JP2007192719A - プローブカード - Google Patents
プローブカード Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007192719A JP2007192719A JP2006012404A JP2006012404A JP2007192719A JP 2007192719 A JP2007192719 A JP 2007192719A JP 2006012404 A JP2006012404 A JP 2006012404A JP 2006012404 A JP2006012404 A JP 2006012404A JP 2007192719 A JP2007192719 A JP 2007192719A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- probe
- bend
- substrate
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
【課題】 屈曲部を有するカンチレバー型プローブの強度が簡単な構造上の変更により向上されたプローブカードを提供することを目的とする。
【解決手段】 金属線材を折り曲げることにより屈曲部43を有する形状に形成され、その先端部が半導体装置の電極に接触される接触子本体41に対して、屈曲部43から内角θ3側に張り出すように、電気鋳造法により板状の補強部42を形成する。これにより、オーバードライブ時などに先端部に屈曲部43を中心とするモーメントが生じた場合に、屈曲部43の内角θ3が増大するように先端部が拡がるのを抑制できる。したがって、補強部42を付加するという簡単な構造上の変更により、屈曲部43を有するコンタクトプローブ4の強度を向上することができる。
【選択図】 図2
【解決手段】 金属線材を折り曲げることにより屈曲部43を有する形状に形成され、その先端部が半導体装置の電極に接触される接触子本体41に対して、屈曲部43から内角θ3側に張り出すように、電気鋳造法により板状の補強部42を形成する。これにより、オーバードライブ時などに先端部に屈曲部43を中心とするモーメントが生じた場合に、屈曲部43の内角θ3が増大するように先端部が拡がるのを抑制できる。したがって、補強部42を付加するという簡単な構造上の変更により、屈曲部43を有するコンタクトプローブ4の強度を向上することができる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、プローブカードに係り、更に詳しくは、屈曲部を有するカンチレバー型プローブを補強するための構造の改良に関する。
半導体装置の電極との電気的な接続を行うための装置の一例として、半導体集積回路などの検査対象物にコンタクトプローブ(接触探針)を接触させることにより電気的な接続を行うプローブカードが知られている。プローブカードは、一般的に、半導体集積回路の電極数及びピッチに対応して多数のコンタクトプローブを基板上に整列配置することにより構成されている。
プローブカードの中には、棒状のコンタクトプローブが基板に片持ち支持され、先端部が検査対象物に接触するように構成された、いわゆるカンチレバー型のものがある(例えば、特許文献1)。
図4は、従来のプローブカード101に備えられたコンタクトプローブ104の一例を示した概略側面図である。このプローブカード101は、基板103の基板面131に対して、図4の奥行き方向に多数のコンタクトプローブ104が整列配置されることにより形成されている。
このプローブカード101におけるコンタクトプローブ104は、例えば、金属線材を折り曲げることにより形成され、一端部が基板面131に片持ち支持され、基板面131に垂直な方向に対して所定の傾斜角θ11で傾斜した方向に直線状に延びるビーム部144と、このビーム部144の他端部に屈曲部143を介して連続し、基板面131に垂直な方向に対してビーム部144よりも小さい傾斜角θ12で傾斜する方向に直線状に延びるコンタクト部145とを有している。
コンタクトプローブ104は、そのコンタクト部145の先端において検査対象物に接触する。より具体的には、基板面131に対して平行に配置されたシリコンウエハ102の電極に対して、コンタクトプローブ104を垂直方向に接近させ、その先端を接触させる。その後、コンタクトプローブ104を更に押し付けることにより、いわゆるオーバードライブを行い、すべてのコンタクトプローブ104をシリコンウエハ102の電極に確実に接触させることができる。
特開平5−273237号公報
コンタクトプローブ104の先端がシリコンウエハ102の電極に押し付けられると、その他端部を中心としてモーメントが生じ、ビーム部144には撓みが生じる。また、コンタクト部145は、基板面131に垂直な方向に対して若干傾斜しているため、コンタクトプローブ104の先端がシリコンウエハ102の電極に押し付けられると、屈曲部143を中心としてコンタクト部145にモーメントが生じ、基板面131に垂直な方向に対するコンタクト部145の傾斜角θ12が増大する。
オーバードライブ時に、若干高さの異なるシリコンウエハ102の電極に多数のコンタクトプローブ104がすべて接触するように、各コンタクトプローブ104はある程度変形するように設計される。しかし、上記のようにコンタクトプローブ104が大きく変形すると、コンタクトプローブ104の先端位置が想定していた以上にずれて、シリコンウエハ102の電極との電気的な接続を良好に行うことができない場合や、コンタクトプローブ104の先端が電極から外れて、シリコンウエハ102を傷つけてしまう場合がある。
特に、基板面131に対するビーム部144及びコンタクト部145の傾斜角の違いから、図4に破線で示すように、コンタクト部145に生じる屈曲部143を中心とするモーメントによって、コンタクト部145の先端部が水平方向に移動する量は、コンタクトプローブ104の他端部を中心として生じるモーメントによる移動量よりも大きくなる。したがって、屈曲部143の角度が拡がるのを抑制することができれば、上記のような問題を効果的に防止することができる。
しかし、上記従来技術に示すように、これまでコンタクトプローブの形状について様々な対応が行われていたが、コンタクトプローブの高密度化に基づくコンタクトプローブの極細化によって生じるコンタクトプローブそのものの変形までは考慮されていなかった。ここで、コンタクトプローブの太さを太くしたり、長さを短くしたりして、コンタクトプローブを変形しにくい形状にすることにより、コンタクトプローブの強度を向上させることも考えられる。しかし、所定のオーバードライブの荷重を得るためには、コンタクトプローブの長さや太さが定まってしまうので、コンタクトプローブの強度を容易に向上させることができないという問題があった。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、屈曲部を有するカンチレバー型プローブの強度が簡単な構造上の変更により向上されたプローブカードを提供することを目的とする。
第1の本発明によるプローブカードは、半導体装置の電極に接触させるためのコンタクト部と、このコンタクト部に屈曲部を介して連続するビーム部とが一体的に形成された金属線材からなるカンチレバー型プローブを備えたプローブカードにおいて、上記カンチレバー型プローブの上記ビーム部と上記コンタクト部との間を結合し、上記屈曲部の変形を抑制するための補強部を付加して構成される。
このような構成により、屈曲部を有するカンチレバー型プローブに対して、付加的に補強部を形成することができる。ビーム部とコンタクト部との間を補強部で結合することにより、コンタクト部に屈曲部を中心とするモーメントが生じた場合に、屈曲部が変形するのを抑制することができる。したがって、屈曲部に補強部を付加するという簡単な構造上の変更により、屈曲部を有するカンチレバー型プローブの強度を向上することができる。
半導体装置の複雑化に伴って、半導体装置の電極が過密化し、カンチレバー型プローブとしての金属線材をより細く形成しなければならない場合に、上記のように付加的に補強部を形成すれば、カンチレバー型プローブの強度の低下を簡単な構造上の変更により抑制することができる。
本発明によれば、ビーム部とコンタクト部との間を結合するように補強部を付加するという簡単な構造上の変更により、屈曲部を有するカンチレバー型プローブの強度を向上することができる。
図1は、本発明の実施の形態によるプローブカード1の一例を示した側面図であり、検査対象物としてのシリコンウエハ2とのコンタクト前の状態を示している。このプローブカード1は、平板状に形成された薄いシリコン基板からなるコンタクト基板3の下面に、電気接触子としてのコンタクトプローブ4が多数形成されることにより構成されている。
コンタクト基板3の下面31は平坦な基板面であり、この下面31の中央部には、多数のコンタクトプローブ4が2列に整列配置されている。各列のコンタクトプローブ4は、図1の奥行き方向に沿って、互いに一定間隔を隔てて整列している。各コンタクトプローブ4は、コンタクト基板3の下面31に片持ち支持され、先端部が自由端とされた、いわゆるカンチレバー型のものである。各列のコンタクトプローブ4は、先端部に向かうにつれてコンタクト基板3の中央部に近づくように取り付けられ、対向する2列のコンタクトプローブ4の先端部が互いに近接している。
コンタクト基板3の下面31には複数本の配線(図示せず)が放射状に延びるように形成されており、各配線におけるコンタクト基板3の中央部側の端部が、対応するコンタクトプローブ4に接続されている。これらのコンタクト基板3の下面31に形成されている配線は、コンタクト基板3の周縁部において、コンタクト基板3の上面32に形成されている対応する電極パッド33に接続されている。
コンタクト基板3の上方には、ガラスエポキシ製のメイン基板(図示せず)がコンタクト基板3に対向するように配置されており、このメイン基板によりコンタクト基板3が上下動可能に保持されている。コンタクト基板3の各電極パッド33は、フレキシブル基板などの配線を介してメイン基板に接続され、メイン基板に形成されている配線を介してテスター装置(図示せず)に電気的に接続される。
検査時には、集積回路が形成されている面を上にしてシリコンウエハ2が可動テーブル5上に載置されることにより、シリコンウエハ2の電極21が水平に配置される。そして、可動テーブル5を水平面内で移動又は回転させ、コンタクトプローブ4及びシリコンウエハ2の位置合わせを行った後に、可動テーブル5を上昇させてコンタクトプローブ4をシリコンウエハ2の電極21にコンタクトさせ、テスター装置による上記集積回路の電気的特性の検査が行われる。
このように、プローブカード1は、その下面31に対して平行に配置されたシリコンウエハ2に対して垂直方向に接近し、コンタクトプローブ4の先端部がシリコンウエハ2の電極21に接触する。このとき、シリコンウエハ2の電極21の取付誤差等に基づく垂直方向へのずれによって、一部のコンタクトプローブ4の先端部だけが電極21に接触した状態となる。その後、コンタクトプローブ4を更に押し付けることにより、いわゆるオーバードライブを行い、すべてのコンタクトプローブ4をシリコンウエハ2の電極21に確実に接触させることができる。
図2は、図1のコンタクトプローブ4の構成を示した要部拡大側面図である。図2に示すように、このコンタクトプローブ4は、コンタクト基板3の下面31に片持ち支持された棒状の接触子本体41と、この接触子本体41を補強するための補強部42とからなる。
接触子本体41は、先端部に近づくに従って細くなるように形成された断面形状が円形の金属線材であって、その先端部側の一部が折り曲げられることにより屈曲部43が形成されている。接触子本体41の他端部から屈曲部43までの部分は、直線状に延び、その他端部がコンタクト基板3に片持ち支持されるビーム部44である。また、接触子本体41の屈曲部43から先端部までの部分は、直線状に延び、その先端がシリコンウエハ2の電極21に接触されるコンタクト部45である。
ビーム部44の長さは、5mm〜6mm程度である。コンタクト部45の長さは、ビーム部44よりも短く、0.5mm〜1mm程度である。また、接触子本体41の厚み、すなわち図2の奥行き方向の幅は、0.05mm〜0.06mm程度である。
コンタクト基板3の下面31に垂直な方向に対するビーム部44の傾斜角θ1は、83°程度であり、コンタクト基板3の下面31に垂直な方向に対するコンタクト部45の傾斜角θ2は、2°〜3°程度である。したがって、コンタクト部45は、屈曲部43を介してビーム部44との間に内角θ3を形成しており、その内角θ3は、100°程度の鈍角となっている。
補強部42は、剛性を有するほぼ三角形の平板状に形成され、後述するように、いわゆる電気鋳造法を用いて屈曲部43から内角θ3側に張り出すように形成されている。すなわち、補強部42は、ビーム部44の屈曲部43側とコンタクト部45の屈曲部43側とに跨るように、コンタクトプローブ4が延びる方向に沿った垂直面内において、屈曲部43の内角θ3側に広がっている。補強部42におけるビーム部44に結合している部分の幅は、2mm〜3mmである。
図3は、図2のコンタクトプローブ4の製造方法について説明するための斜視図である。このコンタクトプローブ4は、金属棒を軸方向に引き延ばすことにより先細り形状に形成された針状の金属線材を折り曲げて成る接触子本体41に対して、電気鋳造法により補強部42を形成することにより製造される。接触子本体41としては、公知のカンチレバー型プローブを用いることができる。
接触子本体41は、電極板61の表面を絶縁膜62でマスキングすることにより形成された鋳型6にセットされる(図3(a)参照)。電極板61は、その表面が平坦面からなる板状の電極であり、電極板61の表面が絶縁膜62で選択的に覆われることにより、電極板61上における絶縁膜62で覆われていない部分に凹部63が形成されている。
凹部63の一部は、接触子本体41の外形に対応する形状の接触子収容部64となっている。この接触子収容部64内に接触子本体41を収容した状態では、凹部63における接触子収容部64以外の部分に空間65が形成される(図3(b)参照)。この空間65は、三角形状からなり、接触子収容部64に収容された接触子本体41の屈曲部43に対向している。
図3(b)に示す状態で、ニッケルコバルト(Ni−Co)などの金属溶液を用いて電気鋳造を行うことにより、空間65に対応する形状からなる板状の補強部42が接触子本体41の屈曲部43に形成されたコンタクトプローブ4を得ることができる(図3(c)参照)。
本実施の形態では、屈曲部43を有する接触子本体41に対して、電気鋳造法により付加的に補強部42を形成することができる。屈曲部43の内角θ3側から張り出すように補強部42を形成して、ビーム部44とコンタクト部45との間を補強部42で結合することにより、オーバードライブ時などに先端部に屈曲部43を中心とするモーメントが生じた場合に、屈曲部43の内角θ3が増大するように先端部が拡がるのを抑制できる。したがって、補強部42を付加するという簡単な構造上の変更により、屈曲部43を有するコンタクトプローブ4の強度を向上することができる。
コンタクト部45は、シリコンウエハ2の電極21の法線方向に対して傾斜した状態で接触するので、図2に矢印A1で示すように、コンタクト部45には屈曲部43を中心とするモーメントが生じる。この場合に、屈曲部43の内角θ3側から張り出すように形成された補強部42により、コンタクト部45がビーム部44に対して拡がるように変形するのを抑制することができる。
シリコンウエハ2の複雑化に伴って、シリコンウエハ2の電極21が過密化し、接触子本体41としての金属線材をより細く形成しなければならない場合に、上記のように付加的に補強部42を形成すれば、コンタクトプローブ4の強度の低下を簡単な構造上の変更により抑制することができる。
また、コンタクトプローブ4の先端部は、複雑な構成を有する検査対象物に対して電気的な接触を良好に行うことができるように細く形成されていることが望ましい。一方、先端部に外力が加わった場合には、他端部に近づくほど大きな曲げモーメントが生じるので、他端部側は太く形成されていることが望ましい。そこで、本実施の形態のように、コンタクトプローブ4を先端部に向かって徐々に細くなるような形状にした場合、他端部側と比べて細い先端部側を折り曲げて屈曲部43を形成すると、屈曲部43の強度が低下してしまう。しかし、本実施の形態では、屈曲部43に補強部42を形成するので、他端部側に比べて細い先端部側に形成されている屈曲部43の強度を向上することができる。
屈曲部43を有する既存のカンチレバー型プローブとしての接触子本体41に対して、付加的に補強部42を形成することにより、接触子本体及び補強部を電気鋳造法などにより一度に形成する場合と比べて、作業時間を短縮することができる。また、接触子本体41と補強部42を異なる材料で形成することができるので、補強部42を接触子本体41よりも剛性の高い材料で形成することにより、屈曲部43の変形をより効果的に抑制することができる。
上記実施の形態において、検査対象物の一例としてのシリコンウエハ2の電極21にプローブカード1を接触させる場合について説明したが、このプローブカード1は、シリコンウエハ2などの半導体集積回路に限らず、他の半導体装置の電極に接触させて使用することも可能である。
1 プローブカード
2 シリコンウエハ
3 コンタクト基板
4 コンタクトプローブ
5 可動テーブル
6 鋳型
21 電極
31 下面
32 上面
33 電極パッド
41 接触子本体
42 補強部
43 屈曲部
44 ビーム部
45 コンタクト部
61 電極板
62 絶縁膜
63 凹部
64 接触子収容部
65 空間
θ1,θ2 傾斜角
θ3 内角
2 シリコンウエハ
3 コンタクト基板
4 コンタクトプローブ
5 可動テーブル
6 鋳型
21 電極
31 下面
32 上面
33 電極パッド
41 接触子本体
42 補強部
43 屈曲部
44 ビーム部
45 コンタクト部
61 電極板
62 絶縁膜
63 凹部
64 接触子収容部
65 空間
θ1,θ2 傾斜角
θ3 内角
Claims (1)
- 半導体装置の電極に接触させるためのコンタクト部と、このコンタクト部に屈曲部を介して連続するビーム部とが一体的に形成された金属線材からなるカンチレバー型プローブを備えたプローブカードにおいて、
上記カンチレバー型プローブの上記ビーム部と上記コンタクト部との間を結合し、上記屈曲部の変形を抑制するための補強部を付加したことを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006012404A JP2007192719A (ja) | 2006-01-20 | 2006-01-20 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006012404A JP2007192719A (ja) | 2006-01-20 | 2006-01-20 | プローブカード |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007192719A true JP2007192719A (ja) | 2007-08-02 |
Family
ID=38448536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006012404A Pending JP2007192719A (ja) | 2006-01-20 | 2006-01-20 | プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007192719A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI399544B (zh) * | 2008-03-25 | 2013-06-21 | Nihon Micronics Kk | Contactors for electrical testing and methods for their manufacture |
-
2006
- 2006-01-20 JP JP2006012404A patent/JP2007192719A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI399544B (zh) * | 2008-03-25 | 2013-06-21 | Nihon Micronics Kk | Contactors for electrical testing and methods for their manufacture |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100442058C (zh) | 探针以及探针的制造方法 | |
JP6654061B2 (ja) | プローブガイド、プローブカード及びプローブガイドの製造方法 | |
JP6752829B2 (ja) | 高周波適用に適したバーチカルプローブをもつ試験ヘッド | |
US20070257685A1 (en) | Probe and probe card | |
KR20070115998A (ko) | 웨이퍼 테스트 장치용 프로브 | |
JP2012173263A (ja) | 電気的接触子及び電気的接触子ユニット | |
US12000867B2 (en) | Electrical connecting device | |
JP6872960B2 (ja) | 電気的接続装置 | |
US11442080B2 (en) | Contact probe and relative probe head of an apparatus for testing electronic devices | |
US7688089B2 (en) | Compliant membrane thin film interposer probe for intergrated circuit device testing | |
JP4859820B2 (ja) | プローブ | |
US20150192614A1 (en) | Cantilever contact probe for a testing head | |
JP2010175507A (ja) | 電気的接続装置 | |
JP2008275488A (ja) | 導電接触ピンおよびピン保持具、電気部品検査装置ならびに電気部品の製造方法 | |
JP5643476B2 (ja) | 二重弾性機構プローブカード | |
KR20050083184A (ko) | 반도체 검사용 프로브 카드 | |
JP2015010980A (ja) | プローブ装置 | |
JP2007192719A (ja) | プローブカード | |
JP2007163288A (ja) | 片持ち梁型のプローブおよびその製造方法 | |
JP6373011B2 (ja) | プローブカード | |
KR100430621B1 (ko) | 반도체 검사 장치용 프로브 | |
CN112526178A (zh) | 探针及测试装置 | |
JP4056983B2 (ja) | プローブカード | |
CN220961635U (zh) | 一种用于ic测试使用的接触式探针 | |
WO2023181754A1 (ja) | プローブ、プローブ保持装置およびプローブの製造方法 |