KR102321081B1

KR102321081B1 - 접촉 프로브 조립체

Info

Publication number: KR102321081B1
Application number: KR1020210095782A
Authority: KR
Inventors: 김학준; 김석민; 이태종; 김성호
Original assignee: (주)새한마이크로텍
Priority date: 2021-07-21
Filing date: 2021-07-21
Publication date: 2021-11-03
Also published as: WO2023003251A1

Abstract

본 발명은 접촉 프로브 조립체에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 수직형 접촉 프로브 조립체에 관한 것이다. 본 발명은 전자 장치의 테스트에 사용되며, 제1 면과 그 제1 면의 반대 면인 제2 면을 구비하며, 상기 제1 면과 상기 제2 면을 관통하는 복수의 제1 관통구멍이 형성된 제1 지지체와, 상기 제1 관통구멍에 삽입되는 복수의 접촉 프로브를 포함하는 접촉 프로브 조립체를 제공한다.

Description

접촉 프로브 조립체{Contact Probe Assembly}

본 발명은 접촉 프로브 조립체에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 수직형 접촉 프로브 조립체에 관한 것이다.

액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 유기 발광다이오드(Organic Light Emitting Diode)를 포함한 평판표시장치와 웨이퍼 상에 형성된 반도체 소자의 성능 검사에는 복수의 접촉 프로브를 구비한 프로브 카드가 널리 사용되고 있다.

프로브 카드는 구조에 따라 크게 캔틸레버형과 수직형으로 분류되며, 이중 수직형 프로브 카드는 복수의 수직형 접촉 프로브들과, 수직형 접촉 프로브의 양단부를 지지하는 플레이트 형태의 제1 지지체와, 제2 지지체를 구비하는 접촉 프로브 조립체를 포함한다. 수직형 접촉 프로브의 양단부는 제1 지지체와 제2 지지체에 형성된 관통구멍에 삽입된다. 피검사체의 단자를 수직형 접촉 프로브의 팁부에 대하여 누르면, 수직형 접촉 프로브는 관통구멍 내에서 미끄러지고, 수직형 접촉 프로브의 탄성부가 구부려진다.

종래의 수직형 접촉 프로브 조립체에는 금속 와이어를 압착하여, 탄성부를 형성한 코브라 핀이 주로 사용되었으며, 최근에는 멤즈(MEMS) 기술로 제조된 수직형 접촉 프로브가 사용된다.

한국 등록특허 10-0701498 한국 등록특허 10-1769355

본 발명은 새로운 수직형 접촉 프로브 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 전자 장치의 테스트에 사용되며, 제1 면과 그 제1 면의 반대 면인 제2 면을 구비하며, 상기 제1 면과 상기 제2 면을 관통하는 복수의 제1 관통구멍이 형성된 제1 지지체와, 상기 제1 관통구멍에 삽입되는 복수의 접촉 프로브를 포함하는 접촉 프로브 조립체를 제공한다.

상기 접촉 프로브는 팁부, 헤드부, 및 상기 팁부와 상기 헤드부 사이에 길게 연장된 탄성부를 포함한다.

그리고 상기 헤드부에는 상기 제1 관통구멍을 통과하지 못하도록 상기 제1 지지체의 제1 면에 걸리도록 구성된 스토퍼부가 형성된다.

또한, 상기 접촉 프로브에는 상기 접촉 프로브를 상기 제1 관통구멍에 삽입하기 위해 상기 접촉 프로브에 압력을 가하면 압축되어 상기 제1 관통구멍을 통과하고, 상기 제1 관통구멍을 통과한 후에는 팽창하여 상기 제1 지지체의 상기 제2 면에 걸리도록 구성된 탄성 돌출부가 형성된다.

또한, 본 발명은 상기 탄성 돌출부의 최대 돌출지점은 상기 제1 관통구멍의 외부에 배치되는 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체를 제공한다.

또한, 상기 탄성 돌출부의 일부는 상기 제1 관통구멍의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체를 제공한다.

또한, 상기 탄성 돌출부는, 상기 접촉 프로브의 일 측면에 형성된 곡면 구조를 포함하며, 상기 일 측면과 곡면 구조 사이에는 개구가 형성된 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체를 제공한다.

또한, 상기 곡면 구조의 상기 제1 지지체와 가까운 일단부는 상기 일 측면에 결합하고, 상기 제1 지지체로부터 먼 타단부는 상기 일 측면과 간격을 두고 분리된 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체를 제공한다.

또한, 상기 탄성 돌출부는, 상기 접촉 프로브의 양 측면으로부터 돌출된 한 쌍의 돌기와, 상기 한 쌍의 돌기 사이의 상기 탄성부에 상기 탄성부의 길이 방향을 따라서 형성된 관통 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체를 제공한다.

또한, 상기 제1 지지체와 일정한 간격으로 나란하게 배치되며, 복수의 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체를 제공한다.

또한, 상기 스토퍼부는 헤드부의 일 측면과 배면에서 돌출된 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체를 제공한다.

또한, 상기 제1 관통구멍은 사각형이며, 상기 헤드부는 상기 제1 관통구멍의 모서리에 밀착되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체를 제공한다.

또한, 상기 제1 지지체와 일정한 간격으로 나란하게 배치되며, 복수의 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체를 더 포함하는 접촉 프로브 조립체를 제공한다.

여기서 상기 제1 관통구멍과 상기 제2 관통구멍은 사각형이며, 상기 접촉 프로브 조립체를 상기 제1 지지체와 직교하는 방향에서 바라보았을 때, 제1 관통구멍과 제2 관통구멍은 대각선 방향으로 오프셋되어 있다.

그리고 상기 헤드부는 상기 제1 관통구멍의 한쪽 모서리에 밀착되도록 배치되고, 상기 팁부는 상기 한쪽 모서리와 대각선상으로 배치되는 상기 제2 관통구멍의 반대쪽 모서리에 밀착되도록 배치된다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 접촉 프로브 조립체를 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 접촉 프로브 조립체의 일부를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 제3 실시예에 따른 접촉 프로브 조립체를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 접촉 프로브의 일부를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 3에 도시된 접촉 프로브 조립체를 위에서 바라보았을 때 제1 지지체의 제1 관통구멍과 제2 지지체의 제2 관통구멍이 겹친 상태를 나타낸다.
도 6은 도 3에 도시된 접촉 프로브 조립체의 접촉 프로브의 제1 관통구멍 및 제2 관통구멍 내에서의 접촉 프로브의 위치를 설명하기 위한 도면이다.

이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 다음에 소개되는 실시예는 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 접촉 프로브 조립체를 나타낸 도면이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 접촉 프로브 조립체(1)는 제1 지지체(10), 제2 지지체(20) 및 복수의 접촉 프로브(100)을 구비한다.

제1 지지체(10)와 제2 지지체(20)는 실질적으로 평행하며, 서로 일정한 간격으로 떨어져 있다. 제1 지지체(10)에는 복수의 제1 관통구멍(11)들이 형성되며, 제2 지지체(20)에는 복수의 제2 관통구멍(21)들이 형성된다. 접촉 프로브 조립체(1)에서, 제1 관통구멍(11) 및 이에 대응하는 제2 관통구멍(21)은 서로 약간 어긋나 있을 수 있다.

제1 지지체(10)는 프로브 카드의 스페이스 트랜스포머(미도시) 쪽에 배치되며, 제2 지지체(20)는 반도체 디바이스와 같은 피검사체(미도시) 쪽으로 배치된다. 제1 관통구멍(11)과 제2 관통구멍(21)은 각각의 지지체의 면에 대체로 수직으로 형성된다. 제1 관통구멍(11)과 제2 관통구멍(21)는 사각형 관통구멍일 수 있다.

접촉 프로브(100)는 프로브 카드의 회로기판에 접하는 헤드부(110), 피검사체에 접촉하는 팁부(130) 및 헤드부(110)와 팁부(130) 사이에 위치하며, 팁부(130)에 압력이 가해지면 탄성 변형되는 탄성부(120)를 포함한다.

팁부(130)는 제2 관통구멍(21)에 끼워지며, 헤드부(110)는 제1 관통구멍(11)에 끼워진다.

헤드부(110), 탄성부(120) 및 팁부(130)는 Z축 방향으로 연장되어 있으며, 탄성부(120)는 Y축 방향으로 살짝 굽어 있다.

제2 관통구멍(21) 내에 배치되는 팁부(130) 또는 탄성부(120)의 폭과 두께는 제2 관통구멍(21)의 폭과 두께에 비해서 작아서, 탄성 프로브(100)는 제2 관통구멍(21) 내에서 Z축 방향으로 이동할 수 있다. 팁부(130)의 끝단은 제2 지지체(20)의 외부로 노출된다. 팁부(130)는 끝단으로 진행할수록 가늘어지도록 경사져있다.

또한, 제1 관통구멍(11) 내에 배치되는 헤드부(110) 또는 탄성부(120)의 폭과 두께는 제1 관통구멍(11)의 폭과 두께에 비해서 작아서, 탄성 프로브(100)는 제1 관통구멍(11) 내에서 Z 방향으로 이동할 수 있다. 헤드부(110)의 끝단은 제1 지지체(10)의 외부로 노출된다.

헤드부(110)의 끝 단부에는 헤드부(110)가 제1 관통구멍(11)에서 빠지는 것을 방지하도록 헤드부(110)의 제1 측면(101)으로부터 돌출된 스토퍼부(115)가 형성된다. 스토퍼부(115)의 하단은 제1 지지체(10)의 제1 면(13, 도 1에서 상면)에 걸린다.

헤드부(110)는 끝단으로 진행할수록 가늘어지도록 경사져있다.

또한, 접촉 프로브(100)에는 접촉 프로브(100)를 제1 관통구멍(11)에 삽입하기 위해 접촉 프로브(100)에 압력을 가하면 압축되어 제1 관통구멍(11)을 통과하고, 제1 관통구멍(11)을 통과한 후에는 팽창하여 제1 지지체(10)의 제2 면(14)에 걸리도록 구성된 탄성 돌출부(150)가 형성된다.

탄성 돌출부(150)는 접촉 프로브(100)의 제1 측면(101)의 반대 면인 제2 측면(102)에 형성된 곡면 구조(152)를 포함한다. 곡면 구조(152)는 대체로 굽어 있는 판 형태이다. 곡면 구조(152)의 양단부(151, 153)는 제2 측면(102)에 결합된다. 제2 측면(102)과 곡면 구조(152) 사이에는 개구(154)가 형성되어 있어서, 곡면 구조(152)는 제2 측면(102)을 향해서 눌릴 수 있다.

곡면 구조(152)는 탄성이 있는 물질로 이루어진다. 따라서 접촉 프로브(100)를 제1 관통구멍(11)에 삽입하는 과정에서 압력이 가해지면, 곡면 구조(152)의 최대 돌출지점(155)이 눌리면서, 제2 측면(102)과 가까워진다. 그리고 제1 측면(101)으로부터 최대 돌출지점(155)까지의 거리가 제1 관통구멍(11)의 폭과 같아지면, 접촉 프로브(100)의 최대 돌출지점(155)이 제1 관통구멍(11)을 통과한다. 곡면 구조(152)가 제1 관통구멍(11)을 통과하면, 곡면 구조(152)는 탄성력에 의해서 다시 원상태로 복원된다.

탄성 돌출부(150)가 제1 관통구멍(11)을 통과한 후에, 탄성 돌출부(150)의 최대 돌출지점(155)은 제1 관통구멍(11)의 외부에 배치된다. 탄성 돌출부(150)의 최대 돌출지점(155)은 제1 지지체(10)의 제2 면(14) 아래에 배치된다.

그리고 곡면 구조(152)의 상단부(151) 측 일부는 제1 관통구멍(11)의 내부에 배치된다. 따라서 접촉 프로브(100)의 곡면 구조(152)의 상단부(151)과 최대 돌출지점(155) 사이에 위치하는 부분이 제1 지지체(10)의 제2 면(14)에 걸리는 형태가 된다.

그 결과 제1 관통구멍(11)에 삽입된 접촉 프로브(100)는 z축 방향으로의 이동이 제한된다. 즉, 제1 관통구멍(11)에 비해서 폭이 큰 스토퍼부(115)에 의해서 아래 방향으로의 이동이 제한되고, 원상태로 복원된 탄성 돌출부(150)에 의해서 위 방향으로의 이동도 제한된다. 따라서 접촉 프로브 조립체(1)에 가해지는 충격 등에 의해서, 접촉 프로브(100)가 원치않는 때에 제1 관통구멍(11)으로부터 빠지는 것을 방지할 수 있다.

그리고 손상된 접촉 프로브(100)를 교체할 때와 같이, 접촉 프로브(100)를 제1 지지체(10)로부터 분리하고자 할 때에는 접촉 프로브(100)에 충분한 힘을 가해서 당기는 방법으로 분리할 수 있다. 이때 곡면 구조(152)는 다시 압축되어, 제1 지지체(10)의 제1 관통구멍(11)을 통과할 수 있다.

또한, 측정을 위해서 접촉 프로브(100)의 z축 방향으로 압축력이 가해질 때에는 곡면 구조(152)가 압축되어, 제1 관통구멍(11) 내에서 접촉 프로브(100)가 z축 방향으로 이동할 수 있다.

또한, 제1 관통구멍(11)의 내부에 배치되는 곡면 구조(152)의 상단부(151) 측 일부는 접촉 프로브(100)의 제1 측면(101)이 제1 관통구멍(11)의 좌측 내면에 밀착된 상태로 정렬시키는 역할도 수행한다. 접촉 프로브(100)들을 모두 같은 방향으로 정렬시키면, 협피치에 대응하기 용이하다는 장점이 있다.

도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 접촉 프로브 조립체의 일부를 나타낸 도면이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 접촉 프로브 조립체(2)의 접촉 프로브(200)는 탄성 돌출부(250)의 구조에서 도 1에 도시된 실시예와 차이가 있다.

본 실시예의 탄성 돌출부(250)는 접촉 프로브(200)의 제2 측면(202)에 형성된 곡면 구조(252)를 포함한다. 곡면 구조(252)는 대체로 굽어 있는 판 형태이다. 곡면 구조(252)의 제1 지지체(10)와 가까운 상단부(251)는 제2 측면(202)에 결합하고, 제1 지지체(10)로부터 먼 하단부(253)는 제2 측면(202)과 간격을 두고 분리된다. 곡면 구조(252)와 제2 측면(202) 사이에는 개구(254)가 형성된다.

본 실시예는, 도 1에 도시된 실시예에 비해서, 곡면 구조(252)가 소성 변형될 가능성이 작다는 장점이 있다. 즉, 접촉 프로브(200)가 제1 지지체(10)의 관통구멍(11)을 통과하는 과정에서, 최대 돌출지점(255)이 눌리는 대신에, 제1 지지체(10)로부터 먼 하단부(253)가 개구(254)와 가까운 방향으로 이동하면서, 곡면 구조(252)가 상단부(251)를 축으로 회전하기 때문에 최대 돌출지점(255)이 눌린 상태로 소성 변형되는 현상을 줄일 수 있다.

곡면 구조(252)는 탄성이 있는 물질로 이루어진다. 따라서 접촉 프로브(200)를 제1 관통구멍(11)에 삽입하는 과정에서 압력이 가해지면, 곡면 구조(252)는 곡면 구조(252)의 상단부(251)를 축으로 회전하면서 제2 측면(202)을 향해서 눌릴 수 있으며, 곡면 구조(252)가 제1 관통구멍(11)을 통과하면, 곡면 구조(252)는 다시 원상태로 복원된다.

본 실시예에서도, 탄성 돌출부(250)가 제1 관통구멍(11)을 통과한 후에, 탄성 돌출부(250)의 최대 돌출지점(255)은 제1 관통구멍(11)의 외부에 배치된다. 탄성 돌출부(250)의 최대 돌출지점(255)은 제1 지지체(10)의 제2 면(14) 아래에 배치된다.

그리고 곡면 구조(252)의 상단부(251) 측 일부는 제1 관통구멍(11)의 내부에 배치된다. 따라서 접촉 프로브(200)의 곡면 구조(252)의 상단부(251)와 최대 돌출지점(255) 사이에 위치하는 부분이 제1 지지체(10)의 제2 면(14)에 걸리는 형태가 된다.

그 결과, 제1 관통구멍(11)에 삽입된 접촉 프로브(200)는 z축 방향으로의 이동이 제한된다. 즉, 제1 관통구멍(11)에 비해서 폭이 큰 스토퍼부(215)에 의해서 아래 방향으로의 이동이 제한되고, 원상태로 복원된 탄성 돌출부(250)에 의해서 위 방향으로의 이동이 제한된다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 접촉 프로브 조립체를 나타낸 도면이며, 도 4는 도 3에 도시된 접촉 프로브의 일부를 나타낸 도면이다. 도 4의 (a)는 도 3의 접촉 프로브의 상부를 우측에서 바라본 측면도이며, (b)는 접촉 프로브의 스토퍼부가 형성된 부분의 위에서 바라본 단면도이다.

도 3에 도시된 실시예는 탄성 돌출부의 구조에서 도 1에 도시된 실시예와 차이가 있다.

본 실시예에서 탄성 돌출부(350)는 관통 슬릿(354)에 의해서 분리된 한 쌍의 탄성 빔(351, 352)과 각각의 탄성 빔(351, 352)으로부터 돌출된 한 쌍의 돌기(355, 356)를 포함한다.

접촉 프로브(300)를 제1 관통구멍(11)에 삽입하는 과정에서 압력이 가해지면, 탄성 빔(351, 352)들은 한 쌍의 돌기(355, 356)들 사이의 간격이 좁아지도록 관통 슬릿(354) 방향으로 구부러진다. 한 쌍의 돌기(355, 356)들 사이의 간격이 제1 관통구멍(11)의 폭과 같아지면, 접촉 프로브(300)가 제1 관통구멍(11)을 통과한다. 한 쌍의 돌기(355, 356)들이 제1 관통구멍(11)을 통과하면, 한 쌍의 탄성 빔(351, 352)은 탄성력에 의해서 다시 원상태로 복원된다.

탄성 돌출부(350)가 제1 관통구멍(11)을 통과한 후에, 탄성 돌출부(350)의 최대 돌출지점인 한 쌍의 돌기(355, 356)들은 제1 관통구멍(11)의 외부에 배치된다. 한 쌍의 돌기(355, 356)들은 제1 지지체(10)의 제2 면(14) 아래에 배치된다.

그 결과 제1 관통구멍(11)에 삽입된 접촉 프로브(300)는 z축 방향으로의 이동이 제한된다. 즉, 제1 관통구멍(11)에 비해서 폭이 큰 스토퍼부(315)에 의해서 아래 방향으로의 이동이 제한되고, 원상태로 복원된 탄성 돌출부(350)에 의해서 위 방향으로의 이동이 제한된다. 따라서 접촉 프로브 조립체(3)에 가해지는 충격 등에 의해서, 접촉 프로브(300)가 원치않는 때에 제1 관통구멍(11)으로부터 빠지는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 실시예는, 도 4의 (b)에서 가장 잘 도시된 바와 같이, 스토퍼부(315, 317)가 헤드부(310)의 측면(301)뿐 아니라 배면(304)에도 형성된다는 점에서 도 1에 도시된 실시예와 차이가 있다.

도 5는 도 3에 도시된 접촉 프로브 조립체를 위에서 바라보았을 때 제1 지지체의 제1 관통구멍과 제2 지지체의 제2 관통구멍이 겹친 상태를 나타낸다.

도 5에 도시된 바와 같이, 접촉 프로브 조립체(3)를 위에서 바라보았을 때, 제1 지지체(10)의 제1 관통구멍(11)과 제2 지지체(20)의 제2 관통구멍(21)은 사각형이며, 제1 관통구멍(11)과 제2 관통구멍(21)은 제1 관통구멍(또는 제2 관통구멍)의 대각선 방향으로 거리 L만큼 오프셋되어 있다. 이는 제1 관통구멍(11)과 제2 관통구멍(21)을 정렬한 상태에서 접촉 프로브(300)를 제1 관통구멍(11)과 제2 관통구멍(21)에 삽입한 후에 제1 지지체(10)를 제2 지지체(20)에 대해서 대각선 방향으로 거리 L만큼 상대 이동시키는 방법으로 달성할 수 있다.

도 6은 도 3에 도시된 접촉 프로브 조립체의 접촉 프로브의 제1 관통구멍 및 제2 관통구멍 내에서의 접촉 프로브의 위치를 설명하기 위한 도면이다.

도 6에 도시된 바와 같이, 이렇게 제1 관통구멍(11)과 제2 관통구멍(21)이 대각선 방향으로 오프셋되면, 접촉 프로브(300)의 헤드부(310)는 제1 관통구멍(11)의 한쪽(우측 하단) 모서리 측에 밀착된다. 그리고 팁부(330)는 제1 관통구멍(11)의 한쪽 모서리와 대각선상으로 배치되는 제2 관통구멍(21)의 반대쪽(좌측 상단) 모서리 측에 밀착된다. 이때, 스토퍼부(315, 317)의 아랫면은 제1 지지체(10)의 윗면(13)에 밀착된다. 본 실시예에서는 헤드부(310)의 측면(301)뿐 아니라 배면(304)에도 스토퍼부(315, 317)가 형성되어 있으므로, 접촉 프로브(300)의 헤드부(310)가 한쪽으로 치우치지 않도록 접촉 프로브(300)를 좀 더 안정적으로 지지할 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.

1, 2, 3: 접촉 프로브 조립체
10: 제1 지지체
20: 제2 지지체
100, 200, 300, 400, 500, 600: 접촉 프로브
110, 210, 310, 410, 510, 610: 헤드부
120, 220, 320, 420, 520, 620: 탄성부
130, 230, 330, 430, 530, 630: 팁부

Claims

전자 장치의 테스트에 사용되며, 제1 면과 그 제1 면의 반대 면인 제2 면을 구비하며, 상기 제1 면과 상기 제2 면을 관통하는 복수의 제1 관통구멍이 형성된 제1 지지체와, 상기 제1 관통구멍에 삽입되는 복수의 접촉 프로브를 포함하는 접촉 프로브 조립체로서,
상기 접촉 프로브는 팁부, 헤드부, 및 상기 팁부와 상기 헤드부 사이에 길게 연장된 탄성부를 포함하며,
상기 헤드부에는 상기 제1 관통구멍을 통과하지 못하도록 상기 제1 지지체의 제1 면에 걸리도록 구성된 스토퍼부가 형성되며,
상기 접촉 프로브에는 상기 접촉 프로브를 상기 제1 관통구멍에 삽입하기 위해 상기 접촉 프로브에 압력을 가하면 압축되어 상기 제1 관통구멍을 통과하고, 상기 제1 관통구멍을 통과한 후에는 팽창하여 상기 제1 지지체의 상기 제2 면에 걸리도록 구성된 탄성 돌출부가 형성된 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체.
제1항에 있어서,
상기 탄성 돌출부의 최대 돌출지점은 상기 제1 관통구멍의 외부에 배치되는 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체.
제2항에 있어서,
상기 탄성 돌출부의 일부는 상기 제1 관통구멍의 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체.
제1항에 있어서,
상기 탄성 돌출부는,
상기 접촉 프로브의 일 측면에 형성된 곡면 구조를 포함하며,
상기 일 측면과 곡면 구조 사이에는 개구가 형성된 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체.
제4항에 있어서,
상기 곡면 구조의 상기 제1 지지체와 가까운 일단부는 상기 일 측면에 결합하고, 상기 제1 지지체로부터 먼 타단부는 상기 일 측면과 간격을 두고 분리된 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체.
제1항에 있어서,
상기 탄성 돌출부는,
상기 접촉 프로브의 양 측면으로부터 돌출된 한 쌍의 돌기와,
상기 한 쌍의 돌기 사이의 상기 탄성부에 상기 탄성부의 길이 방향을 따라서형성된 관통 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체.
제1항에 있어서,
상기 제1 지지체와 일정한 간격으로 나란하게 배치되며, 복수의 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체.
제1항에 있어서,
상기 스토퍼부는 헤드부의 일 측면과 배면에서 돌출된 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체.
제8항에 있어서,
상기 제1 관통구멍은 사각형이며,
상기 헤드부는 상기 제1 관통구멍의 모서리에 밀착되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체.
제8항에 있어서,
상기 제1 지지체와 일정한 간격으로 나란하게 배치되며, 복수의 제2 관통구멍이 형성된 제2 지지체를 더 포함하며,
상기 제1 관통구멍과 상기 제2 관통구멍은 사각형이며,
상기 접촉 프로브 조립체를 상기 제1 지지체와 직교하는 방향에서 바라보았을 때,
제1 관통구멍과 제2 관통구멍은 대각선 방향으로 오프셋되어 있으며,
상기 헤드부는 상기 제1 관통구멍의 한쪽 모서리에 밀착되도록 배치되고, 상기 팁부는 상기 한쪽 모서리와 대각선상으로 배치되는 상기 제2 관통구멍의 반대쪽 모서리에 밀착되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 접촉 프로브 조립체.