TW201623973A - 探針裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明探針裝置包括朝一方向延伸並且一端接觸基板電路圖案的探針，上述探針的兩端之間具備彎曲部，該彎曲部則以剪力方式承受沿着上述探針長度方向施加的壓縮力。

Description

探針裝置
本發明係關於一種用於電路圖案的通電檢查之探針及支撐探針之治具(jig)。
印刷電路板製造領域或半導體製造領域普遍對基板進行測量、處理及檢查等作業。
針對形成於基板表面的電路圖案進行精密測量、處理、檢查等作業時，需要儘量減少基板電路圖案的公差。
與此同時，人們迫切需要一種能夠在檢查過程中防止日益微細化的電路圖案及相應的微細探針毀損的方案。
韓國註冊專利公報第0809648號揭示了能夠維持基板平坦度並檢查電路圖案的基板治具。然而，卻沒有提出探針與電路圖案的保護方案。
先前技術文獻 專利文獻
韓國註冊專利公報第0809648號
本發明的目的是提供一種能夠防止探針毀損的探針裝置。
本發明所解決的技術課題並不限於前述技術課題，本發明所屬技術領域中具備通常知識者可以從後述說明中明確地了解到前文沒有提到的其它技術課題。
本發明探針裝置包括朝一方向延伸並且一端接觸基板電路圖案的探針，上述探針的兩端之間則可以具備彎曲部，該彎曲部以剪力方式承受沿着上述探針長度方向施加的壓縮力。
本發明探針裝置包括朝一方向延伸並且一端接觸基板電路圖案的探針及支撐上述探針的治具部，上述探針安裝到上述治具部後形成彎曲部。
本發明探針裝置可以包括彎曲部，該彎曲部以剪力方式承受接觸電路圖案時施加到探針的壓縮力。
彎曲部能讓探針避免出現挫曲之類的非線性變形而得以線性變形。
憑此能夠防止探針折斷、塑性變形之類的毀損狀況。而且，與探針接觸的電路圖案也不會承受過多的力量而得以保護電路圖案。
本發明可以憑藉支撐探針的治具部形成彎曲部。探針由於非常細而難以製作成具備彎曲部的形態。在兩端之間的距離變短的狀態下，能夠憑藉支撐探針的治具部讓“1“字形狀的探針自然地形成彎曲部。
為了憑藉治具形成彎曲部，在探針上形成了被治具卡擋並且和探針成為一體的止擋部(stopper)。
另一方面，止擋部獨立於探針地製作時，可以在製作成“1”字形狀的現有探針上形成該止擋部而得以在現有探針上形成彎曲部。
10‧‧‧基板
11‧‧‧電路圖案
100‧‧‧探針
110‧‧‧彎曲部
131‧‧‧第一止擋部
132‧‧‧第二止擋部
210‧‧‧第一治具
211‧‧‧第一安裝孔
220‧‧‧第二治具
221‧‧‧第二安裝孔
230‧‧‧第三治具
231‧‧‧收容孔
圖1是示出本發明探針裝置的概略圖。
圖2是示出本發明的探針接觸電路圖案的狀態的概略圖。
圖3是示出本發明的另一個探針裝置的概略圖。
圖4是示出剪力施加到懸臂的狀態的概略圖。
圖5是示出剪力與懸臂變形之間的關係的圖形。
圖6是示出壓縮力施加到懸臂的狀態的概略圖。
圖7是示出壓縮力與懸臂變形之間的關係的圖形。
圖8是示出本發明的再一個探針裝置的概略圖。
圖9是示出探針與治具部分離狀態的概略圖。
圖10是示出構成本發明探針裝置的另一個治具部的概略圖。
圖11是示出本發明的另一個止擋部的概略圖。
下面結合附圖詳細說明本發明的實施例。在說明的過程中，可能會為了方便並明確地說明而在圖形中誇張地顯示出構成要素的大小或形狀等內容。鑒於本發明的構成及作用而予以特別定義的術語可能會隨着使用者、運行者的意圖或慣例而不同。對於這些術語的定義應該以本 說明書的整體內容為依據。
圖1是示出本發明探針裝置的概略圖。
圖1所示探針裝置包括朝一方向延伸並且一端接觸基板(10)的電路圖案(11)的探針(probe)(100)。
朝一方向延伸的探針(100)可以具有所謂的針狀外形。探針(100)可用於形成於基板(10)的電路圖案(11)的通電檢查。為了進行通電檢查，探針(100)的一端接觸基板(10)的電路圖案(11)而另一端則連接到判斷電路圖案(11)異常與否的檢查裝置(未圖示)。
從結果來說，探針(100)相當於讓電路圖案(11)和檢查裝置形成電連接狀態的中繼裝置。為了正常地執行電信號的中繼功能，探針(100)可以包括讓電信號流過的導電體。
探針(100)可以沿着虛擬直線延伸。作為一例，圖形中顯示了在互相直交的x軸、y軸、z軸所構成的三維空間沿着z軸方向延伸的情形。
本發明中探針(100)的重要特徵在於其具備彎曲部(110)。彎曲部(110)形成於探針(100)的兩端之間，其結構能夠以剪力方式承受沿着探針(100)長度方向施加的壓縮力。
作為一例，彎曲部(110)可以讓探針(100)的一部分彎曲地形成。沿着直線延伸的探針(100)被彎曲所表示的是至少探針(100)的一部分部位脫離該直線。
如前所述地脫離該直線的部位不以壓縮力方式承受沿着直線方向施加到探針(100)的壓縮力而是以剪力方式承受該力。憑此，能夠保 護探針(100)及電路圖案(11)。
圖2是示出本發明的探針(100)接觸電路圖案(11)的狀態的概略圖。
探針(100)可以憑藉升降裝置朝向基板(10)方向移動。此時，為了讓探針(100)確實地接觸電路圖案(11)，升降裝置可能讓探針(100)動作到相比於實際接觸時所需要的位置更接近電路圖案(11)的位置。
在探針(100)從位置動作到位置的區段中探針(100)及電路圖案(11)承受力量(F)。此時的力(F)基本上沿着探針(100)的長度方向施力，因此施加到探針(100)的是壓縮力。
為了防止電路圖案(11)破損或探針(100)破損，可以讓探針(100)撓性地形成以便屈服於該壓縮力地彎曲。但此時的彎曲是由挫曲引起的，因此可能呈現出非線性。為了說明非線性地彎曲的探針(100)問題，圖4到圖7顯示了相關圖形。
圖4是示出剪力施加到懸臂的狀態的概略圖，圖5是示出剪力與懸臂變形之間的關係的圖形。
這裡假設為在水平方向(例如圖2的x軸方向)延伸的撓性懸臂。
維持水平狀態(i1)的懸臂受到按照垂直於延伸方向的方向(截面方向)施加的力量，亦即，受到剪力時能夠不多做抵抗地屈服於該剪力並且如i2一樣地彎曲。
此時，剪力(F)與懸臂變形大小(h)的關係如圖5所示地呈現出近乎線性的關係。其結果，如果需要讓懸臂按照h1變形，則只要施加F1 的剪力即可。
圖6是示出壓縮力施加到懸臂的狀態的概略圖，圖7是示出壓縮力與懸臂變形之間的關係的圖形。
這裡假設為在垂直方向(例如圖2的z軸方向)延伸的撓性懸臂。
維持垂直狀態(j1)的懸臂受到按照長度方向施加的力量，亦即，受到壓縮力時能夠對該力量作出抵抗，施加了力(F2)時可以如j2一樣地挫曲。而且，挫曲可能會讓懸臂急劇變形。
然而，觀察挫曲所導致的變形時發現，讓懸臂按照h1變形時所需要的F2大於F1。根據挫曲的特性，並不是一定在F2下實現h1，也有可能在大於F2的力(F3)下實現h1。亦即，挫曲所導致的懸臂變形呈現出不規則地發生的非線性樣貌。
另一方面，挫曲導致句急劇變形後，懸臂中變形的部分，也就是說，彎曲的部分不是直接承受壓縮力而是以剪力方式承受向量壓縮力的一部分。因此，挫曲導致變形後懸臂相似於圖5地實現線性變形。
前面結合圖4到圖7說明的懸臂的變形狀態可以同樣適用於圖1或圖2所揭示的探針(100)。
探針(100)由於受其本身特性的影響而較難形成如圖4所示地直接承受剪力的結構。基本上，探針(100)可以憑藉升降手段成為承受圖6所示壓縮力的狀態。
如果探針(100)以直線狀態延伸的話，正如圖6及圖7所說明者，在探針(100)從圖2的到移動的過程中會有大於F1的力(F2)或F3 施加到探針(100)及電路圖案(11)。該F2或F3則可能會讓探針(100)及電路圖案(11)破損。
為了保護探針(100)及電路圖案(11)，在探針(100)從移動到的過程中需要讓小於F2的力量施加到電路圖案(11)等。這個要求則可以憑藉前面說明的彎曲部(110)實現。
彎曲部(110)可以如前所述地由探針(100)彎曲後形成。將其適用於圖6及圖7時，本申請專利的探針(100)憑藉彎曲部(110)處於類似於已挫曲的狀態。
因此在本申請專利中，探針(100)的變形程度與壓縮力(F)之間的關係將成為圖7所示代表線性變形的點P1移動到P0的狀態。也就是說，彎曲部所導致的探針變形消除了原點到P1的非規則區段而呈現出P1以後的線性樣貌。
由於該樣貌相似予圖5的線性圖形，因此能夠憑藉彎曲部(110)以接近F1的力量讓探針(100)從圖2的移動到。
整理前述內容的話，在本發明探針裝置從移動到的過程中，能夠憑藉彎曲部(110)使得探針(100)及電路圖案(11)所承受的力(F1)小於F2。其結果，能夠防止探針(100)及電路圖案(11)毀損。
從另一角度來說，也可以視為沖擊(F)施加到探針(100)或電路圖案(11)時憑藉着彈性變形的彎曲部(110)緩和該沖擊(F)。而且，能夠在檢查時把一定力量施加到圖案。
彎曲部(110)可以是從升降裝置施加壓縮力的線朝另一方向突出的各種形態。根據該結構，彎曲部(110)以剪力方式承受沿着探針(100) 的長度方向施加的壓縮力而得以自然地彈性變形，從而得以緩和該壓縮力給予電路圖案(11)的衝擊。
為了接觸日益微細化的電路圖案(11)，探針(100)的厚度或粗細可以變小到數十微米(μm)的程度。因此較難讓非常薄的探針(100)的一部分形成彎曲部。
即使能夠形成彎曲部(110)，探針裝置的整體寬度也會增加相當於彎曲部寬度(W1)的寬度。
一般來說，在進行通電檢查時不會利用一個探針(100)檢查一個電路圖案(11)而是利用複數個探針(100)同時接觸複數個電路圖案(11)。然而，整體寬度增加時會導致複數個探針裝置互相短路(short)。
為了防止各探針裝置之間的短路，探針裝置的整體寬度越小越有利。
亦即，優選地，彎曲部(110)能夠同時滿足憑藉壓縮力進行彈性變形的結構、能夠輕易生產的結構、能夠儘量減少整體寬度的結構。
為此，彎曲部(110)可以如圖1及圖2所示地具有沿着探針(100)長度方向延伸的一個圓弧形狀。
此時，也能以彎曲部(110)朝探針(100)一側突出的形態讓探針(100)彎曲。亦即，探針(100)以探針(100)的一部分被彎曲處理地形成。此時，決定彎曲部(110)曲率的曲率中心(O)可以位於探針(100)的另一側。
作為一例，在圖1中彎曲部(110)具有朝探針(100)長度方向的右側突出的形態，該彎曲部(110)的曲率中心則位於探針(100)的左側。憑此，能夠形成較大的圓弧而能夠輕易地彎曲探針(100)。
該圖為了說明彎曲部(110)而誇張地圖示了彎曲部(110)，但實際上彎曲部(110)的曲率半徑還能更大。
圓弧狀彎曲部(110)是從施加壓縮力的線朝一側突出的狀態，因此能夠滿足以剪力方式承受該壓縮力並彈性變形的條件。
依照前面說明的內容，探針裝置受到壓縮力而讓探針(100)的一端接觸電路圖案(11)時，彎曲部的至少一部分會受到剪力。而且，該剪力會使得彎曲部(110)彈性變形，該彈性變形的彎曲部(110)則能夠保護電路圖案(11)或探針(100)。
另一方面，在非常薄的探針(100)上形成彎曲部(110)時由於公差之類的因素而較難讓複數個彎曲部(110)具備同一彈性力。為了讓複數個彎曲部(110)維持同一彈性力，可以使用治具部(210、220、230)。
圖3是示出本發明的另一個探針裝置的概略圖。
探針(100)可以由治具部(210、220、230)給予支撐。該圖雖然為了說明方便起見而圖示了只有一個探針(100)支撐治具部的情形，但是該治具部上可以安裝複數個探針(100)。
治具部具有第一治具(210)、第二治具(220)及第三治具(230)。第一治具(210)可以形成讓探針(100)的兩端部中的某一端部貫穿地安裝的第一安裝孔(211)。
第二治具(220)可以形成讓探針(100)的兩端部中的另一端部貫穿地安裝的第二安裝孔(221)。
第一治具(210)與第二治具(210)能按照彎曲部(110)的長度隔離。而且，第一安裝孔(211)及第二安裝孔(221)的直徑可以按照探針(100) 的直徑(W2)進行加工。
然而，接觸電路圖案(11)的端部所插入的第二安裝孔(221)可以在該端部憑藉彎曲部(110)的彈性變形而移動並且在維持正確位置的範圍內具備適當直徑。與此相反地，插入了相反側的端部的第一安裝孔(211)則為了固定該端部而按照探針(100)的直徑(W2)進行加工。
第三治具(230)位於第一治具(210)與第二治具(220)之間並且可以讓第一治具(210)與第二治具(220)之間的間隔維持一定。第三治具(230)可以具備預設厚度並且為了符合彎曲部(110)的長度而在第一治具(210)與第二治具(220)之間積疊複數個。
而且，第三治具(230)可以形成收容彎曲部(110)的收容孔(231)。
為了收容彎曲部(110)，收容孔(231)的直徑(W3)可以大於W2。然而，收容孔(231)的半徑大於彎曲部(110)的寬度(W1)時彎曲部(110)形同處於虛空的狀態。據此，安裝在治具部的複數個探針上所具備的各彎曲部(110)的彈性力可以根據彎曲公差等因素而互不相同。
為了至少在安裝到治具部的狀態下讓具備了複數個探針(100)的各彎曲部(110)具有均勻的彈性力，收容孔(231)可以如圖3所示地以接觸各彎曲部(110)的直徑(W3)形成。
作為一例，收容孔(231)的直徑(W3)可以根據彎曲部(110)的寬度(W1)進行調整。
基本上，W3可以大於W1。而且，施加了壓縮力時彎曲部(110)會更加彎曲而使得W1增大。如前所述地憑藉壓縮力增加了W1的彎 曲部(110)則可以接觸收容孔(231)的內牆。當然，該彎曲部(110)也可以接近收容孔(231)的內牆但不接觸內牆。
收容孔(231)只收容一個探針。因此安裝複數個探針時需要具備複數個收容孔，各探針則由收容孔予以絕緣。因此，本發明的探針不需要為了絕緣而進行鐵氟龍塗層(Teflon coating)、環氧塗層、壓克力塗層等過程。鐵氟龍、環氧、壓克力是污染環境的物質，本發明則憑藉着探針的結構及治具部的結構而免除了塗層作業。為此，包括收容在收容孔的探針之彎曲部、插入第一安裝孔的探針之一端部、插入第二安裝孔的探針之另一端部在內的探針之所有部分只由一個同一材質構成。亦即，本發明的探針不進行塗層。
另一方面，也可以為了提高生產性而揭示另一種方案。如前所述，比較難以把非常細的探針(100)的一部分區段予以彎曲處理。甚至於連圓弧形態的彎曲部(110)也難以形成。
然而，由於較難把非常薄的探針(100)單獨安裝到升降裝置，因此能透過被治具部支撐的狀態安裝到升降裝置。此時，可以在治具部支撐探針(100)的過程中形成彎曲部(110)。
圖8是示出本發明的再一個探針裝置的概略圖。圖8所示探針裝置的概念為除了探針(100)及彎曲部(110)以外還包括支撐探針(100)的治具部(210、220、230)。
首先，可以具備沒有彎曲部(110)的探針(100)，也就是說直線形態的探針(100)。
治具部可以沿着長度方向在相異的兩個位置緊固探針 (100)。在該狀態下，把兩個位置的間隔縮短到讓探針(100)挫曲的程度時，兩個位置之間將彎曲而自然地形成彎曲部(110)。亦即，探針(100)安裝到治具部後，可以在探針(100)形成由治具部予以彎曲的彎曲部(110)。
為了支撐探針(100)，治具部具有讓探針(100)貫穿地安裝的複數個安裝孔(211、221)。然而，複數個安裝孔(211、221)之間的間隔變小時探針(100)將在安裝孔滑行而難以誘導挫曲現象。
為了解決該問題，探針(100)可以具備止擋部(131、132)。圖9是探針(100)與治具部處於分離狀態的概略圖。請參閱該圖，在不存在着已彎曲的彎曲部(110)的“1”字狀探針(100)上具備了複數個止擋部。此時的止擋部可以和探針(100)成為一體地形成，也可以另行準備。圖形所揭示的止擋部則與探針(100)成為一體地形成。而且，圖形較為夸張地圖示了止擋部，實際上該止擋部能夠以更小的尺寸形成。如此小規模的止擋部雖然可以具有從施加壓縮力的線朝另一方向突出的形狀，但也可以讓其突出程度較小而且在長度方向也只具有較小長度。該形態無法期待像彎曲部(110)一樣地憑藉壓縮力實現彈性變形，但是卻足以被治具部擋住。而且，該止擋部能夠透過衝壓之類的簡單製程輕易地形成。
探針(100)中被治具部卡擋的第一止擋部(131)及第二止擋部(132)可以沿着探針(100)的長度方向形成於相異位置。此時，第一止擋部(131)與第二止擋部(132)可以按照第一間隔(L1)隔離。彎曲部(110)則可以位於第一止擋部(131)與第二止擋部(132)之間。然而，“1”字形的探針(100)則可以只具備第一止擋部(131)及第二止擋部(132)而不形成彎曲部(110)。
治具部可以具備第一治具(210)、第二治具(220)及第三治具 (230)。第一治具(210)具有讓探針(100)貫穿地安裝並且讓第一止擋部(131)卡擋的第一安裝孔(211)。在圖8中，探針(100)的一端朝向下方而另一端朝向上方時，第一治具(210)可以從上往下的方向插入探針(100)的另一端。
第二治具(220)具有讓探針(100)貫穿地安裝並且讓第二止擋部(132)卡擋的第二安裝孔(221)。第二治具(220)可以從下往上地插入探針(100)的一端。第一安裝孔(211)與第二安裝孔(221)的直徑可以按照探針(100)的粗細進行加工。在探針(100)插入第一治具(210)及第二治具(220)的狀態下，第一止擋部(131)與第二止擋部(132)可以配置於第一治具(210)與第二治具(220)之間。因此，第一治具(210)及第二治具(220)首先可以按照第一止擋部(131)與第二止擋部(132)間隔(L1)進行配置。從探針(100)的末端垂直地施加壓力時，探針(100)中第一止擋部(131)與第二止擋部(132)之間的區段會承受壓縮力。
據此，探針(100)中第一止擋部(131)與第二止擋部(132)之間的區段被壓縮力挫曲而如圖8所示地形成彎曲部(110)。然而，在該狀態下壓縮力消除時憑藉彈性力讓探針(100)恢復原來的形狀並且彎曲部(110)重新消失。為了維持彎曲部(110)，第三治具(230)可以在形成了彎曲部(110)的狀態下支撐第一治具(210)及第二治具(220)。亦即，第三治具(230)能夠把形成了彎曲部(110)的狀態下的第一治具(210)與第二治具(220)的第二間隔(L2)維持住。
簡言之，可以憑藉第一治具(210)、第二治具(220)及第三治具(230)讓治具部中卡擋第一止擋部(131)的第一位置①與卡擋第二止擋部(132)的第二位置②的第二間隔(L2)小於第一間隔(L1)。而且，被卡擋在第一 位置①的第一止擋部(131)及被卡擋在第二位置②的第二止擋部(132)則使得探針(100)中第一止擋部(131)與第二止擋部(132)之間的區段彎曲而形成彎曲部(110)。
另一方面，讓第一治具(210)與第二治具(220)的間隔維持在L2的第三治具(230)則能以各種形態形成。作為一例，在圖8中揭示了緊固在第一治具(210)的側面與第二治具(220)的側面的第三治具(230)。本實施例能夠輕易地安裝各治具。然而，複數個探針(100)密集在一起地安裝時可能會引起各探針(100)之間的短路。
圖10是示出構成本發明探針裝置的另一個治具部的概略圖。在圖10中，第三治具(230)位於第一治具(210)與第二治具(220)之間。而且，第三治具(230)為了收容由挫曲形成的彎曲部(110)而形成大於探針(100)厚度的收容孔(231)。該收容孔(231)的直徑(W3)可以大於第一治具(210)上的第一安裝孔(211)或第二治具(220)上的第二安裝孔(221)的直徑(W2)。
第一止擋部(131)與第二止擋部(132)的間隔(L1)可以根據探針(100)的規格而不同。憑此，可以根據各L1多樣化地設置出由第三治具(230)維持的L2。例如，L2為5cm時需要在第一治具(210)與第二治具(220)之間配備5cm高的第三治具(230)。如果L2為6cm則配備6cm高的第三治具(230)。也許較難配備前述各種高度的第三治具(230)，因此可以讓第三治具(230)具備小於L2的高度或厚度地形成。而且，為了符合L2而可以在第一治具(210)與第二治具(220)之間積疊複數個。
作為一例，可以積疊高複數個1cm的第三治具(230)。在該狀態下，L2為5cm時只要在第一治具(210)與第二治具(220)之間積疊5個 第三治具(230)即可。如果L2為6cm則只要把6個第三治具(230)配置在第一治具(210)與第二治具(220)之間即可。而且，第一治具(210)、第二治具(220)及第三治具(230)的厚度可以互相相同。據此，各治具可以全部在同一製程生產。據此，可以根據要形成的是安裝孔(211、221)或收容孔(231)而決定第一治具(210)、第二治具(220)及第三治具(230)。
圖11是示出本發明的另一個止擋部的概略圖。第一止擋部(131)及第二止擋部(132)可以獨立於探針(100)地製作並且按照第一間隔(L1)緊固在探針(100)。該止擋部可以和一體型止擋部一樣地憑藉着治具部而維持住相比於初始間隔(L1)更近的狀態。而且，憑藉着互相接近的狀態形成彎曲部(110)。將各止擋部獨立於探針(100)地製作時能夠發揮出下列效果。
首先，可以在難以形成一體型止擋部的探針(100)上輕易地配備止擋部。另行準備的止擋部能以粘結或點銲等方式輕易地安裝到探針(100)。接着，可以在先前製作的“1”字形探針(100)上配備止擋部。亦即，可以憑藉另行製作的止擋部把現有的探針(100)納入本發明探針裝置的範疇內。
以上僅僅說明了本發明的實施例，但其僅為例示性者，在該領域具備通常知識者當知能夠憑此進行各種變形及均等範圍內之實施例。因此，本發明真正的技術保護範圍應由權利申請範圍所述者決定。
10‧‧‧基板
11‧‧‧電路圖案
100‧‧‧探針
110‧‧‧彎曲部

Claims (10)

  1. 一種探針裝置，其中，包括朝一方向延伸並且一端接觸基板電路圖案的探針；上述探針的兩端之間具備彎曲部，該彎曲部以剪力方式承受沿着上述探針長度方向施加的壓縮力。
  2. 如申請專利范圍第1項所述探針裝置，其中，上述彎曲部是上述探針彎曲後形成的。
  3. 如申請專利范圍第1項所述探針裝置，其中，上述彎曲部是以上述探針朝上述探針的一側突出的形態彎曲地形成的，其具有沿着上述探針的長度方向延伸的一個圓弧形狀，決定上述彎曲部曲率的曲率中心則位於上述探針的另一側。
  4. 如申請專利范圍第1項所述探針裝置，其中，包括支撐上述探針的治具部，上述治具部具備：第一治具，形成了讓上述探針貫穿地安裝的第一安裝孔；第二治具，形成了讓上述探針貫穿地安裝的第二安裝孔並且隔離於上述第一治具；第三治具，位於上述第一治具與上述第二治具之間；上述第三治具具有收容上述彎曲部的收容孔，上述收容孔的直徑在接觸上述彎曲部的範圍內的條件下大於上述第一安裝 孔的直徑或上述第二安裝孔的直徑。
  5. 如申請專利范圍第1項所述探針裝置，其中，包括支撐上述探針的治具部，上述治具部具備：第一治具，形成了讓上述探針貫穿地安裝的第一安裝孔；第二治具，形成了讓上述探針貫穿地安裝的第二安裝孔並且隔離於上述第一治具；第三治具，位於上述第一治具與上述第二治具之間；上述第三治具具有收容上述彎曲部的收容孔。包括收容在上述收容孔的上述探針之上述彎曲部、插入上述第一安裝孔的上述探針之一端部、插入上述第二安裝孔的上述探針之另一端部在內的上述探針之所有部分由一個同一材質構成並且是無塗層狀態。
  6. 一種探針裝置，其中，包括：朝一方向延伸並且一端接觸基板電路圖案的探針；及支撐上述探針的治具部；上述探針安裝到上述治具部後，在上述探針上形成由上述治具部予以彎曲的彎曲部。
  7. 如申請專利范圍第6項所述探針裝置，其中，上述探針中被上述治具部卡擋的第一止擋部及第二止擋部沿着上述探針的長度方向形成於相異位置，上述彎曲部位於上述第一止擋部與上述第二止擋部之間。
  8. 如申請專利范圍第6項所述探針裝置，其中，上述探針中被上述治具部卡擋的第一止擋部及第二止擋部按照第一間隔配備，上述治具部中卡擋上述第一止擋部的第一位置與卡擋上述第二止擋部的第二位置的第二間隔小於上述第一間隔，被卡擋在上述第一位置的上述第一止擋部及被卡擋在上述第二位置的上述第二止擋部則使得上述探針中上述第一止擋部與上述第二止擋部之間的區段彎曲而形成上述彎曲部。
  9. 如申請專利范圍第6項所述探針裝置，其中，上述探針具有“1”字形狀，獨立於上述探針地製成的第一止擋部及第二止擋部則按照第一間隔緊固在上述探針，上述第一止擋部及上述第二止擋部則憑藉上述治具部維持在小於初始間隔的狀態，上述探針中上述第一止擋部與上述第二止擋部之間的區段則彎曲而形成上述彎曲部。
  10. 如申請專利范圍第6項所述探針裝置，其中，上述探針具有沿着長度方向在相異位置被上述治具部卡擋的第一止擋部及第二止擋部，上述治具部具備：第一治具，讓上述探針貫穿並且卡擋上述第一止擋部； 第二治具，讓上述探針貫穿並且卡擋上述第二止擋部；第三治具，支撐上述第一治具與上述第二治具；上述第一止擋部及上述第二止擋部配置在上述第一治具與上述第二治具之間，上述第一治具與上述第二治具為了讓上述探針中上述第一止擋部與上述第二止擋部之間的區段承受壓縮力而朝互相接近的方向移動，上述探針中上述第一止擋部與上述第二止擋部之間的區段被上述壓縮力挫曲而形成上述彎曲部，上述第三治具則在形成了上述彎曲部的狀態下支撐上述第一治具及上述第二治具。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI829696B (zh) * 2018-07-18 2024-01-21 日商日本電產理德股份有限公司 探針、檢查治具、檢查裝置以及探針的製造方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101869044B1 (ko) * 2016-11-10 2018-07-19 윌테크놀러지(주) 스크럽 현상이 저감된 수직형 프로브 카드용 니들유닛 및 이를 이용한 프로브 카드
JP2018179721A (ja) * 2017-04-12 2018-11-15 株式会社日本マイクロニクス 電気的接続装置
KR101769355B1 (ko) 2017-05-31 2017-08-18 주식회사 새한마이크로텍 수직형 프로브핀 및 이를 구비한 프로브핀 조립체
IT202000013978A1 (it) * 2020-06-11 2021-12-11 Microtest S R L Un supporto porta sonde e relative sonde con montaggio facilitato

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2799973B2 (ja) * 1995-07-06 1998-09-21 日本電子材料株式会社 垂直作動式プローブカード
JP2000021528A (ja) * 1998-07-03 2000-01-21 Furukawa Electric Co Ltd:The Ｉｃソケット用コンタクトピン
JP4434371B2 (ja) * 1999-08-31 2010-03-17 株式会社日本マイクロニクス プローブユニット及びプローブカード
JP2002202337A (ja) * 2001-01-04 2002-07-19 Takashi Nansai ファインピッチ基板検査用治具
JP4268447B2 (ja) 2003-05-14 2009-05-27 Ｈｏｙａ株式会社 基板保持具、基板処理装置、基板検査装置及びこれらの使用方法
US7786740B2 (en) * 2006-10-11 2010-08-31 Astria Semiconductor Holdings, Inc. Probe cards employing probes having retaining portions for potting in a potting region
KR100806379B1 (ko) * 2006-12-22 2008-02-27 세크론 주식회사 프로브 및 이를 포함하는 프로브 카드
WO2010061857A1 (ja) * 2008-11-25 2010-06-03 日本発條株式会社 コンタクトプローブ、プローブユニットおよびプローブユニットの組立方法
TW201221962A (en) * 2010-11-22 2012-06-01 Pleader Yamaichi Co Ltd Structure of high frequency vertical elastic piece probe card
TWM411569U (en) * 2011-03-22 2011-09-11 Micro Precise Technology Co Ltd Testing probe and probe retaining base

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI829696B (zh) * 2018-07-18 2024-01-21 日商日本電產理德股份有限公司 探針、檢查治具、檢查裝置以及探針的製造方法

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