KR101920855B1

KR101920855B1 - 검사용 소켓

Info

Publication number: KR101920855B1
Application number: KR1020170058902A
Authority: KR
Inventors: 정영배
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2017-05-11
Filing date: 2017-05-11
Publication date: 2018-11-21
Also published as: TWI669515B; WO2018208117A1; TW201903423A

Abstract

본 발명은 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 마련되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 상기 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되고, 절연성 탄성물질 내에 다수의 제1도전성 입자가 두께방향으로 배열되어 있는 제1도전부와, 상기 제1도전부 주변에 배치되어 상기 제1도전부를 지지하면서 각각의 제1도전부를 서로 절연시키는 절연성 지지부와, 상기 제1도전부로부터 상측으로 돌출되어 있으며 상기 절연성 지지부의 상면보다 높게 위치하는 제2도전부를 포함하는 이방 도전성 시트; 상기 절연성 지지부의 상측에 배치되고 상기 절연성 지지부와 이격되어 있으며 상기 제2도전부와 대응되는 위치마다 관통공이 마련되어 있는 가이드 시트; 및 상기 제2도전부와 수평방향으로 이격되어 있는 복수의 탄성범프를 포함하되, 각 탄성범프의 하면은 상기 절연성 지지부의 상면에 접촉하고 상면은 상기 가이드 시트의 하면에 접촉하여 상기 가이드 시트를 지지하며, 상기 탄성범프는 상기 가이드 시트보다 연질의 소재로 이루어지는 검사용 소켓에 대한 것이다.

Description

검사용 소켓{Electrical test socket}

본 발명은 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자가 손상되지 않고 검사의 신뢰성을 달성할 수 있는 검사용 소켓에 대한 것이다.

일반적으로 피검사 디바이스의 전기적 특성 검사를 위해서는 피검사 디바이스와 검사장치와의 전기적 연결이 안정적으로 이루어져야 한다. 통상 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 위한 장치로서 검사용 소켓이 사용된다.

이러한 검사용 소켓의 역할은 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 교환 가능하게 하는 것이다. 이를 위하여 검사용 소켓의 내부에 사용되는 접촉수단으로 또는 탄성 도전시트 또는 포고핀이 사용된다. 이러한 탄성 도전시트는 탄성을 가지는 도전부를 피검사 디바이스의 단자와 접속시키는 것이며, 포고핀은 내부에 스프링이 마련되어 있어서 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 원활하게 하고, 연결시 발생할 수 있는 기계적인 충격을 완충할 수 있어 대부분의 검사용 소켓에 사용되고 있다.

이러한 검사용 소켓의 종래기술로서는 일단 공개특허 2010-157472호가 알려져 있다. 도 1 및 도 2를 참조하여 종래기술을 설명하면, 다음과 같다.

반도체 장치(100)의 솔더 볼(110)에 대응하는 위치에 설치된 전극(2a)이 상면(2b)에 설치된 검사장치(2)에 가이드가 부착된 커넥터(1)룰 접속하고, BGA형 반도체 장치(100)를 검사한다.

검사 장치(2)에 설치된 가이드 핀(2c)에 의해 커넥터(10)와 동일한 두께의 높이 조정용 부재(3)과 가이드가 부착된 커넥터(1)과 BGA형 반도체 장치(100)의 면적보다 크게 개구되어 있는 반도체 장치 가이드 프레임(4)이 고정되어 있다.

가이드 핀(2c)에 의한 가이드가 부착된 커넥터(1)의 고정은 가이드가 부착된 커넥터(1)에 형성된 가이드 핀 삽입용 관통공(22)에 가이드 핀(2c)를 삽입함으로써 행해지고 있다.

가이드 핀(2c)에 의한 반도체 장치 가이드 프레임(4)의 고정은 반도체 장치 가이드 프레임(4)에 형성된 가이드 핀 삽입용 구멍(4a)에 가이드 핀(2c)을 삽입함으로써 행해지고 있다.

상기와 같이 높이 조정용 부재(3)와 가이드가 부착된 커넥터(1)와 반도체 장치 가이드 프레임(4)을 고정한 상태에서 진공 흡인 수단(210)을 구비한 이송용 암 (200)을 이용하여 BGA형 반도체 장치(100)를 가이드가 부착된 커넥터(1)상으로 이송한다. 그때 , BGA형 반도체 장치(100)의 솔더 볼(110)이 가이드가 부착된 커넥터 1의 도전부에 대체로 대향하도록 배치한다.

그 후 BGA 반도체 장치(100)를 가이드가 부착된 커넥터(1)에 접촉시킨다. 여기서 커넥터(10)의 도전부의 바로 위에 솔더 볼(110)이 위치하지 않는 경우에는 솔더 볼 가이드(20)의 솔더 볼 유도용 관통공(21)의 내면(21a)에 솔더 볼(110)이 접해, 솔더 볼 유도용 관통공(21)의 내면(21a)를 따라 미끄러지면서 하방으로 이동한다. 따라서 솔더 볼(110)은 솔더 볼 유도용 관통공(21)의 중심으로 향해 이동하기 때문에, 솔더 볼 유도용 관통공(21)에 삽입된 도전부의 돌출부(11b)로 유도되게 되어 있다.

이러한 종래기술은, 다음과 같은 문제점이 있다

종래기술에서, 커넥터에 마련된 가이드는 통상적으로 폴리이미드와 같은 경질의 소재로 이루어진 필름 형태로 구성되어 있다. 이와 같이 가이드를 경질의 소재로 하는 경우에는 솔더 볼(110)의 위치 정렬을 용이하게 할 수 있다는 장점이 있으나, 도 3에 도시된 바와 같이 솔더 볼(110)이 가이드의 관통공 주변부 모서리에 접촉하는 경우에는 솔더 볼(110)이 모서리에 찍혀 표면 손상이 불가피하다는 단점이 있게 된다.

또한, 종래기술에서 관통공(21)의 내면과 도전부는 서로 접촉되어 있게 되는데, 이와 같이 가이드의 관통공(21)의 내면이 도전부 외면과 서로 접촉되어 있는 경우에는 도전부가 솔더 볼(110)에 의하여 눌려 수평방향으로 팽창되는 경우 가이드에 의하여 팽창이 억제됨으로서 도전부가 충분하게 눌리지 않게 되며, 이는 결국 전체적인 도전성능을 저하시키게 되는 요인이 된다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 피검사 디바이스의 위치정렬이 용이하면서 단자의 손상을 방지하고, 도전부가 충분하게 가압될 수 있도록 하는 검사용 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 검사용 소켓은, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 마련되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 상기 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되고, 절연성 탄성물질 내에 다수의 제1도전성 입자가 두께방향으로 배열되어 있는 제1도전부와,

상기 제1도전부 주변에 배치되어 상기 제1도전부를 지지하면서 각각의 제1도전부를 서로 절연시키는 절연성 지지부와,

상기 제1도전부로부터 상측으로 돌출되어 있으며 상기 절연성 지지부의 상면보다 높게 위치하는 제2도전부를 포함하는 이방 도전성 시트;

상기 절연성 지지부의 상측에 배치되고 상기 절연성 지지부와 이격되어 있으며 상기 제2도전부와 대응되는 위치마다 관통공이 마련되어 있는 가이드 시트; 및

상기 제2도전부와 수평방향으로 이격되어 있는 복수의 탄성범프를 포함하되,

각 탄성범프의 하면은 상기 절연성 지지부의 상면에 접촉하고 상면은 상기 가이드 시트의 하면에 접촉하여 상기 가이드 시트를 지지하며,

상기 탄성범프는 상기 가이드 시트보다 연질의 소재로 이루어진다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 탄성범프는 절연성 지지부와 가이드 시트에 일체로 부착될 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 탄성범프는, 기둥형상으로 이루어질 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 제2도전부는 절연성 탄성물질 내에 제2도전성 입자가 두께방향으로 분포되어 있는 것으로서, 상기 제2도전성 입자의 평균입경은 상기 제1도전성 입자의 평균입경보다 작을 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 제2도전부는, 절연성 탄성물질 내에 제2도전성 입자가 두께방향으로 분포되어 있는 것으로서, 상기 제2도전성 입자는 상기 제1도전성 입자보다 고밀도로 배치될 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 제2도전부는, 절연성 탄성물질 내에 제2도전성 입자가 두께방향으로 분포되어 있는 것으로서, 상기 제2도전성 입자의 평균입경은, 상기 제1도전성 입자의 평균입경과 동등할 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 가이드 시트는 폴리이미드 소재로 이루어지고, 상기 탄성범프는 실리콘 고무 소재로 이루어질 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 가이드 시트의 수평방향 단면적은, 상기 탄성범프의 수평방향 단면적보다 클 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 가이드 시트에서 관통공의 주변부는, 상기 탄성범프보다 제2도전부를 향하여 돌출될 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 탄성범프와 상기 제2도전부 사이에는 피검사 디바이스의 가압에 의하여 제2도전부가 압축되어도 변형된 제2도전부가 탄성범프와 접촉되지 않게 하는 이격공간이 마련될 수 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은,

피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 마련되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 상기 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되고, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배열되어 있는 도전부와,

상기 도전부 주변에 배치되어 상기 도전부를 지지하면서 각각의 도전부를 서로 절연시키는 절연성 지지부를 포함하는 이방 도전성 시트;

상기 이방 도전성 시트의 상측에 배치되고 상기 도전부와 대응되는 위치마다 관통공이 마련되어 있는 가이드 시트;

상기 가이드 시트와 이방 도전성 시트 사이에 배치되어 상기 가이드 시트와 이방 도전성 시트와 연결시키고, 상기 가이드 시트보다 연질의 소재로 이루어지는 탄성범프를 포함하되,

상기 도전부의 상단은 상기 절연성 지지부의 상면보다 상측으로 돌출되어 있으며,

상기 탄성범프는 도전부와 사이에 이격공간이 마련된다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 도전부의 상단은 상기 가이드 시트의 상면과 동일높이에 위치할 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 도전부의 상단은 상기 가이드 시트의 상면보다 낮게 위치할 수 있다.

본 발명의 검사용 소켓은, 가이드 시트 하측에 가이드 시트보다 연질의 탄성 범프를 마련함으로서 피검사 디바이스의 단자가 가이드 시트에 의하여 손상되는 것을 최소화할 수 있다.

또한, 본 발명의 검사용 소켓은 가이드 시트를 지지하는 탄성범프가 도전부와의 사이에 이격공간을 마련함으로서 검사과정에서 도전부의 팽창을 억제하지 않아 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

도 1은 종래기술에 따른 검사용 소켓의 도면.
도 2는 도 1의 검사용 소켓을 이용하여 검사를 수행하는 모습을 나타내는 도면.
도 3은 도 1의 검사용 소켓의 작동모습을 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓의 분리사시도.
도 5는 도 4의 결합사시도.
도 6은 도 5의 Ⅵ-Ⅵ 단면도이고, 도 7은 도 5의 Ⅶ-Ⅶ 단면도.
도 8 및 도 9는 도 5의 검사용 소켓의 작동모습을 나타내는 도면.
도 10 내지 도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은, 피검사 디바이스(140)와 검사장치(150)의 사이에 배치되어 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 검사장치(150)의 패드(151)를 서로 전기적으로 접속시켜 상기 피검사 디바이스(140)의 전기적 검사를 수행하기 위한 것으로서, 이방 도전성 시트(110), 가이드 시트(120) 및 탄성범프(130)를 포함하여 구성된다.

상기 이방 도전성 시트(110)는 제1도전부(111), 절연성 지지부(112) 및 제2도전부(113)를 포함하여 구성된다.

상기 제1도전부(111)는, 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 대응되는 위치마다 배치되고, 절연성 탄성물질 내에 다수의 제1도전성 입자(111a)가 두께방향으로 배열되어 있는 것이다.

이러한 제1도전부(111)를 형성하는 절연성 탄성물질로서는 가교 구조를 갖는 내열성의 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 가교 고분자 물질을 얻기 위해 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 다양한 것을 이용할 수 있지만, 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 액상 실리콘 고무는 부가형의 것이라도 축합형의 것이라도 좋지만, 성형성과 탄성변형이 용이하다는 측면에서 부가형 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 도전부를 액상 실리콘 고무의 경화물(이하,「실리콘 고무 경화물」이라 함)에 의해 형성하는 경우에 있어서, 상기 실리콘 경화물은 그 150 ℃에 있어서의 압축 영구 왜곡이 10 ％ 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 8 ％ 이하, 더욱 바람직하게는 6 ％ 이하이다. 이 압축 영구 왜곡이 10 ％를 넘는 경우에는, 얻을 수 있는 탄성 도전시트를 고온 환경 하에 있어서 반복해서 사용하였을 때에는 접속용 도전부에 있어서의 도전성 입자의 연쇄에 흐트러짐이 생기는 결과, 소요의 도전성을 유지하는 것이 곤란해진다.

상기 제1도전성 입자(111a)로는 자성을 나타내는 코어 입자(이하,의 표면에 고도전성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 것이 바람직하다. 여기서,「고도전성 금속」이라 함은, 0 ℃에 있어서의 도전율이 5 ×106 Ω1m-1 이상인 것을 말한다. 도전성 입자(P)를 얻기 위한 자성 코어 입자는 그 수평균 입자 직경이 3 내지 40 ㎛인 것이 바람직하다. 여기서, 자성 코어 입자의 수평균 입자 직경은 레이저 회절 산란법에 의해 측정된 것을 말한다. 자성 코어 입자를 구성하는 재료로서는 철, 니켈, 코발트, 이들 금속을 구리, 수지에 코팅한 것 등을 이용할 수 있지만, 그 포화 자화가 0.1 ㏝/㎡ 이상인 것을 바람직하게 이용할 수 있고, 보다 바람직하게는 0.3 ㏝/㎡ 이상, 특히 바람직하게는 0.5 ㏝/㎡ 이상인 것이고, 구체적으로는 철, 니켈, 코발트 또는 그들 합금을 들 수 있다.

자성 코어 입자의 표면에 피복되는 고도전성 금속으로서는 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등을 이용할 수 있고, 이들 중에서는 화학적으로 안정되고 또한 높은 도전율을 갖는 점에서 금을 이용하는 것이 바람직하다.

상기 절연성 지지부(112)는 상기 도전부를 지지하면서 도전부 간에 절연성을 유지시키는 기능을 수행한다. 이러한 절연성 지지부(112)는 상기 도전부 내의 절연성 탄성물질과 동일한 소재가 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 탄성력이 좋으면서 절연성이 우수한 소재라면 무엇이나 사용될 수 있음은 물론이다.

상기 제2도전부(113)는, 상기 도전부로부터 상측으로 돌출되어 있는 것으로서 절연성 지지부(112)의 상면보다 높게 위치하고 있게 된다. 이러한 제2도전부(113)는, 가이드 시트(120) 및 탄성범프(130)와 각각 이격되어 마련되어 있는 것으로서 그 사이에 소정의 이격공간(S)이 마련되어 있게 된다.

이러한 제2도전부(113)는 절연성 탄성물질 내에 제2도전성 입자(113a)가 두께방향으로 분포되어 있는 것이다. 상기 제2도전부(113)에서 상기 제2도전성 입자(113a)의 평균입경은 상기 도전부 내의 제1도전성 입자(111a)의 평균입경보다 작은 것이 바람직하다. 또한, 상기 제2도전성 입자(113a)는 상기 제1도전성 입자(111a)보다 고밀도로 배치되는 것이 좋다. 또한, 상기 제2도전부(113)를 구성하는 절연성 탄성물질은 상기 도전부를 구성하는 절연성 탄성물질과 동일한 탄성력을 가질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 경질일 수 있다.

상기 가이드 시트(120)는, 상기 절연성 지지부(112)의 상측에 배치되고 상기 절연성 지지부(112)와 이격되어 있으며 상기 제2도전부(113)와 대응되는 위치마다 관통공(121)이 마련되어 있는 것이다. 이러한 가이드 시트(120)의 관통공(121)은 제2도전부(113)의 외경보다 크게 형성되어 있어서 피검사 디바이스(140)의 단자(141)의 위치가 다소 어긋나게 되어 있어서 관통공(121) 주변부에 접촉된 피검사 디바이스(140)의 단자(141)는 관통공(121) 내부의 제2도전부(113)로 이동할 수 있게 한다.

상기 가이드 시트(120)를 구성하는 재료로는, 액정 폴리머, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리아미드 수지 등의 수지 재료, 글래스 섬유 보강형 에폭시 수지, 글래스 섬유 보강형 폴리에스테르 수지, 글래스 섬유 보강형 폴리이미드 수지 등의 섬유 보강형 수지 재료, 에폭시 수지 등에 알루미나, 붕소 나이트라이드 등의 무기 재료를 필러로서 함유한 복합 수지 재료 등을 이용할 수 있다. 이 중에서 치수안정성이 우수하며 내열성이 좋은 폴리이미드 수지가 바람직하다.

상기 탄성범프(130)는, 상하방향으로는 가이드 시트(120)와 이방 도전성 시트(110) 사이에 위치하고, 수평방향으로는 제2도전부(113)들 사이에 위치하도록 구성되어 있게 된다. 이러한 탄성범프(130)는 전체적으로 원기둥 형상으로 이루어지고 복수개가 마련되어 있게 된다. 이러한 탄성범프(130)는 상면이 가이드 시트(120)에 일체적으로 부착되어 있으며 하면은 절연성 지지부(112)의 상면에 일체적으로 부착되어 있게 된다.

상기 탄성범프(130)는 가이드 시트(120)보다 연질의 소재로 이루어지며 보다 구체적으로는 실리콘 고무와 같은 탄성력이 우수한 소재가 사용될 수 있다. 상기 탄성범프(130)는 가이드 시트(120)의 아래에서 상기 가이드 시트(120)를 지지하면서 가이드 시트(120)에 가하지는 가압력을 흡수하여 가이드 시트(120)가 용이하게 변형될 수 있도록 한다. 이러한 탄성범프(130)와 제2도전부(113) 사이에는 소정의 이격공간(S)이 마련되어 있게 되는데, 이에 따라서 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 제2도전부(113)를 가압하였을 때 제2도전부(113)의 좌우방향의 팽창을 억제하지 않고 이격공간(S) 내부로 제2도전부(113)가 용이하게 팽창될 수 있어서 압력분산효과면에서 우수하게 된다. 즉, 이격공간(S)에 의하여 피검사 디바이스(140)의 가압에 의하여 제2도전부(113)가 압축되어 면방향으로 팽창되어도 팽창된 도전부를 탄성범프(130)들과 접촉하지 않게 된다.

이러한 탄성범프(130)는 상기 가이드 시트(120)의 수평방향 단면적은, 상기 탄성범프(130)의 수평방향 단면적보다 크고, 상기 가이드 시트(120)에서 관통공(121)의 주변부는, 상기 탄성범프(130)보다 제2도전부(113)를 향하여 돌출되어 있게 된다. 이에 따라서 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 가이드 시트(120)와 접촉하였을 때 가이드 시트(120)는 용이하게 변형됨으로서 피검사 디바이스(140)의 단자(141)의 파손을 최소화할 수 있게 된다.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은 다음과 같은 작용효과를 가진다.

본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은, 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 제2도전부(113)의 상측에 위치하지 않고 다소 어긋난 위치에 배치되어 있어도 피검사 디바이스(140)의 단자(141)는 가이드 시트(120)의 관통공(121) 주변부에 접촉함으로서 관통공(121) 중앙을 향하여 이동가능하도록 구성된다.

구체적으로 도 8에 도시된 바와 같이 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 관통공(121) 주변부에 접촉되어도 상기 가이드 시트(120)의 아래에는 범프에 의하여 탄력성이 있도록 지지되어 있어서 피검사 디바이스(140)의 단자(141)에 의하여 가해지는 충격이 완화될 수 있게 된다. 또한, 가이드 시트(120)의 관통공(121)이 탄성범프(130)보다 도전부를 향하여 다소 돌출되어 있어서 가이드 시트(120)의 변형이 보다 용이하게 됨으로서 충격완화효과를 극대화할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에서는 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 가이드 시트(120)에 의하여 제2도전부(113)에 안내되어 제2도전부(113)를 가압할 때 제2도전부(113)는 면방향으로 팽창되게 되는데, 탄성범프(130)와 제2도전부(113) 사이에는 이격공간(S)이 마련되어 있어서 도 9에 도시된 바와 같이 제2도전부(113)의 면방향 팽창을 억제하지 않아서 제2도전부(113)가 충분하게 압축될 수 있게 된다. 제2도전부(113)가 충분하게 압축되면 그 내부에 마련된 제2도전성 입자(113a)들이 서로 확실하게 접촉됨으로 인하여 전기적 저항을 최소화할 수 있게 된다.

한편, 피검사 디바이스(140)가 이방 도전성 시트(110)를 가압하여 되면, 검사장치(150)로부터 소정의 검사용 신호가 인가되고 이 신호는 제1도전부(111), 제2도전부(113)를 거쳐서 피검사 디바이스(140)의 단자(141)에 전달됨으로 인하여 소정의 전기적 검사가 수행된다.

이러한 본 발명에 따른 검사용 소켓은, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이 변형되는 것도 가능하다.

구체적으로, 상술한 실시예에서는 제1도전부와 제2도전부의 도전성 입자들의 크기 및 밀도가 서로 상이한 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 10에 도시된 바와 같이 검사용 소켓(200)에서 제1도전부(211) 및 제2도전부(213)를 구성하는 도전성 입자(211a, 213a)의 크기 및 밀도가 서로 동등한 것도 가능하다.

또한, 상술한 실시예에서는 제2도전부의 상면이 가이드 시트의 상면과 동일한 높이를 가지는 것을 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 11에 도시된 검사용 소켓(300)에서는 제2도전부(313)의 상면이 가이드 시트(320)의 상면보다 다소 낮게 위치하여 가이드 기능을 보다 향상시킬 수 있게 된다.

한편, 도면에는 도시하지 않았으나 상술한 실시예에서는 상기 가이드 시트에서 관통공의 주변부는, 상기 탄성범프보다 제2도전부를 향하여 돌출되어 있는 것을 예시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 가이드 시트의 관통공 주변부가 그 아래의 탄성범프와 수평방향으로 동일하게 위치되는 것도 가능하다.

상기한 바와 같이, 본 발명은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

100...검사용 소켓 110...이방 도전성 시트
111...제1도전부 111a...제1도전성 입자
112...절연성 지지부 113...제2도전부
113a...제2도전성 입자 120...가이드 시트
121...관통공 130...탄성범프
140...피검사 디바이스 141...단자
150...검사장치 151...패드

Claims

피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 마련되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 상기 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되고, 절연성 탄성물질 내에 다수의 제1도전성 입자가 두께방향으로 배열되어 있는 제1도전부와,
상기 제1도전부 주변에 배치되어 상기 제1도전부를 지지하면서 각각의 제1도전부를 서로 절연시키는 절연성 지지부와,
상기 제1도전부로부터 상측으로 돌출되어 있으며 상기 절연성 지지부의 상면보다 높게 위치하는 제2도전부를 포함하는 이방 도전성 시트;
상기 절연성 지지부의 상측에 배치되고 상기 절연성 지지부와 이격되어 있으며 상기 제2도전부와 대응되는 위치마다 관통공이 마련되어 있는 가이드 시트; 및
상기 제2도전부와 수평방향으로 이격되어 있는 복수의 탄성범프를 포함하되,
각 탄성범프의 하면은 상기 절연성 지지부의 상면에 접촉하고 상면은 상기 가이드 시트의 하면에 접촉하여 상기 가이드 시트를 지지하며,
상기 탄성범프는 상기 가이드 시트보다 연질의 소재로 이루어지며,
상기 복수의 탄성범프는 서로 수평방향으로 이격되어 있어서 인접한 탄성범프에 대하여 독립적으로 탄성변형가능한 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 탄성범프는 절연성 지지부와 가이드 시트에 일체로 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 탄성범프는, 기둥형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 제2도전부는 절연성 탄성물질 내에 제2도전성 입자가 두께방향으로 분포되어 있는 것으로서, 상기 제2도전성 입자의 평균입경은 상기 제1도전성 입자의 평균입경보다 작은 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 제2도전부는, 절연성 탄성물질 내에 제2도전성 입자가 두께방향으로 분포되어 있는 것으로서, 상기 제2도전성 입자는 상기 제1도전성 입자보다 고밀도로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 제2도전부는, 절연성 탄성물질 내에 제2도전성 입자가 두께방향으로 분포되어 있는 것으로서, 상기 제2도전성 입자의 평균입경은, 상기 제1도전성 입자의 평균입경과 동등한 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 가이드 시트는 폴리이미드 소재로 이루어지고, 상기 탄성범프는 실리콘 고무 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 가이드 시트의 수평방향 단면적은, 상기 탄성범프의 수평방향 단면적보다 큰 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 가이드 시트에서 관통공의 주변부는, 상기 탄성범프보다 제2도전부를 향하여 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 탄성범프와 상기 제2도전부 사이에는 피검사 디바이스의 가압에 의하여 제2도전부가 압축되어도 변형된 제2도전부가 탄성범프와 접촉되지 않게 하는 이격공간이 마련되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 마련되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 상기 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되고, 절연성 탄성물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배열되어 있는 도전부와,
상기 도전부 주변에 배치되어 상기 도전부를 지지하면서 각각의 도전부를 서로 절연시키는 절연성 지지부를 포함하는 이방 도전성 시트;
상기 이방 도전성 시트의 상측에 배치되고 상기 도전부와 대응되는 위치마다 관통공이 마련되어 있는 가이드 시트;
상기 가이드 시트와 이방 도전성 시트 사이에 배치되어 상기 가이드 시트와 이방 도전성 시트와 연결시키고, 상기 가이드 시트보다 연질의 소재로 이루어지는 탄성범프를 포함하되,
상기 도전부의 상단은 상기 절연성 지지부의 상면보다 상측으로 돌출되어 있으며,
상기 탄성범프는 도전부와 사이에 이격공간이 마련되어 있으며,
상기 탄성범프는 복수개가 서로 수평방향으로 이격되어 있어서 인접한 탄성범프에 대하여 독립적으로 탄성변형가능한 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제11항에 있어서,
상기 가이드 시트의 수평방향 단면적은, 상기 탄성범프의 수평방향 단면적보다 큰 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제12항에 있어서,
상기 가이드 시트에서 관통공의 주변부는, 상기 탄성범프보다 제2도전부를 향하여 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제11항에 있어서,
상기 도전부의 상단은 상기 가이드 시트의 상면과 동일높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
제11항에 있어서,
상기 도전부의 상단은 상기 가이드 시트의 상면보다 낮게 위치하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.