KR100786771B1 - 웨이퍼 검사용 프로브카드 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (18)
- 메인PCB와;상기 메인PCB의 일면에 구비되고, 상기 메인PCB와 전기적으로 연결되는 서브(sub)PCB;상기 서브PCB를 둘러싼 상태에서 서브PCB의 일부와 중첩되도록 상기 메인PCB의 일면에 구비되는 베이스프레임(base frame);상기 베이스프레임의 내부에 해당하는 상기 서브PCB의 일면에 서로 이격되게 구비되는 다수개의 니들가이드바(needle guide bar);상기 니들가이드바 사이에 구비되고, 그 양단에 상기 니들가이드바의 외측으로 연장되어 웨이퍼의 칩에 각각 접촉되는 다수개의 니들;상기 메인PCB와 서브PCB, 니들가이드바 및 베이스프레임을 고정시키는 체결구; 그리고웨이퍼 칩에 접촉되는 상기 니들의 일단이 인장력을 가지도록 상기 니들에 탄성력을 부여하는 탄성수단을 포함하여 구성되는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 1 항에 있어서,상기 탄성수단은,상기 서브PCB의 반대편에 해당하는 상기 니들가이드바의 일면에 구비되고, 상기 니들의 일단이 관통하는 다수개의 관통슬롯(slot)이 구비되는 니들가이드이고;상기 니들이 그 일측이 상기 니들가이드에 밀착된 상태에서 타단이 상기 서브PCB의 일측에 접촉되는 과정에서 압축됨으로써, 상기 니들가이드의 관통슬롯을 관통하는 상기 니들의 일단이 인장됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드카드.
- 제 2 항에 있어서,상기 니들은,장방형의 니들몸체와,상기 니들몸체의 일단 일측에 구비되어 상기 제1니들가이드의 관통슬롯을 관통하여 웨이퍼의 칩에 접촉되는 제1접촉부와,상기 제1접촉부의 반대편에 해당하는 상기 니들몸체의 타단에 구비되어 상기 서브PCB에 접촉되는 제2접촉부, 그리고상기 니들몸체의 길이방향축을 중심으로 상기 제1접촉부와 대칭되도록 상기 제1접촉부와 제2접촉부 사이에 해당하는 상기 니들몸체의 일측에 구비되어 상기 제1니들가이드의 일측에 밀착되는 탄성밀착돌기를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 3 항에 있어서,상기 제1접촉부와 탄성밀착돌기 각각에 인접하는 상기 니들몸체의 일측에는 그 길이방향에 직교되는 방향으로 형성되어 상기 제1접촉부와 탄성밀착돌기가 탄성변형가능하게 하는 제1 및 제2탄성개구가 구비됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 1 항에 있어서,상기 탄성수단은,상기 서브PCB의 반대편에 해당하는 상기 니들가이드바의 일면에 구비되고, 상기 니들의 일단이 관통하는 다수개의 관통슬롯이 구비되는 제1니들가이드와;상기 서브PCB에 인접하는 상기 니들가이드바의 타면에 구비되고, 상기 니들의 타단이 관통하는 다수개의 관통슬롯이 구비되는 제2니들가이드; 를 포함하여 구성되고,상기 니들이 그 일측이 상기 제1니들가이드에 밀착된 상태에서 타단이 상기 서브PCB의 일측에 접촉되는 과정에서 압축됨으로써, 상기 제1니들가이드의 관통슬롯을 관통하는 상기 니들의 일단이 인장됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드카드.
- 제 5 항에 있어서,상기 니들은,장방형의 니들몸체와,상기 니들몸체의 일단 일측에 구비되어 상기 제1니들가이드의 관통슬롯을 관통하여 웨이퍼의 칩에 접촉되는 제1접촉부와,상기 제1접촉부의 반대편에 해당하는 상기 니들몸체의 타단에 구비되어 상기 제2니들가이드의 관통슬롯을 관통하여 상기 서브PCB에 접촉되는 제2접촉부, 그리고상기 니들몸체의 길이방향축을 중심으로 상기 제1접촉부와 대칭되도록 상기 제1접촉부와 제2접촉부 사이에 해당하는 상기 니들몸체의 일측에 구비되어 상기 제1니들가이드의 일측에 밀착되는 탄성밀착돌기를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 6 항에 있어서,상기 제1접촉부와 탄성밀착돌기 각각에 인접하는 상기 니들몸체의 일측에는 그 길이방향에 직교되는 방향으로 형성되어 상기 제1접촉부와 탄성밀착돌기가 탄성변형가능하게 하는 제1 및 제2탄성개구가 구비됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 1 항에 있어서,상기 탄성수단은,상기 서브PCB의 반대편에 해당하는 상기 니들가이드바의 일면에 구비되고, 상기 니들의 일단이 관통하는 다수개의 관통슬롯이 구비되는 제1니들가이드와;상기 서브PCB에 인접하는 상기 니들가이드바의 타면에 구비되고, 상기 니들의 타단이 관통하는 다수개의 관통슬롯이 구비되는 제2니들가이드; 그리고상기 제1니들가이드와 제2니들가이드 사이에 해당하는 상기 니들가이드바 사이에 구비되고, 상기 니들이 관통하는 다수개의 관통슬롯이 각각 구비되는 다수개의 중간니들가이드; 를 포함하여 구성되고,상기 니들이 그 일측이 상기 중간니들가이드에 밀착된 상태에서 타단이 상기 서브PCB의 일측에 접촉되는 과정에서 압축됨으로써, 상기 제1니들가이드 및 중간니들가이드의 관통슬롯을 관통하는 상기 니들의 일단이 인장됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드
- 제 8 항에 있어서,상기 니들은,장방형의 니들몸체와,상기 니들몸체의 일단 일측에 구비되어 상기 제1니들가이드 및 중간니들가이드의 관통슬롯을 관통하여 웨이퍼의 칩에 접촉되는 제1접촉부와,상기 제1접촉부의 반대편에 해당하는 상기 니들몸체의 타단에 구비되어 상기 제2니들가이드의 관통슬롯을 관통하여 상기 서브PCB에 접촉되는 제2접촉부, 그리고상기 니들몸체의 길이방향축을 중심으로 상기 제1접촉부와 대칭되도록 상기 제1접촉부와 제2접촉부 사이에 해당하는 상기 니들몸체의 일측에 구비되어 상기 중간니들가이드의 일측에 밀착되는 탄성밀착돌기를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 9 항에 있어서,상기 제1접촉부와 탄성밀착돌기 각각에 인접하는 상기 니들몸체의 일측에는 그 길이방향에 직교되는 방향으로 형성되어 상기 제1접촉부와 탄성밀착돌기가 탄성변형가능하게 하는 제1 및 제2탄성개구가 구비됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 2 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1니들가이드는 세라믹재질로 형성되어 상기 니들가이드바의 일면에 접착테이프로 접착되어 고정되고,상기 제2니들가이드는 세라믹재질로 형성되어 그 일측을 관통하여 상기 니들가이드바에 삽입되는 핀에 의하여 고정되며,상기 중간니들가이드는 세라믹재질로 형성되어 상기 니들가이드바의 서로 마주보는 면에 니들가이드바의 길이방향으로 형성되는 가이드삽입슬롯에 그 양측단부가 삽입되어 고정됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 11 항에 있어서,상기 니들은 베릴륨카파(BeCu:Beryllium Copper)를 인쇄한 필름을 에칭하여 형성되어 상기 니들가이드의 서로 마주보는 면에 상기 가이드슬롯에 직교되는 니들가이드바의 높이방향으로 형성되는 니들가이드슬롯에 그 양측단부가 삽입되어 고정됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 12 항에 있어서,상기 메인PCB와 서브PCB사이에 구비되는 포고핀(pogo pin)가이드를 더 포함하여 구성되고,상기 메인PCB와 서브PCB는 상기 포고핀가이드를 관통하는 적어도 하나의 포고에 의하여 전기적으로 연결됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 13 항에 있어서,상기 서브PCB의 반대편에 해당하는 상기 메인PCB의 타면에 구비되어 메인PCB를 보강하는 보강플레이트(plate)를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 14 항에 있어서,상기 체결구는,상기 니들가이드바를 상기 베이스프레임에 고정시키는 제1체결구와,상기 서브PCB를 상기 니들가이드바가 고정된 상기 베이스프레임에 고정시키는 제2체결구,상기 보강플레이트를 상기 메인PCB에 고정시키는 제3체결구,상기 포고핀가이드를 상기 메인PCB에 고정시키는 제4체결구, 그리고상기 서브PCB 및 니들가이드바가 고정된 상기 베이스프레임를 상기 메인PCB 에 고정시키는 제5체결구를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 15 항에 있어서,상기 제4체결구는 상기 포고핀임을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 16 항에 있어서,상기 서브PCB 및 니들가이드바가 고정된 상기 베이스프레임이 상기 제5체결구에 의하여 상기 메인PCB에 고정된 상태에서, 상기 메인PCB와 베이스프레임 사이의 들뜸현상을 방지하여 평탄도를 조정하기 위한 평탄도조절수단을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
- 제 17 항에 있어서,상기 평탄도조절수단은 상기 보강플레이트와 메인PCB 및 베이스프레임을 차례로 관통한 상태에서 조여지거나 풀어지는 무브볼트(move bolt)임을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브카드.
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Cited By (4)
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2006
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