KR20160113965A

KR20160113965A - 와이어 프로브용 지그

Info

Publication number: KR20160113965A
Application number: KR1020160022408A
Authority: KR
Inventors: 야스노리 카토; 마사키 오니시
Original assignee: 오르간 하리 가부시키가이샤
Priority date: 2015-03-23
Filing date: 2016-02-25
Publication date: 2016-10-04
Also published as: CN105988027B; CN105988027A; TWI680299B; JP6537315B2; KR102513361B1; TW201634929A; JP2016180595A

Abstract

[과제] 와이어 프로브의 양단을 확실하게 전극 기판의 단자와 피검사 기판의 단자에 접촉시킬 수 있고, 또한, 와이어 프로브의 마모가 발생하기 어려운 와이어 프로브용 지그를 제공한다.
[해결 수단] 와이어 프로브(45)의 후단부(45a)를 유지하고 전극 기판(50)에 접촉 가능하게 배치되는 베이스부(11)와, 와이어 프로브(45)의 선단부(45b)를 유지하고 피검사 기판(55)에 접촉 가능하게 배치되는 헤드부(20)를 서로 이동 가능하게 설치했다. 상기 베이스부(11)는 제 1 베이스 플레이트(12)와 제 2 베이스 플레이트(15)를 구비하고, 상기 제 1 베이스 플레이트(12)에는 와이어 프로브(45)를 삽입통과 가능한 제 1 가이드 구멍(13)이 설치되고, 상기 제 2 베이스 플레이트(15)에는 제 2 가이드 구멍(16)이 설치되고, 상기 제 2 가이드 구멍(16)은 상기 제 1 가이드 구멍(13)에 대하여 소정의 방향으로 중심을 비켜서 설치했다.

Description

와이어 프로브용 지그{JIG FOR WIRE PROBES}

본 발명은 전극 기판과 피검사 기판 사이에 배치되어 기판 검사에 사용되는 와이어 프로브용 지그(治具)에 관한 것이다.

종래, 반도체 집적 회로 등(피검사 기판)의 도통 검사나 전기적 특성 검사에서, 극세 와이어 프로브를 사용한 검사가 실시되고 있다. 예를 들면, 복수의 와이어 프로브를 와이어 프로브용 지그에 의해 유지하고, 이 와이어 프로브용 지그를 전극 기판과 피검사 기판 사이에 끼워 넣고, 와이어 프로브의 양단을 각각 전극 기판의 단자와 피검사 기판의 단자에 접촉시켜 검사를 행하는 방법이 알려져 있다.

이러한 검사 방법에 있어서, 와이어 프로브의 양단을 확실하게 전극 기판의 단자와 피검사 기판의 단자에 접촉시키기 위해 여러 방법이 제안되어 있다.

예를 들면, 특허문헌 1에는, 프로브의 선단측 부분이 삽입통과되는 선단측 삽입통과 구멍 및 검사 대상에 대향하는 대향면이 형성되는 선단측 지지체와, 상기 선단측 지지체의 후방에 소정의 간극을 통하여 배치되고, 상기 프로브의 후단측 부분이 삽입통과되는 후단측 삽입통과 구멍이 형성되는 후단측 지지체와, 상기 선단측 지지체와 상기 후단측 지지체를 연결하는 연결체와, 상기 프로브의 후단이 접촉하는 접촉면이 형성되고, 상기 후단측 지지체의 후방에 배치되는 전극과, 상기 접촉면과 상기 대향면이 떨어지는 방향으로 탄성 가압하는 탄성 가압 기구를 구비한 와이어 프로브용 지그가 개시되어 있다. 이 특허문헌 1 기재의 구성에서는, 피검사 기판에 와이어 프로브용 지그를 내리눌렀을 때, 후단측 지지체가 탄성 가압 기구에 저항하여 이동하고, 이것에 의해 와이어 프로브의 선단을 와이어 프로브용 지그로부터 돌출시키도록 하고 있다.

또한, 예를 들면, 특허문헌 2에는, 와이어 프로브를 삽입통과한 플레이트를 복수매 중첩하고, 이들 플레이트를 서로 떨어지는 방향으로 탄성 가압한 와이어 프로브용 지그가 개시되어 있다. 이 특허문헌 2 기재의 구성에 의하면, 피검사 기판에 와이어 프로브용 지그를 내리눌렀을 때에 떨어져 있던 플레이트가 서로 맞닿고, 이것에 의해 와이어 프로브의 선단이 외방으로 돌출하도록 하고 있다.

일본 특개 2009-47512호 공보 일본 특개 2010-85398호 공보

(발명의 개요)

(발명이 해결하고자 하는 과제)

그러나, 상기한 특허문헌 1 기재의 구조에서는, 피검사 기판에 와이어 프로브용 지그를 내리누르는 동작을 반복할 때마다, 후단측 삽입통과 구멍(20) 속에서 와이어 프로브가 슬라이딩하게 된다. 이 때문에, 특히 후단측 삽입통과 구멍(20)의 개구 가장자리(특허문헌 1의 도 5에서의 15b의 인출선이 나타내는 부근)에서 마모가 발생하기 쉽다. 마모에 의해 슬라이딩 저항이 증가하면, 후단측 삽입통과 구멍(20) 속에서 와이어 프로브가 원활하게 슬라이딩하지 않게 되어, 와이어 프로브의 선단이 전극 기판의 접촉 단자에 접촉할 수 없게 된다고 하는 문제가 있었다.

아울러, 상기한 특허문헌 1 기재의 구조에서는, 와이어 프로브의 선단이 전극 기판의 접촉 단자에 붙거나 떨어지거나 하기 때문에, 와이어 프로브의 선단이 마모되거나, 먼지가 부착되거나 하여 접촉 불량으로 될 가능성이 있었다.

또한 상기한 특허문헌 2 기재의 구조에서는, 피검사 기판에 와이어 프로브용 지그를 내리누를 때마다, 유지 구멍(21) 속에서 와이어 프로브가 슬라이딩하게 된다. 이 때, 와이어 프로브는 소정의 방향으로 휘게 하기 위해 경사 방향으로 배치되어 있기 때문에, 유지 구멍(21)의 개구 가장자리(베이스 플레이트(14)에 면하는 개구 가장자리)에서 마모가 발생하기 쉬워진다. 마모에 의해 슬라이딩 저항이 증가하면, 유지 구멍(21) 속에서 와이어 프로브가 원활하게 슬라이딩하지 않게 되어, 와이어 프로브의 선단이 전극 기판의 접촉 단자에 접촉할 수 없게 된다고 하는 문제가 있었다.

그래서, 본 발명은 와이어 프로브의 양단을 확실하게 전극 기판의 단자와 피검사 기판의 단자에 접촉시킬 수 있고, 또한, 와이어 프로브의 마모가 발생하기 어려운 와이어 프로브용 지그를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명은 상기한 과제를 해결하기 위해 행해진 것으로, 이하를 특징으로 한다.

청구항 1 기재의 발명은 전극 기판과 피검사 기판 사이에 배치되어 기판 검사에 사용되는 와이어 프로브용 지그로서, 와이어 프로브의 후단부를 유지하고 전극 기판에 접촉 가능하게 배치되는 베이스부와, 와이어 프로브의 선단부를 유지하고 피검사 기판에 접촉 가능하게 배치되는 헤드부를 구비하고, 상기 베이스부와 상기 헤드부는 서로 이동 가능하게 설치되고, 상기 베이스부는 제 1 베이스 플레이트와, 상기 제 1 베이스 플레이트의 내측에 배치되는 제 2 베이스 플레이트를 구비하고, 상기 제 1 베이스 플레이트에는, 와이어 프로브를 삽입통과 가능한 제 1 가이드 구멍이 설치되고, 상기 제 2 베이스 플레이트에는, 상기 제 1 가이드 구멍에 삽입통과된 와이어 프로브를 삽입통과 가능한 제 2 가이드 구멍이 설치되며, 상기 제 2 가이드 구멍은 상기 제 1 가이드 구멍에 대해 소정의 방향으로 중심을 비켜서 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 발명은, 상기한 청구항 1에 기재된 발명의 특징점에 더하여, 상기 헤드부에는, 상기 제 2 가이드 구멍에 삽입통과된 와이어 프로브를 삽입통과 가능한 제 3 가이드 구멍이 설치되고, 상기 제 3 가이드 구멍은 상기 제 2 가이드 구멍에 대하여 상기 소정의 방향과는 상이한 방향으로 중심을 비켜서 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 1에 기재된 발명은 상기한 바와 같이, 와이어 프로브의 후단부를 유지하고 전극 기판에 접촉 가능하게 배치되는 베이스부와 와이어 프로브의 선단부를 유지하고 피검사 기판에 접촉 가능하게 배치되는 헤드부가 서로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 피검사 기판에 와이어 프로브용 지그를 내리눌렀을 때에, 와이어 프로브가 휨으로써 와이어 프로브의 선단을 와이어 프로브용 지그로부터 돌출시키는 탄성력이 발생한다. 따라서, 와이어 프로브의 선단을 확실하게 피검사 기판에 접촉시킬 수 있다.

게다가, 피검사 기판에 와이어 프로브용 지그를 내리눌렀을 때에 와이어 프로브가 베이스부나 헤드부의 내부에서 슬라이딩하는 구조가 아니므로, 와이어 프로브의 마모가 발생하기 어렵다.

그런데, 본 발명과 같은 구조로 한 경우, 상기한 특허문헌 1 기재의 구조나 특허문헌 2 기재의 구조와 비교하여 와이어 프로브를 유지하지 않는 중간부의 거리가 커지기 때문에, 무엇인가의 힘이 작용했을 때에 와이어 프로브가 움직이기 쉬워질 가능성이 있다. 예를 들면, 와이어 프로브의 자중에 의해 와이어 프로브가 가이드 구멍의 내부에서 이동할 가능성이나, 피검사 기판으로부터 와이어 프로브용 지그를 떨어지게 했을 때에 와이어 프로브를 가이드 구멍으로부터 뽑으려고 하는 힘이 작용함으로써 와이어 프로브가 가이드 구멍의 내부에서 이동할 가능성이 증대한다.

이 점에서, 본 발명은 상기 베이스부는 제 1 베이스 플레이트와, 상기 제 1 베이스 플레이트의 내측에 배치되는 제 2 베이스 플레이트를 구비하고, 상기 제 1 베이스 플레이트에는, 와이어 프로브를 삽입통과 가능한 제 1 가이드 구멍이 설치되고, 상기 제 2 베이스 플레이트에는, 상기 제 1 가이드 구멍에 삽입통과된 와이어 프로브를 삽입통과 가능한 제 2 가이드 구멍이 설치되고, 상기 제 2 가이드 구멍은 상기 제 1 가이드 구멍에 대해 소정의 방향으로 중심을 비켜서 설치되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 가이드 구멍의 벗어남에 따라 와이어 프로브가 움직이지 않도록 고정할 수 있으므로, 예를 들면, 피검사 기판으로부터 와이어 프로브용 지그를 떨어지게 했을 때에 와이어 프로브를 가이드 구멍으로부터 뽑으려고 하는 힘이 작용했다고 해도, 베이스부의 가이드 구멍의 내부에서 와이어 프로브가 움직이지 않도록 할 수 있다.

이와 같이, 본 발명은 피검사 기판에 와이어 프로브용 지그를 내리눌렀을 때에 헤드부로부터 와이어 프로브의 선단을 돌출시킴과 아울러, 베이스부에서는 와이어 프로브가 움직이지 않도록 고정함으로써, 와이어 프로브의 양단을 확실하게 전극 기판 및 피검사 기판에 접촉시키는 것과, 와이어 프로브의 마모를 억제하는 것을 양립시키고 있다.

또한 이러한 구성에 의하면, 와이어 프로브의 후단부가 전극 기판의 접촉단자에 붙거나 떨어지거나 하는 경우도 없기 때문에, 와이어 프로브의 후단부가 마모되는 문제나, 와이어 프로브의 후단부에 먼지가 부착되는 문제도 발생하지 않는다.

또한 청구항 2에 기재된 발명은 상기한 바와 같으며, 상기 헤드부에는, 상기 제 2 가이드 구멍에 삽입통과된 와이어 프로브를 삽입통과 가능한 제 3 가이드 구멍이 설치되고, 상기 제 3 가이드 구멍은, 상기 제 2 가이드 구멍에 대하여 상기 소정의 방향과는 상이한 방향으로 중심을 비켜서 설치되어 있다. 즉, 제 1 가이드 구멍과 제 2 가이드 구멍과 제 3 가이드 구멍이 「〈형」으로 배치되어 있다. 이러한 구조에 의하면, 와이어 프로브와 베이스부의 가이드 구멍 사이의 마찰력을 크게 함으로써 더욱 와이어 프로브의 베이스부 내에서의 움직임을 제한할 수 있다.

도 1은 와이어 프로브용 지그의 (a) 사시도, (b) 측면도이다.
도 2는 대기 상태의 와이어 프로브용 지그의 측단면도이다.
도 3은 검사 상태의 와이어 프로브용 지그의 측단면도이다.
도 4는 대기 상태의 와이어 프로브용 지그의 일부 확대 측단면도이다.
도 5는 검사 상태의 와이어 프로브용 지그의 일부 확대 측단면도이다.
도 6은 가이드 구멍의 배치를 설명하는 측면도이다.
도 7은 가이드 구멍의 배치를 설명하는 평면도이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

본 발명의 실시형태에 대해, 도면을 참조하면서 설명한다.

본 실시형태에 따른 와이어 프로브용 지그(10)는 기판 검사에 사용하는 와이어 프로브(45)를 유지하기 위한 것으로, 피검사 기판(55)과 전극 기판(50) 사이에 배치된다. 이 와이어 프로브용 지그(10)는 도 1에 도시하는 바와 같이 복수개의 와이어 프로브(45)를 서로 접촉하지 않도록 유지하고 있다. 이 와이어 프로브용 지그(10)는, 일방의 면을 전극 기판(50)의 표면에 고정한 상태에서, 타방의 면을 반도체 집적 회로 등의 피검사 기판(55)에 내리누르고, 유지한 와이어 프로브(45)의 양단을 각각 전극 기판(50)의 단자와 피검사 기판(55)의 단자에 접촉시키기 위해 사용된다.

와이어 프로브(45)는, 도 2 등에 도시하는 바와 같이, 후단부(45a)와 선단부(45b)가 노출되도록 와이어 프로브용 지그(10)에 유지되어 있다. 검사시에는, 노출한 후단부(45a)가 전극 기판(50)의 단자에 접촉하고, 노출한 선단부(45b)가 피검사 기판(55)의 단자에 접촉한다.

전극 기판(50)에는, 와이어 프로브(45)의 후단부(45a)에 접촉하는 위치에 배선(51)의 단부가 노출되어 설치되어 있다. 이 배선(51)은 검사용의 스캐너(도시 생략)에 대해 전기적으로 접속되어 있고, 이것에 의해, 와이어 프로브(45)를 사용하여 피검사 기판(55)의 소정 개소의 검사를 실행할 수 있게 되어 있다.

본 실시형태에 따른 와이어 프로브용 지그(10)는, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 전극 기판(50)측에 배치되는 베이스부(11)와, 피검사 기판(55)측에 배치되는 헤드부(20)와, 베이스부(11)와 헤드부(20) 사이에 설치된 스페이서(35)와, 헤드부(20)와 스페이서(35)를 서로 이동 가능하게 접속하는 가이드핀(43)과, 베이스부(11)와 헤드부(20)를 서로 떨어지는 방향으로 탄성 가압하는 탄성 가압 수단(40)을 구비한다.

베이스부(11)는 와이어 프로브(45)의 후단부(45a)를 유지하여 전극 기판(50)에 접촉 가능하게 배치되는 판 형상부이며, 본 실시형태에서는 제 1 베이스 플레이트(12) 및 제 2 베이스 플레이트(15)의 2장의 플레이트를 겹쳐서 구성되어 있다. 2장의 플레이트는 베이스 고정 나사(41)에 의해 연결되어 있다. 또한, 2장의 플레이트를 연결하는 베이스 고정 나사(41)는 스페이서(35)에 나사 결합되어 있고, 이것에 의해, 베이스부(11)와 스페이서(35)는 일체로 고정되어 움직이지 않게 되어 있다.

제 1 베이스 플레이트(12)는 베이스부(11)의 외측, 즉, 전극 기판(50)에 면하도록 배치되는 플레이트이다. 이 제 1 베이스 플레이트(12)의 표면이 전극 기판(50)에 맞닿는 베이스부(11)의 표면(11a)으로 되어 있다. 제 1 베이스 플레이트(12)에는, 와이어 프로브(45)를 삽입통과 가능한 제 1 가이드 구멍(13)이 설치되어 있다. 이 제 1 가이드 구멍(13)은 유지하는 와이어 프로브(45)의 수만큼 설치되어 있다. 이 제 1 가이드 구멍(13)의 형상은, 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 소직경의 통 형상의 직경축소부(13a)와, 대직경의 깔때기 형상의 확장개방부(13b)가 연속된 형상이며, 직경축소부(13a)가 전극 기판(50)측에 배치되고, 확장개방부(13b)가 피검사 기판(55)측에 배치되어 있다. 이 제 1 가이드 구멍(13)의 중심축(C1)은 베이스부(11)에 수직으로 되어 있다.

제 2 베이스 플레이트(15)는, 제 1 베이스 플레이트(12)의 내측, 즉, 제 1 베이스 플레이트(12)보다도 피검사 기판(55)측에 배치되는 플레이트이다. 이 제 2 베이스 플레이트(15)에는, 제 1 가이드 구멍(13)에 삽입통과된 와이어 프로브(45)를 삽입통과 가능한 제 2 가이드 구멍(16)이 설치되어 있다. 이 제 2 가이드 구멍(16)은, 제 1 가이드 구멍(13)에 연통하도록, 유지하는 와이어 프로브(45)의 수만큼 설치되어 있다. 이 제 2 가이드 구멍(16)의 형상은, 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 소직경의 통 형상의 직경축소부(16a)와, 대직경의 깔때기 형상의 확장개방부(16b)가 연속된 형상이며, 직경축소부(16a)가 피검사 기판(55)측에 배치되고, 확장개방부(16b)가 전극 기판(50)측에 배치되어 있다. 즉, 제 2 가이드 구멍(16)의 확장개방부(16b)가 제 1 가이드 구멍(13)의 확장개방부(13b)에 면하도록 배치되어 있다. 또한, 제 2 가이드 구멍(16)의 확장개방부(16b)는 제 1 가이드 구멍(13)의 확장개방부(13b)보다도 크게 개구되어 있다. 이 제 2 가이드 구멍(16)의 중심축(C2)은 베이스부(11)에 수직으로 되어 있다.

헤드부(20)는 와이어 프로브(45)의 선단부(45b)를 유지하여 피검사 기판(55)에 접촉 가능하게 배치되는 판 형상부이며, 본 실시형태에서는 제 1 헤드 플레이트(21) 및 제 2 헤드 플레이트(26)의 2장의 플레이트를 포개어 구성되어 있다. 2장의 플레이트는 헤드 고정 나사(42)에 의해 서로 연결되어 있다.

제 1 헤드 플레이트(21)는, 헤드부(20)의 내측, 즉, 제 2 헤드 플레이트(26)보다도 전극 기판(50)측에 배치되는 플레이트이다. 이 제 1 헤드 플레이트(21)에는, 와이어 프로브(45)를 삽입통과 가능한 제 1 삽입통과 구멍(22)이 설치되어 있다. 이 제 1 삽입통과 구멍(22)은 유지하는 와이어 프로브(45)의 수만큼 설치되어 있다. 이 제 1 삽입통과 구멍(22)의 형상은, 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 소직경의 통 형상의 직경축소부(22a)와, 대직경의 깔때기 형상의 확장개방부(22b)가 연속된 형상이며, 직경축소부(22a)가 피검사 기판(55)측에 배치되고, 확장개방부(22b)가 전극 기판(50)측에 배치되어 있다.

제 2 헤드 플레이트(26)는 헤드부(20)의 외측, 즉, 피검사 기판(55)에 면하도록 배치되는 플레이트이다. 이 제 2 헤드 플레이트(26)의 표면이 피검사 기판(55)에 맞닿는 헤드부(20)의 표면(20a)으로 되어 있다. 제 2 헤드 플레이트(26)에는, 제 1 삽입통과 구멍(22)에 삽입통과된 와이어 프로브(45)를 삽입통과 가능한 제 2 삽입통과 구멍(27)이 설치되어 있다. 이 제 2 삽입통과 구멍(27)은 제 1 삽입통과 구멍(22)에 연통하도록, 유지하는 와이어 프로브(45)의 수만큼 설치되어 있다. 이 제 2 삽입통과 구멍(27)의 형상은, 도 4 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 소직경의 통 형상의 직경축소부(27a)와, 대직경의 깔때기 형상의 확장개방부(27b)가 연속된 형상이며, 직경축소부(27a)가 피검사 기판(55)측에 배치되고, 확장개방부(27b)가 전극 기판(50)측에 배치되어 있다. 또한, 제 2 삽입통과 구멍(27)의 확장개방부(27b)는 제 1 삽입통과 구멍(22)의 확장개방부(22b)와 대략 동일한 크기로 개구되어 있다. 또한, 제 2 삽입통과 구멍(27)의 직경축소부(27a) 및 제 1 삽입통과 구멍(22)의 직경축소부(22a)는 제 2 가이드 구멍(16)의 직경축소부(16a) 및 제 1 가이드 구멍(13)의 직경축소부(13a)보다도 작게 개구되어 있다. 이것에 의해 베이스부(11)측으로부터 와이어 프로브(45)를 삽입 통과시켜 와이어 프로브용 지그(10)에 와이어 프로브(45)를 부착했을 때, 와이어 프로브(45)의 코팅부가 제 1 삽입통과 구멍(22)의 직경축소부(22a)에 걸어맞추어져, 와이어 프로브(45)가 헤드부(20)의 외방으로 빠지지 않게 되어 있다.

상기한 제 1 삽입통과 구멍(22) 및 제 2 삽입통과 구멍(27)은 동일축 상에서 연통하는 제 3 가이드 구멍(20b)을 형성하고 있다. 제 3 가이드 구멍(20b)은 제 2 가이드 구멍(16)에 삽입통과된 와이어 프로브(45)를 삽입통과 가능하게 되어 있고, 즉, 와이어 프로브(45)는 제 1 가이드 구멍(13)과 제 2 가이드 구멍(16)과 제 3 가이드 구멍(20b)에 연속적으로 삽입통과되어 와이어 프로브용 지그(10)에 유지된다. 이 제 3 가이드 구멍(20b)의 중심축(C3)은 베이스부(11)에 수직으로 되어 있다.

스페이서(35)는 베이스부(11)와 헤드부(20)를 소정의 간격을 두고 연결하는 부재이다. 본 실시형태에서는, 스페이서(35)로서 복수의 기둥 형상의 부재를 사용하고 있지만, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면, 판 형상의 부재를 사용하여 스페이서(35)를 구성해도 된다. 이 스페이서(35)는 일방의 단부가 베이스 고정 나사(41)에 의해 베이스부(11)에 고정되어 있다. 또한 이 스페이서(35)의 타방의 단부는 가이드핀(43)에 의해 헤드부(20)로 이동 가능하게 부착되어 있다.

가이드핀(43)은 헤드부(20)와 스페이서(35)를 서로 이동 가능하게 연결하기 위한 부재이다. 이 가이드핀(43)은 선단부에 설치되어 수나사가 형성된 나사 결합부(43a)와, 나사 결합부(43a)에 연속되는 원통 형상의 가이드부(43b)와, 후단부에 설치되어 가이드부(43b)보다도 대직경으로 형성된 빠짐방지부(43c)를 구비한다. 이 가이드핀(43)은 나사 결합부(43a)가 스페이서(35)에 형성된 암나사부(36)에 나사 결합되고, 가이드부(43b)가 제 1 헤드 플레이트(21)에 형성된 가이드 구멍(23)을 관통하고, 빠짐방지부(43c)가 제 2 헤드 플레이트(26)에 형성된 걸어맞춤 구멍(28)에 걸어맞추어짐으로써 스페이서(35)와 헤드부(20)를 서로 이동 가능하게 연결하고 있다.

즉, 도 4에 도시하는 바와 같이, 제 2 헤드 플레이트(26)에 형성된 걸어맞춤 구멍(28)은 빠짐방지부(43c)보다도 소직경의 소경부(28a)와, 빠짐방지부(43c)보다도 대직경의 대경부(28b)를 구비하고 있고, 소경부(28a)와 대경부(28b)의 경계선의 단차에 빠짐방지부(43c)를 걸어맞추어지게 함으로써 가이드핀(43)이 스토퍼가 되어, 제 2 헤드 플레이트(26)가 제 1 헤드 플레이트(21)로부터 벗어나지 않도록 되어 있다. 또한 가이드부(43b)의 길이는, 가이드 구멍(23)의 길이와 걸어맞춤 구멍(28)의 소경부(28a)의 길이를 더한 길이보다도 길게 설정되어 있기 때문에, 헤드부(20)는 가이드핀(43)의 가이드부(43b)를 따라 상하로 이동 가능하게 되어 있다. 구체적으로는, 도 4에 도시하는 슬라이딩 거리(L)의 분량만큼, 헤드부(20)는 스페이서(35)(즉 베이스부(11))에 대해 상하로 이동 가능하게 되어 있다. 또한, 슬라이딩 거리(L)는 「(가이드부(43b)의 길이)-(가이드 구멍(23)의 길이)-(걸어맞춤 구멍(28)의 소경부(28a)의 길이)」이다.

탄성 가압 수단(40)은 헤드부(20)와 스페이서(35)(즉 베이스부(11))를 서로 떨어지는 방향으로 탄성 가압하는 스프링이며, 도 4에 도시하는 바와 같이, 일방의 단부가 제 2 헤드 플레이트(26)의 스프링 받이부(29)에 지지되고, 제 1 헤드 플레이트(21)의 스프링용 구멍(24)을 관통하고, 타방의 단부가 스페이서(35)의 스프링 받이부(37)에 지지되어 있다. 이 탄성 가압 수단(40)은 자연 상태에서 압축되어 있기 때문에, 이 탄성 가압 수단(40)의 탄성 가압력에 의해, 도 4에 도시하는 바와 같이, 헤드부(20)와 스페이서(35)(즉 베이스부(11))가 슬라이딩 거리(L)를 유지하도록 떨어진 상태로 되어 있다.

상기한 바와 같이 구성된 와이어 프로브용 지그(10)를 피검사 기판(55)에 내리누르면, 도 3 및 도 5에 도시하는 바와 같이, 탄성 가압 수단(40)의 탄성 가압력에 저항하여 헤드부(20)가 스페이서(35)(베이스부(11))의 방향으로 이동한다. 이것에 의해, 헤드부(20)와 베이스부(11)의 거리가 좁아지므로, 헤드부(20) 및 베이스부(11)에 양단이 유지된 와이어 프로브(45)가 휘고, 그 탄성력에 의해 와이어 프로브(45)의 선단부(45b)를 외방으로 밀어내려고 하는 힘이 발생하므로, 와이어 프로브(45)의 선단부(45b)를 확실하게 피검사 기판(55)에 내리누를 수 있다.

이 때, 베이스부(11)를 구성하는 제 1 베이스 플레이트(12) 및 제 2 베이스 플레이트(15)는 서로 이동하지 않는다. 또한 헤드부(20)를 구성하는 제 1 헤드 플레이트(21) 및 제 2 헤드 플레이트(26)는 서로 이동하지 않는다. 따라서, 베이스부(11)나 헤드부(20)의 내부에서 와이어 프로브(45)가 이동하는 움직임은 발생하지 않거나, 혹은 움직였다고 해도 극히 작은 움직임이므로, 와이어 프로브(45)의 마모를 최소한으로 할 수 있다.

또한, 검사 종료 후에 와이어 프로브용 지그(10)를 피검사 기판(55)으로부터 분리하면, 도 2 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 탄성 가압 수단(40)의 탄성 가압력에 의해 헤드부(20)가 스페이서(35)(베이스부(11))로부터 벗어나는 방향으로 이동한다. 이것에 의해, 헤드부(20)와 베이스부(11) 거리가 넓어진다. 이 때, 와이어 프로브(45)의 휨이 해소되어 펴지려고 하기 때문에, 와이어 프로브(45)의 단부를 헤드부(20) 및 베이스부(11)로부터 뽑아내려고 하는 힘이 작용하는 경우가 있다.

그러나, 본 실시형태에서는, 와이어 프로브(45)를 로킹함으로써 베이스부(11) 내에서의 와이어 프로브(45)의 움직임을 제한하고 있다. 즉, 도 6에 도시하는 바와 같이, 본 실시형태에 따른 제 1 가이드 구멍(13)의 중심축(C1)과 제 2 가이드 구멍(16)의 중심축(C2)은 소정 방향으로 중심을 비켜서 설치되어 있고, 이것에 의해 제 1 가이드 구멍(13) 및 제 2 가이드 구멍(16) 속에서 와이어 프로브(45)가 움직이지 않도록 로킹되어 있다. 이와 같이, 와이어 프로브(45)의 움직임을 억제함으로써 와이어 프로브(45)의 마모를 방지함과 아울러, 와이어 프로브(45)의 후단부(45a)가 배선(51)에 붙거나 떨어지거나 하는 움직임을 방지하여, 와이어 프로브(45)와 배선(51)의 접점(P)에서의 먼지의 부착이나 표면 마모를 방지할 수 있게 하고 있다.

게다가, 본 실시형태에 따른 제 3 가이드 구멍(20b)의 중심축(C3)은, 도 6에 도시하는 바와 같이, 제 2 가이드 구멍(16)의 중심축(C2)에 대하여 중심을 비켜서 설치되어 있다. 그리고, 제 1 가이드 구멍(13)의 중심축(C1)에서 본 제 2 가이드 구멍(16)의 중심축(C2)의 방향과, 제 2 가이드 구멍(16)의 중심축(C2)에서 본 제 3 가이드 구멍(20b)의 중심축(C3)의 방향이 서로 상이하도록 배치되어 있다. 이 때문에, 이들 3개의 가이드 구멍에 삽입통과된 와이어 프로브(45)는 「〈형」으로 유지되게 된다. 이러한 유지 방법에 의하면, 와이어 프로브(45)와 베이스부(11)의 가이드 구멍의 마찰력이 커지므로, 베이스부(11) 내에서의 와이어 프로브(45)의 움직임을 더욱 억제할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는, 평면으로 보아, 제 1 가이드 구멍(13)의 중심축(C1)에서 본 제 2 가이드 구멍(16)의 중심축(C2)의 방향(도 6에서의 좌측 방향)이 제 2 가이드 구멍(16)의 중심축(C2)에서 본 제 3 가이드 구멍(20b)의 중심축(C3)의 방향(도 6에서의 우측 방향)의 정반대 방향이 되도록 하고 있다. 바꿔 말하면, 도 7(a)에 도시하는 바와 같이, 평면으로 보아 C1과 C3을 연결한 선과 C1과 C2를 연결한 선이 이루는 각도(θ)가 180도가 되도록 하고 있다. 그러나, 본 발명의 실시형태로서는 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 7(b)에 도시하는 바와 같이, 각도(θ)가 둔각이 되도록 해도 되고, 도 7(c)에 도시하는 바와 같이, 각도(θ)가 예각이 되도록 해도 된다. 단, 와이어 프로브(45)의 이동을 저지한다고 하는 목적을 위해서는, 각도(θ)가 둔각인 것이 바람직하고, 각도(θ)가 180도이면 더욱 바람직하다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 와이어 프로브(45)의 후단부(45a)를 유지하여 전극 기판(50)에 접촉 가능하게 배치되는 베이스부(11)와, 와이어 프로브(45)의 선단부(45b)를 유지하여 피검사 기판(55)에 접촉 가능하게 배치되는 헤드부(20)가 서로 이동 가능하게 설치되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 피검사 기판(55)에 와이어 프로브용 지그(10)를 내리눌렀을 때에, 와이어 프로브(45)가 휨으로써 와이어 프로브(45)의 선단부(45b)를 와이어 프로브용 지그(10)로부터 돌출시키는 탄성력이 발생한다. 따라서, 와이어 프로브(45)의 선단부(45b)를 확실하게 피검사 기판(55)에 접촉시킬 수 있다.

게다가, 피검사 기판(55)에 와이어 프로브용 지그(10)를 내리눌렀을 때에도 가이드 구멍의 내부에서 와이어 프로브(45)가 거의 움직이지 않으므로, 와이어 프로브(45)의 마모가 발생하기 어렵다.

또한 상기 베이스부(11)는 제 1 베이스 플레이트(12)와, 상기 제 1 베이스 플레이트(12)의 내측에 배치되는 제 2 베이스 플레이트(15)를 구비하고, 상기 제 1 베이스 플레이트(12)에는, 와이어 프로브(45)를 삽입통과 가능한 제 1 가이드 구멍(13)이 설치되고, 상기 제 2 베이스 플레이트(15)에는, 상기 제 1 가이드 구멍(13)에 삽입통과된 와이어 프로브(45)를 삽입통과 가능한 제 2 가이드 구멍(16)이 설치되고, 상기 제 2 가이드 구멍(16)은 상기 제 1 가이드 구멍(13)에 대해 소정 방향으로 중심을 비켜서 설치되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 가이드 구멍의 벗어남에 의해 와이어 프로브(45)가 움직이지 않도록 고정할 수 있으므로, 예를 들면, 피검사 기판(55)으로부터 와이어 프로브용 지그(10)를 떨어지게 했을 때에 와이어 프로브(45)를 가이드 구멍으로부터 뽑아내려고 하는 힘이 작용했다고 해도, 베이스부(11)의 가이드 구멍의 내부에서 와이어 프로브(45)가 움직이지 않도록 고정할 수 있다. 그리고, 이와 같이 와이어 프로브(45)의 후단부(45a)를 고정함으로써 와이어 프로브(45)의 후단부(45a)가 전극 기판(50)에 접촉한 상태를 유지할 수 있다.

또한 이러한 구성에 의하면, 와이어 프로브(45)의 후단부(45a)가 전극 기판(50)의 접촉 단자에 붙거나 떨어지거나 하지도 않기 때문에, 와이어 프로브(45)의 후단부(45a)가 마모되는 문제나, 와이어 프로브(45)의 후단부(45a)에 먼지가 부착되는 문제도 발생하지 않는다.

또한 상기 헤드부(20)에는, 상기 제 2 가이드 구멍(16)에 삽입통과된 와이어 프로브(45)를 삽입통과 가능한 제 3 가이드 구멍(20b)이 설치되고, 상기 제 3 가이드 구멍(20b)은 상기 제 2 가이드 구멍(16)에 대하여 상기 소정의 방향과는 상이한 방향으로 중심을 비켜서 설치되어 있다. 즉, 제 1 가이드 구멍(13)과 제 2 가이드 구멍(16)과 제 3 가이드 구멍(20b)이 「〈형」으로 배치되어 있기 때문에, 와이어 프로브(45)를 확실하게 베이스부(11)에서 로킹할 수 있다. 따라서, 베이스부(11)의 가이드 구멍의 내부에서 와이어 프로브(45)가 움직이지 않으므로, 와이어 프로브(45)의 마모를 발생하기 어렵게 할 수 있다.

또한, 상기한 실시형태에서는, 베이스부(11)와 헤드부(20)를 각각 2장의 플레이트로 형성하는 것으로 했다. 그러나, 본 발명의 실시형태에서는 이것에 한정되지 않고, 베이스부(11)를 3장 이상의 플레이트로 형성해도 된다. 이때, 3장 이상의 플레이트에 각각 와이어 프로브(45)를 삽입통과하는 가이드 구멍을 설치하고, 각각의 가이드 구멍의 중심이 엇갈리게 되도록 배치해도 된다. 또한 헤드부(20)에 대해서는, 1장의 플레이트로 형성해도 되고, 3장 이상의 플레이트로 형성해도 된다.

10 와이어 프로브용 지그
11 베이스부
11a 표면
12 제 1 베이스 플레이트
13 제 1 가이드 구멍
13a 직경축소부
13b 확장개방부
15 제 2 베이스 플레이트
16 제 2 가이드 구멍
16a 직경축소부
16b 확장개방부
20 헤드부
20a 표면
20b 제 3 가이드 구멍
21 제 1 헤드 플레이트
22 제 1 삽입통과 구멍
22a 직경축소부
22b 확장개방부
23 가이드 구멍
24 스프링용 구멍
26 제 2 헤드 플레이트
27 제 2 삽입통과 구멍
27a 직경축소부
27b 확장개방부
28 걸어맞춤 구멍
28a 소경부
28b 대경부
29 스프링 받이부
35 스페이서
36 암나사부
37 스프링 받이부
40 탄성 가압 수단
41 베이스 고정 나사
42 헤드 고정 나사
43 가이드핀
43a 나사 결합부
43b 가이드부
43c 빠짐방지부
45 와이어 프로브
45a 후단부
45b 선단부
50 전극 기판
51 배선
55 피검사 기판
P 접점
L 슬라이딩 거리
C1 제 1 가이드 구멍의 중심축
C2 제 2 가이드 구멍의 중심축
C3 제 3 가이드 구멍의 중심축

Claims

전극 기판과 피검사 기판 사이에 배치되어 기판 검사에 사용되는 와이어 프로브용 지그로서,
와이어 프로브의 후단부를 유지하고 전극 기판에 접촉 가능하게 배치되는 베이스부와,
와이어 프로브의 선단부를 유지하고 피검사 기판에 접촉 가능하게 배치되는 헤드부
를 구비하고,
상기 베이스부와 상기 헤드부는 서로 이동 가능하게 설치되고,
상기 베이스부는 제 1 베이스 플레이트와 상기 제 1 베이스 플레이트의 내측에 배치되는 제 2 베이스 플레이트를 구비하고,
상기 제 1 베이스 플레이트에는, 와이어 프로브를 삽입통과 가능한 제 1 가이드 구멍이 설치되고,
상기 제 2 베이스 플레이트에는, 상기 제 1 가이드 구멍에 삽입통과된 와이어 프로브를 삽입통과 가능한 제 2 가이드 구멍이 설치되고,
상기 제 2 가이드 구멍은 상기 제 1 가이드 구멍에 대하여 소정의 방향으로 중심을 비켜서 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 와이어 프로브용 지그.
제 1 항에 있어서,
상기 헤드부에는, 상기 제 2 가이드 구멍에 삽입통과된 와이어 프로브를 삽입통과 가능한 제 3 가이드 구멍이 설치되고,
상기 제 3 가이드 구멍은 상기 제 2 가이드 구멍에 대하여 상기 소정의 방향과는 상이한 방향으로 중심을 비켜서 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 와이어 프로브용 지그.