JP6752829B2 - 高周波適用に適したバーチカルプローブをもつ試験ヘッド - Google Patents
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Description
本発明によれば、本体22で実現されている少なくとも1つの開口28を備える接触プローブ21と、開口28によって本体22にもたらされる危険部28A、即ち、損傷しやすい領域を含む接触プローブ21は、低い曲げストレスを受ける、もしくは、曲げストレスを受けない、追加的なギャップ31Aを画定するのに適した下ガイド及び上ガイド32、33と平行である、補助ガイド30とを組み合わせた使用は、短バーチカルプローブ、即ち、5000μmより短い長さをもち、既知の試験ヘッドの寿命より長くはないとしても、比較可能な有用な寿命をもつ、高周波適用に適した試験ヘッド20を実現させる。詳細には、開口28の使用は、接触プローブ21の本体の硬さを低減することができ、同時に、テスト中のデバイス26の接触パッド26Aへのプローブの接触チップ25の衝突圧力を低減することができる。一方、接触プローブ21の危険部28Aを含む追加的なギャップ31Aを画定する補助ガイド30の存在は、危険部28Aのプローブを損傷する可能性を低減し、もしくは、なくすことができる。
採用された手段の相乗効果により、本発明によって実現される接触ヘッドは、高周波適用に適し、過剰な硬さ、もしくは、開口の存在によってもたらされる危険部によりプローブを損傷する可能性を低減して、長い有用な寿命を有する。
Claims (13)
- テスト中のデバイスの機能試験のためのバーチカル接触プローブをもつ試験ヘッドであって、
前記試験ヘッドは、複数のバーチカル接触プローブを含み、
各々のバーチカル接触プローブは第1端及び第2端の間に延在する所定長さの棒状本体を有し、
前記第2端は前記テスト中のデバイスの接触パッドに当接する接触チップであり、
前記バーチカル接触プローブの各々の前記棒状本体の長さは5000μmよりも短く、
前記バーチカル接触プローブの各々の前記棒状本体は、全長に延在し、複数のアームを画定する少なくとも1つの開口を含み、
前記複数のアームは相互に平行であり、前記少なくとも1つの開口で離間され、前記バーチカル接触プローブの前記第1端及び第2端に接続され、
前記試験ヘッドは、平面であり、相互に平行であり、前記バーチカル接触プローブを各々が中に収納するガイドホールを各々が含む、1つの下ガイド及び1つの上ガイドを少なくともさらに含み、
前記試験ヘッドは少なくとも1つの補助ガイドを含み、
前記少なくとも1つの補助ガイドは、前記テスト中のデバイスによって画定される平面に平行であり、前記棒状本体に沿って配置され、適切なガイドホールを含み、
前記バーチカル接触プローブは、前記ガイドホールの各々を通ってスライドし、
前記補助ガイドは、前記バーチカル接触プローブの前記第1端及び/または第2端の近くに配置され、
前記補助ガイドは、第1ギャップ及び/または第2ギャップ及び第3ギャップを含むギャップを画定する第1補助ガイド及び第2補助ガイドを含み、
前記第1ギャップは、前記第1補助ガイドと前記上ガイドとの間に画定され、
前記第2ギャップは、前記第2補助ガイドと前記下ガイドとの間で画定され、
前記複数のアームの間の接合部に位置する前記棒状本体の部分である危険部は、前記第1ギャップ及び/または第2ギャップに位置し、
前記危険部は前記棒状本体の損傷しやすい領域であり、
前記危険部は、第1危険部及び第2危険部を含み、
前記第1危険部及び第2危険部へかかる、曲げようとする力が前記棒状本体の他の部分と比較して低い、もしくはないように、前記第1危険部が前記第1ギャップに配置され、前記第2危険部が前記第2ギャップに配置されている、
試験ヘッド。 - 前記第1補助ガイド及び第2補助ガイドの両方を含み、
前記第3ギャップは前記第1補助ガイドと前記第2補助ガイドとの間に画定され、前記バーチカル接触プローブの棒状本体の前記第2危険部も前記バーチカル接触プローブの前記棒状本体の前記第1危険部も含まない、
請求項1に記載の試験ヘッド。 - 前記第3ギャップは1000μm〜4000μmの長さを有し、
前記第1ギャップ及び第2ギャップは100μm〜500μmの長さを有する、
請求項1または請求項2に記載の試験ヘッド。 - 前記第3ギャップは2000μm〜3000μmの長さを有し、
前記第1ギャップ及び第2ギャップは200μm〜300μmの長さを有する、
請求項1または請求項2に記載の試験ヘッド。 - 前記バーチカル接触プローブは、前記棒状本体で実現されている第1開口及び第2開口を含み、
前記第1開口及び第2開口は、前記棒状本体の全長に沿って延び、
前記第1開口及び第2開口は相互に平行であり、
前記第1開口及び第2開口は前記複数のアームの第1アーム、第2アーム、及び第3アームを画定する、
請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の試験ヘッド。 - 前記バーチカル接触プローブは、前記第1開口及び第2開口に配置されたマテリアルブリッジを含み、
前記マテリアルブリッジは、前記複数のアームの前記第1アーム、第2アーム及び第3アームを相互に接続する、
請求項5に記載の試験ヘッド。 - 前記マテリアルブリッジは前記第1ギャップ内、第2ギャップ内、または、前記第3ギャップ内に配置されている、
請求項6に記載の試験ヘッド。 - 前記バーチカル接触プローブの各々は、前記バーチカル接触プローブの側方壁面の1つからでている少なくとも1つのストッパーを含み、
前記少なくとも1つのストッパーは、前記ストッパーの上にある前記上ガイド及び/または下ガイドのガイドホールの壁面に対応して実現され、
前記少なくとも1つのストッパーは、前記バーチカル接触プローブの前記側方壁面に接している、
請求項1〜請求項7の何れか1項に記載の試験ヘッド。 - 開口をもつ第1バーチカル接触プローブと、開口をもたない第2バーチカル接触プローブと、を含む、
請求項1〜請求項8の何れか1項に記載の試験ヘッド。 - 開口をもたない前記第2バーチカル接触プローブは、開口をもつ前記第1バーチカル接触プローブのプローブ直径よりも小さいプローブ直径をもつ、
請求項9に記載の試験ヘッド。 - 開口をもつ前記第1バーチカル接触プローブは第1信号を扱い、
開口をもたない前記第2バーチカル接触プローブは第2信号を扱い、
前記第1信号の電流値は、前記第2信号の電流値より高い、
請求項9または請求項10に記載の試験ヘッド。 - 開口をもつ前記第1バーチカル接触プローブは供給信号を扱い、
開口をもたない前記第2バーチカル接触プローブは入力/出力信号を扱う、
請求項11に記載の試験ヘッド。 - 開口をもつ前記第1バーチカル接触プローブと開口をもたない前記第2バーチカル接触プローブとは同じ長さを有する、
請求項9〜請求項12の何れか1項に記載の試験ヘッド。
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