KR101716803B1 - 프로브 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 프로브 장치는 일방향으로 연장되고, 기판의 회로 패턴에 일단이 접촉되는 프로브;를 포함하고, 상기 프로브의 양단 사이에는 상기 프로브의 길이 방향으로 인가된 압축력을 전단력으로 받는 벤딩부가 마련될 수 있다.

Description

프로브 장치{PROBE DEVICE}

본 발명은 회로 패턴의 통전 검사에 사용되는 프로브 및 프로브를 지지하는 지그에 관한 것이다.

기판의 측정이나 처리, 검사 등을 행하는 것이, 인쇄회로기판 제조 분야 또는 반도체 제조분야에서 일반적으로 채용되고 있다.

기판의 표면에 형성된 회로 패턴을 정밀하게 측정, 처리, 검사 등을 할 때에는 기판의 회로 패턴이 갖는 공차를 최소화시키는 것이 요구된다.

이와 아울러, 갈수록 미세해지는 회로 패턴과 이에 대응하는 미세한 프로브가 검사 과정에서 훼손되는 현상을 방지할 수 있는 수단이 요구된다.

한국등록특허공보 제0809648호에는 기판의 평탄도를 유지하고 회로 패턴 검사를 수행할 수 있는 기판 지그가 개시되고 있다. 그러나 프로브와 회로 패턴의 보호를 위한 방안은 제시되지 않고 있다.

한국등록특허공보 제0809648호

본 발명은 프로브의 훼손을 방지할 수 있는 프로브 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 프로브 장치는 일방향으로 연장되고, 기판의 회로 패턴에 일단이 접촉되는 프로브를 포함하고, 상기 프로브의 양단 사이에는 상기 프로브의 길이 방향으로 인가된 압축력을 전단력으로 받는 벤딩부가 마련될 수 있다.

본 발명의 프로브 장치는 일방향으로 연장되고, 기판의 회로 패턴에 일단이 접촉되는 프로브 및 상기 프로브를 지지하는 지그부를 포함하고, 상기 프로브가 상기 지그부에 장착되면, 벤딩부가 형성될 수 있다.

본 발명의 프로브 장치는 회로 패턴의 접촉시 프로브에 인가되는 압축력을 전단력으로 받는 벤딩부를 포함할 수 있다.

벤딩부에 의하면 프로브는 좌굴 등과 같은 비선형적인 변형을 보이는 대신, 선형적으로 변형될 수 있다.

이에 따라, 프로브의 부러짐, 소성 변형 등의 훼손을 방지할 수 있다. 또한, 프로브에 접촉되는 회로 패턴에 지나치게 큰 힘이 인가되지 않으므로, 회로 패턴을 보호할 수 있다.

본 발명에 따르면, 프로브를 지지하는 지그부에 의해 벤딩부가 형성될 수 있다. 프로브는 매우 가느다란 굵기를 가지므로 벤딩부가 마련된 형태로 제조되는 것이 어려울 수 있다. 양단 사이의 거리가 가까워진 상태에서 프로브를 지지하는 지그부에 의하면, 1자 형상의 프로브에도 자연스럽게 벤딩부가 형성될 수 있다.

지그에 의해 벤딩부가 형성되도록 프로브에는 지그에 걸리는 스토퍼가 프로브에 일체로 마련될 수 있다.

한편, 스토퍼가 프로브와 별도로 마련된다면, '1' 자 형상으로 제작된 기존 프로브에 해당 스토퍼를 형성할 수 있으므로 기존 프로브에도 벤딩부를 형성할 수 있다.

도 1은 본 발명의 프로브 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 프로브가 회로 패턴에 접촉된 상태를 나타낸 개략도이다.
도 3은 본 발명의 다른 프로브 장치를 나타낸 개략도이다.
도 4는 외팔보에 전단력이 인가된 상태를 나타낸 개략도이다.
도 5는 전단력과 외팔보의 변형 간의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 6은 외팔보에 압축력이 인가된 상태를 나타낸 개략도이다.
도 7은 압축력과 외팔보의 변형 간의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 8은 본 발명의 또다른 프로브 장치를 나타낸 개략도이다.
도 9는 프로브와 지그부가 분리된 상태를 나타낸 개략도이다.
도 10은 본 발명의 프로브 장치를 구성하는 다른 지그부를 나타낸 개략도이다.
도 11은 본 발명의 다른 스토퍼를 나타낸 개략도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.

도 1은 본 발명의 프로브 장치를 나타낸 개략도이다.

도 1에 도시된 프로브 장치는 일방향으로 연장되고, 기판(10)의 회로 패턴(11)에 일단이 접촉되는 프로브(probe)(100)를 포함할 수 있다.

일방향으로 연장되는 프로브(100)는 소위 바늘과 같은 외형을 가질 수 있다. 프로브(100)는 기판(10)에 형성된 회로 패턴(11)의 통전 검사에 이용될 수 있다. 통전 검사를 위해 프로브(100)는 일단이 기판(10)의 회로 패턴(11)에 접촉되고, 타단이 회로 패턴(11)의 이상 유무를 판단하는 검사 수단(미도시)에 연결될 수 있다.

결과적으로, 프로브(100)는 회로 패턴(11)이 검사 수단에 전기적으로 연결되도록 하는 중계 수단에 해당할 수 있다. 전기 신호의 중계 기능을 정상적으로 수행하기 위해 프로브(100)는 전기 신호가 흐를 수 있는 전도체를 포함할 수 있다.

프로브(100)는 가상의 직선을 따라 연장될 수 있다. 일예로 도면에서는 서로 직교하는 x축, y축, z축으로 이루어진 3차원 공간에서 z축 방향을 따라 연장되는 것으로 나타내었다.

본 발명에서 프로브(100)의 중요한 특징은 벤딩부(110)가 마련된다는 것이다. 벤딩부(110)는 프로브(100)의 양단 사이에 형성되는 것으로 프로브(100)의 길이 방향으로 인가된 압축력을 전단력으로 받는 구조를 취할 수 있다.

일예로, 벤딩부(110)는 프로브(100)의 일부가 구부러져 형성될 수 있다. 직선을 따라 연장되는 프로브(100)가 구부러진다는 것은 적어도 프로브(100)의 일부 부위가 해당 직선에서 벗어나는 것을 의미할 수 있다.

이렇게 해당 직선에서 벗어난 부위는 직선 방향으로 프로브(100)에 인가되는 압축력을 압축력이 아닌 전단력으로 받을 수 있다. 이에 따르면, 프로브(100) 및 회로 패턴(11)이 보호될 수 있다.

도 2는 본 발명의 프로브(100)가 회로 패턴(11)에 접촉된 상태를 나타낸 개략도이다.

프로브(100)는 승하강 수단에 의해 기판(10)을 향하는 방향으로 움직일 수 있다. 이때, 프로브(100)가 회로 패턴(11)에 확실하게 접촉되도록 승하강 수단은 실제 접촉에 필요한 ⓐ 위치보다 회로 패턴(11)에 가까운 ⓑ 위치까지 프로브(100)를 움직일 수 있다.

프로브(100)가 ⓐ 위치에 ⓑ 위치까지 움직이는 구간에서 프로브(100) 및 회로 패턴(11)에는 힘 F가 작용할 수 있다. 이때의 힘 F는 기본적으로 프로브(100)의 길이 방향을 따라 인가되므로, 프로브(100)에 대해 압축력으로 작용할 수 있다.

회로 패턴(11)의 파손 또는 프로브(100)의 파손을 방지하기 위해 프로브(100)는 해당 압축력에 항복하여 휘어질 수 있도록 플렉시블하게 형성될 수 있다. 그런데, 이때의 휘어짐은 좌굴에 의해 이루어지는 것으로 비선형적일 수 있다. 비선형적으로 휘어지는 프로브(100)의 문제를 설명하기 위해 도 4 내지 도 7에 관련 도면을 나타내었다.

도 4는 외팔보에 전단력이 인가된 상태를 나타낸 개략도이고, 도 5는 전단력과 외팔보의 변형 간의 관계를 나타낸 그래프이다.

수평 방향, 예를 들어 도 2의 x축 방향으로 연장된 플렉시블한 외팔보를 가정한다.

수평 상태 i1을 유지하는 외팔보는 연장 방향의 수직한 방향(단면 방향)으로 인가되는 힘, 즉 전단력을 받으면 큰 저항 없이 해당 전단력에 굴복하여 i2와 같이 휘어질 수 있다.

이때, 전단력 F와 외팔보의 변형 크기 h의 관계는 도 5와 같이 거의 선형적으로 나타날 수 있다. 그 결과, 외팔보를 h1만큼 변형하고 싶다면, F1의 전단력을 인가하면 된다.

도 6은 외팔보에 압축력이 인가된 상태를 나타낸 개략도이고, 도 7은 압축력과 외팔보의 변형 간의 관계를 나타낸 그래프이다.

수직 방향, 예를 들어 도 2의 z축 방향으로 연장된 플렉시블한 외팔보를 가정한다.

수직 상태 j1을 유지하는 외팔보는 길이 방향으로 인가되는 힘, 즉 압축력을 받으면 해당 힘에 저항하며, 힘 F2가 인가되면 j2와 같이 좌굴될 수 있다. 그리고, 좌굴에 의해 외팔보는 급작스럽게 변형될 수 있다.

그런데, 좌굴에 의한 변형을 살펴보면, 우선 외팔보를 h1만큼 변형시키는데 필요한 F2가 F1과 비교하여 크다. 그리고, 좌굴의 특성상 항상 F2에서 h1이 달성되는 것이 아니라, F2보다 큰 힘 F3에서 h1이 달성될 수도 있다. 즉, 좌굴에 의한 외팔보의 변형은 불규칙하게 발생하는 비선형적인 모습을 보이게 된다.

한편, 좌굴에 의해 급작스러운 변형이 이루어진 후에는 외팔보에서 변형된 부분, 다시 말해 구부러진 부분은 압축력을 직접 받는 것이 아니라 벡터상 압축력의 일부를 전단력으로 받을 수 있다. 따라서, 좌굴에 의한 변형이 이루어진 후에는 외팔보는 도 5와 유사하게 선형적으로 변형될 수 있다.

이상의 도 4 내지 도 7에서 설명된 외팔보의 변형 상태는 도 1 또는 도 2에 개시된 프로브(100)에도 그대로 적용될 수 있다.

프로브(100)는 특성상 도 4와 같이 전단력을 직접 받는 구조로 형성되기 어렵다. 기본적으로 프로브(100)는 승하강 수단에 의해 도 6과 같은 압축력을 인가받는 상태가 될 수 있다.

만약, 프로브(100)가 직선 상태로 연장된다면 도 6 및 도 7에서 설명된 바와 같이 도 2의 ⓐ에서 ⓑ까지 프로브(100)를 이동시키는 과정에서 F1보다 큰 힘 F2 또는 F3가 프로브(100) 및 회로 패턴(11)에 인가될 수 있다. 이러한, F2 또는 F3에 의하면 프로브(100) 및 회로 패턴(11)이 파손될 가능성이 높다.

프로브(100) 및 회로 패턴(11)을 보호하기 위해 ⓐ에서 ⓑ까지 프로브(100)를 이동시키는 과정에 F2보다 작은 힘이 회로 패턴(11) 등에 인가되도록 할 필요가 있다. 이는 앞에서 설명된 벤딩부(110)를 통해 달성될 수 있다.

벤딩부(110)는 앞에서 설명된 바와 같이 프로브(100)가 구부러져 형성될 수 있다. 이를 도 6 및 도 7에 적용하면, 본원발명의 프로브(100)는 벤딩부(110)에 의해 이미 좌굴이 이루어진 상태와 유사할 수 있다.

따라서, 본원발명에서 프로브(100)의 변형 정도와 압축력 F 간의 관계는 도 7에서 선형적인 변형을 나타내는 지점 P1이 P0로 이동된 상태가 된다. 다시 말해, 벤딩부에 의한 프로브의 변형은 원점에서 P1까지의 불규칙 구간이 소거되고 P1 이후의 선형적인 양상을 나타낼 수 있다.

이러한 양상은 도 5의 선형 그래프와 유사하므로, 벤딩부(110)에 따르면 F1에 근접한 힘을 통해 도 2의 ⓐ에서 ⓑ까지 프로브(100)를 이동시킬 수 있다.

정리하면, 본 발명의 프로브 장치가 ⓐ에서 ⓑ까지 이동되는 과정에서, 벤딩부(110)에 의해 프로브(100) 및 회로 패턴(11)에는 F2와 비교하여 적은 힘 F1이 인가될 수 있다. 그 결과 프로브(100) 및 회로 패턴(11)의 훼손이 방지될 수 있다.

다른 관점에서 살펴보면, 프로브(100) 또는 회로 패턴(11)에 충격 F가 인가될 때 탄성 변형되는 구조의 벤딩부(110)에 의해 해당 충격 F가 완화되는 것으로 해석될 수도 있다. 또한, 검사시 일정한 힘을 패턴에 인가할 수 있다.

벤딩부(110)는 승하강 수단에 의해 압축력이 가해지는 선상으로부터 다른 방향으로 돌출되는 다양한 형태로 이루어질 수 있다. 이러한 구조에 따르면 벤딩부(110)는 프로브(100)의 길이 방향으로 인가된 압축력을 전단력으로 받아 자연스럽게 탄성 변형되고, 해당 압축력에 의해 회로 패턴(11)에 인가되는 충격을 완화시킬 수 있다.

갈수록 미세해지는 회로 패턴(11)에 접촉되기 위해 프로브(100)의 두께 또는 굵기는 수십 미크론(㎛) 수준까지 가늘어질 수 있다. 매우 얇은 프로브(100)의 일부를 벤딩부로 형성하는 것이 어려울 수 있다.

설령, 벤딩부(110)를 형성할 수 있다 하더라도, 프로브 장치의 전체 폭은 벤딩부의 폭 W1만큼 커지게 된다.

보통 통전 검사시 하나의 프로브(100)를 이용하여 1개의 회로 패턴(11)을 검사하지 않고, 복수의 프로브(100)를 복수의 회로 패턴(11)에 동시에 접촉시킬 수 있다. 그런데, 전체 폭이 커지게 되면 인접한 복수의 프로브 장치는 서로 쇼트(단락)될 수 있다.

각 프로브 장치 간의 단락을 방지하기 위해 프로브 장치의 전체 폭은 적을수록 유리하다.

즉, 벤딩부(110)는 압축력에 의해 탄성 변형되는 구조, 쉽게 생산할 수 있는 구조, 전체 폭을 최소화할 수 있는 구조를 모두 만족시키는 것이 좋다.

이를 위해 벤딩부(110)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 프로브(100)의 길이 방향을 따라 연장되는 한 개의 원호의 형상을 가질 수 있다.

이때, 벤딩부(110)는 프로브(100)의 일측으로 돌출되는 형태로 프로브(100)가 구부러진 것일 수 있다. 즉, 프로브(100)는 프로브(100)의 일부가 벤딩 처리된 것일 수 있다. 이때, 벤딩부(110)의 곡률을 결정하는 곡률 중심 O는 프로브(100)의 타측에 위치할 수 있다.

일예로, 도 1에서 벤딩부(110)는 프로브(100)의 길이 방향 상 우측으로 돌출된 형태를 취하고, 해당 벤딩부(110)의 곡률 중심은 프로브(100)의 좌측에 위치할 수 있다. 이에 따르면, 커다란 원호가 형성될 수 있으므로 용이하게 프로브(100)를 벤딩시킬 수 있다.

도면에는 벤딩부(110)를 설명하기 위해 벤딩부(110)를 크게 묘사하였으나, 실제로 벤딩부(110)의 곡률 반경은 도면과 비교하여 클 수 있다.

원호 형상의 벤딩부(110)는 압축력이 가해지는 선상으로부터 한쪽으로 돌출된 상태이므로, 해당 압축력을 전단력으로 받아 탄성 변형되는 조건을 만족할 수 있다.

이상에서 살펴본, 프로브 장치는 압축력에 의해 프로브(100)의 일단이 회로 패턴(11)에 접촉되면, 밴딩부의 적어도 일부에는 전단력이 인가될 수 있다. 그리고, 해당 전단력에 의해 벤딩부(110)는 탄성 변형되며, 탄성 변형된 벤딩부(110)에 의해 회로 패턴(11) 또는 프로브(100)가 보호될 수 있다.

한편, 매우 얇은 프로브(100)에 벤딩부(110)가 마련되는 경우 공차 등에 의해 복수의 벤딩부(110)는 동일한 탄성력을 갖기 힘들 수 있다. 복수의 벤딩부(110)의 탄성력을 동일하게 유지하기 위해 지그부(210, 220, 230)가 이용될 수 있다.

도 3은 본 발명의 다른 프로브 장치를 나타낸 개략도이다.

프로브(100)는 지그부(210, 220, 230)에 의해 지지될 수 있다. 도면에는 설명의 편의를 위해 1개의 프로브(100)가 지그부에 지지되는 것으로 나타내었으나, 해당 지그부에는 복수의 프로브(100)가 설치될 수 있다.

지그부에는 제1 지그(210), 제2 지그(220) 및 제3 지그(230)이 마련될 수 있다.

제1 지그(210)에는 프로브(100)의 양단부 중 어느 하나가 관통 설치되는 제1 설치 홀(211)이 형성될 수 있다.

제2 지그(220)에는 프로브(100)의 양단부 중 다른 하나가 관통 설치되는 제2 설치 홀(221)이 형성될 수 있다.

제1 지그(210)와 제2 지그(210)는 벤딩부(110)의 길이만큼 이격될 수 있다. 그리고, 제1 설치 홀(211) 및 제2 설치 홀(221)의 직경은 프로브(100)의 직경 W2에 맞추어 가공될 수 있다.

다만, 회로 패턴(11)에 접촉되는 단부가 끼워진 제2 설치 홀(221)은 해당 단부가 벤딩부(110)의 탄성 변형에 의해 움직이고, 정확한 위치를 유지할 수 있는 범위내에서 적정한 직경을 가질 수 있다. 이에 반하여, 반대편 단부가 끼워진 제1 설치 홀(211)은 해당 단부가 고정되도록 프로브(100)의 직경 W2에 맞추어 가공될 수 있다.

제3 지그(230)는 제1 지그(210)와 제2 지그(220)의 사이에 개재되는 것으로 제1 지그(210)와 제2 지그(220) 간의 간격을 동일하게 유지시킬 수 있다. 제3 지그(230)는 설정 두께를 가질 수 있으며, 벤딩부(110)의 길이를 만족시키기 위해 제1 지그(210)와 제2 지그(220)의 사이에 복수로 적층될 수 있다.

그리고, 제3 지그(230)에는 벤딩부(110)가 수용되는 수용 홀(231)이 형성될 수 있다.

벤딩부(110)를 수용하기 위해 수용 홀(231)의 직경 W3는 W2보다 클 수 있다. 그런데, 수용 홀(231)의 반경이 벤딩부(110)의 폭 W1보다 크면, 벤딩부(110)는 허공에 배치된 경우와 동일하다. 이에 따르면, 지그부에 설치된 복수의 프로브에 마련된 각 벤딩부(110)의 탄성력은 벤딩 공차 등에 의해 서로 다를 수 있다.

적어도 지그부에 설치된 상태에서 복수의 프로브(100)에 마련된 각 벤딩부(110)가 고른 탄성력을 갖도록 수용 홀(231)은 도 3과 같이 각 벤딩부(110)에 접촉되는 직경 W3로 형성될 수 있다.

일예로, 수용 홀(231)의 직경 W3는 벤딩부(110)의 폭 W1 에 따라 조정될 수 있다.

기본적으로 W3는 W1보다 클 수 있다. 그리고, 압축력이 인가되면 벤딩부(110)는 더욱 구부러지고 이에 따라 W1이 증가될 수 있다. 이렇게, 압축력에 의해 W1이 증가된 벤딩부(110)는 수용 홀(231)의 내벽에 접촉될 수 있다. 물론, 해당 벤딩부(110)는 수용 홀(231)의 내벽에 접근하되 내벽에 접촉하지 않을 수도 있다.

수용 홀(231)에는 한 개의 프로브만 수용된다. 따라서, 복수의 프로브가 설치되는 경우 복수의 수용 홀이 마련되며, 각 프로브는 수용 홀에 의하여 절연된다. 따라서, 본 발명의 프로브는 절연을 위한 테프론 코팅, 에폭시 코팅, 아크릴 코팅 등이 필요하지 않다. 테프론, 에폭시, 아크릴은 환경 오염 물질이므로 본 발명은 프로브의 구조 및 지그부의 구조에 의하여 코팅이 불필요한 장점을 제공한다. 이를 위하여, 수용 홀에 수용되는 프로브의 벤딩부와, 제1 설치 홀에 삽입되는 프로브의 일 단부와, 제2 설치 홀에 삽입되는 프로브의 타 단부를 포함하는 프로브의 모든 부분이 단 하나의 동일한 재질로 이루어진다. 즉, 본 발명의 프로브는 무코팅이다.

한편, 생산성을 증대시키기 위해 다른 방안이 제시될 수 있다. 앞에서 설명된 바와 같이 매우 가는 프로브(100)의 일부 구간을 벤딩 처리하는 것이 어려울 수 있다. 심지어 원호 형태의 벤딩부(110)마저 형성하기가 곤란할 수도 있다.

그런데, 매우 얇은 프로브(100)는 단독으로 승하강 수단에 설치되는 것이 어려우므로, 지그부에 의해 지지된 상태로 승하강 수단에 설치될 수 있다. 이때, 지그부에 프로브(100)를 지지시키는 과정에서 벤딩부(110)가 형성되도록 할 수 있다.

도 8은 본 발명의 또다른 프로브 장치를 나타낸 개략도이다. 도 8의 프로브 장치는 프로브(100) 및 벤딩부(110) 외에도 프로브(100)를 지지하는 지그부(210, 220, 230)를 포함하는 개념일 수 있다.

먼저, 벤딩부(110)가 없는 프로브(100), 다시 말해 직선 형태의 프로브(100)가 마련될 수 있다.

지그부는 길이 방향으로 서로 다른 두 위치에서 프로브(100)에 체결될 수 있다. 이 상태에서 두 위치의 간격을 프로브(100)가 좌굴될 정도로 좁히면, 두 위치 사이가 구부러져서 자연스럽게 벤딩부(110)가 형성될 수 있다. 즉, 프로브(100)가 지그부에 장착되면 프로브(100)에는 지그부에 의해 구부러진 벤딩부(110)가 형성될 수 있다.

프로브(100)를 지지하기 위해 지그부에는 프로브(100)가 관통 설치되는 복수의 설치 홀(211, 221)이 마련될 수 있다. 그런데, 복수의 설치 홀(211, 221) 간의 간격을 좁히면 프로브(100)는 설치 홀에서 슬라이딩되므로 좌굴 현상을 유도하기 어렵다.

이러한 문제를 해소하기 위해 프로브(100)에는 스토퍼(131, 132)가 마련될 수 있다.

도 9는 프로브(100)와 지그부가 분리된 상태를 나타낸 개략도이다.

살펴보면 구부러진 벤딩부(110)가 없는 1자 형상의 프로브(100)에 복수의 스토퍼가 마련되고 있다. 이때의 스토퍼는 프로브(100)와 일체로 또는 별도로 마련된 것일 수 있다. 도면에서는 프로브(100)와 일체로 형성된 스토퍼가 개시된다. 또한, 도면에서는 스토퍼를 과장되게 나타내었으나, 실제로는 보다 적은 사이즈로 형성될 수 있다. 이렇게 작은 규모의 스토퍼는 압축력이 가해지는 선상으로부터 다른 방향으로 돌출된 형상을 가질 수 있으나, 그 돌출 정도가 작고, 길이 방향으로도 작은 길이를 가질 수 있다. 이러한 형태로는 벤딩부(110)와 같은 압축력에 의한 탄성 변형을 기대하기 어려우나, 지그부에 걸리는 기능을 수행하기에는 별다른 무리가 없다. 또한, 해당 스토퍼는 펀칭 등의 간단한 공정에 의해 용이하게 형성될 수 있다.

프로브(100)에는 지그부에 걸리는 제1 스토퍼(131) 및 제2 스토퍼(132)가 프로브(100)의 길이 방향을 따라 서로 다른 위치에 마련될 수 있다. 이때, 제1 스토퍼(131)와 제2 스토퍼(132)는 제1 간격 L1만큼 이격될 수 있다. 그리고, 벤딩부(110)는 제1 스토퍼(131)와 제2 스토퍼(132)의 사이에 마련될 수 있다. 그런데, 1자형의 프로브(100)에 따르면 제1 스토퍼(131) 및 제2 스토퍼(132)만 마련되고, 벤딩부(110)가 형성되지 않은 상태임을 알 수 있다.

지그부에는 제1 지그(210), 제2 지그(220) 및 제3 지그(230)가 마련될 수 있다.

제1 지그(210)에는 프로브(100)가 관통 설치되고 제1 스토퍼(131)에 걸리는 제1 설치 홀(211)이 마련될 수 있다. 도 8에서 프로브(100)의 일단이 아래 방향을 향하고, 타단이 위 방향을 향할 때, 제1 지그(210)는 위에서 아래 방향으로 프로브(100)의 타단에 끼워질 수 있다.

제2 지그(220)에는 프로브(100)가 관통 설치되고 제2 스토퍼(132)에 걸리는 제2 설치 홀(221)이 마련될 수 있다. 제2 지그(220)는 아래에서 위 방향으로 프로브(100)의 일단에 끼워질 수 있다.

제1 설치 홀(211)과 제2 설치 홀(221)의 직경은 프로브(100)의 굵기에 맞추어 가공될 수 있다.

제1 지그(210) 및 제2 지그(220)에 프로브(100)가 끼워진 상태에서, 제1 스토퍼(131)와 제2 스토퍼(132)는 제1 지그(210)와 제2 지그(220)의 사이에 배치될 수 있다. 따라서, 제1 지그(210) 및 제2 지그(220)는 우선 제1 스토퍼(131)와 제2 스토퍼(132) 간격 L1으로 배치될 수 있다.

프로브(100)의 끝에서 수직으로 압력을 가하면, 프로브(100)에서 제1 스토퍼(131)와 제2 스토퍼(132)의 사이 구간에는 압축력이 작용할 수 있다.

이에 따르면, 프로브(100)에서 제1 스토퍼(131)와 제2 스토퍼(132)의 사이 구간은 압축력에 의해 좌굴되어 도 8과 같이 벤딩부(110)를 형성할 수 있다. 그런데, 이 상태에서 압축력이 해제되면 탄성력에 의해 프로브(100)는 원래의 형상으로 복귀되고, 벤딩부(110)는 다시 사라지게 될 것이다. 벤딩부(110)를 유지하기 위해 제3 지그(230)는 벤딩부(110)가 형성된 상태에서 제1 지그(210) 및 제2 지그(220)를 지지할 수 있다. 즉, 제3 지그(230)는 벤딩부(110)가 형성된 상태의 제1 지그(210)와 제2 지그(220)의 제2 간격 L2를 유지시킬 수 있다.

정리하면, 제1 지그(210), 제2 지그(220) 및 제3 지그(230)에 의해 지그부에서 제1 스토퍼(131)가 걸리는 제1 위치 ①과 제2 스토퍼(132)가 걸리는 제2 위치 ②의 제2 간격 L2는 제1 간격 L1보다 작을 수 있다. 그리고, 제1 위치 ①에 걸린 제1 스토퍼(131) 및 제2 위치 ②에 걸린 제2 스토퍼(132)에 의해, 프로브(100)에서 제1 스토퍼(131)와 제2 스토퍼(132)의 사이 구간은 구부러져 벤딩부(110)를 형성할 수 있다.

한편, 제1 지그(210)와 제2 지그(220)의 간격을 L2로 유지시키는 제3 지그(230)는 다양하게 형성될 수 있다.

일예로, 도 8에는 제1 지그(210)의 측면과 제2 지그(220)의 측면에 체결되는 제3 지그(230)가 개시된다. 본 실시예에 따르면 손쉽게 각 지그를 설치할 수 있는 장점이 있다. 다만, 복수의 프로브(100)가 밀집되서 설치되는 경우 각 프로브(100) 간의 쇼트가 염려될 수 있다.

도 10은 본 발명의 프로브 장치를 구성하는 다른 지그부를 나타낸 개략도이다.

도 10에서 제3 지그(230)는 제1 지그(210)와 제2 지그(220)의 사이에 개재될 수 있다.

그리고, 제3 지그(230)에는 좌굴에 의해 형성된 벤딩부(110)가 수용되도록 프로브(100)의 두께보다 큰 수용 홀(231)이 형성될 수 있다. 해당 수용 홀(231)은 제1 지그(210)에 마련된 제1 설치 홀(211) 또는 제2 지그(220)에 마련된 제2 설치 홀(221)의 직경 W2보다 큰 직경 W3를 가질 수 있다.

제1 스토퍼(131)와 제2 스토퍼(132)의 간격 L1은 프로브(100)의 규격에 따라 다양할 수 있다. 이에 따라 각 L1에 맞춰 제3 지그(230)에 의해 유지되는 L2 역시 다양하게 세팅될 수 있다.

예를 들어 L2가 5cm이면 제1 지그(210)와 제2 지그(220)의 사이에는 높이 5cm의 제3 지그(230)가 개재되어야 한다. 만약 L2가 6cm이면 높이 6cm의 제3 지그(230)가 마련되어야 한다.

이와 같은 다양한 높이의 제3 지그(230)를 마련하는 것이 어려울 수 있으므로, 제3 지그(230)는 L2보다 작은 단위의 높이 또는 두께를 갖도록 형성될 수 있다. 그리고, L2를 만족시키기 위해 제1 지그(210)과 제2 지그(220)의 사이에 복수로 적층될 수 있다.

일예로, 1cm 높이의 제3 지그(230)가 복수로 마련될 수 있다. 이 상태에서 L2가 5cm이면 제1 지그(210)와 제2 지그(220)의 사이에 5장의 제3 지그(230)가 적층되면 된다. 만약 L2가 6cm이면 6장의 제3 지그(230)가 제1 지그(210)와 제2 지그(220) 사이에 개재되면 된다.

또한, 제1 지그(210), 제2 지그(220) 및 제3 지그(230)의 두께는 모두 동일할 수 있다. 이에 따르면 각 지그는 모두 동일한 공정에서 생산될 수 있다. 이에 따르면, 설치 홀(211, 221)을 형성하느냐 수용 홀(231)을 형성하느냐에 따라 제1 지그(210), 제2 지그(220) 및 제3 지그(230)가 결정될 수 있다.

도 11은 본 발명의 다른 스토퍼를 나타낸 개략도이다.

제1 스토퍼(131) 및 제2 스토퍼(132)는 프로브(100)와 별도로 마련되고 제1 간격 L1으로 프로브(100)에 체결될 수 있다. 해당 스토퍼는 일체형 스토퍼와 마찬가지로 지그부에 의해 초기 간격 L1보다 서로 가까워진 상태가 유지될 수 있다. 그리고, 서로 가까워진 상태로 인해 벤딩부(110)가 형성될 수 있다.

각 스토퍼를 프로브(100)와 별도로 하면 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.

먼저, 일체형 스토퍼를 형성하기 어려운 프로브(100)에 용이하게 스토퍼를 부여할 수 있다. 별도로 마련된 스토퍼는 본딩 또는 스팟 용접 등에 의해 프로브(100)에 용이하게 체결될 수 있다.

다음으로, 기존에 제작된 1자형 프로브(100)에 스토퍼를 부여할 수 있다. 즉, 별도의 스토퍼에 의해 기존의 프로브(100)까지 본 발명의 프로브 장치에 편입시킬 수 있다.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

10...기판 11...회로 패턴
100...프로브 110...벤딩부
131...제1 스토퍼 132...제2 스토퍼
210...제1 지그 211...제1 설치 홀
220...제2 지그 221...제2 설치 홀
230...제3 지그 231...수용 홀

Claims (10)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 일방향으로 연장되고, 기판의 회로 패턴에 일단이 접촉되는 프로브; 및
   상기 프로브를 지지하는 지그부;를 포함하고,
   상기 프로브가 상기 지그부에 장착되면, 상기 프로브에는 상기 지그부에 의해 구부러진 벤딩부가 형성되며,
   상기 프로브에는 길이 방향으로 서로 다른 위치에 상기 지그부에 걸리는 제1 스토퍼 및 제2 스토퍼가 마련되고,
   상기 지그부에는 상기 프로브가 관통되고 상기 제1 스토퍼에 걸리는 제1 지그, 상기 프로브가 관통되고 상기 제2 스토퍼에 걸리는 제2 지그, 상기 제1 지그와 상기 제2 지그를 지지하는 제3 지그가 마련되며,
   상기 제1 스토퍼 및 상기 제2 스토퍼는 상기 제1 지그와 상기 제2 지그의 사이에 배치되고,
   상기 제1 지그와 상기 제2 지그는 상기 프로브에서 상기 제1 스토퍼와 상기 제2 스토퍼의 사이 구간에 압축력이 작용하도록 서로 가까워지는 방향으로 이동하며,
   상기 프로브에서 상기 제1 스토퍼와 상기 제2 스토퍼의 사이 구간은 상기 압축력에 의해 좌굴되어 상기 벤딩부를 형성하고,
   상기 제3 지그는 상기 벤딩부가 형성된 상태에서 상기 제1 지그 및 상기 제2 지그를 지지하며,
   상기 벤딩부는 상기 프로브의 길이 방향을 따라 연장되는 한 개의 원호 형상으로 형성되고,
   상기 제1 지그와 상기 제2 지그 사이에 개재되는 상기 제3 지그에는 상기 벤딩부가 수용되는 수용 홀이 형성되며,
   상기 벤딩부는 상기 수용 홀의 내벽에 접근하되 상기 내벽에 비접촉되게 형성되고,
   상기 제1 스토퍼 및 상기 제2 스토퍼는 상기 프로브의 일부가 상기 압축력이 가해지는 선상으로부터 다른 방향으로 돌출되게 구부러져서 형성된 프로브 장치.
   
7. 삭제
8. 제6항에 있어서,
   상기 프로브에는 상기 지그부에 걸리는 상기 제1 스토퍼 및 상기 제2 스토퍼가 제1 간격으로 마련되고,
   상기 지그부에서 상기 제1 스토퍼가 걸리는 제1 위치와 상기 제2 스토퍼가 걸리는 제2 위치의 제2 간격은 상기 제1 간격보다 작으며,
   상기 제1 위치에 걸린 상기 제1 스토퍼 및 상기 제2 위치에 걸린 상기 제2 스토퍼에 의해, 상기 프로브에서 상기 제1 스토퍼와 상기 제2 스토퍼의 사이 구간은 구부러져 상기 벤딩부를 형성하는 프로브 장치.
   
9. 제6항에 있어서,
   상기 프로브는 1자 형상을 갖고,
   상기 프로브와 별도로 마련된 상기 제1 스토퍼 및 상기 제2 스토퍼가 제1 간격으로 상기 프로브에 체결되며,
   상기 제1 스토퍼 및 상기 제2 스토퍼는 상기 지그부에 의해 초기 간격보다 서로 가까워진 상태가 유지되고, 상기 프로브에서 상기 제1 스토퍼와 상기 제2 스토퍼의 사이 구간은 구부러져 상기 벤딩부를 형성하는 프로브 장치.
10. 삭제

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