상기 제 1고정 부재는 상기 서브 PCB 사이에 폴리 아미드 재질의 절연 스페이서를 삽입하여 전후 방향 및 틸트각을 조절한다.

여기에서 또, 상기 서브 PCB의 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터는 상기 메인 PCB의 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터와 대응되는 개수로 구비된다.

상기와 같이 구성되는 본 발명인 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드에 따르면, 마이크로 동축 케이블과 커넥터를 이용하여 배선을 수행함으로써 구조를 단순화시켜 와이어 및 솔더링 부위를 배제함으로써 불량 발생률을 상대적으로 낮추고, 제작 시간을 상대적으로 단축시킬 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명인 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드에 따르면 진행성 불량이 발생하는 경우 해당 커넥터와 마이크로 동축 케이블만을 교체하도록 함으로써 수리를 용이하게 수행할 수 있는 다른 이점이 있다.

이하, 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

도 3은 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 배면 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 단면도이고, 도 6은 도 5의 "A" 부분 확대도이며, 도 7은 도 3의 A-A 단면도이고, 도 8은 도 3의 B-B 단면도이며, 도 9는 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 분해 사시도이다.

도 3 내지 도 9를 참조하면, 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드(100)는, 메인 PCB(110)와, 플레이트(120)와, 니들 블록(130)과, 서브 PCB(140)와, 마이크로 동축 케이블(150)로 구성된다.

먼저, 메인 PCB(110)는 최외곽에 종래와 동일하게 쓰루홀(미도시)에 의한 복수의 입출력 패드(111)가 구비되는 원판 형태로 형성되고, 입출력 패드(111)중 출 력측 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 1커넥터용 패드(112)가 양측면에 형성되며, 제 1커넥터용 패드(112)와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터(113)가 구비된다.

여기에서, 메인 PCB(110)는 중앙부에 사각 형태의 제 1개구홀(114)이 형성되고, 제 1개구홀(114)의 측면에 직사각형태의 제 2개구홀(115)이 형성되며, 제 1개구홀(114)의 양측면에 입출력 패드(111)중 입력측 패드와 쓰루홀을 통해 전기적으로 연결되는 입력 니들용 접촉 패드(116)가 형성된다.

그리고, 플레이트(120)는 내구성 향상, 변형을 방지, 니들 평탄도 및 얼라인 향상을 통해 컨택의 안정성을 향상하도록 스틸(SKD11, 두께 6㎜) 재질로 사각 형태로 형성되어 메인 PCB(110)의 저면 중앙부에 체결된다.

여기에서, 플레이트(120)는 사각 형태의 복수의 얼라인 홀(121)과, 하기에서 설명할 서브 PCB(140)가 각각 관통하는 관통홀(122)과, 하기에서 설명할 고정 부재(146)가 안착되는 복수의 안착홈(123)과, 상면에 니들 블록(130)이 고정되는 복수의 핀홀(124)과, 메인 PCB(110)와, 니들 블록(130) 및 고정 부재(146)를 각각 고정시키기 위한 복수의 볼트홀(125)을 더 구비한다.

여기에서 또한, 핀홀(124)은 그 내부 중심에 가이드링(126)이 몰탈(127)에 의해 고정되는 데, 가이드링(126)은 정밀 치구에 의해 몰탈(127)이 양생될 때까지 정위치를 유지하는 것이 바람직하다.

또한, 니들 블록(130)은 제 1입력 니들 블록(131)과, 제 1출력 니들 블록(132)과, 제 2입력 니들 블록(133)과, 제 2출력 니들 블록(134)으로 구성되고, 플레이트(120)의 상면에서 착탈 가능하도록 고정 설치되어 메인 PCB(110)의 개구홀(115)을 통해 메인 PCB(110)의 상면으로 돌출 형성된다.

제 1, 2입력 니들 블록(131, 133)은 사각바 형태로 형성되어 상단에 복수의 입력 니들(135)이 배열되고, 각각의 입력 니들(135)의 일단이 메인 PCB(110)에 형성된 입력 니들용 접촉 패드(116)와 일대일 대응되어 솔더링된다.

제 1, 2출력 니들 블록(132, 134)은 사각바 형태로 형성되어 상단에 복수의 출력 니들(136)이 배열되고, 각각의 출력 니들(136)의 일단이 서브 PCB(140)의 복수의 출력 니들용 접촉 패드(143)와 일대일 대응되어 접촉된다.

한편, 제 1, 2입력 니들 블록(131, 133)의 저면 양단에 플레이트(120)의 핀홀(124)에 구비된 가이드링(126)에 삽입 고정되는 맞춤핀(137)이 결합되고, 플레이트(120)의 볼트홀(125)과 대응되는 볼트홀(138)이 형성된다.

또한, 제 1, 2출력 니들 블록(132, 134)의 저면 양단에는 플레이트(120)의 볼트홀(125)과 대응되는 볼트홀(138)이 형성된다.

또, 입력 니들(135)은 에폭시에 의해 핀이 고정된 핀 타입으로 형성되는 것이 바람직하고, 출력 니들(136)은 에폭시에 의해 핀이 고정된 핀 타입으로 형성될 수도 있고, 블레이드가 세라믹에 삽입 고정된 블레이드 타입으로도 형성될 수 있으며 어떠한 타입으로도 형성이 가능하며, 입력 니들(135) 및 출력 니들(136)은 일정 개수의 니들을 한 군으로 하여 이들을 대각선으로 형성하여 집적도를 향상시키고, 메인 PCB(110)의 입력 니들용 접촉 패드(119)와 서브 PCB(140)의 출력 니들용 접촉 패드(143)를 이와 대응되는 형태로 형성하여 집적도를 향상시키는 것이 바람직하다.

또한, 서브 PCB(140)는 제 1출력 니들 블록(132)과 이웃하는 제 1서브 PCB(141)와, 제 2출력 니들 블록(134)과 이웃하는 제 2서브 PCB(142)로 구성된다.

제 1, 2서브 PCB(141, 142)는 직사각형태로 형성되고, 절단면인 상면에 복수의 출력 니들용 접촉 패드(143)가 형성되고, 출력 니들용 접촉 패드(143)와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 커넥터용 패드(144)가 일측면에 형성되며, 커넥터용 패드(144)와 이의 금속 단자(145-1)가 솔더링되는 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)를 구비한다.

한편, 제 1, 2서브 PCB(141, 142)는 플레이트(120)에 고정되도록 디귿자 형태로 형성된 제 1고정 부재(146)가 일측면에 부착되고, 니은자 형태로 형성된 제 2고정 부재(147)가 타측면에 부착된다. 또, 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)는 메인 PCB(110)의 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터(113)와 대응되는 개수로 구비된다.

이때, 제 1고정 부재(146)는 그 양단의 두께가 플레이트(120)의 안착홈(123)의 길이보다 더 작게 형성되어 좌우 방향 조절볼트(103)에 의해 좌우 방향(X방향)이 조절되고, 상하 방향 조절볼트(101)에 의해 상하 방향(Z방향)이 조절되며, 제 1, 2서브 PCB(141, 142)에 필름 형태의 폴리 아미드 재질의 절연 스페이서(148)가 삽입되어 전후 방향(Y방향) 및 틸트각이 조절된다.

또, 마이크로 동축 케이블(150)은 작업 불량, 진행성 불량 감소를 위해 솔더링 공정을 배제하고, 와이어를 감소하여 구조 및 외관을 단순화시키며, 리키지(LEAKAGE) 등의 전기적 특성이 우수해지도록 메인 PCB(110)의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터(113)와 서브 PCB(140)의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)를 상호 연결시킨다.

이하, 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 조립 과정 및 작용을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

먼저, 플레이트(120) 상의 각각의 핀홀(124)에 몰탈을 붓고, 정밀 치구에 고정된 가이드링(126)을 안착한 후 가이드링(126)의 센터를 맞춘 다음, 몰탈(127)이 양생될 때까지 가이드링(126)을 정위치로 유지시켜 가이드링(126)을 고정시킨다.

그리고, 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)가 부착된 서브 PCB(140)의 일측면에 제 1고정 부재(146)를, 타측면에 제 2고정 부재(147)를 각각 볼트로 결합시킨 후 서브 PCB(140)가 플레이트(120)를 관통하여 고정되도록 제 1고정 부재(146)를 플레이트(120)의 안착홈(123)에 안착시킨다.

그리고, 제 1고정 부재(146) 및 제 2고정 부재(147)에 볼트를 관통시켜 플레이트(120)에 고정시키고, 제 1고정 부재(146)에 상하 방향 조절볼트(101)를 가체결한다.

그런 다음, 제 1입력 니들 블록(131)과, 제 1출력 니들 블록(132)과, 제 2입력 니들 블록(133)과, 제 2출력 니들 블록(134)으로 이루어지는 니들 블록(130)을 순차적으로 각각 플레이트(120) 상면에 고정 설치하는 데, 니들 블록(130)의 맞춤핀(137)을 플레이트(120)에 고정된 핀홀(124)의 가이드링(126)에 삽입 고정한 후 플레이트(120)의 볼트홀(125)과 니들 블록(130)의 볼트홀(138)에 볼트를 체결하여 니들 블록(130)을 플레이트(120)에 고정시킨다.

이러한 상태에서, 메인 PCB(110)에 니들 블록(130)과 서브 PCB(140)이 고정된 플레이트(120)를 고정시킨다.

그리고, 제 1, 2입력 니들 블록(131, 133)의 입력 니들(135)의 일단을 메인 PCB(110)에 형성된 입력 니들용 접촉 패드(116)와 일대일 대응시키며 솔더링한다.

그런 다음, 메인 PCB(110)의 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터(113)와 서브 PCB(140)의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)에 마이크로 동축 케이블(150)을 결합시킨다.

이러한 상태에서, 가체결된 상하 방향 조절볼트(101)를 조절하여 서브 PCB(140)를 상하 방향(Z방향)으로 이동시켜 상하 얼라인을 맞추고, 플레이트(120)의 볼트홀(125)에 좌우 방향 조절볼트(103)를 체결한 후 이를 조절하여 좌우 방향(X방향)으로 이동시켜 좌우 얼라인을 맞춘다.

그리고, 서브 PCB(140)의 전후 방향(Y방향) 및 틸트각은 제 1, 2서브 PCB(141, 142)와 제 1고정 부재(146) 사이에 수십 ㎛의 두께를 갖는 절연 스페이서(148)를 삽입하여 얼라인을 맞추는 데, 틸트각을 맞추는 경우 한쪽에만 절연 스 페이서(148)를 삽입하여 맞추는 것이 바람직하다.

한편, 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 신호 전달 과정을 살펴보면, 먼저 테스트 장비(미도시)에서 메인 PCB(110)의 입출력 패드(111)중 입력측 패드로 테스트 신호를 인가하면, 테스트 신호는 입력측 패드와 쓰루홀을 통해 연결된 입력 니들용 접촉 패드(116)로 전달된다.

그러면, 입력 니들용 접촉 패드(116)와 물리적으로 접촉되어 있는 제 1, 2입력 니들 블록(131, 133)의 입력 니들(135)을 통해 TAB테이프(미도시)의 입력 패턴으로 테스트 신호가 인가되고, 테스트 신호는 다시 TAB테이프의 출력 패턴을 통해 제 1, 2출력 니들 블록(132, 134)의 출력 니들(136)로 전달된다.

그리고, 출력 니들(136)로 전달된 테스트 신호는 출력 니들(136)이 물리적으로 접촉하고 있는 서브 PCB(140)의 출력 니들용 접촉 패드(143)로 전달되고, 출력 니들용 접촉 패드(143)와 쓰루홀을 통해 연결된 서브 PCB(140)의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)로 전달된다.

제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)로 전달된 테스트 신호는 다시 마이크로 동축 케이블(150)과 메인 PCB(110)의 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터(113)로 전달되고, 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터(113)와 쓰루홀을 통해 연결된 입출력 패드(111)중 출력측 패드를 통해 먼저 테스트 장비로 테스트 신호가 전달되어 테스트 장비에서 TAB테이프의 결함 여부를 검사한다.

또한, 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드(100)는 플레이트(120)에 니들 블록(130) 및 서브 PCB(140)의 착탈이 가능하기 때문에 다른 사 양의 니들 블록 및 서브 PCB를 부착하여 다양한 모델 적용이 가능하다.

본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

도 1은 종래 기술에 의한 싱글 타입의 니들 프로브카드)의 개략적으로 나타낸 평면도,

도 2는 종래 기술에 의한 싱글 타입의 니들 프로브카드)의 개략적으로 나타낸 단면도,

도 3은 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 사시도,

도 4는 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 배면 사시도,

도 5는 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 단면도,

도 6은 도 5의 "A" 부분 확대도,

도 7은 도 3의 A-A 단면도,

도 8은 도 3의 B-B 단면도,

도 9는 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 분해 사시도.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>

110 : 메인 PCB 120 : 플레이트

130 : 니들 블록 140 : 서브 PCB

150 : 마이크로 동축 케이블

Claims

듀얼 타입의 프로브 카드에 있어서,

테두리에 복수의 입출력 패드가 구비되는 원판 형태로 형성되고, 상기 입출력 패드중 출력측 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 1커넥터용 패드가 양측면에 형성되며, 상기 제 1커넥터용 패드와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터가 구비되는 메인 PCB와;

스틸 재질로 사각 형태로 형성되어 상기 메인 PCB의 저면 중앙부에 체결되는 플레이트와;

상단에 복수의 니들이 배열되고, 상기 플레이트에 고정 설치되어 상기 메인 PCB의 상면으로 돌출 형성되는 복수의 니들 블록과;

직사각형태로 형성되고, 절단면인 상면에 복수의 출력 니들용 접촉 패드가 형성되고, 상기 출력 니들용 접촉 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 2커넥터용 패드가 일측면에 형성되며, 상기 제 2커넥터용 패드와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터를 구비하는 복수의 서브 PCB; 및

상기 메인 PCB의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터와 상기 서브 PCB의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터를 전기적으로 연결시키는 복수의 마이크로 동축 케이블로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.
제 1 항에 있어서,

상기 메인 PCB는,

중앙부에 사각 형태의 제 1개구홀이 형성되고, 상기 제 1개구홀의 측면에 직사각형태의 제 2개구홀이 형성되며, 상기 제 1개구홀의 양측면에 상기 입출력 패드중 입력측 패드와 쓰루홀을 통해 전기적으로 연결되는 입력 니들용 접촉 패드가 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.
제 1 항에 있어서,

상기 복수의 니들 블록은,

사각바 형태로 형성되어 상단에 복수의 입력 니들이 배열되고, 각각의 상기 입력 니들의 일단이 상기 메인 PCB에 형성된 입력 니들용 접촉 패드와 일대일 대응되어 솔더링되는 제 1, 2입력 니들 블록과;

사각바 형태로 형성되어 상단에 복수의 출력 니들이 배열되고, 각각의 상기 출력 니들의 일단이 상기 서브 PCB의 복수의 출력 니들용 접촉 패드와 일대일 대응되어 접촉되는 제 1, 2출력 니들 블록으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다이렉트 컨택트 프로브 카드.
제 3 항에 있어서,

상기 서브 PCB는,

상기 제 1출력 니들 블록과 이웃하는 제 1서브 PCB와;

상기 제 2출력 니들 블록과 이웃하는 제 2서브 PCB로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.
제 4 항에 있어서,

상기 제 1, 2서브 PCB는,

상기 플레이트에 고정되도록 디귿자 형태로 형성되어 상기 제 1, 2서브 PCB의 측면에 각각 부착되는 제 1고정 부재와;

상기 플레이트에 고정되도록 니은자 형태로 형성되어 상기 제 1, 2서브 PCB의 측면에 각각 부착되는 제 2고정 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.
제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,

상기 플레이트는,

사각 형태의 복수의 얼라인 홀과;

상기 서브 PCB가 각각 관통하는 관통홀과;

상기 제 1고정 부재가 안착되는 복수의 안착홈과;

상면에 상기 니들 블록이 고정되는 복수의 핀홀; 및

상기 메인 PCB와 니들 블록 및 제 1, 2고정 부재를 각각 고정시키기 위한 복수의 볼트홀을 더 구비하는 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.
제 6 항에 있어서,

상기 핀홀은,

그 내부 중심에 가이드링이 몰탈에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.
제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,

상기 니들 블록은,

저면 양단에 상기 핀홀의 가이드링에 삽입 고정되는 맞춤핀이 결합되는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.
제 5 항에 있어서,

상기 제 1고정 부재는,

그 양단의 두께가 상기 플레이트의 안착홈의 길이보다 더 작게 형성되어 좌우 방향 조절볼트에 의해 좌우 방향이 조절되고, 상하 방향 조절볼트에 의해 상하 방향이 조절되는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.
제 9 항에 있어서,

상기 제 1고정 부재는,

상기 서브 PCB 사이에 폴리 아미드 재질의 절연 스페이서를 삽입하여 전후 방향 및 틸트각을 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.
제 1 항에 있어서,

상기 서브 PCB의 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터는,

상기 메인 PCB의 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터와 대응되는 개수로 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.