CN105527472B - 测试座 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种测试座，所述测试座包含：第一薄片型连接器；多个导电弹性单元，其经配置以安置在所述第一薄片型连接器下方；以及第二薄片型连接器，其安置在所述多个导电弹性单元下方。所述多个导电弹性单元中的每一者的上部部分和下部部分的位置由所述第一薄片型连接器和所述第二薄片型连接器支撑，且空白空间形成在所述多个导电弹性单元中的每一者附近使得不会阻止在厚度方向中按压所述多个导电弹性单元，因此所述多个导电弹性单元在表面的方向中扩展。使用该测试座即使当待测试装置上的端子的数目增加时也容易地在待测试装置上执行电性测试。

Description

测试座

相关发明的交叉参考

本发明主张以下在韩国智慧财产局申请的各专利发明的权益：2014年10月17日申请的第10-2014-0141213号韩国专利发明，以及2015年6月12日申请的第10-2015-0083673号韩国专利发明，所述发明的揭示内容全文以引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明是有关于一或多个示范性实施例涉及一种测试座(test socket)，且更明确地说涉及一种具有可维持的电特性和可甚至经由频繁测试过程而有效防止的使用寿命减少的测试座。

背景技术

通常，需要在待测试装置与测试设备之间稳定地形成电连接以便在待测试装置上执行电性测试。测试座作为用于将待测试装置连接到测试设备的设备。

所述测试座用以将待测试装置上的端子连接到测试设备的衬垫使得可在彼此之间双向交换电信号。各向异性导电片和弹簧顶针主要用作所述测试座。在使用各向异性导电片的测试座中，其中导电粒子密集地分布在弹性硅橡胶中的导电单元分别连接到待测试装置上的端子。在使用弹簧顶针的测试座中，弹簧插入到外壳中，且随后连接到待测试装置上的端子。使用各向异性导电片的测试座和使用弹簧顶针的测试座两者具有用于吸收可在连接到端子的过程中发生的电震动的结构。

图1为现有技术中的测试座，图2为图1的测试座的操作，图3为图2中示出的操作的放大图，如图1、2、3所示，示出用作测试座20的各向异性导电片(anisotropic conductivesheet)的实例。测试座20包含形成于其中待测试装置2上的球型端子4接触测试座20的每一区域中的导电单元8，和形成于其中待测试装置2上的球型端子4并不接触测试座20且充当支撑导电单元8的绝缘层的区域中的绝缘单元6。导电单元8包含其内密集地安置导电粒子8a的硅橡胶。测试座20安装在其内提供多个衬垫10的测试设备9中。详细地说，当测试设备9中包含的所述多个衬垫10分别接触导电单元8时，测试座20安装在测试设备9中。

在待测试装置2由特定载具(未图示)承载以用于电性测试之后，待测试装置2朝向测试座20降低以接触导电单元8。随后，待测试装置2通过使用按压部件(未图示)而按压导电单元8。随后，在导电单元8的厚度的方向中压缩导电单元8，且因此，导电单元8中的导电粒子8a彼此接触以达到导电状态。如果特定电信号从测试设备9施加到待测试装置2，那么电信号经由导电单元8传送到待测试装置2，且因此，执行特定电性测试。

测试座20在接触待测试装置2的若干过程中被反复地压缩和扩展。如果导电单元8由于与待测试装置2接触而被压缩，那么导电单元8的中心凸出且所有导电单元8在平面方向中扩展。换句话说，导电单元8具有图3中示出的形状。

绝缘单元6被提供在导电单元8附近以支撑导电单元8。绝缘单元6被一体地提供到导电单元8，且因此，支撑导电单元8。绝缘单元6还防止导电单元8的扩展。换句话说，绝缘单元6可防止导电单元8的自由扩展。由此，因为绝缘单元6防止导电单元8的自由扩展，所以需要大的按压力以在导电单元8的厚度的方向中按压导电单元8。

然而，测试座20可需要特定压力以具有导电性。这样代表待测试的装置2需要用所述压力按压测试座20以获得导电性。在过去，当待测试装置2中仅存在少量导电单元8时，不存在按压测试座20时的问题。然而，因为存在朝向半导体装置的高密度集成的增长的趋势，所以待测试装置2上端子的数目已增加。如果端子的数目增加，那么导电单元8的数目也需要增加。由此，如果导电单元8的数目增加，那么存在需要通过使用较大力来按压测试座20以获得导电性的问题。然而，可能技术上难以过度增加按压部件按压待测试装置时所施加的按压力，且当待测试装置2将过度按压力传送到测试座20时，待测试装置2可能损坏。

因此，在现有技术中，很难在具有多个端子的待测试装置2上通过测试座有效地执行电性测试。

发明内容

一或多个示范性实施例包含一种测试座，其用于即使当待测试装置上的端子的数目增加时也容易地在待测试装置上执行电性测试。

额外方面将部分在以下描述中得到阐述，并且部分地，将从描述中显而易见，或者可以通过对所呈现的实施例的实践习得。

根据一或多个示范性实施例，一种被安置于待测试装置上的端子与测试设备的衬垫之间且电连接所述端子和所述衬垫的测试座包含：第一薄片型连接器，其包含具有固定到特定位置的边缘的第一绝缘片，以及经配置以安置在对应于待测试装置上的端子的每一位置处的多个第一导电单元，其具有所述第一绝缘片的厚度的方向中的导电性，且被提供到所述第一绝缘片；多个导电弹性单元，其经配置以安置在所述第一薄片型连接器下方，在所述第一绝缘片的厚度的方向中在对应于待测试装置上的端子的每一位置处延伸，由其内分布多个导电粒子的绝缘弹性材料形成，其中所述多个导电弹性单元中的每一者的上部部分一体地提供到所述第一导电单元中的每一者；以及第二薄片型连接器，其包含安置在所述多个导电弹性单元下方且边缘固定到特定位置的第二绝缘片，以及经配置以安置在对应于待测试装置上的端子的每一位置处的多个第二导电单元，其具有所述第二绝缘片的厚度的方向中的导电性，且被提供到所述第二绝缘片，其中所述多个第二导电单元中的每一者的上部部分一体地提供到所述多个导电弹性单元中的每一者，其中所述多个导电弹性单元中的每一者的上部部分和下部部分的位置由所述第一薄片型连接器和所述第二薄片型连接器支撑，且空白空间(empty space)形成在所述多个导电弹性单元中的每一者附近，而不会阻止所述多个导电弹性单元在厚度方向中被按压且在面的方向中扩展。

所述多个导电弹性单元中的每一者的一侧可被空白空间包围，使得空白空间从所述多个导电弹性单元中的每一者的所述侧的顶部延伸到底部。

所述多个导电弹性单元中的每一者的一侧的顶部与底部之间的中间区域可被所述空白空间包围。

第一绝缘片可包含由合成树脂形成的膜，且多个通孔形成在对应于待测试装置上的端子的每一位置处，且所述多个第一导电单元可穿透所述穿透孔且被所述第一绝缘片支撑。

所述第一绝缘片的通孔的内径可小于导电弹性单元的外径，且因此，第一绝缘片中通孔的周围区域可被导电弹性单元的上表面的一端支撑。

所述第一绝缘片可包含绝缘弹性材料，且多个通孔形成在对应于待测试装置上的端子的每一位置处，且第一导电单元可穿透所述通孔且被第一绝缘片支撑。

所述多个第一导电单元可由导电金属材料形成。

所述多个第一导电单元可包含与所述多个导电弹性单元的材料相同的材料。

所述多个导电弹性单元可一体地被提供到第一薄片型连接器和第二薄片型连接器的其中一个或两个。

所述多个导电弹性单元的绝缘弹性材料可由聚硅氧橡胶形成。

第一绝缘片的绝缘弹性材料可由聚硅氧橡胶形成。

构成所述多个导电弹性单元的绝缘弹性材料的硬度不同于构成所述第一绝缘片的绝缘弹性材料的硬度。

第一绝缘片可包含具有多个孔隙的网格，且所述多个第一导电单元可填充所述网格中的孔隙且在第一绝缘片的厚度的方向中延伸。

第一薄片型连接器和第二薄片型连接器可具有相同形状。

根据一或多个示范性实施例，一种经配置以安置于待测试装置上的端子与测试设备的衬垫之间且电连接所述端子和所述衬垫的测试座包含：多个导电弹性单元，其经配置以在厚度的方向中在对应于待测试装置上的端子的每一位置处延伸，由其中分布多个导电粒子的绝缘弹性材料形成；以及一对薄片型连接器，其经配置以分别安置在所述多个导电弹性单元上和下方以便使其间的所述多个导电弹性单元分别连接到所述多个导电弹性单元的上部部分和下部部分以支撑所述多个导电弹性单元，且具有相同的形状，其中所述多个导电弹性单元彼此分开且被空白空间包围。

附图说明

通过下文结合附图对实施例的描述，将可以清楚地知道并且更容易地理解这些和/或其它方面，附图中：

图1为现有技术中的测试座。

图2为图1的测试座的操作。

图3为图2中示出的操作的放大图。

图4为根据示范性实施例的测试座的透视图。

图5为图4中示出的测试座的横截面图。

图6说明图5的测试座的操作。

图7为根据另一示范性实施例的测试座的透视图。

图8为图7中示出的测试座的横截面图。

图9为根据另一示范性实施例示出的测试座的横截面图。

图10为根据另一示范性实施例示出的测试座的横截面图。

具体实施方式

现在将详细参考实施例，所述实施例的实例在附图中说明，其中相同的参考标号始终指代相同的元件。在此方面，本发明的实施例可以具有不同形式并且不应被解释为限于本文中所阐述的描述。因此，示范性实施例仅通过参考图式在下文中进行描述以阐释当前描述的各方面。

在下文中，将参看附图详细地描述示范性实施例。

图4为根据示范性实施例的测试座的透视图，图5为图4中示出的测试座的横截面图，图6说明图5的测试座的操作，如图4、5、6所示，根据示范性实施例，测试座100安置于待测试装置140上的端子141与测试设备150的衬垫151之间，以便将端子141电连接到衬垫151。

测试座100包含第一薄片型连接器110、导电弹性单元120和第二薄片型连接器130。

第一薄片型连接器110安置在导电弹性单元120上且支撑导电弹性单元120中的每一者的位置。第一薄片型连接器110的外围边缘可通过使用框架(未图示)固定。

第一薄片型连接器110包含第一绝缘片111和第一导电单元112。

第一绝缘片111由合成树脂形成且具有通孔111a。然而，第一绝缘片111不限于此，且可由任何绝缘柔性材料形成。第一绝缘片111可由例如聚酰亚胺、液体-晶体聚合物或其组合等树脂材料形成。然而，第一绝缘片111可由聚酰亚胺形成使得容易地通过蚀刻形成通孔。

通孔111a形成在对应于待测试装置140上的端子141的每一位置处。通孔111a经形成以穿过第一绝缘片111的顶部表面和底部表面，且实质上具有圆形横截面。通孔111a可具有直径小于稍后将描述的导电弹性单元120的直径。由此，因为第一绝缘片111中的通孔111a的内径小于导电弹性单元120的外径，所以第一绝缘片111中的通孔111a的外围区域可被导电弹性单元120的上表面的外围边缘支撑。

第一导电单元112填充通孔111a且被提供到第一绝缘片111以具有在第一导电单元112的厚度的方向中的导电性。第一导电单元112具有其内多个导电粒子121密集地安置在导电弹性材料中的结构。第一导电单元112的组成材料类似于稍后将描述的导电弹性单元120的组成材料。

导电弹性单元120安置在第一薄片型连接器110下方，且在导电弹性单元120的厚度的方向中在对应于待测试装置140上的端子141的每一位置处延伸。导电弹性单元120由其中安置所述多个导电粒子121的绝缘弹性材料形成，且导电弹性材料120中的每一者的上部部分被一体地提供到第一导电单元112中的每一者，且导电弹性单元120在水平方向中彼此分开。

导电弹性单元120中的每一者的上部部分被一体地提供到第一导电单元112中的每一者的下部部分，且导电弹性单元120中的每一者的下部部分被一体地提供到第二导电单元132中的每一者的上部部分。换句话说，导电弹性单元120被一体地提供到第一导电单元112和第二导电单元132。空白空间125可形成在每一导电弹性单元120周围，使得当在导电弹性单元120的厚度的方向中按压导电弹性单元120时不会在平面方向中阻止导电弹性单元120的扩展。详细地说，空白空间125可形成在导电弹性单元120的侧部处且从导电弹性单元120的顶部延伸到底部(以便包围导电弹性单元120的整个侧部)。然而，空白空间125不限于此，且可形成于所述多个导电弹性单元120间在平面方向中扩展最多的导电弹性单元120的顶部与底部之间的中间区域中。

构成导电弹性单元120的绝缘弹性材料可为具有可交联结构的聚合材料。各种可固化聚合材料可用于形成所述绝缘弹性材料。可固化聚合材料的实例可为：共轭二烯类橡胶(conjugated diene-based rubber)，例如聚丁二烯橡胶(poly butadiene rubber)、天然橡胶、聚异戊二烯橡胶(polyisoprene rubber)、苯乙烯-丁二烯共聚物橡胶(styrene-butadiene copolymer rubber)、丙烯腈-丁二烯共聚物橡胶(acrylonitrile-butadienecopolymer rubber)或类似者，或其氢添加剂；嵌段共聚物橡胶(block copolymerrubber)，例如苯乙烯-丁二烯-二烯嵌段共聚物橡胶(styrene-butadiene-diene blockcopolymer rubber)、苯乙烯-异戊二烯嵌段共聚物(styrene-isoprene block copolymer)或类似者，或其氢添加剂；氯丁二烯橡胶(chloroprene rubber)；胺基甲酸酯橡胶(urethane rubber)；聚酯类橡胶(polyester-based rubber)；表氯醇橡胶(epichlorohydrin rubber)；聚硅氧橡胶(silicone rubber)；伸乙基-丙烯共聚物橡胶(ethylene-propylene copolymer rubber)；伸乙基-丙烯-二烯共聚物橡胶(ethylene-propylene-diene copolymer rubber)；或类似者。

如上文所描述，在其中对于所获得的导电弹性单元120需要耐候性的情况下，优选的是使用除共轭二烯橡胶以外的材料，且尤其优选的是关于模制和加工特性及电特性而使用聚硅氧橡胶。

另外，所述多个导电粒子121可由磁性材料形成。所述多个导电粒子121的实例可为例如铁、钴、镍或类似者等磁性金属的粒子、其合金的粒子或含有磁性金属的粒子、通过使用上文提及的粒子作为核心粒子并用具有精细导电性的金属(例如金、银、钯或铑)电镀核心粒子的表面而获得的粒子，或通过使用非磁性金属粒子、例如玻璃珠粒等无机材料粒子或聚合物粒子作为核心粒子并用导电磁性金属(例如镍或钴)电镀核心粒子的表面而获得的粒子。

在上文描述的粒子当中，可使用通过使用镍粒子作为核心粒子并用具有精细导电性的金电镀核心粒子的表面而获得的粒子。

用导电金属电镀核心粒子的表面的方法可(例如)为化学电镀方法、电解电镀方法、溅镀方法、沉积方法或类似者，但不限于此。

在其中使用通过用导电金属涂覆核心粒子的表面而获得的导电粒子121的情况下，粒子的表面中导电金属的涂覆率(导电金属的涂覆区域与核心粒子的表面区域的比率)优选等于或高于40％，进一步优选等于或高于45％，且特别优选地为47到95％，因为可获得高导电性。

此外，导电金属的涂覆量优选为核心粒子的0.5到50质量％，更优选地为2到30质量％，进一步优选为3到25质量％，且特别优选地为4到20质量％。在其中待涂覆的导电金属为金的情况下，涂覆量为优选核心粒子的0.5到30质量％，更优选地为2到20质量％且进一步优选为3到15质量％。

第二薄片型连接器130包含安置在导电弹性单元120下方的第二绝缘片131，且安置在对应于待测试装置140上的端子141的每一位置处的多个第二导电单元132在所述多个第二导电单元132的厚度的方向中为导电的。所述多个第二导电单元132被提供到第二绝缘片131，且所述多个第二导电单元132中的每一者的上部部分被一体地提供到导电弹性单元120中的每一者。

第二薄片型连接器130支撑导电弹性单元120的下部部分，而第二薄片型连接器130的外围区域的位置由框架(未图示)固定。第二薄片型连接器130可具有与第一薄片型连接器110的形状相同的形状。并且，第二薄片型连接器130可安置为对应于第一薄片型连接器110以便使导电弹性单元120处于其间。

根据示范性实施例，测试座100可具有如下效果：

测试座100安装在测试设备150中，此时测试座100中包含的第二导电单元132接触测试设备150的衬垫151。随后，待测试装置140逐渐朝向测试设备150降低，使得待测试装置140上的端子141接触第一薄片型连接器110中包含的第一导电单元112的顶部表面。随后，通过使用特定按压工具(未图示)以便在导电弹性单元120的厚度的方向中按压导电弹性单元120而按压待测试装置140。

由此，如果按压导电弹性单元120，那么导电弹性单元120在导电弹性单元120的厚度的方向中压缩，而导电弹性单元120在垂直于所述厚度的方向的平面方向中扩展。在此过程中，导电弹性单元120中包含的所述多个导电粒子121彼此接触且进入到导电状态中。

下文，根据示范性实施例，测试座100具有如下优点：

根据示范性实施例，因为测试座100并未具备在所述多个导电弹性单元120中的每一者附近的单独绝缘单元，所以可容易地按压导电弹性单元120。换句话说，因为测试座100并不包含用于阻止导电弹性单元120扩展的绝缘单元而是包含在所述多个导电弹性单元120附近的空白空间125，所以可通过极少力容易地按压导电弹性单元120。

因此，测试座100可使导电弹性单元120能够在即使无过度压力的情况下且即使当许多端子141呈现于待测试装置140上时也具有导电性。

另外，因为导电弹性单元120的上部部分和下部部分被第一薄片型连接器110和第二薄片型连接器130稳定地支撑，所以导电弹性单元120可即使经由频繁测试过程而稳定地维持在原始位置处。

根据示范性实施例，测试座可修改如下：

图7为根据另一示范性实施例的测试座的透视图，图8为图7中示出的测试座的横截面图，图7和8中示出的测试座的描述如下：根据上文描述的实施例，第一导电单元和第二导电单元被描述为由与导电弹性单元相同的材料形成。然而，第一导电单元212和第二导电单元232并不限于此，且可由金属材料形成。

第一导电单元212和第二导电单元232可由例如镍、铜、银、钯、铁或类似者等材料形成。整个第一导电单元212和整个第二导电单元232可由单一金属或两个或更多类型的金属的合金形成，或形成为具有其中两个或更多类型的金属形成分层结构的结构。另外，第一导电单元212和第二导电单元232在上面接触端子或衬垫的表面可由例如金、银、钯或类似者等化学上稳定且非常导电的金属形成，以便防止表面的氧化和减小接触电阻。

图9为根据另一示范性实施例示出的测试座的横截面图，图9中示出的测试座的描述如下：

根据上文描述的实施例，第一绝缘片和第二绝缘片包含例如聚酰亚胺等其上具有通孔的膜，且第一导电单元和第二导电单元经由所述通孔而提供到彼此。然而，第一绝缘片和第二绝缘片并不限于此。第一绝缘片311和第二绝缘片331可由具有若干孔隙的多孔材料形成。

第一绝缘片311和第二绝缘片331中包含的多孔薄片可为通过使用有机纤维形成的网格或非编织物。有机纤维可为氟树脂纤维，例如聚四氟乙烯纤维(polytetrafluoroethylene fiber)、芳纶纤维(aramid fiber)、聚乙烯纤维(polyethylene fiber)、聚芳酯纤维(polyarylate fiber)、耐纶纤维(nylon fiber)、聚酯纤维(polyester fiber)或类似者。通过使用其中线性热膨胀的系数为30×10-6到-5×10-6/K(确切地说，10×10-6到-3×10-6/K)的有机纤维，此外，有可能抑制第一导电单元和第二导电单元的热膨胀。因此，同样在其中接收由温度的改变造成的热历程的情况下，有可能稳定地维持极好的电连接状态。此外，优选的是使用具有10到200μm的直径的有机纤维。

因为第一导电单元312和第二导电单元332填充形成于第一绝缘片311和第二绝缘片331上的孔隙且因此与第一绝缘片311和第二绝缘片331形成为一体，所以第一导电单元312和第二导电单元332可不与第一绝缘片311和第二绝缘片331分隔开。

如参看图9所描述，如果第一绝缘片311由多孔材料形成，那么与绝缘片相比可确保柔性。因此，即使待测试装置上的端子的大小彼此不同，所有所述多个第一导电单元312也可接触待测试装置上的所述端子。

根据上文描述的实施例，第一薄片型连接器的第一绝缘片和第二薄片型连接器的第二绝缘片描述为由聚酰亚胺或液体-晶体聚合物所制成的膜形成，但不限于此。第一绝缘片和第二绝缘片可由例如聚硅氧橡胶等绝缘弹性材料形成。图10为根据另一示范性实施例示出的测试座的横截面图，详细地说，图10中示出的测试座400可经形成使得构成第一绝缘片411和第二绝缘片431的绝缘弹性材料为具有与导电弹性单元420的聚硅氧橡胶相同的物理特性的聚硅氧橡胶。然而，绝缘弹性材料不限于此，且可具有不同于导电弹性单元420的绝缘弹性材料的硬度。举例来说，如果第一绝缘片411和导电弹性单元420两者由聚硅氧橡胶形成，那么其两者可为具有相同物理特性的聚硅氧橡胶，但不限于此。第一绝缘片411可为具有不同于导电弹性单元420的硬度的聚硅氧橡胶。

导电弹性单元420和第一薄片型连接器410可一体地提供到彼此。另外，导电弹性单元420和第二薄片型连接器430可一体地提供到彼此。“一体地提供到彼此”表示导电弹性单元420、第一薄片型连接器410、第二薄片型连接器430以及第一导电单元412和第二导电单元432经提供以便彼此形成为一体。具有此结构的测试座可通过将第一薄片型连接器410、第二薄片型连接器430和液体聚合物材料(通过将液体聚硅氧橡胶与导电粒子混合而获得的材料)安置到模具中且硬化所述第一薄片型连接器410、所述第二薄片型连接器430和所述液体聚合物材料来制造。

根据示范性实施例，在测试座中，当通过使用第一薄片型连接器和第二薄片型连接器固定导电弹性单元的上部部分和下部部分的位置时，因为每一导电弹性单元附近存在空白空间，所以当正压缩导电弹性单元时不会阻止导电弹性单元的变形。因此，导电弹性单元可仅以极少力发生变形。

换句话说，即使导电弹性单元上施加的按压力不大，因为待测试装置上的端子足够地按压导电弹性单元，也可获得导电性。因此，可容易地执行电性测试。

应理解，本文中所描述的示范性实施例应仅在描述性意义上考虑，而非出于限制的目的。每一示范性实施例内的特征或方面的描述应通常被视为可用于其它示范性实施例中的其它相似特征或方面。

虽然已参看图式描述一或多个示范性实施例，但所属领域的一般技术人员应理解，可在不脱离所附权利要求书所界定的发明概念的精神和范围的情况下在其中作出形式和细节上的各种改变。

Claims (15)

1.一种测试座，其经配置以安置于待测试装置上的端子与测试设备的衬垫之间且电连接所述端子和所述衬垫，所述测试座包括：

第一薄片型连接器，其包括具有固定到特定位置的边缘的第一绝缘片，以及经配置以安置在对应于所述待测试装置上的所述端子的每一位置处的多个第一导电单元，其具有在所述第一绝缘片的厚度的方向中的导电性，且被提供到所述第一绝缘片；

多个导电弹性单元，其经配置以安置在所述第一薄片型连接器下方，在所述第一绝缘片的厚度的方向中在对应于所述待测试装置上的所述端子的每一位置处延伸，由其内分布多个导电粒子的绝缘弹性材料形成，其中所述多个导电弹性单元中的每一者的上部部分一体地提供到所述多个第一导电单元中的每一者；以及

第二薄片型连接器，其包括安置在所述多个导电弹性单元下方且边缘固定到特定位置的第二绝缘片，以及经配置以安置在对应于所述待测试装置上的所述端子的每一位置处的多个第二导电单元，其具有在所述第二绝缘片的厚度的方向中的导电性，且被提供到所述第二绝缘片，其中所述多个第二导电单元中的每一者的上部部分一体地提供到所述多个导电弹性单元中的每一者，

其中所述多个导电弹性单元中的每一者的上部部分和下部部分的位置由所述第一薄片型连接器和所述第二薄片型连接器支撑，且

空白空间形成在所述多个导电弹性单元中的每一者附近，而不会阻止所述多个导电弹性单元在厚度的方向中被按压且在面的方向中扩展。

2.根据权利要求1所述的测试座，其中所述多个导电弹性单元中的每一者的一侧被所述空白空间包围，使得所述空白空间从所述多个导电弹性单元中的每一者的所述侧的顶部延伸到底部。

3.根据权利要求1所述的测试座，其中所述多个导电弹性单元中的每一者的一侧的顶部与底部之间的中间区域被所述空白空间包围。

4.根据权利要求1所述的测试座，其中所述第一绝缘片包括由合成树脂形成的膜，且多个通孔形成在对应于所述待测试装置上的所述端子的每一位置处，且

所述多个第一导电单元穿透所述通孔且被所述第一绝缘片支撑。

5.根据权利要求4所述的测试座，其中所述第一绝缘片的所述通孔的内径小于所述导电弹性单元的外径，且因此，所述第一绝缘片中的所述通孔的周围区域被所述导电弹性单元的上表面的一端支撑。

6.根据权利要求1所述的测试座，其中所述第一绝缘片包括绝缘弹性材料，且多个通孔形成在对应于所述待测试装置上的所述端子的每一位置处，且

所述多个第一导电单元穿透所述通孔且被所述第一绝缘片支撑。

7.根据权利要求4或6所述的测试座，其中所述多个第一导电单元由导电金属材料形成。

8.根据权利要求4或6所述的测试座，其中所述多个第一导电单元包括与所述多个导电弹性单元的材料相同的材料。

9.根据权利要求1所述的测试座，其中所述多个导电弹性单元一体地提供到所述第一薄片型连接器和所述第二薄片型连接器的其中一个或两个。

10.根据权利要求1所述的测试座，其中所述多个导电弹性单元的所述绝缘弹性材料由聚硅氧橡胶形成。

11.根据权利要求6所述的测试座，其中所述第一绝缘片的所述绝缘弹性材料由聚硅氧橡胶形成。

12.根据权利要求6所述的测试座，其中构成所述多个导电弹性单元的所述绝缘弹性材料具有的硬度不同于构成所述第一绝缘片的所述绝缘弹性材料的硬度。

13.根据权利要求1所述的测试座，其中所述第一绝缘片包括具有多个孔隙的网格，且

所述多个第一导电单元填充所述网格中的所述孔隙且在所述第一绝缘片的厚度的方向中延伸。

14.根据权利要求1所述的测试座，其中所述第一薄片型连接器和所述第二薄片型连接器具有相同形状。

15.一种测试座，其经配置以安置于待测试装置上的端子与测试设备的衬垫之间且电连接所述端子和所述衬垫，所述测试座包括：

多个导电弹性单元，其经配置以在厚度的方向中在对应于所述待测试装置上的所述端子的每一位置处延伸，由其内分布多个导电粒子的绝缘弹性材料形成；以及

一对薄片型连接器，其经配置以分别安置在所述多个导电弹性单元上和下方以便使所述多个导电弹性单元处于其间，分别连接到所述多个导电弹性单元的上部部分和下部部分以支撑所述多个导电弹性单元，且具有相同的形状，

其中所述多个导电弹性单元彼此分开且被空白空间包围。