KR101532393B1 - 전기적 검사소켓 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전기적 검사소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결하는 전기적 검사소켓에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 연장되어 배치되고 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있는 복수의 도전부와, 상기 도전부의 주위에 배치되고 각각의 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연성 지지부로 이루어지는 이방성 도전시트; 및 상기 이방성 도전시트의 도전부 내에서 두께방향으로 연장되고 상기 도전부`에 일체로 결합되어 있는 삽입부와, 상기 도전부로부터 상측으로 돌출배치되고 상기 삽입부와 연결되는 접촉부로 이루어지는 전도성 부재;를 포함하고,
상기 삽입부는, 상기 도전부가 피검사 디바이스의 단자에 눌려 면방향으로 팽창될 때 상기 도전부에 의하여 면방향으로 위치이동될 수 있으며, 상기 접촉부는, 상기 삽입부의 면방향 위치이동에 의하여 피검사 디바이스의 단자 측면과 이격된 제1위치와, 상기 피검사 디바이스의 단자 측면과 접촉되는 제2위치 사이를 위치 이동하는 전기적 검사소켓에 대한 것이다.

Description

전기적 검사소켓{Electrical test socket}
본 발명은 전기적 검사소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자와 확실하게 접촉될 수 있어서 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 전기적 검사소켓에 대한 것이다.
일반적으로 피검사 디바이스의 전기적 특성 검사를 위해서는 피검사 디바이스와 검사장치와의 전기적 연결이 안정적으로 이루어져야 한다. 통상 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 위한 장치로서 검사용 소켓이 사용된다.
이러한 검사용 소켓의 역할은 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 교환 가능하게 하는 것이다. 이를 위하여 검사용 소켓의 내부에 사용되는 접촉수단으로 이방 도전성 시트 또는 포고핀이 사용된다. 이러한 이방 도전성 시트는 실리콘 고무 내에 도전성 입자가 분포된 도전부를 피검사 디바이스의 단자와 접속시키는 것이며, 포고핀은 스프링에 의하여 탄력지지된 금속핀이 피검사 디바이스와 접촉되도록 하여, 피검사 디바이스와의 접촉과정에서 발생할 수 있는 기계적인 충격을 완충할 수 있는 것이다. 이방 도전성 시트 또는 포고핀이 대부분의 검사용 소켓에 사용되고 있다.
이러한 검사용 소켓의 일 예로서는, 대한민국 등록특허 제1038270호에 개시되어 있는 이방 도전성 커넥터 장치가 알려져 있게 된다. 이에 대해서는 도 1 내지 도 3을 통하여 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 종래 기술에 의한 이방 도전성 커넥터(10)는 중앙 부분에 개구부(73)가 형성된 직사각형의 판상 지지체(71)와, 상기 지지체(71)의 개구부(73)에 고정 구비되는 연성 탄성 고분자 물질로 이루어지는 절연부(15)와, 복수 개의 도전부(11)로 이루어지며, 전체로서 시트상으로 형성되어 있다. 상기 절연부(15)는 개개의 도전부(11)의 주위를 둘러싸도록 도전부(11)와 일체로 형성되어 있고, 이에 의해 모든 도전부(11)는 절연부(15)에 의해서 서로 절연된 상태로 되어 있다. 상기 절연부(15)의 둘레는 지지체(71)의 개구부(73)를 따라 고정된다.
도 2 및 도 3에서 도면부호 40은 윤활제로서의 이방 도전성 커넥터와 피검사 장치 제1 전극과의 압접에 있어서, 이방 도전성 커넥터의 영구 변형의 억제나, 전극 물질의 이방 도전성 커넥터의 도전성 입자로의 이행을 억제하고, 오염 발생이 적으며 고온에서의 사용시의 악영향이 적은 점에서 알킬술폰산 금속염이 사용된다.
상기 이방 전도성 커넥터(10)는 도 3에 도시한 바와 같이 피검사 장치(1)와 검사 장치(5)에 구비되어 피검사 장치(1)의 리드 단자인 제1 전극(2)과, 검사 장치(5)의 제2 전극(6)을 전기적으로 연결하게 된다. 도 3에서 화살표는 피검사 장치(1)가 가압되는 방향을 도시한 것이다.
이러한 종래기술에 따른 검사용 소켓은 다음과 같은 문제점이 있다.
먼저, 검사대상물인 피검사 장치(1)는 소정의 이송수단에 의하여 외부의 트레이로부터 이방 전도성 커넥터까지 운반되는데, 이때 이방 전도성 커넥터는 각 제1 전극(2)이 이방 전도성 커넥터(10)의 도전부(11)의 상면에 확실하게 접촉하도록 정밀한 위치이동이 요구된다.
그러나 기구물인 이송수단의 공차에 의하여 피검사 장치의 정렬이 설계자의 의도대로 이루어지지 않게 되는 경우가 있는데, 예를 들어 제1 전극(2)의 위치가 다소 도전부(11)의 중심으로부터 다소 벗어난 위치에 놓이는 경우가 있게 된다. 이와 같이 제1 전극(2)의 위치 어긋남이 발생되는 경우에는 검사 장치(5)로부터 나오는 검사용 신호가 피검사 장치(1)로 확실하게 전달되지 않게 되어 검사의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있게 된다.
또한, 피검사 장치(1)의 정렬이 확실하게 이루어져서 제1 전극(2)의 도전부(11)의 중심에 위치하게 되는 경우에도 도전부(11)의 상면에 이물질이 묻어있는 경우에는 도전부(11)와 제1 전극(2)의 전기적 접속이 확실하게 이루어지지 않는 경우가 있다. 예를 들어, 하나의 이방 전도성 커넥터(10)에 수많은 피검사 장치(1)가 접촉되어 검사를 수행하게 되는데, 이때 피검사 장치(1)의 제1 전극(2)에 묻어 있는 이물질은 도전부(11)로 전이되게 된다. 이러한 검사가 반복되면 도전부(11)의 상면에 쌓이게 되는 이물질의 양이 많아지게 되어 점차적으로 전기 전도성을 저하시키게 되는 요인이 되고 있게 된다. 이러한 도전부(11)에 묻어 있는 이물질로 인하여 검사의 신뢰성이 떨어지는 문제점이 있게 된다.
1. 등록특허 제1038270호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 빈번한 검사를 수행하는 과정에서 검사의 신뢰성이 저하되지 않는 검사용 소켓을 제공하는 것을 목적을 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은, 피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결하는 전기적 검사소켓에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 연장되어 배치되고 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있는 복수의 도전부와,
상기 도전부의 주위에 배치되고 각각의 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연성 지지부로 이루어지는 이방성 도전시트; 및
상기 이방성 도전시트의 도전부 내에서 두께방향으로 연장되고 상기 도전부`에 일체로 결합되어 있는 삽입부와,
상기 도전부로부터 상측으로 돌출배치되고 상기 삽입부와 연결되는 접촉부로 이루어지는 전도성 부재;를 포함하고,
상기 삽입부는, 상기 도전부가 피검사 디바이스의 단자에 눌려 면방향으로 팽창될 때 상기 도전부에 의하여 면방향으로 위치이동될 수 있으며,
상기 접촉부는, 상기 삽입부의 면방향 위치이동에 의하여 피검사 디바이스의 단자 측면과 이격된 제1위치와, 상기 피검사 디바이스의 단자 측면과 접촉되는 제2위치 사이를 위치 이동한다.
상기 전기적 검사소켓에서,
접촉부는 상기 삽입부에 일체로 연결될 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 전도성 부재는 상기 도전부의 가장자리 측에 배치될 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 전도성 부재의 삽입부는 얇은 기둥형상을 가질 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 접촉부는, 상기 도전부의 중심을 향하여 절곡될 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 접촉부는 갈고리 형상을 가질 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 전도성 부재는 적어도 한 쌍이 마련되고, 한 쌍의 전도성 부재는 도전부의 중심에 대하여 서로 대칭적으로 배치될 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 전도성 부재는, 니켈, 구리, 철 중 어느 하나의 금속소재로 이루어질 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 전도성 부재는 유연성을 가질 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 전기적 검사소켓은, 피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결하는 전기적 검사소켓에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 연장되어 배치되고 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있는 복수의 도전부와, 상기 도전부의 주위에 배치되고 각각의 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연성 지지부로 이루어지는 이방성 도전시트; 및
상기 이방성 도전시트의 도전부에 적어도 일부가 삽입되고 나머지 부분은 도전부로부터 돌출되는 전도성 부재를 포함하되,
상기 전도성 부재는 한 쌍이 서로 마주보도록 구성되고,
상기 한 쌍의 전도성 부재는, 상기 도전부가 상기 피검사 디바이스의 단자에 의하여 가압될 때 상기 도전부로부터 돌출된 상단이 서로 근접하는 방향으로 위치이동하면서 피검사 디바이스의 단자의 측면에 접촉하고, 상기 피검사 디바이스의 단자가 도전부를 가압하지 않을 때는 상기 도전부로부터 돌출된 상단이 서로 멀어지는 방향으로 위치이동하면서 피검사 디바이스의 단자와 이격될 수 있다.
본 발명에 따른 전기적 검사소켓은, 도전부로부터 돌출되는 전도성 부재가 피검사 디바이스의 단자의 위치 정렬 및 단자와 확실하게 접촉될 수 있기 때문에 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래기술에 따른 전기적 검사소켓의 평면도.
도 2는 도 1의 A-A 단면도.
도 3은 도 1의 전기적 장치의 작동도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사소켓의 평면도.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ 단면도.
도 6 내지 도 8은 도 4의 전기적 검사소켓의 작동도.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기적 검사소켓의 평면도.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사소켓을 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 전기적 검사소켓(100)은, 피검사 디바이스(140)와 검사장치(130) 사이에 배치되어 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 검사장치(130)의 패드(131)를 서로 전기적으로 연결하는 것이다.
이러한 전기적 검사소켓(100)은, 이방성 도전시트(110)와, 전도성 부재(120)를 포함하여 구성된다.
상기 이방성 도전시트(110)는, 피검사 디바이스(140)의 단자(141)에 의하여 가압되었을 때 두께방향으로만 도전성을 나타내고 두께방향과 직각인 면방향으로는 도전성을 나타내지 않는 검사장치(130)의 일구성이다. 이러한 이방성 도전시트(110)는, 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 대응되는 위치마다 두께방향으로 연장되어 배치되고 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있는 복수의 도전부(111)와, 상기 도전부(111)의 주위에 배치되고 각각의 도전부(111)를 지지하면서 절연시키는 절연성 지지부(112)로 이루어진다.
구체적으로 상기 도전부(111)는, 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 대응되는 위치에 배치되되 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자(111a)가 두께방향으로 일렬 배치되는 것이다. 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 도전부(111)의 상면을 가압하는 경우 탄성물질 내의 도전성 입자들이 서로 접촉하면서 전기적 도통로를 형성하게 된다. 또한, 실리콘 고무와 같은 탄력성이 있는 소재로 이루어지는 기둥형태의 도전부(111)는 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 접촉하면서 가압할 때 상면이 도전부(111)의 단자(141)에 의하여 오목하게 파여짐과 동시에 기둥형태의 도전부(111)의 가운데 부분이 볼록하게 나온 형태(도 8에 도시된 형태)를 가지게 된다.
상기 도전부(111)를 형성하는 탄성 물질로서는 가교 구조를 갖는 내열성의 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 가교 고분자 물질을 얻기 위해 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 다양한 것을 이용할 수 있지만, 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 액상 실리콘 고무는 부가형의 것이라도 축합형의 것이라도 좋지만, 부가형 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 도전부(111)를 액상 실리콘 고무의 경화물(이하,「실리콘 고무 경화물」이라 함)에 의해 형성하는 경우에 있어서, 상기 실리콘 경화물은 그 150 ℃에 있어서의 압축 영구 왜곡이 10 % 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 8 % 이하, 더욱 바람직하게는 6 % 이하이다. 이 압축 영구 왜곡이 10 %를 넘는 경우에는, 얻을 수 있는 소켓을 고온 환경 하에 있어서 반복해서 사용하였을 때에는 접속용 도전부(111)에 있어서의 도전성 입자(111a)의 연쇄에 흐트러짐이 생기는 결과, 소요의 도전성을 유지하는 것이 곤란해진다.
상기 도전성 입자(111a)로는 자성을 나타내는 코어 입자(이하,의 표면에 고도전성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 것이 바람직하다. 여기서,「고도전성 금속」이라 함은, 0 ℃에 있어서의 도전율이 5 × 106 Ω/m 이상인 것을 말한다. 도전성 입자(111a)(P)를 얻기 위한 자성 코어 입자는 그 수평균 입자 직경이 3 내지 40 ㎛인 것이 바람직하다. 여기서, 자성 코어 입자의 수평균 입자 직경은 레이저 회절 산란법에 의해 측정된 것을 말한다. 자성 코어 입자를 구성하는 재료로서는 철, 니켈, 코발트, 이들 금속을 구리, 수지에 코팅한 것 등을 이용할 수 있지만, 그 포화 자화가 0.1 ㏝/㎡ 이상인 것을 바람직하게 이용할 수 있고, 보다 바람직하게는 0.3 ㏝/㎡ 이상, 특히 바람직하게는 0.5 ㏝/㎡ 이상인 것이고, 구체적으로는 철, 니켈, 코발트 또는 그들 합금을 들 수 있다.
자성 코어 입자의 표면에 피복되는 고도전성 금속으로서는 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등을 이용할 수 있고, 이들 중에서는 화학적으로 안정되고 또한 높은 도전율을 갖는 점에서 금을 이용하는 것이 바람직하다.
상기 절연성 지지부(112)는 상기 도전부(111)를 지지하면서 도전부(111) 간에 절연성을 유지시키는 기능을 수행한다. 이러한 절연성 지지부(112)는 상기 도전부(111) 내의 탄성물질과 동일한 소재가 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 탄성력이 좋으면서 절연성이 우수한 소재라면 무엇이나 사용될 수 있음은 물론이다.
상기 전도성 부재(120)는, 도전부(111)의 가장자리 측에 배치되는 것으로서, 적어도 한 쌍이 마련된다. 한 쌍의 전도성 부재(120)는 도전부(111)의 중심에 대하여 서로 대칭적으로 배치되어 있으며, 서로 마주보도록 구성된다. 상기 전도성 부재(120)는 전도성이 좋으면서 유연성이 좋은 소재라면 무엇이나 가능하나, 예를 들어 니켈, 구리, 철과 같은 소재로 이루어지는 것이 가능하다. 이러한 전도성 부재(120)는 도전부(111)의 가장자리에 배치되어 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 접촉하게 되는데, 이에 따라서 도전부(111)와 피검사 디바이스(140)의 단자(141) 상호간의 전기적 연결을 수행하게 된다. 즉, 전기적 신호는 도전부(111)로부터 피검사 디바이스(140)의 단자(141)로 직접 흐르거나, 도전부(111)로부터 전도성 부재(120)를 거쳐서 피검사 디바이스(140)의 단자(141)로 흐르는 것이 가능하다.
이러한 전도성 부재(120)는, 삽입부(121)와, 접촉부(122)로 이루어진다.
상기 삽입부(121)는, 상기 이방성 도전시트(110)의 도전부(111) 내에서 두께방향으로 연장되고 상기 도전부(111)에 일체로 결합되어 있는 것이다. 이러한 삽입부(121)는 얇은 기둥형태, 예를 들면 원형 또는 사각과 같은 다각기둥형태에서 두께와 폭이 좁은 기둥형태를 가질 수 있다.
상기 도전부(111)가 피검사 디바이스(140)의 단자(141)에 눌려 면방향으로 팽창될 때 상기 도전부(111)에 의하여 삽입부(121)는 면방향으로 위치이동될 수 있는 것이다. 구체적으로 도전부(111)는 단자(141)의 가압에 의하여 상면이 오목하게 파여지고 중앙이 불룩하게 나오는 형태를 가지게 되고 도전부(111)의 가압에 제거되면 도전부(111)는 다시 기둥형태로 복원되는 형상변화를 가지게 된다. 이러한 도전부(111)의 형상변화에 의하여 그 도전부(111)의 가장자리 측에 배치된 삽입부(121)의 위치는 이동하게 된다. 이러한 삽입부(121)는 위치이동을 보다 용이하도록 하며 특히 접촉부(122)의 상단이 서로 근접하는 방향으로 이동가능하게 도전부(111)의 상단부터 중앙(두께방향 중앙)까지 연장되는 것이 바람직하다.
상기 접촉부(122)는, 상기 삽입부(121)의 면방향 위치이동에 의하여 피검사 디바이스(140)의 단자(141) 측면과 이격된 제1위치(도 7의 위치)와, 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141) 측면과 접촉되는 제2위치(도 8의 위치) 사이를 위치 이동하는 것이다. 이러한 접촉부(122)는 상기 삽입부(121)에 일체로 연결되어 있어 삽입부(121)와 함께 위치이동할 수 있도록 구성된다. 이러한 접촉부(122)는 상기 도전부(111)의 중심을 향하여 절곡되어 있는 것으로서 접촉부(122)는 갈고리 형상을 가질 수 있다. 이러한 접촉부(122)는 상기 도전부(111)가 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)에 의하여 가압될 때 상기 도전부(111)로부터 돌출된 상단이 서로 근접하는 방향으로 위치이동(제1위치로서 도 8에 도시된 위치)하면서 피검사 디바이스(140)의 단자(141)의 측면에 접촉하고, 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 도전부(111)를 가압하지 않을 때는 상기 도전부(111)로부터 돌출된 상단이 서로 멀어지는 방향으로 위치이동(제2 위치로서 도 6 내지 도 7에 도시된 위치)하면서 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 이격되도록 구성된다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사소켓(100)은 다음과 같은 작용효과를 가진다.
먼저, 도 6에 도시된 바와 같이 검사장치(130)의 패드(131)에 이방성 도전시트(110)의 도전부(111)가 접촉된 상태에서 검사장치(130)에 이방성 도전시트(110)가 탑재된다. 또한, 피검사 디바이스(140)의 경우 소정의 운반수단에 의하여 운반되어 이방성 도전시트(110)의 상측에 배치된다. 이때 피검사 디바이스(140)는 그 단자(141)들이 이방성 도전시트(110)의 도전부(111)와 대응되는 위치에 정렬되도록 이방성 도전시트(110)의 상측에 위치한다.
이후 도 7에 도시된 바와 같이 피검사 디바이스(140)의 단자(141)들이 도전부(111)의 상면에 접촉하도록 피검사 디바이스(140)가 하강된다. 이러한 도 7의 상태에서도 도전부(111)는 피검사 디바이스(140)의 단자(141)에 의하여 가압되어 압축되지 않고 있어서 접촉부(122)는 피검사 디바이스(140)의 측면에 접촉하지 않고 이격되어 있게 된다.
이후 도 8에 도시된 바와 같이 도전부(111)가 전기적 통전상태를 가질 수 있도록 도전부(111)를 가압하면 도전부(111)는 상면이 오목하게 파여지고 중앙이 불룩하게 양측으로 나오는 형상을 가지게 된다. 이때 도전부(111) 내부의 도전성 입자들은 절연성 고무 내에서 서로 면접촉하게 되어 도전부(111)가 전기적인 도통가능한 상태를 만들도록 한다.
이와 동시에 도전부(111)의 형상변화에 따라서 전도성 부재(120)도 도전부(111)에 의하여 위치이동하게 된다. 예를 들어 접촉부(122)는 그 상단이 서로 근접하는 방향, 예를 들어 도전부(111)의 중앙방향,을 향하여 이동하게 되는데 이 과정에서 접촉부(122)의 상단이 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 확실하게 접촉하게 된다. 특히 접촉부(122)는 갈고리의 형상을 가지고 있어서 도전부(111)의 측면을 일부 파고들면서 확실하게 도전부(111)에 접촉할 수 있게 되는 것이다.
이후에 검사장치(130)로부터 소정의 전기적 신호가 인가되면 그 신호는 도전부(111)를 거쳐서 바로 피검사 디바이스(140)의 단자(141)로 흐르게 되거나 또는 도전부(111), 전도성 부재(120)를 거쳐서 피검사 디바이스(140)의 단자(141)로 흐르게 되면서 소정의 전기적 검사가 이루어진다.
이와 같이 본 발명에 따른 전기적 검사소켓(100)은, 도전부(111)의 상면에 이물질 등이 묻어 있는 경우에도 전도성 부재(120)가 직접 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 접촉되기 때문에 전기적 접속력이 저하되는 일이 없다. 즉, 본 발명에서는 전기적 검사소켓(100)에서 전도성 부재(120)를 통하여 도전부(111)와 피검사 디바이스(140)의 단자(141)를 서로 전기적 연결시키고 있기 때문에 전기적 접속력의 저하를 최소화할 수 있다.
또한, 전도성 부재(120)는 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 기구물의 공차에 의하여 도전부(111)의 중심으로부터 벗어난 정렬불량의 상태에서 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 접촉되거나 또는 피검사 디바이스(140)를 도전부(111)의 중앙측으로 안내하는 기능을 수행할 수 있어서 확실한 전기적 접속을 가능하게 한다.상술한 도 4 내지 도 8에 도시된 실시예에서는 각 도전부에 한 쌍의 전도성 부재가 배치되는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 9에 도시된 검사소켓(200)과 같이 90도의 각도로 원주방향을 따라서 배치되도록 두 쌍의 전도성 부재(220)가 배치되는 것도 고려할 수 있다. 즉, 도전부(211)의 주위에 4개의 전도성 부재(220)가 배치되어 피검사 디바이스의 단자를 확실하게 접촉하도록 구성되는 것도 가능하다. 또한 이외에 120도의 각도로 3개의 전도성 부재가 배치되는 곳도 가능함은 물론이다. 이와 같이 다수의 전도성 부재가 도전부의 주위에 배치되는 경우에는 전기적 접속력을 보다 확실하게 달성할 수 있다.
이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명의 검사용 소켓을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.
100..전기적 검사소켓 110...이방성 도전시트
111...도전부 112...절연성 지지부
120...전도성 부재 121...삽입부
122...접촉부 130...검사장치
131...패드 140...피검사 디바이스
141...단자

Claims (10)

  1. 피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결하는 전기적 검사소켓에 있어서,
    상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 연장되어 배치되고 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 분포되어 있는 복수의 도전부와,
    상기 도전부의 주위에 배치되고 각각의 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연성 지지부로 이루어지는 이방성 도전시트; 및
    상기 이방성 도전시트의 도전부 내에서 두께방향으로 연장되고 상기 도전부`에 일체로 결합되어 있는 삽입부와,
    상기 도전부로부터 상측으로 돌출배치되고 상기 삽입부와 연결되는 접촉부로 이루어지는 전도성 부재;를 포함하고,
    상기 도전부는 상기 피검사 디바이스의 단자에 의하여 눌렸을 때 상단보다 중앙이 면방향으로 크게 팽창되고,
    상기 삽입부는, 상기 도전부가 피검사 디바이스의 단자에 눌려 면방향으로 팽창될 때 상기 도전부에 의하여 면방향으로 위치이동될 수 있으며,
    상기 접촉부는, 상기 삽입부의 면방향 위치이동에 의하여 피검사 디바이스의 단자 측면과 이격된 제1위치와, 상기 피검사 디바이스의 단자 측면과 접촉되는 제2위치 사이를 위치 이동하는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  2. 제1항에 있어서,
    접촉부는 상기 삽입부에 일체로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 전도성 부재는 상기 도전부의 가장자리 측에 배치되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 전도성 부재의 삽입부는 얇은 기둥형상을 가지는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 접촉부는, 상기 도전부의 중심을 향하여 절곡되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 접촉부는 갈고리 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 전도성 부재는 적어도 한 쌍이 마련되고, 한 쌍의 전도성 부재는 도전부의 중심에 대하여 서로 대칭적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 전도성 부재는, 니켈, 구리, 철 중 어느 하나의 금속소재로 이루어지는 것을 특징으로 전기적 검사소켓.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 전도성 부재는 유연성을 가지는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  10. 삭제
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