KR200314140Y1 - 다칩 프로브 프레임 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 제조공정중 웨이퍼 테스트공정에서 사용되고 있는 다칩 프로브 프레임에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼 플레이트(WAFER PLATE) 상에는 수백 개의 칩(CHIP)에 불규칙적으로 구성되어 있는 패드(PAD)에 안정적인 전기적 신호를 공급할 수 있는 다칩 프로브 프레임에 관한 것이다.

본 고안의 전체적인 구성은 개구부의 양측에 장착홈이 약속된 간격으로 배설되고 각 모서리에는 고정홈과 그 내측에 핀을 결합하는 2개의 핀홀이 형성된 기판과; 양측면에 전극판을 삽입하기 위한 삽입홈과 양단부에 삽입돌기가 형성되고 상기 기판의 장착홈에 고정되는 전극판 소켓과; 2개의 통공이 형성된 본체의 상부에 완충부를 포함하는 상측팁과 하부에 완충부를 갖는 하부팁이 형성되어 상기 전극판소켓의 삽입홈에 결합되는 전극판과; 개구부의 양측저면에 전극판 소켓의 양단부를 지지하는 요홈이 형성되고 기판에 형성된 핀홀과 동축선 상에 2개의 통공이 형성되어 기판의 상면에 일체로 결합되는 커버로 구성된 것이다.

Description

다칩 프로브 프레임{Multi chip probe frame}

본 고안은 반도체 제조공정중 웨이퍼 테스트공정에서 사용되고 있는 다칩 프로브 프레임에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼 플레이트(WAFER PLATE) 상에는 수백 개의 칩(CHIP)에 불규칙적으로 구성되어 있는 패드(PAD)에 안정적인 전기적 신호를 공급할 수 있는 다칩 프로브 프레임에 관한 것이다.

본 고안이 속하는 기술은 반도체의 전기적 특성을 테스트하기 위한 프로브 카드의 제조에 이용되는 것으로서, 종래의 방법은 칩에 불규칙적으로 만들어진 패드와 프로브카드에 만들어진 패드 사이를 전기적으로 연결하기 위한 강도와 탄성 및 전기 전도도가 좋은 프로브핀을 사용하였으며 ,기계적으로 안정을 이루기 위해 세라믹링 및 에폭시수지를 사용하였고 전극의 한쪽을 프로브카드 피시비(PCB) 플레이트에 있는 패드에 납땜하여 사용하고 있다.

이러한 구성으로 이루어진 종래의 기술은 외부의 신호로부터 보호받지 못하는 영역이 넓고 누설전류가 흐를 우려가 많으며 동시 테스트에 대한 수량의 제한을 받는다고 하는 것이 문제점이 지적되고 있는 것이다.

본 고안은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 본 고안을 제안하기에 이른 것으로서, 본 고안은 최초에 회로디자인시 정형화되는 패드의 위치로 인한 디자인의 제한 요소를 최소화할 수 있는 다칩 프로브 프레임을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 고안의 다른 목적은 동시 테스트의 수량에 대한 제한이 없이 테스트가 가능토록 한 다칩 프로브 프레임을 제공하는데 있다.

본 고안의 또 다른 목적은 신호의 안정된 전달을 위하여 경로를 최소화하고 외부노출을 최소화한 다칩 프로브 프레임을 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 고안의 전체적인 구성은 개구부의 양측에 장착홈이 약속된 간격으로 배설되고 각 모서리에는 고정홈과 그 내측에 핀을 결합하는 2개의 핀홀이 형성된 기판과; 측면에 전극판을 삽입하기 위한 삽입홈과 양단부에 삽입돌기가 형성되어 상기 기판의 장착홈에 고정되는 전극판 소켓과; 2개의 통공이 형성된 본체의 상부에 완충부를 포함하는 상측팁과 하부에 완충부를 갖는 하부팁이 형성되어 상기 전극판 소켓의 삽입홈에 결합되는 전극판과; 개구부의 양측저면에 전극판 소켓의 양단부를 지지하는 요홈이 형성되고 기판에 형성된 핀홀과 동축선 상에 2개의 통공이 형성되어 기판의 상면에 일체로 결합되는 커버로 구성된 것이다.

도 1은 본 고안의 전체적인 구성상태를 예시한 분해사시도

도 2는 본 고안의 일구성 요소인 전극판 소켓의 사시도

도 3은 본 고안의 일구성요소인 전극판의 정면도

도 4는 본 고안의 일구성요소인 커버의 저면 사시도

도 5는 기판에 전극판 소켓을 결합시킨 상태의 사시도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1…개구부 2…장착홈 3…고정홀 4…핀홀

5…기판 6…삽입홈 7…삽입돌기 10…전극판소켓

12…상부팁 13…하부팁 15…전극판 20…커버

이하 본 고안의 전체적인 구성상태 및 이로부터 얻게되는 특유의 효과 등에 대하여 첨부도면을 이용하여 상세히 설명하면 하기와 같다.

도 1은 본 고안의 전체적인 구성상태를 예시한 분해사시도이고, 도 2는 본 고안의 일구성 요소인 전극판소켓의 사시도, 도 3은 본 고안의 일구성요소인 전극판의 정면도, 도 4는 본 고안의 일구성요소인 커버의 저면사시도, 도 5는 기판에 전극판 소켓을 결합시킨 상태의 사시도이다.

동 도면에 예시되어 있는 바와 같이, 본 고안의 전체적인 구성은 PCB플레이트(미도시)의 상면에 결합되는 기판(5)과, 상기 기판(5)에 형성된 장착홈(2)에 양단부가 삽입 고정되는 전극판소켓(10)과, 상기 전극판소켓(10)의 양측면에 형성된삽입홈(6)에 결합되는 전극판(15)과, 상기 기판(5)의 상면에 일체로 결합되는 커버(20)로 구성된 것이다.

상기 기판(5)은 중앙에 형성된 개구부(1)의 양측에는 후술하는 전극판소켓(10)의 양단부에 마련된 삽입돌기(7)를 결합하기 위한 장착홈(2)이 동일 간격으로 다수개 배설되고, 각 모서리에는 커버(20)를 결합하기 위한 고정홀(3)이 형성되고, 상기 고정홀(3)의 내측에는 일정간격을 유지하여 2개의 핀홀(4)이 형성하여 커버(20)를 결합할 수 있도록 이루어진 것이다.

상기 기판(5)에 형성된 장착홈(2)에 양단부가 결합되는 전극판소켓(10)은 내측의 양측면에는 전극판(15)을 삽입하기 위한 삽입홈(6)이 형성되고 양단부에는 삽입돌기(7)가 형성된 것이다.

또한 상기 전극판소켓(10)에 형성된 삽입홈(6)에 결합되는 전극판(15)은 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 상,하부에 2개의 통공(11a)이 형성된 본체(11)의 상부에는 완충부(12a)를 포함하는 상부팁(12)이 형성되고, 하부에도 완충부(13a)를 갖는 하부팁(13)이 일체로 형성된 구성으로 이루어진 것이다.

상기 상,하측의 완층부(12a,13a)는 변화를 줄 수 있도록 하기 위하여 외측으로 향하면서 점차적으로 폭이 좁아지는 완충부폭(12b,13b)과 일정각도의 경사각을 갖는 완충경사부(12c,12c)로 구성된다.

이러한 구성을 갖는 상기 완충부폭(12b,13b)과 완충경사부(12c,13c)는 상,하측팁(13)이 피시비(PCB)플레이트 상에 배설된 패드와 닿고 상부팁(12)은 칩에 배설된 패드와 닿을 때에, 완충현상이 모두 고르게 작용하게 되며, 2개의 구멍은 전극판(15)을 취급하는데 기준이 되는 역할을 하게 되는 것이다.

그리고 기판(5)의 상면에 결합되어 전극판소켓(10)을 지지하게 되는 커버(20)는 중앙에 형성된 개구부(16)의 저면 양측에 상술한 전극판소켓(10)의 삽입돌기(7)를 감싸는 요홈(17)이 형성되고, 양측면에는 기판(5)에 형성된 핀홀(4)과 동축선 상에 2개의 통공(18)이 형성된 것이다.

상기 커버(20)는 기판(5)에 형성된 핀홀(4)에 결합되는 핀(4a)에 의해서 정확한 위치를 잡아주고 요홈(17)은 전극판소켓(10)의 양단부를 지지하는 역할을 하게되는 것이다.

상기와 같이 구성된 본 고안의 조립상태는 하기와 같다. 즉, 기판(5)에 형성된 장착홈(2)에는 전극판소켓(10)의 양측단에 형성된 삽입돌기(7)를 결합하여 접착제를 이용하여 견고하게 고정시키게 되는 것이다.

상기 기판(5)에 고정된 전극판 소켓(10)의 양측면에 형성된 삽입홈(6)에는 전극판(15)을 순차적으로 삽입한 후 각각의 전극판 사이에 발생되는 공간부에 접착제를 주입하여 고정시키게 된다.

그리고 상기 기판(5)에 마련된 핀홀(4)에 핀(4a)을 끼워 일부분이 상부로 돌출되도록 하며, 상부로 돌출된 핀(4a)에는 커버(20)에 형성된 통공(18)을 삽입하여 일체로 조립하게 되는 것이다.

이렇게 조립이 완성된 본 고안은 PCB플레이트 상에 일체로 결합되어 사용되는 것으로서, 전극판소켓에 결합된 전극판을 구성하고 있는 상,하측팁이 완충부를 포함하고있어 이에 의해 정확한 전기신호를 패드에 전달하게되는 것이다.

상술한 바와 같이, 본 고안에 따르면 상,하측이 완충영역을 가진 접촉 전극판으로 이루어짐에 따라 납땜작업이 없이 어떠한 회로에도 연결이 가능하며 전극판소켓에 형성된 장착홈의 간격에 따라 미세간격의 패드에도 전극을 안정되게 접촉시킬 수 있으며 전극판의 상,하측팁이 마모가 되었을 경우에 이의 교체작업을 신속하고 용이하게 행할 수 있는 유용한 고안인 것이다.

Claims (3)

1. 개구부의 양측에 장착홈이 약속된 간격으로 배설되고 각 모서리에는 고정홈과 그 내측에 핀을 결합하는 2개의 핀홀이 형성된 기판과; 양측면에 전극판을 삽입하기 위한 삽입홈과 양단부에 삽입돌기가 형성되고 상기 기판의 장착홈에 고정되는 전극판소켓과; 2개의 통공이 형성된 본체의 상부에 완충부를 포함하는 상측팁과 하부에 완충부를 갖는 하부팁이 형성되어 상기 전극판소켓의 삽입홈에 결합되는 전극판과; 개구부의 양측저면에 전극판소켓의 양단부를 지지하는 요홈이 형성되고 기판에 형성된 핀홀과 동축선 상에 2개의 통공이 형성되어 기판의 상면에 일체로 결합되는 커버로 구성된 것을 특징으로 하는 다칩 프로브 프레임
2. 제1항에 있어서, 상기 전극판의 완충부는 완충정도를 경사각도와 폭과 길이에 의해 조절할 할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 다칩 프로브 프레임.
3. 제1항에 있어서, 상기 전극판소켓에 형성된 삽입홈은 등간격 또는 불규칙간격으로 형성된 것을 특징으로 하는 다칩 프로브 프레임.